JPH0749796Y2 - ウエハの保護シート剥がし装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体部品の製造工程において使用され、ウ
エハの表面を保護する保護シートをウエハから剥がすウ
エハの保護シート剥がし装置に関する。

（従来の技術） 従来、IC,トランジスタなどの半導体部品の製造工程に
おいて、バックグラインダ工程の前に、ウエハの表面を
保護するために保護シートが貼られる。この保護シート
はバックグラインダ工程後の次工程のダイシングソー工
程の前にウエハから剥がされる。

第３図は従来のウエハの保護シート剥がし装置を示す斜
視図であって、30はウエハ、31はウエハ30が裏面に貼ら
れた保護シート、32は保護シート31が貼られているウエ
ハ30を収納しているカセット、33は保護シート31が剥離
された後のウエハ30を収納するカセット、34と35はウエ
ハ30を搬送するベルトからなる第１搬送体と第２搬送
体、36は剥離テープ、37は剥離テープ36にバックテンシ
ョンを与えている剥離テープ36の供給体、38は剥離テー
プ36を巻き取る巻き取り体、39と40は剥離テープ36と保
護シート31を挟んで両者を接着させる第１ローラと第２
ローラ、41はウエハ吸着テーブル、42は剥離テープ36に
接着した保護シート31と共にウエハ30をウエハ吸着テー
ブル41に移動させて、保護シート31からウエハ30を剥離
するシート剥離部である。

同図において、バックグラインダ工程後、保護シート31
が貼られたウエハ30を収納したカセット32と空のカセッ
ト33をセットする。そして運転が開始されると、第１搬
送体34によりウエハ30がカセット32から第１ローラ39と
第２ローラ40との間に搬送される。第１ローラ39と第２
ローラ40には、保護シート31に剥離テープ36を接着させ
るため、所定の荷重がかかっている。従って、前記保護
シート31には、第１ローラ39と第２ローラ40との間を通
過する間に、剥離テープ36が接着される。

この時、剥離テープ36は、巻き取り体38によって巻き取
られ、また供給体37ではバックテンションがかかってい
るので緩むことなく送り出される。

剥離テープ36が接着している保護シート31が貼られたウ
エハ30は、シート剥離部42の横動によりウエハ吸着テー
ブル41まで搬送され、この状態でウエハ吸着テーブル41
に真空が働き、ウエハ30を吸着保持する。

次にシート剥離部42が復帰動作を行うことによって、ウ
エハ30から保護シート31が剥離テープ36により剥ぎ取ら
れることになる。この時、シート剥離部42のローラは剥
離テープ36を巻き取りながら移動し、巻き取り体38が剥
離テープ36を巻き上げる。

保護シート31の剥離が確認されると、ウエハ吸着テーブ
ル41の上に保持されているウエハ30は第２搬送体35へ送
り出され、この送り出しが確認されると第２搬送体35に
よりウエハ30は空のカセット33に収納される。

前記カセット32の空のカセット33はエレベタ（図示せ
ず）により上下動され、ウエハ30の供給、収納動作が繰
り返される。

（考案が解決しようとする課題） 上記の従来装置では、剥離テープ36が通過する第２ロー
ラ40に剥離テープ36の粘着剤が付着するため、ウエハ30
の通過時にウエハ30の裏面に粘着剤が付着するという問
題がある。

また剥離動作を確実にするためには、剥離テープ36と保
護シート31の接着力を強くすることが考えられるが、こ
のめたには第１ローラ39と第２ローラ40との荷重を大き
くする必要がある。しかし前記荷重を大きくするとウエ
ハ30が破損し易く、かえって剥離動作の信頼性を低下さ
せることになる。

また第１ローラ39と第２ローラ40の回転速度を上げると
ウエハ30が破損し易くなり、剥離速度の能力にも限度が
あった。

本考案の目的は、ウエハの破損を少なくし、剥離速度を
上げられるウエハの保護シート剥がし装置を提供するこ
とにある。

（課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本考案は、ウエハの表面を
保護する保護シートを剥離テープに接着させて、保護シ
ートをウエハから剥がすウエハの保護シート剥がし装置
において、前記剥離テープの保護シートに接着させる剥
離テープ接着部と、保護シートが貼られているウエハを
保持して前記剥離テープ接続部に対して上下動可能なウ
エハ吸着テーブルとを備えると共に前記剥離テープ接着
部と前記ウエハ吸着テーブルが相対的に横動可能である
ことを特徴とする。

（作用） 上記の手段を採用したため、剥離動作時だけ、剥離テー
プを保護シートに接着させることができる。すなわちウ
エハ吸着テーブルは、剥離テープ接着部へ保護シートが
貼られているウエハがあるとき上昇するので、ウエハ吸
着テーブルの表面に剥離テープの接着剤が付着すること
がなく、ウエハ裏面に剥離テープの接着剤が付着するこ
とを防ぐことができる。また、保護シートと剥離テープ
とが接着すると、ウエハ吸着テーブルはウエハから保護
シートを剥離テープにより剥離させるためにウエハを横
動させることになる。

（実施例） 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本考案のウエハの保護シート剥がし装置の第１
実施例を示す斜視図であって、１はウエハ、２はウエハ
１が表面に貼られた保護シート、３は保護シート２が貼
られているウエハ１を収納しているカセット、４は保護
シート２が剥離された後のウエハ１を収納する空のカセ
ット、５と６はウエハ１を搬送するベルトからなる第１
搬送体と第２搬送体、７は第１搬送体５の近傍に設けら
れたウエハ１の供給チャック、８は第２搬送体６の近傍
に設けられた収納チャック、９は第１搬送体５と第２搬
送体６の間に設置され、かつ第１駆動手段10により上下
動され、さらに第２駆動手段11により横動されるウエハ
吸着テーブル、12は弾性体により下方への付勢力を与え
られているローラからなる剥離テープ接着部、13はロー
ラ対からなるシート剥離部、14は剥離テープ、15は剥離
テープ14にバックテンションを与えている剥離テープ14
の供給体、16は剥離テープ14を巻き取る巻き取り体であ
る。

