JPS58171264A - 導電性研磨用部材 - Google Patents
導電性研磨用部材Info
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- JPS58171264A JPS58171264A JP57051952A JP5195282A JPS58171264A JP S58171264 A JPS58171264 A JP S58171264A JP 57051952 A JP57051952 A JP 57051952A JP 5195282 A JP5195282 A JP 5195282A JP S58171264 A JPS58171264 A JP S58171264A
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- sheet
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/34—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents characterised by additives enhancing special physical properties, e.g. wear resistance, electric conductivity, self-cleaning properties
- B24D3/342—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents characterised by additives enhancing special physical properties, e.g. wear resistance, electric conductivity, self-cleaning properties incorporated in the bonding agent
- B24D3/344—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents characterised by additives enhancing special physical properties, e.g. wear resistance, electric conductivity, self-cleaning properties incorporated in the bonding agent the bonding agent being organic
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は磁気ヘッドなどの精密仕上げの用に供される
導電性研磨用部材に関するものである。
導電性研磨用部材に関するものである。
電気、電子産業のめざましい発展の中で精密化がさけば
れ、そこで用いられる超精密部品の仕」二け、ラッピン
グ、面出し、傷取り、クリーニング作業が必要となり、
研磨が行なわれている。超精密研磨材料としてシリコン
ウェハ、磁気ヘット。
れ、そこで用いられる超精密部品の仕」二け、ラッピン
グ、面出し、傷取り、クリーニング作業が必要となり、
研磨が行なわれている。超精密研磨材料としてシリコン
ウェハ、磁気ヘット。
レンズ、精密モータ部品などあげられるが、これらの研
磨においては、一つの小さな傷も許されない。たとえば
、オーディオやビデオで用いられている磁気ヘッドの傷
は音や画面を荒す原因となる。
磨においては、一つの小さな傷も許されない。たとえば
、オーディオやビデオで用いられている磁気ヘッドの傷
は音や画面を荒す原因となる。
このような磁気ヘッドは、従来オーディオ関連商品を中
心に著しく発展Ｉ７て来たが、最近ではビデオテレビあ
るいはコンピュータ関連に使用されるに至り、高い品質
が要求される様になってきた。
心に著しく発展Ｉ７て来たが、最近ではビデオテレビあ
るいはコンピュータ関連に使用されるに至り、高い品質
が要求される様になってきた。
特にヘッド部の表面精度は、これら関連商品の生命を左
右するだけに、ヘッドの仕１−げ工程では細心の注意が
払われている。高い記録密度の要求されるビデオテレビ
の場合、磁気ヘッド部の仕上げ状態が悪いと、録画■及
び出生量にむらが生じ均一な良質の画像を得る事ができ
なくなる。また誤動装作の許されないコンピュータの場
合も同様で光学鏡面性」二けされた信頼性のある磁気ヘ
ッドが要求される。
右するだけに、ヘッドの仕１−げ工程では細心の注意が
払われている。高い記録密度の要求されるビデオテレビ
の場合、磁気ヘッド部の仕上げ状態が悪いと、録画■及
び出生量にむらが生じ均一な良質の画像を得る事ができ
なくなる。また誤動装作の許されないコンピュータの場
合も同様で光学鏡面性」二けされた信頼性のある磁気ヘ
ッドが要求される。
磁気ヘッドの研磨工程は、大きく２つの段階にわかれる
。第１段階は荒削りで、金型あるいは加工等成型時のパ
リ取り、あるいは面出し工程である。次の第２段階は、
