JPS60157203A - 粉末磁性材料 - Google Patents
粉末磁性材料Info
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- JPS60157203A JPS60157203A JP59010999A JP1099984A JPS60157203A JP S60157203 A JPS60157203 A JP S60157203A JP 59010999 A JP59010999 A JP 59010999A JP 1099984 A JP1099984 A JP 1099984A JP S60157203 A JPS60157203 A JP S60157203A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/032—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials
- H01F1/04—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/06—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys in the form of particles, e.g. powder
- H01F1/063—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys in the form of particles, e.g. powder with a non magnetic core
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の分野
本発明は粉末磁性材料に関し、特に磁気記録媒体で使用
される高保磁力の粉末磁性材料に関するものである。
される高保磁力の粉末磁性材料に関するものである。
従来技術
従来、磁気記録媒体用の粉末磁性材料としては、主に針
状酸化鉄が使用されてきたが、家庭用ＶＴＲの普及や高
性能オーディオカセットテープの実用化に代表されるよ
うに、磁気記録媒体に使用される信号の記録密度、が高
まるにつれて、針状酸化鉄のみでは磁気記録の高密度化
に対処できなくなり、現在、さらに高保磁力、高磁束密
度を有する磁性材料が種々開発されつつある。
状酸化鉄が使用されてきたが、家庭用ＶＴＲの普及や高
性能オーディオカセットテープの実用化に代表されるよ
うに、磁気記録媒体に使用される信号の記録密度、が高
まるにつれて、針状酸化鉄のみでは磁気記録の高密度化
に対処できなくなり、現在、さらに高保磁力、高磁束密
度を有する磁性材料が種々開発されつつある。
このような材料の１つとして、針状γ−Ｆｅ２０３粒子
の表面にコバルト化合物を被着した、いわゆるコバルト
被着型γ−Ｆｅ２０３粒子が開発され、高性能オーディ
オテープ、ビデオテープ等で実用化されている。代表的
なコバルト被着型γ−Ｆｅ２０３粒子の作製は、特公昭
５６−４８４４４の実施例中に示されているように、次
のようにして行なわれる。
の表面にコバルト化合物を被着した、いわゆるコバルト
被着型γ−Ｆｅ２０３粒子が開発され、高性能オーディ
オテープ、ビデオテープ等で実用化されている。代表的
なコバルト被着型γ−Ｆｅ２０３粒子の作製は、特公昭
５６−４８４４４の実施例中に示されているように、次
のようにして行なわれる。
保磁力４０００ｅの針状７−Ｆｅ２Ｏ３１０００Ｆを水
１０ｔに分散させる。これに硫酸コバルト１９１１を１
ｔの水に溶解したものを加える。これに苛性ソーダ４０
０２を１ｔの水に溶解したものを加える。さらに硫酸第
１鉄７５０２を２ｔの水に溶解したものを加える。この
ようにして出来たスラリーを加熱し、１時間煮沸し、洗
浄、ろ過、乾燥して磁性粉を得る。
１０ｔに分散させる。これに硫酸コバルト１９１１を１
