JPH11126491A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH11126491A
JPH11126491A JP14464398A JP14464398A JPH11126491A JP H11126491 A JPH11126491 A JP H11126491A JP 14464398 A JP14464398 A JP 14464398A JP 14464398 A JP14464398 A JP 14464398A JP H11126491 A JPH11126491 A JP H11126491A
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write
cell
column
transistor
data
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JP14464398A
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Shoichiro Kawashima
将一郎 川嶋
Ryuhei Sasagawa
隆平 笹川
Makoto Hamaminato
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Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 書込みサイクルを短縮して動作の高速化を図
ることを目的とする。 【解決手段】 マトリクス状に配列されたセルを有する
半導体記憶装置において、各セルはドライバトランジス
タ(Q1)と、読出しワード線で制御され、読出しビッ
ト線に読み出したデータを出力する読出しトランジスタ
(Q2)と、書込みワード線で制御され、ドライバトラ
ンジスタのゲートに接続されるセルキャパシタに書込み
ビット線からの書込みデータを供給する書込みトランジ
スタ(Q3)と、コラム書込み選択信号線で制御され、
前記書込みトランジスタに直列に接続されるコラム書込
み選択トランジスタ(Q4)とを有し、データの書込み
時、書込みビット線からの書込みデータを、コラム書込
み選択トランジスタとワード線につながる書込みトラン
ジスタの両方を介して、セルキャパシタに供給する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置に関
し、より詳細にはDRAM(Dynamic Rand
om Access Memory)デバイスに関す
る。より特定すれば、本発明はDRAMデバイスの動作
(サイクルタイム)の高速化に関する。現在、一般的な
DRAMデバイスは、1トランジスタと1キャパシタか
らなるメモリセルを採用し、高集積化を達成している。
読出しはセルの電荷をビット線の電荷と分配したハイイ
ンピーダンスの状態で行うため、読出し速度が遅い。ま
た、セルデータは破壊読出しを行うため、同一ワード線
で選択されたセルに対して、全体をセンスアンプで増幅
して再書込みを行う必要がある。アドレスアクセスタイ
ムはCPU等の高速化に対して、5〜6倍以上に遅くな
って、高速転送I/Oを用いても、レイテンシは5〜1
0となっている。
【0002】また、書込み動作においても、同一ワード
線につながるセルのデータは破壊されるので、書込むセ
ル以外についても、まず読出し動作を行い、続いてリス
トア動作を行う必要があり、書込みサイクルもレイテン
シの同程度以上となる。本発明は、SRAMデバイス程
度の書込みサイクルとROM程度の読出しサイクルを提
供し、セル面積はSRAMより縮小した半導体記憶装置
に関する。
【0003】
【従来の技術】容量性のメモリセルとして、1970年
代の3トランジスタDRAMデバイスがある。この3ト
ランジスタDRAMデバイスの構成を図3に示す。1メ
モリセルは、ドライバトランジスタQ1、読出しトラン
ジスタQ2及び書込みトランジスタQ3からなる。記憶
容量を構成するセルキャパシタ(波線で示す)は、ドラ
イバトランジスタQ1のゲートに接続されている。読出
しトランジスタQ2は、読出しワード線Read WL
n(n=0、1、・・・、n)で制御され、書込みトラ
ンジスタQ3は、書込みワード線WriteWLnで制
御される。読出しトランジスタQ2は読出しビット線R
eadBLnに接続され、書込みトランジスタQ3は書
込みビット線WriteBLnに接続されている。な
お、以下の説明では、ビット線やワード線のRead及
びWriteをそれぞれR及びWと略記する。
【0004】読出しに関しては、セルキャパシタをドラ
イバトランジスタQ1のゲートに接続しているため、読
出しワード線RWLで読出しトランジスタQ2を導通さ
せても、記憶容量(セルキャパシタ)の電位は保たれ、
非破壊読出しとなる。従って、読出し後の再書込みは不
要で、読出しサイクルは短縮される。また、ドライバト
ランジスタQ1を通して読出しビット線RBLをグラン
ドGNDに引き下げるか、引き下げないかの電流駆動の
セルデータの読出しのため、読出しビット線RBLの電
圧変化は急速で、高速読出しが可能である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この3
トランジスタ構成では、データの書込み時に、破壊書込
みとなる。これを図4を参照して説明すると、書込みワ
ード線WWLで選択される全てのセルは、各々のメモリ
セルノードと書込みビット線WBLが書込みトランジス
タQ3を通じて導通するため、各々の書込みビット線の
電位がセルキャパシタに注入されてしまう。例えば、書
込みワード線WWL0が選択されると、これに接続され
るA、B等のメモリセルのセルキャパシタに、それぞれ
の書込みビット線WBL0、WBL1等の電位、すなわ
ちデータが書き込まれてしまう。
【0006】このため、図4のセルAやBのデータ書込
みサイクルに示すように、1書込みサイクルは読出し動
作とリストア動作とが必要となる。すなわち、目的とす
るセル、例えばセルAにデータを書き込む場合に、まず
読出しワード線RWL0を駆動して、これに接続される
1ワード線分のセルデータを読出しビット線RBL0、
RBL1・・・に読出す。この読み出したデータを各ビ
ット線に接続されているセンスアンプ(図示を省略)で
ラッチしておいて、リストア動作、すなわちラッチした
データを再度セルに書込み、目的のセルAには、書込み
ビット線WBL0を介して、上記リストア動作のタイミ
ングで書込みデータを供給する。
【0007】図4の例では、セルAの書込み動作時、セ
ルBのデータ(ハイレベル)が読出しビット線RBL1
に読出され、リストア動作で書込みビット線WBL1を
ハイレベルに駆動することで、セルBにハイレベルのデ
ータを再度書込む。このように、書込み動作では、読出
しと再書込み(リストア)の2つの動作を連続して行う
必要があり、書込みサイクルの短縮はできない。なお、
図4の読出しサイクルは、書込みサイクルと同一サイク
ル時間のように図示してあるが、読出しに必要な時間
は、図示するようにその半分の時間でよい。
【0008】従って、本発明は上記従来技術の問題点を
解決し、書込みサイクルを短縮して動作の高速化を図る
ことを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、マトリクス状に配列されたセルを有する半導体記憶
装置において、各セルはドライバトランジスタ(後述す
る実施例のトランジスタQ1に相当)と、読出しワード
線で制御され、読出しビット線に読み出したデータを出
力する読出しトランジスタ(実施例のトランジスタQ2
に相当)と、書込みワード線で制御され、ドライバトラ
ンジスタのゲートに接続されるセルキャパシタ(C)に
書込みビット線からの書込みデータを供給する書込みト
ランジスタ(実施例のトランジスタQ3に相当)と、コ
ラム書込み選択信号線で制御され、前記書込みトランジ
スタに直列に接続されるコラム書込み選択トランジスタ
(実施例のトランジスタQ4に相当)とを有する構成と
する。
【0010】請求項2に記載の発明は、請求項1におい
て、前記各セルは、データの書込み時、書込みビット線
からの書込みデータを、コラム書込み選択トランジスタ
とワード線に制御される書込みトランジスタの両方を介
して、セルキャパシタに供給することを特徴とする半導
体記憶装置である。請求項3に記載の発明は、請求項1
または2において、アドレス線をデコードすることによ
り前記各セルの中から少なくともいずれか1つのセルを
指定するデコード手段(後述する実施例のコラムアドレ
スバッファ14、コラムデコーダ15に相当)と、デー
タの書込み時に、指定されたセルの書込みビット線に書
込みデータを供給し、更に該セルのコラム書込み選択信
号線を選択する選択手段(後述する実施例のコラムセレ
クタ16、ライトコラム線ドライバ17に相当)とを有
し、選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラ
ム書込み選択トランジスタを駆動することを特徴とする
半導体記憶装置である。
【0011】データの書込み時、データを書込むセルの
み、直列の書込みトランジスタとコラム書込み選択トラ
ンジスタの両方をオンにすることは、データを書込まな
いセルにおいては書込みトランジスタとコラム書込み選
択トランジスタのいずれかをオフにすることである。よ
って、本発明の半導体記憶装置は、セルキャパシタと書
込みビット線とは接続されず、選択されないセルのセル
キャパシタのデータが破壊されることはない。このよう
にして、非破壊書込みが可能となる。よって、従来のよ
うに読出してリストアする必要はなく、書込み動作を高
速化することができる。
【0012】請求項4に記載の発明は、請求項1または
2において、読出しビット線と隣接するセルのコラム書
込み選択信号線とは、共通化された信号線であることを
特徴とする。また、請求項5に記載の発明は、請求項4
において、アドレス線をデコードすることにより前記各
セルの中から少なくともいずれか1つのセルを指定する
デコード手段(後述する実施例のコラムアドレスバッフ
ァ14、コラムデコーダ15に相当)と、データの書込
み時に、指定されたセルの書込みビット線に書込みデー
タを供給し、更に該セルの前記共通化された信号線を選
択する選択手段(後述する実施例のコラムセレクタ1
6、ライトコラム線ドライバ17に相当)とを有し、選
択された信号線の制御で、指定されたセルのコラム書込
み選択トランジスタを駆動することを特徴とする。請求
項4または5の構成は、後述する第2の実施例に相当す
る。
【0013】請求項6に記載の発明は、請求項1または
2において、各セルの読出しビット線とコラム書込み選
択信号線とは、共通化された信号線であることを特徴と
する。また、請求項7に記載の発明は、請求項6におい
て、アドレス線をデコードすることにより前記各セルの
中から少なくともいずれか1つのセルを指定するデコー
ド手段(後述する実施例のコラムアドレスバッファ1
4、コラムデコーダ15に相当)と、データの書込み時
に、指定されたセルの書込みビット線に書込みデータを
供給し、更に該セルの前記共通化された信号線を選択す
る選択手段(後述する実施例のコラムセレクタ16、ラ
イトコラム線ドライバ17に相当)とを有し、選択され
た信号線の制御で、指定されたセルのコラム書込み選択
トランジスタを駆動することを特徴とする。請求項6ま
たは7の構成は、後述する第3の実施例に相当する。
【0014】請求項8に記載の発明は、請求項1または
2において、読出しビット線と隣接するセルの書込みビ
