JP3201870B2 - 研磨フィルム - Google Patents
研磨フィルムInfo
- Publication number
- JP3201870B2 JP3201870B2 JP09497193A JP9497193A JP3201870B2 JP 3201870 B2 JP3201870 B2 JP 3201870B2 JP 09497193 A JP09497193 A JP 09497193A JP 9497193 A JP9497193 A JP 9497193A JP 3201870 B2 JP3201870 B2 JP 3201870B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- abrasive
- polishing film
- particle size
- average particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
される研磨フィルムに関する。
と接触しているため、ヘッド形状及び仕上げ面精度が摺
動特性及び磁気特性に関与し、表面研磨加工が性能に大
きく寄与している。従来の磁気ヘッド用研磨フィルム
は、研磨精度を向上させるため、仕上げ工程において
は、通常、酸化アルミニウム、シリコンカーバイド等の
3μm以下の砥粒が用いられ、結合剤としてのバインダ
ー樹脂を選択し、これらの混合割合により研磨フィルム
の加工性能を制御している。
ルムは、通常、ロール状で使用するため、スリット時の
巻き取りテンションにより、外周部と内周部でフィルム
に作用する圧力に差が生じ、内周側でバインダー樹脂中
に研磨材が沈み込み(目潰れ)、研磨フィルムの表面粗
さが低下し、ロール内周部で加工性能が変化する現象が
発生し、製造時における大きな問題となっていた。
磨層に加工性能を低下させない為に、研磨材と同等かそ
れ以下の粒度からなる球状粒子を添加することによりロ
ール内外周で加工性能が変化しない研磨フィルムが構成
される。
研磨層を形成してなる研磨フィルムにおいて、研磨層に
球状粒子が添加されたことを特徴とする磁気ヘッドの研
磨フィルムである。
平均粒径0.4〜3μmのものを使用する。研磨材の材
料は、アルミナ、シリコンカーバイド、ダイヤモンド、
ジルコニア、酸化鉄、酸化クロム粉等から選択できる。
一方、球状粒子は、研磨材の粒度と同等以下の粒度のも
のを使用する。余り大きいと研磨不良を生じる。余り小
さいとロール内周部で目潰れを生じる。球状粒子の添加
量は研磨材に対し3〜5wt%の範囲で使用すれば十分
に所期の効果を得ることができる。余り少ないと効果が
なく、多過ぎると研磨材の量が減少して研磨不良とな
る。球状粒子の材料としては、セラミックス、ガラス、
ポリマービーズから選択する。これらの研磨材と球状粒
子は熱可塑性樹脂或いは熱硬化性樹脂等のバインダ樹脂
と混合し、ポリエステルフィルムに塗布される。研磨層
の厚さが10〜20μmの範囲が適当である。
粒子の添加により増加させると、ロール内周部でのバイ
ンダー樹脂中への研磨材の沈み込み(目潰れ)を回避
し、ロール内で均一な加工性能が得られることが確認さ
れた。
製)、ポリマービーズ平均粒径0.4μm(日本触媒
(株)製)、熱可塑性樹脂及び溶剤をサンドミルにより
均一に分散し塗料化し、ポリエステル基材上に研磨層が
10〜20μmになる様に塗布厚を調整し、多層均一構
造の研磨層を有する研磨フィルムを得た。 研磨塗料組成 研磨材 100重量部 バインダー樹脂 29重量部 ポリマービーズ 3重量部 溶剤 100重量部
に対し、ポリマービーズが1,5,10wt%となる様
に塗料を調整し、塗布厚10〜20μmの多層均一構造
の研磨フィルムを得た。 研磨塗料組成 研磨材 100重量部 バインダー樹脂 29重量部 ポリマービーズ 1,5,10重量部 溶剤 100重量部
m)に対し、平均粒径2.5μmのポリマービーズを重
量比で3wt%になるように添加し、添加粒子粒度の異
なる多層均一構造の研磨フィルムを得た。
m幅、長さ200mにスリット加工し、ロール状の研磨
フィルムを作製した。この研磨フィルムを室温放置で9
0日放置したもの及び卓上型温湿度試験器(ジュニア−
JTH型 ETAC ENGNEERRING.CO.
