JPH10296643A - 研磨テープ - Google Patents
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- JPH10296643A JPH10296643A JP9123199A JP12319997A JPH10296643A JP H10296643 A JPH10296643 A JP H10296643A JP 9123199 A JP9123199 A JP 9123199A JP 12319997 A JP12319997 A JP 12319997A JP H10296643 A JPH10296643 A JP H10296643A
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Abstract
するに際して、研磨対象表面に研磨傷が発生するのを極
力防止することができ、研磨テープの研磨層の削れが少
なく、かつ、研磨能力に優れた研磨テープを提供する。 【解決手段】 可撓性支持体の上に、無機質粉体および
結合剤を主成分として含有する研磨層を備える研磨テー
プにおいて、前記研磨層に含有される結合剤は、 1)フェノキシ樹脂と、 2)数平均分子量Mnが、20000≦Mn≦1000
00のポリエステルポリウレタン樹脂を含有してなるよ
うに構成する。
Description
ディスク等の表面の研磨に用いられる研磨テープに関す
る。
媒体の表面仕上げ加工には、可撓性支持体の上に研磨層
を有する研磨テープが用いられる。研磨層は、研磨層形
成用塗料を可撓性支持体の上に塗設した後、乾燥させる
ことによって形成され、研磨層形成用塗料中には、例え
ば、酸化アルミニウム、酸化クロム、炭化珪素、酸化
鉄、窒化珪素、ダイアモンド等の無機質粉体;塩化ビニ
ル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂等
の有機質結合剤(バインダ);およびその他の配合剤な
どが混練・分散された状態で含有されている。
法としては、特開平5−192869号公報に記載の方
法があり、当該方法は、特定の構造式からなる繰り返し
単位を含む平均分子量1000〜10000のエポキシ
樹脂と、数平均分子量5000〜20000であって末
端にOH基を有するポリウレタン樹脂と、多官能イソシ
アネートとを含有する塗料を用いた研磨テープの製造方
法である。当該製造方法によれば、上記の各樹脂を組み
合わせて使用することによって、架橋反応温度を室温に
まで低下させても十分な架橋反応速度が得られ、しかも
高い架橋密度が得られるとされている。
は、特定の構造式からなる繰り返し単位を含む平均分子
量1000〜50000のエポキシ樹脂と、数平均分子
量10000〜30000であって末端にOH基を有し
ガラス転移点(Tg)が−20℃〜40℃のポリエステ
ル樹脂と、多官能イソシアネートとを含有する塗料を用
いた研磨テープの製造方法が開示されている。そして、
これらの樹脂を使用することによって、反応硬化中に発
生する品質のバラツキを減少することができると報告さ
れている。
も、研磨テープとして十分な塗膜強度が得られるとは言
い難く、時として、研磨テスト中に研磨層塗膜の脱落が
発生するという不都合が生じることがあった。
状のもとに創案されたものであって、その目的は、磁気
ヘッドや、磁気ディスク等の表面を研磨するに際して、
研磨テープとしての機能を十分にかつバランス良く備え
る研磨テープ、すなわち、研磨対象表面に研磨傷が発生
するのを極力防止することができ、充分な塗膜強度を有
し研磨テープの研磨層の削れが少なく、かつ、研磨能力
に優れた研磨テープを提供することにある。
るために、本発明者らが研磨テープに用いられる結合剤
組成について鋭意研究した結果、フェノキシ樹脂と特定
の分子量のポリエステルポリウレタン樹脂を混合物とし
て含む結合剤を用いることにより、上記の課題を解決で
きることを見いだし、本発明に想到したのである。すな
わち、本発明は、可撓性支持体の上に、無機質粉体およ
び結合剤を主成分として含有する研磨層を備える研磨テ
ープにおいて、前記研磨層に含有される結合剤は、 1)フェノキシ樹脂と、 2)数平均分子量Mnが、20000≦Mn≦1000
00のポリエステルポリウレタン樹脂を含有してなるよ
うに構成される。
