JPS601862A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
- Publication number
- JPS601862A JPS601862A JP58110519A JP11051983A JPS601862A JP S601862 A JPS601862 A JP S601862A JP 58110519 A JP58110519 A JP 58110519A JP 11051983 A JP11051983 A JP 11051983A JP S601862 A JPS601862 A JP S601862A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ions
- implanted
- low temperature
- short time
- source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/10—Internal combustion engine [ICE] based vehicles
- Y02T10/12—Improving ICE efficiencies
Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、MO8型B”BTの製造方法に関する。特に
、相補型MO8・FETからなる高集積度LSIにおい
て有効である。
、相補型MO8・FETからなる高集積度LSIにおい
て有効である。
従来、シリコン・ゲート相補型MO8・FITからなる
LSI製造において、P型M@5−NETのソース・ド
レイン領域には、高濃度(1,OX1016crn″″
2以上)11Bイオンが注入され、ル型M0日・FIT
のソース・ドレイン領域には高濃度(t OX I D
”cm−”以上ラフ5A8イオンカ注入され、該イオ
ン注入層は高温長時間(例えば1000℃ 30分)熱
処理アニールされる。しかしながら、11B及び76八
8は、高温長時間アニールで100%活性化するものの
、11B注入拡散層は、横及び深さ方向に拡がり接合深
さは0.5μ惧以上の大キさになりソース会ドレインの
パンチスル−を引きおこし、P型MO8−FFiTの微
細化を防げた。又 T6A8イオン注入層は、注入イオ
ンの質量がシリコン基板の81に比べて大きく、注入時
にイオン衝突による結晶欠陥を引きおこし、れ型接合に
おけるリーク電流が大きく、欠陥を回復しリーク電流を
減らすためには、どうしても高温アニールが必要である
。従って、従来の相補型M08・F’FtT製造方法で
は、微細化が不可能でしかも欠陥によるリーク電流の少
ないL8工の製造ができない。
LSI製造において、P型M@5−NETのソース・ド
レイン領域には、高濃度(1,OX1016crn″″
2以上)11Bイオンが注入され、ル型M0日・FIT
のソース・ドレイン領域には高濃度(t OX I D
”cm−”以上ラフ5A8イオンカ注入され、該イオ
ン注入層は高温長時間(例えば1000℃ 30分)熱
処理アニールされる。しかしながら、11B及び76八
8は、高温長時間アニールで100%活性化するものの
、11B注入拡散層は、横及び深さ方向に拡がり接合深
さは0.5μ惧以上の大キさになりソース会ドレインの
パンチスル−を引きおこし、P型MO8−FFiTの微
細化を防げた。又 T6A8イオン注入層は、注入イオ
ンの質量がシリコン基板の81に比べて大きく、注入時
にイオン衝突による結晶欠陥を引きおこし、れ型接合に
おけるリーク電流が大きく、欠陥を回復しリーク電流を
減らすためには、どうしても高温アニールが必要である
。従って、従来の相補型M08・F’FtT製造方法で
は、微細化が不可能でしかも欠陥によるリーク電流の少
ないL8工の製造ができない。
本発明は、かかる従来の欠点を取り除き、欠陥によるリ
ーク電流が少なくかつ微細化が可能な相補型N0日・F
ETの製造方法を与えることを目的とする。
ーク電流が少なくかつ微細化が可能な相補型N0日・F
ETの製造方法を与えることを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明では、P型M□5−F
ITのソース・ドレイン領域には、BF。
ITのソース・ドレイン領域には、BF。
イ紺ンを1×10五’ cffl−2以上注入し、n型
MO8・FITのソース・ドレイン領域には31pイオ
ンを1x1ot’□−2以上注入し、イオン注入層のア
ニールを900℃以下の低温で、1分以内の短時間熱処
理によって行なうことを特長としてしAる。
MO8・FITのソース・ドレイン領域には31pイオ
ンを1x1ot’□−2以上注入し、イオン注入層のア
ニールを900℃以下の低温で、1分以内の短時間熱処
理によって行なうことを特長としてしAる。
以下、実施例を用いて詳細に説明する。表2は、従来の
相補型MO8・FF1iT製造のフロー・チャートであ
る。ウェル・フィールド膜・ゲート膜、及びPo1yS
iゲート電極形成後、P型MO8@Fl!iTのソニス
自ドレイン領域にIIBイオンを注入し、N型MO8・
FTiTのソース−ドレインに16ABイオンを注入後
、拡散炉を用いた高温長時間熱処理を行ないイオン注入
層の結晶回復及び活性化を行なっていた。従来の製造方
法では第1図に示すごと(ILBイオンの活性化のため
には900℃以上の高温熱処理が必要であり、また76
八Bの質量数が大きいためシリコン基板表面のダメージ
が大きく、ダメージによる拡散接合のリーク電流低減の
ため高温長時間の熱処理アニールを必要とした。しかる
に従来の高温長時間熱処理(例えば 1000°C30
分)では、ボロンの拡散長が大きくなり、拡散接合深さ
及び横波がりが大きくなり、ソース・ドレイン間のパン
チスルーのためP型MOB−FETの縮小化に制限を与
えている。
相補型MO8・FF1iT製造のフロー・チャートであ
る。ウェル・フィールド膜・ゲート膜、及びPo1yS
iゲート電極形成後、P型MO8@Fl!iTのソニス
自ドレイン領域にIIBイオンを注入し、N型MO8・
FTiTのソース−ドレインに16ABイオンを注入後
、拡散炉を用いた高温長時間熱処理を行ないイオン注入
層の結晶回復及び活性化を行なっていた。従来の製造方
法では第1図に示すごと(ILBイオンの活性化のため
