JPS60157203A - Powder magnetic material - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain magnetic having high coercive force and high stability by a dry process by introducing a reaction gas containing metallic compound gases of one kind or more into a decompressed vacuum vessel, applying induction energy to produce a low-temperature plasma atmosphere and bringing atmosphere and a powdered material to be treated into contact. CONSTITUTION:Powder to be treated 1 is put into a vessel 2, and housed into a vacuum vessel 3. The vessels 2 and 3 are made of quartz glass so that induction energy is transmitted excellently over a reaction gas in the vessels. The vessels 2 and 3 are evacuated by an exhaust system 4. A gas, such as H2, Ar, He, H2O, O2, CO, CO2, N2, etc. from bombs 5 and 6 and a raw material gas such as metallic carbonyl from bombs 7 and 8 are introduced into the vessel 2 through a mixer 9 and a gas introducing nozzle 10. Induction energy is applied to electrodes 13 and 13' while turning the vessel 2 by an external turning gear 12, low-temperature plasma is generated in the vessels 2 and 3, and the layers of a metal or an oxide of the metal are formed on the surfaces of grains to be treated.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は粉末磁性材料に関し、特に磁気記録媒体で使用
される高保磁力の粉末磁性材料に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to powdered magnetic materials, and more particularly to high coercivity powdered magnetic materials used in magnetic recording media.

従来技術 従来、磁気記録媒体用の粉末磁性材料としては、主に針
状酸化鉄が使用されてきたが、家庭用ＶＴＲの普及や高
性能オーディオカセットテープの実用化に代表されるよ
うに、磁気記録媒体に使用される信号の記録密度、が高
まるにつれて、針状酸化鉄のみでは磁気記録の高密度化
に対処できなくなり、現在、さらに高保磁力、高磁束密
度を有する磁性材料が種々開発されつつある。PRIOR ART Traditionally, acicular iron oxide has been mainly used as a powder magnetic material for magnetic recording media, but magnetic As the recording density of signals used in recording media increases, acicular iron oxide alone cannot cope with the increased density of magnetic recording, and various magnetic materials with even higher coercive force and higher magnetic flux density are currently being developed. be.

このような材料の１つとして、針状γ−Ｆｅ２０３粒子
の表面にコバルト化合物を被着した、いわゆるコバルト
被着型γ−Ｆｅ２０３粒子が開発され、高性能オーディ
オテープ、ビデオテープ等で実用化されている。代表的
なコバルト被着型γ−Ｆｅ２０３粒子の作製は、特公昭
５６−４８４４４の実施例中に示されているように、次
のようにして行なわれる。As one such material, so-called cobalt-coated γ-Fe203 particles, in which a cobalt compound is coated on the surface of acicular γ-Fe203 particles, have been developed and have been put into practical use in high-performance audio tapes, video tapes, etc. ing. Typical cobalt-coated γ-Fe203 particles are produced in the following manner, as shown in Examples of Japanese Patent Publication No. 56-48444.

保磁力４０００ｅの針状７−Ｆｅ２Ｏ３１０００Ｆを水
１０ｔに分散させる。これに硫酸コバルト１９１１を１
ｔの水に溶解したものを加える。これに苛性ソーダ４０
０２を１ｔの水に溶解したものを加える。さらに硫酸第
１鉄７５０２を２ｔの水に溶解したものを加える。この
ようにして出来たスラリーを加熱し、１時間煮沸し、洗
浄、ろ過、乾燥して磁性粉を得る。Acicular 7-Fe2O3 1000F having a coercive force of 4000e is dispersed in 10 tons of water. To this, add 1 part of cobalt sulfate 1911.
Add t dissolved in water. Add 40 ml of caustic soda to this
Add 02 dissolved in 1 t of water. Furthermore, ferrous sulfate 7502 dissolved in 2 tons of water is added. The slurry thus produced is heated, boiled for 1 hour, washed, filtered and dried to obtain magnetic powder.

このようにして得られた磁性粉は高い保磁力　１（上記
の実施例では８０００ｅ　）を有し、温度安定性が高い
ことが示されている。It has been shown that the magnetic powder thus obtained has a high coercive force 1 (8000e in the above example) and high temperature stability.

