JPH11327873A - Semiconductor manufacturing device - Google Patents
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- JPH11327873A JPH11327873A JP13236798A JP13236798A JPH11327873A JP H11327873 A JPH11327873 A JP H11327873A JP 13236798 A JP13236798 A JP 13236798A JP 13236798 A JP13236798 A JP 13236798A JP H11327873 A JPH11327873 A JP H11327873A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造のた
めの処理結果を生産情報データとして収集する手段を備
えた半導体製造装置に関し、特に、オペレータに指定さ
れた生産情報データの少なくとも一部のデータ形式を、
例えばバイナリ形式からデータ加工が容易なテキスト形
式に変換するようにした半導体製造装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus provided with means for collecting processing results for semiconductor manufacturing as production information data, and more particularly, to at least a part of the production information data designated by an operator. Format
For example, the present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus that converts a binary format into a text format in which data processing is easy.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、例えばウェハに成膜処理を行う半
導体製造装置では、成膜処理に関する処理結果などのデ
ータを生産情報データとして収集し、必要に応じて半導
体製造装置のメインコントローラのディスプレイで参照
可能となっている。図７は従来の半導体製造装置のメイ
ンコントローラの機能を示すブロック図である。なお、
この基本的機能はこの発明においても同じである。メイ
ンコントローラの機能には、制御部を構成する制御部プ
ログラム群１と操作部を構成する操作部プログラム群２
を有する。制御部プログラム群１は成膜処理を行うため
の成膜処理プログラム１ａ、処理中に各種データを収集
する各種データ収集プログラム１ｂ等を有し、成膜処理
制御に際しては、これらのプログラム群がハードディス
ク３にデータ書込み手段４を介して書き込まれる。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, in a semiconductor manufacturing apparatus that performs a film forming process on a wafer, data such as a processing result related to the film forming process is collected as production information data, and the collected information is displayed on a display of a main controller of the semiconductor manufacturing apparatus as needed. It can be referenced. FIG. 7 is a block diagram showing functions of a main controller of a conventional semiconductor manufacturing apparatus. In addition,
This basic function is the same in the present invention. The functions of the main controller include a control unit program group 1 constituting a control unit and an operation unit program group 2 constituting an operation unit.
Having. The control unit program group 1 has a film formation processing program 1a for performing film formation processing, various data collection programs 1b for collecting various data during the processing, and the like. 3 is written via the data writing means 4.
【０００３】操作部プログラム群２は装置状態を表示す
る装置状態表示プログラム２ａ、各種のロギング情報を
表示する各種ロギング情報表示プログラム２ｂ等を有す
る。各種ロギング情報表示プログラム２ｂには、成膜処
理中にハードディスク３に格納された各種収集データが
収集データの読込み手段５により読み込まれる。The operation unit program group 2 has a device status display program 2a for displaying device status, various logging information display programs 2b for displaying various logging information, and the like. Various collected data stored in the hard disk 3 during the film forming process is read by the collected data reading means 5 into the various logging information display program 2b.
【０００４】各種ロギング情報表示プログラム２ｂに
は、ハードディスク３より収集データを読み込み、それ
を表示するための生産情報表示機能プログラム２ｂ−
１、エラー情報を表示するためのエラー情報表示機能プ
ログラム２ｂ−２等を有してなり、生産情報表示機能プ
ログラム２ｂ−１は、さらに生産情報一覧を表示する生
産情報一覧データプログラム２ｂ−１１、生産情報一覧
に対してその詳細を表示するための生産情報詳細データ
プログラム２ｂ−１２を有している。A production information display function program 2b for reading collected data from the hard disk 3 and displaying the collected data is included in various logging information display programs 2b.
1. An error information display function program 2b-2 for displaying error information is provided. The production information display function program 2b-1 further includes a production information list data program 2b-11 for displaying a production information list. It has a production information detailed data program 2b-12 for displaying details of the production information list.
【０００５】これら生産情報データは、データを圧縮し
て、収集データ数を増やし、またデータ収集のためのハ
ードディスクの節約を図るためバイナリ形式のデータフ
ァイルにより扱われている。[0005] These production information data are handled by binary data files in order to compress the data, increase the number of collected data, and save the hard disk for data collection.
