JPS58137315A - 振動子の支持構造 - Google Patents
振動子の支持構造Info
- Publication number
- JPS58137315A JPS58137315A JP1916182A JP1916182A JPS58137315A JP S58137315 A JPS58137315 A JP S58137315A JP 1916182 A JP1916182 A JP 1916182A JP 1916182 A JP1916182 A JP 1916182A JP S58137315 A JPS58137315 A JP S58137315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- joint
- bonding
- line
- film
- electrode film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0509—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of adhesive elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は振動子の支持構造に関するものであり、振動子
のノ℃ダリーポイントまたはライン近傍で振動子を剛的
に支持して、振動子の小型化、かつ性能向上を目的とす
るものである。
のノ℃ダリーポイントまたはライン近傍で振動子を剛的
に支持して、振動子の小型化、かつ性能向上を目的とす
るものである。
従前より、振動子のノーダリーポイントまたはノーダリ
ーライン（振動の中立点または中立側であり、周囲は振
動してもその部分は動かないで振動がＯとなる部分）で
支持すると性能が非常に良いことが理論上解りている。
ーライン（振動の中立点または中立側であり、周囲は振
動してもその部分は動かないで振動がＯとなる部分）で
支持すると性能が非常に良いことが理論上解りている。
しかし、大型の振動子例えば８０−以上のＡＴ板水晶片
では、上記の理論であるノーダリーライン上でなくノー
ダリーラインを多少はずれた部分で支持しても十分に諸
物件の良い振動子が量産できたため、作業上非常に困難
なノーダリーラインでの支持の必要性が少なかった。す
なわち第１図に示す正面図は従来例による水晶振動子で
あり、水晶片１と支持部材２は導電ペースト６で接着固
定されており、導電ペースト６は水晶片１の接着面だけ
でなく側面ヤ、斜面の他の裏面及び表面等接着に関係の
な（・部分にまで流れてしまっていたが、それでも使用
に耐える程度に十分特性は良かった。しかし、直径が６
ｙ５ｗｍ以下の小さな水晶片においては上記従来例によ
る固定構造を採用すると、前記８戸箇の場合と同様に接
着剤がノーダリーラインのある側面や接着面附近の斜面
にまで流れ出てきたとき、この流れ出た接着剤の性能面
への影響を無視することができな（なる。
では、上記の理論であるノーダリーライン上でなくノー
ダリーラインを多少はずれた部分で支持しても十分に諸
物件の良い振動子が量産できたため、作業上非常に困難
なノーダリーラインでの支持の必要性が少なかった。す
なわち第１図に示す正面図は従来例による水晶振動子で
あり、水晶片１と支持部材２は導電ペースト６で接着固
定されており、導電ペースト６は水晶片１の接着面だけ
でなく側面ヤ、斜面の他の裏面及び表面等接着に関係の
な（・部分にまで流れてしまっていたが、それでも使用
に耐える程度に十分特性は良かった。しかし、直径が６
ｙ５ｗｍ以下の小さな水晶片においては上記従来例によ
る固定構造を採用すると、前記８戸箇の場合と同様に接
着剤がノーダリーラインのある側面や接着面附近の斜面
にまで流れ出てきたとき、この流れ出た接着剤の性能面
への影響を無視することができな（なる。
すなわちＣ１値大、Ｑ値小、周波数と温度緒特性のばら
つきの変化が、水晶片の直径の差の割合以上であるため
、斜面へ流れた接着剤の性能面への影響を無視すること
ができないのである。また前記実施例と異り側面だけで
接着すると強度が出す衝撃不良となる欠点を有していた
。また図示していないが強度向上のため半田、銀ろう等
の溶融金属を採用した実験をしたが流れ出しがあるため
同様に性能上問題があり、これも採用できなかった。
つきの変化が、水晶片の直径の差の割合以上であるため
、斜面へ流れた接着剤の性能面への影響を無視すること
ができないのである。また前記実施例と異り側面だけで
接着すると強度が出す衝撃不良となる欠点を有していた
。また図示していないが強度向上のため半田、銀ろう等
の溶融金属を採用した実験をしたが流れ出しがあるため
同様に性能上問題があり、これも採用できなかった。
