JPH1148109A - ワークエッジの鏡面研磨方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークの外周エッジを複数点において効率良
く短時間で鏡面研磨することが可能な、加工効率の勝れ
た小形の研磨手段を得る。 【解決手段】 外周に研磨用作業面２ａを備えた２つの
円筒形研磨ドラム２，２をワーク７の直径より小さい間
隔を保って配設し、これらの研磨ドラム２，２を所要の
速度で回転させながら、ワーク保持手段３ａに保持させ
たワークの外周の面取りされたエッジ７ａを両研磨ドラ
ムに同時に押し付けることにより、該エッジ７ａを異な
る２点で鏡面研磨する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや磁
気ディスク基板のような実質的に円板形をしたワークの
外周の面取り加工されたエッジ部分を鏡面研磨（ポリッ
シュ）するための方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、シリコンワークのような半導体
ウエハは、一般に、エッジのチッピング防止やエピタキ
シャル成長時のクラウン防止等のためにその周縁部に面
取り加工が施される。この面取り加工は、ダイヤモンド
砥石で研削することにより行われるが、研削後に加工歪
層が残り易く、このような加工歪層が残っていると、デ
ィバイスプロセスにおいて熱処理を繰り返した時に結晶
欠陥が発生することがある。このため通常は、上記加工
歪層をエッチングにより除去しているが、エッチング処
理した表面は波状やうろこ状の凹凸になって汚れが残り
易く、この汚れがディバイスプロセスにおいてウエハ全
体に拡散し、特性を劣化させる大きな原因となる。

【０００３】そこで、近年では、ウエハの面取り加工し
たエッジを鏡面研磨により平滑化するための技術が、ウ
エハの表面の研磨とは全く別の技術として確立され、本
件出願人も、例えば特開平１−７１６５６号公報に開示
されているように、エッジを研磨するための技術を既に
提案している。この研磨技術は、面取りされたエッジを
外周に有するウエハを回転させながら、その外周エッジ
を回転する研磨ドラムの外周の作業面に押し付けて研磨
するもので、この方法によれば、ウエハのエッジを簡単
且つ確実に研磨することが可能で、上述したような面取
り加工に起因する問題点を全て解消することができる。

【０００４】ところが、この種の研磨装置は、ウエハを
研磨ドラムに点接触させて研磨加工するものであるた
め、加工効率が必ずしも良いとは言えず、加工にかなり
の時間がかかることになる。このため現在では、研磨ド
ラムの直径を大きくすることによってウエハとの接触長
をできるだけ長くし、それによって加工時間を短縮する
などの工夫がなされている。

【０００５】しかしながら、円筒形の作業面に円形のウ
エハを外接させる方法では、それらの接触長を長くする
にも限度があり、それほど加工時間を短縮することはで
きない。しかも、研磨ドラムの直径を大きくするとその
分設置スペースが広くなるため、装置の大形化が避けら
れなくなる。特に、直径が３０〜４０ｃｍという大形の
ウエハの需要が予想される今後は、ウエハによる占有ス
ペースも一段と広くなるため、研磨装置は益々大形化し
てしまう。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ワー
クの外周エッジを複数点において効率良く短時間で鏡面
研磨することができる、加工効率の勝れた小形の研磨手
段を得ることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、外周面を研磨用の作業面とした複数の円
筒形研磨ドラムをワークの直径より小さい間隔を保って
配置し、これらの研磨ドラムを所要の速度で回転させな
がら、面取りした外周エッジを有する円板形ワークを複
数の研磨ドラムの作業面に同時に接触させることによ
り、その表裏面の外周エッジを異なる複数点で研磨する
ようにしている。

【０００８】このような本発明によれば、ワークの外周
エッジを複数点において研磨するためその研磨効率が高
められ、研磨時間も短縮される。しかも、従来よりも格
段に小径の研磨ドラムを使用することができるだけでな
く、隣接する研磨ドラムの間の空間にワークの先端部が
嵌合した状態で研磨が行われるため、研磨時にこれらの
研磨ドラム及びワークが占めるスペースは非常に小さく
て済み、装置は非常に小形化されることになる。

【０００９】本発明の１つの具体的な構成態様によれ
ば、２つの研磨ドラムと、第１及び第２の２つのワーク
保持手段と、ワークを表裏反転させる手段とが設けら
れ、ワークの表面側エッジが、第１ワーク保持手段によ
り２つの研磨ドラムの第１側で両研磨ドラムの作業面に
押し付けられて研磨加工されると共に、裏面側エッジ
が、第２ワーク保持手段により上記研磨ドラムの第２側
で両研磨ドラムの作業面に押し付けられて研磨加工され
るようになっている。

