JPS59227777A - セラミツクスの製造方法 - Google Patents
セラミツクスの製造方法Info
- Publication number
- JPS59227777A JPS59227777A JP58099324A JP9932483A JPS59227777A JP S59227777 A JPS59227777 A JP S59227777A JP 58099324 A JP58099324 A JP 58099324A JP 9932483 A JP9932483 A JP 9932483A JP S59227777 A JPS59227777 A JP S59227777A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramics
- pressure
- firing
- vibration
- close
- Prior art date
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- Pending
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、高強度で高信頼性のセラミックスを製造する
方法に関する。
方法に関する。
従来のセラミックスのホットプレス方法は、加圧が静圧
なため、粒子の最密充てん化が不十分だったり、粒子の
密着度合が不十分なため焼成後のセラミックスの歩留シ
が悪いなどの欠点が１１）、高品質、高信頼性のセラミ
ックスが製造出来ない問題がめった。
なため、粒子の最密充てん化が不十分だったり、粒子の
密着度合が不十分なため焼成後のセラミックスの歩留シ
が悪いなどの欠点が１１）、高品質、高信頼性のセラミ
ックスが製造出来ない問題がめった。
本発明の目的は、セラミックスの製造方法において、非
酸性雰囲気で超音波振動を与えながら加圧焼成を行うこ
とにより、最密充てん化の計れた高品質、高信頼性のセ
ラミックスを製造する方法を提供することにめる。
酸性雰囲気で超音波振動を与えながら加圧焼成を行うこ
とにより、最密充てん化の計れた高品質、高信頼性のセ
ラミックスを製造する方法を提供することにめる。
本発明の要旨とするところは、セラミックスの製造方法
において非酸化性雰囲気で超音波振動を与えながら加圧
焼成することを特徴とするセラミックスの製造方法にあ
る。
において非酸化性雰囲気で超音波振動を与えながら加圧
焼成することを特徴とするセラミックスの製造方法にあ
る。
すなわち、セラミックスのホットプレス方法は加圧力が
静圧なため、粒子の最密充てん化が円滑に進まず、強度
のバラツキが大きく材料の信頼性が低い。従って高信頼
性で且つ均一性の大きいセラミックスの製造が困難であ
る。そこで、セラミックスの最密充てん化を向上し、セ
ラミックスの強度のバラツキをない高信頼性のセラミッ
クスを製造するためには、非酸化性雰囲気中で超音波振
動を与えながら加圧焼成することが必要となる。
静圧なため、粒子の最密充てん化が円滑に進まず、強度
のバラツキが大きく材料の信頼性が低い。従って高信頼
性で且つ均一性の大きいセラミックスの製造が困難であ
る。そこで、セラミックスの最密充てん化を向上し、セ
ラミックスの強度のバラツキをない高信頼性のセラミッ
クスを製造するためには、非酸化性雰囲気中で超音波振
動を与えながら加圧焼成することが必要となる。
すなわち、超音波振動を与えるということは、粒子間の
界面エネルギーが高くなくｎＦ）、Ｌかも粒子の移動が
起るため、粒子の最密光てん化がよシ容易に進行し均一
化が計れる。従って、得られるセラミックスの強度が犬
きく、シかも安定している高品質、高信頼性のセラミッ
クスが製造できる。
界面エネルギーが高くなくｎＦ）、Ｌかも粒子の移動が
起るため、粒子の最密光てん化がよシ容易に進行し均一
化が計れる。従って、得られるセラミックスの強度が犬
きく、シかも安定している高品質、高信頼性のセラミッ
クスが製造できる。
超音波振動数に関しては超音波振動数がＩＫＨ１以下の
場合は、はとんど最密光てん化に及ぼす振動の影響は小
さく効果がない。超音波振動数が２０Ｋ Ｈｚ以上にな
ると、振動が大きくなるために粒子の移動が厳しくなシ
、粒子の密着が破壊され焼成しにくい問題がある。従っ
て超音波振動数は、ｌＫＨ２から２０ＫＨ２の範囲が適
当であり、均一な最密光てん化に効果がある。
場合は、はとんど最密光てん化に及ぼす振動の影響は小
さく効果がない。超音波振動数が２０Ｋ Ｈｚ以上にな
ると、振動が大きくなるために粒子の移動が厳しくなシ
、粒子の密着が破壊され焼成しにくい問題がある。従っ
て超音波振動数は、ｌＫＨ２から２０ＫＨ２の範囲が適
