JPH11218082A - 減圧ポンプ - Google Patents

減圧ポンプ

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JPH11218082A
JPH11218082A JP10033552A JP3355298A JPH11218082A JP H11218082 A JPH11218082 A JP H11218082A JP 10033552 A JP10033552 A JP 10033552A JP 3355298 A JP3355298 A JP 3355298A JP H11218082 A JPH11218082 A JP H11218082A
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JP
Japan
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piston
diaphragm
pump chamber
pump
valve
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JP10033552A
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Inventor
Yoshinori Takagi
義則 高木
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OUKEN SEIKO KK
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OUKEN SEIKO KK
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B1/00Multi-cylinder machines or pumps characterised by number or arrangement of cylinders
    • F04B1/12Multi-cylinder machines or pumps characterised by number or arrangement of cylinders having cylinder axes coaxial with, or parallel or inclined to, main shaft axis
    • F04B1/122Details or component parts, e.g. valves, sealings or lubrication means
    • F04B1/124Pistons
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/025Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms two or more plate-like pumping members in parallel
    • F04B43/026Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms two or more plate-like pumping members in parallel each plate-like pumping flexible member working in its own pumping chamber

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイヤフラムの形状を不必要な変形を生ず
ることなく又それを成形する金型の耐久性が得られる形
状にする。 【解決手段】 ダイヤフラムをピストンとコネクチン
グロッドにて挟み又ダイヤフラムをピストンの周辺部に
おいてピストンに近接するように変形させた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、小型ポンプでダイ
ヤフラムを利用した減圧ポンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術】ダイヤフラムを用いたもので減圧ポンプ
の従来例として特開平6−147128号公報に記載さ
れたポンプがある。
【0003】この減圧ポンプは、図20、 図21に示
すような構成のポンプである。これら図において、図2
0は断面図、図21はその一部拡大断面図で、1は駆動
用のモーター、2はモーター出力軸、3は出力軸2に固
定されたクランク台、4はクランク台3に対し傾斜させ
れて取付けられた駆動軸、5は駆動軸5に回動可能に取
付けられた円板状の駆動体、6は駆動体5の周辺部に等
間隔に配置されている複数のピストンで、円周に沿って