【００１０】本発明において好ましくは、上記２つの研
磨ドラムが、先端側が相互に接近する方向に傾斜してい
ることであり、これにより両研磨ドラムを、円錐面状を
したエッジに対して直角に接触させることができる。本
発明においてはまた、作業面に対するワークの接触位置
を変えて該作業面の偏摩耗を防止するために、上記研磨
ドラムとワーク保持手段とが相対的に変移自在であるこ
とが望ましい。

【００１１】本発明の更に好ましい構成例においては、
上記ワーク保持手段に、ワークを加工中常に一定の圧力
で作業面に接触させるための付勢手段と、２つの研磨ド
ラムに対するワークの位置ずれを矯正して該ワークを両
研磨ドラムに均等に接触させるための調芯手段とが設け
られる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明に係る研磨
装置の第１実施例を示すもので、この研磨装置は、機体
１と、該機体１上に並んで設けられた２つの円筒形研磨
ドラム２，２と、これらの研磨ドラム２，２を挟んで第
１側と第２側とに対向して配設された第１及び第２の２
つのワーク保持手段３ａ，３ｂと、機体１の一方の側に
設けられた未処理ワークを搬入するためのローディング
部４と、機体１の他方の側に設けられた処理済ワークを
搬出するためのアンローデング部５と、ワークをチャッ
クして移送するワーク移送手段６とを有している。

【００１３】上記研磨ドラム２，２は、基筒の外面に研
磨パッドを貼り付けることにより、その外周面を研磨の
ための作業面２ａとしたもので、同じ構成の２つの研磨
ドラム２，２が、相互間にワーク７の直径より小さい間
隔を保った状態で、先端側が相互に接近する方向に傾斜
させて配設され、それぞれが自身の軸線Ｌ２の回りに回
転自在となっている。これらの研磨ドラム２，２のドラ
ム軸１０は、モータ等の駆動源に連結され、例えば５０
０〜１０００ｒ．ｐ．ｍ．程度の速度で互いに同方向又
は逆方向に等速であるいは異なる速度で駆動される。ま
た、上記各ドラム軸１０は、機体１に自身の軸線Ｌ２方
向に往復動自在なるように支持されて、ボール螺子とそ
れに螺合するナット部材などからなる図示しない揺動手
段に連結されており、これによって各研磨ドラム２，２
が、加工中ゆっくりとした速度で軸線方向に同期的に揺
動できるようになっている。このときの揺動方向は、互
いに同方向であっても、あるいは、一方が前進するとき
他方が後退するといった具合に、互いに逆方向であって
も良い。

【００１４】上記２つの研磨ドラム２，２の傾斜角度
は、図３及び図４からも明らかなように、それらの軸線
Ｌ２が、前傾状態で研磨されるワーク７の中心軸線Ｌ７
と交差する大きさであり、これにより、両研磨ドラム
２，２が、円錐面状をしたエッジ７ａに全幅にわたり直
角に接触することとなる。しかし、２つの研磨ドラム
２，２間の間隔が小さく、それらをエッジに直角に近い
角度で前幅にわたり接触させることができる場合は、両
研磨ドラムを傾斜させることなく、相互に平行に設置し
ても良い。図中１１は、加工中洗浄液が飛散するのを防
止するカバーである。

【００１５】上記第１及び第２のワーク保持手段３ａ，
３ｂは、角度θに面取りされた外周エッジ７ａ，７ａを
表裏面に有する円板形ワーク７（図３参照）を保持して
軸線Ｌ７の回りに回転させると共に、該ワークの何れか
一方のエッジ７ａを上記２つの研磨ドラム２，２の作業
面２ａ，２ａに同時に接触させるためのもので、互いに
同一の構成を有している。

【００１６】即ち、上記ワーク保持手段３ａ，３ｂは、
ワーク７をバキュームチャックするためのチャックヘッ
ド１４と、該チャックヘッド１４を回転自在に保持する
第１ボディ１５と、該第１ボディ１５を支軸１７を中心
に傾動自在なるように支持する第２ボディ１６と、該第
２ボディ１６を研磨ドラム２，２に接離する方向に直線
的に移動自在なるように支持する支持機構１３とを有し
ている。この支持機構１３は、第２ボディ１６が摺動自
在に載置されたスライドテーブル１８を有し、該スライ
ドテーブル１８が機体１上に、レール１９に沿って研磨
ドラム２，２に接離する方向に直線的に移動自在なるよ
うに支持され、シリンダ２０等の駆動手段によって移動
させられるようになっている。