ノキシ樹脂の数平均分子量が、10000を超えてなる
ように構成される。
ノキシ樹脂とポリエステルポリウレタン樹脂との重量配
合割合が、5:95〜70:30となるよう構成され
る。
エステルポリウレタン樹脂のガラス転移温度Tgが、−
50℃〜80℃であるように構成される。
を図1を参照しつつ説明する。
を模式的に示した断面図が表されている。
の上に、磁気ヘッドや磁気ディスク等の表面(以下、単
に『被研磨物』と称す)を研磨(クリーニング)するた
めの研磨層3を備えている。そして、この研磨層3に
は、研磨材としての無機質粉体と、この無機質粉体をバ
インドさせるための結合剤を含有している。
体および結合剤と、必要に応じて用いられる各種添加剤
等を(有機)溶剤とともに混合分散した研磨層形成用塗
料を、可撓性支持体2の上に塗設し、乾燥させて形成さ
せたものである。
フェノキシ樹脂と、数平均分子量Mnが、20000≦
Mn≦100000のポリエステルポリウレタン樹脂を
必須成分として含有する。
スフェノールAとエピクロルヒドリンより合成される高
分子量ポリヒドロキシポリエーテルで、化学構造はエポ
キシ樹脂と同じであるが、一般に用いられているエポキ
シ樹脂と比較して、分子量がはるかに大きい。本発明で
使用されるフェノキシ樹脂の数平均分子量Mnは、10
000を超えるもの、特に、10000を超え〜300
00以下のものが好適に用いられる。一般のエポキシ樹
脂のように数平均分子量が10000以下では、充分な
塗膜強度が得られず、研磨層の塗膜の脱落等の問題点が
発生することがある。ここでの平均分子量は、標準ポリ
スチレン法といわれる測定方法による値である。
て、5〜70重量%、好ましくは10〜60重量%、さ
らに好ましくは10〜50重量%含有される。含有量が
5重量%未満では、研磨層の塗膜強度が低下して、研磨
層塗膜の脱落等の問題点が発生する。含有量が70重量
%を超えると、研磨層の塗膜が硬くて脆く、柔軟性のな
い状態となり、被研磨物を傷つける原因となる。
的例としては、Phenoxy Associates社のフェノキシ樹脂
である『PKHC』、『PKHH』、『PKHJ』等が
挙げられる。これらはいずれも上記の好適な数平均分子
量を満足するものである。
て、数平均分子量Mnが20000≦Mn≦10000
0、好ましくは20000≦Mn≦80000のポリエ
ステルポリウレタン樹脂を必須成分として含有する。こ
のような数平均分子量Mnを有するポリエステルポリウ
レタン樹脂を、研磨層に含有させることで研磨層形成用
の塗料の分散性が向上し、塗設形成された研磨層は、優
れた研磨特性を備えることになる。
子量Mnが20000未満となり小さくなりすぎると研
磨層の塗膜強度が低下して、研磨層の塗膜の脱落等のト
ラブルが発生する。一方、数平均分子量Mnが1000
00を超えて大きくなりすぎると研磨層形成用塗料の分
散性が低下し、研磨層の表面性の悪化を招き、研磨操作
の際、被研磨物を傷つける原因となる。
の含有量は、結合剤中に30〜95重量%、好ましくは
40〜90重量%、さらに好ましくは50〜90重量%
である。ポリエステルポリウレタン樹脂の含有量が95
重量%を超えて多くなりすぎると研磨層の塗膜強度が低
下して、研磨層の塗膜の脱落等のトラブルが生じやすく
なる。一方、含有量が30重量%未満となり少なくなり
すぎると研磨層の塗膜が硬くて脆くなり、柔軟性のない
状態となり、研磨操作の際、被研磨物を傷つける原因と
なる。
ガラス転移温度Tgが−50℃≦Tg≦+80℃、好ま
しくは−50℃≦Tg≦+40℃、さらに好ましくは−
45℃≦Tg≦+20℃の範囲のものである。ガラス転
移温度が低くなりすぎると研磨層の塗膜強度が低下して
研磨能が低下しやすくなる。一方、ガラス転移温度Tg
が高くなりすぎると、研磨層の塗膜が硬くて脆くなり、
柔軟性のない状態となり、研磨操作の際、被研磨物を傷
つける原因となる。
は、動的粘弾性測定装置を用いて測定される値である。
リウレタン樹脂は、ポリエステルジオールをイソシアネ
ートおよび、所望により鎖延長剤等の化合物と共に反応
させたものである。
タン樹脂とは、有機ジイソシアネート(A)、分子量5
00〜5000のポリエステルジオール(B)、分子量
500未満の鎖延長剤(C)を反応させたものである。
いて使用される有機ジイソシアネート(A)としては、