イ」」二げ研磨で、用途に応じた精度、形状に仕」−げ
るもので、多くは０．１μ以下の表面精度にまたコンピ
ュータ、ビデオテレビ等用に高級な磁気ヘッドでは０．
０５μ以下の光学鏡面に仕上げられる。第１段階では、
精度的要求が低い為、場合によっては砥石が用いられる
事があるが、第２段階では、仕上げの面精度及び仕上げ
形状から、信頼性の高い柔軟性のあるポリエステル基材
の研磨用シート、つまりポリエステル基村上に砥粒をバ
インダで結着固定した研摩層を設けてなるものが用いら
れる事が多い。
。第１段階は荒削りで、金型あるいは加工等成型時のパ
リ取り、あるいは面出し工程である。次の第２段階は、
イ」」二げ研磨で、用途に応じた精度、形状に仕」−げ
るもので、多くは０．１μ以下の表面精度にまたコンピ
ュータ、ビデオテレビ等用に高級な磁気ヘッドでは０．
０５μ以下の光学鏡面に仕上げられる。第１段階では、
精度的要求が低い為、場合によっては砥石が用いられる
事があるが、第２段階では、仕上げの面精度及び仕上げ
形状から、信頼性の高い柔軟性のあるポリエステル基材
の研磨用シート、つまりポリエステル基村上に砥粒をバ
インダで結着固定した研摩層を設けてなるものが用いら
れる事が多い。
従来、研磨時における最大の課題は、いかにして傷のな
い均一な光学鏡面を得るかであった。研磨によるムラや
島の発生は研磨用シートに用いられる砥粒の粒径分布状
態と研磨用シートへのゴミの混入による事が多い。前者
は砥粒の精製のレベルを向−トさせる事で容易に対処す
る事ができる。
い均一な光学鏡面を得るかであった。研磨によるムラや
島の発生は研磨用シートに用いられる砥粒の粒径分布状
態と研磨用シートへのゴミの混入による事が多い。前者
は砥粒の精製のレベルを向−トさせる事で容易に対処す
る事ができる。
しかしながら、後者の場合、研磨環境のクリーンレベル
を高くする事によって、あるいは研磨部分に吸引機を設
置する事によって等種々の物理的手法による無ジン化の
検討がなされているが、研磨作業そのものが研磨クズを
発生させる工程である事から本質的にゴミを無くす事は
難しく、−刃研磨用シートへのゴミの付着は研磨用シー
トの剥離帯電あるいは摩擦帯電等静電気による帯電が原
因となっているため、現状の研磨用シートを用いて、ゴ
ミの付着を防止したり、一度付着したゴミを物理的手法
を用いて除去する事は姉、シい。
を高くする事によって、あるいは研磨部分に吸引機を設
置する事によって等種々の物理的手法による無ジン化の
検討がなされているが、研磨作業そのものが研磨クズを
発生させる工程である事から本質的にゴミを無くす事は
難しく、−刃研磨用シートへのゴミの付着は研磨用シー
トの剥離帯電あるいは摩擦帯電等静電気による帯電が原
因となっているため、現状の研磨用シートを用いて、ゴ
ミの付着を防止したり、一度付着したゴミを物理的手法
を用いて除去する事は姉、シい。
今日まで、精密研磨用部祠に関する検討は、主に研磨砥
粒の粒径分布と砥粒の形状に関する研削能力を中心にし
たものであった。しかしながら、精密研磨用シートにお
いて重要な事は、傷の無い研磨面を与える事である。に
もかかわらず、この種の報告はほとんどなされていない
。
粒の粒径分布と砥粒の形状に関する研削能力を中心にし
たものであった。しかしながら、精密研磨用シートにお
いて重要な事は、傷の無い研磨面を与える事である。に
もかかわらず、この種の報告はほとんどなされていない
。
この発明者らは、」１記の事情に鑑み鋭意検討した結果
、従来の精密研磨用のシートと同程度の研削能力を与え
、しかもゴミ１異物の付着が防がれて研磨ムラや傷の発
生がみられない研磨面を与えることができる新規かつ有
用な導電性研磨用部材゛。
、従来の精密研磨用のシートと同程度の研削能力を与え
、しかもゴミ１異物の付着が防がれて研磨ムラや傷の発
生がみられない研磨面を与えることができる新規かつ有
用な導電性研磨用部材゛。
を見い出し、この発明を完成するに至ったものである。
すなわち、この発明は、砥粒をバインダで結着固定した
研磨層をベース上に設けてなるシート。
研磨層をベース上に設けてなるシート。
テープなどの研磨用部材において、上記の研磨層中に平
均粒径２０〜５０７１Ｌμのカーボン粉末を上記バイン
ダ１００重量部に対して１〜２０重量部の割合で含有さ
せたことを特徴とする導電性研磨用部材に係るものであ
る。
均粒径２０〜５０７１Ｌμのカーボン粉末を上記バイン
ダ１００重量部に対して１〜２０重量部の割合で含有さ
せたことを特徴とする導電性研磨用部材に係るものであ
る。
図面は、この発明の導電性研磨用シートの一例を示した
ものであり、ベース１上に砥粒２がノ〈インダ３によっ
て結着固定された研磨層４が設けられており、この研磨
層４中にはカーボン粉末５が均一に分散結着されている
。
ものであり、ベース１上に砥粒２がノ〈インダ３によっ
て結着固定された研磨層４が設けられており、この研磨
層４中にはカーボン粉末５が均一に分散結着されている
。
ベース１としてはポリエチレンテレフタレートフィルム
