JPH11260896A - ウエハのチャック機構 - Google Patents
ウエハのチャック機構Info
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- JPH11260896A JPH11260896A JP10080499A JP8049998A JPH11260896A JP H11260896 A JPH11260896 A JP H11260896A JP 10080499 A JP10080499 A JP 10080499A JP 8049998 A JP8049998 A JP 8049998A JP H11260896 A JPH11260896 A JP H11260896A
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Abstract
きる円筒状チャック機構の提供。チャック機構の穿孔樹
脂製シートと吸着板は同一のものを使用する。 【解決手段】 円筒状チャック機構に用いる吸着板とし
て、吸着板の外周縁にはヘッドに取りつけるボルト係止
用孔を少なくとも8個、同心円上に等間隔に設け、この
ボルト係止用孔の中心点と吸着板の中心点を結ぶ線上に
小径ウエハの外周縁より内側に位置する部分に同心円上
の多列の環状群の小孔を多数設け、吸着板の小径ウエハ
の外周縁より外側であって大径ウエハの外周縁の内側に
位置する部分には、前記線上より22.5度等間隔にず
らして同心円上に環状群の小孔を少なくとも8個設けた
吸着板を用いることを特徴とするウエハのチャック機
構。
Description
イス付ウエハ、磁気ディスクウエハ等のウエハを研磨す
る際に用いられるウエハのチャック機構に関する。
筒状の凹陥部を有するヘッド3の該凹陥部に中空状回転
軸2を軸承固定し、該回転軸の中心を貫通し、減圧吸着
機構へ連通する排気口(中空部)2aを形成し、前記ヘ
ッドの底面にはチャンバー6用間隙部を設けて同心円上
の多列環状群の小孔5,5・・・を縦方向に貫通させた
剛体よりなる吸着板4をボルト8により係止し、この吸
着板の上面の全面へ柔軟性を有する樹脂製シート7であ
って、該樹脂製シートへ載置するウエハの外周の内側へ
位置する前記吸着板小孔と連通する小孔7aを穿った樹
脂製シートを敷設し、この樹脂製シートに載置されたウ
エハ10を前記回転軸2の排気口を減圧することにより
ウエハ吸着するチャック機構1を用い、このチャック機
構1の樹脂製シート7の上にウエハ10を載置し、中空
状回転軸2を減圧してウエハ10をチャック機構1に固
定後、これを水平方向に回転させつつ、ウエハの上方よ
り回転軸20に軸承したヘッド21内に固定して取り付
けた砥石22または研磨布を下降させてウエハに砥石を
押圧し、ウエハ、砥石を同一方向、または逆方向に回転
させてウエハの研磨を行っている(「精密工学会誌」、
Vol.62.No.4.1996年、486−490
頁。特開昭61−274876号)。
は、外径の異なったウエハ(例えば6インチ径ウエハと
8インチ径ウエハ)の吸着に使用されることが要求され
ることもある。チャック機構の円筒状ヘッド3を共通と
してかかる径の異なるウエハの吸着に使用できるチャッ
ク機構として、次の3通りが行われている。 吸着板4は共通とし、吸着されるウエハの径に応じて
樹脂製シート7の小孔の穿孔を行なう(特開平4−14
848号)。 吸着板4は共通とし、穿孔した樹脂製シート7を2
種、それぞれのウエハ用に用意する。 穿孔した樹脂製シート7は共通とし、吸着板4を2
種、それぞれのウエハ用に用意する。
ハと8インチ径のウエハの態様について図5を用いて説
明する。即ち、予じめ樹脂製シート7には吸着板の小孔
5の位置に合せて6インチ径のウエハ用の小孔7aを同
心円上に多列環状群穿って用意しておき、6インチウエ
ハの研磨のときはこれ7を吸着板4に載置して用いる。
8インチウエハの場合は、この小孔7aを穿った樹脂製
シート7の6インチの外、8インチの内の小孔7bに相
当する部分の小孔を吸着板4のかかる小孔5の位置に合
せて穿孔し、ついでこれを吸着板に載置して用いる。
方法よりは少くできる利点はあるが、泥縄式で緊急の注
文のウエハの研磨の際には間に合ない。の方法は、6
インチ用、8インチ用ウエハの2種の樹脂製シートを用
意する必要があり、樹脂製シートの在庫がより多くな
