JPH11327873A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産情報データをクリーンルーム以外の場所
でも容易に参照、加工、印刷ができ、その利用価値を高
めることができると共に、クリーンルーム内のペーパレ
ス化の推進及びパーティクル低減を図ることができる半
導体製造装置を得る。 【解決手段】 半導体製造のための処理結果を生産情報
データとして収集する生産情報データ収集手段と、前記
生産情報データ収集手段により収集されたデータの少な
くとも一部をオペレータにより指定可能とするデータ指
定手段と、前記データ指定手段により指定されたデータ
のデータ形式（バイナリ形式）を、データ加工が容易な
データ形式（テキスト形式）に変換するデータ形式変換
手段とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造のた
めの処理結果を生産情報データとして収集する手段を備
えた半導体製造装置に関し、特に、オペレータに指定さ
れた生産情報データの少なくとも一部のデータ形式を、
例えばバイナリ形式からデータ加工が容易なテキスト形
式に変換するようにした半導体製造装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばウェハに成膜処理を行う半
導体製造装置では、成膜処理に関する処理結果などのデ
ータを生産情報データとして収集し、必要に応じて半導
体製造装置のメインコントローラのディスプレイで参照
可能となっている。図７は従来の半導体製造装置のメイ
ンコントローラの機能を示すブロック図である。なお、
この基本的機能はこの発明においても同じである。メイ
ンコントローラの機能には、制御部を構成する制御部プ
ログラム群１と操作部を構成する操作部プログラム群２
を有する。制御部プログラム群１は成膜処理を行うため
の成膜処理プログラム１ａ、処理中に各種データを収集
する各種データ収集プログラム１ｂ等を有し、成膜処理
制御に際しては、これらのプログラム群がハードディス
ク３にデータ書込み手段４を介して書き込まれる。

【０００３】操作部プログラム群２は装置状態を表示す
る装置状態表示プログラム２ａ、各種のロギング情報を
表示する各種ロギング情報表示プログラム２ｂ等を有す
る。各種ロギング情報表示プログラム２ｂには、成膜処
理中にハードディスク３に格納された各種収集データが
収集データの読込み手段５により読み込まれる。

【０００４】各種ロギング情報表示プログラム２ｂに
は、ハードディスク３より収集データを読み込み、それ
を表示するための生産情報表示機能プログラム２ｂ−
１、エラー情報を表示するためのエラー情報表示機能プ
ログラム２ｂ−２等を有してなり、生産情報表示機能プ
ログラム２ｂ−１は、さらに生産情報一覧を表示する生
産情報一覧データプログラム２ｂ−１１、生産情報一覧
に対してその詳細を表示するための生産情報詳細データ
プログラム２ｂ−１２を有している。

【０００５】これら生産情報データは、データを圧縮し
て、収集データ数を増やし、またデータ収集のためのハ
ードディスクの節約を図るためバイナリ形式のデータフ
ァイルにより扱われている。

【０００６】図８はかかるバイナリ形式の生産情報デー
タを収集したファイル構造を示している。図８におい
て、ファイルヘッダ部１１は、例えば１２８バイトで構
成され、ここに、１１Ｄで示す、ファイル作成日付、フ
ァイル名称、装置の識別ＩＤなどが格納されている。フ
ァイルヘッダ部１１に続くアウトライン情報部１２は、
例えば８．８キロバイトで構成され、ここには、１２Ｄ
で示す、例えば処理開始日、処理終了日時、処理終了ス
テータス、処理レシピ名称、バッチＩＤなど、約２００
レコード（１レコード４４バイト）分の情報が格納され
ている。そしてアウトライン情報部１２に続く詳細情報
部１３は、例えば８０８０キロバイトで構成され、ここ
には、例えばレシピ情報項目１３ａ、プロセス情報項目
１３ｂ、イベント情報項目１３ｃ、ロギングデータ項目
１３ｄ、保守情報項目１３ｅなどの項目下に、１３Ｄで
示す、例えばアウトライン情報、処理レシピ実行時間
（推定）等、約２００レコード（１レコード４０４０バ
イト）分の情報が格納されている。