当であり、均一な最密光てん化に効果がある。
以下、本発明の実施例について説明する。第１図は、ホ
ットプレスの加圧棒に超音波振動を与えているところを
示している。構成は、交流発振器ｌＯ、フェライト振動
子９、フェライト振動子に巻きつけであるコイル８、振
動増幅器７、接触子６から成っている。接触子６から伝
達される振動を加圧棒１に与え、さらに加圧棒受２を介
して、非酸化性雰囲気室４に配置され、黒鉛治具３の中
に挿入されたセラミックス５に振動を与えながら加圧焼
成する方式である。セラミックスには、炭化ケイ素に焼
結助剤を添加したものを用い、真空中ｌＸｌ０”” ’
ｌ’ｏｒｒで加熱を行い約１９００１Ｚ”で５０Ｋｇ
ｆ／ｃｒＢ’ の加圧と同時にｌ０ＫＨ２の超音波振動
を与えたのち、焼成温度でめる２０００ｃまで昇温し、
加圧をさらに２００Ｋｆｆ／ｃｒ１ｆまで付加し、前超
音波振動１０ＫＨ２のまま１時間の保持をした。
ットプレスの加圧棒に超音波振動を与えているところを
示している。構成は、交流発振器ｌＯ、フェライト振動
子９、フェライト振動子に巻きつけであるコイル８、振
動増幅器７、接触子６から成っている。接触子６から伝
達される振動を加圧棒１に与え、さらに加圧棒受２を介
して、非酸化性雰囲気室４に配置され、黒鉛治具３の中
に挿入されたセラミックス５に振動を与えながら加圧焼
成する方式である。セラミックスには、炭化ケイ素に焼
結助剤を添加したものを用い、真空中ｌＸｌ０”” ’
ｌ’ｏｒｒで加熱を行い約１９００１Ｚ”で５０Ｋｇ
ｆ／ｃｒＢ’ の加圧と同時にｌ０ＫＨ２の超音波振動
を与えたのち、焼成温度でめる２０００ｃまで昇温し、
加圧をさらに２００Ｋｆｆ／ｃｒ１ｆまで付加し、前超
音波振動１０ＫＨ２のまま１時間の保持をした。
その後、超音波振動を停止し、加圧を解放し炉冷した。
焼成したセラミックスは、装置から取シ出し曲げ試験片
寸法（３ｍ幅Ｘ３６＋ｗ＋長さ）に切断、ダイヤモンド
研摩の仕上を行った。曲げ試験片の採取位置は、炭化ケ
イ素全体が、均一な最密光てん化が計れているかどうか
を横部するために、炭化ケイ素の中心部と端部側とした
。
寸法（３ｍ幅Ｘ３６＋ｗ＋長さ）に切断、ダイヤモンド
研摩の仕上を行った。曲げ試験片の採取位置は、炭化ケ
イ素全体が、均一な最密光てん化が計れているかどうか
を横部するために、炭化ケイ素の中心部と端部側とした
。
第２図に炭化ケイ素の各位置から採取した曲げ試験片の
位置を示す。第３図は従来法を、第４図は本法の曲げ強
さ結果を示す。図からも、わがるように従来法の曲げ強
さは、中心部に１２００ＭＰａと高強度を示しているが
端部の方は、１０００ＭＰａ〜１１００ＭＰａと差異が
大きく、最大で２００ＭＰａの差が生じておシ、高品質
、高信頼性の立場から見ても問題がある。
位置を示す。第３図は従来法を、第４図は本法の曲げ強
さ結果を示す。図からも、わがるように従来法の曲げ強
さは、中心部に１２００ＭＰａと高強度を示しているが
端部の方は、１０００ＭＰａ〜１１００ＭＰａと差異が
大きく、最大で２００ＭＰａの差が生じておシ、高品質
、高信頼性の立場から見ても問題がある。
しかし、本法は、図示の如く、全体的な曲げ強さの差異
もはとんどなく、１１４０ＭＰａ〜１２００ＭＰａ
と非常に安定した曲げ強さを示し、セラミックス全体の
均−最密光てん化が計れた事が理解出来る。従って、実
施例によれば、超音波振動を与えながら加圧焼成を行う
ことにょシ、充てんが円滑に進行するため、セラミック
ス全体に均一な最密光てん化が計れ、高品質、高信頼性
のセラミックスの製造に非常に有効な手段であることが
判明した。
もはとんどなく、１１４０ＭＰａ〜１２００ＭＰａ
と非常に安定した曲げ強さを示し、セラミックス全体の
均−最密光てん化が計れた事が理解出来る。従って、実
施例によれば、超音波振動を与えながら加圧焼成を行う
ことにょシ、充てんが円滑に進行するため、セラミック
ス全体に均一な最密光てん化が計れ、高品質、高信頼性
のセラミックスの製造に非常に有効な手段であることが
判明した。
本発明によれば、セラミックスを非酸化性雰囲中で加圧
焼成するネットプレス方法において、超音波振動を与え
ながら加圧焼成を行うことによシ、従来の欠点である最
密光てん化の不十分及び密着に合の不十分による焼成後
のセラミックスの夛留シを向上し、セラミックス全体に
均一な最密光てん化が計れるため、機械的性質の差異も
小さく、高品質で高信頼性のセラミックスの製造が出来
るので、種々の複合セラミックスへの適応しても優れた
効果がある。
焼成するネットプレス方法において、超音波振動を与え
ながら加圧焼成を行うことによシ、従来の欠点である最
密光てん化の不十分及び密着に合の不十分による焼成後
のセラミックスの夛留シを向上し、セラミックス全体に
