JPS6034294A - 皮膚感覚センサ - Google Patents
皮膚感覚センサInfo
- Publication number
- JPS6034294A JPS6034294A JP58141029A JP14102983A JPS6034294A JP S6034294 A JPS6034294 A JP S6034294A JP 58141029 A JP58141029 A JP 58141029A JP 14102983 A JP14102983 A JP 14102983A JP S6034294 A JPS6034294 A JP S6034294A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing circuit
- skin
- sensor
- sensation
- piezoelectric body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0393—Flexible materials
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、皮膚感覚センサ、特に組立ロボット等の高機
能マニピュレータの指先感覚の演出に好適な皮膚窓数セ
ンサに関するものである。
能マニピュレータの指先感覚の演出に好適な皮膚窓数セ
ンサに関するものである。
従来、マニピュレータの指先感覚演出用のセンサとして
は、対象物f把持する面に、リミットスイッチ、導電性
ゴム、歪ゲージ等のスイッチ手段を設け、このスイッチ
手段の動作により対象物の把持の有無を確認するものが
主体となっている。
は、対象物f把持する面に、リミットスイッチ、導電性
ゴム、歪ゲージ等のスイッチ手段を設け、このスイッチ
手段の動作により対象物の把持の有無を確認するものが
主体となっている。
その例としては特開昭53−96648号公報、特開昭
55−129792号公報がある。また特殊なものとし
て流体圧を用いるものも提案されている。
55−129792号公報がある。また特殊なものとし
て流体圧を用いるものも提案されている。
この種のセンサは前述したように、対象物を確実に把持
した状態にあるか否かを検出するものである。
した状態にあるか否かを検出するものである。
一方、近年のマニピュレータにおいては高機能が要求さ
れており、これに伴って、指先感覚検出用センサとして
人間の指先に相当するものすなわち圧力感、亡ん所感、
すべり感等の複合感覚を得ることができるセンサが要求
されている。
れており、これに伴って、指先感覚検出用センサとして
人間の指先に相当するものすなわち圧力感、亡ん所感、
すべり感等の複合感覚を得ることができるセンサが要求
されている。
本発明は、上述の事柄にもとづいてなされたもので、圧
力感、すべり感、せん所感の複合感覚を検出することが
できる皮膚感覚センサを提供することを目的とするもの
である。
力感、すべり感、せん所感の複合感覚を検出することが
できる皮膚感覚センサを提供することを目的とするもの
である。
本発明は、対象物との接触感覚を検出する皮膚感覚セン
サにおいて、検出部を圧電体とこの圧電体の対向する複
数組の面に設けた電極とで構成しこの検出部に、その電
極間に発生する電位差を処理する処理回路を接続し、圧
電体に加わる力の方向、大きさにより変化する圧電体の
誘起電圧より、圧感、すべり感、せん所感に関する情報
を同時に検出することを特徴とするものである。
サにおいて、検出部を圧電体とこの圧電体の対向する複
数組の面に設けた電極とで構成しこの検出部に、その電
極間に発生する電位差を処理する処理回路を接続し、圧
電体に加わる力の方向、大きさにより変化する圧電体の
誘起電圧より、圧感、すべり感、せん所感に関する情報
を同時に検出することを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図および第2図は本発明のセンサの一実施例を示す
もので、これらの図において検出部1は六面体の圧電体
2とこの圧電体2の対向する3組の面の内2組の対向面
に設けた電極3A、3Bと4A、4Bとで構成されてい
る。この検出部1は支持体5上に設けられた基板6上に
配置されている。対の電極3A、3Aおよび4A、4B
はそれぞれ導線7A、7B、8A、8Bによって基板6
上に配置された処理回路9に接続されている。これによ
り処理回路20には各電極3A、3B。
もので、これらの図において検出部1は六面体の圧電体
2とこの圧電体2の対向する3組の面の内2組の対向面
に設けた電極3A、3Bと4A、4Bとで構成されてい
る。この検出部1は支持体5上に設けられた基板6上に
配置されている。対の電極3A、3Aおよび4A、4B
はそれぞれ導線7A、7B、8A、8Bによって基板6
上に配置された処理回路9に接続されている。これによ