【０００７】これらデータファイルは生産情報管理のた
め、必要に応じて参照されなければならないが、従来の
半導体製造装置では、そのメインコントローラのディス
プレイを用いて参照され、また記録データとして出力さ
せる場合は、半導体製造装置に接続されたプリンタを用
いてプリントアウトさせている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
半導体製造装置では、生産情報データを収集して、必要
に応じて、メインコントローラのディスプレイまたはプ
リンタに出力させているが、メインコントローラのディ
スプレイやプリンタ以外において参照する手段を有して
いない。したがって、半導体製造装置は通常クリーンル
ーム内で使用されるため、クリーンルームを離れた設計
ルームにおいては、上述の生産情報データをディスプレ
イを用いて参照することができず、また、プリントアウ
トさせる場合は、埃や塵等のパーティクル数が厳しく制
限されているクリーンルームにパーティクル発生原因を
生じさせることとなって好ましくない。これを解決する
ためには、例えば生産情報データを一度、記憶媒体に移
して他のルームに持ち運び、あるいはデータ転送ライン
で転送し、他のデータプロッセッサにより表示処理させ
ることが考えられるが、上述したように生産情報データ
はバイナリ形式で扱われているため、ユーザ（オペレー
タ）にとっては収集データの加工が困難となり、そのデ
ータを他のプロッセッサにより処理させることが困難で
あるという問題点がある。

【０００９】そこで、この発明の目的は、生産情報デー
タのデータ形式を変換する機能を半導体製造装置に持た
せることで、従来、クリーンルーム内の半導体製造装置
のメインコントローラを用いなければ、生産情報データ
の参照、印刷ができなかったという問題点を解決し、生
産情報データをクリーンルーム以外の場所でも容易に参
照、加工、印刷ができ、その利用価値を高めることがで
きる半導体製造装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、この発明は、半導体製造のための処理結果を生産
情報データとして収集する生産情報データ収集手段と、
前記生産情報データ収集手段により収集されたデータの
少なくとも一部をオペレータにより指定可能とするデー
タ指定手段と、前記データ指定手段により指定されたデ
ータのデータ形式（実施の形態においてはバイナリ形
式）を、データ加工が容易なデータ形式（実施の形態に
おいてはテキスト形式）に変換するデータ形式変換手段
とを備えてなるものである。

【００１１】この発明の実施の形態において、前記生産
情報データ収集手段は、例えば、図７に示された各種デ
ータ収集プログラム１ｂ、収集データの書込み手段４、
ハードディスク３から構成されることとなる。また、前
記データ指定手段は、例えばハードディスク３から各種
ロギング情報表示プログラム２ｂに収集データの読込み
を行うための読込み手段５と、読込まれた収集データ情
報を図１、図２のように表示し、且つ選択させるための
手段として、図３〜図５に示されるフローを実行する機
能（例えば生産情報一覧データプログラム２ｂ−１１と
生産情報詳細データプログラムを有する生産情報表示機
能プログラム２ｂ−１）により構成されている。なお、
これらプログラム２ｂ−１１、２ｂ−１は各種ロギング
情報表示プログラム２ｂに組み込まれている。

【００１２】そして、このような構成によれば、半導体
製造装置において、生産情報データのデータ形式を加工
が容易なデータ形式に変換する機能を有し、生産情報デ
ータをクリーンルーム以外の場所でも容易に参照、加
工、印刷ができ、その利用価値を高めることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
を用いて説明する。実施の形態における半導体製造装置
のメインコントローラ機能ブロックは図７に示したもの
と同じである。実施の形態では、生産情報一覧データに
ある生産情報詳細データをバイナリ形式からテキスト形
式に変換できるようにしている。

【００１４】図１は生産情報一覧を示す表示画面を示す
正面図である。図１において、２０は生産情報一覧画面
であり、この画面２０の上部には、表示画面２０のタイ
トルとして「生産情報一覧」２１が示され、このときの
生産情報数（収集データ数）「０２０」２２、ファイル
名称「現在情報」２３が示されている。画面の主要部に
は、生産情報ナンバと生産開始日時２９ａ、レシピ名称
２９ｂ、バッチＩＤ２９ｃ、終了状態２９ｄに対応する
複数の生産情報データ２９が表示されている。これら生
産情報データ２９はスクロールバー６によりスクロール
される。また、図の状態においては、青のリバース表示
７によりナンバ５（Ｎｏ００５）の生産情報データが指
定されている状態を示している。