る。の方法は、樹脂製シート7として大きい径(8イ
ンチ)のウエハ用に合せた小孔7a,7bを同心円上に
多列環状群形成したものを共通とし、吸着板4として6
インチウエハ用に小孔4a,4a・・・を同心円上に多
列環状群穿った吸着板(図6参照)と、8インチウエハ
用に小孔4a,4a・・・,4b,4b・・・を同心円
上に多列環状群穿った吸着板(図7参照)を用いる。こ
の方法は、研磨されるウエハの径に対応して一々、ヘッ
ドから吸着板を取り外し、目的とするウエハの径に適合
する吸着板をヘッドに取りつける手間に時間を要する欠
点がある。
ウエハの径が異なっていても、同一穿孔樹脂製シート、
同一吸着板を用いることができるウエハのチャック機構
の提供を目的とする。
凹陥部を有するヘッドの該凹陥部に中空状回転軸を軸承
固定し、該回転軸の中心を貫通し、減圧吸着機構へ連通
する排気口を形成し、前記ヘッドの底面にはチャンバー
用間隙部を設けて同心円上の多列環状群の小孔を縦方向
に貫通させた剛体よりなる吸着板をボルトにより係止
し、この吸着板の上面の全面へ柔軟性を有する樹脂製シ
ートであって、該樹脂製シートへ載置するウエハの外周
の内側へ位置する前記吸着板小孔と連通する小孔を穿っ
た樹脂製シートを敷設し、この樹脂製シートに載置され
たウエハを前記回転軸の排気口を減圧することによりウ
エハ吸着するチャック機構において、このチャック機構
は2つの異った径のウエハの吸着に兼用できるように樹
脂製シートには異った径のウエハに適用できるよう大径
のウエハ用の前記小孔を穿ち、かつ、吸着板には載置さ
れる小径のウエハの外周縁より内側の部分に相当する吸
着板の内側に同心円上の多列環状群の小孔を設け、大径
のウエハの外周縁の外側に位置する吸着板の周縁に同心
円上に等間隔で穿った少くとも8個のヘッドへの係止用
ボルト孔の中心と吸着板の中心点を結ぶ線上に前記同心
円上の多列環状群の小孔を設け、小径のウエハの外側で
大径のウエハの内側に位置する吸着板の部分には同心円
上の環状群の小孔を前記ボルト孔の中心と吸着板の中心
点を結ぶ線上から少くとも7.5度から37.5度ずら
して設けたことを特徴とするウエハのチャック機構を提
供するものである。本発明の2は、上記チャック機構に
用いられる樹脂製シートに関するもので、該樹脂製シー
トは、同心円上の多列環状群の小孔を有し、載置される
小径のウエハの外縁より内側の部分は吸着板の同心円上
の多列環状群の小孔の位置と同じ位置に相当する樹脂製
シートの位置に同じ数の同心円上の多列環状群の小孔を
設け、載置される小径のウエハの外縁より外側部分であ
って、大径のウエハの外縁の内側部分に位置する樹脂製
シートの外周部には、前記吸着板の中心より22.5度
ずらした位置に同心円上の環状群の小孔を吸着板のそれ
と同数設けた構造の樹脂シートを提供するものである。
径のウエハの場合は、吸着板4の小孔群4a,4a・・
・,4b,4b・・・と樹脂製シート7の小孔群7a,
7a・・・,7b,7b・・・の位置が一致するよう樹
脂製シート7は吸着板4に取りつけられる。小さい径の
ウエハの場合は、大きい径のウエハの場合と比較して中
心点より22.5度ずらして樹脂製シート7を吸着板4
に取りつけることにより、吸着板4の小径用ウエハ用の
小孔4a,4a・・・は樹脂製シート7の小径用ウエハ
用の小孔7a,7a・・・と位置が一致し、小径ウエハ
の外縁より外側の吸着板の小孔4b,4b・・・は、こ
れら小孔4b,4b・・・に位置する樹脂製シート7に
孔が穿たれていないので中空回転軸2の中空部が減圧さ
れても吸着板4の小孔4b,4b・・・は樹脂製シート
7により盲にされているので、チャック機構1のチャン
バー6内の減圧は有効に働らく。
発明を説明する。説明を簡単とするため、6インチと8
インチのウエハ兼用のチャック機構を例に挙げて説明す
る。図1は、本発明のウエハのチャック機構の吸着板の
上面図を、図2は図1に示される吸着板のI−I断面
図、図3は樹脂製シートの上面図である。図1と2にお
いて、1はチャック機構、2は中空回転軸、2aは中空
部、3はヘッド、4は吸着板、4a,4a,・・・は同
心円上に多列環状に設けた6インチウエハ用の小孔4
b,4b・・・は8インチウエハ用小孔で、これらは図
2に示すように吸着板を上下に貫通している。
・・・は、上端が直径1mm、チャンバー6側の孔5は
直径4mmとして穿孔してあり、小孔4a,4bと孔5