ｔの水に溶解したものを加える。これに苛性ソーダ４０
０２を１ｔの水に溶解したものを加える。さらに硫酸第
１鉄７５０２を２ｔの水に溶解したものを加える。この
ようにして出来たスラリーを加熱し、１時間煮沸し、洗
浄、ろ過、乾燥して磁性粉を得る。
このようにして得られた磁性粉は高い保磁力 １（上記
の実施例では８０００ｅ ）を有し、温度安定性が高い
ことが示されている。
の実施例では８０００ｅ ）を有し、温度安定性が高い
ことが示されている。
上記した方法によりコバルト被着型γ−Ｆ＠２０３粒子
を得る場合、粒子の還元、酸化というドライプロセスで
作製されたγ−Ｆｅ２０３粒子を再び水中に分散させコ
バルト被着処理するというウェットプルセスを経て、そ
してまた再度乾燥させるというドライとウェットの混在
した磁性粉製造プロセスとなるという欠点を有している
。
を得る場合、粒子の還元、酸化というドライプロセスで
作製されたγ−Ｆｅ２０３粒子を再び水中に分散させコ
バルト被着処理するというウェットプルセスを経て、そ
してまた再度乾燥させるというドライとウェットの混在
した磁性粉製造プロセスとなるという欠点を有している
。
さらに、コバルト被着処理において多量のアルカリを使
用するため、被着処理後に洗浄する必要があり、これに
人足の水と時間を要する。
用するため、被着処理後に洗浄する必要があり、これに
人足の水と時間を要する。
発明の目的
本発明の目的は、高い保磁力を有し、温度安定性のすぐ
れた粉末磁性材料をドライプロセスで提供することにあ
る。
れた粉末磁性材料をドライプロセスで提供することにあ
る。
発明の構成
本発明の目的は、減圧された真空容器内に１種類以上の
金属化合物気体を含む反応ガスを導入し、該反応ガスに
誘導エネルギーを加えることにより該反応ガスを低温プ
ラズマ界囲気とし、これと粉末状の被処理物とを接触さ
せることにより達成される。
金属化合物気体を含む反応ガスを導入し、該反応ガスに
誘導エネルギーを加えることにより該反応ガスを低温プ
ラズマ界囲気とし、これと粉末状の被処理物とを接触さ
せることにより達成される。
低圧に保った気体に電界を作用させると、気体中に存在
する自由電子が電界加速されて運動エネルギーを獲得す
る。このとき、系内は低圧であるため分子あるいは原子
間の距離は常圧に比べて非常に大きくなっており、原子
は空間中を充分長く加速されて１０〜２０ ｅＶものエ
ネルギーを持つようになる。このように高いエネルギー
を持つ電子が気体中の分子や原子に衝突すると、これら
を励起しラジカル、イオン、電子などを生成する。
する自由電子が電界加速されて運動エネルギーを獲得す
る。このとき、系内は低圧であるため分子あるいは原子
間の距離は常圧に比べて非常に大きくなっており、原子
は空間中を充分長く加速されて１０〜２０ ｅＶものエ
ネルギーを持つようになる。このように高いエネルギー
を持つ電子が気体中の分子や原子に衝突すると、これら
を励起しラジカル、イオン、電子などを生成する。
ここで生成した電子は再び電界加速を受けて別の分子や
原子に衝突し、これらを励起する。こうした連釦作用で
系内の気体は電子、イオン、ラジカルなどを豊富に含ん
だ状態となり、これはプラズマガスと呼ばれている。
原子に衝突し、これらを励起する。こうした連釦作用で
系内の気体は電子、イオン、ラジカルなどを豊富に含ん
だ状態となり、これはプラズマガスと呼ばれている。
上記のプラズマ中ではイオンも当然電界加速を受けるが
、電子に比べてはるかに質量が大きいので速度をあまり
獲得できず、またラジカル−や未励起分子、原子はまっ
たく加速されない。このように、低圧におけるプラズマ
では、イオン、ラジカル、未励起分子、原子はほとんど
速度を持たず、電子だけが高速度を持っている。この状
態を低温プラズマと呼び、化学的に活性なラジカルやイ
オンを豊富に含んでいるため化学反応の起りやすい状態