ット線とは、共通化された信号線であることを特徴とす
る。また、請求項9に記載の発明は、請求項8におい
て、アドレス線をデコードすることにより前記各セルの
中から少なくともいずれか1つのセルを指定するデコー
ド手段(後述する実施例のコラムアドレスバッファ1
4、コラムデコーダ15に相当)と、データの書込み時
に、指定されたセルの前記共通化された信号線に書込み
データを供給し、更に該セルのコラム書込み選択信号線
を選択する選択手段(後述する実施例のコラムセレクタ
16、ライトコラム線ドライバ17に相当)とを有し、
選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラム書
込み選択トランジスタを駆動することを特徴とする。請
求項8または9の構成は、後述する第4の実施例に相当
する。
【0015】請求項10に記載の発明は、請求項1また
は2において、各セルの読出しビット線と書込みビット
線とは、共通化された信号線であることを特徴とする。
また、請求項11に記載の発明は、請求項10におい
て、アドレス線をデコードすることにより前記各セルの
中から少なくともいずれか1つのセルを指定するデコー
ド手段(後述する実施例のコラムアドレスバッファ1
4、コラムデコーダ15に相当)と、データの書込み時
に、指定されたセルの前記共通化された信号線に書込み
データを供給し、更に該セルのコラム書込み選択信号線
を選択する選択手段(後述する実施例のコラムセレクタ
16、ライトコラム線ドライバ17に相当)とを有し、
選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラム書
込み選択トランジスタを駆動することを特徴とする。請
求項10または11の構成は、後述する第5の実施例に
相当する。
【0016】請求項4から11に記載の発明は、信号線
の数を減らすことで、セルアレイの一層の小型化を可能
とする構成である。請求項12に記載の発明は、請求項
1または2において、書込みビット線とセルキャパシタ
との間に、前記ワード線につながる書込みトランジスタ
及びコラム書込み選択トランジスタと直列に書込み制御
トランジスタ(後述する実施例のトランジスタQ5)を
設け、該書込み制御トランジスタを隣接するセルに係る
書込みビット線で制御すると共に、各セルにおいて、書
込みビット線、読出しビット線及びコラム書込み選択信
号線とを共通化した信号線で構成することを特徴とす
る。また、請求項13に記載の発明は、請求項12にお
いて、アドレス線をデコードすることにより前記各セル
の中から少なくともいずれか1つのセルを指定するデコ
ード手段(後述する実施例のコラムアドレスバッファ1
4、コラムデコーダ15に相当)と、データの書込み時
に、指定されたセルの前記共通化した信号線に書込みデ
ータを供給し、更に該セル隣接したセルの共通化した信
号線を選択する選択手段(後述する実施例のコラムセレ
クタ16、ライトコラム線ドライバ17に相当)とを有
し、選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラ
ム書込み選択トランジスタを駆動することを特徴とす
る。請求項12または13の構成は、後述する第6の実
施例に相当する。この構成は、信号線の数を更に減らす
ものであり、より一層のセルアレイの小型化が可能にな
る。
【0017】請求項14に記載の発明は、請求項1また
は2において、各セルにおいて、書込みビット線と読出
しビット線とを共通化した信号線で構成するとともに、
複数セルに係るコラム書込み選択信号線を同時に駆動す
ることで、複数ビットのデータを同時に複数セルに書込
むことを特徴とする。信号線の数を減らすと共に、同時
に複数のセルにデータを書き込めるので、後述するバイ
トワイド構成におけるライト・パー・ビットが可能であ
る。すなわち、ビット単位に選択的に同時に書込みたい
セルを指定することができる。なお、この構成は、後述
する第7の実施例に相当する。
【0018】請求項15に記載の発明は、請求項1また
は2において、各セルにおいて、読出しビット線とコラ
ム書込み選択信号線とを共通化した信号線で構成すると
ともに、複数セルに係るコラム書込み選択信号線を同時
に駆動することで、複数ビットを同時に複数セルに書込
むことを特徴とする。信号線の数を減らすと共に、同時
に複数のセルにデータを書き込めるので、後述するバイ
トワイド構成におけるライト・パー・ビットが可能であ
る。すなわち、ビット単位に選択的に同時に書込みたい
セルを指定することができる。なお、この構成は、後述
する第8の実施例に相当する。
【0019】請求項16に記載の発明は、請求項1また
は2記載において、読出しビット線と隣接するセルの書
込みビット線とを共通化した信号線で構成するととも
に、読出し及び書込み動作を交互に行い、共通化した信
号線上に現われる読出しデータを隣のコラムのセルに書
込むことで、データを順次シフトすることを特徴とす
る。この構成は、後述する第9の実施例に相当する。
【0020】請求項17に記載の発明は、請求項1また
は2において、各セルにおいて、書込みビット線と読出
しビット線とを共通化した信号線で構成するとともに、
読出し及び書込み動作を交互に行い、共通化した信号線
上に現われる読出しデータを同一コラムの別のセルに書
込むことで、データを順次シフトすることを特徴とす
る。この構成は、後述する第10の実施例に相当する。
【0021】請求項18に記載の発明は、請求項4乃至
17いずれか一項において、該書込みトランジスタと該
コラム書込み選択トランジスタに置き換えて、書込みワ
ード線とコラム書込み選択信号線を入力とし、書込み選
択信号線を出力とするAND回路(後述する実施例のA
ND回路101に相当)と、書込み選択信号線で制御さ
れ、ドライバトランジスタのゲートに接続されるセルキ
ャパシタに、書込みビット線からの書込みデータを供給
する書込み選択トランジスタ(後述する実施例のトラン
ジスタ101に相当)とを有することを特徴とする。こ
の構成は、後述する第11から第19の実施例に相当す
る。
【0022】
【発明の実施の形態】本発明の原理は、書込み動作時に
も非破壊動作を行うことができるように、3トランジス
タ構成のセルにコラム書込み選択トランジスタを設け
る。これをコラム書込み選択信号等の制御信号で制御
し、書込みワード線とコラム書込み選択信号が通るコラ
ム選択信号線で同時に選択されたセルのみが、書込みビ
ット線に導通され、書込みデータがそのセルのセルキャ
パシタに与えられる。半選択のセル(同一書込みワード
線で選択されるが、コラムが選択されていないもの)
は、コラム選択信号線が非選択なので、対応する書込み
ビット線とは接続されず、セルキャパシタのデータは破
壊されない。
【0023】このように、非破壊書込みとなるため、書
込みワード線上の他のセルに対する読出しと再書込み動
作が不要となり、代わりに書込み動作のみが行われるた
め、書込みサイクルを短縮できる。すなわち、SRAM
デバイスと同等の書込み時間でデータを書き込むことが
できる。図1は、本発明の第1の実施例を示す回路図で
ある。また、図2は、セルAにハイレベルを書込み、セ
ルBにローレベルを書込み、セルAの読出し及びセルB
の読出しをこの順で行った場合の図1の回路の動作を示
すタイミング図である。
【0024】図1に示すように、各セルに第4のトラン
ジスタQ4を設ける。第4のトランジスタQ4は、上記
コラム書込み選択トランジスタとして機能する。コラム
書込み選択トランジスタQ4は、書込みビット線WBL
と書込みワード線WWLにつながる書込みトランジスタ
Q3との間に設けられている。換言すれば、トランジス
タQ3とQ4は直列に接続されている。書込み選択トラ
ンジスタQ4のゲートは、コラム書込み選択信号線Wr
ite ColumnM(M=0、1、・・・M)に接
続されている。以下、Write ColumnMをW
COLと略記する。尚、実施例では、書込みビット線W
BLが、手書込みトランジスタQ3、書込み選択トラン
ジスタQ4の順に接続されているが、必要に応じて、接
続順を変更しても良い。書込みビット線WBLと書込み
ワード線WWLにつながる書込みトランジスタQ3は、
コラム書込み選択トランジスタQ4との間に設けられて
いる。
【0025】次に、図2を参照して図1の構成の動作を
説明する。まず、書込みワード線WWL0をハイレベル
にして選択し、同時にコラム書込み選択信号WCOL0
をハイレベルにして選択する。これ以外の書込みワード
線WWL1〜WWLnとコラム書込み選択信号線WCO
L1〜WCOLMは、ローレベルで非選択とする。これ
により、書込みビット線WBL0とセルAのセルキャパ
シタCとが導通する。従って、書込みビット線WBL0
にハイレベルを与えると、ノードA(ノードAと言った
場合には、セルAのドライバトランジスタQ1のゲート
とセルキャパシタCとの接続点)の電位も追従してハイ
レベルになる。この時、例えばセルBの対応するノード
Bに代表される、同一書込みワード線WWL0につなが
るセルのノード(セルキャパシタ)は、各々の書込みビ
ット線WBL1〜WBLMと接続されていないため、そ
のままのレベルを保持している。この後、書込みワード
線WWL0とコラム書込み選択線WCOL0をローレベ
ルに戻し、セルAの書込みサイクルは終了する。尚、セ
ルキャパシタCは、ドライバトランジスタQ1のゲート
容量を利用する場合と、容量素子を別途形成する場合が
ある。
【0026】次に、セルBにデータを書込むために、書
込みワード線WWL0をハイレベルにして選択し、同時
にコラム書込み選択信号WCOL1をハイレベルにして
選択する。これ以外の書込みワード線WWL1〜WWL
nとコラム書込み選択信号線WCOL0、WCOL2〜
WCOLMは、ローレベルで非選択とする。これによ
り、書込みビット線WBL1とセルBのセルキャパシタ
Cとが導通する。従って、書込みビット線WBL1にロ
ーレベルを与えると、ノードBの電位も追従してローレ
ベルになる。この時、例えばセルAの対応するノードA
に代表される、同一書込みワード線WWL0につながる
セルのノード(セルキャパシタ)は、各々の書込みビッ
ト線WBL0、WBL2〜WBLMと接続されていない
ため、そのままのレベルを保持している。この後、書込
みワード線WWL0とコラム書込み選択線WCOL1を
ローレベルに戻し、セルBの書込みサイクルは終了す
る。
【0027】次に、読出しワード線RWL0をハイレベ
ルにして選択する。これ以外の読出しワード線RWL1
〜RWLnと全てのコラム書込み選択信号線WCOL0
〜WCOLMは、ローレベルで非選択である。これによ
り、同一の読出しワード線RWL0で選択された複数の
セルは、それぞれ読出しビット線RBL0〜RBLMに
接続される。これらのセルのセルキャパシタは、それぞ
れのドライバトランジスタQ1のゲートに接続されてい
るため、非破壊読出しとなる。通常のコラムデコードさ
れた信号により選択されるコラムの読出しビット線RB
L0のみがパルス的にプルアップされて、ハイレベルに
一時的に上がる。セルAのデータはハイであるから、そ
のドライバトランジスタQ1はオンしており、読出しト
ランジスタQ2を通して、読出しビット線RBL0のレ
ベルを引き下げる。一定期間後にこの読出しビット線R
BL0のレベルを判定し、その反転したものがセルAの
データとして読出される(この場合、読出しビット線R
BL0はローレベルなので、セルAのデータはハイと判
別される)。非破壊読出しなので、再書込みは必要な
く、読出しワード線RWL0をローレベルに戻して、セ