は連通している。6はチャンバー、8′はボルト用孔で
直径7mmで雌ネジ切りしてある。9は吸着板4の高さ
調整用ボルト係止用ネジ孔である。吸着板4のボルト8
の係止用孔8は、等間隔に45度づつずらして同心円上
に8個設けられている。6インチ用ウエハ吸着用小孔4
a,4a,・・・は、前記ボルト係止用孔8の相対向す
る孔8,8を結ぶ線上に、同心円上に3列または4列群
をなして6インチウエハの外周より内側となる位置に設
けられている。図1においては、ウエハの吸着を更に強
固とするために、中心点とボルト係止孔8′を結ぶ線状
より7.5度ずれた環状のところに1列、15度ずれた
環状のところに2列、22.5度ずれた環状のところに
1列の小孔4a′,4a″,4a′″・・・を穿ってあ
る。
であって、8インチウエハの外周縁より内側の部分に
は、ボルト係止用孔8と中心点を結ぶ線上には小孔を設
けず、この線上より22.5度ずれた同一円上の環状に
少なくとも8個の小孔4b,4b・・・を設ける。必要
により8インチウエハをより強固にチャックするため、
中心点とボルト係止用孔8′を結ぶ線上より7.5度ず
らした同心円上に小孔群4b′,4b′・・・を、同線
上より30度ずらした同心円上に小孔群4b″,4b″
・・・を穿ってもよい。
で、6インチウエハの外周縁より内側の樹脂製シート7
の部分には上記吸着板4の小孔4a,4a′,4a″,
4a′″・・・と同一位置に同一個数の小孔7a,7
a′,7a″,7a′″・・・を同一円上に多列群設
け、6インチウエハの外周縁の外側部分であって、8イ
ンチウエハの外周縁の内側部分に位置する樹脂製シート
7の部分は、吸着板4のそれに相応する小孔4b,4
b′,4b″・・・の位置を吸着板4のボルト係止用孔
8′と中心点を結ぶ線上より22.5度等間隔にずらし
た位置に小孔7b,7b′,7b″・・・を樹脂製シー
トを貫通させて穿つ。
や両面粘着テープを用いて貼着してもよいし、中空回転
軸を減圧にして強制的に行ってもよい。又、樹脂製シー
トの寸法を大径のウエハの外周縁より幅広くとり、ピン
を用いて吸着板の位置決め用孔9内にピンで仮止めして
もよい。ウエハの径により吸着板に樹脂製シートを載置
させる際、大径用のウエハのときは、樹脂製シートを小
径のウエハのときより、中心線から22.5度回転させ
て取りつけることにより、同一ヘッドが利用できる。
チウエハの両方を載置するには吸着板の4外周縁にはヘ
ッドに取りつけるボルト係止用孔を少なくとも8個、同
心円上に等間隔に設け、小径のウエハが載置される小径
の外周縁より内側の吸着板部分には吸着板の中心点を結
ぶ線上に小径ウエハの外周縁より内側に位置する部分に
同心円上の多列の環状群の小孔を多数設け、吸着板の載
置される小径ウエハの外周縁より外側であって大径ウエ
ハの外周縁の内側に位置する吸着板の部分には、前記線
上より7.5度〜37.5度等間隔にずらして同心円上
に環状群の小孔を少なくとも8個設けた吸着板であれば
よい。ずらす角度は、7.5度の1倍、2倍、3倍、4
倍、5倍である7.5度、15度、22.5度、30
度、37.5度が好ましい。
8インチ用穿孔樹脂シートと図9に示す吸着板を用いて
もよい。図9に示される吸着板では、吸着盤のボルト係
止用孔8′と吸着盤の中心点を結ぶ線上に大径のウエハ
の外周縁より内側であって、小径のウエハの外周縁より
外側の部分に位置する場所に同心円上に環状に小孔4b
を設け、6インチウエハの外周縁より内側の部分には、
ボルト係止用孔8′と吸着板の中心点を結ぶ線上には小
孔4a,4a・・・を設けず、該線より22.5度ずら
した同心円上の多列環状群に小孔4a,4a・・・を設
けている。
が異なっていても、同一の穿孔樹脂製シート7、樹脂板
4を用いてウエハをチャック機構に取りつけることがで
きる。
着板をヘッドに収納した上面図である。
I断面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 円筒状の凹陥部を有するヘッドの該凹陥
部に中空状回転軸を軸承固定し、該回転軸の中心を貫通
し、減圧吸着機構へ連通する排気口を形成し、前記ヘッ
ドの底面にはチャンバー用間隙部を設けて同心円上の多
列環状群の小孔を縦方向に貫通させた剛体よりなる吸着
板をボルトにより係止し、この吸着板の上面の全面へ柔
軟性を有する樹脂製シートであって、該樹脂製シートへ
載置するウエハの外周の内側へ位置する前記吸着板小孔