り処理回路20には各電極3A、3B。
4A、4Bからの電位P1.P! 、Ps 、P4が入
力される。
力される。
圧電体2はZ方向に分極A処理をほどこされている1、
このため、圧電体2のZ方向に力が加えられた場合、Z
方向に対向して配置された電極3人及び3Bの間に電圧
が誘起され電位Ps とP2の間に差が生じる。また、
圧電体2にY方向のせん断力がttnえられた場合、X
方向に対向して配置された電極4A及び4Bの間に電圧
が誘起され電位P3とP4の間に差が生じる。
このため、圧電体2のZ方向に力が加えられた場合、Z
方向に対向して配置された電極3人及び3Bの間に電圧
が誘起され電位Ps とP2の間に差が生じる。また、
圧電体2にY方向のせん断力がttnえられた場合、X
方向に対向して配置された電極4A及び4Bの間に電圧
が誘起され電位P3とP4の間に差が生じる。
次に、肌理回路9の構成を第3図によって説明する。
この処理回路9は圧力検出回路10、せん断検出回路1
1および弁別回路12を備えている。圧力検出回路10
は、第4図に示すようにチャージアンプIOAで構成さ
れており、電位P!どP2の間の“電位差を入力し、圧
電体2のZ方向に加わる力に比例した圧力信号Pを演算
し出力する。せん断検出回路11は、第4図と同様なチ
ャージアンプで構成されておシ、電位P3とP4の間の
電位差を入力し、圧電体2のY方向に加わるせん断力に
比例した信号りを演算し出力する。弁別回路12は、信
号りの直流成分に比例したせん断信号S及び信号りの交
流成分に比例したすべり信号Fを出力する。この弁別回
路12は信号りの直流成分に比例したせん断信号Sを出
力するローパスフィルタ12Aと、信号りの交流成分を
抽出するバイパスフィルタ12Bと、交流成分の周波数
に比例したすべり信号Fを出力する周波数−重圧変換器
12Cとで構成することができる。
1および弁別回路12を備えている。圧力検出回路10
は、第4図に示すようにチャージアンプIOAで構成さ
れており、電位P!どP2の間の“電位差を入力し、圧
電体2のZ方向に加わる力に比例した圧力信号Pを演算
し出力する。せん断検出回路11は、第4図と同様なチ
ャージアンプで構成されておシ、電位P3とP4の間の
電位差を入力し、圧電体2のY方向に加わるせん断力に
比例した信号りを演算し出力する。弁別回路12は、信
号りの直流成分に比例したせん断信号S及び信号りの交
流成分に比例したすべり信号Fを出力する。この弁別回
路12は信号りの直流成分に比例したせん断信号Sを出
力するローパスフィルタ12Aと、信号りの交流成分を
抽出するバイパスフィルタ12Bと、交流成分の周波数
に比例したすべり信号Fを出力する周波数−重圧変換器
12Cとで構成することができる。
以上述べたように、上述した本発明の一実施例によれば
、王醒体2に垂直に加わる抑圧の感覚、すなわち圧感に
係る情報を圧力信号Pより得られる。また、電極3Bを
介して圧電体2に接触する対象物が水平方向に動こうと
する感覚、すなわちせん所感に係る情報ヲ、ナん断信号
Sにより得られる。また、電画3Bを介して圧電体2に
接触する対象物が水平方向にすべる感覚、すなわちすべ
り感に係わる情報を、を甑3Bと対象物の摩擦によるス
ティックスリップ振動の周波数に基づくすべり信号Fに
より得られる。
、王醒体2に垂直に加わる抑圧の感覚、すなわち圧感に
係る情報を圧力信号Pより得られる。また、電極3Bを
介して圧電体2に接触する対象物が水平方向に動こうと
する感覚、すなわちせん所感に係る情報ヲ、ナん断信号
Sにより得られる。また、電画3Bを介して圧電体2に
接触する対象物が水平方向にすべる感覚、すなわちすべ
り感に係わる情報を、を甑3Bと対象物の摩擦によるス
ティックスリップ振動の周波数に基づくすべり信号Fに
より得られる。
したがって、この実施例によれば、一つのセンサにより
圧感、せん所感及びすべり感からなる複合感覚を検出す
ることができる。また、検出部と信号の処理・回路を一
つの基板上に集積して構成しているので、高密度実装に
向は小形化が容易な皮膚感覚センサを構成できる。
圧感、せん所感及びすべり感からなる複合感覚を検出す
ることができる。また、検出部と信号の処理・回路を一
つの基板上に集積して構成しているので、高密度実装に
向は小形化が容易な皮膚感覚センサを構成できる。
つぎに本免明のセンサの他の実施例を第6図。
第7図及び第8図を用いて説明する。
第6図、第7図及び第8図は各本発明のセンサの他の実
施例を示すものであり、これらの図において第2図と同
じ番号を記した部分は同じものを表わす。
施例を示すものであり、これらの図において第2図と同
じ番号を記した部分は同じものを表わす。
第6図に示す実施例は、検出部の周囲に摩擦係数が高い
可撓性(オ科からなる保護層13を形成したものである
。
可撓性(オ科からなる保護層13を形成したものである