の如きポリエステルフィルムが好適に用いられ、その厚
さは用途目的に応じて適宜選択される。砥粒２としては
、酸化アルミニウム粉、シリコンカーバイド粉、酸化ク
ロム粉、酸化鉄粉。
の如きポリエステルフィルムが好適に用いられ、その厚
さは用途目的に応じて適宜選択される。砥粒２としては
、酸化アルミニウム粉、シリコンカーバイド粉、酸化ク
ロム粉、酸化鉄粉。
ダイヤモンド粉などが用いられ、表面の仕上げ精度に応
じてその粒径が選択されるが、一般には平均粒径が０．
３〜３０μ程度のものが用いられる。
じてその粒径が選択されるが、一般には平均粒径が０．
３〜３０μ程度のものが用いられる。
バインダ３としては、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、フ
ェノール−ホルムアルデヒド樹脂、ウレタン樹脂やポリ
エステル樹脂の如き耐熱性でかつ耐摩耗性にすぐれる樹
脂が好ましく用いられる。研磨層４の厚みとしては、一
般に５〜４０μ程度である。
ェノール−ホルムアルデヒド樹脂、ウレタン樹脂やポリ
エステル樹脂の如き耐熱性でかつ耐摩耗性にすぐれる樹
脂が好ましく用いられる。研磨層４の厚みとしては、一
般に５〜４０μ程度である。
カーボン粉末５は、この発明の研磨用シートの要部をな
すものであり、その平均粒径が２０〜５０ｍμの範囲に
あるものが用いられ、研磨層４中の含有量としては、バ
インダ１００重量部に対して１〜２０重量部、好適には
５〜１５重量部の範囲に設定されている。
すものであり、その平均粒径が２０〜５０ｍμの範囲に
あるものが用いられ、研磨層４中の含有量としては、バ
インダ１００重量部に対して１〜２０重量部、好適には
５〜１５重量部の範囲に設定されている。
このように、この発明の研磨用シートは、研磨層４中に
カーボン粉末５を含まぜるようにしたから、この粉末５
によって上記研磨層４に良好な導電性を付与でき、これ
によって帯電によるゴミ。
カーボン粉末５を含まぜるようにしたから、この粉末５
によって上記研磨層４に良好な導電性を付与でき、これ
によって帯電によるゴミ。
異物の付着が抑止されるため、研磨面への研磨ムラや傷
の発生が減少する。しかも、」１記カーボン粉末５は、
金属粉末などに較べてすぐれた導電機能を有しているた
め、バインダに対する含有量を前記少量にしても充分な
る帯電防止機能を発揮させることかでき、このため研磨
層４本来の機能、つまり研磨能力になんら悪影響をおよ
ぼさず、また砥粒２のバインダ３に対する結着固定性を
阻害するおそれもない。
の発生が減少する。しかも、」１記カーボン粉末５は、
金属粉末などに較べてすぐれた導電機能を有しているた
め、バインダに対する含有量を前記少量にしても充分な
る帯電防止機能を発揮させることかでき、このため研磨
層４本来の機能、つまり研磨能力になんら悪影響をおよ
ぼさず、また砥粒２のバインダ３に対する結着固定性を
阻害するおそれもない。
これに対して、たとえば上述の金属粉末では、バインダ
１００重」部に対して２０重量部以上、好ましくは３０
重量部以上含有させなければ、ゴミなどの付着を防止す
るに充分な帯電防止効果が得られず、かかる多量配合で
は、砥粒の配合比率がそれだけ低下して研磨能力を損な
い、しかもバインダに対する砥粒の結着固定性が悪くな
って研磨時に脱落しやすくなる。
１００重」部に対して２０重量部以上、好ましくは３０
重量部以上含有させなければ、ゴミなどの付着を防止す
るに充分な帯電防止効果が得られず、かかる多量配合で
は、砥粒の配合比率がそれだけ低下して研磨能力を損な
い、しかもバインダに対する砥粒の結着固定性が悪くな
って研磨時に脱落しやすくなる。
−１−記カーボン粉末５の粒径は、これが小さいほど導
電機能上望ましいものであるが、あまり小さくなりすき
ると、研磨層４の柔軟性、ベースｌに対する接着性およ
び砥粒２の結着性などに悪い影響をおよぼすおそれがあ
る。また粒径が大きくなると、導電機能の低下とともに
、研磨層４の柔軟性なども低トしやすい。カーボン粉末
５の平均粒径を、前記２０〜５０ｍμの範囲に設定した
のは、」１記理由に基づくものであり、この範囲に設定
することによって研磨層本来の機能などをなんら損なう
ことなく良好な導電性を付与することができる。
電機能上望ましいものであるが、あまり小さくなりすき
ると、研磨層４の柔軟性、ベースｌに対する接着性およ
び砥粒２の結着性などに悪い影響をおよぼすおそれがあ
る。また粒径が大きくなると、導電機能の低下とともに
、研磨層４の柔軟性なども低トしやすい。カーボン粉末
５の平均粒径を、前記２０〜５０ｍμの範囲に設定した
のは、」１記理由に基づくものであり、この範囲に設定
することによって研磨層本来の機能などをなんら損なう
ことなく良好な導電性を付与することができる。
なお、前記の金属粉末などではかかる粒子径のものを得
難く、一般にその粒径が大となるため、これが研磨層の
特性を損なう原因ともなり、また研磨面に表面傷を与え
る直接の原因ともなる。
難く、一般にその粒径が大となるため、これが研磨層の
特性を損なう原因ともなり、また研磨面に表面傷を与え