上記した方法によりコバルト被着型γ−Ｆ＠２０３粒子
を得る場合、粒子の還元、酸化というドライプロセスで
作製されたγ−Ｆｅ２０３粒子を再び水中に分散させコ
バルト被着処理するというウェットプルセスを経て、そ
してまた再度乾燥させるというドライとウェットの混在
した磁性粉製造プロセスとなるという欠点を有している
。When obtaining cobalt-coated γ-F@203 particles by the method described above, a wet process is performed in which γ-Fe203 particles produced by a dry process of particle reduction and oxidation are dispersed in water again and subjected to cobalt coating treatment. The disadvantage is that the magnetic powder production process involves a mixture of dry and wet processes, in which the magnetic powder is then dried again.

さらに、コバルト被着処理において多量のアルカリを使
用するため、被着処理後に洗浄する必要があり、これに
人足の水と時間を要する。Furthermore, since a large amount of alkali is used in the cobalt deposition process, it is necessary to clean it after the cobalt deposition process, which requires a lot of water and time.

発明の目的 本発明の目的は、高い保磁力を有し、温度安定性のすぐ
れた粉末磁性材料をドライプロセスで提供することにあ
る。OBJECTS OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a powder magnetic material having high coercive force and excellent temperature stability using a dry process.

発明の構成 本発明の目的は、減圧された真空容器内に１種類以上の
金属化合物気体を含む反応ガスを導入し、該反応ガスに
誘導エネルギーを加えることにより該反応ガスを低温プ
ラズマ界囲気とし、これと粉末状の被処理物とを接触さ
せることにより達成される。Structure of the Invention An object of the present invention is to introduce a reaction gas containing one or more types of metal compound gas into a reduced pressure vacuum container, and apply induction energy to the reaction gas to transform the reaction gas into a low-temperature plasma surrounding atmosphere. This is accomplished by bringing this into contact with a powdered object to be processed.

低圧に保った気体に電界を作用させると、気体中に存在
する自由電子が電界加速されて運動エネルギーを獲得す
る。このとき、系内は低圧であるため分子あるいは原子
間の距離は常圧に比べて非常に大きくなっており、原子
は空間中を充分長く加速されて１０〜２０　ｅＶものエ
ネルギーを持つようになる。このように高いエネルギー
を持つ電子が気体中の分子や原子に衝突すると、これら
を励起しラジカル、イオン、電子などを生成する。When an electric field is applied to a gas kept at low pressure, the free electrons present in the gas are accelerated by the electric field and acquire kinetic energy. At this time, because the pressure inside the system is low, the distance between molecules or atoms is much larger than at normal pressure, and the atoms are accelerated in space for a long enough time to have an energy of 10 to 20 eV. . When these high-energy electrons collide with molecules or atoms in a gas, they excite them and generate radicals, ions, electrons, etc.

ここで生成した電子は再び電界加速を受けて別の分子や
原子に衝突し、これらを励起する。こうした連釦作用で
系内の気体は電子、イオン、ラジカルなどを豊富に含ん
だ状態となり、これはプラズマガスと呼ばれている。The electrons generated here are accelerated by the electric field again and collide with other molecules or atoms, exciting them. Due to this combination of buttons, the gas within the system becomes rich in electrons, ions, radicals, etc., and this is called plasma gas.

上記のプラズマ中ではイオンも当然電界加速を受けるが
、電子に比べてはるかに質量が大きいので速度をあまり
獲得できず、またラジカル−や未励起分子、原子はまっ
たく加速されない。このように、低圧におけるプラズマ
では、イオン、ラジカル、未励起分子、原子はほとんど
速度を持たず、電子だけが高速度を持っている。この状
態を低温プラズマと呼び、化学的に活性なラジカルやイ
オンを豊富に含んでいるため化学反応の起りやすい状態
になっている。本発明は、この状態を利用して被処理物
粒子表面に金属または金属の酸化物の層を形成しようと
いう新規な方法によるものであり、工程がドライ化でき
るという点に特徴がある。In the plasma described above, ions are naturally accelerated by an electric field, but since they have much larger mass than electrons, they cannot gain much velocity, and radicals, unexcited molecules, and atoms are not accelerated at all. Thus, in a plasma at low pressure, ions, radicals, unexcited molecules, and atoms have almost no velocity, and only electrons have high velocity. This state is called low-temperature plasma, and it contains abundant chemically active radicals and ions, making it easy for chemical reactions to occur. The present invention is based on a novel method that utilizes this state to form a layer of metal or metal oxide on the surface of the particles to be treated, and is characterized in that the process can be made dry.