になっている。本発明は、この状態を利用して被処理物
粒子表面に金属または金属の酸化物の層を形成しようと
いう新規な方法によるものであり、工程がドライ化でき
るという点に特徴がある。
、電子に比べてはるかに質量が大きいので速度をあまり
獲得できず、またラジカル−や未励起分子、原子はまっ
たく加速されない。このように、低圧におけるプラズマ
では、イオン、ラジカル、未励起分子、原子はほとんど
速度を持たず、電子だけが高速度を持っている。この状
態を低温プラズマと呼び、化学的に活性なラジカルやイ
オンを豊富に含んでいるため化学反応の起りやすい状態
になっている。本発明は、この状態を利用して被処理物
粒子表面に金属または金属の酸化物の層を形成しようと
いう新規な方法によるものであり、工程がドライ化でき
るという点に特徴がある。
本発明の好適な実施態様は、減圧された真空容器内にコ
バルト化合物気体を含む反応ガスを導入し、これを低温
プラズマ雰囲気に変換して針状酸化鉄粉末（Ｆ ｅ３０
４ 、γ−Ｆｅ２．０３など）と接触させることにより
、針状酸化鉄粒子表面にコバルトまたはコバルトを含む
酸化物の層を形成したコバルト被着針状酸化鉄である。
バルト化合物気体を含む反応ガスを導入し、これを低温
プラズマ雰囲気に変換して針状酸化鉄粉末（Ｆ ｅ３０
４ 、γ−Ｆｅ２．０３など）と接触させることにより
、針状酸化鉄粒子表面にコバルトまたはコバルトを含む
酸化物の層を形成したコバルト被着針状酸化鉄である。
本発明における金属化合物は金属のカルボニル化合物、
ハロゲ、ン化物、ア七チルアセトン塩、ビスジクロペン
タジェニル化合物、アルコラード等が利用できる。しか
し本発明では、これらの化合物を真空容器内に気体とし
て導入しなければならず、この目的のためにはＦｅ （
Ｃｏ ）５ Ｎ Ｃｏｔ （Ｃｏ）ｓ −。
ハロゲ、ン化物、ア七チルアセトン塩、ビスジクロペン
タジェニル化合物、アルコラード等が利用できる。しか
し本発明では、これらの化合物を真空容器内に気体とし
て導入しなければならず、この目的のためにはＦｅ （
Ｃｏ ）５ Ｎ Ｃｏｔ （Ｃｏ）ｓ −。
Ｎ１（Ｃｏ）、などの低温で気化可能な金属カルボニル
が最も有効に使用しうる。
が最も有効に使用しうる。
上記金属化合物気体の他に、Ｈｚ 、Ａｒ、 Ｈｅ、Ｈ
ｚ０．０２、Ｃ０１Ｃ０２、Ｎ２などのガスが真空容器
内に導入される。これらのガスは、真空容器内の圧力を
コントロールしたり、真空容器内での低温プラズマの発
生を容易にしたり、反応ガス中の金属化合物と反応して
金属または金属の酸化物の層を被処理物粒子表面に形成
させるために使用される。
ｚ０．０２、Ｃ０１Ｃ０２、Ｎ２などのガスが真空容器
内に導入される。これらのガスは、真空容器内の圧力を
コントロールしたり、真空容器内での低温プラズマの発
生を容易にしたり、反応ガス中の金属化合物と反応して
金属または金属の酸化物の層を被処理物粒子表面に形成
させるために使用される。
低温プラズマ雰囲気を形成するために加えられる誘導エ
ネルギーとしては、ＤＣ電界、１０３〜１０”Ｈｚのラ
ジオ波電界、１０９〜１０口Ｈｚのマイクロ波電界など
が利用できる。
ネルギーとしては、ＤＣ電界、１０３〜１０”Ｈｚのラ
ジオ波電界、１０９〜１０口Ｈｚのマイクロ波電界など
が利用できる。
低温プラズマ雰囲気と被処理物との接触は通常室温−で
行なわれる。室温で行なっても被処理物粒子表面には金
属または金属の酸化物の層が充分に形成されるが、接触
を加熱下で行なうと層の形成速度が増し、針状酸化鉄粒
子表面にコバルト化合物の層を形成した時の保磁力の上
昇も大きく好ましい。加熱する温度は１００℃以上が望
ましい。
行なわれる。室温で行なっても被処理物粒子表面には金
属または金属の酸化物の層が充分に形成されるが、接触
を加熱下で行なうと層の形成速度が増し、針状酸化鉄粒
子表面にコバルト化合物の層を形成した時の保磁力の上
昇も大きく好ましい。加熱する温度は１００℃以上が望
