JP4630178B2 - ワーク用チャック装置 - Google Patents
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Description
上記主軸2とチャックテーブル3とは、図示したように一体に形成しても良いが、図7に示すようにそれらを別体に形成し、螺子6で相互に連結しても良い。
しかし、上記連通溝12を、吸着パッド5に形成することなく、支持プレート4のパッド取付面4aに形成しても良い。この場合でも、該支持プレート4をチャックテーブル3に取り付ける前に該連通溝12を加工することができるので、テーブル面3aに直接連通溝12を形成する従来品に比べ、その加工は容易である。
なお、この第4実施形態において、上記支持プレート4を、その厚さに応じて図6の第2実施形態と同じように、螺子18でチャックテーブル3のテーブル面3aに取り付けることもできる。
また、図11に示すように、ワーク30の外周の一部に直線状のオリエンテーションフラット30eが形成されている場合には、支持プレート4及び吸着パッド5を、このワーク30と相似形で該ワーク30より小径に形成することもできる。即ち、外周の一部に直線部19を有する形に形成することができる。この場合、チャックテーブル3のテーブル面3aは円形のままで良いため、このような特殊な形状のワーク30に対しても対応が容易になる。
3 チャックテーブル
3a テーブル面
4 支持プレート
4a パッド取付面
5 吸着パッド
8 吸引孔
9 中継孔
11 吸着溝
12 連通溝
30 ワーク
Claims (3)
- 真空源に通じる吸引孔を中央に有するチャックテーブルのテーブル面に、支持プレートを介して吸着パッドを取り付け、外周研磨を施すべきワークを上記吸着パッドに吸着させて保持させるようにした外周研磨におけるワーク用チャック装置であって、
上記チャックテーブルのテーブル面は円形であり、
上記支持プレートは、上記テーブル面より大径であり、かつ上記ワークより小径の円板形をなし、上記テーブル面に同心状に固定され、中央に上記吸引孔に通じる中継孔を有し、
上記吸着パッドは、上記支持プレートと同径の円形をなしていて、該支持プレートに同心状に固定され、上記中継孔に通じる中心孔と、該中心孔を取り囲む環状の吸着溝と、該吸着溝と上記中心孔とを連通させる放射状の連通溝とを有する、
ことを特徴とするワーク用チャック装置。 - 上記チャックテーブルのテーブル面と上記支持プレートのパッド取付面とが、上記吸引孔及び中継孔が開口する部分を除いては平面であることを特徴とする請求項1に記載のチャック装置。
- 上記支持プレートが、外周研磨時のワークの撓みに応じて弾性変形可能な程度に柔軟性を有することを特徴とする請求項1または2に記載のチャック装置。
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