本発明の好適な実施態様は、減圧された真空容器内にコ
バルト化合物気体を含む反応ガスを導入し、これを低温
プラズマ雰囲気に変換して針状酸化鉄粉末（Ｆ　ｅ３０
４　、γ−Ｆｅ２．０３など）と接触させることにより
、針状酸化鉄粒子表面にコバルトまたはコバルトを含む
酸化物の層を形成したコバルト被着針状酸化鉄である。In a preferred embodiment of the present invention, a reaction gas containing a cobalt compound gas is introduced into a reduced pressure vacuum vessel, and this is converted into a low-temperature plasma atmosphere to produce acicular iron oxide powder (Fe30
4, γ-Fe2.03, etc.) to form a layer of cobalt or an oxide containing cobalt on the surface of the acicular iron oxide particles.

本発明における金属化合物は金属のカルボニル化合物、
ハロゲ、ン化物、ア七チルアセトン塩、ビスジクロペン
タジェニル化合物、アルコラード等が利用できる。しか
し本発明では、これらの化合物を真空容器内に気体とし
て導入しなければならず、この目的のためにはＦｅ　（
Ｃｏ　）５　Ｎ　Ｃｏｔ　（Ｃｏ）ｓ　−。The metal compound in the present invention is a metal carbonyl compound,
Halogens, dichloride, a7tylacetone salt, bisdiclopentagenyl compound, alcoholade, etc. can be used. However, in the present invention, these compounds must be introduced as gases into the vacuum container, and for this purpose Fe (
Co)5NCot(Co)s-.

Ｎ１（Ｃｏ）、などの低温で気化可能な金属カルボニル
が最も有効に使用しうる。Metal carbonyls that can be vaporized at low temperatures, such as N1(Co), can be used most effectively.

上記金属化合物気体の他に、Ｈｚ　、Ａｒ、　Ｈｅ、Ｈ
ｚ０．０２、Ｃ０１Ｃ０２、Ｎ２などのガスが真空容器
内に導入される。これらのガスは、真空容器内の圧力を
コントロールしたり、真空容器内での低温プラズマの発
生を容易にしたり、反応ガス中の金属化合物と反応して
金属または金属の酸化物の層を被処理物粒子表面に形成
させるために使用される。In addition to the above metal compound gases, Hz, Ar, He, H
Gases such as z0.02, C01C02, N2 are introduced into the vacuum vessel. These gases can be used to control the pressure inside the vacuum vessel, facilitate the generation of low-temperature plasma within the vacuum vessel, or react with metal compounds in the reaction gas to form a layer of metal or metal oxide to be treated. It is used to form particles on the surface of particles.

低温プラズマ雰囲気を形成するために加えられる誘導エ
ネルギーとしては、ＤＣ電界、１０３〜１０”Ｈｚのラ
ジオ波電界、１０９〜１０口Ｈｚのマイクロ波電界など
が利用できる。As the induction energy applied to form the low-temperature plasma atmosphere, a DC electric field, a radio wave electric field of 10 3 to 10'' Hz, a microwave electric field of 10 9 to 10 Hz, etc. can be used.

低温プラズマ雰囲気と被処理物との接触は通常室温−で
行なわれる。室温で行なっても被処理物粒子表面には金
属または金属の酸化物の層が充分に形成されるが、接触
を加熱下で行なうと層の形成速度が増し、針状酸化鉄粒
子表面にコバルト化合物の層を形成した時の保磁力の上
昇も大きく好ましい。加熱する温度は１００℃以上が望
ましい。The contact between the low-temperature plasma atmosphere and the object to be processed is usually carried out at room temperature. Even when the contact is carried out at room temperature, a layer of metal or metal oxide is sufficiently formed on the surface of the particles to be treated, but when the contact is carried out under heating, the rate of layer formation increases, and cobalt is formed on the surface of the acicular iron oxide particles. It is also preferable that the coercive force increases greatly when a layer of the compound is formed. The heating temperature is preferably 100°C or higher.