【０００６】図８はかかるバイナリ形式の生産情報デー
タを収集したファイル構造を示している。図８におい
て、ファイルヘッダ部１１は、例えば１２８バイトで構
成され、ここに、１１Ｄで示す、ファイル作成日付、フ
ァイル名称、装置の識別ＩＤなどが格納されている。フ
ァイルヘッダ部１１に続くアウトライン情報部１２は、
例えば８．８キロバイトで構成され、ここには、１２Ｄ
で示す、例えば処理開始日、処理終了日時、処理終了ス
テータス、処理レシピ名称、バッチＩＤなど、約２００
レコード（１レコード４４バイト）分の情報が格納され
ている。そしてアウトライン情報部１２に続く詳細情報
部１３は、例えば８０８０キロバイトで構成され、ここ
には、例えばレシピ情報項目１３ａ、プロセス情報項目
１３ｂ、イベント情報項目１３ｃ、ロギングデータ項目
１３ｄ、保守情報項目１３ｅなどの項目下に、１３Ｄで
示す、例えばアウトライン情報、処理レシピ実行時間
（推定）等、約２００レコード（１レコード４０４０バ
イト）分の情報が格納されている。FIG. 8 shows a file structure in which such binary-format production information data is collected. In FIG. 8, the file header section 11 is composed of, for example, 128 bytes, and stores a file creation date, a file name, a device identification ID, and the like indicated by 11D. The outline information section 12 following the file header section 11
For example, it is composed of 8.8 kilobytes, and here, 12D
The processing start date, the processing end date and time, the processing end status, the processing recipe name, the batch ID, etc.
Information of a record (44 bytes per record) is stored. The detailed information section 13 following the outline information section 12 is composed of, for example, 8080 kilobytes, and includes, for example, a recipe information item 13a, a process information item 13b, an event information item 13c, a logging data item 13d, a maintenance information item 13e, and the like. Under the item of, information for about 200 records (4040 bytes per record), such as outline information and processing recipe execution time (estimated), is indicated by 13D.
【０００７】これらデータファイルは生産情報管理のた
め、必要に応じて参照されなければならないが、従来の
半導体製造装置では、そのメインコントローラのディス
プレイを用いて参照され、また記録データとして出力さ
せる場合は、半導体製造装置に接続されたプリンタを用
いてプリントアウトさせている。[0007] These data files must be referred to as needed for production information management. In a conventional semiconductor manufacturing apparatus, these data files are referred to using the display of the main controller, and when they are output as recording data. Printing is performed using a printer connected to the semiconductor manufacturing apparatus.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
半導体製造装置では、生産情報データを収集して、必要
に応じて、メインコントローラのディスプレイまたはプ
リンタに出力させているが、メインコントローラのディ
スプレイやプリンタ以外において参照する手段を有して
いない。したがって、半導体製造装置は通常クリーンル
ーム内で使用されるため、クリーンルームを離れた設計
ルームにおいては、上述の生産情報データをディスプレ
イを用いて参照することができず、また、プリントアウ
トさせる場合は、埃や塵等のパーティクル数が厳しく制
限されているクリーンルームにパーティクル発生原因を
生じさせることとなって好ましくない。これを解決する
ためには、例えば生産情報データを一度、記憶媒体に移
して他のルームに持ち運び、あるいはデータ転送ライン
で転送し、他のデータプロッセッサにより表示処理させ
ることが考えられるが、上述したように生産情報データ
はバイナリ形式で扱われているため、ユーザ（オペレー
タ）にとっては収集データの加工が困難となり、そのデ
ータを他のプロッセッサにより処理させることが困難で
あるという問題点がある。As described above, in a conventional semiconductor manufacturing apparatus, production information data is collected and output to a display or a printer of the main controller as necessary. There is no means to refer to anything other than the display and printer. Therefore, since the semiconductor manufacturing apparatus is usually used in a clean room, in a design room away from the clean room, the above-described production information data cannot be referred to using a display. This is not preferable because it causes particles to be generated in a clean room in which the number of particles such as dust and dust is severely restricted. In order to solve this, for example, it is conceivable to transfer the production information data once to a storage medium and carry it to another room, or to transfer the data by a data transfer line and display the data by another data processor. As described above, since the production information data is handled in the binary format, it is difficult for the user (operator) to process the collected data, and it is difficult to process the data by another processor.