【００１７】上記チャックヘッド１４は、その表面に複
数の吸着穴１４ａを有していて、これらの吸着穴１４ａ
が、第１ボディ１５及び第２ボディ１６に設けられたポ
ートや配管チューブ等を介して真空源に接続されている
が、それらの図示は省略されている。このチャックヘッ
ド１４は、第１ボディ１５内に設けられたモータに連結
され、エッジの研磨加工時に例えば４０〜６０秒に１回
転程度のゆっくりした速度で駆動される。

【００１８】また、上記第１ボディ１５は、図２に実線
で示すように、チャックヘッド１４が水平を向いてワー
ク７を研磨ドラム２，２から離間させる待機位置と、同
図に鎖線で示すように、チャックヘッド１４が傾斜して
ワークのエッジ７ａを２つの研磨ドラム２，２に接触さ
せる加工位置との間を傾動する。なお、実際には、上記
待機位置においてワーク保持手段３ａ，３ｂは、シリン
ダ２０によりもう少し研磨ドラム２，２から離れた位置
に移動させられている。

【００１９】一方、上記第２ボディ１６には、それから
延出するアーム１６ａに、スライドテーブル１８上のプ
ーリ２３に巻き掛けられたワイヤ２４の一端が固定さ
れ、このワイヤ２４の先端にウエート２５が吊り下げら
れており、このウエート２５の重力によって第２ボディ
１６が、研磨ドラム２，２側に向けて一定の力で付勢さ
れるようになっている。このウエート２５は、研磨加工
中ワーク７を常に一定の接触圧で研磨ドラム２，２に押
し付けるための付勢手段を構成するものである。なお、
エッジ７ａの研磨が行われていないとき上記第２ボディ
１６は、図２に示すように、スライドテーブル１８の前
端のストッパ１８ａに係止し、それ以上の前進が規制さ
れている。

【００２０】上記ワーク移送手段６は、軸線Ｌ６の回り
を旋回自在及び伸縮自在で且つ表裏反転自在のチャック
アーム２９の先端に、ワーク７をバキュームチャックす
るためのチャックヘッド３０を有し、このチャックヘッ
ド３０によって、ローディング部４から未処理ワークを
第１ワーク保持手段３ａのチャックヘッド１４に供給す
る動作と、該第１ワーク保持手段３ａから表面側エッジ
７ａの研磨が終了したワーク７を表裏反転させて第２ワ
ーク保持手段３ｂに移送する動作と、該第２ワーク保持
手段３ｂから裏面側エッジ７ａの研磨が終了したワーク
７をアンローデング部５に搬出する動作とを行うもので
ある。図中３１は、研磨部分に研磨材スラリーを供給す
るためのノズルである。

【００２１】上記構成を有する研磨装置において、ロー
ディング部４から未処理ワークが、ワーク移送手段６に
よって待機位置にある第１ワーク保持手段３ａのチャッ
クヘッド１４に供給されると、第１ボディ１５が、図２
に鎖線で示すように支軸１７を中心にエッジ７ａの面取
り角θによって決まる角度だけ前傾する。そして、シリ
ンダ２０の動作によりスライドテーブル１８が、レール
１９に沿って研磨ドラム２，２の方向に前進し、チャッ
クヘッド１４に保持されて回転するワーク７の表面側の
エッジ７ａが、回転する２つの研磨ドラム２，２の第１
側において外周の作業面２ａ，２ａに押し付けられて研
磨される。

【００２２】上記作業面２ａに対するワーク７の接触圧
は、ウエート２５の重力によって得られる。即ち、上記
シリンダ２０により移動されるスライドテーブル１８が
ストロークエンドに達する以前に、ワーク７が研磨ドラ
ム２，２に当接して第２ボディ１６はその位置に停止す
るが、そのあともスライドテーブル１８は一定距離前進
するため、ワーク７には該第２ボディ１６を介してウエ
ート２５の重力が作用し、このウエート２５の重力によ
って２つの研磨ドラム２，２に加工中常に一定の接触圧
で押し付けられることになる。

