JPH11351627A - クリーンルーム設備およびそのクリーンルーム設備の排煙方法 - Google Patents
クリーンルーム設備およびそのクリーンルーム設備の排煙方法Info
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- JPH11351627A JPH11351627A JP18165998A JP18165998A JPH11351627A JP H11351627 A JPH11351627 A JP H11351627A JP 18165998 A JP18165998 A JP 18165998A JP 18165998 A JP18165998 A JP 18165998A JP H11351627 A JPH11351627 A JP H11351627A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ファンフィルタユニットと側壁間の天井付近
に空気溜まりを生じることなく、さらに火災時のように
煙が発生した場合に十分な排煙が行えるクリーンルーム
設備およびそのクリーンルーム設備の排煙方法を提供す
ること。 【解決手段】 天井面１２にファンフィルタユニット１
４を設置し、該ファンフィルタユニットのファン１４ａ
を駆動して天井裏空間２２の空気を前記ファンフィルタ
ユニットのフィルタを通過させてクリーンルーム１０内
へ送給し、該クリーンルーム内の空気をグレーチング床
１６から側壁２０に沿って形成された還流路２４を介し
て天井裏空間へ還流させるようにしたクリーンルーム設
備において、ファンフィルタユニット１４の設置域とク
リーンルーム１０の側壁２０との間のクリーンルームの
天井面１２または／および前記側壁２０の天井面付近に
適宜な通気抵抗を持った通気孔３０ａを形成している。
に空気溜まりを生じることなく、さらに火災時のように
煙が発生した場合に十分な排煙が行えるクリーンルーム
設備およびそのクリーンルーム設備の排煙方法を提供す
ること。 【解決手段】 天井面１２にファンフィルタユニット１
４を設置し、該ファンフィルタユニットのファン１４ａ
を駆動して天井裏空間２２の空気を前記ファンフィルタ
ユニットのフィルタを通過させてクリーンルーム１０内
へ送給し、該クリーンルーム内の空気をグレーチング床
１６から側壁２０に沿って形成された還流路２４を介し
て天井裏空間へ還流させるようにしたクリーンルーム設
備において、ファンフィルタユニット１４の設置域とク
リーンルーム１０の側壁２０との間のクリーンルームの
天井面１２または／および前記側壁２０の天井面付近に
適宜な通気抵抗を持った通気孔３０ａを形成している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルーム設備
に係り、特に半導体製造工場等のように高清浄度を必要
とするクリーンルーム設備の構造および排煙方法に関す
る。
に係り、特に半導体製造工場等のように高清浄度を必要
とするクリーンルーム設備の構造および排煙方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場等のクリーンルームの天
井面には、格子状の天井フレームが敷設され、この天井
フレームの格子空間に複数台のファンフィルタユニット
が設置される。ファンフィルタユニットはファンを駆動
することにより、天井裏空間の空気をフィルタを介して
クリーンルームに吹き出す。吹き出した空気はダウンフ
ローされてクリーンルーム内の塵埃と共にクリーンルー
ム下面のグレーチング床を介して床下空間に吸い込ま
れ、その一部が還流路を介して天井裏空間に導かれ、残
りの空気がクリーンルームの外に排気される。天井裏空
間に導かれた空気は前記ファンフィルタユニットにより
除塵されて再びクリーンルームに吹き出す。これによ
り、クリーンルームは清浄に維持される。
井面には、格子状の天井フレームが敷設され、この天井
フレームの格子空間に複数台のファンフィルタユニット
が設置される。ファンフィルタユニットはファンを駆動
することにより、天井裏空間の空気をフィルタを介して
クリーンルームに吹き出す。吹き出した空気はダウンフ
ローされてクリーンルーム内の塵埃と共にクリーンルー
ム下面のグレーチング床を介して床下空間に吸い込ま
れ、その一部が還流路を介して天井裏空間に導かれ、残
りの空気がクリーンルームの外に排気される。天井裏空
間に導かれた空気は前記ファンフィルタユニットにより
除塵されて再びクリーンルームに吹き出す。これによ