ルAの読出しサイクルは終了する。
【0028】次に、読出しワード線RWL0をハイレベ
ルにして選択する。これ以外のワード線RWL1〜RW
Lnとコラム書込み選択線WCOL0〜WCOLMはロ
ーレベルとする。通常のコラムデコードされた信号によ
り選択されるコラムの読出しビット線RBL1のみがパ
ルス的にプルアップされたハイレベルに一時上がる。セ
ルBのデータはローであるから、そのドライバトランジ
スタQ1はオフしており、読出しトランジスタQ2がオ
ンしても、読出しビット線RBL1のレベルを引き下げ
ない。一定期間後に、この読出しビット線RBL1のレ
ベルを判定し、その反転したものがセルのデータとして
読出される(この場合、ビット線レベルはハイであるか
ら、セルデータはローと判別される)。非破壊読出しな
ので再書込みは必要なく、読出しワード線RWL0をロ
ーレベルに戻して、セルBの読出しサイクルは終了す
る。
【0029】なお、図2の1サイクルは、図4の1サイ
クルの半分程度の長さである。すなわち、図2では図面
を読み易くするために、図2の2サイクルが図4の1サ
イクルに相当するように拡大して図示してある。上記第
1の実施例のDRAMデバイスでは、非破壊読出し、非
破壊書込みなので、ビット線の本数と同じ数のセンスア
ンプは必要なく、×1構成のメモリ(読出し及び書込み
共1ビット単位)であれば、センスアンプ1つとセレク
タゲート及びコラムデコーダがあればよい。すなわち、
従来のDRAMデバイスに対してセンスアンプの数を減
らし、消費電力を削減できる。ただしその場合、セルキ
ャパシタに対しては、通常の1トランジスタ1キャパシ
タのDRAM動作と同様にリフレッシュ動作を行う必要
があり、1つのセンスアンプでは同時に並列にリフレッ
シュはできず、1セル毎に読出しサイクルと書込みサイ
クルを行っていく必要があるため、リフレッシュを前提
とする場合には、後述するビット線によるデータシフト
を行う必要がある。
【0030】次に、本発明の第2の実施例を図5及び図
6を参照して説明する。第2の実施例は、前述の第1の
実施例の第1の変形例と言える。第2の実施例は、コラ
ム書込み選択信号線WCOLと隣接するコラムの読出し
ビット線RBL0とを共通化して、縦方向の配線本数を
1セル当り2本に削減する。より特定すれば、左のセル
列の読出しビット線RBL(M−1)を右のセル列のコ
ラム書込み選択信号線WCOL(M)としても用いる。
例えば、図5において、セルAの読出しビット線RBL
0とセルBのコラム書込み選択信号線WCOL1とは、
共通化されている。なお、図5では図面を簡単にするた
めに、1ワード分のセルのみ示しているが、図1と同様
に縦方向にもセルが設けられており、全体としてセルは
マトリクス状に配列されている。
【0031】例えば、図6を参照して説明すると、セル
Aの書込みサイクルでは、読出しワード線RWL0は非
選択(ローレベル)なのでトランジスタQ2はオフとな
り、読出しビット線RBL0はセルから切り離されてい
る状態である。従って、セルAの書込みサイクル中にあ
いている読出しビット線RBL0を、セルBの書込み時
にはコラム書込み選択信号線WCOL1として用いるこ
とができる。逆に、セルAの読出し時、セルBのコラム
書込み選択トランジスタQ4がオンしても、書込みワー
ド線WWL0は非選択(ローレベル)なので、セルBの
セルキャパシタが書込みビット線WBL1と接続される
ことはない。
【0032】なお、書込みサイクルにおいては、この共
通化された配線にはコラム書込み選択信号を出力する駆
動回路が接続され、読出し時にはこの駆動回路との接続
を切り、第1の実施例と同様にセンスアンプとパルス的
なプルアップ回路に接続される。なお、この構成は後述
する。次に、本発明の第3の実施例を図7及び図8を参
照して説明する。第3の実施例は、前述の第1の実施例
の第2の変形例と言える。第3の実施例は、各セルにお
いて、コラム書込み選択信号線WCOL(N)と読出し
ビット線RBL(N)とを共通化して、縦方向の配線本
数を1セル当り2本に削減する。このために、書込みト
ランジスタQ3が書込みビット線WBL0に直結し、コ
ラム書込み選択トランジスタQ4はセルキャパシタCと
トランジスタQ3との間に位置している。なお、図7で
は図面を簡単にするために、1ワード分のセルのみ示し
ているが、図1と同様に縦方向にもセルが設けられてお
り、全体としてセルはマトリクス状に配列されている。
【0033】図8を参照して説明すると、セルAの書込
みサイクルでは、読出しワード線RWL0は非選択(ロ
ーレベル)なので、読出しビット線RBL0はセルから
切り離されている状態である。従って、セルAの書込み
サイクル中にあいている読出しビット線RBL0を、セ
ルAの書込み時にはコラム書込み選択信号線WCOL0
として用いることができる。逆に、セルAの読出し時、
コラム書込み選択信号線WCOL0は不要であり、読出
しビット線RBL0として用いることができる。この場
合、読出しビット線RBL0がハイレベルになるのでコ
ラム書込み選択トランジスタQ4がオンするが、書込み
ワード線WWL0がローレベルなので、セルAのセルキ
ャパシタCが書込みビット線WBL0に接続されること
はない。
【0034】次に、本発明の第4の実施例を図9及び図
10を参照して説明する。第4の実施例は、前述の第1
の実施例の第3の変形例と言える。第4の実施例は、読
出しビット線RBLと隣接するコラムの書込みビット線
WBLとを共通化して、縦方向の配線本数を1セル当り
2本に削減する。より特定すれば、左のセル列の読出し
ビット線RBL(M−1)を右のセル列の書込みビット
線WBL(M)としても用いる。例えば、図9におい
て、セルAの読出しビット線RBL0とセルBの書込み
ビット線WBL1とは、共通化されている。なお、図9
では図面を簡単にするために、1ワード分のセルのみ示
しているが、図1と同様に縦方向にもセルが設けられて
おり、全体としてセルはマトリクス状に配列されてい
る。
【0035】例えば、図10を参照して説明すると、セ
ルAの書込みサイクルでは、読出しワード線RWL0は
非選択(ローレベル)なので、読出しビット線RBL0
はセルから切り離されている状態である。従って、セル
Aの書込みサイクル中にあいている読出しビット線RB
L0を、セルBの書込み時には書込みビット線WBL1
として用いることができる。逆に、セルAの読出し時、
セルAから読みだされたデータがハイレベルであって
も、書込みワード線WWL0は非選択(ローレベル)な
ので、読出されたデータがセルBのセルキャパシタに書
き込まれることはない。
【0036】なお、書込みサイクルにおいては、この共
通化された配線には書込みデータが加えられ、読出し時
には書込みデータの代わりに、センスアンプとパルス的
なプルアップ回路に接続される。なお、この構成は後述
する。次に、本発明の第5の実施例を図11及び図12
を参照して説明する。第5の実施例は、前述の第1の実
施例の第4の変形例と言える。第5の実施例は、各セル
において、書込みビット線WBLと読出しビット線RB
Lとを共通化して、縦方向の配線本数を1セル当り2本
に削減する。なお、図11では図面を簡単にするため
に、1ワード分のセルのみ示しているが、図1と同様に
縦方向にもセルが設けられており、全体としてセルはマ
トリクス状に配列されている。
【0037】図12を参照して説明すると、セルAの書
込みサイクルでは、読出しワード線RWL0は非選択
(ローレベル)なので読出しトランジスタQ2がオフ
し、セルは読出しビット線RBL0から切り離されてい
る状態である。共通化された書込みビット線WBL0の
データはトランジスタQ3、Q4を通り、セルAのセル
キャパシタに書き込まれる。セルAからデータを読出す
場合には、書込みワード線WWL0およびコラム書込み
選択信号線WCOL0はローレベルにあるのでトランジ
スタQ3、Q4はオフである。一方、読出しワード線R
WL0はハイレベルなのでトランジスタQ2がオンし、
共通化された読出しビット線RBL0にセルキャパシタ
Cに従い、トランジスタQ1がオン又はオフし、データ
が読出される。
【0038】従って、セルAの書込みサイクル中にあい
ている読出しビット線RBL0を、セルAの書込み時に
は書込みビット線WBL0として用いることができる。
逆に、セルAの読出し時、書込みビット線WBL0は不
要であり、読出しビット線RBL0として用いることが
できる。次に、本発明の第6の実施例を図13及び図1
4を参照して説明する。第6の実施例は、前述の第1の
実施例の第5の変形例と言える。第6の実施例は、各セ
ルの読出しビット線RBLと書込みビット線WBLを共
通化する(従って、図13ではビット線を単にBLと表
記する)とともに、更に隣接するコラム書込み選択信号
線WCOLとを共通化して、縦方向の配線本数を1セル
当り1本に削減する。このために、各セルに第5のトラ
ンジスタQ5を設け、右隣りのコラムの共通化された信
号線で制御するようにする。例えば、セルAのトランジ
スタQ5は、書込みトランジスタQ3とコラム書込み選
択トランジスタQ4との間に設けられ、書込みデータは
ビット線から3つのトランジスタQ3、Q5、Q4を介
してセルキャパシタに書き込まれる構成である。トラン
ジスタQ3は書込みワード線WWLで制御され、トラン
ジスタQ5は右隣りのコラムのビット線BLで制御さ
れ、コラム書込み選択トランジスタQ4は左隣りのビッ
ト線で制御される。例えば、図13において、セルBの
トランジスタQ3は書込みワード線WWL0で制御さ
れ、トランジスタQ5は右隣りのビット線BL2(図で
はBL2は省略してあるが、図示のBL(M)のM=2
と考えればよい)で制御され、トランジスタQ4は左隣
りのコラム書込み選択信号WCOL0で制御される。な
お、セルAのコラム書込み選択トランジスタQ4はコラ
ム書込み選択信号WCOL(−1)で制御される。
【0039】なお、図13では図面を簡単にするため
に、1ワード分のセルのみ示しているが、図1と同様に
縦方向にもセルが設けられており、全体としてセルはマ
トリクス状に配列されている。書込みサイクルでは、読
出しワード線RWLは非選択(ローレベル)なので、読
出しビット線RBLはセルキャパシタCから切り離され
ている。従って、書込みサイクル中にあいている読出し
ビット線RBLを書込み時には書込みビット線WBLと
して用いることができる。逆に、読出し時に兼用した書
込みビット線WBLがハイレベルでもローレベルでも、
書込みワード線WWLが非選択(ローレベル)であれ
ば、セルキャパシタは書込みビット線WBLと接続され
ることはない。
【0040】一方、コラム書込み選択信号WCOLは、
両隣りのビット線BLをハイレベルとしてそのアンドに
相当する信号としてトランジスタQ4、Q5に与え、更
に書込みワード線WWLで選択されたセルのセルキャパ
シタを、トランジスタQ3を介してビット線BLに接続
する。例えば、図14において、セルBにデータを書き
込む場合、両隣りのビット線BL0とBL(M),及び
書込みワード線WWL0をハイレベルにすると、ビット
線BL1上のデータがセルBのトランジスタQ3、Q
5、Q4を介してセルキャパシタCに書き込まれる。
【0041】また、セルBの読出しサイクルでは、書込
みワード線WWL0を非選択状態(ローレベル)とし、
セルキャパシタをビット線BL1から切り離す。一方、
読出しワード線RWL0をハイレベルにすると、セルB
のデータがトランジスタQ2を介してビット線BL1に
読出される。この読出しサイクルでは、センスアンプと
パルス的なプルアップ回路をビット線に接続する。