本発明は上記欠点を改良するために固体と固体とを接合
したものであり、以下実施例に基づき図面により説明す
る。
したものであり、以下実施例に基づき図面により説明す
る。
第２図はＡＴ板水晶片のノーダリーラインを説明するた
めの水晶片の断面図であり、またＸ、Ｙ′Ｚはそれぞれ
水晶片の座標軸を示す。４は水晶片、５は金属膜、６は
ノーダリーラインである。第２図の矢印１０は水晶の振
動方向と大きさを拡大して表わしたものであり、ソーダ
リーライン６上は中立線であり変位はなく、ソーダリー
ライン６近傍の変位は少なく、表面に近いはと変位か大
きく、矢印の方向はＸ軸方間においてノーダリーライン
の上下で互いに逆向きであることを示している。
めの水晶片の断面図であり、またＸ、Ｙ′Ｚはそれぞれ
水晶片の座標軸を示す。４は水晶片、５は金属膜、６は
ノーダリーラインである。第２図の矢印１０は水晶の振
動方向と大きさを拡大して表わしたものであり、ソーダ
リーライン６上は中立線であり変位はなく、ソーダリー
ライン６近傍の変位は少なく、表面に近いはと変位か大
きく、矢印の方向はＸ軸方間においてノーダリーライン
の上下で互いに逆向きであることを示している。
本発明はここに着眼し、ソーダリーライン６近傍の変位
の少ない所のみで、しかも拡散例えば（熱圧着）の手法
を用いることによって支持部材で剛的に支持する構造で
ある。
の少ない所のみで、しかも拡散例えば（熱圧着）の手法
を用いることによって支持部材で剛的に支持する構造で
ある。
第３図は本発明を適応したＡＴ板水晶振動子の一実施例
における水晶片で、ボンデング工程が終わった水晶片を
示した正面図であり、第４図は本発明の一実施例正面図
であり、第５図は第４図に示す実施例の平面図である。
における水晶片で、ボンデング工程が終わった水晶片を
示した正面図であり、第４図は本発明の一実施例正面図
であり、第５図は第４図に示す実施例の平面図である。
なお説明の都合上、封止管を第４図、第５図共に図示し
ていない。また第３図のＸ、Ｙ、Ｚはそれぞれの水晶の
座標軸を表わす。水晶片４はシート状ＡＴ板水晶片ブラ
ンクを丸目加工して側面のうち少なくともＹ′−Ｚ′面
に接合部４ａを形成し、次に接合部４ａの巾を１５０μ
ｍ程度残して外周近傍をベベル加工し中央部をラッピン
グ加工して、外周近傍に斜面４ｂ、中央部に平担面４ｃ
を形成している。ノーダリーライン６は第３図に示す如
く接合部４ａの巾（約１５０μｍ）の中央にある。水晶
片４の接合部４ａに、リード電極膜５ｂを延長させた接
合膜５ａを接合し、斜面４ｂ及び平担面４ｃにリード電
極膜５ｂ及び励振電極膜５ｃを接合している。
ていない。また第３図のＸ、Ｙ、Ｚはそれぞれの水晶の
座標軸を表わす。水晶片４はシート状ＡＴ板水晶片ブラ
ンクを丸目加工して側面のうち少なくともＹ′−Ｚ′面
に接合部４ａを形成し、次に接合部４ａの巾を１５０μ
ｍ程度残して外周近傍をベベル加工し中央部をラッピン
グ加工して、外周近傍に斜面４ｂ、中央部に平担面４ｃ
を形成している。ノーダリーライン６は第３図に示す如
く接合部４ａの巾（約１５０μｍ）の中央にある。水晶
片４の接合部４ａに、リード電極膜５ｂを延長させた接
合膜５ａを接合し、斜面４ｂ及び平担面４ｃにリード電
極膜５ｂ及び励振電極膜５ｃを接合している。
なお前記接合膜５ａ、リード電極膜５ｂ、励振電極膜５
ｃよりなる金属膜５は、蒸着やスパッタ等の手法で、例
えばＣｒの厚さ１００〜５００Ｘ、Ａｕの厚さ１．ｓｏ
ｏ〜２ｏ、ｏｏｏＡｋ積層して形成しており、リード電
極膜５ｂ、励振電極膜’５ ｃは従来技術と同じ面に形
成されている。前記金属膜５の形成を、Ａｕの節約のた
めにＡｕの厚材を薄くしてＣｒとＡｕの間にＡｇ層を入
れてもよい。
ｃよりなる金属膜５は、蒸着やスパッタ等の手法で、例
えばＣｒの厚さ１００〜５００Ｘ、Ａｕの厚さ１．ｓｏ
ｏ〜２ｏ、ｏｏｏＡｋ積層して形成しており、リード電
極膜５ｂ、励振電極膜’５ ｃは従来技術と同じ面に形
成されている。前記金属膜５の形成を、Ａｕの節約のた
めにＡｕの厚材を薄くしてＣｒとＡｕの間にＡｇ層を入
れてもよい。
次にワイヤボンダー（図示していない）で軟質金属例え
ばＡｕ線を接合膜５ａのソーダリーライン６上にボンデ
ングし、ボンデングの頭を残して接合部材７を形７成し
ている。接合部材７の径はＡｕ線の径及びボンデング圧
を変化させることにより、３０〜１００μｍ（本実施例
ではＡｕ線を３３ｙ６μｍ、接合部材７の径を約７０ρ
μｍ）の間で適宜に均一の質量を選ぶことができ、水晶
片４の接合部４ａ以外と接合部材７が接合することかな
い。
ばＡｕ線を接合膜５ａのソーダリーライン６上にボンデ
ングし、ボンデングの頭を残して接合部材７を形７成し
ている。接合部材７の径はＡｕ線の径及びボンデング圧
を変化させることにより、３０〜１００μｍ（本実施例