【００１５】また、生産情報一覧画面２０の上部右肩に
は、テキストボタン２４、エスケープボタン２５、バッ
クアップボタン２６、プリントボタン２７、オープンボ
タン２８が設けられている。テキストボタン２４は、そ
のボタン２４をタッチすることにより、後述するよう
に、テキスト変換処理を開始するためのボタンである。
エスケープボタン２５は、そのボタン２５をタッチする
ことにより、一つ前に表示されていた画面を表示する。
バックアップボタン２６は、そのボタンをタッチするこ
とにより、「現在情報」２３のファイルのバックアップ
を行い、または本画面２０をバックアップデータへの表
示切換えを行うためのメニュー画面に切換える。プリン
トボタン２７は、そのボタン２７をタッチすることによ
り選択されている生産情報データ（図１ではＮｏ００
５）の印刷を行う。オープンボタン２８は、そのボタン
をタッチすることにより、画面２０に表示されている現
在情報（図示では００１〜０１０）である生産情報のい
ずれかを開いて詳細を表示させる。

【００１６】今、図１に示した生産情報一覧画面２０に
おいて、テキストボタン２４をタッチすると、テキスト
変換処理が開始され、ディスプレイには図１に示した生
産情報一覧画面２０に代えて、図２に示すテキスト変換
パラメータ設定画面３０が表示される。

【００１７】テキスト変換パラメータ設定画面３０に
は、その上部左肩にタイトル「テキスト変換パラメー
タ」３１が表示され、上部中央部に図１で表示されてい
るファイル名称と同じファイル名称「０１ 現在情報
９７／１０／２９ １４：０５：０２」３２が表示さ
れ、その下側にテキスト変換される生産情報データであ
るファイルのステータスネーム「００５ ９７／０５／
２８ １０：５９：０７ ＯＳＥＣ」３３が表示され
る。また、このステータスネーム３３の下側に選択欄３
４が設けられている。なお、ここで「ＯＳＥＣ」は一つ
のレシピ名称を示している。

【００１８】この選択欄３４には、ファイルネームに示
されたファイルのテキスト変換を項目別に選択して行う
か、あるいは全ての項目を指定して行うかを選択させる
ためのアイテム選択ボタン３５と、全項目一括指定ボタ
ン３６が設けられ、アイテム選択ボタン３５の下部に、
それぞれの選択項目指定ボタンとして、図７に示したレ
シピ情報項目１３ａ〜保守情報項目１３ｅに対応する、
レシピ指定ボタン３７、プロセス指定ボタン３８、イベ
ント指定ボタン３９、ロギング指定ボタン４０、メンテ
ナンス（保守）指定ボタン４１が設けられている。ま
た、この画面３０の上部左肩には、一つ前の画面（例え
ば生産情報一覧画面２０）に戻るためのエスケープボタ
ン４２とテキスト変換開始のための変換ボタン４３が設
けられている。

【００１９】以下、図３、図４のフローチャートを用い
て、実施の形態の動作を説明する。図３は図１の生産情
報一覧画面２０が表示されているときの動作を示したフ
ローチャートである。まず、生産情報表示機能（図７の
２ｂ−１のプログラム）の動作のもと、ステップＳ１に
おいて図１の画面２０が表示され、生産情報一覧データ
（画面２０に表示されているデータ）が表示される。次
に、この状態において、ステップＳ２に示されるように
ボタン選択待ちの状態となり、ステップＳ３において選
択ボタンがタッチされると、そのボタン種類によって、
ステップＳ４〜ステップＳ８のいずれかの処理に進む。