同図において、バックグラインダ工程後、保護シート２
が貼られたウエハ１を収納したカセット３と空のカセッ
ト４をセットする。そして運転が開始されると、第１搬
送体５によりウエハ１がカセット３から供給チャック７
のチャック位置まで搬送される。この搬送が確認される
と供給チャック７によりウエハ１がチャックされ、ウエ
ハ吸着テーブル９の上に運ばれる。この時、ウエハ吸着
テーブル９は下降位置にあり、ウエハ１はウエハ吸着テ
ーブル９に働く真空により吸着保持される。この吸着保
持後にウエハ吸着テーブル９は剥離テープ接着部12まで
第１駆動手段10により上昇する。上昇すると剥離テープ
接着部12の押圧力が保護シート２と剥離テープ14に加わ
り、保護シート２に剥離テープ14が接着する。この接着
状態でウエハ吸着テーブル９が第２駆動手段11により横
動し、かつシート剥離部13が剥離テープ14を巻き上げる
ため、保護シート２がウエハ１から剥がされることにな
る。

剥離テープ14の巻き上げと同時に巻き取り体16でウエハ
１から保護シート２を剥がした剥離テープ14が巻き取ら
れる。また供給体15では、バックテンションが働いてい
るので剥離テープ14が緩むことがない。

保護シート２が剥がされたウエハ吸着テーブル９の上の
ウエハ１は、収納チャック８のチャック位置まで移動
し、収納チャック８によりチャックされて第２搬送体６
まで運ばれ、空のカセット４に収納される。この時、ウ
エハ吸着テーブル９は第１駆動手段10と第２駆動手段11
で元の下降位置に戻っている。

上記の第１実施例によれば、剥離動作時に、保護シート
２を剥離テープ14に接着させるためウエハ吸着テーブル
９が剥離テープ接着部12に対して上下動することによ
り、ウエハ吸着テーブル９の表面に粘着剤が付くことが
ないので、ウエハ１の裏面への粘着剤付着が防止され
る。また剥離テープ接着部12は弾性体の付勢力を受けて
いるので適度の押圧力がウエハ１に加わるため、ウエハ
１の破損がなく、剥離動作の信頼性を向上させることが
できる。またウエハ吸着テーブル９が横動して剥離動作
をするので、剥離速度を上げることができる。

第２図は本考案のウエハの保護シート剥がし装置の第２
実施例を示す斜視図であって、17はウエハ吸着テーブル
９の上部を横動可能なローラ17aを備えた剥離テープ接
着部であり、第１図で説明した部材に対応する部材には
同一符号を付した。

同図において、第１実施例と同様にウエハ吸着テーブル
９によりウエハ１は、剥離テープ接着部17の押圧力が働
く位置まで上昇する。この上昇が確認されると、剥離テ
ープ接着部17のローラ17aが、剥離テープ14と保護シー
ト２との間に空気が残らないように、剥離テープ14の上
面を押圧しながら横動する（図中の２点鎖線で示したロ
ーラ17aの位置）。

第２実施例によれば、保護シート２と剥離テープ14とを
確実に接着させることができ、剥離ミスを防ぐことがで
きる。

なお、第1,第２実施例において、剥離テープ接着部12,1
7、あるいはウエハ吸着テーブル９に図示しない加熱部
を設けて、保護シート２を剥がし易くすることも考えら
れる。

（考案の効果） 本考案によれば、ウエハ吸着テーブルを剥離テープ接着
部に対して上下動可能かつ横動可能にしたことにより、
剥離動作時のみ、ウエハが剥離テーブル接着部に移動す
るので、不用意にウエハの裏面に粘着剤が付着すること
を防げ、またウエハ吸着テーブルが横動するので剥離速
度も上げられ、剥離動作の信頼性や能率の向上が図れる
ウエハの保護シート剥がし装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるウエハの保護シート剥がし装置の
第１実施例を示す斜視図、第２図は本考案によるウエハ
の保護シート剥がし装置の第２実施例を示す斜視図、第
３図は従来のウエハの保護シート剥がし装置を示す斜視
図である。 １……ウエハ、２……保護シート、３……カセット、４
……空のカセット、5,6……搬送体、7,8……チャック、
９……ウエハ吸着テーブル、10,11……駆動手段、12,17
……剥離テープ接着部、13……シート剥離部、14……剥
離テープ、15……供給体、16……巻き取り体。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハの表面を保護する保護シートを剥離
   テープに接着させて、前記保護シートを前記ウエハから
   剥がすウエハの保護シート剥がし装置において、前記剥
   離テープを前記保護シートに接着させる剥離テープ接着
   部と、前記保護シートが貼られているウエハを保持して
   前記剥離テープ接続部に対して上下動可能なウエハ吸着
   テーブルとを備えると共に前記剥離テープ接着部と前記
   ウエハ吸着テーブルが相対的に横動可能であることを特
   徴とするウエハの保護シート剥がし装置。
2. 【請求項２】前記剥離テープ接着部に加熱部を備えたこ
   とを特徴とする請求項（１）記載のウエハの保護シート
   剥がし装置。
3. 【請求項３】前記ウエハ吸着テーブルに加熱部を備えた
   ことを特徴とする請求項（１）記載のウエハの保護シー
   ト剥がし装置。