配置された複数のポンプ室7の夫々に位置し往復動可能
になっている。8はポンプ室7とピストン6とをポンプ
室7が気密を保たれるように接続保持しているダイヤフ
ラム、9は逆止弁11を介してポンプ室7に連通してい
る吸気口、10は逆止弁15を介してポンプ室7に連通
している排気口である。ここでダイヤフラム8は図20
又は図21に示すように断面形状がU字状をなしその凸
状8aをポンプ室側へ向けた形状でこのような断面形状
のものが全体として環状をなした部分を有し、この環状
部分がピストン6を囲むようにしかもその内側面がピス
トン6の外周面と又ポンプ室7の内壁面と夫々その少な
くとも一部分が接するように取付けられている。したが
ってピストン6が図20の左側のピストン位置にあって
も右側のピストン位置(図21のピストン位置)にあっ
てもポンプ室内の減圧によりダイヤフラム8の環状部分
8aに不必要な変形は生じないため減圧ポンプとして好
ましい。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のような構成のダ
イヤフラムポンプは、図20に示すようにピストン6を
気密に保持しこのピストン6の往復動を可能にしている
ダイヤフラム8が断面U字状をししかもピストン6とダ
イヤフラム8が一体に形成されているため、ダイヤフラ
ム6とピストン8との間に狭く成った部分8bが存在す
る。そのためダイヤフラム6とピストン8とを一体に成
形する際に金型にも狭くなった部分(細くなった部分)
が生じ、金型が変形しやすい。このダイヤフラム8とピ
ストン6とを一体に成形する際に用いられる金型の概要
(成形品の位置する側の面形状)を示すと図22に示す
通りである。この図のように前記の狭くなった部分を形
成する細長い箇所が変形し又破損しやすく、そのために
金型を所望の形状に長期間保つことができず、量産しに
くい。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の減圧ポンプは、
ポンプ室側に位置するピストンとコネクチングロッドと
により挟持されたダイヤフラムにより、ポンプ室を気密
に保ち、コネクチングロッドの駆動によりピストンの往
復動させてポンプ室内への吸引を行なうポンプで、ダイ
ヤフラムが全体として平板状をなし、ピストンの周辺部
のみにピストンに近接するように変形させた湾曲部を有
することを特徴とする。
【0006】本発明の減圧ポンプは、ダイヤフラムのピ
ストン周辺部分に湾曲部を設けるようにしたことにより
ポンプ室が減圧されたときにダイヤフラムに不必要な変
形を生ずることがない。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明のダイヤフラムポンプの実
施の形態を次に述べる。
【0008】図1は本発明の第1の実施の形態を示し、
図において、20はモーター、21はモーター20の出
力軸、22は出力軸21に固定されたクランク台、23
は出力軸21に対して所定の角度傾斜させてクランク台
22に固定された駆動軸、24は駆動軸23に対し回転
可能に取り付けられた駆動体、25はシリンダー、26
はコネクチングロッド、27はピストン、28はダイヤ
フラムで、 ビス29を用いてピストン27を固定して
いる。30は凹部31を有するハウジングで、このハウ
ジング30とケース19とによりダイヤフラム28を挟
みこれを固定することにより、この凹部31をダイヤフ
ラム28により密封してポンプ室を構成する。又32、
33は、逆止弁、34は蓋で気密性を保つための弾性材
料よりなるシール部材25を介してハウジング30にね
じ止めされる。
【0009】図2乃至図4はハウジング30を示す図
で、図2はその平面図、図3は側面図、図4は底面図で
ある。この図において、36は吸気ポートで、図2に示
す吸気口38に通じている。この図2の平面図におい
て、44と45の部分がハウジング30の上側の面より
低く凹部になり、図1におけるパッキン35を介して蓋
34を取り付けた時、これら凹部が夫々流路になる。又
40はオリフィズで図4に示す凹部に通じ、更に同凹部
内に形成されたオリフィス41により図2の流路の一端
に通じ、その右端にある孔により排出口 に通じてい
る。
【0010】このような構成の第1の実施の形態の動作
について説明する。
【0011】モーター20の駆動により、出力軸21、
クランク台22、駆動軸23が出力軸21を中心にして
駆動体24は皿まわし運動と同様の動きをし、これによ
り、直角軸が上下に往復運動を行ない、コネクチングロ
ッド26、ピストン27、ダイヤフラム28が往復動す
る。これによりポンプ室31の容積が増減する。
【0012】このポンプ室の容積の増減によるポンプ作
用について次に述べる。
【0013】まず、ピストン27の下降によるポンプ室
31の容積が増加すると、図2乃至図4において吸気ポ