ましい。
さらに、被処理物粒子表面に金属または金属の酸化物の
層を形成した後に熱処理を施すと、やはり保磁力が上昇
し好ましい。この−加熱は２００℃以上が望ましい。ま
たこの加熱は低温プラズマ中で行なうこともできるが、
この時の加熱は１００℃以上とすることが望ましい。
− 以下に図面を用いて本発明をく−わしく説明する。
層を形成した後に熱処理を施すと、やはり保磁力が上昇
し好ましい。この−加熱は２００℃以上が望ましい。ま
たこの加熱は低温プラズマ中で行なうこともできるが、
この時の加熱は１００℃以上とすることが望ましい。
− 以下に図面を用いて本発明をく−わしく説明する。
第１図は、本発明で使用された低温プラズマ処理装置の
１例である。被処理粉＊１は”容器２９中に入れられ、
さらに真空容器３に納められている。
１例である。被処理粉＊１は”容器２９中に入れられ、
さらに真空容器３に納められている。
容器２および３は内部の反応ガスに誘導エネルギーがよ
く伝達されるように石英ガラスで作られている。容器２
および３は、排気装置４によって排気される。このとき
、被処理物粒子表面に金属の層を形成したい場合は容器
２および３内を１×３ １０ Ｔｏｒｒ以下の高真空に排気するのが望ましい。
く伝達されるように石英ガラスで作られている。容器２
および３は、排気装置４によって排気される。このとき
、被処理物粒子表面に金属の層を形成したい場合は容器
２および３内を１×３ １０ Ｔｏｒｒ以下の高真空に排気するのが望ましい。
次にボンベ５および６からＨｚ、Ａ ｒ ％ Ｈ＠ Ｓ
ｎ２０．０２ 、Ｃ０％ ＣＯｘ 、Ｎ２などのガスを
、またボンベ７および８からは金属カルボニルなどの原
料ガスをミキサー９およびガス導入？ズル１０を介して
容器２内に導入する。ここで、ボンベ５および６から導
入されるガスは、被処理物粒子表面に金属の層を形成し
たい場合はＨｚあるいはＮ ＨｚとＡｒ。
ｎ２０．０２ 、Ｃ０％ ＣＯｘ 、Ｎ２などのガスを
、またボンベ７および８からは金属カルボニルなどの原
料ガスをミキサー９およびガス導入？ズル１０を介して
容器２内に導入する。ここで、ボンベ５および６から導
入されるガスは、被処理物粒子表面に金属の層を形成し
たい場合はＨｚあるいはＮ ＨｚとＡｒ。
Ｈｅ 、、Ｎ２などの不活性ガスとの混合ガスが好適に
選定される。また被処理物粒子表面に酸化物を形成した
い場合は、Ｈｚ０、Ｃｏ５ＣＯ２，０２などが、あるい
は、これらとＡｒ、ＨｅＸＮ２などの不活性ガスとの混
合ガスが好適に選定される。
選定される。また被処理物粒子表面に酸化物を形成した
い場合は、Ｈｚ０、Ｃｏ５ＣＯ２，０２などが、あるい
は、これらとＡｒ、ＨｅＸＮ２などの不活性ガスとの混
合ガスが好適に選定される。
次いで、真空容器２および６内を圧力フントｔ＋−ルバ
ルブ１１の開閉を利用して０．０１〜１０Ｔｏｒｒに制
御する。次に、容器２内の被処理粉末１が均一に処理さ
れるように、外部回転装置１２で容器２を１〜３０回転
／回転中っくりした速度で回転させながら、電極１３お
よび１３′に誘導エネルギーを加え、容器２および３内
に低温プラズマを発生させ、被処理物粒子表面に金属ま
たは金属の酸化物の層を形成する。この処理の過程で、
電気炉１４．１４′により加熱しながら行なうことも可
能であるし、また処理後に加熱を行なうこ七もできる。
ルブ１１の開閉を利用して０．０１〜１０Ｔｏｒｒに制
御する。次に、容器２内の被処理粉末１が均一に処理さ
れるように、外部回転装置１２で容器２を１〜３０回転
／回転中っくりした速度で回転させながら、電極１３お
よび１３′に誘導エネルギーを加え、容器２および３内
に低温プラズマを発生させ、被処理物粒子表面に金属ま
たは金属の酸化物の層を形成する。この処理の過程で、
電気炉１４．１４′により加熱しながら行なうことも可
能であるし、また処理後に加熱を行なうこ七もできる。
針状酸化鉄粒子を上記のように処理し、粒子表面にコバ
