JPS5938278B2 - 物品の貼着方法 - Google Patents
物品の貼着方法Info
- Publication number
- JPS5938278B2 JPS5938278B2 JP51113697A JP11369776A JPS5938278B2 JP S5938278 B2 JPS5938278 B2 JP S5938278B2 JP 51113697 A JP51113697 A JP 51113697A JP 11369776 A JP11369776 A JP 11369776A JP S5938278 B2 JPS5938278 B2 JP S5938278B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive tape
- wafer
- cover
- lid
- adhesive
- Prior art date
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- Expired
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- Adhesive Tape Dispensing Devices (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Dicing (AREA)
- Vacuum Packaging (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は物品の貼着方法、特に物品の粘着面上に被接着
物を密着状態で貼着する貼着方法に関する。
物を密着状態で貼着する貼着方法に関する。
半導体装置の製造において、その主体となる半導体素子
（ペレット）は半導体からなる円板（ウエー・・を格子
状に切断して形成する。
（ペレット）は半導体からなる円板（ウエー・・を格子
状に切断して形成する。
前記円板の表層部には同一の回路パターンがあらかじめ
並んで形成されており、これら回路パターンの境界線に
沿つて切断を行なう。ところで、前記ウェーハの切断分
離方法の一つとして、ダイシング方法がある。
並んで形成されており、これら回路パターンの境界線に
沿つて切断を行なう。ところで、前記ウェーハの切断分
離方法の一つとして、ダイシング方法がある。
この方法では、薄いダイヤモンドブレードを回転させな
がら、その回転刃でウエー・・の境界線に沿つて切り込
みを入れるものである。この際、切込溝はウェーハの厚
さの２／３程度まで深く入れられる。その後、切込溝を
有するウエー・・は一枚の柔軟な接着テープに貼り付け
られるとともに、ウェーハの裏面、即ち接着テープの裏
面からの外力によつて切込溝に沿つて破断し、ペレット
が作られる。しかし、このようなダイシング方法によれ
ば、ウェーハが接着テープに全面で接着していないと、
ペレット化された際、一部のペレットは接着テープから
剥れてしまう欠点がある。
がら、その回転刃でウエー・・の境界線に沿つて切り込
みを入れるものである。この際、切込溝はウェーハの厚
さの２／３程度まで深く入れられる。その後、切込溝を
有するウエー・・は一枚の柔軟な接着テープに貼り付け
られるとともに、ウェーハの裏面、即ち接着テープの裏
面からの外力によつて切込溝に沿つて破断し、ペレット
が作られる。しかし、このようなダイシング方法によれ
ば、ウェーハが接着テープに全面で接着していないと、
ペレット化された際、一部のペレットは接着テープから
剥れてしまう欠点がある。
従来、ウェーハを接着テープに貼るには、接着テープに
ウェーハを重ね合せた後、作業者が指で接着テープ面を
撫でることによつて行なつているが、この方法では作業
者が低くかつ注意深く行なわないとウェーハと接着テー
プとの間に気泡等が生じ、未接着な部分ができてしまう
。
ウェーハを重ね合せた後、作業者が指で接着テープ面を
撫でることによつて行なつているが、この方法では作業
者が低くかつ注意深く行なわないとウェーハと接着テー
プとの間に気泡等が生じ、未接着な部分ができてしまう
。
したがつて、本発明の目的は物品に被接着物を密着状態
で確実に接着させるとともに、接着作業の自動化を図る
ことにある。
で確実に接着させるとともに、接着作業の自動化を図る
ことにある。
また、本発明の他の目的は物品に被接着物を確実に接着