ート36の吸気口38から矢印Aの方向に吸気され、オ
リフィス40より矢印Bのように気体が流れ、逆止弁3
2を押してポンプ室31に流れ込む。次にピストン27
の上昇によりポンプ室31の容積が減少すると、逆止弁
32は閉じ一方逆止弁33は開き、ポンプ室31に流れ
込んだ気体は、オリフィス41よりCの方向に流れ更に
他の流路 を通ってDのように排気口39から排出され
る。
【0014】以上のように、ピストン27の上下動の繰
り返しによるポンプ室31の容積の増減の繰り返しによ
りポンプ作用が行なわれる。
【0015】この第1の実施の形態のダイヤフラムポン
プは、ダイヤフラム28の断面形状が図1に示す通り
で、したがって図20に示す従来例のダイヤフラム8の
環状部分8aのような狭い部分を有しない。つまり、こ
のダイヤフラムを成形により作成する場合の金型の断面
形状の概要は、図5に示す通りで、図22に示す従来例
のダイヤフラムの金型 のように薄く鋭角状をなす部分
が存在せず、金型の作成が容易であり、安定した生産が
可能である。又コネクチングロッドがダイヤフラムと別
体である。
【0016】この実施の形態のように、ダイヤフラムの
ピストンの周辺部分を変形させてその一部がピストンに
近接するような湾曲部(図1においてはポンプ室に向け
て凸をなすU字形状)を形成することにより、ポンプ室
が減圧された時にダイヤフラムが不必要な変形をせず、
ポンプ作用が良好に行なわれる。又、前記の湾曲部分以
外は平板状であり、ダイヤフラムを成形する場合、金型
が作成しやすい形状になる。
【0017】図6乃至図9は、本発明のダイヤフラムポ
ンプの第2の実施の形態を示す。この第2の実施の形態
は、二つのシリンダーを持つポンプ室を並列配置した例
である。つまり、図6に示すように、二つのダイヤフラ
ム部28a、28bが一体になったダイヤフラムの他、
コネクチングロッド29、ピストン27、ポンプ室31
等が二つあり、駆動体24の両端にコネクチングロッド
26が夫々系合されている等で、第1の実施の形態と異
なるが、基本構成は第1の実施の形態と共通する。
【0018】又、図7、図8、図9は、夫々ハウジング
30の平面図、側面図、底面図である。図7、図8に示
すように流路54には吸気口38と二つのポンプ室に対
応する位置に夫々オリフィス50、52が設けられ、
又、他の流路55にも二つのポンプ室に対応する二つの
オリフィス51、53が設けられている点で第1の実施
の形態のダイヤフラムポンプと相違する。
【0019】この第2の実施の形態は、図6に示すよう
にモーター20を駆動することによりクランク台22、
駆動軸23、駆動体24を介して、図面左右のピストン
26が上下動することによりポンプ作用が行なわれる。
即ち一方のピストン26が下降するとポンプ室27の容
積が増加し、流体は、図7〜図9において、吸気口38
から矢印Aの方向に吸気され、流路54を通って矢印B
に示すようにオリフィス50に流入し、図のオリフィス
50を通ってピストンが下降する側のポンプ室に流入す
る。
【0020】この時、他のピストン は、逆に上昇する
ため、ポンプ室内の流体は、オリフィス53を通って矢
印のように流れ、流路55を通り排気口39より排出さ
れる。
【0021】上記の作用が繰り返されることにより吸引
が行なわれる。
【0022】図10乃至図12は、本発明の第3の実施
の形態のハウジング部分を示す図である。この第3の実
施の形態は、第2の実施の形態と同様に二つのポンプ室
を有するダイヤフラムポンプで、第2の実施の形態が二
つのポンプの並列使用であるのに対し、直列使用にした
ものである。したがって。ハウジング内部の流路等の構
成以外は、図6に示す第2の実施の形態と実質上同じで
ある。
【0023】図10はハウジングの平面図、図11はハ
ウジングの側面図、図12はハウジングの底面図であ
る。この第3の実施の形態は、図10の平面図に示すよ
うに吸気口38より第1のポンプ室へ向かうオリフィス
60までの第1の流路64と、第1のポンプ室より第2
のポンプ室へ流体を送り込む第2の流路65と、第2の
ポンプ室から排出口へ向かう第3の流路66の三つの流
路を形成する。従って、第1の流路64には吸気口38
と第1のポンプ室へのオリフィス60が、第2の流路6
5には、第1のポンプ室からのオリフィス61とこの流
路64から第2のポンプ室へ流体を送るオリフィス62
が、又第3の流路65には、第2のポンプ室からのオリ
フィス63と排出口39とが設けられている。
【0024】この本発明の第3の実施の形態は、第1の
ポンプ室のピストンを下降させることにより、吸気口3
8より流体を吸気し、流路64を通りオリフィス60よ
り第1のポンプ室内へ流体が流れる。次に第1のポンプ
室のピストン を上昇させることにより、第1のポンプ
室内の流体はオリフィス61を通って第2の流路65へ