。
この実施例によれば、保護層13により検出部1を対象
物との接触による衝激、摩擦等の物理的影響から採便す
ることが可能である。また、保護層13の茂面の摩擦力
により、対象物と検出部1との接触が確実になり、亡ん
所感及びすベシ感の検出感度を良くすることができる。
物との接触による衝激、摩擦等の物理的影響から採便す
ることが可能である。また、保護層13の茂面の摩擦力
により、対象物と検出部1との接触が確実になり、亡ん
所感及びすベシ感の検出感度を良くすることができる。
第7図に示す実施例は、第6図に示す実施例の変形例で
あり、この図において第6図と同じ番号を記した部分は
同じものを表わす。この実施例は、保護層130表面に
耐熱、耐掌耗性材料からなる強化層14を形成したもの
である。
あり、この図において第6図と同じ番号を記した部分は
同じものを表わす。この実施例は、保護層130表面に
耐熱、耐掌耗性材料からなる強化層14を形成したもの
である。
この実施例によれば、強化層14により保護層13を高
熱、掌耗から保1穫することができ、皮膚感覚センサの
寿命、耐環境性を向上できる。
熱、掌耗から保1穫することができ、皮膚感覚センサの
寿命、耐環境性を向上できる。
なお、この実施例にしいて、強化層14は保護層13の
表面を、耐熱性、耐摩耗性を向上するよう変質させて形
成してもよい。
表面を、耐熱性、耐摩耗性を向上するよう変質させて形
成してもよい。
さらに、第8図に示す実施例は検出部1の電極3Bに対
向する電極3Aに突出部15を形成したものである。
向する電極3Aに突出部15を形成したものである。
との実施例によれば、電極3Aと保護層13との結合が
確実になり、せん所感及びすべり感の検出感度を良くす
ることができる。
確実になり、せん所感及びすべり感の検出感度を良くす
ることができる。
第9図は第3図に示す処理回路からの信号の転送回路の
一例を示すもので、この図において第3図と同じ番号を
記した部分は同一のものを表わす。
一例を示すもので、この図において第3図と同じ番号を
記した部分は同一のものを表わす。
この転送回路においては圧力信号P、せん断信号S及び
すべり信号Fは、バスドライバ16を介してデータバス
17へ転送される。バスドライバ16は、例えばスイッ
チ16AとAND回路16Bとを備え、信号A及びBが
ともに真になった場合、圧力信号P1せん断信号S及び
すべり信号Fを出力し、信号A及びBがともに真になら
ない場合は、出力が高インピーダンスになるように作動
する。
すべり信号Fは、バスドライバ16を介してデータバス
17へ転送される。バスドライバ16は、例えばスイッ
チ16AとAND回路16Bとを備え、信号A及びBが
ともに真になった場合、圧力信号P1せん断信号S及び
すべり信号Fを出力し、信号A及びBがともに真になら
ない場合は、出力が高インピーダンスになるように作動
する。
第10図は、第9図に示す処理回路を有する皮(9)
膚感覚センサ8Mの使用列を示すものである。
格子状に配列された複数の皮膚感覚センサMのバスドラ
イバ16の出力は、共通のデータバス17に接続されて
いる。また、各皮膚感覚センサMのバスドライバ16は
、列選択回路18及び行選択回路19が発生する信号A
、Bにより選択され、検出結果をデータバス29に出方
する。すなわち、データバス17には、信号A及びBが
ともに真と指定された皮膚感覚センサMの検出結果が表
われるよう構成されている。
イバ16の出力は、共通のデータバス17に接続されて
いる。また、各皮膚感覚センサMのバスドライバ16は
、列選択回路18及び行選択回路19が発生する信号A
、Bにより選択され、検出結果をデータバス29に出方
する。すなわち、データバス17には、信号A及びBが
ともに真と指定された皮膚感覚センサMの検出結果が表
われるよう構成されている。
以上述べたように、この例によれば、複数の皮膚感覚セ
ンサMを面上に高密度に配置し、圧力分布、せん断力分
布、すべり分布等の2次元分布の感覚情報を得ることが
できる。
ンサMを面上に高密度に配置し、圧力分布、せん断力分
布、すべり分布等の2次元分布の感覚情報を得ることが
できる。
なお、この実施例において、バスドライバ16は、信号
A及びBの2つの信号で選択されるよう構成しているが
、1つの信号もしくは3つ以上の信号で選択されるよう
構成してもよいことは明白である。
A及びBの2つの信号で選択されるよう構成しているが
、1つの信号もしくは3つ以上の信号で選択されるよう
構成してもよいことは明白である。
つぎに本発明のセンサの他の実施例を第11図(10)
及び第12図を用いて説明する。
第11図は本示明のセンサの他の実施例の縦断正面図で
アシ、この図において第2図と同じ番号を記した部分は
同じものを表わす。また第12図は本発明のセンサの他
の実施例に用いられる処理回路の構成図を示すものであ