ルＦあるいはコバルトを含む酸化物の層を形成した場合
、処理された針状酸化鉄粒子は高保磁力を有し、しかも
温度安定性のすぐれたものになる。
ルＦあるいはコバルトを含む酸化物の層を形成した場合
、処理された針状酸化鉄粒子は高保磁力を有し、しかも
温度安定性のすぐれたものになる。
以下実施例により本発明をさらに詳細に説明するＯ
〔実施例１〕
第１図において、被処理粉末１としてγ−Ｆ６２０３ｓ
ｏｏｔ（針状比７ ： １．６ ＝７８ ｅｍｕ／Ｓ’
、Ｉｌｃ＝３８００ｅ）を容器２内に入れ、容器２およ
び３内を排気装置４によって７Ｘ１０ Ｔｏｒｒまで排
気した。次にボンベ５から）Ｉ２ガスを毎分２００ ｃ
ｍ”の割合で、またボンベ７からコバルトカルボニルＣ
ｏｇ（Ｃｏ）ａのガスを毎分２００ ｃｍ”の割合で容
器２内に流した。１次いで、容′ｎ２および３内をａ、
５Ｔｏｒｒに制御し、容器２を毎分５回転で回転させな
がら、電極１３．１３′に１＆５６ＭＨｚの高周波を２
００Ｗ印加し、γ−Ｆｅ２０３粉末を処理した。
ｏｏｔ（針状比７ ： １．６ ＝７８ ｅｍｕ／Ｓ’
、Ｉｌｃ＝３８００ｅ）を容器２内に入れ、容器２およ
び３内を排気装置４によって７Ｘ１０ Ｔｏｒｒまで排
気した。次にボンベ５から）Ｉ２ガスを毎分２００ ｃ
ｍ”の割合で、またボンベ７からコバルトカルボニルＣ
ｏｇ（Ｃｏ）ａのガスを毎分２００ ｃｍ”の割合で容
器２内に流した。１次いで、容′ｎ２および３内をａ、
５Ｔｏｒｒに制御し、容器２を毎分５回転で回転させな
がら、電極１３．１３′に１＆５６ＭＨｚの高周波を２
００Ｗ印加し、γ−Ｆｅ２０３粉末を処理した。
第２図に処理時間とコバルトの付着量を示した。・また
第３図は、コバルトの付着量と保磁力ｆｌｅの関係を示
している。これらの図中、２１および５１の線は上記の
方法で処理した場合の関係を示しており、２２および３
２の線は上記の方法において１５０℃に加熱しながら処
理した場合の関係を示している。
第３図は、コバルトの付着量と保磁力ｆｌｅの関係を示
している。これらの図中、２１および５１の線は上記の
方法で処理した場合の関係を示しており、２２および３
２の線は上記の方法において１５０℃に加熱しながら処
理した場合の関係を示している。
〔実施例２〕
第１図において、被処理粉末１としてγ−Ｆａ２０３ｓ
ｏａｒ（針状比７：１、σ、＝７８ ｅｍｕ／ｆ ｓ
Ｈｅ＝５８００ｅ）を容器２内に入れ、容器２および３
内を排気装置４によってＩ Ｘ １０ Ｔｏｒｒまで排
気した。次にボンベ５からＡｒガスを毎分１５０ｃｍ”
の割合で、またボンベ６から０２ガスを毎分５０ｃｍ’
の割合で、またボンベ７からコバルトカルボニルＣｏｄ
（Ｃｏ）龜のガスを毎分２００ ａｍ”の割合で、また
ボンベ８から鉄カルボニ／Ｉ／Ｆ・（ＣＯ）、のガスを
毎分２００ ｃｍ”の割合で容器２内に流した。次いで
、容器２および３内を０．５ Ｔｏｒｒに制御し、容器
２を毎分５回転で回転させながら、電ｆｉｌｉｉ１３．
１３′にＩＮ５４ＭＨｚの高周波を２００Ｗ印加し、γ
−Ｆｅ２０Ｂ粉末を処理した。
ｏａｒ（針状比７：１、σ、＝７８ ｅｍｕ／ｆ ｓ
Ｈｅ＝５８００ｅ）を容器２内に入れ、容器２および３
内を排気装置４によってＩ Ｘ １０ Ｔｏｒｒまで排
気した。次にボンベ５からＡｒガスを毎分１５０ｃｍ”
の割合で、またボンベ６から０２ガスを毎分５０ｃｍ’
の割合で、またボンベ７からコバルトカルボニルＣｏｄ
（Ｃｏ）龜のガスを毎分２００ ａｍ”の割合で、また
ボンベ８から鉄カルボニ／Ｉ／Ｆ・（ＣＯ）、のガスを
毎分２００ ｃｍ”の割合で容器２内に流した。次いで
、容器２および３内を０．５ Ｔｏｒｒに制御し、容器
２を毎分５回転で回転させながら、電ｆｉｌｉｉ１３．
１３′にＩＮ５４ＭＨｚの高周波を２００Ｗ印加し、γ
−Ｆｅ２０Ｂ粉末を処理した。
第４図は処理時間とコバルトの付着量の関係を示す。ま
た第５図は、このときのコバルト付着量と保磁力Ｈｅの