LTD.)50℃90%の条件で5,10,15日間温
湿度試験を実施し(但し、実施例3については、15日
のみとした)、研磨フィルムの外周部、中心部(100
m)及び内周部をサンプリングし、走査型電子顕微鏡
(日立製作所製、S−570型)により、研磨層表面状
態の測定を行って、表1の結果を得た。
2.7mm幅、200m長さ)の研磨フィルムでフレキ
シブルディスクヘッド加工実験を実施し、被研磨物の表
面形状評価を行って、表2の結果を得た。
製)の研磨材を球状粒子を添加しない系で同一組成で分
散、塗布し、幅12.7mm、長さ200mのサンプル
テープを作成した。これを実施例4と同一の温湿度試験
を実施し、走査型電子顕微鏡にて研磨層表面観察を行っ
た。表3の結果を得た。
明で得られた磁気ヘッドの加工用研磨フィルムにおい
て、球状粒子を研磨材に対して少量、好ましくは3〜5
wt%添加することによって、ロール内周部で目潰れ、
目詰まりを発生させることなく、ロール内で表面性が均
一に制御され、加工性能のバラツキを無くすことを可能
にした。
Claims (4)
- 【請求項1】 基剤上に、平均粒径0.4〜3μmの研
磨材、研磨材の平均粒子径以下の球状ポリマー粒子及び
バインダー樹脂からなる研磨層が形成された研磨フィル
ムにおいて、前記研磨材に対する粒状ポリマー粒子の添
加量が3〜5wt%で、かつ前記研磨層の塗布厚が10
〜20μmである研磨フィルム。 - 【請求項2】 前記研磨材がアルミナ、シリコンカーバ
イド、ダイヤモンド、ジルコニア、酸化鉄、酸化クロム
粉等からなる請求項1からなる研磨フィルム。 - 【請求項3】 前記バインダー樹脂が、熱可塑性樹脂或
いは熱硬化性樹脂である請求項1の研磨フィルム。 - 【請求項4】 前記球状ポリマー粒子が、セラミック
ス、ガラス、ポリマービーズからなる請求項1の研磨フ
ィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09497193A JP3201870B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 研磨フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09497193A JP3201870B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 研磨フィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06278039A JPH06278039A (ja) | 1994-10-04 |
JP3201870B2 true JP3201870B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=14124806
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09497193A Expired - Lifetime JP3201870B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 研磨フィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3201870B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001353662A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-25 | Xebec Technology Co Ltd | 研磨材及びこの研磨材を用いた多層配線基板表面の研磨方法 |
JP2002254323A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 研磨フィルムおよびその製造方法 |
JP5084504B2 (ja) * | 2005-05-11 | 2012-11-28 | 株式会社松風 | 球状樹脂粒子を含有する歯科用研磨材 |
CA2977362A1 (en) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 3M Innovative Properties Company | Consumer scrubbing article with ceramic microparticles and method of making same |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP09497193A patent/JP3201870B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06278039A (ja) | 1994-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2640352B2 (ja) | 研磨材、研磨具及び研磨方法 | |
EP0438671B1 (en) | Abrasive film and method for production thereof | |
JP2527942B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP3201870B2 (ja) | 研磨フィルム | |
US5370718A (en) | Abrasive tape | |
JP2527320B2 (ja) | 研磨テ−プ | |
US5110659A (en) | Lapping tape | |
US4388369A (en) | Magnetic recording medium | |
JP3026988B2 (ja) | 研磨具 | |
JPH06278037A (ja) | 磁気ディスクのテクスチャリング用研磨フィルム | |
JP2987383B2 (ja) | 研磨シート | |
JP2673574B2 (ja) | 研磨テープの製造方法 | |
JP3732267B2 (ja) | 研磨テープの製造方法 | |
JP2820696B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2522664B2 (ja) | 緩衝性を有する研磨テ−プ | |
JP2967311B2 (ja) | 研磨テープ | |
JP3049451B2 (ja) | 研磨テ−プ | |
JP3045396B2 (ja) | ダイヤモンド研磨フィルム | |
JPH05177554A (ja) | 研磨材及び該研磨材の製造方法 | |
JPH0830930A (ja) | 研磨テープ | |
JPH0366732B2 (ja) | ||
JPH0573894A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH05266464A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH07328932A (ja) | 研磨テープ及びその製造方法 | |
JPH02133475A (ja) | 塗膜補強剤 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010605 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080622 Year of fee payment: 7 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080622 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090622 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100622 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100622 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110622 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120622 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120622 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130622 Year of fee payment: 12 |