【0042】以上説明した第1から第6の実施例は読出
し、書込みは1ビット単位に行う構成であった。以下に
説明する第7の実施例、及び第8の実施例は、バイトワ
イド構成(多ビット構成)でビット単位に選択的書込み
を行えるようにしたことを特徴とする。ライト・パー・
ビットとは、例えば8ビットや16ビットを一度に読出
し、書込むことができ、更に各ビット毎に書込み禁止制
御を行えるものである。例えば、8ビット単位の場合、
8ビットのうち上位4ビットに新たなデータを書込み、
下位4ビットは元のデータを保存するような機能であ
る。
【0043】図15及び図16は、本発明の第7の実施
例を示す図である。第7の実施例は、各セルにおいて、
書込みビット線WBLと読出しビット線RBLとを共通
化して、縦方向の配線本数を1セル当り2本に削減す
る。なお、図15では図面を簡単にするために、1ワー
ド分のセルのみ示しているが、図1と同様に縦方向にも
セルが設けられており、全体としてセルはマトリクス状
に配列されている。
【0044】図15の回路構成は、図11の回路構成と
同一であるが、図12の制御とは異なり、図16に示す
制御を行うことでライト・パー・ビットを実現してい
る。図16の動作は、図15のA、B、Cの3ビット構
成の場合を仮定した動作で、書込みサイクルでセルA、
Bにデータを書込みセルCは元のデータを保存する例で
ある。図16の動作は、理解を容易にするために3ビッ
ト構成であるが、勿論3ビットに限定されるものではな
く、その動作は図16から明らかである。
【0045】データを書込みたいセルA、Bのコラム書
込み選択信号WCOL0、WCOL1を同時にハイレベ
ルにし、セルCに対するコラム書込み選択信号WCOL
(M)をローレベルにする。また、書込みワード線WL
0をハイレベルにして選択し、選択されている複数セル
につながるビット線WBL0、WBL1に書込みデータ
を与えることで、セルAとBのセルキャパシタにデータ
を書込む。図16の例では、セルAとBにそれぞれハイ
レベルとローレベルが書き込まれる。また、セルCはハ
イレベルが保持される。読出しはビット線から書込みデ
ータを駆動する駆動回路を切り離し、読出しワード線R
WL0を選択し、各ビット線を選択して各パルスプルア
ップ手段とセンスアンプで並列に読出す。
【0046】図17及び図18は、本発明の第8の実施
例を示す図である。第8の実施例は、各セルにおいて、
コラム書込み選択信号線WCOLと読出しビット線RB
Lとを共通化して、縦方向の配線本数を1セル当り2本
に削減する。この点は、図7に示す回路構成と同一であ
る。その上で、バイトワイド構成(多ビット構成)でビ
ット単位に選択的に書込みを制御する。なお、図17で
は図面を簡単にするために、1ワード分のセルのみ示し
ているが、図1と同様に縦方向にもセルが設けられてお
り、全体としてセルはマトリクス状に配列されている。
【0047】図18は、書込みサイクルでセルAとBに
書込みを行い、セルCは元のデータを保存する場合の動
作を示す。セルAとBに対するコラム書込み選択信号W
COL0及びWCOL1を同時にハイレベルにすると共
に、書込みワード線WWL0をハイレベルにして選択
し、セルAとBに対する書込みビット線WBL0、WB
L1にデータを与えることで、セルAとBのセルキャパ
シタにデータを書込む。読出しは、コラム書込み選択信
号線WCOL0〜WCOL(M)から書込みコラム選択
手段を切り離し、読出しワード線RWL0を選択し、各
ビット線RBL0〜RBL(M)を選択して各パルスプ
ルアップ手段とセンスアンプにより並列にデータを読出
す。
【0048】図19及び図20は、本発明の第9の実施
例を示す図である。第9の実施例は、読出しビット線R
BLと隣接するコラムの書込みビット線WBLとを共通
化して、縦方向の配線本数を1セル当り2本に削減す
る。この点は、図9に示す回路構成と同一である。その
上で、シフトレジスタの機能を実現するように制御す
る。なお、図19では図面を簡単にするために、1ワー
ド分のセルのみ示しているが、図1と同様に縦方向にも
セルが設けられており、全体としてセルはマトリクス状
に配列されている。
【0049】図20を参照して、シフトレジスタ動作を
説明すると、まず、各サイクルの前半で読出しを行い、
読出しビット線RBLの電位をハイかローに確定させ
る。ゲイン型のセルなので、適切な時間を設定すれば、
パルスプルアップしていたビット線はグランドレベルに
引き下げられるか、電源電圧VDDにとどまるかの電源
振幅レベルの動作がセンスアンプを使わなくても実現で
きる。各サイクルの後半で書込みを行い、それを右隣り
のセルに書込みデータとして用いる。この読出しと書込
み動作からなる1サイクルで、セルキャパシタのデータ
が1セル分右へシフトできる。ただし、図20に示すよ
うに、データは反転していく。
【0050】ここでは、1つのワードでの横方向の転送
の例を示したが、読出しワード線と書込みワード線で異
なる番地を選択すれば、転送方向を斜め方向に設定でき
る。また、コラム書込み選択信号線WCOLを一部ロー
レベルに固定すれば、ビット単位の書込みと同様に、任
意のセルデータを保存できる。従って、部分的に転送す
ることもできる。
【0051】図21及び図22は、本発明の第10の実
施例を示す図である。第10の実施例は、各セルにおい
て、読出しビット線RBLと書込みビット線WBLとを
共通化して、縦方向の配線本数を1セル当り2本に削減
する。この点は、図11に示す回路構成と同一である。
その上で、同一コラム方向のシフトレジスタの機能を実
現するように制御する。なお、図21では図面を簡単に
するために、2ワード分のセルのみ示しているが、図1
と同様に縦方向にもセルが設けられており、全体として
セルはマトリクス状に配列されている。
【0052】図22を参照して動作を説明すると、最初
のサイクルで、まず読出しワード線RWL0を駆動して
セルA0、B0からデータを共通化された読出しビット
線RBL0、RBL1に読出し、次に書込みワード線W
WL0、コラム書込み選択信号線WCOL0、WCOL
1を駆動して読み出したデータをセルA0、B0に書込
む。これにより図22に示すように、セルA0、B0の
データは反転する。次に、読出しワード線RWL0を駆
動し、再度セルA0、B0のデータを出力する。反転デ
ータが書き込まれたので、読出しビット線RBL0、R
BL1の電位は反転する。次に、書込みワード線WWL
0とコラム書込み選択信号WCOL0とを駆動し、セル
A0にデータを書込む。これにより、セルA0のデータ
は元のレベルに戻り、セルB0のデータは反転されたま
まとなる。続いて、書込みワード線WWL1とコラム書
込み選択信号WCOL0とWCOL1とを駆動する。こ
れにより、セルA1、B1に共通化されたビット線BL
0、BL1のデータが書き込まれる。これにより、セル
A1、B1内のデータは最初のセルA0のデータとセル
B0のデータが転送されたことになる。最後に、読出し
ワード線RWL1を駆動してセルA1、B1からデータ
を共通化された読出しビット線RBL0、RBL1に読
出し、書込みワード線WWL1、コラム書込み選択信号
線WCOL0、WCOL1を駆動して読出したデータを
セルA1、B1に書込み、これによりセルA1、B1内
のデータは反転する。
【0053】このようにして、複数データをコラム方向
にシフトすることができる。また、以上の説明からわか
るように、リフレッシュは自己反転動作を2回行えばよ
い。従って、リフレッシュにセンスアンプを必要としな
い。また、書込み時にコラム書込み選択信号を選択する
と、データ反転、非選択ではデータ保持となるので、コ
ラム書込み選択信号による指定ビットの反転、すなわち
XOR演算が行える。更に、一回反転転送を行い、続け
て転送先で自己反転転送を行えば、コピーができる。更
に、一回自己反転転送を行い、転送を繰り返せば、複数
コピーができる。
【0054】以上説明した第1から第10の実施例は、
本発明の半導体記憶装置の要部のセルアレイを示すもの
であった。以下の説明では、これらを具備する半導体記
憶装置の全体構成を説明する。図23は、本発明の半導
体記憶装置(DRAMデバイス)の全体構成を示すブロ
ック図である。図示する半導体記憶装置は、メモリセル
アレイ10、ロウアドレスバッファ11、リードワード
デコーダ12、ライトワードデコーダ13、コラムアド
レスバッファ14、コラムデコーダ15、コラムセレク
タ16、ライトコラム線17、データ入力(DIN)バ
ッファ18、ライトアンプ19、DOUTバッファ2
0、センスアンプ21、クロックバッファ22、ライト
/リード(W/R)信号バッファ23、及びリフレッシ
ュコントローラ24とを具備する。
【0055】ロウアドレスはロウアドレスバッファ11
に一端格納された後、リードワードデコーダ12及びラ
イトワードデコーダ13に出力される。書込み/読出し
(W/R)信号(ライトイネーブル信号/WEに相当す
る)はバッファ23を介して、デコーダ12、13、ラ
イトコラム線ドライバ17、データ入力バッファ18、
ライトアンプ19、データ出力バッファ20及びセンス
アンプ21に与えられる。書込みが指示されている場合
には、ワードデコーダ13が活性化され、ロウアドレス
をデコードしてメモリセルアレイ10の書込みワード線
WWLを駆動する。読出しが指示されいる場合には、ワ
ードデコーダ12が活性化され、ロウアドレスをデコー
ドしてメモリセルアレイ10の読出しワード線RWLを
駆動する。
【0056】コラムアドレスはコラムアドレスバッファ
14に入力された後、コラムデコーダ15でデコードさ
れ、コラムセレクタ16及びライトコラムドライバ線1
7に出力される。コラムセレクタ16は、前述の書込み
ビット線WBL及び読出しビット線RBLをライトアン
プ19又はセンスアンプ21に選択的に接続する。ライ
トコラム線ドライバ17は、前述のコラム書込み選択信
号線WCOLを駆動する。外部からの書込みデータDI
Nは、データ入力バッファ18及びライトアンプ19を
介してコラムセレクタ16に与えられ、書込みビット線
WBLが駆動される。また、メモリセルアレイ10から
読出したデータはセンスアンプ21、データ出力バッフ
ァ20を介してデータ出力DOUTとして外部に出力さ
れる。
【0057】外部からのクロック信号CLKはクロック
バッファ22に入力された後、各部へ分配される。クロ
ックバッファ22はタイミング発生器を具備しており、
外部からのクロック信号CLKに基づき、後述する種々
のタイミング信号を生成する。リフレッシュコントロー
ル24はリフレッシュ信号に応答して、所定のリフレッ
シュ動作を制御する。
【0058】図24は、図23のワード線駆動系を示し
ている。図24のアドレスバッファ/プリデコーダが図
23のロウアドレスバッファ11の内部構成に相当す
る。また、図24のロウデコーダ、RWLドライバ、W
WLドライバが図23のリードワードデコーダ12及び
ライトワードデコーダ13に相当する。図24に示すワ
ード線駆動系は、上記第1から第10の実施例に共通の
構成である。
【0059】アドレスバッファ/プリデコーダは、4ビ
ット入力を16信号に展開する2つのデコーダ25、2
6を有する。ここでは、アドレス信号は16ビット構成
で、A0〜A7の8ビットがローアドレスを構成し、A
8〜A15がコラムアドレスを構成する。デコーダ25
はアドレスA0〜A3を16個の信号に展開し、次段の
ロウデコーダに出力する。同様に、デコーダ26はアド
レスA4〜A7を16信号に展開し、次段のロウデコー
ダに出力する。
【0060】ロウデコーダは256個のアンドゲート2