2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレン
ジイソシアネート、p−フェニレンジイソシアネート、
ジフェニルメタンジイソシアネート、m−フェニレンジ
イソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、テ
トラメチレンジイソシアネート、3,3’−ジメトキシ
−4,4’−ビフェニレンジイソシアネート、2,4−
ナフタレンジイソシアネート、3,3’−ジメチル−
4,4’−ビフェニレンジイソシアネート、4,4’−
ジフェニレンジイソシアネート、4,4’−ジイソシア
ネートジフェニルエーテル、1,5−ナフタレンジイソ
シアネート、p−キシリレンジイソシアネート、m−キ
シリレンジイソシアネート、1,3−ジイソシアネート
メチルシクロヘキサン、1,4−ジイソシアネートメチ
ルシクロヘキサン、4,4’−ジイソシアネートシクロ
ヘキサン、4,4’−ジイソシアネートシクロヘキシル
メタン、イソホロンジイソシアネート等があげられる。
いて使用されるポリエステルジオール(B)としては、
分子量が500〜5000の範囲にあるものが挙げられ
る。ポリエステルジオールのカルボン酸成分としては、
テレフタル酸、イソフタル酸、オルソフタル酸、1,5
−ナフタル酸などの芳香族ジカルボン酸、p−オキシ安
息香酸、p−(ヒドロキシエトキシ)安息香酸などの芳
香族オキシカルボン酸;コハク酸、アジピン酸、アゼラ
イン酸、セバシン酸、ドデカンジカルボン酸などの脂肪
族ジカルボン酸などを挙げることができる。これらの中
でも特に、テレフタル酸、イソフタル酸、オルソフタル
酸、アジピン酸、セバシン酸が好ましい。
成分としては、エチレングリコール、プロピレングリコ
ール、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオ
ール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジ
オール、ネオペンチルグリコール、ジエチレングリコー
ル、ジプロピレングリコール、2,2,4−トリメチル
−1,3−ペンタンジオール、シクロヘキサンジメタノ
ール、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物お
よびプロピレンオキサイド付加物、水素化ビスフェノー
ルAのエチレンオキサイド付加物およびプロピレンオキ
サイド付加物等がある。
は、ε−カプロラクトン等のラクトン類を開環重合して
得られるラクトン系ポリエステルジオール類が挙げられ
る。
リエステルポリウレタン樹脂の機械的特性を高めるため
にポリエステルジオールであって、分子量500〜50
00のものを使用するのがよい。分子量が500未満で
はウレタン基の濃度が大きくなり、樹脂の柔軟性や溶剤
溶解性が低下するという不都合が生じる。また、分子量
が5000を超えると、ウレタン基濃度が低下してしま
い、ポリエステルポリウレタン樹脂の特有な強靭性や耐
摩耗性等が低下する。
使用される上記の分子量500未満の鎖延長剤(C)
は、1分子中に活性水素を2個以上含み、ポリエステル
ポリウレタン樹脂中のウレタン基あるいはウレア基濃度
を調整し、ポリエステルポリウレタン樹脂に特有な強靭
性を付与する効果がある。
は、エチレングリコール、1,3−プロピレングリコー
ル、1,4−ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオー
ル、シクロヘキサンジメタノール、キシリレングリコー
ル、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、
ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物等の直鎖
グリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリ
コール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオ
ール、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオ
ール、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物