る直接の原因ともなる。
以上詳述したとおり、この発明によれば、研磨層に特定
のカーボン粉末を特定酸含有させるという簡単な構成に
よって、従来得ることができなかった磁気ヘッドなどの
精密仕」−げ用としてきわめて有用な導電性研磨用部材
を提供することができる。
のカーボン粉末を特定酸含有させるという簡単な構成に
よって、従来得ることができなかった磁気ヘッドなどの
精密仕」−げ用としてきわめて有用な導電性研磨用部材
を提供することができる。
つぎに、この発明の実施例につき説明する。以下におい
て、部とあるは重計部を意味するものとする。
て、部とあるは重計部を意味するものとする。
実施例１
２５μ厚のポリエステルベースフィルム」二に、モ均粒
径５μの酸化アルミニウム粉３００部とポリエステル系
ウレタン樹脂８０部と脂肪族イソシアネート化合物２０
部との混合物にさらにファーネスブラック（平均粒径２
０〜３５ｒｒＬμ）５部を添加したものを塗布し、１５
０℃で２分間加熱乾燥して、全厚４０μの導電性研磨用
シートを得た。
径５μの酸化アルミニウム粉３００部とポリエステル系
ウレタン樹脂８０部と脂肪族イソシアネート化合物２０
部との混合物にさらにファーネスブラック（平均粒径２
０〜３５ｒｒＬμ）５部を添加したものを塗布し、１５
０℃で２分間加熱乾燥して、全厚４０μの導電性研磨用
シートを得た。
実施例２
３８μ厚のポリエステルベースフィルム上に、平均粒径
５μのシリコンカーバイド粉２５０部とポリエステル系
ウレタン樹脂８０部と芳香族イソシアネート２０部との
混合物にさらにファーネスブラック（平均粒径２０〜４
０ｍμ）１５部を添加したものを塗布し、１５０℃で２
分間加熱乾燥して、全厚５３μの導電性研磨用シートを
得た。
５μのシリコンカーバイド粉２５０部とポリエステル系
ウレタン樹脂８０部と芳香族イソシアネート２０部との
混合物にさらにファーネスブラック（平均粒径２０〜４
０ｍμ）１５部を添加したものを塗布し、１５０℃で２
分間加熱乾燥して、全厚５３μの導電性研磨用シートを
得た。
実施例３
７５μ厚のポリエステルベースフィルム上に、平均粒径
５μのシリコンカーバイド粉３００部とポリエステル樹
脂１００部との混合物にさらにファーネスブラック（平
均粒径３０〜４５ｍμ）３０部を添加したものを塗布し
、１００℃で２分間加熱乾燥して、全厚９０μの導電性
研磨用シートを得た。
５μのシリコンカーバイド粉３００部とポリエステル樹
脂１００部との混合物にさらにファーネスブラック（平
均粒径３０〜４５ｍμ）３０部を添加したものを塗布し
、１００℃で２分間加熱乾燥して、全厚９０μの導電性
研磨用シートを得た。
参考例
２５μ厚のポリエステルベースフィルム上に、実施例１
と同様の酸化アルミニウム粉３００部とポリエステル系
ウレタン樹脂８０部と脂肪族イソシアネート化合物２０
部との混合物を塗布し、１５０℃で２分間加熱乾燥して
、全厚４０μの研磨用シートを得た。
と同様の酸化アルミニウム粉３００部とポリエステル系
ウレタン樹脂８０部と脂肪族イソシアネート化合物２０
部との混合物を塗布し、１５０℃で２分間加熱乾燥して
、全厚４０μの研磨用シートを得た。
上記の実施例１〜３および参考例の各研磨用シートにつ
き、電気抵抗を測定し、また剥離帯電によるゴミ（ここ
では１００メツシユの鉄粉）の付着率を調べた。さらに
その後ステンレス板の研磨を行なって、研磨層の発生程
度および研磨能力を調べた。これらの結果は、つぎの表
に示されると（注） ■）シート面に全く付着しないを
優、シート面に３０％以下の付着を良、 シート面に３０％以−Ｌの付着を不良 と判定した。
き、電気抵抗を測定し、また剥離帯電によるゴミ（ここ
では１００メツシユの鉄粉）の付着率を調べた。さらに
その後ステンレス板の研磨を行なって、研磨層の発生程
度および研磨能力を調べた。これらの結果は、つぎの表
に示されると（注） ■）シート面に全く付着しないを
優、シート面に３０％以下の付着を良、 シート面に３０％以−Ｌの付着を不良 と判定した。
２）全くなしを優、１〜２本すしが入
るを良、多数すじが入るを不良
と判定した。
３）研磨量が多いを優、かなり研磨さ
れているを良、はとんど研磨され
ないを不良
と判定した。
上表から明らかなように、この発明の導電性研磨用シー
トによれば、研磨層の発生を防止できる一方充分な研磨
能力を発揮でき、磁気ヘッドなどの精密部品の研磨用と
してきわめて好適であることがわかる。
トによれば、研磨層の発生を防止できる一方充分な研磨
能力を発揮でき、磁気ヘッドなどの精密部品の研磨用と
してきわめて好適であることがわかる。
図面はこの発明の導電性研磨用部材の一例を示す断面図
である。 １・・・ベース、２・・・砥粒、３・・・バインダ、４
・・・研磨層、５・・・カーボン粉末。
である。 １・・・ベース、２・・・砥粒、３・・・バインダ、４
・・・研磨層、５・・・カーボン粉末。
Claims (1)
- （１）砥粒をバインダで結着固定した研磨層をベース」
二に設けてなるシート、テープなどの研磨用部材におい
て１１．に記の研磨層中に平均粒径２０〜５０ｍ、μの