【０００９】そこで、この発明の目的は、生産情報デー
タのデータ形式を変換する機能を半導体製造装置に持た
せることで、従来、クリーンルーム内の半導体製造装置
のメインコントローラを用いなければ、生産情報データ
の参照、印刷ができなかったという問題点を解決し、生
産情報データをクリーンルーム以外の場所でも容易に参
照、加工、印刷ができ、その利用価値を高めることがで
きる半導体製造装置を提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor manufacturing apparatus with a function of converting the data format of production information data. To provide a semiconductor manufacturing apparatus capable of solving the problem that reference and printing could not be performed, and making it possible to easily reference, process, and print production information data in a place other than the clean room, and to increase its use value. is there.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、この発明は、半導体製造のための処理結果を生産
情報データとして収集する生産情報データ収集手段と、
前記生産情報データ収集手段により収集されたデータの
少なくとも一部をオペレータにより指定可能とするデー
タ指定手段と、前記データ指定手段により指定されたデ
ータのデータ形式（実施の形態においてはバイナリ形
式）を、データ加工が容易なデータ形式（実施の形態に
おいてはテキスト形式）に変換するデータ形式変換手段
とを備えてなるものである。To solve the above-mentioned problems, the present invention provides a production information data collecting means for collecting processing results for semiconductor manufacturing as production information data;
A data specifying unit that allows an operator to specify at least a part of the data collected by the production information data collecting unit; and a data format (in the embodiment, a binary format) of the data specified by the data specifying unit. And a data format conversion means for converting the data format into a data format (in the embodiment, a text format) which is easy to process.
【００１１】この発明の実施の形態において、前記生産
情報データ収集手段は、例えば、図７に示された各種デ
ータ収集プログラム１ｂ、収集データの書込み手段４、
ハードディスク３から構成されることとなる。また、前
記データ指定手段は、例えばハードディスク３から各種
ロギング情報表示プログラム２ｂに収集データの読込み
を行うための読込み手段５と、読込まれた収集データ情
報を図１、図２のように表示し、且つ選択させるための
手段として、図３〜図５に示されるフローを実行する機
能（例えば生産情報一覧データプログラム２ｂ−１１と
生産情報詳細データプログラムを有する生産情報表示機
能プログラム２ｂ−１）により構成されている。なお、
これらプログラム２ｂ−１１、２ｂ−１は各種ロギング
情報表示プログラム２ｂに組み込まれている。In the embodiment of the present invention, the production information data collection means includes, for example, various data collection programs 1b shown in FIG.
It consists of the hard disk 3. Also, the data designating means displays, for example, a reading means 5 for reading collected data from the hard disk 3 to the various logging information display programs 2b, and the read collected data information as shown in FIGS. As means for making the selection, a function for executing the flow shown in FIGS. 3 to 5 (for example, a production information display function program 2b-1 having a production information list data program 2b-11 and a production information detailed data program) is used. Have been. In addition,
These programs 2b-11 and 2b-1 are incorporated in various logging information display programs 2b.
【００１２】そして、このような構成によれば、半導体
製造装置において、生産情報データのデータ形式を加工
が容易なデータ形式に変換する機能を有し、生産情報デ
ータをクリーンルーム以外の場所でも容易に参照、加
工、印刷ができ、その利用価値を高めることができる。According to such a configuration, the semiconductor manufacturing apparatus has a function of converting the data format of the production information data into a data format that is easy to process, so that the production information data can be easily converted to a place other than the clean room. It can be referenced, processed, and printed, and its utility value can be increased.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
を用いて説明する。実施の形態における半導体製造装置
のメインコントローラ機能ブロックは図７に示したもの
と同じである。実施の形態では、生産情報一覧データに
ある生産情報詳細データをバイナリ形式からテキスト形
式に変換できるようにしている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The main controller function block of the semiconductor manufacturing apparatus in the embodiment is the same as that shown in FIG. In the embodiment, the detailed production information data in the production information list data can be converted from a binary format to a text format.
【００１４】図１は生産情報一覧を示す表示画面を示す
正面図である。図１において、２０は生産情報一覧画面
であり、この画面２０の上部には、表示画面２０のタイ
トルとして「生産情報一覧」２１が示され、このときの
生産情報数（収集データ数）「０２０」２２、ファイル
名称「現在情報」２３が示されている。画面の主要部に
は、生産情報ナンバと生産開始日時２９ａ、レシピ名称
２９ｂ、バッチＩＤ２９ｃ、終了状態２９ｄに対応する
複数の生産情報データ２９が表示されている。これら生
産情報データ２９はスクロールバー６によりスクロール
される。また、図の状態においては、青のリバース表示
７によりナンバ５（Ｎｏ００５）の生産情報データが指
定されている状態を示している。FIG. 1 is a front view showing a display screen showing a production information list. In FIG. 1, reference numeral 20 denotes a production information list screen. At the top of the screen 20, a "production information list" 21 is shown as the title of the display screen 20, and the number of production information (number of collected data) "020" at this time is shown. 22 and the file name "current information" 23. In a main part of the screen, a plurality of pieces of production information data 29 corresponding to the production information number, the production start date and time 29a, the recipe name 29b, the batch ID 29c, and the end state 29d are displayed. The production information data 29 is scrolled by the scroll bar 6. In the state shown in the figure, the blue reverse display 7 indicates that the production information data of the number 5 (No. 005) is designated.