等の分岐グリコール、モノエタノールアミン、N−メチ
ルエタノールアミン等のアミノアルコール、エチレンジ
アミン、ヘキサメチレンジアミン、イソホロンジアミン
等のジアミンあるいは水等があげられる。
ステルポリウレタン樹脂としては、例えば、ポリエステ
ルジオール(1) /ポリエステルジオール(2) /ネオペン
チルグリコール/4,4’−ジフェニルメタンジイソシ
アネートの反応生成物である。ポリエステルジオール
(1) としては、テレフタル酸/イソフタル酸/エチレン
グリコール/ネオペンチルグリコール=50/50/5
0/50モル比のものであり、ポリエステルジオール
(2) としてはアジピン酸/1,4−ブタンジオール/ネ
オペンチルグリコール=100/75/25モル比のも
のである。
リエステルジオール(2) の配合比率およびウレタン基の
濃度を制御することにより、ポリエステルポリウレタン
樹脂のガラス転移温度Tgは、任意に制御可能である。
これらの結合剤の含有量は、研磨層に含有される無機質
粉体100重量部に対して、5〜50重量部、特に10
〜40重量部が好ましい。結合剤の含有量が5重量部未
満となり少なくなりすぎると研磨層の塗膜強度が低下す
るため、研磨層の塗膜の脱落が発生する。この一方で、
結合剤の含有量が50重量部を超えて多くなりすぎると
無機質粉体の含有量が低下するため、研磨特性が悪くな
る。
は、各種ポリイソシアナート、特にジイソシアナートを
用いることができ、特に、トリレンジイソシアナート、
ヘキサメチレンジイソシアナート、メチレンジイソシア
ナートの1種以上が好ましい。これらの架橋剤は、トリ
メチロールプロパン等の水酸基を複数有するものに変性
した架橋剤またはジイソシアナート化合物3分子が結合
したイソシアヌレート型の架橋剤として用いることが特
に好ましい。これらの架橋剤は、上記結合剤に含有され
る官能基等と結合して樹脂を架橋する。架橋剤の含有量
は結合剤100重量部に対し、10〜30重量部とする
ことが好ましい。熱硬化性樹脂を硬化するには、一般
に、加熱オーブン中で40〜80℃の温度にて12〜4
8時間加熱すればよい。
として含有される無機質粉体は、モース硬度5以上のも
のを用いるのが好ましく、例えば、炭化珪素、酸化アル
ミニウム、窒化珪素、酸化ジルコニウム、酸化クロム、
ダイアモンド、エメリー等の微粉末が単独または2種以
上混合して使用される。中でも特に、炭化珪素あるいは
酸化アルミニウムを用いるのが好適である。
度の範囲のものが好ましく、実用に供する具体的粒径
は、粗削りあるいは仕上げ研磨用のごとく実際の目的に
合致するように選定してもちいればよい。0.1μm未
満の粒径では、仕上げ研磨用としても研磨能が不十分と
なる傾向にあり、また、20μmを超えると、粗削り用
としても被研磨物に傷をつける等の不具合が発生しやす
くなる。
添加剤として潤滑効果、帯電防止効果、分散効果、可塑
効果等を有するものが使用され、具体的には、脂肪酸、
脂肪酸エステル、シリコーンオイル類、フッ素オイル、
各種界面活性剤、カーボンブラック等が添加され得る。
しては、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチ
ルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素類、酢酸エチル、酢酸ブチ
ル等のエステル類等が単一溶剤またはこれらの任意比率
の混合溶剤として用いられる。これらの中でも、高沸点
溶剤であるシクロヘキサノンを含有させることは良質な
研磨層を形成させるために好適である。シクロヘキサノ
ンは、全有機溶剤に対して20〜60重量%、好ましく
は25〜50重量%含有させるのがよい。この範囲で研
磨層の良好な表面性が得られ、研磨能を向上させること
ができ、さらには研磨層の削れの発生を防止することが
できる。
は、好ましくは30〜70重量%、より好ましくは40
〜60重量%とされる。この値が30重量%未満となる
と、研磨層中の残留溶剤量が増加したり、ベナードセル
現象により均一な塗膜が得られなくなる等の不都合が生
じる。この一方で、固形分濃度が70重量%を超える
と、塗料粘度の上昇および研磨層の塗膜の乾燥速度が速
くなることにより、均一な塗膜が得られなくなるという
不都合が生じる。
等に応じて適宜選定すればよく、3〜25μm、さらに
は5〜20μmが好ましい。膜厚が3μm未満では膜厚