均一な最密光てん化が計れるため、機械的性質の差異も
小さく、高品質で高信頼性のセラミックスの製造が出来
るので、種々の複合セラミックスへの適応しても優れた
効果がある。
第１図は本発明の一実施例の加圧棒に超音波振動を与え
ている所を示す断面図、第２図はセラミックスの曲げ試
験片採取位置を示す状態図、第３図は従来法における曲
げ試験結果を示すグラフ、第４図は本発明の方法におけ
る曲げ試験結果を示すグラフでめる。 １・・・加圧棒、２・・・加圧棒受、３・・・黒鉛治具
、４・・・真空室、５・・・セラミックス、６・・・接
触子、７・・・増幅器、８・・・コイル、９・・・７エ
２イト振動子、ｌＯ・・・交流発振器、１１・・・炭化
ケイ素基板、工２゜１３．１４，１５，１６．１７・・
・曲げ試験片採取第１図 糖３図 憎ω（２） 曲１１゛〜ｂ葎取位置
ている所を示す断面図、第２図はセラミックスの曲げ試
験片採取位置を示す状態図、第３図は従来法における曲
げ試験結果を示すグラフ、第４図は本発明の方法におけ
る曲げ試験結果を示すグラフでめる。 １・・・加圧棒、２・・・加圧棒受、３・・・黒鉛治具
、４・・・真空室、５・・・セラミックス、６・・・接
触子、７・・・増幅器、８・・・コイル、９・・・７エ
２イト振動子、ｌＯ・・・交流発振器、１１・・・炭化
ケイ素基板、工２゜１３．１４，１５，１６．１７・・
・曲げ試験片採取第１図 糖３図 憎ω（２） 曲１１゛〜ｂ葎取位置
Claims (1)
- １、セラミックスを、非酸化性の雰囲気中で加圧焼成す
るホットプレス方法において、振動を与えながら加圧焼
成することを特徴とするセラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099324A JPS59227777A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | セラミツクスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099324A JPS59227777A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | セラミツクスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59227777A true JPS59227777A (ja) | 1984-12-21 |
Family
ID=14244451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58099324A Pending JPS59227777A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | セラミツクスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59227777A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GR1003445B (el) * | 1999-06-24 | 2000-10-05 | �.�. �������� �������� ������������-��������� ��� ������... | Ξηρανση και οπτηση κεραμικων προιοντων με χρηση ηχητικων κυματων |
| JP2010145008A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Kobe Steel Ltd | 熱間等方圧加圧装置 |
-
1983
- 1983-06-06 JP JP58099324A patent/JPS59227777A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GR1003445B (el) * | 1999-06-24 | 2000-10-05 | �.�. �������� �������� ������������-��������� ��� ������... | Ξηρανση και οπτηση κεραμικων προιοντων με χρηση ηχητικων κυματων |
| JP2010145008A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Kobe Steel Ltd | 熱間等方圧加圧装置 |
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