するとともに、被接着物をカバーで被うことにより、運
搬等における被接着物の破損や汚染を防止するようなパ
ッケージ方法を提供することにある。
するとともに、被接着物をカバーで被うことにより、運
搬等における被接着物の破損や汚染を防止するようなパ
ッケージ方法を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、物品の粘着
面上に被接着物または被接着物とカバーを載置した後気
密容器内に移し、その後真空状態にした後急激に気密容
器内に空気を入れることによつて、物品と被接着物また
は物品と被接着物およびカバーとの接着を図るものであ
つて、以下実施例によつて本発明を具体的に説明する。
面上に被接着物または被接着物とカバーを載置した後気
密容器内に移し、その後真空状態にした後急激に気密容
器内に空気を入れることによつて、物品と被接着物また
は物品と被接着物およびカバーとの接着を図るものであ
つて、以下実施例によつて本発明を具体的に説明する。
第１図ａ、ｂは本発明の物品の貼着方法の一実施例を示
す。
す。
同図ａに示すように、気密容器を形成する板状の台座１
上に接着テープ２を載置するとともに、この接着テープ
２上に切込溝３を有するウエーハ４を載置する。前記接
着テープ２の上面は貼着面となつていて、ウエーハ４が
接着するようになつている。なお、この状態では気密容
器を形成する蓋体５は台座１の上方に静止している。こ
の蓋体５は下面周縁に沿つて突部６が設けられるととも
に中央は窪部７を有している。また、前記突部６の下面
中央に浴つて溝が設けられ、この溝内にはパツキン（０
−リング）８が嵌め込まれている。このＯ−リング８の
一部は突部６下面かられずかに突出し、蓋体５を下降さ
せて台座１に重ね合せた際、前記窪部７が気密空間を形
成するように働く。また、前記蓋体５の中央土面には供
給管９が貫通状態に取り付けられるとともに、その傍ら
には真空ポンプに接続される排気管１０が取り付けられ
ている。また、前記供給管９は大気中に開放されるとと
もに、その途中には開閉用のバルブ１１が取り付けられ
ている。つぎに、同図ｂで示すように、蓋体５を下降さ
せる。
上に接着テープ２を載置するとともに、この接着テープ
２上に切込溝３を有するウエーハ４を載置する。前記接
着テープ２の上面は貼着面となつていて、ウエーハ４が
接着するようになつている。なお、この状態では気密容
器を形成する蓋体５は台座１の上方に静止している。こ
の蓋体５は下面周縁に沿つて突部６が設けられるととも
に中央は窪部７を有している。また、前記突部６の下面
中央に浴つて溝が設けられ、この溝内にはパツキン（０
−リング）８が嵌め込まれている。このＯ−リング８の
一部は突部６下面かられずかに突出し、蓋体５を下降さ
せて台座１に重ね合せた際、前記窪部７が気密空間を形
成するように働く。また、前記蓋体５の中央土面には供
給管９が貫通状態に取り付けられるとともに、その傍ら
には真空ポンプに接続される排気管１０が取り付けられ
ている。また、前記供給管９は大気中に開放されるとと
もに、その途中には開閉用のバルブ１１が取り付けられ
ている。つぎに、同図ｂで示すように、蓋体５を下降さ
せる。
すると、台座１と蓋体５とによつて気密空間１２が形成
され、この気密空間１２内に前記接着テープ２およびウ
エーハ４が入る。そこで、バルブ１１を閉状態にした後
、図示しない真空ポンプを動作させ、前記気密空間１２
内を真空化する。その後、真空ポンプを停止させた後、
バルブ１１を単時間に急激に開状態にして、接着テープ
２とウエ一・・４との密着接合を図る。すなわち、接着
テープ２とウエ一・・４を真空状態に置くことによつて
、接着テープ２とウエ一・・４間の空隙も内部は真空に
なる。そこへ急激に空気が流入して大気圧がウエ一・・
４上面に加わるため、ウエーハ４と接着テープ２間の空
隙は押し潰されるとともに、ウエ一・・４と接着テープ
２・は約１ｋｇ／／Ｃｄの加圧力で押し付け密着される
。したがつて、ウエーハ４と接着テープ２は全面で密着
することになる。なお、真空状態の気密空間１２が瞬時
に大気圧になり、ウエーハと接着テープの密着化が図れ
るように、バルブは開閉が簡単（たとえば電磁バルブ）
でかつ容量の大きなものが良い。つぎに、蓋体５を上昇
させて一体化したウエーハと接着テープを取り出し、一
作業を終了する。
され、この気密空間１２内に前記接着テープ２およびウ
エーハ４が入る。そこで、バルブ１１を閉状態にした後