り、この図において第3図と同じ番号を記した部分は同
じものを表わす。
アシ、この図において第2図と同じ番号を記した部分は
同じものを表わす。また第12図は本発明のセンサの他
の実施例に用いられる処理回路の構成図を示すものであ
り、この図において第3図と同じ番号を記した部分は同
じものを表わす。
第11図において、電極3A上には、温度センサ20が
配置されている。この温度センナ20は、検出した温度
に比例した信号Toを処理回路21に出力する。
配置されている。この温度センナ20は、検出した温度
に比例した信号Toを処理回路21に出力する。
この処理回路21は、第12図に示すように圧力検出回
路22及びせん断検出回路23と温度検出回路24が設
けられている。圧力検出回路22は信号Toに基づき電
位P1及びP2の温度による変動を補償し、圧電体2に
加わるZ方向の力に比例した圧力信号Pを出力する。ま
た、せん断検出回路23は信号Toに基づき電位P3及
びP4の温度による変動を補償し、圧電体2に加わるY
(11) 方向のせん断力に比例した信号りを出力する。また、温
度検出回路24は、信号Toに比例した温度信号Tを出
力する。
路22及びせん断検出回路23と温度検出回路24が設
けられている。圧力検出回路22は信号Toに基づき電
位P1及びP2の温度による変動を補償し、圧電体2に
加わるZ方向の力に比例した圧力信号Pを出力する。ま
た、せん断検出回路23は信号Toに基づき電位P3及
びP4の温度による変動を補償し、圧電体2に加わるY
(11) 方向のせん断力に比例した信号りを出力する。また、温
度検出回路24は、信号Toに比例した温度信号Tを出
力する。
この実施例によれば、皮膚感覚センサの検出出力の温度
に対する安定性を向上でき、さらに、圧力感、ぜん所感
、すべり感に加え温度に係る情報が検出可能な皮膚感覚
センサを提供することができる。
に対する安定性を向上でき、さらに、圧力感、ぜん所感
、すべり感に加え温度に係る情報が検出可能な皮膚感覚
センサを提供することができる。
つぎに本発明のセンサのさらに他の実施例を、第13図
及び第14図を用いて説明する。
及び第14図を用いて説明する。
第13図は本発明のセンサのさらに他の実施例を示す平
面図であシ、この図において第1図と同じ番号を記した
部分は同じものを表わす。
面図であシ、この図において第1図と同じ番号を記した
部分は同じものを表わす。
第13図において、検出部1は、電極3A。
3B、4A、4Bの他に圧電体2のY方向に対向する面
に電極25A及び25Bを配して構成している。
に電極25A及び25Bを配して構成している。
この構成において、圧電体2にX方向のせん断力が加え
られると、電極25A及び25Bの電位P5とP6の間
に電位差が生じ、電位Ps及び(12) P6は、処理回路26に入力され処理される。
られると、電極25A及び25Bの電位P5とP6の間
に電位差が生じ、電位Ps及び(12) P6は、処理回路26に入力され処理される。
この処理回路の構成を第14図に示す。この図において
第3図と同じ番号を記した部分は同じものを表わす。第
14図の構成において、せん断回路27及び28は第3
図で示すせん断回路11と同様の構成であシ、電位P3
とP4より圧電体15に加わるY方向のせん断力に比例
した信号り、を、また電位P5とP6より圧電体15に
加わるX方向のせん断力に比例した信号り、を出力する
。また、弁別回路29及び30も第3図の弁別回路12
と同様の構成全もち、信号り、よりY方向のせん断信号
Sア及びすべり信号Fア、また信号D8よりX方向のせ
ん断信号S8及びすべり信号F8を出力する。
第3図と同じ番号を記した部分は同じものを表わす。第
14図の構成において、せん断回路27及び28は第3
図で示すせん断回路11と同様の構成であシ、電位P3
とP4より圧電体15に加わるY方向のせん断力に比例
した信号り、を、また電位P5とP6より圧電体15に
加わるX方向のせん断力に比例した信号り、を出力する
。また、弁別回路29及び30も第3図の弁別回路12
と同様の構成全もち、信号り、よりY方向のせん断信号
Sア及びすべり信号Fア、また信号D8よりX方向のせ
ん断信号S8及びすべり信号F8を出力する。
以上述べたように、この実施例によれば、一つのセンサ
によシ、圧感に加え、X方向、Y方向のせん断及びすべ
り感ヲ噴出することが可能で1.2元次方向の対象物の
運動に関する情報を検出し得る皮膚センサを提供するこ
とができる。
によシ、圧感に加え、X方向、Y方向のせん断及びすべ
り感ヲ噴出することが可能で1.2元次方向の対象物の
運動に関する情報を検出し得る皮膚センサを提供するこ
とができる。
第15図および第16図は第13図に示す本発(13)
明のセンサに用いられる処理回路26の他の例を示すも
ので、第15図及び第16図において、第14図と同じ