関係を示している。第６図は上記の方法において、加熱
しながら１０分間処理した場合の処理時の温度とコバル
ト付着量との関係（６１）および処理時の温度と保磁力
Ｈｅの関係（６２）を示している。
た第５図は、このときのコバルト付着量と保磁力Ｈｅの
関係を示している。第６図は上記の方法において、加熱
しながら１０分間処理した場合の処理時の温度とコバル
ト付着量との関係（６１）および処理時の温度と保磁力
Ｈｅの関係（６２）を示している。
第７図は、上記の方法において、コバルト付着量Ｃｏ／
γ−Ｆｅｚ０３が３ｗｔ％になるように室温で処理した
後、各温度で熱処理した時の熱処理温度と保磁力Ｈｅの
関係を示している。図中７１の線は空気中３０分間熱処
理したものであり、７２の線は空気のプラズマ（容器内
の圧力はＩ Ｔｏｒｒに制御した）中で熱処理を行なっ
たものである。
γ−Ｆｅｚ０３が３ｗｔ％になるように室温で処理した
後、各温度で熱処理した時の熱処理温度と保磁力Ｈｅの
関係を示している。図中７１の線は空気中３０分間熱処
理したものであり、７２の線は空気のプラズマ（容器内
の圧力はＩ Ｔｏｒｒに制御した）中で熱処理を行なっ
たものである。
第８図は、温度安定性を示すものであり、各温度におけ
る保磁力と２５℃における保磁力の比を加熱温度に対し
て示している。図中８２の線が本実施例で得られたもの
であり、コバルト付着量Ｃｏ／γＦ＠２０３が５ｖｔ％
になるように室温で処理したものである。また図中８１
および８３の線は、比較のためそれぞれγＦ１０３およ
びコバルトドープｙＦ＠１０ａの温度依存性を示してい
る。
る保磁力と２５℃における保磁力の比を加熱温度に対し
て示している。図中８２の線が本実施例で得られたもの
であり、コバルト付着量Ｃｏ／γＦ＠２０３が５ｖｔ％
になるように室温で処理したものである。また図中８１
および８３の線は、比較のためそれぞれγＦ１０３およ
びコバルトドープｙＦ＠１０ａの温度依存性を示してい
る。
、 実施例１における第２図及び第３図の結果、及び書
施例２における第４図及び第５図の結果から分るように
、プラズマ処理時間やガス組成を調整することによりＣ
ｏ被着量を制御することができ、それに比例して保磁力
Ｈｅを広い範囲で制御することができる。また、第２図
、第３図、及び第６図に示されたように、ブラズヤ処理
温度を変えることによりＣｏ被着量及び保磁力を制御す
ることができる。さらに、得られたＣｏ被着磁性粉は第
７図に示すように熱処理を行うことによって保磁力を制
御することも可能である０これらのデータから分るよう
に、本発明のプラズマ処理プロセスにより、磁性粉の保
磁力は６重量％程度までのＣ。
施例２における第４図及び第５図の結果から分るように
、プラズマ処理時間やガス組成を調整することによりＣ
ｏ被着量を制御することができ、それに比例して保磁力
Ｈｅを広い範囲で制御することができる。また、第２図
、第３図、及び第６図に示されたように、ブラズヤ処理
温度を変えることによりＣｏ被着量及び保磁力を制御す
ることができる。さらに、得られたＣｏ被着磁性粉は第
７図に示すように熱処理を行うことによって保磁力を制
御することも可能である０これらのデータから分るよう
に、本発明のプラズマ処理プロセスにより、磁性粉の保
磁力は６重量％程度までのＣ。
被着によりＨｃ＝８０ＤＯ・程度までの保磁力を有する
磁性粉末を自由に得ることができる。また、本発明のＣ
ｏ被着γＦｅ２Ｏ３粉末はビデオテープ等に応用される
もので、広範囲の使用温度条件下に使用されるが、第８
図の結果から分るように、本発明の磁性粉末（８２のも
の）は従来のＣｏドープｒＦｅ＊ｏｘ（８！ｉのもの）
よりもはるかに温度安定性が良い。
磁性粉末を自由に得ることができる。また、本発明のＣ
ｏ被着γＦｅ２Ｏ３粉末はビデオテープ等に応用される
もので、広範囲の使用温度条件下に使用されるが、第８