と連通する小孔を穿った樹脂製シートを敷設し、この樹
脂製シートに載置されたウエハを前記回転軸の排気口を
減圧することによりウエハ吸着するチャック機構におい
て、このチャック機構は2つの異った径のウエハの吸着
に兼用できるように樹脂製シートには異った径のウエハ
に適用できるよう大径のウエハ用の前記小孔を穿ち、か
つ、吸着板には載置される小径のウエハの外周縁より内
側の部分に相当する吸着板の内側に同心円上の多列環状
群の小孔を設け、大径のウエハの外周縁の外側に位置す
る吸着板の周縁に同心円上に等間隔で穿った少くとも8
個のヘッドへの係止用ボルト孔の中心と吸着板の中心点
を結ぶ線上に前記同心円上の多列環状群の小孔を設け、
小径のウエハの外側で大径のウエハの内側に位置する吸
着板の部分には同心円上の環状群の小孔を前記ボルト孔
の中心と吸着板の中心点を結ぶ線上から少くとも7.5
度から37.5度ずらして設けたことを特徴とするウエ
ハのチャック機構。 - 【請求項2】 吸着板の載置される小径のウエハの外周
縁外側と大径のウエハの外周縁より内側の部分には、1
5度の等間隔で同心円上の小孔が穿かれていることを特
徴とする請求項1に記載のウエハのチャック機構。 - 【請求項3】 吸着板の載置される大径のウエハの外周
より外側の位置となる外周縁にはボルト孔の同心円上に
1対の吸着板の高さ調整用ボルト係止用ネジ孔が設けら
れていることを特徴とする、請求項1に記載のウエハの
チャック機構。 - 【請求項4】 樹脂製シートは、同心円上の多列環状群
の小孔を有し、載置される小径のウエハの外縁より内側
の部分は吸着板の同心円上の多列環状群の小孔の位置と
同じ位置に相当する樹脂製シートの位置に同じ数の同心
円上の多列環状群の小孔を設け、載置される小径のウエ
ハの外縁より外側部分であって、大径のウエハの外縁の
内側部分に位置する樹脂製シートの外周部には、前記吸
着板の中心より22.5度ずらした位置に同心円上の環
状群の小孔を吸着板のそれと同数設けたものであること
を特徴とする請求項3に記載のウエハのチャック機構。 - 【請求項5】 円筒状の凹陥部を有するヘッドの該凹陥
部に中空状回転軸を軸承固定し、該回転軸の中心を貫通
し、減圧吸着機構へ連通する排気口を形成し、前記ヘッ
ドの底面にはチャンバー用間隙部を設けて同心円上の多
列環状群の小孔を縦方向に貫通させた剛体よりなる吸着
板をボルトにより係止し、この吸着板の上面の全面へ柔
軟性を有する樹脂製シートであって、該樹脂製シートへ
載置するウエハの外周の内側へ位置する前記吸着板小孔
と連通する小孔を穿った樹脂製シートを敷設し、この樹
脂製シートに載置されたウエハを前記回転軸の排気口を
減圧することによりウエハ吸着するチャック機構におい
て、このチャック機構は2つの異った径のウエハの吸着
に兼用できるように前記吸着板の外周縁にはヘッドに取
りつけるボルト係止用孔を少なくとも8個、同心円上に
等間隔に設け、小径のウエハが載置される小径の外周縁
より内側の吸着板部分には吸着板の中心点を結ぶ線上に
小径ウエハの外周縁より内側に位置する部分に同心円上
の多列の環状群の小孔を多数設け、吸着板の載置される
小径ウエハの外周縁より外側であって大径ウエハの外周
縁の内側に位置する吸着板の部分には、前記線上より2
2.5度等間隔にずらして同心円上に環状群の小孔を少
くとも8個設けた吸着板を用いることを特徴とするウエ
ハのチャック機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10080499A JPH11260896A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ウエハのチャック機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10080499A JPH11260896A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ウエハのチャック機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11260896A true JPH11260896A (ja) | 1999-09-24 |
Family