0 〜27255 からなり、デコーダ25、26からそれ
ぞれ1信号を受け取り、AND演算を施す。RWLドラ
イバ/WWLドライバは、トランジスタQ11〜Q14
及び2つのインバータ28R、28Wからなる単位回路
が256個設けられている。トランジスタQ11とQ1
3はPチャネルMOSトランジスタで、トランジスタQ
12とQ14はNチャネルMOSトランジスタである。
例えば、アンドゲート270の出力信号はトランジスタ
Q11〜Q14のゲートに接続される。トランジスタQ
11のソースは電源電圧VDDに接続され、トランジス
タQ12のソースはタイミング回路29に接続される。
また、トランジスタQ13のソースは電源電圧VDDに
接続され、トランジスタQ14のソースはタイミング回
路29に接続される。トランジスタQ11とQ12のド
レインはインバータ28Rの入力に接続され、インバー
タ28Rの出力は読出しワード線RWL0に接続され
る。トランジスタQ13とQ14のドレインはインバー
タ28Wの入力に接続され、インバータ28Wの出力は
書込みワード線WWL0に接続される。
【0061】タイミング回路29は、2つのNANDゲ
ートと5つのインバータから構成されており、図23の
バッファ23からの書込み/読出し信号W/Rとクロッ
クバッファ22からのワード線クロック信号WLCLK
とを入力して、書込み時と読出し時でそれぞれ負パルス
となる2つの信号を出力する。書込み時にローとなる信
号線はトランジスタQ14のソースに接続され、読出し
時にローとなる信号線はトランジスタQ12のソースに
接続される。
【0062】図25は、図1及び図2に示す本発明の第
1の実施例に対応したコラム系の構成を示す図である。
コラム系は各実施例に対応した構成である。図25に示
すコラム系は、アドレスバッファ/プリデコーダ、コラ
ムデコーダ及びWCOLドライバ/COLセレクタから
なる。アドレスバッファ/プリデコーダは図23のコラ
ムアドレスバッファ14に対応し、図25のコラムデコ
ーダは図23のコラムデコーダ15に対応し、図25の
コラムセレクタ/コラム書込み選択信号線ドライバ(C
OLセレクタ/WCOLドライバ)は図23のコラムセ
レクタ16及びライトコラム線ドライバ17に対応す
る。
【0063】アドレスバッファ/プリデコーダは、4ビ
ットを16信号に展開する2つのデコーダ30、31を
有する。前述したように、アドレス信号は16ビット構
成で、A8〜A15がコラムアドレスを構成する。デコ
ーダ30はアドレスA8〜A11を16信号に展開し、
次段のコラムデコーダに出力する。同様に、デコーダ3
1はアドレスA12〜A15を16信号に展開し、次段
のコラムデコーダに出力する。
【0064】コラムデコーダは256個のアンドゲート
320 〜32255 からなり、デコーダ30、31からそ
れぞれ1ビットを受け取り、AND演算を施す。WCO
Lドライバ/COLセレクタは、トランジスタQ15〜
Q18及び1つのインバータ33からなる単位回路が2
56個設けられている。トランジスタQ15はPチャネ
ルMOSトランジスタで、トランジスタQ16〜Q18
はNチャネルMOSトランジスタである。例えば、アン
ドゲート320 の出力信号はトランジスタQ15〜Q1
8のゲートに接続される。トランジスタQ15のソース
は電源電圧VDDに接続され、トランジスタQ16のソ
ースはタイミング回路36に接続される。また、トラン
ジスタQ17のドレインは書込みバスを介してライトア
ンプ19に接続され、トランジスタQ18のドレインは
読出しバスを介してセンスアンプ21に接続されてい
る。トランジスタQ15とQ16の接続点はインバータ
33の入力に接続され、その出力はコラム書込み選択信
号WCOL0を駆動する。トランジスタQ17のソース
は書込みビット線WBL0に接続され、トランジスタQ
18のソースは読出しビット線RBL0に接続されてい
る。
【0065】タイミング回路36は3つのインバータと
1つのNANDゲートからなり、書込み/読出し信号W
/Rがローレベルで書込みが指示されている時に、クロ
ックバッファ22から供給される書込み選択クロックW
COL CLKのハイレベルのタイミングでローレベル
を出力する。タイミング回路36の出力信号がローレベ
ルで書込みが指示され、0番目のコラムが指示される
と、コラムデコーダ15のANDゲート320 の出力が
ハイレベルになり、トランジスタQ16を介してローレ
ベルがインバータ33に与えられ、コラム書込み選択信
号WCOL0がハイレベルになる。また、この時トラン
ジスタQ17及びQ18はいずれもオンする。
【0066】図26は、データ入力バッファ18とライ
トアンプ19の一構成例を示す回路図である。データ入
力バッファ18はインバータ2つからなり、ライトアン
プ19は1つのインバータと1つのNANDゲートから
なる。クロックバッファ22からの書込みパルスのタイ
ミングで、データ入力バッファ18からの書込みデータ
を書込みバスに出力する。
【0067】図27は、センスアンプ21の2つの構成
例を示す回路図である。図27(A)はインバータセン
スアンプで、図27(B)はカレントミラーセンスアン
プである。インバータセンスアンプは3つのインバータ
21aと1つのPチャネルMOSトランジスタとからな
る。トランジスタのゲートには、プリチャージパルスが
与えられ、読出しバスを電源電圧VDDにプリチャージ
する。読出しバスとデータ出力バッファ20(図23)
との間に3つのインバータが介在し、反転出力を構成す
る。カレントミラーセンスアンプは図27(A)のイン
バータアンプを置き換えるもので、図27(A)のまる
で囲った部分を構成する。図27(B)に示すように、
カレントミラーセンスアンプは、2つのPチャネルMO
Sトランジスタと2つのNチャネルMOSトランジスタ
とからなる。読出しバスの電位Vinをセンスして、デ
ータ出力バッファ20にセンスした電圧Voutを出力
する。
【0068】図28は、図5及び図6を参照して説明し
た本発明の第2の実施例に対応するコラム系の構成を示
す図である。図28のコラム系は、コラムデコーダ1
5、コラムセレクタ16及びHIZ−WCOLと表記さ
れているライトコラム線ドライバ17からなる。なお、
アドレスバッファ/プリデコーダ14は、図25に示す
構成と同一であり、図示を省略してある。コラムセレク
タ16は、トランジスタQ15〜Q18と、インバータ
34とを有する。ドライバ17は、トランジスタQ19
とインバータ33を有する。第2の実施例では、読出し
ビット線RBLと右隣りのコラムのコラム書込み選択信
号線WCOLとが共通化されており(RBLn=WCO
Ln+1)、ドライバ17はこれを実現する。すなわ
ち、0番目のコラムのトランジスタQ18のドレイン
と、1番目のコラムのインバータ33の出力とが接続さ
れており、1番目のコラムのインバータ33のオンオフ
がトランジスタQ19で制御される。トランジスタQ1
8がオンの時はトランジスタQ19がオフであり、AN
Dゲート321 の出力はローであるから、トランジスタ
Q15がオンで、インバータ33の入力はハイとなる。
従って、インバータ33のPチャネルMOSトランジス
タはオフし、1番目のコラムのインバータ33はハイイ
ンピーダンスである。すなわち、共通化された信号線は
読出しビット線RBL0として機能する。トランジスタ
Q18がオフの時はトランジスタQ19がオンであり、
ANDゲート321 の出力がローであれば1番目のコラ
ムのインバータ33はローを出力する。ANDゲート3
1 の出力がハイでタイミング回路36からの信号がロ
ーであればトランジスタQ16がオンし、インバータ3
3の入力はローとなり、インバータ33はハイを出力す
る。すなわち、共通化された信号線は1番目のコラムの
コラム書込み選択信号線WCOL1として機能する。
【0069】図29は、図7及び図8を参照して説明し
た本発明の第3の実施例に対応するコラム系の構成を示
す図である。図29のコラム系は、コラムデコーダ1
5、コラムセレクタ16及びHIZ−WCOLと表記さ
れているライトコラム線ドライバ17からなる。なお、
アドレスバッファ/プリデコーダ14は、図25に示す
構成と同一であり、図示を省略してある。コラムセレク
タ16は、トランジスタQ15〜Q18と、インバータ
34とを有する。ドライバ17は、トランジスタQ19
とインバータ33を有する。第3の実施例では、各コラ
ムにおいて、読出しビット線RBLとコラム書込み選択
信号線WCOLとが共通化されており(RBLn=WC
OLn)、ドライバ17はこれを実現する。例えば、0
番目のコラムに関し、トランジスタQ18のドレイン
と、インバータ33の出力とが接続されており、このイ
ンバータ33のオンオフがトランジスタQ19で制御さ
れる。タイミング回路36からの信号がハイで読出し動
作の場合には、インバータ33の入力はハイであり、イ
ンバータ33のPチャネルMOSトランジスタはオフで
ある。ANDゲート320 が選択されてハイを出力し、
トランジスタQ18がオンとなるとトランジスタQ19
がオフであり、0番目のコラムのインバータ33はハイ
インピーダンスとなる。すなわち、共通化された信号線
は読出しビット線RBL0として機能する。非選択でA
NDゲート320 の出力がローの場合、トランジスタQ
18がオフとなり、トランジスタQ19がオンであり、
インバータ33の入力がハイでNチャネルMOSトラン
ジスタがオンし、インバータ33はローを出力する。
【0070】一方、タイミング回路36からの信号がロ
ーで書込み動作の場合には、ANDゲート320 が選択
されハイを出力すると、トランジスタQ18はオンする
が、センスアンプ21は動作しないので放置し、インバ
ータ33の入力はローとなり、インバータ33のPチャ
ネルMOSトランジスタがオンしてハイを出力する。こ
れは、コラム書込み選択信号WCOL0として、選択信
号を出力していることになる。ANDゲート320 が非
選択でローを出力していると、トランジスタQ15がオ
ンし、インバータ33のNチャネルMOSトランジスタ
はオンし、インバータ34の入力はローであるから出力
はハイとなって、トランジスタQ19がオンする。従っ
て、インバータ33はローを出力することとなる。この
ように、共通化された信号線は0番目のコラムのコラム
書込み選択信号線WCOL0として機能する。
【0071】図30は、図9及び図10を参照して説明
した本発明の第4の実施例に対応するコラム系の構成を
示す図である。図30のコラム系は、コラムデコーダ1
5、コラムセレクタ16及びWCOLと表記されている
ライトコラム線ドライバ17からなる。なお、アドレス
バッファ/プリデコーダ14は、図25に示す構成と同
一であり、図示を省略してある。各コラムは、図25に
示す構成と同一の単位回路を有するが、第4の実施例を
実現するために配線が多少異なる。第4の実施例では、
読出しビット線RBLと右隣りの書込みビット線WBL
とが共通化されており(RBLn=WBLn+1)、こ
のため図30では、1番目のコラムのトランジスタQ1
7は、0番目のトランジスタQ18に接続されている。
コラムデコーダ15で0番目のコラムが選択された場合
には、0番目のコラムのトランジスタQ18がオンし
て、0番目のコラムの読出しビット線RBL0として機
能し、1番目のコラムが選択された場合には、1番目の
コラムのトランジスタQ17がオンして、1番目のコラ
ムの書込みビット線WBL1として機能する。
【0072】図31は、図11及び図12を参照して説
明した本発明の第5の実施例に対応するコラム系の構成
を示す図である。図31のコラム系は、コラムデコーダ