り、クリーンルームは清浄に維持される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、クリーンル
ームの構造上ファンフィルタユニットは、クリーンルー
ムの側壁までいっぱいに設置できない。このため従来の
クリーンルームでは、ファンフィルタユニットと側壁間
の天井を閉塞しており、その部分に空気溜まりが生じて
いた。
ームの構造上ファンフィルタユニットは、クリーンルー
ムの側壁までいっぱいに設置できない。このため従来の
クリーンルームでは、ファンフィルタユニットと側壁間
の天井を閉塞しており、その部分に空気溜まりが生じて
いた。
【０００４】また、クリーンルームでは、火災時等に煙
が発生すると、排煙ファンを駆動してクリーンルーム内
の煙をファンフィルタユニットを介して外に排出させる
ようにしている。しかし、煙には粒子径が１〜５μｍと
大きい粒子が含まれているため、ファンフィルタユニッ
トのフィルタが目詰まりを起こしてしまい、排煙機能を
妨げてしまう。
が発生すると、排煙ファンを駆動してクリーンルーム内
の煙をファンフィルタユニットを介して外に排出させる
ようにしている。しかし、煙には粒子径が１〜５μｍと
大きい粒子が含まれているため、ファンフィルタユニッ
トのフィルタが目詰まりを起こしてしまい、排煙機能を
妨げてしまう。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ファンフィルタユニットと側壁間の天井付近に
空気溜まりを生じることなく、さらに火災時のように煙
が発生した場合に十分な排煙が行えるクリーンルーム設
備およびそのクリーンルーム設備の排煙方法を提供する
こと目的とする。
もので、ファンフィルタユニットと側壁間の天井付近に
空気溜まりを生じることなく、さらに火災時のように煙
が発生した場合に十分な排煙が行えるクリーンルーム設
備およびそのクリーンルーム設備の排煙方法を提供する
こと目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、本発明の請求項１，２または３のクリーン
ルーム設備では、天井面にファンフィルタユニットを設
置し、該ファンフィルタユニットのファンを駆動して天
井裏空間の空気を前記ファンフィルタユニットのフィル
タを通過させてクリーンルーム内へ送給し、該クリーン
ルーム内の空気をグレーチング床から側壁に沿って形成
された還流路を介して天井裏空間へ還流させるようにし
たクリーンルーム設備において、ファンフィルタユニッ
トの設置域とクリーンルームの側壁面との間のクリーン
ルームの天井面または／および前記側壁の天井面付近に
適宜な通気抵抗を持った通気孔を形成している。
するために、本発明の請求項１，２または３のクリーン
ルーム設備では、天井面にファンフィルタユニットを設
置し、該ファンフィルタユニットのファンを駆動して天
井裏空間の空気を前記ファンフィルタユニットのフィル
タを通過させてクリーンルーム内へ送給し、該クリーン
ルーム内の空気をグレーチング床から側壁に沿って形成
された還流路を介して天井裏空間へ還流させるようにし
たクリーンルーム設備において、ファンフィルタユニッ
トの設置域とクリーンルームの側壁面との間のクリーン
ルームの天井面または／および前記側壁の天井面付近に
適宜な通気抵抗を持った通気孔を形成している。
【０００７】この発明のクリーンルーム設備によれば、
天井裏空間の気圧がクリーンルーム内の気圧よりも低い
ことを利用して、通気孔を介してクリーンルーム内から
天井裏空間への還流路を形成し、それによってファンフ
ィルタユニットと側壁間の天井付近に生じる空気溜まり
を解消する。また本発明の請求項４のクリーンルーム設
備では、請求項１，２または３において、前記通気孔の
開口率を可変にしている。
天井裏空間の気圧がクリーンルーム内の気圧よりも低い
ことを利用して、通気孔を介してクリーンルーム内から
天井裏空間への還流路を形成し、それによってファンフ
ィルタユニットと側壁間の天井付近に生じる空気溜まり
を解消する。また本発明の請求項４のクリーンルーム設
備では、請求項１，２または３において、前記通気孔の
開口率を可変にしている。
【０００８】この発明のクリーンルーム設備によれば、
通気孔の開口を適宜に変更することによって通気孔から
天井裏空間へ還流される空気量をファンフィルタユニッ
トと側壁間の天井付近に生じる空気溜まりが解消される
最小量に設定することによってファンフィルタユニット
によるクリーンルーム内の清浄効果を最大にすることが