送り出される。この時、第2のポンプ室のピストンは、
第1のポンプ室内のピストンとは逆に下降するため吸引
され、したがって、第2の流路65内へ送られた流体
は、オリフィス62を通って第2のポンプ室に流れ込
む。続いて第2のポンプ室のピストンが上昇して、ポン
プ室内の流体は、オリフィス63を通り第3の流路66
へ送られ更に排出口39から排出される。
【0025】この時第1のポンプ室のピストンは逆に下
降するため、吸引され、吸入口から第1の流路を通って
第1のポンプ室内へ流入する。
【0026】以上のような操作が繰り返されることによ
り、吸引型のポンプ作用が行なわれる。
【0027】これら実施の形態のダイヤフラムポンプに
おいて、図1や図6に示す駆動体24は、図13、図1
4に示すような構成になっている。つまり、ポンプ室3
1の数だけ横軸部24aを有し(図においては2ケ)、
この横軸部24aの先端には抜け止め部24cが形成さ
れている。一方、この抜け止め部24cと係合するコネ
クチングロッド26は、図15、図16、図17に示す
構成である。つまり、コネクチングロッド26とピスト
ン27とによりダイヤフラムブ28の中央の平面部28
aを挟んでビス70にて固定してこの部分の気密性を保
つようにしている。又、コネクチングロッド26は、中
にOリング72を入れて蓋をし、この蓋を溶着してあ
り、Oリング72の内径d2と、コネクチングロッドの
内径d3と、駆動体24の横軸抜け止めの径d1との間に
は次の関係が成り立つようにしている。
【0028】d2<d1<d3上記関係を持たせることに
より抜け止め部24cをOリング72を入れた状態で駆
動体24とコネクチングロッドとを組み合わせている。
【0029】以上述べた各実施の形態のうち、第1、第
2の実施の形態においては傘形の逆止弁が用いられてい
る。しかし、第3の実施の形態のポンプのうち、第2の
ポンプ室から第3の流路へ向かう部分の逆止弁はスペー
スがないために、傘形の弁を使用できない。
【0030】本発明の第3の実施の形態のポンプにおい
ては、この第2のポンプ室から第3の流路への間には、
図18に示すような逆止弁を用いている。
【0031】図18において、80は筒形の逆止弁で、
80aが弁部、80bが固定部、80cは首部、80d
が引っ張り部である。又81は弁室、82はオリフィス
である。
【0032】この逆止弁80は、弁室81の上部より引
っ張り部80dを先にして挿入しこの引っ張り部80d
を引っ張ることにより首部80cを強制的に押し込むこ
とにより、図示する状態に保持する。尚図19は図18
の下方より見た図である。
【0033】この逆止弁80は、弁室81内の圧力がオ
リフィス82の圧力より高い場合は、この弁室81内の
圧力によって弁部80aを押し広げてこの弁部80aが
弁室81の壁面81aに押し付けられて流体の流れを避
断する。逆にオリフィス82の圧力が弁室81内の圧力
より高いとオリフィス82の開口部82aにおいて弁部
80aを内側へ押し、弁室壁81aと弁部80aとの間
に隙間ができ流体はオリフィス側より弁室内へ流れ込
む。
【0034】この図18に示す逆止弁は、本発明の減圧
ポンプのみならず、他の構成のポンプ等の逆止弁として
も利用できる。特に、弁を配置するスペースを十分とり
得ない箇所での使用には、極めて有効である。
【0035】
【発明の効果】本発明の減圧ポンプは、ピストンを保持
するダイヤフラムの形状を平板状でピストンの近くで変
形した形状としこのダイヤフラムを成形する金型が耐久
性を持つ形状になし得るようにしてダイヤフラム自身お
よび金型の耐久性が高くなると共にダイヤフラムの量産
が可能になるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の減圧ポンプの第1の実施の形態を示
す図
【図2】 図1に示す減圧ポンプのハウジングの平面図
【図3】 図1に示す減圧ポンプのハウジングの側面図
【図4】 図1に示す減圧ポンプのハウジングの底面図
【図5】 本発明の減圧ポンプのダイヤフラムを成形す
る金型の概念図
【図6】 本発明の減圧ポンプの第2の実施の形態を示
す図
【図7】 図6に示す減圧ポンプのハウジングの平面図
【図8】 図6に示す減圧ポンプのハウジングの側面図
【図9】 図6に示す減圧ポンプのハウジングの底面図
【図10】本発明の減圧ポンプの第3の実施の形態のハ
ウジングの平面図
【図11】本発明の減圧ポンプの第3の実施の形態のハ
ウジングの側面図
【図12】本発明の減圧ポンプの第3の実施の形態のハ
ウジングの底面図
【図13】本発明の減圧ポンプで用いる駆動体の構成を
示す図
【図14】本発明の減圧ポンプで用いる駆動体の他の構
成を示す図
【図15】本発明の減圧ポンプで用いるコネクチングロ
ッドの構成を示す図
【図16】本発明の減圧ポンプで用いるコネクチングロ