、図示しない真空ポンプを動作させ、前記気密空間１２
内を真空化する。その後、真空ポンプを停止させた後、
バルブ１１を単時間に急激に開状態にして、接着テープ
２とウエ一・・４との密着接合を図る。すなわち、接着
テープ２とウエ一・・４を真空状態に置くことによつて
、接着テープ２とウエ一・・４間の空隙も内部は真空に
なる。そこへ急激に空気が流入して大気圧がウエ一・・
４上面に加わるため、ウエーハ４と接着テープ２間の空
隙は押し潰されるとともに、ウエ一・・４と接着テープ
２・は約１ｋｇ／／Ｃｄの加圧力で押し付け密着される
。したがつて、ウエーハ４と接着テープ２は全面で密着
することになる。なお、真空状態の気密空間１２が瞬時
に大気圧になり、ウエーハと接着テープの密着化が図れ
るように、バルブは開閉が簡単（たとえば電磁バルブ）
でかつ容量の大きなものが良い。つぎに、蓋体５を上昇
させて一体化したウエーハと接着テープを取り出し、一
作業を終了する。
このような実施例によれば、接着テープとウエー・・の
密着化が完全となる。また、この実施例では気密空間内
の真空化、大気圧化用の機構が簡単であることから装置
の簡素化を図ることができる。また、この実施例ではウ
エーハと接着テープとの貼着を自動的に行なうことがで
きる。なお、本発明は前記実施例に限定されない。
密着化が完全となる。また、この実施例では気密空間内
の真空化、大気圧化用の機構が簡単であることから装置
の簡素化を図ることができる。また、この実施例ではウ
エーハと接着テープとの貼着を自動的に行なうことがで
きる。なお、本発明は前記実施例に限定されない。
たとえば、第２図に示すように、台座１上に上面が粘着
面となる接着テープ２を載置した後、この接着テープ２
上にウエーハ４を載置する。この際、接着テープ２はウ
エーハ４よりも大きいものを用いる必要がある。つぎに
、ほぼ接着テープ２と同じ大きさの樹脂テープからなる
カバー１３をウエ一・・４上に被せる。この際、カバー
１３の周縁部は下面に位置する樹脂テープ２の周縁部に
重なる。このような状態で気密空間１２の真空化、急激
な大気圧化を行なうことによつて、ウエーハ４と接着テ
ープ２およびカバー１３と接着テープ２との密着状態に
よる接着を図るとともに、ウエ一・・４を真空パツクす
ることができる。したがつて、この実施例では前記実施
例と同様な効果以外にウエーハのパツケージングによる
ウエーハ４の汚染・破損防止の効果を得ることができる
。また、第３図に示すように、供給ロール２０から解き
出した帯状の接着テープ２１を作業テーブル２２土およ
び作業テーブル２２から外れた収容箱２３に導くととも
に、上方のカバー供給ロール２４から帯状の樹脂テープ
からなるカバー２５を解き出し、柔軟なゴムローラ２６
によつてこのカバー２５を作業テーブル２２上で接着テ
ープ２１に重ね合せるようになつている。
面となる接着テープ２を載置した後、この接着テープ２
上にウエーハ４を載置する。この際、接着テープ２はウ
エーハ４よりも大きいものを用いる必要がある。つぎに
、ほぼ接着テープ２と同じ大きさの樹脂テープからなる
カバー１３をウエ一・・４上に被せる。この際、カバー
１３の周縁部は下面に位置する樹脂テープ２の周縁部に
重なる。このような状態で気密空間１２の真空化、急激
な大気圧化を行なうことによつて、ウエーハ４と接着テ
ープ２およびカバー１３と接着テープ２との密着状態に
よる接着を図るとともに、ウエ一・・４を真空パツクす
ることができる。したがつて、この実施例では前記実施
例と同様な効果以外にウエーハのパツケージングによる
ウエーハ４の汚染・破損防止の効果を得ることができる
。また、第３図に示すように、供給ロール２０から解き
出した帯状の接着テープ２１を作業テーブル２２土およ
び作業テーブル２２から外れた収容箱２３に導くととも
に、上方のカバー供給ロール２４から帯状の樹脂テープ
からなるカバー２５を解き出し、柔軟なゴムローラ２６
によつてこのカバー２５を作業テーブル２２上で接着テ
ープ２１に重ね合せるようになつている。
また接着テープ２１の上面には粘着層が形成されている
。したがつて、カバー２５が接着テープ２１に接触する
と粘着層によつて接着する。また、作業テーブル２２土
には前記実施例で説明したものと同一構造の蓋体２７が
配設されている。この蓋体２７は下部周縁に溢るて突部
２８を有し、この突部２８にはその中央面に溢つてパツ