できる。
通気孔の開口を適宜に変更することによって通気孔から
天井裏空間へ還流される空気量をファンフィルタユニッ
トと側壁間の天井付近に生じる空気溜まりが解消される
最小量に設定することによってファンフィルタユニット
によるクリーンルーム内の清浄効果を最大にすることが
できる。
【０００９】また、本発明の請求項５のクリーンルーム
設備の排煙方法では、天井面にファンフィルタユニット
を設置し、該ファンフィルタユニットのファンを駆動し
て天井裏空間の空気を前記ファンフィルタユニットのフ
ィルタを通過させてクリーンルーム内へ送給し、該クリ
ーンルーム内の空気をグレーチング床から側壁に沿って
形成された還流路を介して天井裏空間へ還流させるよう
にしたクリーンルーム設備におけるファンフィルタユニ
ットの設置域とクリーンルームの側壁面との間のクリー
ンルームの天井面または／および前記側壁の天井面付近
に、前記天井裏空間を含む前記還流路に連通する適宜な
通気抵抗を持った通気孔を形成し、かつ該還流路に排煙
ファンを設置するとともに、該排煙ファンの設置位置よ
りも下流の前記還流路にシャッターを設置し、排煙時に
前記シャッターを閉止し、前記排煙ファンを駆動させ
て、前記通気孔を介してクリーンルーム内の煙を外部へ
排出させる。
設備の排煙方法では、天井面にファンフィルタユニット
を設置し、該ファンフィルタユニットのファンを駆動し
て天井裏空間の空気を前記ファンフィルタユニットのフ
ィルタを通過させてクリーンルーム内へ送給し、該クリ
ーンルーム内の空気をグレーチング床から側壁に沿って
形成された還流路を介して天井裏空間へ還流させるよう
にしたクリーンルーム設備におけるファンフィルタユニ
ットの設置域とクリーンルームの側壁面との間のクリー
ンルームの天井面または／および前記側壁の天井面付近
に、前記天井裏空間を含む前記還流路に連通する適宜な
通気抵抗を持った通気孔を形成し、かつ該還流路に排煙
ファンを設置するとともに、該排煙ファンの設置位置よ
りも下流の前記還流路にシャッターを設置し、排煙時に
前記シャッターを閉止し、前記排煙ファンを駆動させ
て、前記通気孔を介してクリーンルーム内の煙を外部へ
排出させる。
【００１０】この発明のクリーンルーム設備の排煙方法
によれば、排煙時に還流路を閉成することによって、ク
リーンルーム内の煙を通気孔を介して排出することがで
きる。一般にクリーンルームでは、還流路の通気抵抗は
小さい。このため、煙は温度上昇による上向きの流れ
と、還流路に向かう下向きの流れが生じ、室内に煙が拡
散される。そこで、このようなクリーンルーム設備の場
合には、クリーンルーム内の煙を通気孔を介して上部で
排出すれば、排煙効率が高くなる。
によれば、排煙時に還流路を閉成することによって、ク
リーンルーム内の煙を通気孔を介して排出することがで
きる。一般にクリーンルームでは、還流路の通気抵抗は
小さい。このため、煙は温度上昇による上向きの流れ
と、還流路に向かう下向きの流れが生じ、室内に煙が拡
散される。そこで、このようなクリーンルーム設備の場
合には、クリーンルーム内の煙を通気孔を介して上部で
排出すれば、排煙効率が高くなる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図１乃至図３に従って本発
明に係るクリーンルーム設備の好ましい実施の形態につ
いて詳述する。先ず、本実施の形態のクリーンルーム設
備では、クリーンルーム１０の天井面１２に格子状の天
井フレームが敷設され、それらの格子状空間にファンフ
ィルタユニット１４が設置されている。それらのファン
フィルタユニット１４は、ファン１４ａ及びフィルタ１
４ｂを備えている。また、クリーンルーム１０の床はグ
レーチング床１６で構成されている。そして、このクリ
ーンルーム設備では、グレーチング床１６の床下空間１
８からクリーンルーム１０の側壁２０に沿い天井裏空間
２２に達する空気の還流路２４が形成されており、該還
流路２４の入口、即ちグレーチング床１６の下部にドラ
イコイル２６が設置されている。
明に係るクリーンルーム設備の好ましい実施の形態につ
いて詳述する。先ず、本実施の形態のクリーンルーム設
備では、クリーンルーム１０の天井面１２に格子状の天
井フレームが敷設され、それらの格子状空間にファンフ
ィルタユニット１４が設置されている。それらのファン
フィルタユニット１４は、ファン１４ａ及びフィルタ１
４ｂを備えている。また、クリーンルーム１０の床はグ
レーチング床１６で構成されている。そして、このクリ