図の結果から分るように、本発明の磁性粉末（８２のも
の）は従来のＣｏドープｒＦｅ＊ｏｘ（８！ｉのもの）
よりもはるかに温度安定性が良い。
以上のように、本発明によると、ドライプロセスにより
Ｃｏ等を被着したγＦｅ２Ｏ３等の高保磁力及び高安定
性の磁性粉末が得られる。またこのため、従来必要であ
った湿式処理の欠点が無くなり、工程上も非常に有利に
なる。
Ｃｏ等を被着したγＦｅ２Ｏ３等の高保磁力及び高安定
性の磁性粉末が得られる。またこのため、従来必要であ
った湿式処理の欠点が無くなり、工程上も非常に有利に
なる。
なお、本発明はγＦｅ２Ｏ３１’にＣｏまたはＣｏ−Ｆ
ｅを被着する例について説明したが、Ｆｅ３Ｏ４粉末に
対するドライブ田七入処理にも適用できるし、さらに被
着金属もＣｏ、Ｆ＠、Ｎｉ、Ｃｒの少くとも１種などを
用いうる。そして、一般には、プラズマ化が可能な金属
化合物気体を用いて、当該金属の被着が必要な被処理磁
性粉末をプラズマ処理することも本発明に含まれる。
ｅを被着する例について説明したが、Ｆｅ３Ｏ４粉末に
対するドライブ田七入処理にも適用できるし、さらに被
着金属もＣｏ、Ｆ＠、Ｎｉ、Ｃｒの少くとも１種などを
用いうる。そして、一般には、プラズマ化が可能な金属
化合物気体を用いて、当該金属の被着が必要な被処理磁
性粉末をプラズマ処理することも本発明に含まれる。
第１図は本発明の方法を実施する処理の概念図、第２図
は本発明の実施例１におけるプラズマ処理時間とコバル
ト被着量の関係を示すグラフ、第３図は実施例１におけ
るコパル）含有量と保磁力の関係を示すグラフ、第４図
は実施例２におけるプラズマ処理時間とコバルト被着量
の関係を示すグラフ、第５図は実施例２におけるコバル
ト被着量と保磁力の関係を示すグラフ、第６図は実施例
２におけるプラズマ処理温度とコバルト被着量及び保磁
力の関係を示すグラフ、第７図は実施例２で得た磁性粉
末の熱処理温度と保磁力の関係を示すグラフ、及び第８
図は実施例２で得た磁性粉末の保磁力の熱安定性を比較
例と共に示すグラフであ処１叶門（泳 Ｃｏ７ＴＦｅ２０３（５７０１０） 第２図 第３図 第４図 ０ ’１０ ２０ ３０ ７（埋晴間Ｃ冷） 第５図 ：！Ｉ［ ″″″０ 島−フ７［」 第８０ 手続補正書 昭和５９年 ３月２１［１ 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 市（’ｌの表示 昭和５９年 特願第 １０９９９ 号
発明′）名称 粉末・・１超・注材料 補市をずろ者 ｌｔｌ’ｌとの関係 特〃削１１願人 名（イ１、（３０６）ティーディーケイ株式会社代理人 抽１１′、の対象 １ｉｌｉ ｉ＋：、の内容 別紙の通り先きに提出した
図面中第２図を別紙の通り補正する。
は本発明の実施例１におけるプラズマ処理時間とコバル
ト被着量の関係を示すグラフ、第３図は実施例１におけ
るコパル）含有量と保磁力の関係を示すグラフ、第４図
は実施例２におけるプラズマ処理時間とコバルト被着量
の関係を示すグラフ、第５図は実施例２におけるコバル
ト被着量と保磁力の関係を示すグラフ、第６図は実施例
２におけるプラズマ処理温度とコバルト被着量及び保磁
力の関係を示すグラフ、第７図は実施例２で得た磁性粉
末の熱処理温度と保磁力の関係を示すグラフ、及び第８
図は実施例２で得た磁性粉末の保磁力の熱安定性を比較
例と共に示すグラフであ処１叶門（泳 Ｃｏ７ＴＦｅ２０３（５７０１０） 第２図 第３図 第４図 ０ ’１０ ２０ ３０ ７（埋晴間Ｃ冷） 第５図 ：！Ｉ［ ″″″０ 島−フ７［」 第８０ 手続補正書 昭和５９年 ３月２１［１ 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 市（’ｌの表示 昭和５９年 特願第 １０９９９ 号
発明′）名称 粉末・・１超・注材料 補市をずろ者 ｌｔｌ’ｌとの関係 特〃削１１願人 名（イ１、（３０６）ティーディーケイ株式会社代理人 抽１１′、の対象 １ｉｌｉ ｉ＋：、の内容 別紙の通り先きに提出した