【００２０】ステップＳ３において、エスケープボタン
２５がタッチされた場合は、ステップＳ４に進み、生産
情報一覧画面２０を終了して、一つ前に表示されていた
画面に戻る。ステップＳ３において、オープンボタン２
８がタッチされた場合は、ステップＳ５に進み、生産情
報詳細データの表示処理が行われた後ステップＳ２に戻
る。ステップＳ３において、プリントボタン２７がタッ
チされた場合は、ステップＳ６に進み、生産情報データ
の印刷処理が行われて、ステップＳ２に戻る。ステップ
Ｓ３において、バックアップボタン２６がタッチされた
場合は、ステップＳ７に進み、生産情報データのバック
アップ処理が行われて、ステップＳ２に戻る。そして、
ステップＳ３において、テキストボタン２４がタッチさ
れた場合は、ステップＳ８に進み、生産情報データのテ
キスト変換処理が行われて、ステップＳ２に戻る。

【００２１】図４は図３の動作において、ステップＳ８
に示した生産情報データのテキスト変換処理の詳細を示
すフローチャートである。まず、生産情報表示機能の動
作のもと、図３のステップＳ８のテキスト変換処理が開
始されると、ステップＳ１１において、図２に示したテ
キスト変換パラメータ設定画面３０が表示され、ステッ
プＳ１２において、ボタン選択待ちの状態となる。ステ
ップＳ１３において、選択ボタンがタッチされると、そ
のボタンによって処理はステップＳ１４〜Ｓ１８のいず
れかに進む。

【００２２】ステップＳ１３において、エスケープボタ
ン４２がタッチされた場合は、ステップＳ１４に進み、
テキスト変換パラメータ設定画面３０を終了し、生産情
報一覧画面２０の表示に戻る。ステップＳ１３におい
て、変換ボタン４３がタッチされた場合は、ステップＳ
１５に進み、次の図５において説明する変換処理が行わ
れ、その後ステップＳ１２に戻る。ステップＳ１３にお
いて、アイテム選択ボタン３５がタッチされた場合は、
ステップＳ１６に進み、テキスト変換指定タイプにアイ
テム選択をセットする。これは、アイテム選択ボタン３
５がタッチされたので、後で項目（図２の３７〜４１で
示される項目）の選択指定があることを指示するステッ
プである。

【００２３】ステップＳ１３において、全項目一括指定
ボタン３６がタッチされた場合は、ステップＳ１７に進
み、テキスト変換指定タイプに全選択をセットし、ステ
ップＳ１９で各選択項目の選択有無フラグを全て“有”
にする。そして、ステップＳ１３において、上述のアイ
テム選択ボタン３５がタッチされた後は、各項目を選択
指定するための処理が必要となり、この場合、ボタン３
７〜４１のいずれかがタッチされると、ステップＳ１８
に進み、テキスト変換指定タイプがアイテム選択である
ことが判定されると、ステップＳ２０に進み、選択指定
された項目の選択有無フラグを“有”とする。ステップ
Ｓ１６、１９、２０の処理の後はいずれもステップＳ１
２に戻る。

【００２４】次に、図５を用いて変換処理について説明
する。図５は図４において、変換ボタンがタッチされた
場合の変換処理（ステップＳ１５の処理）を示すフロー
チャートである。まず、ステップＳ１０１において、変
換指定タイプがアイテム（項目）選択によるものかどう
かが判定され、アイテム選択の場合は、ステップＳ１０
２に進み、選択項目の有無が判定され、項目が有る場合
はステップＳ１０３に進み、テキスト変換可／不可フラ
グに“可”をセットし、ステップＳ１０４に進む。一
方、ステップＳ１０２において、項目が無い場合は、ス
テップＳ１１６に進み、テキスト変換可／不可フラグに
“不可”をセットし、ステップＳ１０４に進む。

【００２５】ステップＳ１０４においては、テキスト変
換が“可”であることが判定されると、ステップＳ１０
５に進み、まずレシピ情報項目選択が“有”であるか否
かが判定され、“有”の場合はステップＳ１０６におい
て、レシピ情報項目のバイナリデータをテキスト形式に
変換し、ステップＳ１０７に進む。一方、ステップＳ１
０５において、レシピ情報項目選択が“有”でない場合
は、そのままステップＳ１０７に進む。また、ステップ
Ｓ１０４において、テキスト変換が“可”でない場合
は、そのまま図４のステップＳ１２に戻る。