【００１５】また、生産情報一覧画面２０の上部右肩に
は、テキストボタン２４、エスケープボタン２５、バッ
クアップボタン２６、プリントボタン２７、オープンボ
タン２８が設けられている。テキストボタン２４は、そ
のボタン２４をタッチすることにより、後述するよう
に、テキスト変換処理を開始するためのボタンである。
エスケープボタン２５は、そのボタン２５をタッチする
ことにより、一つ前に表示されていた画面を表示する。
バックアップボタン２６は、そのボタンをタッチするこ
とにより、「現在情報」２３のファイルのバックアップ
を行い、または本画面２０をバックアップデータへの表
示切換えを行うためのメニュー画面に切換える。プリン
トボタン２７は、そのボタン２７をタッチすることによ
り選択されている生産情報データ（図１ではＮｏ００
５）の印刷を行う。オープンボタン２８は、そのボタン
をタッチすることにより、画面２０に表示されている現
在情報（図示では００１〜０１０）である生産情報のい
ずれかを開いて詳細を表示させる。A text button 24, an escape button 25, a backup button 26, a print button 27, and an open button 28 are provided on the upper right shoulder of the production information list screen 20. The text button 24 is a button for starting text conversion processing by touching the button 24, as described later.
The escape button 25 displays the previously displayed screen by touching the button 25.
When the backup button 26 is touched, the file of the “current information” 23 is backed up or the screen 20 is switched to a menu screen for switching the display to the backup data. The print button 27 is the production information data selected by touching the button 27 (No. 00 in FIG. 1).
Perform 5) printing. The open button 28 opens any one of the production information which is the current information (001 to 010 in the figure) displayed on the screen 20 by touching the button, and displays the details.
【００１６】今、図１に示した生産情報一覧画面２０に
おいて、テキストボタン２４をタッチすると、テキスト
変換処理が開始され、ディスプレイには図１に示した生
産情報一覧画面２０に代えて、図２に示すテキスト変換
パラメータ設定画面３０が表示される。Now, when the text button 24 is touched on the production information list screen 20 shown in FIG. 1, a text conversion process is started, and the display is replaced with the production information list screen 20 shown in FIG. The text conversion parameter setting screen 30 shown in FIG.
【００１７】テキスト変換パラメータ設定画面３０に
は、その上部左肩にタイトル「テキスト変換パラメー
タ」３１が表示され、上部中央部に図１で表示されてい
るファイル名称と同じファイル名称「０１ 現在情報
９７／１０／２９ １４：０５：０２」３２が表示さ
れ、その下側にテキスト変換される生産情報データであ
るファイルのステータスネーム「００５ ９７／０５／
２８ １０：５９：０７ ＯＳＥＣ」３３が表示され
る。また、このステータスネーム３３の下側に選択欄３
４が設けられている。なお、ここで「ＯＳＥＣ」は一つ
のレシピ名称を示している。On the text conversion parameter setting screen 30, a title "text conversion parameter" 31 is displayed in the upper left shoulder, and the same file name as the file name displayed in FIG.
“97/10/29 14:05:02” 32 is displayed, and the status name “005 97/05 /” of the file, which is the production information data to be text-converted, is displayed below.
28 10:59:07 OSEC "33 is displayed. In addition, a selection column 3 is displayed below the status name 33.
4 are provided. Here, “OSEC” indicates one recipe name.