【００２３】このとき、上記ワーク保持手段３ａ，３ｂ
には、ワーク７が何れか一方の研磨ドラム２側に偏寄す
ることによって一方の作業面２ａに強く片当りするのを
防止するため、その位置ずれを矯正して該ワークを２つ
の研磨ドラム２，２に均等に接触させるための調芯手段
を付設しておくことが望ましい。この調芯手段は、少な
くともチャックヘッド１４が支軸１７の軸線と平行な方
向、即ち２つの研磨ドラム２，２の中心を結ぶ線と平行
な方向に自由に移動できるようになっていれば良く、例
えば、第１ボディ１５を第２ボディ１６に対して、図示
しないガイドレールとこれに沿って直線的に摺動自在の
スライダとからなるリニアガイド機構によって、上記２
つの研磨ドラム２，２の方向に移動自在に支持させた構
成のものであっても良い。

【００２４】かくしてワーク７の表面側のエッジ７ａ
は、２つの研磨ドラム２，２の作業面２ａ，２ａに同時
に接触することによって異なる２点で鏡面研磨され、そ
の研磨中２つの研磨ドラム２，２は、自らの軸線Ｌ２方
向にゆっくりと往復揺動してワークとの接触位置を変え
る。

【００２５】ワーク７の表面側のエッジ７ａの研磨が終
了すると、上記第１ワーク保持手段３ａはシリンダ２０
により後退し、ワーク７が研磨ドラム２，２から離れる
と共に、第１ボディ１５が待機位置に復帰してワーク７
を水平に向ける。

【００２６】次に、ワーク移送手段６が上記第１ワーク
保持手段３ａからワーク７を受け取り、それを表裏反転
させて第２ワーク保持手段３ｂに供給し、この第２ワー
ク保持手段３ｂにより裏面側のエッジ７ａの研磨が、２
つの研磨ドラム２，２の第２側において上記表面側のエ
ッジを研磨する場合と同様に行われる。

【００２７】上記研磨ドラム２，２の作業面２ａ，２ａ
は、エッジ７ａの研磨時にワーク外周面７ｂがその幅の
少なくとも半分程度内部に食い込み得るだけの柔軟性を
持っていることが望ましく、これにより、表裏面のエッ
ジ７ａ，７ａを研磨するのと同時に外周面７ｂも研磨す
ることができる。

【００２８】裏面側エッジ７ａの研磨が終わると、上記
第２ワーク保持手段が待機位置に移動して、ワーク移送
手段６がこの第２ワーク保持手段３ｂからワーク７を受
け取り、それをアンローディング部４に搬出する。

【００２９】上記第１ワーク保持手段３ａによる表面側
エッジ７ａの研磨と第２ワーク保持手段３ｂによる裏面
側エッジ７ａの研磨とは、自動工程の中で同期的に行わ
れるものであり、従って、ワーク移送手段６による上記
ワーク７の移送は、それに適応した順序及びタイミング
で行われる。

【００３０】なお、上記実施例では、研磨加工時のワー
ク７の接触圧を設定する付勢手段をウエート２５で構成
しているが、このウエートに代えて、圧力調節手段付き
のエアシリンダにより構成しても良い。また、図示した
研磨装置では、２つの研磨ドラム２，２と２つのワーク
保持手段３ａ，３ｂとを備えた１組の研磨手段しか示さ
れていないが、実際の研磨装置には、例えばワーク移送
手段６を挟んで反対側にもう１組の研磨手段を設けるな
ど、複数組の研磨手段を設けることが望ましい。

【００３１】更に、図示した実施例では、２つの研磨ド
ラム２，２とチャックヘッド１４とを、それらの軸線を
縦向きにして設置しているが、軸線を横に向けて設置す
ることもできる。即ち、図１を正面図として考えたとき
のように、２つの研磨ドラム２，２を横向きにして上下
に並べて設置すると共に、チャックヘッド１４も横向き
に配設し、ワーク７を縦向きに保持して研磨するように
構成しても良い。