には900℃以上の高温熱処理が必要であり、また76
八Bの質量数が大きいためシリコン基板表面のダメージ
が大きく、ダメージによる拡散接合のリーク電流低減の
ため高温長時間の熱処理アニールを必要とした。しかる
に従来の高温長時間熱処理(例えば 1000°C30
分)では、ボロンの拡散長が大きくなり、拡散接合深さ
及び横波がりが大きくなり、ソース・ドレイン間のパン
チスルーのためP型MOB−FETの縮小化に制限を与
えている。
表1は、本発明による相補型MOEI−FFiT製造の
フロー・チャートである。ウェル・フィールド膜・ゲー
ト膜、及びPe1y8iゲート電極形成後、P型MO8
・FETのソース・ドレイン領域にBP、イオンをI
X 10 ” ’cm−2以上注入シ、N1M0E]・
FF1Tのソース・ドレイン領域に31FイオンをlX
10is注入後、ハロゲン・ランプ、グラファイト・ヒ
ーターなどにより低温短時間熱処理を行ないイオン注入
層の結晶回復及び活性化を行なう。本発明において、B
F、を1×1016メ2以上注入するのは、注入層がア
モルファス化するために必要だからである。また31P
をI X I D 16tm”以上注入することも同じ
理由による。BP、または31pによりアモルファス化
されたイオン注入層の結晶回復は700℃以上の熱処理
で可能であり、第1図に示すようにBF、または31p
イオンの活性化は800℃以上の熱処理で100%活性
化する。第1図におけるアニール温度とシート抵抗の相
関は、イオン注入量が1.0×1Q”cnr2アニール
時間が10秒の場合である。
フロー・チャートである。ウェル・フィールド膜・ゲー
ト膜、及びPe1y8iゲート電極形成後、P型MO8
・FETのソース・ドレイン領域にBP、イオンをI
X 10 ” ’cm−2以上注入シ、N1M0E]・
FF1Tのソース・ドレイン領域に31FイオンをlX
10is注入後、ハロゲン・ランプ、グラファイト・ヒ
ーターなどにより低温短時間熱処理を行ないイオン注入
層の結晶回復及び活性化を行なう。本発明において、B
F、を1×1016メ2以上注入するのは、注入層がア
モルファス化するために必要だからである。また31P
をI X I D 16tm”以上注入することも同じ
理由による。BP、または31pによりアモルファス化
されたイオン注入層の結晶回復は700℃以上の熱処理
で可能であり、第1図に示すようにBF、または31p
イオンの活性化は800℃以上の熱処理で100%活性
化する。第1図におけるアニール温度とシート抵抗の相
関は、イオン注入量が1.0×1Q”cnr2アニール
時間が10秒の場合である。
従って、BF2または1lipイオン注入によりアモル
ファス化されたイオン注入層は、900℃以下の低温か
つ1分以内の短時間熱処理でアニール可能である。90
0℃以下の温iで1分以内の熱処理はボロンの拡散再分
布はない、しかも、ル型。
ファス化されたイオン注入層は、900℃以下の低温か
つ1分以内の短時間熱処理でアニール可能である。90
0℃以下の温iで1分以内の熱処理はボロンの拡散再分
布はない、しかも、ル型。
P型のイオンは質量数が81と大きくちがわないため、
低温短時間熱処理により拡散接合のリーク電流は小さい
。従って、本発明の製造方法は、リーク電流が少なくか
つP型MO8−’FKTの縮小化が可能な相補型MO[
3−FFiTを提供する。
低温短時間熱処理により拡散接合のリーク電流は小さい
。従って、本発明の製造方法は、リーク電流が少なくか
つP型MO8−’FKTの縮小化が可能な相補型MO[
3−FFiTを提供する。
表1
本発明による相補型MO8−FInT製造のフロー・チ
ャート 表2 従来の相補型MOEI−FFiT製造のフロー・チャー
ト
ャート 表2 従来の相補型MOEI−FFiT製造のフロー・チャー
ト
第1図・・・・・・ハロゲン・ランプ短時間アニールに
よる拡散層のシート抵抗とアニール 温度の相関を示す図 ”” 80o l0oo t2o。 Tempe−vafuri J Annea”n#第
l (2)
よる拡散層のシート抵抗とアニール 温度の相関を示す図 ”” 80o l0oo t2o。 Tempe−vafuri J Annea”n#第
l (2)
Claims (1)
- シリコン・ゲート相補型MO8・FITからなるLSI
製造において、P型MO86FKTのソース・ドレイン
領域がBF2イオンがlX1018crn−2以上注入
され、ル型MO8−FFiTのソース・ドレイン領域が
31pイオンかI X 10 ”cm−2以上注入され
て形成後、該イオン注入層が低温(900℃以下〕・短
時間(1分以下)熱処理アニールされることを特徴とす
る半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58110519A JPS601862A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58110519A JPS601862A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS601862A true JPS601862A (ja) | 1985-01-08 |
JPH0526343B2 JPH0526343B2 (ja) | 1993-04-15 |
Family
ID=14537848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58110519A Granted JPS601862A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS601862A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6315466A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Pmisトランジスタ−の製造方法 |
JPH0661738U (ja) * | 1993-02-03 | 1994-08-30 | 八千矛化学株式会社 | チューブ体の容器の口部 |
US5685949A (en) * | 1995-01-13 | 1997-11-11 | Seiko Epson Corporation | Plasma treatment apparatus and method |