【００１８】この選択欄３４には、ファイルネームに示
されたファイルのテキスト変換を項目別に選択して行う
か、あるいは全ての項目を指定して行うかを選択させる
ためのアイテム選択ボタン３５と、全項目一括指定ボタ
ン３６が設けられ、アイテム選択ボタン３５の下部に、
それぞれの選択項目指定ボタンとして、図７に示したレ
シピ情報項目１３ａ〜保守情報項目１３ｅに対応する、
レシピ指定ボタン３７、プロセス指定ボタン３８、イベ
ント指定ボタン３９、ロギング指定ボタン４０、メンテ
ナンス（保守）指定ボタン４１が設けられている。ま
た、この画面３０の上部左肩には、一つ前の画面（例え
ば生産情報一覧画面２０）に戻るためのエスケープボタ
ン４２とテキスト変換開始のための変換ボタン４３が設
けられている。The selection field 34 includes an item selection button 35 for selecting whether the text conversion of the file indicated by the file name is to be performed by selecting each item or by specifying all the items. An all item batch designation button 36 is provided, and below the item selection button 35,
Each of the selection item designation buttons corresponds to the recipe information item 13a to the maintenance information item 13e shown in FIG.
A recipe designation button 37, a process designation button 38, an event designation button 39, a logging designation button 40, and a maintenance (maintenance) designation button 41 are provided. In addition, an escape button 42 for returning to the previous screen (for example, the production information list screen 20) and a conversion button 43 for starting text conversion are provided on the upper left shoulder of the screen 30.
【００１９】以下、図３、図４のフローチャートを用い
て、実施の形態の動作を説明する。図３は図１の生産情
報一覧画面２０が表示されているときの動作を示したフ
ローチャートである。まず、生産情報表示機能（図７の
２ｂ−１のプログラム）の動作のもと、ステップＳ１に
おいて図１の画面２０が表示され、生産情報一覧データ
（画面２０に表示されているデータ）が表示される。次
に、この状態において、ステップＳ２に示されるように
ボタン選択待ちの状態となり、ステップＳ３において選
択ボタンがタッチされると、そのボタン種類によって、
ステップＳ４〜ステップＳ８のいずれかの処理に進む。The operation of the embodiment will be described below with reference to the flowcharts of FIGS. FIG. 3 is a flowchart showing an operation when the production information list screen 20 of FIG. 1 is displayed. First, under the operation of the production information display function (program 2b-1 in FIG. 7), the screen 20 of FIG. 1 is displayed in step S1, and the production information list data (data displayed on the screen 20) is displayed. Is done. Next, in this state, as shown in step S2, a state of waiting for button selection is established. When the selection button is touched in step S3, depending on the button type,
The process proceeds to any one of steps S4 to S8.
【００２０】ステップＳ３において、エスケープボタン
２５がタッチされた場合は、ステップＳ４に進み、生産
情報一覧画面２０を終了して、一つ前に表示されていた
画面に戻る。ステップＳ３において、オープンボタン２
８がタッチされた場合は、ステップＳ５に進み、生産情
報詳細データの表示処理が行われた後ステップＳ２に戻
る。ステップＳ３において、プリントボタン２７がタッ
チされた場合は、ステップＳ６に進み、生産情報データ
の印刷処理が行われて、ステップＳ２に戻る。ステップ
Ｓ３において、バックアップボタン２６がタッチされた
場合は、ステップＳ７に進み、生産情報データのバック
アップ処理が行われて、ステップＳ２に戻る。そして、
ステップＳ３において、テキストボタン２４がタッチさ
れた場合は、ステップＳ８に進み、生産情報データのテ
キスト変換処理が行われて、ステップＳ２に戻る。If the escape button 25 is touched in step S3, the process proceeds to step S4, where the production information list screen 20 is terminated, and the screen returns to the previously displayed screen. In step S3, the open button 2
When 8 has been touched, the process proceeds to step S5, and after the display processing of the detailed production information data is performed, the process returns to step S2. If the print button 27 is touched in step S3, the process proceeds to step S6, where the printing process of the production information data is performed, and the process returns to step S2. If the backup button 26 is touched in step S3, the process proceeds to step S7, where a backup process of the production information data is performed, and the process returns to step S2. And
If the text button 24 is touched in step S3, the process proceeds to step S8, where a text conversion process of the production information data is performed, and the process returns to step S2.
【００２１】図４は図３の動作において、ステップＳ８
に示した生産情報データのテキスト変換処理の詳細を示
すフローチャートである。まず、生産情報表示機能の動
作のもと、図３のステップＳ８のテキスト変換処理が開
始されると、ステップＳ１１において、図２に示したテ
キスト変換パラメータ設定画面３０が表示され、ステッ
プＳ１２において、ボタン選択待ちの状態となる。ステ
ップＳ１３において、選択ボタンがタッチされると、そ
のボタンによって処理はステップＳ１４〜Ｓ１８のいず
れかに進む。FIG. 4 shows the operation of FIG. 3 in the step S8.