キン２９が設けられている。そして、蓋体２７の下部中
央の窪部３０は蓋体２７が下降してパツキン２９がカバ
ー２５上を押し下げる際には気密空間を形成するように
なつている。また、蓋体２７上面には大気中に連通する
供給管３１と真空ポンプに連結される排気管３２が取り
付けられ、両者とも窪部３０に連通している。さらに、
前記供給管３１にはバルブ３３が取り付けられている。
つぎに使用状態について説明する。
。したがつて、カバー２５が接着テープ２１に接触する
と粘着層によつて接着する。また、作業テーブル２２土
には前記実施例で説明したものと同一構造の蓋体２７が
配設されている。この蓋体２７は下部周縁に溢るて突部
２８を有し、この突部２８にはその中央面に溢つてパツ
キン２９が設けられている。そして、蓋体２７の下部中
央の窪部３０は蓋体２７が下降してパツキン２９がカバ
ー２５上を押し下げる際には気密空間を形成するように
なつている。また、蓋体２７上面には大気中に連通する
供給管３１と真空ポンプに連結される排気管３２が取り
付けられ、両者とも窪部３０に連通している。さらに、
前記供給管３１にはバルブ３３が取り付けられている。
つぎに使用状態について説明する。
供給ロール２０から解き出した接着テープ２１を作業テ
ーブル２２上に送り出すとともに、作業テーブル２２の
入口部上で接着テープ２１上に順次ウエ一・・３４を一
定間隔離して載置供給する。その後、間欠的に回転する
ゴムローラ２６によつてウエーー・３４を被うようにカ
バー２５が重ね合され、カバー２５の周縁部が接着テー
プ２１の粘着面に貼り付く。また、接着テープ２１とカ
バー２５によつて包まれた状態となつたウエーハ３４は
前記蓋体２７の真下で停止する。すると、蓋体２７は一
時的に下降して窪部３０からなる気密空間を形成し、こ
の気密空間内に一組（図では一組であるが多数組でもよ
い。）のウエ一・・３４、接着テープ部分、カバー部分
を入れ、この気密空間を真空状態にした後、バルブ３３
を開いて急激に気密空間内に空気を流入させ、その大気
圧でカバー２５、接着テープ２１をウエ一・・３４面に
押し付け、真空包装するとともにウエーハ下面全域が接
着テープ２１と完全に接着するようにする。さらに、作
業テーブル２２から外れた一体となつたテープは収容箱
２３内に折り重なつた状態で収容される。このような実
施例によれば、接着テープ２１上へのウエーハ３４の供
給を機械を用いて自動的に行なうことによつて、接着テ
ープ２１とのウエ一・・３４の接着を完全に自動化でき
るので極めて作業性が良くなる。
ーブル２２上に送り出すとともに、作業テーブル２２の
入口部上で接着テープ２１上に順次ウエ一・・３４を一
定間隔離して載置供給する。その後、間欠的に回転する
ゴムローラ２６によつてウエーー・３４を被うようにカ
バー２５が重ね合され、カバー２５の周縁部が接着テー
プ２１の粘着面に貼り付く。また、接着テープ２１とカ
バー２５によつて包まれた状態となつたウエーハ３４は
前記蓋体２７の真下で停止する。すると、蓋体２７は一
時的に下降して窪部３０からなる気密空間を形成し、こ
の気密空間内に一組（図では一組であるが多数組でもよ
い。）のウエ一・・３４、接着テープ部分、カバー部分
を入れ、この気密空間を真空状態にした後、バルブ３３
を開いて急激に気密空間内に空気を流入させ、その大気
圧でカバー２５、接着テープ２１をウエ一・・３４面に
押し付け、真空包装するとともにウエーハ下面全域が接
着テープ２１と完全に接着するようにする。さらに、作
業テーブル２２から外れた一体となつたテープは収容箱
２３内に折り重なつた状態で収容される。このような実
施例によれば、接着テープ２１上へのウエーハ３４の供
給を機械を用いて自動的に行なうことによつて、接着テ
ープ２１とのウエ一・・３４の接着を完全に自動化でき
るので極めて作業性が良くなる。
また、この実施例では前記実施例と同様に真空状態およ
び空気圧を利用して接着テープ２１とウエーハ３４との
接着を行なうので、全域で確実に接着する。さらに、こ
の実施例によれば、ウエーハ３４を完全に被うので、ウ
エーハ面に不純物が附着することもなく、また傷等も付
かないなどの利点があるとともに、帯状となりかつ折り
重ねて搬送できるため取り扱い易い等の実益がある。な
お、本発明はウエ一・・以外の物品の貼付についても同
様に行なうことができる。
び空気圧を利用して接着テープ２１とウエーハ３４との