ッドの構成を示す図
【図17】本発明の減圧ポンプで用いるコネクチングロ
ッドの構成を示す図
【図18】本発明の減圧ポンプで用いる逆止弁の構成を
示す図
【図19】前記逆止弁の配置
【図20】従来のダイヤフラムを用いた減圧ポンプの構
成を示す図
【図21】図20の一部拡大図
【図22】従来のダイヤフラムとピストンを一体に成形
する金型の概要を示す図
【符号の説明】
26 コネクチングロッド 27 ピストン 28 ダイヤフラム 31 ポンプ室

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 出力軸を中心回転するクランク台に対し
    て傾斜させて取り付けられた駆動軸と、駆動軸に回動可
    能に取り付けられた駆動体と、駆動体に取り付けられた
    コネクチングロッドと、前記コネクチングロッドに取り
    付けられたピストンと、ポンプ室を有するハウジング
    と、前記ポンプ室を気密に保ち前記コネクチングロッド
    と前記ピストンとにより挟持されているダイヤフラム
    と、前記ポンプ室に逆止弁を介して連通する排気口を有
    するポンプで、前記ダイヤフラムが全体として平板状を
    なし前記ピストンの周辺部においてピストンに近接する
    ように変形する湾曲部を有することを特徴とする減圧ポ
    ンプ。
  2. 【請求項2】 前記ダイヤフラムの前記湾曲部の断面形
    状が凸形状が前記ポンプ室を向いたU字状をなすことを
    特徴とする請求項1の減圧ポンプ。
  3. 【請求項3】 円筒状の弁体部と、前記弁体部の下部よ
    り伸び固定用の首部を有する固定部と、前記弁体部の外
    径にほぼ等しい径を有し該弁体部に相当する部分に開口
    部を有する弁室とを有し、前記固定部およびそれに形成
    された首部とにより前記開口部内にその内壁に外周面を
    気密を持たせて前記弁体部を固定したことを特徴とする
    逆止弁。
  4. 【請求項4】 前記逆止弁が、円筒状の弁体部と、前記
    弁体部の下部より伸び固定用の首部を有する固定部と、
    前記弁体部の外径にほぼ等しい径を有し該弁体部に相当
    する部分に開口部を有する弁室とを有し、前記固定部お
    よびそれに形成された首部とにより前記開口部内にその
    内壁に外周面を気密を持たせて前記弁体部を固定したこ
    とを特徴とする請求項1又は2の減圧ポンプ。
JP10033552A 1998-02-02 1998-02-02 減圧ポンプ Pending JPH11218082A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002106471A (ja) * 2000-09-28 2002-04-10 Mitsumi Electric Co Ltd 小型ポンプ
JP2007250218A (ja) * 2006-03-14 2007-09-27 Equos Research Co Ltd 燃料電池システム
KR100853752B1 (ko) 2007-05-11 2008-08-22 주식회사 락앤락 핸디형 진공 흡입 장치
JP2018003677A (ja) * 2016-06-30 2018-01-11 コイト電工株式会社 ポンプ機構及び流体供給装置
WO2018037443A1 (ja) * 2016-08-22 2018-03-01 柴田科学株式会社 多気筒式ダイヤフラムポンプ

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19726702A1 (de) * 1997-06-24 1999-01-07 Ralf Dr Ing Kaufmann Vorrichtung, insbesondere Pumpe
JP2003120521A (ja) * 2001-10-10 2003-04-23 Mitsumi Electric Co Ltd 小型ポンプ
TWM291472U (en) * 2005-12-16 2006-06-01 Tricore Corp Pump of improved inlet controlling structure
DE602007000678D1 (de) * 2006-09-11 2009-04-23 Lock & Lock Co Ltd Membranvakuumpumpe
JP5223436B2 (ja) * 2008-04-16 2013-06-26 オムロンヘルスケア株式会社 逆止弁構造、ダイヤフラムポンプおよび血圧計
DE102008035592B4 (de) * 2008-07-31 2014-10-30 Almatec Maschinenbau Gmbh Membranpumpe