3 is a flowchart showing details of a text conversion process of production information data shown in FIG. First, under the operation of the production information display function, when the text conversion process of step S8 in FIG. 3 is started, the text conversion parameter setting screen 30 shown in FIG. 2 is displayed in step S11, and in step S12, It will be in the state of waiting for button selection. If the selection button is touched in step S13, the process proceeds to any one of steps S14 to S18 by the button.
【００２２】ステップＳ１３において、エスケープボタ
ン４２がタッチされた場合は、ステップＳ１４に進み、
テキスト変換パラメータ設定画面３０を終了し、生産情
報一覧画面２０の表示に戻る。ステップＳ１３におい
て、変換ボタン４３がタッチされた場合は、ステップＳ
１５に進み、次の図５において説明する変換処理が行わ
れ、その後ステップＳ１２に戻る。ステップＳ１３にお
いて、アイテム選択ボタン３５がタッチされた場合は、
ステップＳ１６に進み、テキスト変換指定タイプにアイ
テム選択をセットする。これは、アイテム選択ボタン３
５がタッチされたので、後で項目（図２の３７〜４１で
示される項目）の選択指定があることを指示するステッ
プである。If the escape button 42 is touched in step S13, the process proceeds to step S14,
The text conversion parameter setting screen 30 ends, and the display returns to the production information list screen 20. If the conversion button 43 is touched in step S13,
Then, the process proceeds to step S15, where the conversion process described with reference to FIG. In step S13, when the item selection button 35 is touched,
Proceeding to step S16, item selection is set to the text conversion designation type. This is item selection button 3
Since 5 has been touched, this is a step for instructing that there is a selection designation of an item (items indicated by 37 to 41 in FIG. 2) later.
【００２３】ステップＳ１３において、全項目一括指定
ボタン３６がタッチされた場合は、ステップＳ１７に進
み、テキスト変換指定タイプに全選択をセットし、ステ
ップＳ１９で各選択項目の選択有無フラグを全て“有”
にする。そして、ステップＳ１３において、上述のアイ
テム選択ボタン３５がタッチされた後は、各項目を選択
指定するための処理が必要となり、この場合、ボタン３
７〜４１のいずれかがタッチされると、ステップＳ１８
に進み、テキスト変換指定タイプがアイテム選択である
ことが判定されると、ステップＳ２０に進み、選択指定
された項目の選択有無フラグを“有”とする。ステップ
Ｓ１６、１９、２０の処理の後はいずれもステップＳ１
２に戻る。If the all item batch designation button 36 is touched in step S13, the process proceeds to step S17, where all selection is set as the text conversion designation type, and in step S19, all the selection presence / absence flags of each selection item are set to "yes". "
To Then, in step S13, after the above-mentioned item selection button 35 is touched, a process for selecting and specifying each item is necessary.
If any one of 7 to 41 is touched, step S18
When it is determined that the text conversion designation type is item selection, the process proceeds to step S20, and the selection presence / absence flag of the item designated and designated is set to "Yes". After the processing in steps S16, S19, and S20, step S1
Return to 2.
【００２４】次に、図５を用いて変換処理について説明
する。図５は図４において、変換ボタンがタッチされた
場合の変換処理（ステップＳ１５の処理）を示すフロー
チャートである。まず、ステップＳ１０１において、変
換指定タイプがアイテム（項目）選択によるものかどう
かが判定され、アイテム選択の場合は、ステップＳ１０
２に進み、選択項目の有無が判定され、項目が有る場合
はステップＳ１０３に進み、テキスト変換可／不可フラ
グに“可”をセットし、ステップＳ１０４に進む。一
方、ステップＳ１０２において、項目が無い場合は、ス
テップＳ１１６に進み、テキスト変換可／不可フラグに
“不可”をセットし、ステップＳ１０４に進む。Next, the conversion process will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a flowchart showing the conversion processing (the processing of step S15) when the conversion button is touched in FIG. First, in step S101, it is determined whether or not the conversion designation type is the result of item (item) selection.
The process proceeds to step S2, where the presence or absence of a selection item is determined. If there is an item, the process proceeds to step S103, where "OK" is set in the text conversion enable / disable flag, and the process proceeds to step S104. On the other hand, if there is no item in step S102, the process proceeds to step S116, in which "impossible" is set in the text conversion enable / disable flag, and the process proceeds to step S104.