図面中第２図を別紙の通り補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、減圧された真空容器内に１種類以上の金属化合物気
体を含む反応ガスを導入し、該反応ガスに誘導エネルギ
ーを加えることにより該反応ガスを低温プラズマ雰囲気
とし、これと被処理物粉末扮末とを接触させることによ
り被処理物粉末の粒子表面に金属または金属の酸化物の
層を形成したことを特徴とする粉末磁性材料。 ２、 粉末磁性材料は熱処理されている特許請求の範囲
第１項に記載の粉末磁性材料。 五 金属化合物が金属力〃ボニルであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項または第２項記載の粉末磁性材
料。 ４、 反応ガスとして導入される少なくとも１種類の金
属化合物にコバルトを含むことを特徴とする特許請求の
範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の粉末磁性材
料。 ５、 粉末状の被処理物が針状酸化鉄粉末であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれ
かに記載の粉末磁性材料。 ＆ 反応ガスの低温プラズマ雰囲気と粉末状の被処理物
との接触が加熱下で行なわれることを特徴とする特許請
求の範囲第１項ないし第５項のいずれかに記載の粉末磁
性材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59010999A JPS60157203A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 粉末磁性材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59010999A JPS60157203A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 粉末磁性材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60157203A true JPS60157203A (ja) | 1985-08-17 |
Family
ID=11765830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59010999A Pending JPS60157203A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 粉末磁性材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60157203A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03120704A (ja) * | 1989-10-03 | 1991-05-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 強磁性金属粉末の処理方法及び磁気記録媒体の製造方法 |
-
1984
- 1984-01-26 JP JP59010999A patent/JPS60157203A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03120704A (ja) * | 1989-10-03 | 1991-05-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 強磁性金属粉末の処理方法及び磁気記録媒体の製造方法 |
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