接着を行なうので、全域で確実に接着する。さらに、こ
の実施例によれば、ウエーハ３４を完全に被うので、ウ
エーハ面に不純物が附着することもなく、また傷等も付
かないなどの利点があるとともに、帯状となりかつ折り
重ねて搬送できるため取り扱い易い等の実益がある。な
お、本発明はウエ一・・以外の物品の貼付についても同
様に行なうことができる。
以上のように、本発明の物品の貼着方法によれば物品に
被接着物を未接着領域を有することなく確実に接着でき
る。
被接着物を未接着領域を有することなく確実に接着でき
る。
また、本発明によれば、物品と被接着物との接着作業を
自動的に行なうことができるので、極めて作業性が良く
なる。
自動的に行なうことができるので、極めて作業性が良く
なる。
さらに、本発明によれば、被接着物を両面から被うよう
にすることができるので、パツケージング方法としても
利用できる。
にすることができるので、パツケージング方法としても
利用できる。
この際、被接着物を被う一方のテープ面を粘着面として
おくことによつて、簡単にパツケージングができ、装置
の機構が複雑とならないことから従来のこの種真空包装
技術に較べて優れたものとなるなど多くの効果を奏する
。
おくことによつて、簡単にパツケージングができ、装置
の機構が複雑とならないことから従来のこの種真空包装
技術に較べて優れたものとなるなど多くの効果を奏する
。
第１図Ａ，ｂは本発明の物品の貼着方法の一実施例を示
す工程図、第２図は本発明の他の実施例を示す一部断面
図、第３図ぱ本発明の他の実施例を示す概要図である。 １・・・・・・台座、２・・・・・・接着テープ、３・
・・・・・切込溝、４・−・・・・ウエーハ ５・・・
・・・蓋体、６・・・・・・突部、７・・・・・・窪部
、８・・・・・・パツキン（０−リング）、９・・・・
・・供給管、１０・・・・・・排気管、１１・・・・・
・バルブ、１２・・・・・・気密空間、１３・・・・・
・カバー ２０・・・・・・供給ロール、２１・・・・
・・接着テープ、２２・・・・・・作業テーブル、２３
・・・・・・収容箱、２４・・・・・・カバー供給ロー
ル、２５・・・・・・カバー、２６・・・・・・ゴムロ
ーラ、２７・・・・・・蓋体、２８・・・・・・突部、
２９・・・・・・パツキン、３０・・・・・・窪部、３
１・・・・・・供給管、３２・・・・・・排気管、３３
・・・・・・パルプ、３４・・・・・・ウエーノ・。
す工程図、第２図は本発明の他の実施例を示す一部断面
図、第３図ぱ本発明の他の実施例を示す概要図である。 １・・・・・・台座、２・・・・・・接着テープ、３・
・・・・・切込溝、４・−・・・・ウエーハ ５・・・
・・・蓋体、６・・・・・・突部、７・・・・・・窪部
、８・・・・・・パツキン（０−リング）、９・・・・
・・供給管、１０・・・・・・排気管、１１・・・・・
・バルブ、１２・・・・・・気密空間、１３・・・・・
・カバー ２０・・・・・・供給ロール、２１・・・・
・・接着テープ、２２・・・・・・作業テーブル、２３
・・・・・・収容箱、２４・・・・・・カバー供給ロー
ル、２５・・・・・・カバー、２６・・・・・・ゴムロ
ーラ、２７・・・・・・蓋体、２８・・・・・・突部、
２９・・・・・・パツキン、３０・・・・・・窪部、３
１・・・・・・供給管、３２・・・・・・排気管、３３
・・・・・・パルプ、３４・・・・・・ウエーノ・。
Claims (1)
- １ 第１の表面に電子素子に関する所定のパターンが形
成された板状物の第２の表面に粘着シートを貼着する方
法において、上記粘着シートの両側を真空状態にするこ
とによつて気泡を除去したのち、上記シートまたは板状
物に気体圧を加えることにより密着接合させることを特
徴とする板状物の貼着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51113697A JPS5938278B2 (ja) | 1976-09-24 | 1976-09-24 | 物品の貼着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51113697A JPS5938278B2 (ja) | 1976-09-24 | 1976-09-24 | 物品の貼着方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58172954A Division JPS59103354A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 板状物の貼着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5339330A JPS5339330A (en) | 1978-04-11 |