【００２５】ステップＳ１０４においては、テキスト変
換が“可”であることが判定されると、ステップＳ１０
５に進み、まずレシピ情報項目選択が“有”であるか否
かが判定され、“有”の場合はステップＳ１０６におい
て、レシピ情報項目のバイナリデータをテキスト形式に
変換し、ステップＳ１０７に進む。一方、ステップＳ１
０５において、レシピ情報項目選択が“有”でない場合
は、そのままステップＳ１０７に進む。また、ステップ
Ｓ１０４において、テキスト変換が“可”でない場合
は、そのまま図４のステップＳ１２に戻る。In step S104, if it is determined that the text conversion is "OK", step S10
Then, it is determined whether or not the recipe information item selection is “Yes”. If “Yes”, the binary data of the recipe information item is converted into a text format in step S106, and the process proceeds to step S107. On the other hand, step S1
At 05, if the recipe information item selection is not “Yes”, the process proceeds directly to step S107. If the text conversion is not “OK” in step S104, the process directly returns to step S12 in FIG.
【００２６】以下、同様に、ステップＳ１０７、ステッ
プＳ１０８でプロセス情報項目についての処理が行わ
れ、ステップＳ１０９、ステップＳ１１０でイベント情
報項目についての処理が行われ、ステップＳ１１１、ス
テップＳ１１２でロギング情報項目についての処理が行
われ、ステップＳ１１３、ステップＳ１１４でメンテナ
ンス情報項目の処理が行われる。そしてステップＳ１１
５においてテキスト変換可／不可フラグを不可にセット
して図４のステップＳ１２に戻る。In the same manner, the process information items are processed in steps S107 and S108, the event information items are processed in steps S109 and S110, and the logging information items are processed in steps S111 and S112. Is performed, and the processing of the maintenance information item is performed in steps S113 and S114. And step S11
In step 5, the text conversion enable / disable flag is set to disable, and the process returns to step S12 in FIG.
【００２７】一方、ステップＳ１０１において、変換指
定タイプがアイテム選択でない場合は、ステップＳ１１
７に進み、変換指定タイプが全選択か否かが判定され、
全選択の場合は、ステップＳ１１８において、テキスト
変換可／不可フラグを“可”にセットしてステップＳ１
０４に進む。一方、ステップＳ１１７において、全選択
でないと判定された場合は、ステップＳ１１９に進み、
テキスト変換可／不可フラグに“不可”をセットし、ス
テップＳ１０４に進み、以下、前述したステップＳ１０
４以下の動作を行う。On the other hand, if the conversion designation type is not item selection in step S101, step S11
Proceeding to 7, it is determined whether the conversion designation type is all selection,
In the case of all selections, in step S118, the text conversion permission / prohibition flag is set to "permitted" and step S1 is executed.
Go to 04. On the other hand, in step S117, when it is determined that the selection is not all, the process proceeds to step S119,
"No" is set in the text conversion enable / disable flag, and the process proceeds to step S104.
The following operations are performed.
【００２８】図６は以上のような処理により、テキスト
形式に変換された現在情報データのフォーマット例を示
す図である。このフォーマットでは、ファイルヘッダ５
１、アウトライン及びレシピ情報５２、プロセス状態情
報５３から構成されている。そして、このようにテキス
ト形式に変換された生産情報データは、図示しないメイ
ンコントローラ付属の例えばディスクドライバにより、
フロッピディスクにコピーでき、生産情報データをクリ
ーンルーム以外に持ち出すことが可能となる。このデー
タはテキスト形式であるため、普通のテキストエディ
タ、ワープロ、表計算ソフトなどの汎用ソフトにより、
自由にデータ参照、データ加工することが容易となり、
生産情報データの利用性が向上する。さらに、クリーン
ルーム外でのデータ参照、印刷が可能となるため、クリ
ーンルーム内のペーパレス化の推進及びパーティクル低
減につながる。FIG. 6 is a diagram showing an example of the format of the current information data converted into the text format by the processing described above. In this format, file header 5
1, outline and recipe information 52, and process state information 53. Then, the production information data converted into the text format in this way is, for example, a disk driver attached to a main controller (not shown) by a disk driver.
It can be copied to a floppy disk, and production information data can be taken out of the clean room. Since this data is in text format, you can use a general-purpose software such as an ordinary text editor, word processor, spreadsheet software, etc.