番号を記した部分は同じものを表わす。
ので、第15図及び第16図において、第14図と同じ
番号を記した部分は同じものを表わす。
第15図に示す処理回路26においては、変換回路31
を備えており、この回路はせん断信号88及びS、に基
づき、せん断力の強さに比例しだせん断強度信号A、及
びせん断力のXY平面内の方向に比例したせん断方向信
号θ、を演算し出力する。
を備えており、この回路はせん断信号88及びS、に基
づき、せん断力の強さに比例しだせん断強度信号A、及
びせん断力のXY平面内の方向に比例したせん断方向信
号θ、を演算し出力する。
この処理回路26によれば、せん所感に係る情報を、せ
ん断力の強度とXY平面内の方向の形で得る皮膚感覚セ
ンサを提供することができる。
ん断力の強度とXY平面内の方向の形で得る皮膚感覚セ
ンサを提供することができる。
第16図に示す処理回路26においては最大値回路32
を備えており、この回路はすべり信号FヨとFアの内大
きな値の方をすべり信号Fとして信号する。
を備えており、この回路はすべり信号FヨとFアの内大
きな値の方をすべり信号Fとして信号する。
この処理回路26によれば、信号Dアもしくは信号D8
のどちらかの値が非常に小さく、すべり信号F、もしく
はF、のどちらかが不精確な値を(14) 示す1合、正確な値を優先的にすべり信号Fとして出力
することが可能な皮膚センサを提供することができる。
のどちらかの値が非常に小さく、すべり信号F、もしく
はF、のどちらかが不精確な値を(14) 示す1合、正確な値を優先的にすべり信号Fとして出力
することが可能な皮膚センサを提供することができる。
なお、以上で述べた一実施例及び他の実施例において、
処理回路は、アナログ回路、ディジタル回路、アナログ
とディジタル回路の混成回路もしくハ、マイクロコンピ
ュータ等によるソフトウェアにより構成してもよいこと
は明白である。
処理回路は、アナログ回路、ディジタル回路、アナログ
とディジタル回路の混成回路もしくハ、マイクロコンピ
ュータ等によるソフトウェアにより構成してもよいこと
は明白である。
1ノ、上述べたように、本発明によれば、圧感、せん所
感、すべり感を複数の感圧素子の出力間の関係から同時
に検出することができ、複合感覚を得られる。この結果
、人間の指先に相当する皮膚感覚センサを提供すること
ができる。
感、すべり感を複数の感圧素子の出力間の関係から同時
に検出することができ、複合感覚を得られる。この結果
、人間の指先に相当する皮膚感覚センサを提供すること
ができる。
第1図は本発明のセンサの一実施例を示す平面図、第2
図は第1図の■−■矢視断面図、第3図は第1図に示す
センサに用いられる処理回路の構成図、第4図はその処
理回路を構成する圧力検出回路の構成図、第5図は肌理
回路を哨戒する弁別(15) 回路の構成図、第6図〜第8図は本発明のセンサの他の
実唯例を示す縦断正面図、第9図は第3図に示す処理回
路からの信号を転送する回路図、第10図は複数個の本
究明のセンサの使用例を示す構成図、第11図は本発明
のセンサのさらに他の実施列を示す縦断正面図、第12
図は第11図に示すセンサに用いられる処理回路の構成
図、第13図は本発明のセンサの他の実施例を示す縦断
正面図、第14図は第13図に示すセンサに用いられる
処理回路の一例の構成図、第15図および第16図は第
13図に示すセンサに用いられる処理回路の他の例の構
成図である。 1・・・検出部、2・・・圧電体、3A、3B、4A。 4B・・・電極、9・・・処理回路、13・・・保護層
、14・・・強化層、20・・・温度センサ、21.2
6・・・処理回路。 (16) 第 3 旧 P 5F 第 4 (¥] 第 5 図 第 6 図 第 q 図 3B 5 6 第δ図 第 9 図 第 10 図 問 第11図 第12図 P SE丁 刀 13 図 25B 第 14 図 第 15 図 P 51 θs As F> Fχ 第1乙図 P 5.y 、5ノ /” 32
図は第1図の■−■矢視断面図、第3図は第1図に示す
センサに用いられる処理回路の構成図、第4図はその処
理回路を構成する圧力検出回路の構成図、第5図は肌理
回路を哨戒する弁別(15) 回路の構成図、第6図〜第8図は本発明のセンサの他の
実唯例を示す縦断正面図、第9図は第3図に示す処理回
路からの信号を転送する回路図、第10図は複数個の本
究明のセンサの使用例を示す構成図、第11図は本発明
のセンサのさらに他の実施列を示す縦断正面図、第12
図は第11図に示すセンサに用いられる処理回路の構成
図、第13図は本発明のセンサの他の実施例を示す縦断
正面図、第14図は第13図に示すセンサに用いられる
処理回路の一例の構成図、第15図および第16図は第
13図に示すセンサに用いられる処理回路の他の例の構
成図である。 1・・・検出部、2・・・圧電体、3A、3B、4A。 4B・・・電極、9・・・処理回路、13・・・保護層