| JPS5938278B2 true JPS5938278B2 (ja) | 1984-09-14 |
Family
ID=14618877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51113697A Expired JPS5938278B2 (ja) | 1976-09-24 | 1976-09-24 | 物品の貼着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5938278B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6272948U (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-11 | ||
| US9120585B2 (en) | 2008-12-18 | 2015-09-01 | Emd Millipore Corporation | Device for the transfer of a medium |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59113637A (ja) * | 1982-12-20 | 1984-06-30 | Disco Abrasive Sys Ltd | 半導体ウェハのテープ接着装置 |
| JPS59132634U (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-05 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体製造装置 |
| JPS6038898A (ja) * | 1983-08-11 | 1985-02-28 | 日東電工株式会社 | リングと薄板の貼着方法 |
| JPS6038897A (ja) * | 1983-08-11 | 1985-02-28 | 日東電工株式会社 | 薄板とリングの貼着方法 |
| JPS60100350U (ja) * | 1983-09-24 | 1985-07-09 | ブラザー工業株式会社 | テ−プ接着用加工機 |
| JPS62230561A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体基板へのテ−プ貼着方法およびテ−プ貼着装置 |
| JPH0254564A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Nec Corp | 半導体ウェハースの粘着テープ貼付け装置 |
| JP5317267B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2013-10-16 | 株式会社タカトリ | ウエハのマウント装置 |
| KR101051857B1 (ko) * | 2010-05-27 | 2011-07-25 | 우영관 | Ｆｐｃ 제품에 부재 플레이트를 부착하는 방법 |
-
1976
- 1976-09-24 JP JP51113697A patent/JPS5938278B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6272948U (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-11 | ||
| US9120585B2 (en) | 2008-12-18 | 2015-09-01 | Emd Millipore Corporation | Device for the transfer of a medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5339330A (en) | 1978-04-11 |
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