さらに、被処理物粒子表面に金属または金属の酸化物の
層を形成した後に熱処理を施すと、やはり保磁力が上昇
し好ましい。この−加熱は２００℃以上が望ましい。ま
たこの加熱は低温プラズマ中で行なうこともできるが、
この時の加熱は１００℃以上とすることが望ましい。　
− 以下に図面を用いて本発明をく−わしく説明する。Furthermore, it is preferable to perform heat treatment after forming a layer of metal or metal oxide on the surface of the particles to be treated, since the coercive force will also increase. This heating is preferably at 200°C or higher. This heating can also be done in low temperature plasma;
It is desirable that the heating at this time be 100° C. or higher.
- The present invention will be explained in detail below using the drawings.

第１図は、本発明で使用された低温プラズマ処理装置の
１例である。被処理粉＊１は”容器２９中に入れられ、
さらに真空容器３に納められている。FIG. 1 shows an example of a low-temperature plasma processing apparatus used in the present invention. The powder to be treated *1 is placed in a container 29,
Furthermore, it is housed in a vacuum container 3.

容器２および３は内部の反応ガスに誘導エネルギーがよ
く伝達されるように石英ガラスで作られている。容器２
および３は、排気装置４によって排気される。このとき
、被処理物粒子表面に金属の層を形成したい場合は容器
２および３内を１×３ １０　Ｔｏｒｒ以下の高真空に排気するのが望ましい。The containers 2 and 3 are made of quartz glass so that the induced energy is well transferred to the reaction gas inside. container 2
and 3 are exhausted by the exhaust device 4. At this time, if it is desired to form a metal layer on the surface of the particles to be treated, it is desirable to evacuate the inside of the containers 2 and 3 to a high vacuum of 1×3 10 Torr or less.

次にボンベ５および６からＨｚ、Ａ　ｒ　％　Ｈ＠　Ｓ
ｎ２０．０２　、Ｃ０％　ＣＯｘ　、Ｎ２などのガスを
、またボンベ７および８からは金属カルボニルなどの原
料ガスをミキサー９およびガス導入？ズル１０を介して
容器２内に導入する。ここで、ボンベ５および６から導
入されるガスは、被処理物粒子表面に金属の層を形成し
たい場合はＨｚあるいはＮ　ＨｚとＡｒ。Next, from cylinders 5 and 6 Hz, A r % H@S
Gases such as n20.02, C0% COx, and N2 are introduced into the mixer 9 and raw material gases such as metal carbonyl are introduced from cylinders 7 and 8. It is introduced into the container 2 through the nozzle 10. Here, the gases introduced from the cylinders 5 and 6 are Hz or NHz and Ar when it is desired to form a metal layer on the surface of the particles to be treated.

Ｈｅ　、、Ｎ２などの不活性ガスとの混合ガスが好適に
選定される。また被処理物粒子表面に酸化物を形成した
い場合は、Ｈｚ０、Ｃｏ５ＣＯ２，０２などが、あるい
は、これらとＡｒ、ＨｅＸＮ２などの不活性ガスとの混
合ガスが好適に選定される。A gas mixture with an inert gas such as He, N2 is preferably selected. Further, when it is desired to form an oxide on the surface of the particles to be treated, gases such as Hz0, Co5CO2,02, or a mixed gas of these and an inert gas such as Ar or HeXN2 are suitably selected.

次いで、真空容器２および６内を圧力フントｔ＋−ルバ
ルブ１１の開閉を利用して０．０１〜１０Ｔｏｒｒに制
御する。次に、容器２内の被処理粉末１が均一に処理さ
れるように、外部回転装置１２で容器２を１〜３０回転
／回転中っくりした速度で回転させながら、電極１３お
よび１３′に誘導エネルギーを加え、容器２および３内
に低温プラズマを発生させ、被処理物粒子表面に金属ま
たは金属の酸化物の層を形成する。この処理の過程で、
電気炉１４．１４′により加熱しながら行なうことも可
能であるし、また処理後に加熱を行なうこ七もできる。Next, the inside of the vacuum vessels 2 and 6 is controlled to 0.01 to 10 Torr by opening and closing the pressure valve 11. Next, in order to uniformly process the powder 1 in the container 2, the container 2 is rotated by the external rotating device 12 at a moderate speed of 1 to 30 revolutions, and the electrodes 13 and 13' are rotated. Inductive energy is applied to generate low-temperature plasma in the containers 2 and 3, and a layer of metal or metal oxide is formed on the surface of the particles to be treated. During this process,
It is possible to carry out the process while being heated in an electric furnace 14, 14', or it is also possible to carry out heating after the treatment.