ーンルーム設備では、グレーチング床１６の床下空間１
８からクリーンルーム１０の側壁２０に沿い天井裏空間
２２に達する空気の還流路２４が形成されており、該還
流路２４の入口、即ちグレーチング床１６の下部にドラ
イコイル２６が設置されている。
【００１２】さらに、このクリーンルーム設備では、フ
ァンフィルタユニット１４の設置域とクリーンルーム１
０の側壁２０との間のクリーンルーム１０の天井面１２
にファンフィルタユニット１４の設置域を囲繞するよう
に開口２８が形成され、該開口２８にはその開口２８を
塞ぐようにパンチングメタル、ルーバ等３０が設置され
ている。このパンチングメタル３０等の孔は通気孔３０
ａを構成するもので、通気孔３０ａの大きさによって適
宜な通気抵抗を付与する。この通気孔３０ａの大きさ
は、計算によって予め決定された風量が得られるように
設定しておいてもよいが、例えばパンチングメタルを２
枚用意し、それらを互いに摺動自在に添設させ、一方の
パンチンメタルをモータ等のアクチュエータによって作
動させることによって通気孔３０ａの大きさを調整でき
るようにしたり、ルーバのフィンをモータ等のアクチュ
エータによって回動させ、それによって通気抵抗を可変
にするようにしてもよい。さらに、このクリーンルーム
設備では、還流路２４に排煙ファン３２が設置されてい
る。この排煙ファン３２は、クリーンルーム１０内に設
置した煙検知センサ又はクリーンルーム設備のコントロ
ーラ等に設置されたスイッチ等によって作動され、還流
路２４の煙を外部へ排出する。
ァンフィルタユニット１４の設置域とクリーンルーム１
０の側壁２０との間のクリーンルーム１０の天井面１２
にファンフィルタユニット１４の設置域を囲繞するよう
に開口２８が形成され、該開口２８にはその開口２８を
塞ぐようにパンチングメタル、ルーバ等３０が設置され
ている。このパンチングメタル３０等の孔は通気孔３０
ａを構成するもので、通気孔３０ａの大きさによって適
宜な通気抵抗を付与する。この通気孔３０ａの大きさ
は、計算によって予め決定された風量が得られるように
設定しておいてもよいが、例えばパンチングメタルを２
枚用意し、それらを互いに摺動自在に添設させ、一方の
パンチンメタルをモータ等のアクチュエータによって作
動させることによって通気孔３０ａの大きさを調整でき
るようにしたり、ルーバのフィンをモータ等のアクチュ
エータによって回動させ、それによって通気抵抗を可変
にするようにしてもよい。さらに、このクリーンルーム
設備では、還流路２４に排煙ファン３２が設置されてい
る。この排煙ファン３２は、クリーンルーム１０内に設
置した煙検知センサ又はクリーンルーム設備のコントロ
ーラ等に設置されたスイッチ等によって作動され、還流
路２４の煙を外部へ排出する。
【００１３】このように構成されたクリーンルーム設備
では、ファンフィルタユニット１４のファン１４ａを駆
動することにより天井裏空間２２の空気をケーシング内
に吸引し、その空気をケーシング下面に取り付けた塵埃
捕集用のフィルタ１４ｂで除塵して清浄空気をクリーン
ルーム１０内に送給する。クリーンルーム１０内に送給
された空気は、クリーンルーム１０内の塵埃と共にグレ
ーチング床１６から床下空間１８に吸い込まれ、還流路
２４を通って天井裏空間２２に戻される。なお、還流路
２４を通って天井裏空間２２に戻される空気は、ドライ
コイル２６を通過する際に、該ドライコイル２６によっ
て所定の温湿度に調整される。このように天井裏空間２
２に送られた空気は再びファンフィルタユニット１４に
より浄化されてクリーンルーム１０に送給される。
では、ファンフィルタユニット１４のファン１４ａを駆
動することにより天井裏空間２２の空気をケーシング内
に吸引し、その空気をケーシング下面に取り付けた塵埃
捕集用のフィルタ１４ｂで除塵して清浄空気をクリーン
ルーム１０内に送給する。クリーンルーム１０内に送給
された空気は、クリーンルーム１０内の塵埃と共にグレ
ーチング床１６から床下空間１８に吸い込まれ、還流路
２４を通って天井裏空間２２に戻される。なお、還流路
２４を通って天井裏空間２２に戻される空気は、ドライ
コイル２６を通過する際に、該ドライコイル２６によっ
て所定の温湿度に調整される。このように天井裏空間２
２に送られた空気は再びファンフィルタユニット１４に
より浄化されてクリーンルーム１０に送給される。
【００１４】このようにして、大部分の空気はファンフ
ィルタユニット１４、クリーンルーム１０、グレーチン
グ床１６、還流路２４を経て天井裏空間２２に還流され