It is easy to freely refer to and process data,
Usability of production information data is improved. Further, since data can be referenced and printed outside the clean room, paperless operation inside the clean room is promoted and particles are reduced.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、この発
明は、生産情報データのデータ形式を加工が容易なデー
タ形式に変換する機能を半導体製造装置に持たせたの
で、生産情報データをクリーンルーム以外の場所でも容
易に参照、加工、印刷ができ、その利用価値を高めるこ
とができると共に、クリーンルーム内のペーパレス化の
推進及びパーティクル低減を図ることができる。As is apparent from the above description, according to the present invention, the function of converting the data format of the production information data into a data format which is easy to process is provided to the semiconductor manufacturing apparatus. Reference, processing, and printing can be easily performed in places other than the above, so that its use value can be increased, and at the same time, promotion of paperlessness in the clean room and reduction of particles can be achieved.
【図１】生産情報一覧画面を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a production information list screen.
【図２】テキスト変換パラメータ設定画面を示す図であ
る。FIG. 2 is a diagram showing a text conversion parameter setting screen.
【図３】生産情報表示機能を示すフローチャートであ
る。FIG. 3 is a flowchart showing a production information display function.
【図４】テキスト変換処理を示すフローチャートであ
る。FIG. 4 is a flowchart showing a text conversion process.
【図５】図４のステップＳ１５を詳細に示すフローチャ
ートである。FIG. 5 is a flowchart showing step S15 of FIG. 4 in detail.
【図６】テキスト形式による生産情報データの一例を示
す図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of production information data in a text format.
【図７】半導体製造装置のメインコントローラの機能ブ
ロック図である。FIG. 7 is a functional block diagram of a main controller of the semiconductor manufacturing apparatus.
【図８】バイナリ形式による生産情報データの一例を示
す図である。FIG. 8 is a diagram showing an example of production information data in a binary format.
１ｂ 各種データ収集プログラム ２ｂ 各種ロギング情報表示プログラム ２ｂ−１ 生産情報表示機能プログラム ２ｂ−１１ 生産情報一覧データプログラム ２ｂ−１２ 生産情報詳細データプログラム ３ ハードディスク ４ 収集データの書込み手段 ５ 収集データの読込み手段 ２４ テキストボタン ３５ アイテム選択ボタン ３６ 全項目一括指定ボタン ４３ 変換ボタン 1b Various data collection programs 2b Various logging information display programs 2b-1 Production information display function programs 2b-11 Production information list data programs 2b-12 Production information detailed data programs 3 Hard disk 4 Collected data writing means 5 Collected data reading means 24 Text button 35 Item selection button 36 All item batch designation button 43 Conversion button
Claims (1)
データとして収集する生産情報データ収集手段と、前記
生産情報データ収集手段により収集されたデータの少な
くとも一部をオペレータにより指定可能とするデータ指
定手段と、前記データ指定手段により指定されたデータ
のデータ形式を、データ加工が容易なデータ形式に変換
するデータ形式変換手段とを備えてなる半導体製造装
置。1. A production information data collecting means for collecting a processing result for semiconductor manufacturing as production information data, and a data specification which enables an operator to specify at least a part of the data collected by the production information data collecting means. And a data format converting means for converting the data format of the data designated by the data designating means into a data format which can be easily processed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13236798A JPH11327873A (en) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | Semiconductor manufacturing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13236798A JPH11327873A (en) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | Semiconductor manufacturing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11327873A true JPH11327873A (en) | 1999-11-30 |
Family
ID=15079726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13236798A Pending JPH11327873A (en) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | Semiconductor manufacturing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11327873A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004311553A (en) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Semiconductor manufacturing device |
| JP2005286137A (en) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Substrate processing system |
| JP2011009757A (en) * | 2010-07-14 | 2011-01-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Substrate processing system, external connection device, substrate processing apparatus and method of displaying substrate processing system |
-
1998
- 1998-05-14 JP JP13236798A patent/JPH11327873A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004311553A (en) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Semiconductor manufacturing device |
| JP2005286137A (en) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Substrate processing system |
| JP4608227B2 (en) * | 2004-03-30 | 2011-01-12 | 株式会社日立国際電気 | Substrate processing system, external connection apparatus, substrate processing apparatus, and display method for substrate processing system |
| JP2011009757A (en) * | 2010-07-14 | 2011-01-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Substrate processing system, external connection device, substrate processing apparatus and method of displaying substrate processing system |
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