15、コラムセレクタ16及びWCOLドライバと表記
されているライトコラム線ドライバ17からなる。な
お、アドレスバッファ/プリデコーダ14は、図25に
示す構成と同一であり、図示を省略してある。各コラム
に対応する単位回路は、3つのトランジスタQ15〜Q
17とインバータ33とからなる。第5の実施例では、
各コラムの読出しビット線RBLと書込みビット線WB
Lとが共通化されている。トランジスタQ17は、この
共通化されたビット線に接続されている。これに対応し
て、読出しバスと書込みバスも共通化されている。この
共通化されたバスとライトアンプ19との間にはトライ
ステートインバータゲート40が設けられ、タイミング
回路36の出力がローレベルで書込みが指示されている
場合に、ゲート40が開き、ライト/リードバスを駆動
し、タイミング回路36の出力がハイレベルの場合、ハ
イインピーダンス出力となる。
【0073】図32は、図13及び図14を参照して説
明した本発明の第6の実施例に対応するコラム系の構成
を示す図である。第6の実施例は、各セルの読出しビッ
ト線RBLと書込みビット線WBLを共通化する(従っ
て、図13ではビット線を単にBLと表記する)ととも
に、更に隣接するコラム書込み選択信号線WCOLとを
共通化して、縦方向の配線本数を1セル当り1本に削減
する。すなわち、W/RBLn=WCOLn−1、n+
1である。例えば、図32の1番目のコラムから出てい
る信号線は、1番目のコラムの読出しビット線RBL1
と書込みビット線WBL1であり、かつ0番目及び2番
目のコラムに対するコラム書込み選択信号線WCOL
0、2である。
【0074】ANDゲート321 で選択される1番目の
コラムはトランジスタQ15〜Q20、及び2つのイン
バータ33、34を有する。今、1番目のコラム(WR
BL1)にデータを書込む場合、コラムデコーダ15の
ANDゲート321 の出力がハイレベルになり、1番目
のコラムのトランジスタQ20がオンして、ライトアン
プ19からトライステートインバータゲート40を介し
て供給される書込みデータがトランジスタQ20を通
り、1番目のコラムの共通化された信号線(WRBL
1)に書込みデータ信号として出力される。この時、A
NDゲート322 の出力信号はローレベルなので、2番
目のコラムのインバータ34はハイレベルを出力し、こ
れを受けたトランジスタQ19がインバータ33をオン
にする。2番目のコラムのトランジスタQ18はAND
ゲート321 の出力がハイでオンしているので、タイミ
ング回路36からのローレベルがトランジスタQ18を
通り、インバータ33の入力として出力される。このた
め、インバータ33の出力信号はハイレベルとなり、1
番目のコラムのコラム書込み選択信号WCOL1として
ハイがWRBL2に出力される。同様に、ANDゲート
320 においても非選択でローが出力され、ANDゲー
ト321 のハイ出力が接続されているトランジスタQ1
8がオンし、インバータ33の入力はロー、出力はハイ
となり、もう1本のコラム書込み選択信号線WCOL1
として、WRBL0を駆動する。
【0075】なお、0番目のコラムの回路構成はインバ
ータ35を具備し、配線も1番目や2番目のコラムに対
する回路構成とは異なる。これは、0番目のコラムは1
つのコラムにのみ隣接するからである。図33は、図1
5及び図16を参照して説明した本発明の第7の実施例
に対応するコラム系の構成を示す図である。図示するコ
ラム系は、書込みビット線WBLと読出しビット線RB
Lとを共通化した16ビットのバイトワイド構成に対応
する。図15に示すコラム系は16ビットを1単位と
し、各ビット毎にトランジスタQ15、Q16及びQ1
8と1つのインバータ33とを有する。コラムデコーダ
15でデコードされた16信号の各配線は、16コラム
を1単位とするグループのトランジスタQ15、Q1
6、Q18のゲートに共通に与えられる。図33には、
A0D0〜A0D15の16ビットのグループが図示さ
れ、このグループのトランジスタQ15、Q16、Q1
8のゲートにデコード信号の1ビットが与えられる。こ
のグループが選択されるとトランジスタQ18がオン
し、共通化された書込みビット線と読出しビット線と1
6ビットの書込み/読出し共用バス46に接続される。
書込みデータDinは16ビット構成であり、各ビット
Din0〜Din16はそれぞれライトアンプ190
1915及びトライステートインバータゲート400 〜4
15を介してデータバス46に供給される。センスアン
プ210 〜2115はそれぞれ16ビット構成のデータバ
ス46の対応するバス線に接続されている。
【0076】16ビットのライト・パー・ビットを実現
するために、16ビットの書込み制御バス47が設けら
れ、各データビット毎にデータを書込むか又は元のデー
タを保持するかの選択的な書込みを指示できるようにす
る。この選択的書込みを指示する16ビットの指示デー
タW/BITDin0〜W/BITDin16は、例え
ば外部から供給され、インバータ430 〜4315を介し
てANDゲート440〜4415に供給される。これらの
ANDゲートには、書込み時ローとなる信号がインバー
タ42を介して供給されている。書込み時には、指示デ
ータW/BITDin0〜W/BITDin16はアン
ドゲート440 〜4415及びインバータ450 〜4515
を介して書込み制御47に供給される。例えば、図33
のA0D0〜A0D3のみデータを書込む場合には、対
応する指示データW/BITDin0〜W/BITDi
n3がローレベルに設定される。対応するANDゲート
440 〜443 の出力はハイレベルとなり、インバータ
450 〜453 の出力はローレベルとなる。16ビット
構成の書込み制御バス47の各ビットは、対応するビッ
トのトランジスタQ16のソースに接続されている。選
択されているコラムにおいてソース電位がローレベルに
なると、トランジスタQ16を介してインバータ33に
このローレベルが与えられ、インバータ33の出力であ
るコラム書込み選択信号WCOLがハイレベルになる。
【0077】このようにして、指示データW/BITD
in0〜W/BITDin16で書込むべきコラムを選
択することができる。図34は、図17及び図18を参
照して説明した本発明の第8の実施例に対応するコラム
系の構成を示す図である。図示するコラム系は、読出し
ビット線RBLとコラム書込み選択信号線WCOLとを
共通化した16ビットのバイトワイド構成に対応する。
図33に示す構成と同様に、16コラムで1グループを
構成し、このグループに16本のデコード信号の1信号
が与えられる。図34の構成では、16ビット構成の書
込みデータバス48と16ビット構成の読出しデータバ
ス49とが専用で設けられている。
【0078】各コラム毎に、5つのトランジスタQ1
5、Q16、Q22〜Q24と2つのインバータ52、
53が設けられている。書込みデータバス48の各ビッ
トデータは、対応するトランジスタQ22のドレインに
接続されている。また、読出しデータバス49の各デー
タビットは、対応するトランジスタQ23のドレインに
接続されている。トランジスタQ22とQ23のドレイ
ンには、デコード信号の1信号が与えられ、コラムが選
択された場合にオンする。この時、インバータ52の作
用でトランジスタQ24はオフし、読出し時に読出し書
込み信号がハイで、書込み制御バス47がハイの場合イ
ンバータ53の入力はハイであり、インバータ53のP
チャネルMOSトランジスタがオフするため、インバー
タ53はハイインピーダンスとなっている。従って、共
通化された線は読出しビット線RBLとして機能する。
【0079】コラムA0D0にデータの書込みが指示さ
れた場合(W/BITDin0がローレベル)、対応す
るトランジスタQ16のソースはローレベルとなり、こ
れがインバータ53で反転されてコラム書込み選択信号
WCOLがハイレベルになる。図35は、図19及び図
20を参照して説明した本発明の第9の実施例に対応す
るコラム系の構成を示す回路図である。第9の実施例
は、読出しビット線RBLと隣接するコラムの書込みビ
ット線WBLとを共通化して(RBLn=WBLn+
1)、縦方向の配線本数を1セル当り2本に削減し、更
にシフトレジスタの機能を実現するように制御するもの
である。これを実現するために、図35に示すコラム系
は、図30に示すコラム系をベースにシフト指示信号6
1によって全てのコラム書込み選択信号線WCOLを選
択する手段を追加し、また同一読出しワード線RWLの
セルデータを各読出しビット線RBLに同時に読出すた
めにビット線プリチャージ回路59を付加したものであ
る。
【0080】シフトを指示する場合には、シフト指示信
号61をローレベルに設定し、各コラムのトランジスタ
Q15のソースに与える。非選択でANDゲート32n
がロー出力であればトランジスタQ15がオンしている
のでインバータ33の入力はローとなり、出力はハイと
なってコラム書込み選択信号線WCOLnが選択とな
る。選択されANDゲート32n がハイ出力であれば、
タイミング回路36からの信号がローであるからトラン
ジスタQ16を通してやはりインバータ33の入力はロ
ーとなり、出力はハイとなり、コラム書込み選択信号線
WCOLnは選択となる。従って、シフト時には書込み
信号をローにすればシフト反転転送がすべての同一ロー
上のセルで起こる。
【0081】また、ビット線をプリチャージするタイミ
ングを規定するビット線プリチャージ信号60が、共通
化されたビット線を所定の電位にプリチャージするPチ
ャネルMOSトランジスタQ25のゲートに与えられ
る。これにより、センスアンプ21とトランジスタQ1
8がオフで、導通していない読出しビット線RBLにお
いても読出しサイクル初期のパルス的なビット線プルア
ップが行え、アドレスで選択されていない読出しビット
線RBLでも読み出したセルのデータにより、ハイ又は
ローの電圧レベルが得られる。
【0082】図20を参照して説明したように、シフト
反転転送では、読出し動作と書込み動作を交互に行う。
書込み動作においては、全てのコラムが選択されるよう
にシフト指示信号を与える。図36は、図21及び図2
2を参照して説明した本発明の第10の実施例に対応す
るコラム系の構成を示す回路図である。第10の実施例
は、読出しビット線RBLと書込みビット線WBLとを
共通化して(RBLn=WBLn)、縦方向の配線本数
を1セル当り2本に削減し、更に縦方向にデータをシフ
トするシフトレジスタの機能を実現するように制御する
ものである。図36の構成は、図35の構成のトランジ
スタQ17を削除し、また専用の書込みデータバス及び
読出しデータバスに代えて、書込み/読出し共通のデー
タバスを設けたものである。この構成により、シフト指
示信号によりコラム書込み選択信号WCOLを全てハイ
として選択し、図22に示す動作を実現する。
【0083】本発明によれば、SRAMデバイスと同様
の書込み速度が実現できるのにもかかわらず、SRAM
デバイスよりも小型化が可能である。以下、図37、図
38を参照してこの点を説明する。図37は、一般的な
SRAMデバイスのメモリセルの構成を示す図で、図3
7(A)は6トランジスタ構成のSRAMメモリセルを
示し、(B)は4トランジスタ構成のSRAMメモリセ
ルを示す。図38は、本発明の4トランジスタ構成(Q
1〜Q4)のメモリセルの2つのレイアウトパターンを
示している。なお、図38(B)は、メモリセル2つ分
のレイアウトを示している。図37(A)のレイアウト
では、31.7μm2 の面積を要し、(B)でも24.