る循環系を構成するが、ファンフィルタユニット１４と
側壁２０間の天井面１２付近の空気は、天井裏空間２２
とクリーンルーム１０との間に生じる気圧差、即ちクリ
ーンルーム１０に対して天井裏空間２２の気圧が低いこ
とから、通気孔３０ａを経て天井裏空間２２に排出され
る。したがって、ファンフィルタユニット１４と側壁２
０間の天井面１２付近に生じる空気溜まりが解消され
る。
ィルタユニット１４、クリーンルーム１０、グレーチン
グ床１６、還流路２４を経て天井裏空間２２に還流され
る循環系を構成するが、ファンフィルタユニット１４と
側壁２０間の天井面１２付近の空気は、天井裏空間２２
とクリーンルーム１０との間に生じる気圧差、即ちクリ
ーンルーム１０に対して天井裏空間２２の気圧が低いこ
とから、通気孔３０ａを経て天井裏空間２２に排出され
る。したがって、ファンフィルタユニット１４と側壁２
０間の天井面１２付近に生じる空気溜まりが解消され
る。
【００１５】図４は、本発明に係るクリーンルーム設備
の他の実施の形態を示している。このクリーンルーム設
備では、上記実施の形態における還流路２４の適宜箇
所、例えばドライコイル２６の直ぐ下流位置Ａまたは還
流路２４の中間箇所Ｂにモータ等のアクチュエータによ
って作動されるシャッター３４を設置し、それらを通常
開成にしておき、排煙時に閉成する。すると、クリーン
ルーム１０内の煙は通気孔３０ａを経て排煙ファン３２
から外部へ排出される。
の他の実施の形態を示している。このクリーンルーム設
備では、上記実施の形態における還流路２４の適宜箇
所、例えばドライコイル２６の直ぐ下流位置Ａまたは還
流路２４の中間箇所Ｂにモータ等のアクチュエータによ
って作動されるシャッター３４を設置し、それらを通常
開成にしておき、排煙時に閉成する。すると、クリーン
ルーム１０内の煙は通気孔３０ａを経て排煙ファン３２
から外部へ排出される。
【００１６】このようにして、上記実施の形態のクリー
ンルーム設備では、クリーンルーム１０内の清浄作用に
おいては、ファンフィルタユニット１４からクリーンル
ーム１０内に送給される清浄空気によってクリーンルー
ム１０内が清浄に維持され、さらに通気孔３０ａから天
井裏空間２２に生じる空気の還流によってファンフィル
タユニット１４と側壁２０間の天井面１２付近に生じる
空気溜まりが解消され、クリーンルーム１０内に煙が発
生した場合には、通気孔３０ａを介して煙がクリーンル
ーム１０外へ効率良く排出される。
ンルーム設備では、クリーンルーム１０内の清浄作用に
おいては、ファンフィルタユニット１４からクリーンル
ーム１０内に送給される清浄空気によってクリーンルー
ム１０内が清浄に維持され、さらに通気孔３０ａから天
井裏空間２２に生じる空気の還流によってファンフィル
タユニット１４と側壁２０間の天井面１２付近に生じる
空気溜まりが解消され、クリーンルーム１０内に煙が発
生した場合には、通気孔３０ａを介して煙がクリーンル
ーム１０外へ効率良く排出される。
【００１７】なお、上記実施の形態では、通気孔３０ａ
をクリーンルーム１０の天井面１２に開口２８を形成
し、該開口２８にパンチングメタル３０等を配設して通
気孔３０ａを構成しているが、この通気孔３０ａは、側
壁２０の天井面１２付近に構成してもよく、また天井面
１２と側壁２０の両方に構成してもよい。以下に、上記
実施の形態のクリーンルーム設備における空気浄化機能
と排煙機能について検証する。
をクリーンルーム１０の天井面１２に開口２８を形成
し、該開口２８にパンチングメタル３０等を配設して通
気孔３０ａを構成しているが、この通気孔３０ａは、側
壁２０の天井面１２付近に構成してもよく、また天井面
１２と側壁２０の両方に構成してもよい。以下に、上記
実施の形態のクリーンルーム設備における空気浄化機能
と排煙機能について検証する。
【００１８】幅１０ｍ×長さ２０ｍの床面積を持つクリ
ーンルーム１０の天井面１２に幅９ｍ×長さ１９ｍの範
囲でファンフィルタユニット１４が設置され、そのファ
ンフィルタユニット１４の設置域を囲繞するように幅５
０ｍｍの開口を形成し、該開口に開口率が２０％のパン
チングメタル３０を配設する。このパンチングメタル３
０の面積は、２．８７ｍ2 である。
ーンルーム１０の天井面１２に幅９ｍ×長さ１９ｍの範
囲でファンフィルタユニット１４が設置され、そのファ
ンフィルタユニット１４の設置域を囲繞するように幅５
０ｍｍの開口を形成し、該開口に開口率が２０％のパン
チングメタル３０を配設する。このパンチングメタル３
０の面積は、２．８７ｍ2 である。