ではＡｕ線を３３ｙ６μｍ、接合部材７の径を約７０ρ
μｍ）の間で適宜に均一の質量を選ぶことができ、水晶
片４の接合部４ａ以外と接合部材７が接合することかな
い。
次に水晶片を支持部材で皮付するための熱圧着について
述べる。まず第３図に示す如く接合部材７をボンデング
により接合した水晶片４を第４図に示す様に基板８に設
けたＡｕの層を有する支持部材９０間に設置する。次に
接合部材７と支持部材９を熱圧着するが熱圧着の条件は
、時間、温度、真空度及び押圧力の組合せで決まり、今
回は支持部材９を大気圧の加熱炉中ＳＯＣで両側より約
１０１＋１／ｍで押圧し、そのまま１０時時間数置した
ところ、Ａｕが互いに拡散し合い熱圧着ができた。水晶
片を支持する力は、接合面積にほぼ比例するので、支持
力を増すには、ノーダリーライン上のボンデング点を多
くして接合部材の数を増やして接合するのもよい。接合
部材として使用する軟質金属としてはＡｕが一番良いが
、価格が高いためＡｇ、Ｐｄ、Ａ Ｉ、Ｉ ｎ等の軟質
金属で代替しても良いし、その組合せでも良い。支持部
材の表面はＡｕ層を設けているがＡｇ、Ａｕの２層にす
る等接合部材同様他にも考えられる。又支持部材の形状
は丸形、角形、又は溝を付ける等の形状が、固定力と水
晶片の形状との組合せで用いられる。また熱圧着の方法
も上記例に限定されるものではなく接合部材と支持部材
との各層が熱拡散により接合できる方法であれば適用可
能である。更に本発明は水晶だけでなく厚みすべり圧電
効果を示す振動子に適用でき、図示していないが一般に
矩形と言われている振動子にも適用でき、さらに電極と
関係ない水晶片上のノーダリーライン上に接合膜を設け
、この部分で支持をしても良い。
述べる。まず第３図に示す如く接合部材７をボンデング
により接合した水晶片４を第４図に示す様に基板８に設
けたＡｕの層を有する支持部材９０間に設置する。次に
接合部材７と支持部材９を熱圧着するが熱圧着の条件は
、時間、温度、真空度及び押圧力の組合せで決まり、今
回は支持部材９を大気圧の加熱炉中ＳＯＣで両側より約
１０１＋１／ｍで押圧し、そのまま１０時時間数置した
ところ、Ａｕが互いに拡散し合い熱圧着ができた。水晶
片を支持する力は、接合面積にほぼ比例するので、支持
力を増すには、ノーダリーライン上のボンデング点を多
くして接合部材の数を増やして接合するのもよい。接合
部材として使用する軟質金属としてはＡｕが一番良いが
、価格が高いためＡｇ、Ｐｄ、Ａ Ｉ、Ｉ ｎ等の軟質
金属で代替しても良いし、その組合せでも良い。支持部
材の表面はＡｕ層を設けているがＡｇ、Ａｕの２層にす
る等接合部材同様他にも考えられる。又支持部材の形状
は丸形、角形、又は溝を付ける等の形状が、固定力と水
晶片の形状との組合せで用いられる。また熱圧着の方法
も上記例に限定されるものではなく接合部材と支持部材
との各層が熱拡散により接合できる方法であれば適用可
能である。更に本発明は水晶だけでなく厚みすべり圧電
効果を示す振動子に適用でき、図示していないが一般に
矩形と言われている振動子にも適用でき、さらに電極と
関係ない水晶片上のノーダリーライン上に接合膜を設け
、この部分で支持をしても良い。
以上説明したように、水晶片はノーダリーラインのすぐ
近くで支持され、しかも斜面等ノーダリーライン近傍以
外の所へ接合部材が流れ出さず、接合部材の形成ＪＪ″
−ボンデングによるため、その質量が均一であり、支持
による緒特性への影響が出ない。また金属の接合部材で
水晶片を固定するため接着剤と異なり支持力が強固で耐
衝撃性に優れ、しかも長期間に渡り緒特性的も向上して
いる。
近くで支持され、しかも斜面等ノーダリーライン近傍以
外の所へ接合部材が流れ出さず、接合部材の形成ＪＪ″
−ボンデングによるため、その質量が均一であり、支持
による緒特性への影響が出ない。また金属の接合部材で
水晶片を固定するため接着剤と異なり支持力が強固で耐
衝撃性に優れ、しかも長期間に渡り緒特性的も向上して
いる。
したがって本発明は非常に安定した小型の振動子を提供
できるという多大の効果を有する。
できるという多大の効果を有する。
第１図は従来例による水晶振動子の支持構造を示す正面
図、第２図はノーダリーラインを説明する水晶振動片の
断面図でＸ、Ｙ′、Ｚ′は水晶片の座標軸を示す。第３
図より第５図は本発明の一実施例を示す図であり、第３
図はボンデング工程上りの水晶片を示す正面図、第４図
は第３図の水晶片を使用した水晶振動子の正面図、第５
図は第４図の平面図である。 ４・・・・・・水晶片、４ａ・・・・・・接合部、５・
・・・・・金属膜５ａ・・・・・・接合膜、５ｂ・・・
・・・リード電極膜、５ｃ・・・・・・励振電極膜、６
・・・・・ノーダリーライン７・・・・・・接合部材、
９・・・・・・支持部材。 第１図 第２図 第３図 ゛１〜４図