針状酸化鉄粒子を上記のように処理し、粒子表面にコバ
ルＦあるいはコバルトを含む酸化物の層を形成した場合
、処理された針状酸化鉄粒子は高保磁力を有し、しかも
温度安定性のすぐれたものになる。When acicular iron oxide particles are treated as described above to form a layer of cobal F or an oxide containing cobalt on the particle surface, the treated acicular iron oxide particles have high coercive force and are temperature stable. become excellent.

以下実施例により本発明をさらに詳細に説明するＯ 〔実施例１〕 第１図において、被処理粉末１としてγ−Ｆ６２０３ｓ
ｏｏｔ（針状比７　：　１．６　＝７８　ｅｍｕ／Ｓ’
、Ｉｌｃ＝３８００ｅ）を容器２内に入れ、容器２およ
び３内を排気装置４によって７Ｘ１０　Ｔｏｒｒまで排
気した。次にボンベ５から）Ｉ２ガスを毎分２００　ｃ
ｍ”の割合で、またボンベ７からコバルトカルボニルＣ
ｏｇ（Ｃｏ）ａのガスを毎分２００　ｃｍ”の割合で容
器２内に流した。１次いで、容′ｎ２および３内をａ、
５Ｔｏｒｒに制御し、容器２を毎分５回転で回転させな
がら、電極１３．１３′に１＆５６ＭＨｚの高周波を２
００Ｗ印加し、γ−Ｆｅ２０３粉末を処理した。[Example 1] In Fig. 1, the powder to be treated 1 is γ-F6203s.
oot (acicular ratio 7: 1.6 = 78 emu/S'
, Ilc=3800e) was placed in container 2, and the insides of containers 2 and 3 were evacuated to 7×10 Torr by exhaust device 4. Next, from cylinder 5) I2 gas at 200 c/min
m” and cobalt carbonyl C from cylinder 7.
og(Co)a gas was flowed into container 2 at a rate of 200 cm/min.
While controlling the pressure to 5 Torr and rotating the container 2 at 5 revolutions per minute, high frequencies of 1 and 56 MHz are applied to the electrodes 13 and 13'.
00W was applied to process the γ-Fe203 powder.

第２図に処理時間とコバルトの付着量を示した。・また
第３図は、コバルトの付着量と保磁力ｆｌｅの関係を示
している。これらの図中、２１および５１の線は上記の
方法で処理した場合の関係を示しており、２２および３
２の線は上記の方法において１５０℃に加熱しながら処
理した場合の関係を示している。Figure 2 shows the treatment time and the amount of cobalt deposited.・Furthermore, FIG. 3 shows the relationship between the amount of cobalt deposited and the coercive force fle. In these figures, lines 21 and 51 show the relationship when processed by the above method, and lines 22 and 3
Line 2 shows the relationship when processing is performed while heating at 150° C. in the above method.