【００１９】先ず、排煙時の必要排煙風量は建築基準法
により、１０ｍ×２０ｍ×１ｍ3 ／ｍｉｎ・ｍ2 ÷６０
ｓ／ｍｉｎ＝３．３３ｍ3 ／ｓである。パンチングメタ
ル３０の面積は２．８７ｍ2 で開口率が２０％であるか
ら通気孔３０ａの通過風量は５．８０ｍ／ｓとなり、煙
の通過経路として支障はない。通常の空気浄化作用をさ
せている場合には、図５に示したように、ファンフィル
タユニット１４から送給された空気は、ドライコイル２
６を経由して天井裏空間２２に戻る経路１とパンチング
メタル３０の通気孔３０ａを経由して天井裏空間２２に
戻る経路２との２系統の循環系が構成される。
により、１０ｍ×２０ｍ×１ｍ3 ／ｍｉｎ・ｍ2 ÷６０
ｓ／ｍｉｎ＝３．３３ｍ3 ／ｓである。パンチングメタ
ル３０の面積は２．８７ｍ2 で開口率が２０％であるか
ら通気孔３０ａの通過風量は５．８０ｍ／ｓとなり、煙
の通過経路として支障はない。通常の空気浄化作用をさ
せている場合には、図５に示したように、ファンフィル
タユニット１４から送給された空気は、ドライコイル２
６を経由して天井裏空間２２に戻る経路１とパンチング
メタル３０の通気孔３０ａを経由して天井裏空間２２に
戻る経路２との２系統の循環系が構成される。
【００２０】ファンフィルタユニット１４の送風量Ｑ1
は０．３ｍ／ｓの下降気流を得るとして、Ｑ1 ＝９ｍ×
１９ｍ×０．３ｍ／ｓ＝５１．３ｍ3 ／ｓとなる。経路
１の空気抵抗はドライコイル２６の風速ｖ1 とその断面
積ａ1 によって支配され、その損失係数ζ1 はζ1 ＝
８．１７程度である。コイルの通過風速を２ｍ／ｓとす
ると、ａ1 ＝２５．６５ｍ2 を得る。
は０．３ｍ／ｓの下降気流を得るとして、Ｑ1 ＝９ｍ×
１９ｍ×０．３ｍ／ｓ＝５１．３ｍ3 ／ｓとなる。経路
１の空気抵抗はドライコイル２６の風速ｖ1 とその断面
積ａ1 によって支配され、その損失係数ζ1 はζ1 ＝
８．１７程度である。コイルの通過風速を２ｍ／ｓとす
ると、ａ1 ＝２５．６５ｍ2 を得る。
【００２１】一方、経路２の断面積ａ2 はａ2 ＝２．８
７ｍ2 であり、また開口率２０％であるからζ2 ＝４１
を得る。ところで、連続の式は、 ａ1 ・ｖ1 ＋ａ2 ・ｖ2 ＝Ｑ （１） また、経路１と経路２の前後の圧力Ｐ1 とＰ2 の差ΔＰ
はどちらも等しいので そこで、（１）と（２）に定数を代入して解くとｖ2 ＝
０．８５ｍ／ｓとなる。
７ｍ2 であり、また開口率２０％であるからζ2 ＝４１
を得る。ところで、連続の式は、 ａ1 ・ｖ1 ＋ａ2 ・ｖ2 ＝Ｑ （１） また、経路１と経路２の前後の圧力Ｐ1 とＰ2 の差ΔＰ
はどちらも等しいので そこで、（１）と（２）に定数を代入して解くとｖ2 ＝
０．８５ｍ／ｓとなる。
【００２２】これより、幅５０ｍｍのパンチングメタル
面を通過する風量Ｑ2 はＱ2 ＝０．８５ｍ／ｓ×２．８
７ｍ2 ＝２．４ｍ3 ／ｓである。この値は、Ｑ1 の５
１．３ｍ3 ／ｓに比べて充分小さく、システム全体の性
能を損なうことはない。また、ファンフィルタユニット
１４と側壁２０との間、即ち０．５ｍ幅における面速を
計算すると、０．８５ｍ／ｓ×０．０５ｍ×（１／０．
５ｍ）＝０．０８５ｍ／ｓを得る。
面を通過する風量Ｑ2 はＱ2 ＝０．８５ｍ／ｓ×２．８
７ｍ2 ＝２．４ｍ3 ／ｓである。この値は、Ｑ1 の５
１．３ｍ3 ／ｓに比べて充分小さく、システム全体の性
能を損なうことはない。また、ファンフィルタユニット
１４と側壁２０との間、即ち０．５ｍ幅における面速を
計算すると、０．８５ｍ／ｓ×０．０５ｍ×（１／０．
５ｍ）＝０．０８５ｍ／ｓを得る。
【００２３】この上面に抜ける気流は天井面１２と側壁
２０とのコーナで生じる汚染された空気溜まりを解消で
きる。
２０とのコーナで生じる汚染された空気溜まりを解消で
きる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１，２また
は３のクリーンルーム設備によれば、天井裏空間の気圧
がクリーンルーム内の気圧よりも低いことを利用して、
通気孔を介してクリーンルーム内から天井裏空間への還
流路を形成しているので、ファンフィルタユニットと側
壁間の天井付近に生じる空気溜まりが解消される。さら
に、請求項４のクリーンルーム設備によれば、通気孔の
開口を適宜に変更することによって、通気孔から天井裏
空間へ還流される空気量をファンフィルタユニットと側
壁間の天井付近に生じる空気溜まりが解消される最小量
に設定することによって、ファンフィルタユニットによ