0μm2 の面積を要するのに対し、図38(A)では1
9.5μm2 の面積、(B)では15.6μm2 の面積
で済む。このように、高速かつ小型のDRAM装置が可
能である。
【0084】なお、本発明の半導体記憶装置とは、前述
したメモリセルアレイを有する半導体装置を全て含むの
もであり、例えばロジック回路が混在した半導体装置を
含むものである。ところが、本発明の半導体記憶装置に
おいて、前述した第1から第10の実施例に示すメモリ
セルアレイは、書込みワード線WWLとコラム選択信号
線WCOLが複数のセルと共有しているため、特定動作
条件下では、セルキャパシタCsに蓄積されたデータの
反転エラー(Write disturb)が発生する
可能性がある。
【0085】ここで、図39、及び図40を用いて、反
転エラー(Write disturb)発生の原理に
ついて説明する。例えば、図39のセルAのセルキャパ
シタCs(ストレージキャパシタンス)にデータ’1’
が蓄積されている場合を初期状態とする(図40
(a))。この時、ドライバトランジスタQ1は、セル
キャパシタCsにデータ’1’が蓄積されているため、
ON状態となる。また、書込みトランジスタQ3とコラ
ム選択書込みトランジスタQ4との間には、無視できな
い小さい容量として、中間ノード容量Caが発生してい
る。
【0086】この状態で、例えば、セルBに対してデー
タ’0’を書き込む。即ち、コラム書込み選択信号WC
OL0、及び書込みワード線WWL1をハイレベルに設
定し、ビット線BL0をローレベルに設定する(図40
(b))。次に、セルCに対してデータ’0’または’
1’を書き込む。即ち、コラム書込み選択信号WCOL
1、及び書込みワード線WWL0をハイレベルに設定
し、ビット線BL1をローレベル、またはハイレベルに
設定する(図40(c))。この時、書込みワード線W
WL0がハイレベルであるため(セルAとセルCは書込
みワード線WWL0を共有している)、セルAの書込み
トランジスタQ3がONとなる。そのため、先にローレ
ベルに設定されていたビット線BL0に対して、セルA
の中間ノード容量Caの電荷が放電され、中間ノード容
量Caの電位がローレベルとなる。
【0087】次に、再度セルBに対してデータ’0’ま
たは’1’を書き込む。即ち、コラム書込み選択信号W
COL0、及び書込みワード線WWL1をハイレベルに
設定し、ビット線BL0をローレベル、またはハイレベ
ルに設定する(図40(d))。この時、コラム書込み
選択信号WCOL0がハイレベルであるため(セルAと
セルBはコラム書込み選択信号WCOL0を共有してい
る)、セルAのコラム書込み選択トランジスタQ4がO
Nとなる。そのため、セルAのセルキャパシタCsと中
間ノード容量Caが導通し、セルAのセルキャパシタC
sに蓄積されている電荷がセルキャパシタCsと中間ノ
ード容量Caに再分配され、セルAのセルキャパシタC
sの電位が下がる。
【0088】以後、上記、図40(b)(c)(d)を
数回にわたり繰り返し実行すると、セルAのセルキャパ
シタCsの電位が下がり続け、ある時点で(図40
(e))、そのセルキャパシタCsの電位がドライバト
ランジスタQ1のしきい値以下となり、ドライバトラン
ジスタQ1がOFF状態となるので、初期状態に蓄積さ
れていたデータ’1’が’0’に反転し、データ反転エ
ラー(Write disturb)が発生する。
【0089】そこで、本発明のメモリセルは、第1の実
施例から第10の実施例の動作を確実にするため、前記
実施例にて用いた書込みトランジスタQ3とコラム書込
み選択トランジスタQ4に置き換えて、例えば、図41
の原理図に示すように、書込みワード線WWLとコラム
書込み選択信号線WCOLを入力とし、書込み選択信号
線WSELを出力とするAND回路101と、書込み選
択信号線WSELで制御され、ドライバトランジスタQ
1のゲートに接続されるセルキャパシタCに、書込みビ
ット線WBLからの書込みデータを供給する書込み選択
トランジスタQ101とを有する構成とする。
【0090】上記、図41に示す本発明のメモリセルア
レイでは、各セルがAND回路101にて書込みワード
線WWLとコラム書込み選択信号線WCOLをデコード
することにより、書込みのターゲットなるセルを特定可
能なため、書込みワード線WWL、及びコラム書込み選
択信号線WCOLを共有する他のセルの書込み動作を誘
発せず、セルキャパシタCのデータは破壊されない。即
ち、バッファとなる中間ノード容量Caも省略されるの
で、データ反転エラーが発生しない。
【0091】このように、非破壊書込みとなるため、書
込みワード線WWL上の他のセルに対する読出しと再書
込み動作が不要となり、代わりに書込み動作のみが行わ
れるため、書込みサイクルを短縮できる。すなわち、S
RAMデバイスと同等の書込み時間でデータを書き込む
ことができる。なお、図41にて示す本発明のメモリセ
ルアレイの動作は、図2のタイミング図と同様のため説
明を省略する。
【0092】以下、図41に示す原理を利用した本発明
の実施例(第11の実施例から第19の実施例を示す)
を図面に従って説明する。図42は、本発明の第11の
実施例を示す。第11の実施例は、前述の第2の実施例
の変形例と言える。第11の実施例は、コラム書込み選
択信号線WCOLと隣接するコラムの読出しビット線R
BLとを共通化して、縦方向の配線本数を1セル当り2
本に削減する。より特定すれば、左のセル列の読出しビ
ット線RBL(M−1)を右のセル列のコラム書込み選
択信号線WCOL(M)としても用いる。例えば、図4
2において、セルAの読出しビット線RBL0とセルB
のコラム書込み選択信号線WCOL1とは、共通化され
ている。なお、図42では図面を簡単にするために、1
ワード分のセルのみ示しているが、図41と同様に縦方
向にもセルが設けられており、全体としてセルはマトリ
クス状に配列されている。
【0093】例えば、図6を参照して説明すると、セル
Aの書込みサイクルでは、読出しワード線RWL0は非
選択(ローレベル)なのでトランジスタQ2はオフとな
り、読出しビット線RBL0はセルから切り離されてい
る状態である。従って、セルAの書込みサイクル中に空
いている読出しビット線RBL0を、セルBの書込み時
にはコラム書込み選択信号線WCOL1として用いるこ
とができる。逆に、セルAの読出し時、セルBのコラム
書込み選択信号WCOL1がハイレベル(RBL上の読
み出しデータが’1’)でも、書込みワード線WWL0
は非選択(ローレベル)なので、セルBのAND回路の
出力がローレベルとなり、セルBのセルキャパシタが書
込みビット線WBL1と接続されることはない。
【0094】なお、書込みサイクルにおいては、この共
通化された配線にはコラム書込み選択信号WCOLを出
力する駆動回路が接続され、読出し時にはこの駆動回路
との接続を切り、第2の実施例と同様にセンスアンプと
パルス的なプルアップ回路に接続される。図43は、本
発明の第12の実施例を示す。第12の実施例は、前述
の第3の実施例の変形例と言える。第12の実施例は、
各セルにおいて、コラム書込み選択信号線WCOL
(N)と読出しビット線RBL(N)とを共通化して、
縦方向の配線本数を1セル当り2本に削減する。なお、
図43では図面を簡単にするために、1ワード分のセル
のみ示しているが、図41と同様に縦方向にもセルが設
けられており、全体としてセルはマトリクス状に配列さ
れている。
【0095】図8を参照して説明すると、セルAの書込
みサイクルでは、読出しワード線RWL0は非選択(ロ
ーレベル)なので、読出しビット線RBL0はセルから
切り離されている状態である。従って、セルAの書込み
サイクル中にあいている読出しビット線RBL0を、セ
ルAの書込み時にはコラム書込み選択信号線WCOL0
として用いることができる。逆に、セルAの読出し時、
コラム書込み選択信号線WCOL0は不要であり、読出
しビット線RBL0として用いることができる。この場
合、読出しビット線RBL0がハイレベルになる場合で
も、書込みワード線WWL0は非選択(ローレベル)な
ので、セルAのAND回路101の出力がローレベルと
なり、セルAのセルキャパシタCが書込みビット線WB
L0に接続されることはない。
【0096】図44は、本発明の第13の実施例を示
す。第13の実施例は、前述の第4の実施例の変形例と
言える。第13の実施例は、読出しビット線RBLと隣
接するコラムの書込みビット線WBLとを共通化して、
縦方向の配線本数を1セル当り2本に削減する。より特
定すれば、左のセル列の読出しビット線RBL(M−
1)を右のセル列の書込みビット線WBL(M)として
も用いる。例えば、図44において、セルAの読出しビ
ット線RBL0とセルBの書込みビット線WBL1と
は、共通化されている。なお、図44では図面を簡単に
するために、1ワード分のセルのみ示しているが、図4
1と同様に縦方向にもセルが設けられており、全体とし
てセルはマトリクス状に配列されている。
【0097】例えば、図10を参照して説明すると、セ
ルAの書込みサイクルでは、読出しワード線RWL0は
非選択(ローレベル)なので、読出しビット線RBL0
はセルから切り離されている状態である。従って、セル
Aの書込みサイクル中にあいている読出しビット線RB
L0を、セルBの書込み時には書込みビット線WBL1
として用いることができる。逆に、セルAの読出し時、
セルAから読みだされたデータがハイレベルであって
も、書込みワード線WWL0は非選択(ローレベル)な
ので、セルBのAND回路の出力がローレベルとなり、
読出されたデータがセルBのセルキャパシタに書き込ま
れることはない。
【0098】なお、書込みサイクルにおいては、この共
通化された配線には書込みデータが加えられ、読出し時
には書込みデータの代わりに、センスアンプとパルス的
なプルアップ回路に接続される。図45は、本発明の第
14の実施例を示す。第14の実施例は、前述の第5の
実施例の変形例と言える。第14の実施例は、各セルに
おいて、書込みビット線WBLと読出しビット線RBL
とを共通化して、縦方向の配線本数を1セル当り2本に
削減する。なお、図45では図面を簡単にするために、
1ワード分のセルのみ示しているが、図41と同様に縦
方向にもセルが設けられており、全体としてセルはマト
リクス状に配列されている。
【0099】図12を参照して説明すると、セルAの書
込みサイクルでは、読出しワード線RWL0は非選択
(ローレベル)なので読出しトランジスタQ2がオフ
し、セルは読出しビット線RBL0から切り離されてい
る状態である。共通化された書込みビット線WBL0の
データは書込み選択トランジスタQ101を通り、セル
AのセルキャパシタCに書き込まれる。セルAからデー
タを読出す場合には、書込みワード線WWL0およびコ
ラム書込み選択信号線WCOL0はローレベルにあるの
で、セルAのAND回路101の出力がローレベルとな
り、書込み選択トランジスタQ101はオフである。一
方、読出しワード線RWL0はハイレベルなのでトラン
ジスタQ2がオンし、共通化された読出しビット線RB
L0にセルキャパシタCに従い、トランジスタQ1がオ
ン又はオフし、データが読出される。
【0100】従って、セルAの書込みサイクル中にあい
ている読出しビット線RBL0を、セルAの書込み時に
は書込みビット線WBL0として用いることができる。
逆に、セルAの読出し時、書込みビット線WBL0は不
要であり、読出しビット線RBL0として用いることが
できる。図46は、本発明の第15の実施例を示す。第
15の実施例は、前述の第6の実施例の変形例と言え
る。第15の実施例は、各セルの読出しビット線RBL
と書込みビット線WBLを共通化する(従って、図46
ではビット線を単にBLと表記する)とともに、更にコ
ラム書込み選択信号線WCOLとを共通化して、縦方向
の配線本数を1セル当り1本に削減する。例えば、セル
AのAND回路101は、コラム書込み選択信号線WC
OL1とコラム書込み選択信号線WCOL(n−1)と
書込みワード線WWL0を入力とし、全ての信号がハイ
レベルのとき、セルキャパシタCにデータを書き込む構
成である。同様に、例えば、図46において、セルB
は、書込みワード線WWL0と右隣りのビット線BL2
(図ではBL2は省略してあるが、図示のBL(M)の
M=2と考えればよい)と左隣りのコラム書込み選択信
号WCOL0で制御される。
【0101】なお、図46では図面を簡単にするため
に、1ワード分のセルのみ示しているが、図41と同様
に縦方向にもセルが設けられており、全体としてセルは
マトリクス状に配列されている。図14を参照して説明
すると、書込みサイクルでは、読出しワード線RWLは
非選択(ローレベル)なので、読出しビット線RBLは
セルキャパシタCから切り離されている。従って、書込
みサイクル中にあいている読出しビット線RBLを書込
み時には書込みビット線WBLとして用いることができ
る。逆に、読出し時に兼用した書込みビット線WBLが
ハイレベルでもローレベルでも、書込みワード線WWL
が非選択(ローレベル)であれば、セルキャパシタは書
込みビット線WBLと接続されることはない。
【0102】一方、コラム書込み選択信号WCOLは、
両隣りのビット線BLと書込みワード線WWLをハイレ
ベルとして、選択されたセルのセルキャパシタを、ビッ
ト線BLに接続する。例えば、図46において、セルB
にデータを書き込む場合、両隣りのビット線BL0とB
L(M),及び書込みワード線WWL0をハイレベルに
すると、ビット線BL1上のデータがセルBの書込み選
択トランジスタQ101を介してセルキャパシタCに書