〔実施例２〕 第１図において、被処理粉末１としてγ−Ｆａ２０３ｓ
ｏａｒ（針状比７：１、σ、＝７８　ｅｍｕ／ｆ　ｓ　
Ｈｅ＝５８００ｅ）を容器２内に入れ、容器２および３
内を排気装置４によってＩ　Ｘ　１０　Ｔｏｒｒまで排
気した。次にボンベ５からＡｒガスを毎分１５０ｃｍ”
の割合で、またボンベ６から０２ガスを毎分５０ｃｍ’
の割合で、またボンベ７からコバルトカルボニルＣｏｄ
（Ｃｏ）龜のガスを毎分２００　ａｍ”の割合で、また
ボンベ８から鉄カルボニ／Ｉ／Ｆ・（ＣＯ）、のガスを
毎分２００　ｃｍ”の割合で容器２内に流した。次いで
、容器２および３内を０．５　Ｔｏｒｒに制御し、容器
２を毎分５回転で回転させながら、電ｆｉｌｉｉ１３．
１３′にＩＮ５４ＭＨｚの高周波を２００Ｗ印加し、γ
−Ｆｅ２０Ｂ粉末を処理した。[Example 2] In Fig. 1, γ-Fa203s was used as the powder to be treated 1.
oar (acicular ratio 7:1, σ, = 78 emu/f s
He=5800e) into container 2, and containers 2 and 3.
The inside was evacuated to I x 10 Torr using an exhaust device 4. Next, Ar gas is supplied from cylinder 5 at a rate of 150cm/min.
02 gas from cylinder 6 at a rate of 50 cm' per minute.
Also from cylinder 7 cobalt carbonyl Cod
(Co) gas was flowed into the container 2 at a rate of 200 am'' per minute, and iron carbony/I/F.(CO) gas was flowed into the container 2 from the cylinder 8 at a rate of 200 cm'' per minute. Next, while controlling the insides of containers 2 and 3 to 0.5 Torr and rotating container 2 at 5 revolutions per minute, an electric current 13.
Apply 200W of IN54MHz high frequency to 13',
- Treated Fe20B powder.

第４図は処理時間とコバルトの付着量の関係を示す。ま
た第５図は、このときのコバルト付着量と保磁力Ｈｅの
関係を示している。第６図は上記の方法において、加熱
しながら１０分間処理した場合の処理時の温度とコバル
ト付着量との関係（６１）および処理時の温度と保磁力
Ｈｅの関係（６２）を示している。FIG. 4 shows the relationship between treatment time and amount of cobalt deposited. Further, FIG. 5 shows the relationship between the amount of cobalt deposited and the coercive force He at this time. Figure 6 shows the relationship between the temperature during treatment and the amount of cobalt deposited (61) and the relationship between the temperature during treatment and the coercive force He (62) when the process is performed for 10 minutes while heating in the above method. .

第７図は、上記の方法において、コバルト付着量Ｃｏ／
γ−Ｆｅｚ０３が３ｗｔ％になるように室温で処理した
後、各温度で熱処理した時の熱処理温度と保磁力Ｈｅの
関係を示している。図中７１の線は空気中３０分間熱処
理したものであり、７２の線は空気のプラズマ（容器内
の圧力はＩ　Ｔｏｒｒに制御した）中で熱処理を行なっ
たものである。FIG. 7 shows the amount of cobalt deposited Co/
It shows the relationship between heat treatment temperature and coercive force He when heat treatment was performed at each temperature after treatment at room temperature so that γ-Fez03 was 3 wt%. In the figure, the line 71 shows the result of heat treatment in air for 30 minutes, and the line 72 shows the result of heat treatment in air plasma (the pressure inside the container was controlled at I Torr).

第８図は、温度安定性を示すものであり、各温度におけ
る保磁力と２５℃における保磁力の比を加熱温度に対し
て示している。図中８２の線が本実施例で得られたもの
であり、コバルト付着量Ｃｏ／γＦ＠２０３が５ｖｔ％
になるように室温で処理したものである。また図中８１
および８３の線は、比較のためそれぞれγＦ１０３およ
びコバルトドープｙＦ＠１０ａの温度依存性を示してい
る。FIG. 8 shows the temperature stability, and shows the ratio of the coercive force at each temperature and the coercive force at 25° C. with respect to the heating temperature. The line 82 in the figure is obtained in this example, and the cobalt adhesion amount Co/γF@203 is 5vt%.
It was processed at room temperature so that Also, 81 in the figure
Lines 83 and 83 show the temperature dependence of γF103 and cobalt-doped yF@10a, respectively, for comparison.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