るクリーンルーム内の清浄効果を最大にすることができ
る。
は３のクリーンルーム設備によれば、天井裏空間の気圧
がクリーンルーム内の気圧よりも低いことを利用して、
通気孔を介してクリーンルーム内から天井裏空間への還
流路を形成しているので、ファンフィルタユニットと側
壁間の天井付近に生じる空気溜まりが解消される。さら
に、請求項４のクリーンルーム設備によれば、通気孔の
開口を適宜に変更することによって、通気孔から天井裏
空間へ還流される空気量をファンフィルタユニットと側
壁間の天井付近に生じる空気溜まりが解消される最小量
に設定することによって、ファンフィルタユニットによ
るクリーンルーム内の清浄効果を最大にすることができ
る。
【００２５】また、本発明の請求項５のクリーンルーム
設備の排煙方法によれば、排煙時に還流路を閉成するこ
とによって、クリーンルーム内の煙を通気孔を介して排
出することができる。一般にクリーンルームでは、還流
路の入口にドライコイルが設置されている。このような
場合には、グレーチング床を介して排煙するとドライコ
イルが抵抗となって排煙機能を損なう虞れがある。そこ
で、このようなクリーンルーム設備の場合には、クリー
ンルーム内の煙を通気孔を介して排出すれば、排煙効率
が高くなる。
設備の排煙方法によれば、排煙時に還流路を閉成するこ
とによって、クリーンルーム内の煙を通気孔を介して排
出することができる。一般にクリーンルームでは、還流
路の入口にドライコイルが設置されている。このような
場合には、グレーチング床を介して排煙するとドライコ
イルが抵抗となって排煙機能を損なう虞れがある。そこ
で、このようなクリーンルーム設備の場合には、クリー
ンルーム内の煙を通気孔を介して排出すれば、排煙効率
が高くなる。
【図１】本発明に係るクリーンルーム設備の一実施の形
態を概念的に示した正面図
態を概念的に示した正面図
【図２】本発明に係るクリーンルーム設備の一実施の形
態を概念的に示した平面図
態を概念的に示した平面図
【図３】本発明に係るクリーンルーム設備の一実施の形
態の要部を拡大して示した部分正面図
態の要部を拡大して示した部分正面図
【図４】本発明に係るクリーンルーム設備の他の実施の
形態を概念的に示した正面図
形態を概念的に示した正面図
【図５】本発明に係るクリーンルーム設備の循環系を示
した図
した図
１０…クリーンルーム １２…天井面 １４…ファンフィルタユニット １４ａ…ファン １４ｂ…フィルタ １６…グレーチング床 １８…床下空間 ２０…側壁 ２２…天井裏空間 ２４…還流路 ２６…ドライコイル ２８…開口 ３０…パンチングメタル ３０ａ…通気孔 ３２…排煙ファン
Claims (5)
- 【請求項１】天井面にファンフィルタユニットを設置
し、該ファンフィルタユニットのファンを駆動して天井
裏空間の空気を前記ファンフィルタユニットのフィルタ
を通過させてクリーンルーム内へ送給し、該クリーンル
ーム内の空気をグレーチング床から側壁に沿って形成さ
れた還流路を介して天井裏空間へ還流させるようにした
クリーンルーム設備において、 ファンフィルタユニットの設置域とクリーンルームの側
壁面との間のクリーンルームの天井面に適宜な通気抵抗
を持った通気孔を形成したことを特徴とするクリーンル
ーム設備。 - 【請求項２】天井面にファンフィルタユニットを設置
し、該ファンフィルタユニットのファンを駆動して天井
裏空間の空気を前記ファンフィルタユニットのフィルタ
を通過させてクリーンルーム内へ送給し、該クリーンル
ーム内の空気をグレーチング床から側壁に沿って形成さ
れた還流路を介して天井裏空間へ還流させるようにした
クリーンルーム設備において、 前記側壁の天井面付近に、前記天井裏空間を含む前記還
流路に連通する適宜な通気抵抗を持った通気孔を形成し
たことを特徴とするクリーンルーム設備。 - 【請求項３】天井面にファンフィルタユニットを設置
し、該ファンフィルタユニットのファンを駆動して天井
裏空間の空気を前記ファンフィルタユニットのフィルタ
を通過させてクリーンルーム内へ送給し、該クリーンル
ーム内の空気をグレーチング床から側壁に沿って形成さ
れた還流路を介して天井裏空間へ還流させるようにした
クリーンルーム設備において、 ファンフィルタユニットの設置域とクリーンルームの側
壁面との間のクリーンルームの天井面および前記側壁の
天井面付近に、前記天井裏空間を含む前記還流路に連通
する適宜な通気抵抗を持った通気孔を形成したことを特
徴とするクリーンルーム設備。 - 【請求項４】前記通気孔の開口率を可変にしたことを特