が薄すぎることにより、塗膜の弾力性が失われ、研磨操
作の際に被研磨物を傷つける原因となりやすい。また、
25μmを超えると研磨操作の際に研磨層の削れが発生
しやすくなる。研磨層3は、通常単独で塗布形成される
が、2層以上の複数層とすることもできる。
リエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナ
フタレート(PEN)、ポリアミド、ポリイミド、ポリ
アミドイミド等のフイルムを使用することができる。必
要に応じてフィラーとしてAl、Ca、Si、Ti等の
酸化物や炭酸塩等の無機化合物、アクリル樹脂系微粉末
等の有機化合物等を添加してもよい。上記フィルムの中
では、PET、PEN、芳香族ポリアミドが好ましく、
さらには、PETないしPENの2種ないし3種による
多層共押出しによる複合化フイルムが好ましい。このよ
うな可撓性支持体には、予めコロナ放電処理、プラズマ
放電および/または重合処理、易接着剤塗布処理、除塵
処理、熱および/または調湿による緩和処理等を行って
もよい。可撓性支持体2の厚さは、通常、5〜100μ
m程度とされる。
しては、分散機として、ボールミル、アトライター、サ
ンドミルを使用することが好ましい。分散後の塗料に
は、濾過工程を設けることが好ましい。研磨層形成用塗
料に無機質粉体の未分散物や凝集物あるいは樹脂不溶物
などが存在すると、研磨層の塗膜を形成したときに欠陥
となり、被研磨物に傷をつける原因となる。なお、濾過
工程は、研磨層形成用塗料中の異物の除去を目的として
いる。
ルから引き出された長尺・フィルム状の非磁性支持体の
上には、必要に応じて硬化剤を混合しながら(あるいは
混合した)塗料を、濾過工程によって所定濾過精度の濾
過フィルターによって濾過した後、グラビアコート、リ
バースロールコート、エクストルージョンノズルコート
等の公知の種々の塗布手段によって研磨層形成用塗料が
塗布される。
に対して、クリーニングおよび表面調整等の目的で、水
や溶剤等を使用する湿式クリーニング;不織布や極微細
繊維織物等をワイパーとして使用する乾式クリーニン
グ;圧搾空気やバキューム、イオン化空気等を使用する
非接触式クリーニング等の公知の種々の手段によって可
撓性支持体の前処理が行われる。塗料と可撓性支持体と
の密着性や塗布面を向上させる目的等で、コロナ放電、
紫外線照射、電子線照射等の公知の種々の非接触表面処
理が行われることもある。
塗料は、通常、乾燥炉等の内部に設けられた熱風、遠赤
外線、電気ヒーター、真空装置等の公知の乾燥および蒸
発手段によって乾燥される。乾燥温度は、40〜200
℃、好ましくは60〜180℃、さらに好ましくは80
〜150℃の範囲で、可撓性支持体の耐熱性や溶剤種、
固形分濃度等によって適宜選定すればよい。乾燥温度が
40℃未満となると、乾燥効率が低く残留溶剤量が増加
し、200℃を超えると研磨層塗膜中の溶剤の蒸発が急
激すぎるために研磨層の表面粗さの悪化を招いてしま
う。なお、乾燥炉内に温度勾配をもたせてもよく、乾燥
炉内のガス雰囲気は、一般の空気または不活性ガス等を
用いればよい。
研磨層の硬化を促進するために、40℃〜80℃の熱硬
化処理および/または電子線照射処理を施してもよい。
二次加工を行い、本発明の研磨テープが製造される。
をさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、これらの
実施例に限定されるものではない。
で、ポリエステルポリウレタン樹脂を製造した。
温度計、撹拌機および部分環流式冷却器を具備した反応
容器の中に、ジメチルテレフタレート、ジメチルイソフ
タレート、エチレングリコール、ネオペンチルグリコー
ル、酢酸亜鉛、酢酸ナトリウムを加え、140〜220
℃の温度で3時間エステル交換反応を行った。
まで減圧し、この間250℃まで昇温した。さらに、
0.1mmHg、250℃で重縮合反応を60分間行
い、ポリエステルジオール(1)を得た。その組成は、
テレフタル酸/イソフタル酸/エチレングリコール/ネ
オペンチルグリコール=50/50/50/50(モル
比)であった。
(2)を得た。その組成は、アジピン酸/1,4ブタン
ジオール/ネオペンチルグリコール=100/75/2
5(モル比)であった。
した反応容器中に、トルエン、メチルイソブチルケト