、　実施例１における第２図及び第３図の結果、及び書
施例２における第４図及び第５図の結果から分るように
、プラズマ処理時間やガス組成を調整することによりＣ
ｏ被着量を制御することができ、それに比例して保磁力
Ｈｅを広い範囲で制御することができる。また、第２図
、第３図、及び第６図に示されたように、ブラズヤ処理
温度を変えることによりＣｏ被着量及び保磁力を制御す
ることができる。さらに、得られたＣｏ被着磁性粉は第
７図に示すように熱処理を行うことによって保磁力を制
御することも可能である０これらのデータから分るよう
に、本発明のプラズマ処理プロセスにより、磁性粉の保
磁力は６重量％程度までのＣ。As can be seen from the results in Figures 2 and 3 in Example 1 and Figures 4 and 5 in Example 2, by adjusting the plasma treatment time and gas composition, C
o The amount of deposition can be controlled, and the coercive force He can be controlled within a wide range in proportion to it. Furthermore, as shown in FIGS. 2, 3, and 6, the amount of Co deposited and the coercive force can be controlled by changing the blasting temperature. Furthermore, it is also possible to control the coercive force of the obtained Co-coated magnetic powder by subjecting it to heat treatment as shown in Figure 7. As can be seen from these data, the plasma treatment process of the present invention , the coercive force of the magnetic powder is C up to about 6% by weight.

被着によりＨｃ＝８０ＤＯ・程度までの保磁力を有する
磁性粉末を自由に得ることができる。また、本発明のＣ
ｏ被着γＦｅ２Ｏ３粉末はビデオテープ等に応用される
もので、広範囲の使用温度条件下に使用されるが、第８
図の結果から分るように、本発明の磁性粉末（８２のも
の）は従来のＣｏドープｒＦｅ＊ｏｘ（８！ｉのもの）
よりもはるかに温度安定性が良い。By deposition, it is possible to freely obtain magnetic powder having a coercive force up to about Hc=80 DO. Moreover, C of the present invention
o The adhered γFe2O3 powder is applied to video tapes, etc., and is used under a wide range of operating temperature conditions.
As can be seen from the results in the figure, the magnetic powder of the present invention (82) is different from the conventional Co-doped rFe*ox (8!i)
It has much better temperature stability than

以上のように、本発明によると、ドライプロセスにより
Ｃｏ等を被着したγＦｅ２Ｏ３等の高保磁力及び高安定
性の磁性粉末が得られる。またこのため、従来必要であ
った湿式処理の欠点が無くなり、工程上も非常に有利に
なる。As described above, according to the present invention, a magnetic powder having high coercive force and high stability, such as γFe2O3, coated with Co or the like can be obtained by a dry process. Furthermore, this eliminates the drawbacks of the conventionally necessary wet processing, which is very advantageous in terms of process.