徴とする請求項１，２または３に記載のクリーンルーム
設備。 - 【請求項５】天井面にファンフィルタユニットを設置
し、該ファンフィルタユニットのファンを駆動して天井
裏空間の空気を前記ファンフィルタユニットのフィルタ
を通過させてクリーンルーム内へ送給し、該クリーンル
ーム内の空気をグレーチング床から側壁に沿って形成さ
れた還流路を介して天井裏空間へ還流させるようにした
クリーンルーム設備におけるファンフィルタユニットの
設置域とクリーンルームの側壁面との間のクリーンルー
ムの天井面または／および前記側壁の天井面付近に、前
記天井裏空間を含む前記還流路に連通する適宜な通気抵
抗を持った通気孔を形成し、かつ該還流路に排煙ファン
を設置するとともに、該排煙ファンの設置位置よりも下
流の前記還流路にシャッターを設置し、排煙時に前記シ
ャッターを閉止し、前記排煙ファンを駆動させて、前記
通気孔を介してクリーンルーム内の煙を外部へ排出させ
ることを特徴とするクリーンルーム設備の排煙方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18165998A JPH11351627A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | クリーンルーム設備およびそのクリーンルーム設備の排煙方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18165998A JPH11351627A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | クリーンルーム設備およびそのクリーンルーム設備の排煙方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11351627A true JPH11351627A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=16104627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18165998A Pending JPH11351627A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | クリーンルーム設備およびそのクリーンルーム設備の排煙方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11351627A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6572468B1 (en) * | 1999-04-21 | 2003-06-03 | Hitachi Plant Engineering & Construction Co., Ltd. | Clean room device |
| CN110439326A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-12 | 世源科技工程有限公司 | 一种洁净室 |
| CN117387156A (zh) * | 2023-09-28 | 2024-01-12 | 无锡维科通风机械有限公司 | 半密闭吊顶热回收通风*** |
-
1998
- 1998-06-12 JP JP18165998A patent/JPH11351627A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6572468B1 (en) * | 1999-04-21 | 2003-06-03 | Hitachi Plant Engineering & Construction Co., Ltd. | Clean room device |
| CN110439326A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-12 | 世源科技工程有限公司 | 一种洁净室 |
| CN117387156A (zh) * | 2023-09-28 | 2024-01-12 | 无锡维科通风机械有限公司 | 半密闭吊顶热回收通风*** |
| CN117387156B (zh) * | 2023-09-28 | 2024-05-10 | 无锡维科通风机械有限公司 | 半密闭吊顶热回收通风*** |
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