【００３２】図５は、ワーク保持手段３ａ，３ｂを機体
１上に移動自在に支持する支持機構の異なる例を示すも
ので、この支持機構１３Ａは、第２ボディ１６を直接レ
ール１９上に摺動自在に載置すると共に、プーリ２３を
機体１に取り付け、上記第２ボディ１６のアーム１６ａ
を直接エアシリンダ２０のロッド２０ａで研磨ドラム
２，２から離間する方向に押し動かすようにしたもので
ある。図中２６は、第２ボディ１６を待機位置に停止さ
せるためのストッパである。この支持機構１３Ａにおい
て、エッジの研磨加工時に図示の待機位置からエアシリ
ンダ２０のロッド２０ａが短縮すると、第２ボディ１６
がウエート２５の重力によってレール１９上を研磨ドラ
ム２，２に接近する方向に移動し、該研磨ドラム２，２
にワーク７が当接した位置で停止するが、そのあともロ
ッド２０ａが僅かに短縮してアーム１６ａから離れるた
め、ワーク７はウエート２５の重力によって研磨ドラム
２，２に押し付けられることになる。

【００３３】図６は本発明の第２実施例を示すもので、
この第２実施例の研磨装置は、三角形の頂点に位置する
ように配設された３つの研磨ドラム３２と、隣接する２
つの研磨ドラム３２，３２の間に位置するように配設さ
れた３つのワーク保持手段３３と、各ワーク保持手段３
３に対するワーク７の給排及び表裏反転を行うワーク移
送手段３６とを有し、上記３つのワーク保持手段３３に
よりそれぞれ、ワーク７の表面側エッジを隣接する２つ
の研磨ドラム３２，３２に当接させて研磨したあと、該
ワーク７を表裏反転させて裏面側エッジを上記２つの研
磨ドラム３２，３２に当接させて研磨するように構成さ
れている。

【００３４】なお、上記各ワーク保持手段３３及びワー
ク移送手段３６の構成は上記第１実施例のものと実質的
に同じであるから、必要箇所に第１実施例と同じ符号を
付してそれらの具体的な説明は省略する。また、ローデ
ィング部及びアンローディング部は省略してある。

【００３５】この第２実施例においては、３つの研磨ド
ラム３２により、３枚のワーク７のエッジを同時に複数
点に接触させて研磨することができるため、研磨効率が
非常に良い。

【００３６】図７は本発明の第３実施例を示すもので、
この第３実施例の研磨装置は、四角形の頂点に位置する
ように配設された４つの研磨ドラム４２ａ〜４２ｄと、
隣接する２つの研磨ドラムの間に位置するように配設さ
れた４つのワーク保持手段４３ａ〜４３ｄと、これらの
ワーク保持手段に対するワークの給排及び表裏反転を行
う２つのワーク移送手段４６ａ，４６ｂとを有するもの
である。

【００３７】上記４つのワーク保持手段のうち第１及び
第３の２つのワーク保持手段４３ａ及び４３ｃは、ワー
ク７の表面側エッジを隣接する２つの研磨ドラム４２
ａ，４２ｂ及び４２ａ，４２ｄに当接させて研磨するた
めのものであり、第２及び第４の２つのワーク保持手段
４３ｂ及び４３ｄは、上記第１及び第３のワーク保持手
段４３ａ及び４３ｃで表面側エッジを研磨されたワーク
７の裏面側のエッジを、２つの研磨ドラム４２ｂ，４２
ｃ及び４２ｃ，４２ｄに当接させて研磨するためのもの
である。そして、上記第１ワーク保持手段４３ａと第２
ワーク保持手段４３ｂとの間に第１ワーク移送手段４６
ａが配設され、第３ワーク保持手段４３ｃと第４ワーク
保持手段４３ｄとの間に第２ワーク移送手段４６ｂが配
設されている。

【００３８】なお、上記各ワーク保持手段４２ａ〜４２
ｄ及び各ワーク移送手段４６ａ，４６ｂの構成は上記第
１実施例のものと実質的に同じであるから、必要箇所に
第１実施例と同じ符号を付してそれらの具体的な説明は
省略する。また、ローディング部及びアンローディング
部は省略してある。

【００３９】また、図示した実施例では、表面側エッジ
を研磨するための第１ワーク保持手段４３ａと第３ワー
ク保持手段４３ｃ、及び裏面側エッジを研磨するための
第２ワーク保持手段４３ｂと第４ワーク保持手段４３ｄ
とがそれぞれ、相互に隣接した位置に設けられている
が、それらは相対向する位置に設けることもできる。

【００４０】この第３実施例においては、上記第１実施
例における研磨手段を２組設けた場合と実質的に同じで
あるため、第１実施例の２倍の能率でワークのエッジを
研磨することが可能であり、研磨効率に勝れる。