、14・・・強化層、20・・・温度センサ、21.2
6・・・処理回路。 (16) 第 3 旧 P 5F 第 4 (¥] 第 5 図 第 6 図 第 q 図 3B 5 6 第δ図 第 9 図 第 10 図 問 第11図 第12図 P SE丁 刀 13 図 25B 第 14 図 第 15 図 P 51 θs As F> Fχ 第1乙図 P 5.y 、5ノ /” 32
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、対象物との接触感覚を検出する皮膚感覚センサにお
いて、検出部を、圧電体とこの圧電体の対向する複数組
の面に設けた電極とで構成し、前記検出部に、その電極
間に発生する電位差を処理する処理回路を接続して構成
したことを特徴とする皮膚感覚センサ。 2、検出部と処理回路とを同一基板上に配置したことを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の皮膚感覚センサ
。 3、前記検出部の周辺に可撓性材料からなる保護層を形
成したことを特徴とする特許請求の範囲第1項または第
2項記載の皮膚感覚センサ。 4、前記保護層の表面に耐熱、耐摩耗性材料からなる強
化層を形成したことを特徴とする特許請求の範囲第3項
記載の皮膚感覚センサ。 5、前記電極に少くとも1つの突出部を設けたこと全特
徴とする特許請求の範囲第1項〜第4項のいずれかに記
載の皮膚感覚センサ。 6、処理回路は前記圧電体の前記基板の垂直方向に対向
する面に配置した前記電極間の電位差に基づく情報及び
、前記圧電体の残された対向する面に配置した前記電極
間の電位差の直流成分及び交流成分に基づく情報を出力
することを特徴とする特許請求の範囲第1項〜第5項の
いずれかに記載の皮膚感覚センサ。 7、処理回路は外部からの信号により、出力端子を高イ
ンピーダンス状態に切替ることかできることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項〜第6項のいずれかに記載の皮
膚感覚センサ。 8、処理回路は前記電極上に少なくとも1つ設けた温度
センサの出力に基づき前記検出部の出力の温度補償を行
なうこと全特徴とする特許請求の範囲第1項〜第6項の
いずれかに記載の皮膚感靴センサ。 9、処理回路は前記温度センサの出力に基づく情報全形
成することを特徴とする特許請求の範囲第8項記載の皮
膚Itセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58141029A JPS6034294A (ja) | 1983-08-03 | 1983-08-03 | 皮膚感覚センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58141029A JPS6034294A (ja) | 1983-08-03 | 1983-08-03 | 皮膚感覚センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6034294A true JPS6034294A (ja) | 1985-02-21 |
JPH0448596B2 JPH0448596B2 (ja) | 1992-08-07 |
Family
ID=15282552
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58141029A Granted JPS6034294A (ja) | 1983-08-03 | 1983-08-03 | 皮膚感覚センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6034294A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008541034A (ja) * | 2005-05-04 | 2008-11-20 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク | 剛性ステムを有する力測定デバイス |
JP2011026733A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Tohoku Univ | 触刺激測定装置 |
WO2013061356A1 (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-02 | 株式会社日立製作所 | 滑りセンサ |
JP2013101018A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Seiko Epson Corp | センサー素子、力検出装置およびロボット |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4831598A (ja) * | 1971-08-25 | 1973-04-25 | ||