なお、本発明はγＦｅ２Ｏ３１’にＣｏまたはＣｏ−Ｆ
ｅを被着する例について説明したが、Ｆｅ３Ｏ４粉末に
対するドライブ田七入処理にも適用できるし、さらに被
着金属もＣｏ、Ｆ＠、Ｎｉ、Ｃｒの少くとも１種などを
用いうる。そして、一般には、プラズマ化が可能な金属
化合物気体を用いて、当該金属の被着が必要な被処理磁
性粉末をプラズマ処理することも本発明に含まれる。In addition, in the present invention, Co or Co-F is added to γFe2O31'.
Although the explanation has been given on an example in which a metal is deposited, the present invention can also be applied to a drive treatment for Fe3O4 powder, and at least one of Co, F@, Ni, and Cr may be used as the deposited metal. In general, the present invention also includes plasma-treating the magnetic powder to be treated, which requires the deposition of the metal, using a metal compound gas that can be turned into plasma.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の方法を実施する処理の概念図、第２図
は本発明の実施例１におけるプラズマ処理時間とコバル
ト被着量の関係を示すグラフ、第３図は実施例１におけ
るコパル）含有量と保磁力の関係を示すグラフ、第４図
は実施例２におけるプラズマ処理時間とコバルト被着量
の関係を示すグラフ、第５図は実施例２におけるコバル
ト被着量と保磁力の関係を示すグラフ、第６図は実施例
２におけるプラズマ処理温度とコバルト被着量及び保磁
力の関係を示すグラフ、第７図は実施例２で得た磁性粉
末の熱処理温度と保磁力の関係を示すグラフ、及び第８
図は実施例２で得た磁性粉末の保磁力の熱安定性を比較
例と共に示すグラフであ処１叶門（泳 Ｃｏ７ＴＦｅ２０３（５７０１０） 第２図 第３図 第４図 ０　’１０　２０　３０ ７（埋晴間Ｃ冷） 第５図 ：！Ｉ［ ″″″０ 島−フ７［」 第８０ 手続補正書 昭和５９年　３月２１［１ 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 市（’ｌの表示　昭和５９年　特願第　１０９９９　号
発明′）名称　粉末・・１超・注材料 補市をずろ者 ｌｔｌ’ｌとの関係　特〃削１１願人 名（イ１、（３０６）ティーディーケイ株式会社代理人 抽１１′、の対象 １ｉｌｉ　ｉ＋：、の内容　別紙の通り先きに提出した
図面中第２図を別紙の通り補正する。Fig. 1 is a conceptual diagram of the process of implementing the method of the present invention, Fig. 2 is a graph showing the relationship between plasma processing time and cobalt deposition amount in Example 1 of the present invention, and Fig. 3 is a graph showing the relationship between the plasma treatment time and the amount of cobalt deposited in Example 1. ) A graph showing the relationship between content and coercive force, Figure 4 is a graph showing the relationship between plasma treatment time and cobalt deposition amount in Example 2, and Figure 5 is a graph showing the relationship between cobalt deposition amount and coercive force in Example 2. FIG. 6 is a graph showing the relationship between plasma treatment temperature, cobalt deposition amount, and coercive force in Example 2. FIG. 7 is a graph showing the relationship between heat treatment temperature and coercive force of the magnetic powder obtained in Example 2. and the eighth
The figure is a graph showing the thermal stability of the coercive force of the magnetic powder obtained in Example 2 together with a comparative example. (Buharuma C cold) Figure 5:! 1981 Patent Application No. 10999 Invention') Name: Powder...1, Relationship with the person who cheated on the supplementary market for injection materials Special cut 11 Name of applicant (I1, (306) TDC Co., Ltd. agent) Contents of the subject 1ili i+ of Person Lottery 11', Figure 2 of the drawings submitted earlier is corrected as shown in the attached sheet.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １、減圧された真空容器内に１種類以上の金属化合物気
体を含む反応ガスを導入し、該反応ガスに誘導エネルギ
ーを加えることにより該反応ガスを低温プラズマ雰囲気
とし、これと被処理物粉末扮末とを接触させることによ
り被処理物粉末の粒子表面に金属または金属の酸化物の
層を形成したことを特徴とする粉末磁性材料。 ２、　粉末磁性材料は熱処理されている特許請求の範囲
第１項に記載の粉末磁性材料。 五　金属化合物が金属力〃ボニルであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項または第２項記載の粉末磁性材
料。 ４、　反応ガスとして導入される少なくとも１種類の金
属化合物にコバルトを含むことを特徴とする特許請求の
範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の粉末磁性材
料。 ５、　粉末状の被処理物が針状酸化鉄粉末であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれ
かに記載の粉末磁性材料。 ＆　反応ガスの低温プラズマ雰囲気と粉末状の被処理物
との接触が加熱下で行なわれることを特徴とする特許請
求の範囲第１項ないし第５項のいずれかに記載の粉末磁
性材料。[Claims] 1. A reaction gas containing one or more metal compound gases is introduced into a reduced pressure vacuum container, and induction energy is applied to the reaction gas to create a low-temperature plasma atmosphere; 1. A powder magnetic material characterized in that a layer of metal or metal oxide is formed on the surface of particles of a powder to be processed by contacting powder with a powder to be processed. 2. The powder magnetic material according to claim 1, wherein the powder magnetic material is heat-treated. (5) The powder magnetic material according to claim 1 or 2, wherein the metal compound is metallobonyl. 4. The powder magnetic material according to any one of claims 1 to 3, wherein at least one metal compound introduced as a reactive gas contains cobalt. 5. The powdered magnetic material according to any one of claims 1 to 4, wherein the powdered material to be processed is acicular iron oxide powder. & The powdered magnetic material according to any one of claims 1 to 5, wherein the contact between the low-temperature plasma atmosphere of the reactive gas and the powdered object to be processed is performed under heating.