カーボン粉末を」−記バインダ１００重量部に対して１
〜２０重量部の割合で含有させたことを特徴とする導電
性研磨用部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051952A JP2501781B2 (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 導電性研磨用部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051952A JP2501781B2 (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 導電性研磨用部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58171264A true JPS58171264A (ja) | 1983-10-07 |
| JP2501781B2 JP2501781B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=12901206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57051952A Expired - Lifetime JP2501781B2 (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 導電性研磨用部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2501781B2 (ja) |
Cited By (9)
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|---|---|---|---|---|
| JPS6099569A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-03 | Mitsubishi Metal Corp | 研削砥石 |
| EP0414494A2 (en) * | 1989-08-21 | 1991-02-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Conductive coated abrasives |
| US5137542A (en) * | 1990-08-08 | 1992-08-11 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive printed with an electrically conductive ink |
| US5203884A (en) * | 1992-06-04 | 1993-04-20 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having vanadium oxide incorporated therein |
| US5560753A (en) * | 1992-02-12 | 1996-10-01 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive article containing an electrically conductive backing |
| US6979248B2 (en) * | 2002-05-07 | 2005-12-27 | Applied Materials, Inc. | Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing |
| US7294667B2 (en) | 2001-02-08 | 2007-11-13 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive articles containing graphite |
| JP2008114350A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 乾式研磨装置 |
| CN102967632A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-03-13 | 淄博包钢灵芝稀土高科技股份有限公司 | 用电导率指导抛光粉生产和产品质量控制的方法 |
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-
1982
- 1982-03-30 JP JP57051952A patent/JP2501781B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2501781B2 (ja) | 1996-05-29 |
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