図、第２図はノーダリーラインを説明する水晶振動片の
断面図でＸ、Ｙ′、Ｚ′は水晶片の座標軸を示す。第３
図より第５図は本発明の一実施例を示す図であり、第３
図はボンデング工程上りの水晶片を示す正面図、第４図
は第３図の水晶片を使用した水晶振動子の正面図、第５
図は第４図の平面図である。 ４・・・・・・水晶片、４ａ・・・・・・接合部、５・
・・・・・金属膜５ａ・・・・・・接合膜、５ｂ・・・
・・・リード電極膜、５ｃ・・・・・・励振電極膜、６
・・・・・ノーダリーライン７・・・・・・接合部材、
９・・・・・・支持部材。 第１図 第２図 第３図 ゛１〜４図
Claims (1)
- 振動片のノーダリーライン、またはノーダリーポイント
の近傍に金属膜を形成し、該金属膜上のノーダリーライ
ン、またはノーメリーポイント上に接合部材を接合し、
該接合部材を支持部材に熱圧曾した構成の振動子の支持
構造
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1916182A JPS58137315A (ja) | 1982-02-09 | 1982-02-09 | 振動子の支持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1916182A JPS58137315A (ja) | 1982-02-09 | 1982-02-09 | 振動子の支持構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58137315A true JPS58137315A (ja) | 1983-08-15 |
Family
ID=11991663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1916182A Pending JPS58137315A (ja) | 1982-02-09 | 1982-02-09 | 振動子の支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58137315A (ja) |
-
1982
- 1982-02-09 JP JP1916182A patent/JPS58137315A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08191228A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS58137315A (ja) | 振動子の支持構造 | |
| JPH0238497Y2 (ja) | ||
| JPS6119213A (ja) | 圧電振動子の電極構造 | |
| JP3164891B2 (ja) | 水晶振動子とその製造方法 | |
| JP3164890B2 (ja) | 水晶振動子とその製造方法 | |
| JPH04367111A (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| JPS59128813A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0232078B2 (ja) | ||
| JPS63262911A (ja) | ガラス封止圧電振動子 | |
| JPH088684A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS6015163B2 (ja) | 水晶発振片の保持方法 | |
| JPS6119215A (ja) | 圧電振動子の電極構造 | |
| JP2998510B2 (ja) | 電子部品とその製造方法 | |
| JPH0292873A (ja) | 熱膨張率の異なる部材の複合体 | |
| JPH02213211A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0362606A (ja) | 超音波遅延線の製造方法 | |
| JPS59148419A (ja) | 厚みすべり圧電振動子 | |
| JP2640937B2 (ja) | 複合構造を有するオーバートーン発振用圧電共振子 | |
| JPH0528818Y2 (ja) | ||
| JPS5930314A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH057771Y2 (ja) | ||
| JP3172991B2 (ja) | 圧電振動子の支持構造 | |
| JPS61207942A (ja) | 表面弾性波圧力センサ | |
| JPH06177701A (ja) | 弾性表面波装置 |