【００４１】

【発明の効果】このように本発明によれば、ワークのエ
ッジを複数の研磨ドラムに同時に接触させることで複数
点において同時に鏡面研磨することができるため、研磨
効率が向上して研磨時間を著しく短縮することができ
る。しかも、従来よりも格段に小径の研磨ドラムを使用
することができるだけでなく、隣接する研磨ドラムの間
にワークの先端部を嵌合させた状態で研磨を行うことが
できるため、研磨時にこれらの研磨ドラム及びワークが
占めるスペースは非常に小さくて済み、装置は非常に小
形化されることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る研磨装置の第１実施例を示す平面
図である。

【図２】図１の部分破断正面図である。

【図３】図２においけるワークエッジの研磨状態での要
部拡大図である。

【図４】図３をワークの軸線方向から見た図である。

【図５】ワーク保持手段を移動自在に支持する支持機構
の異種構造例を示す要部断面図である。

【図６】本発明に係る研磨装置の第２実施例を示す平面
図である。

【図７】本発明に係る研磨装置の第３実施例を示す平面
図である。

【符号の説明】

２，３２，４２ａ〜４２ｄ 研磨ドラム ２ａ 作業面 ３ａ，３ｂ，３３，４３ａ〜４３ｄ ワーク保持手段 ６，３６，４６ａ，４６ｂ ワーク移送手段 ７ ワーク ７ａ エッジ ２５ ウエート

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークの直径より小さい間隔を保って位置
   する複数の円筒形研磨ドラムを所要の速度で回転させる
   工程；面取りした外周エッジを表裏面に有する円板形ワ
   ークを所要の速度で回転させながら、表面側のエッジを
   複数の研磨ドラムの外周の作業面に同時に接触させて研
   磨する工程；上記ワークを表裏反転させる工程；反転し
   たワークを所要の速度で回転させながら、裏面側のエッ
   ジを複数の研磨ドラムの作業面に同時に接触させて研磨
   する工程；を有することを特徴とするワークエッジの鏡
   面研磨方法。
2. 【請求項２】請求項１に記載の研磨方法において、上記
   研磨ドラムを２つ設け、ワーク表面側のエッジを研磨す
   る工程を２つの研磨ドラムの第１側で行い、裏面側のエ
   ッジを研磨する工程を上記研磨ドラムの第２側で行うこ
   とを特徴とするもの。
3. 【請求項３】請求項１又は２に記載の研磨方法におい
   て、上記研磨ドラムとワークとを、作業面に対するワー
   クの接触位置を変えるために相対的に移動させる工程を
   含むもの。
4. 【請求項４】ワークの直径より小さい間隔を保って回転
   自在に配設され、それぞれの外周に研磨用の作業面を備
   えた、ワークの外周エッジを異なる複数点で鏡面研磨す
   るための複数の円筒形研磨ドラム；上記研磨ドラムを回
   転させる手段；面取りした外周エッジを表裏面に有する
   円板形ワークを保持して回転させると共に、該ワークの
   エッジを複数の研磨ドラムの作業面に同時に接触させる
   １つ以上のワーク保持手段；上記ワークを表裏反転させ
   るための手段；を有することを特徴とするワークエッジ
   の鏡面研磨装置。
5. 【請求項５】請求項４に記載の研磨装置において、２つ
   の研磨ドラムと、これらの研磨ドラムの第１側において
   ワークの表面側エッジを作業面に押し付ける第１ワーク
   保持手段と、上記研磨ドラムの第２側においてワークの
   裏面側エッジを作業面に押し付ける第２ワーク保持手段
   とを有することを特徴とするもの。
6. 【請求項６】請求項５に記載の研磨装置において、上記
   ２つの研磨ドラムが、先端側が相互に接近する方向に傾
   斜していることを特徴とするもの。
7. 【請求項７】請求項４乃至６の何れかに記載の研磨装置
   において、上記研磨ドラムとワーク保持手段とが、作業
   面に対するワークの接触位置を変えるために相対的に移
   動自在であることを特徴とするもの。
8. 【請求項８】請求項４乃至７の何れかに記載の研磨装置
   において、上記ワーク保持手段が、ワークを加工中常に
   一定の圧力で作業面に接触させるための付勢手段と、２
   つの研磨ドラムに対するワークの位置ずれを矯正して該
   ワークを両研磨ドラムに均等に接触させるための調芯手
   段とを有することを特徴とするもの。