ン、上記のポリエステルジオール(1)、上記のポリエ
ステルジオール(2)、4,4’−ジフェニルメタンジ
イソシアネート、ネオペンチルグリコール、ジブチル錫
ジラウリレートを加え、70〜90℃で8時間反応さ
せ、表1に示されるような数平均分子量(Mn)および
ガラス転移温度(Tg)を有する種々のポリエステルポ
リウレタン樹脂をそれぞれ製造した。
を作製した。
合攪拌を行い、バインダー溶液とした。上記バインダー
溶液を95%カット濾過精度=15.0μmのデプスフ
ィルターを用いて8時間の循環濾過を行った。
った。
し、さらに1時間の分散を行った。
精度=25.0μmのデプスフィルターを用いて8時間
の循環濾過を行った。
(日本ポリウレタン工業社製、コロネートL)20重量
部を加え、攪拌混合し、研磨層形成用塗料とした。
エチレンテレフタレートフィルムからなる可撓性支持体
の片側表面に上記の研磨層形成用塗料を塗布し、乾燥さ
せた。乾燥後の研磨層膜厚は、15μmであった。塗布
乾燥済のロールを60℃の加熱オーブンにて24時間硬
化させた後、3/4インチ幅に切断して研磨テープサン
プルを作製した。
プサンプルを作製し、これらの各研磨テープサンプルに
ついて、下記に示す要領で、相対研磨能、ヘッド研磨
傷、および研磨テープ削れの特性を、それぞれ評価し
た。
し、フェライトヘッド1μmを研磨するのに要する時間
を求めた。この研磨時間を、サンプルNo.1の研磨時
間に対する相対値で示した。すなわち、基準となるサン
プルNo.1の研磨能を100とし、これに対する相対
表示とした。100よりも値が小さくなればなるほど、
研磨能が優れる。
た時、ヘッド表面に形成される傷の状態を光学顕微鏡に
て観察し、下記の判断基準に基づいて評価した。
のもの △…3〜5本の傷は有るものの、製品としてOKレベル
のもの ×…6本以上の傷が有り、製品としてNGレベルのもの研磨テープ削れ フェライトヘッドを研磨テープサンプルを用いて研磨し
た時、研磨テープの研磨層に削れが発生している否かの
状態を光学顕微鏡にて観察し、下記の判断基準に基づい
て評価した。
もの ×…大きな削れが有り、製品としてNGレベルのもの これらの測定結果を下記表1に示した。
1、5および6を用いて、予め準備しておいたフレキシ
ブル磁気ディスクを研磨し、ディスク表面の傷および研
磨テープ削れの特性を評価し、その結果を下記表2に示
した磁気ディスク研磨傷 フレキシブル磁気ディスクを研磨テープサンプルを用い
て研磨した時、磁気ディスク表面に形成される傷の状態
を、光学顕微鏡にて観察し、下記の判断基準に基づいて
評価した。
て研磨した時、研磨テープの研磨層に削れが発生したか
どうかを光学顕微鏡にて観察し、下記の判断基準に基づ
いて評価した。
ある。すなわち、本発明の研磨テープは、可撓性支持体
の上に、無機質粉体および結合剤を主成分として含有す
る研磨層を備える研磨テープであって、前記研磨層に含
有される結合剤は、 1)フェノキシ樹脂と、 2)数平均分子量Mnが、20000≦Mn≦1000
00のポリエステルポリウレタン樹脂を含有してなるよ
うに構成されるので、被研磨物(研磨対象)表面に研磨
傷が発生するのを極力防止することができ、研磨テープ
の研磨層の削れが少なく、かつ、研磨能力に優れるとい
う極めて優れた効果を発現することができる。
図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 可撓性支持体の上に、無機質粉体および
結合剤を主成分として含有する研磨層を備える研磨テー
プにおいて、 前記研磨層に含有される結合剤は、 1)フェノキシ樹脂と、 2)数平均分子量Mnが、20000≦Mn≦1000
00のポリエステルポリウレタン樹脂を含有してなるこ
とを特徴とする研磨テープ。 - 【請求項2】 前記フェノキシ樹脂の数平均分子量が、
10000を超えてなる請求項1に記載の研磨テープ。 - 【請求項3】 前記フェノキシ樹脂とポリエステルポリ
ウレタン樹脂との重量配合割合が、5:95〜70:3
0である請求項1または請求項2に記載の研磨テープ。 - 【請求項4】 前記ポリエステルポリウレタン樹脂のガ
ラス転移温度Tgが、−50℃〜80℃である請求項1
ないし請求項3のいずれかに記載の研磨テープ。
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