CN102292908A (zh) * 2008-12-17 2011-12-21 发现技术国际股份有限公司 有高力矩的压电电机
CN102817819B (zh) * 2011-06-10 2016-06-08 德昌电机(深圳)有限公司 微型气泵
WO2013008833A1 (ja) * 2011-07-11 2013-01-17 応研精工株式会社 ダイヤフラムポンプ
TWI605217B (zh) * 2016-04-28 2017-11-11 科際精密股份有限公司 洩壓裝置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2991723A (en) * 1958-02-05 1961-07-11 Gen Motors Corp Wobble plate diaphragm pump
US4286932A (en) * 1978-02-14 1981-09-01 Nippondenso Co., Ltd. Diaphragm pump
US4455125A (en) * 1980-12-15 1984-06-19 Irwin Everett F Rotating cylinder fluid pressure device
US4396357A (en) * 1981-04-06 1983-08-02 Product Research And Development Diaphragm pump with ball bearing drive
DE3139925A1 (de) * 1981-10-08 1983-07-14 Hewlett-Packard GmbH, 7030 Böblingen Hochdruck-dosierpumpe
EP0100149A1 (en) * 1982-07-05 1984-02-08 Vfp Fluid Power Limited Diaphragm pumps
JP2551757B2 (ja) * 1986-06-09 1996-11-06 応研精工株式会社 小型ポンプ
US4801249A (en) * 1986-06-09 1989-01-31 Ohken Seiko Co., Ltd. Small-sized pump
JP2745526B2 (ja) * 1988-03-28 1998-04-28 株式会社島津製作所 往復動型送液ポンプ
JP3373558B2 (ja) * 1992-04-23 2003-02-04 松下電工株式会社 小型ポンプ装置
JP3200693B2 (ja) * 1992-11-05 2001-08-20 応研精工株式会社 ダイヤフラムポンプ
US5368452A (en) * 1993-07-20 1994-11-29 Graco Inc. Double diaphragm pump having two-stage air valve actuator
DE4328559C5 (de) * 1993-08-25 2004-11-25 Knf-Neuberger Gmbh Membranpumpe mit wenigstens zwei Membranen
JPH0953569A (ja) * 1995-08-11 1997-02-25 Ouken Seiko Kk 小型ポンプ
JP3141784B2 (ja) * 1996-07-10 2001-03-05 双葉電子工業株式会社 受信アンテナ選択方法およびダイバーシティ受信機
US5950055A (en) * 1997-04-18 1999-09-07 Ricoh Company, Ltd. Powder pump and image forming apparatus having the powder pump and method therefor

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002106471A (ja) * 2000-09-28 2002-04-10 Mitsumi Electric Co Ltd 小型ポンプ
JP4617554B2 (ja) * 2000-09-28 2011-01-26 ミツミ電機株式会社 小型ポンプ
JP2007250218A (ja) * 2006-03-14 2007-09-27 Equos Research Co Ltd 燃料電池システム
KR100853752B1 (ko) 2007-05-11 2008-08-22 주식회사 락앤락 핸디형 진공 흡입 장치
JP2018003677A (ja) * 2016-06-30 2018-01-11 コイト電工株式会社 ポンプ機構及び流体供給装置
WO2018037443A1 (ja) * 2016-08-22 2018-03-01 柴田科学株式会社 多気筒式ダイヤフラムポンプ

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