ID=13720014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10080499A Pending JPH11260896A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ウエハのチャック機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11260896A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1136887A2 (en) * | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Asm Lithography B.V. | Substrate holder for lithographic apparatus |
JP2005243888A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | 粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置 |
JP2006517351A (ja) * | 2003-02-07 | 2006-07-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 高圧処理の間に半導体基板を強固に保持するためにコーティングを用いる方法および装置 |
JP4593007B2 (ja) * | 2001-05-23 | 2010-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置装置 |
JP2011023433A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハ搬送装置 |
JP5732583B1 (ja) * | 2014-09-30 | 2015-06-10 | 株式会社 ベアック | 平板状部材吸引装置 |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP10080499A patent/JPH11260896A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1136887A2 (en) * | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Asm Lithography B.V. | Substrate holder for lithographic apparatus |
EP1136887A3 (en) * | 2000-03-16 | 2003-06-18 | ASML Netherlands B.V. | Substrate holder for lithographic apparatus |
JP4593007B2 (ja) * | 2001-05-23 | 2010-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置装置 |
JP2006517351A (ja) * | 2003-02-07 | 2006-07-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 高圧処理の間に半導体基板を強固に保持するためにコーティングを用いる方法および装置 |
JP2005243888A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | 粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置 |
JP2011023433A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハ搬送装置 |
JP5732583B1 (ja) * | 2014-09-30 | 2015-06-10 | 株式会社 ベアック | 平板状部材吸引装置 |
KR20160038766A (ko) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 베아크 가부시끼가이샤 | 평판 형상 부재 흡인 장치 |
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