US6086710A (en) * | 1995-04-07 | 2000-07-11 | Seiko Epson Corporation | Surface treatment apparatus |
US6342275B1 (en) | 1993-12-24 | 2002-01-29 | Seiko Epson Corporation | Method and apparatus for atmospheric pressure plasma surface treatment, method of manufacturing semiconductor device, and method of manufacturing ink jet printing head |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5896763A (ja) * | 1981-12-03 | 1983-06-08 | Seiko Epson Corp | 絶縁ゲート型電界効果トランジスタ素子の製造方法 |
-
1983
- 1983-06-20 JP JP58110519A patent/JPS601862A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5896763A (ja) * | 1981-12-03 | 1983-06-08 | Seiko Epson Corp | 絶縁ゲート型電界効果トランジスタ素子の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6315466A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Pmisトランジスタ−の製造方法 |
JPH0661738U (ja) * | 1993-02-03 | 1994-08-30 | 八千矛化学株式会社 | チューブ体の容器の口部 |
US6342275B1 (en) | 1993-12-24 | 2002-01-29 | Seiko Epson Corporation | Method and apparatus for atmospheric pressure plasma surface treatment, method of manufacturing semiconductor device, and method of manufacturing ink jet printing head |
US5685949A (en) * | 1995-01-13 | 1997-11-11 | Seiko Epson Corporation | Plasma treatment apparatus and method |
US6086710A (en) * | 1995-04-07 | 2000-07-11 | Seiko Epson Corporation | Surface treatment apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0526343B2 (ja) | 1993-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ATE39034T1 (de) | Herstellung von gestapelten mos-bauelementen. | |
JPH0377329A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPS6362227A (ja) | P型ド−パントの特性のその他のp型ド−パントでの修正 | |
JPS601862A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH02191341A (ja) | Mos形電界効果トランジスタの製造方法 | |
JPH0278229A (ja) | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 | |
JPS62266829A (ja) | 浅い接合層の形成方法 | |
JPH0434942A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0221148B2 (ja) | ||
JPH05267333A (ja) | Mos型電界効果トランジスタの製造方法 | |
JPH05315556A (ja) | 相補型mos半導体装置の製造方法 | |
JPH04249315A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JPH0521461A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3525464B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JPS6356916A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0387022A (ja) | 拡散層の形成方法 | |
JP2601209B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPS624316A (ja) | 半導体装置のアニ−ル方法 | |
JPS6321825A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH03276765A (ja) | 半導体集積回路の製造方法 | |
JPS6085512A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0458524A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPS6149428A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0629316A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPS58178561A (ja) | 半導体装置の製造方法 |