【００２６】以下、同様に、ステップＳ１０７、ステッ
プＳ１０８でプロセス情報項目についての処理が行わ
れ、ステップＳ１０９、ステップＳ１１０でイベント情
報項目についての処理が行われ、ステップＳ１１１、ス
テップＳ１１２でロギング情報項目についての処理が行
われ、ステップＳ１１３、ステップＳ１１４でメンテナ
ンス情報項目の処理が行われる。そしてステップＳ１１
５においてテキスト変換可／不可フラグを不可にセット
して図４のステップＳ１２に戻る。

【００２７】一方、ステップＳ１０１において、変換指
定タイプがアイテム選択でない場合は、ステップＳ１１
７に進み、変換指定タイプが全選択か否かが判定され、
全選択の場合は、ステップＳ１１８において、テキスト
変換可／不可フラグを“可”にセットしてステップＳ１
０４に進む。一方、ステップＳ１１７において、全選択
でないと判定された場合は、ステップＳ１１９に進み、
テキスト変換可／不可フラグに“不可”をセットし、ス
テップＳ１０４に進み、以下、前述したステップＳ１０
４以下の動作を行う。

【００２８】図６は以上のような処理により、テキスト
形式に変換された現在情報データのフォーマット例を示
す図である。このフォーマットでは、ファイルヘッダ５
１、アウトライン及びレシピ情報５２、プロセス状態情
報５３から構成されている。そして、このようにテキス
ト形式に変換された生産情報データは、図示しないメイ
ンコントローラ付属の例えばディスクドライバにより、
フロッピディスクにコピーでき、生産情報データをクリ
ーンルーム以外に持ち出すことが可能となる。このデー
タはテキスト形式であるため、普通のテキストエディ
タ、ワープロ、表計算ソフトなどの汎用ソフトにより、
自由にデータ参照、データ加工することが容易となり、
生産情報データの利用性が向上する。さらに、クリーン
ルーム外でのデータ参照、印刷が可能となるため、クリ
ーンルーム内のペーパレス化の推進及びパーティクル低
減につながる。

【００２９】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、この発
明は、生産情報データのデータ形式を加工が容易なデー
タ形式に変換する機能を半導体製造装置に持たせたの
で、生産情報データをクリーンルーム以外の場所でも容
易に参照、加工、印刷ができ、その利用価値を高めるこ
とができると共に、クリーンルーム内のペーパレス化の
推進及びパーティクル低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】生産情報一覧画面を示す図である。

【図２】テキスト変換パラメータ設定画面を示す図であ
る。

【図３】生産情報表示機能を示すフローチャートであ
る。

【図４】テキスト変換処理を示すフローチャートであ
る。

【図５】図４のステップＳ１５を詳細に示すフローチャ
ートである。

【図６】テキスト形式による生産情報データの一例を示
す図である。

【図７】半導体製造装置のメインコントローラの機能ブ
ロック図である。

【図８】バイナリ形式による生産情報データの一例を示
す図である。

【符号の説明】

１ｂ 各種データ収集プログラム ２ｂ 各種ロギング情報表示プログラム ２ｂ−１ 生産情報表示機能プログラム ２ｂ−１１ 生産情報一覧データプログラム ２ｂ−１２ 生産情報詳細データプログラム ３ ハードディスク ４ 収集データの書込み手段 ５ 収集データの読込み手段 ２４ テキストボタン ３５ アイテム選択ボタン ３６ 全項目一括指定ボタン ４３ 変換ボタン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造のための処理結果を生産情報
   データとして収集する生産情報データ収集手段と、前記
   生産情報データ収集手段により収集されたデータの少な
   くとも一部をオペレータにより指定可能とするデータ指
   定手段と、前記データ指定手段により指定されたデータ
   のデータ形式を、データ加工が容易なデータ形式に変換
   するデータ形式変換手段とを備えてなる半導体製造装
   置。