JPS5719278U (ja) * | 1980-07-07 | 1982-02-01 |
-
1983
- 1983-08-03 JP JP58141029A patent/JPS6034294A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4831598A (ja) * | 1971-08-25 | 1973-04-25 | ||
JPS5719278U (ja) * | 1980-07-07 | 1982-02-01 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008541034A (ja) * | 2005-05-04 | 2008-11-20 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク | 剛性ステムを有する力測定デバイス |
JP2011026733A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Tohoku Univ | 触刺激測定装置 |
WO2013061356A1 (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-02 | 株式会社日立製作所 | 滑りセンサ |
JP2013101018A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Seiko Epson Corp | センサー素子、力検出装置およびロボット |
US9102067B2 (en) | 2011-11-08 | 2015-08-11 | Seiko Epson Corporation | Sensor element, force detecting device, robot and sensor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0448596B2 (ja) | 1992-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6034295A (ja) | 皮膚感覚センサ | |
US8300018B2 (en) | Tactile sensor | |
KR101004941B1 (ko) | 촉각 센서 | |
CN101258389B (zh) | 触觉传感器和触觉传感器应用装置 | |
JPS6034293A (ja) | 皮膚感覚センサ | |
JP6344928B2 (ja) | 荷重センサシステム | |
Chase et al. | A thin-film flexible capacitive tactile normal/shear force array sensor | |
TWI567611B (zh) | 壓力感測器及壓力觸控模組 | |
JPS6034294A (ja) | 皮膚感覚センサ | |
KR102066329B1 (ko) | 촉각 센서, 그 제조 방법 및 그 동작 방법 | |
So et al. | Sensing contact with analog resistive technology | |
Siegel et al. | A capacitive lased tactile sensor | |
JP2663144B2 (ja) | ロボット用グリッパ | |
Wolffenbuttel et al. | Compliant capacitive wrist sensor for use in industrial robots | |
JP7420011B2 (ja) | 触覚センサ | |
Dahiya et al. | System approach: A paradigm for robotic tactile sensing | |
JP2013130530A (ja) | 滑り及び滑り方向検出装置 | |
KR102256241B1 (ko) | 전단 및 수직 응력 감지 센서 및 이의 제조 방법 | |
JPS63217241A (ja) | 接触覚センサ | |
JPH03245027A (ja) | 触覚センサ | |
JPS62238417A (ja) | 多機能マトリツクスセンサ | |
JPS59603A (ja) | 接触センサ−による接触部デ−タの検出方法 | |
JPS62206423A (ja) | 分布型触覚センサの触覚検出方法及びその回路 | |
JPS6132601B2 (ja) | ||
JPS60263690A (ja) | 触覚センサ |