き込まれる。
【0103】また、セルBの読出しサイクルでは、書込
みワード線WWL0を非選択状態(ローレベル)とし、
セルキャパシタをビット線BL1から切り離す。一方、
読出しワード線RWL0をハイレベルにすると、セルB
のデータがトランジスタQ2を介してビット線BL1に
読出される。この読出しサイクルでは、センスアンプと
パルス的なプルアップ回路をビット線に接続する。
【0104】以上説明した第11から第15の実施例は
読出し、書込みは1ビット単位に行う構成であった。以
下に説明する第16の実施例、及び第17の実施例は、
バイトワイド構成(多ビット構成)でビット単位に選択
的書込みを行えるようにしたことを特徴とする。なお、
ライト・パー・ビットとは、第7の実施例と同様とし、
例えば、8ビット単位の場合、8ビットのうち上位4ビ
ットに新たなデータを書込み、下位4ビットは元のデー
タを保存するような機能である。
【0105】図47は、本発明の第16の実施例を示す
図である。第16の実施例は、前述の第7の実施例の変
形例と言える。第16の実施例は、各セルにおいて、書
込みビット線WBLと読出しビット線RBLとを共通化
して、縦方向の配線本数を1セル当り2本に削減する。
なお、図47では図面を簡単にするために、1ワード分
のセルのみ示しているが、図41と同様に縦方向にもセ
ルが設けられており、全体としてセルはマトリクス状に
配列されている。
【0106】図47の回路構成は、図45の回路構成と
同一であるが、図12の制御とは異なり、図16に示す
制御を行うことでライト・パー・ビットを実現してい
る。図16の動作は、図47のA、B、Cの3ビット構
成の場合を仮定した動作で、書込みサイクルでセルA、
Bにデータを書込み、セルCは元のデータを保存する例
である。図16の動作は、理解を容易にするために3ビ
ット構成であるが、勿論3ビットに限定されるものでは
なく、その動作は図16から明らかである。
【0107】データを書込みたいセルA、Bのコラム書
込み選択信号WCOL0、WCOL1を同時にハイレベ
ルにし、セルCに対するコラム書込み選択信号WCOL
(M)をローレベルにする。また、書込みワード線WL
0をハイレベルにして選択し、選択されている複数セル
につながるビット線WBL0、WBL1に書込みデータ
を与えることで、セルAとBのセルキャパシタにデータ
を書込む。図16の例では、セルAとBにそれぞれハイ
レベルとローレベルが書き込まれる。また、セルCはハ
イレベルが保持される。読出しはビット線BLから書込
みデータを駆動する駆動回路を切り離し、読出しワード
線RWL0を選択し、各ビット線BLを選択して各パル
スプルアップ手段とセンスアンプで並列に読出す。
【0108】図48は、本発明の第17の実施例を示す
図である。第17の実施例は、前述の第8の実施例の変
形例と言える。第17の実施例は、各セルにおいて、コ
ラム書込み選択信号線WCOLと読出しビット線RBL
とを共通化して、縦方向の配線本数を1セル当り2本に
削減する。この点は、図12に示す回路構成と同一であ
る。その上で、バイトワイド構成(多ビット構成)でビ
ット単位に選択的に書込みを制御する。なお、図48で
は図面を簡単にするために、1ワード分のセルのみ示し
ているが、図41と同様に縦方向にもセルが設けられて
おり、全体としてセルはマトリクス状に配列されてい
る。
【0109】図18を参照して第17の実施例の動作を
説明する。図18では、書込みサイクルでセルAとBに
書込みを行い、セルCは元のデータを保存する場合の動
作を示す。セルAとBに対するコラム書込み選択信号W
COL0及びWCOL1を同時にハイレベルにすると共
に、書込みワード線WWL0をハイレベルにして選択
し、セルAとBに対する書込みビット線WBL0、WB
L1にデータを与えることで、セルAとBのセルキャパ
シタにデータを書込む。読出しは、コラム書込み選択信
号線WCOL0〜WCOL(M)から書込みコラム選択
手段を切り離し、読出しワード線RWL0を選択し、各
ビット線RBL0〜RBL(M)を選択して各パルスプ
ルアップ手段とセンスアンプにより並列にデータを読出
す。
【0110】図49は、本発明の第18の実施例を示す
図である。第18の実施例は、前述の第9の実施例の変
形例と言える。第9の実施例は、読出しビット線RBL
と隣接するコラムの書込みビット線WBLとを共通化し
て、縦方向の配線本数を1セル当り2本に削減する。こ
の点は、図13に示す回路構成と同一である。その上
で、シフトレジスタの機能を実現するように制御する。
なお、図49では図面を簡単にするために、1ワード分
のセルのみ示しているが、図41と同様に縦方向にもセ
ルが設けられており、全体としてセルはマトリクス状に
配列されている。
【0111】図20を参照してシフトレジスタ動作を説
明すると、まず、各サイクルの前半で読出しを行い、読
出しビット線RBLの電位をハイかローに確定させる。
ゲイン型のセルなので、適切な時間を設定すれば、パル
スプルアップしていたビット線はグランドレベルに引き
下げられるか、電源電圧VDDにとどまるかの電源振幅
レベルの動作がセンスアンプを使わなくても実現でき
る。各サイクルの後半で書込みを行い、それを右隣りの
セルに書込みデータとして用いる。この読出しと書込み
動作からなる1サイクルで、セルキャパシタのデータが
1セル分右へシフトできる。ただし、図20に示すよう
に、データは反転していく。
【0112】ここでは、1つのワードでの横方向の転送
の例を示したが、読出しワード線RWLと書込みワード
線WWLで異なる番地を選択すれば、転送方向を斜め方
向に設定できる。また、コラム書込み選択信号線WCO
Lを一部ローレベルに固定すれば、ビット単位の書込み
と同様に、任意のセルデータを保存できる。従って、部
分的に転送することもできる。
【0113】図50は、本発明の第19の実施例を示す
図である。第19の実施例は、前述の第10の実施例の
変形例と言える。第19の実施例は、各セルにおいて、
読出しビット線RBLと書込みビット線WBLとを共通
化して、縦方向の配線本数を1セル当り2本に削減す
る。この点は、図45に示す回路構成と同一である。そ
の上で、同一コラム方向のシフトレジスタの機能を実現
するように制御する。なお、図50では図面を簡単にす
るために、2ワード分のセルのみ示しているが、図41
と同様に縦方向にもセルが設けられており、全体として
セルはマトリクス状に配列されている。
【0114】図22を参照して動作を説明すると、最初
のサイクルで、まず読出しワード線RWL0を駆動して
セルA0、B0からデータを共通化された読出しビット
線RBL0、RBL1に読出し、次に書込みワード線W
WL0、コラム書込み選択信号線WCOL0、WCOL
1を駆動して読み出したデータをセルA0、B0に書込
む。これにより図22に示すように、セルA0、B0の
データは反転する。次に、読出しワード線RWL0を駆
動し、再度セルA0、B0のデータを出力する。反転デ
ータが書き込まれたので、読出しビット線RBL0、R
BL1の電位は反転する。次に、書込みワード線WWL
0とコラム書込み選択信号WCOL0とを駆動し、セル
A0にデータを書込む。これにより、セルA0のデータ
は元のレベルに戻り、セルB0のデータは反転されたま
まとなる。続いて、書込みワード線WWL1とコラム書
込み選択信号WCOL0とWCOL1とを駆動する。こ
れにより、セルA1、B1に共通化されたビット線BL
0、BL1のデータが書き込まれる。これにより、セル
A1、B1内のデータは最初のセルA0のデータとセル
B0のデータが転送されたことになる。最後に、読出し
ワード線RWL1を駆動してセルA1、B1からデータ
を共通化された読出しビット線RBL0、RBL1に読
出し、書込みワード線WWL1、コラム書込み選択信号
線WCOL0、WCOL1を駆動して読出したデータを
セルA1、B1に書込み、これによりセルA1、B1内
のデータは反転する。
【0115】このようにして、複数データをコラム方向
にシフトすることができる。また、以上の説明からわか
るように、リフレッシュは自己反転動作を2回行えばよ
い。従って、リフレッシュにセンスアンプを必要としな
い。また、書込み時にコラム書込み選択信号を選択する
と、データ反転、非選択ではデータ保持となるので、コ
ラム書込み選択信号WCOLによる指定ビットの反転、
すなわちXOR演算が行える。
【0116】以上説明した第11から第19の実施例に
て示すメモリセルアレイは、図23に示す本発明の半導
体記憶装置の要部のメモリセルアレイを示すものであ
る。また、図51は、第11から第19の実施例にて使
用するAND回路の各種構成例を示す。図51(a)
は、各実施例のAND回路101を、例えば、ソースと
ドレインをそれぞれ書込み選択トランジスタQ101の
ゲート及び書込みワード線WWLに接続し、更にゲート
をコラム書込み選択信号線WCOLの反転信号に接続す
るnMOSトランジスタQ111と、ソースとドレイン
をそれぞれグランド及び書込み選択トランジスタQ10
1のゲートに接続し、更にゲートをコラム書込み選択信
号線WCOLに接続するnMOSトランジスタQ112
から構成する。
【0117】また、図51(b)は、各実施例のAND
回路101を、例えば、ソースとドレインをそれぞれ書
込み選択トランジスタQ101のゲート及び書込みワー
ド線WWLに接続し、更にゲートをコラム書込み選択信
号線WCOLの反転信号に接続するpMOSトランジス
タQ113と、ソースとドレインをそれぞれグランド及
び書込み選択トランジスタQ101のゲートに接続し、
更にゲートをコラム書込み選択信号線WCOLの反転信
号に接続するnMOSトランジスタQ114から構成す
る。
【0118】また、図51(c)は、各実施例のAND
回路101を、例えば、ソースとドレインをそれぞれコ
ラム書込み選択信号線WCOL及び書込み選択トランジ
スタQ101のゲートに接続し、更にゲートを書込みワ
ード線WWLに接続するnMOSトランジスタQ115
と、ソースとドレインをそれぞれグランド及び書込み選
択トランジスタQ101のゲートに接続し、更にゲート
を書込みワード線WWLの反転信号に接続するnMOS
トランジスタQ116から構成する。
【0119】また、図51(d)は、各実施例のAND
回路101を、例えば、ソースとドレインをそれぞれコ
ラム書込み選択信号線WCOL及び書込み選択トランジ
スタQ101のゲートに接続し、更にゲートを書込みワ
ード線WWLの反転信号に接続するpMOSトランジス
タQ117と、ソースとドレインをそれぞれグランド及
び書込み選択トランジスタQ101のゲートに接続し、
更にゲートを書込みワード線WWLの反転信号に接続す
るnMOSトランジスタQ118から構成する。
【0120】また、図51(e)は、各実施例のAND
回路101を、例えば、ソースとドレインをそれぞれコ
ラム書込み選択信号線WCOL及び書込み選択トランジ
スタQ101のゲートに接続し、更にゲートを書込みワ
ード線WWLに接続するnMOSトランジスタQ119
と、書込み選択トランジスタ101のゲートとグランド
間に接続する高抵抗ポリシリコンR101から構成す
る。
【0121】また、図51(f)は、各実施例のAND
回路101を、例えば、ソースとドレインをそれぞれ書
込み選択トランジスタQ101のゲート及び書込みワー
ド線WWLに接続し、更にゲートをコラム書込み選択信
号線WCOLに接続するnMOSトランジスタQ120
と、書込み選択トランジスタQ101のゲートとグラン
ド間に接続する高抵抗ポリシリコンR102から構成す
る。
【0122】上記、図51(a)〜(d)に示すAND
回路の構成例によれば、SRAMデバイスと同様の書込
み速度が実現できるのにもかかわらず、SRAMデバイ
スよりも小型化が可能である。以下、先に説明した図3
7と、図52(a)〜(d)を参照してこの点を説明す
る。図37は、先に説明した通り、一般的なSRAMデ
バイスのメモリセルの構成を示す図で、図37(A)は
6トランジスタ構成のSRAMメモリセルを示し、
(B)は4トランジスタ構成のSRAMメモリセルを示
す。図37(A)のレイアウトでは、31.7μm2
面積を要し、(B)でも24.0μm2 の面積を要する
のに対し、図52(a)では13.4μm2 の面積、
(b)では17.8μm2 の面積、(c)では12.5
μm2 の面積、(d)では16.8μm2 の面積で済
む。このように、高速かつ小型のDRAM装置が可能で
ある。
【0123】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1から18
に記載の発明によれば、以下の効果が得られる。データ
の書込み時、データを書込むセルのみ書込み選択トラン
ジスタをオンにすることは、データを書込まないセルの
書込み選択トランジスタをオフにすることである。よっ
て、後者のセルキャパシタと書込みビット線とは接続さ
れず、選択されないセルのセルキャパシタのデータが破
壊されることはない。このようにして、非破壊書込みが
可能となる。よって、従来のように読出してリストアす
る必要はなく、書込み動作を高速化することができる。
【0124】特に、請求項4から11、及び請求項18
に記載の発明によれば、信号線の数を減らすことで、一
層の小型化を可能になる。更に、請求項12、13、及
び請求項18に記載の発明によれば、更に信号線の数を
減らすことで、より一層の小型化が可能になる。また、
請求項14、15、及び請求項18に記載の発明によれ
ば、信号線の数を減らすと共に、同時に複数のセルにデ
ータを書き込めるので、後述するバイトワイド構成が可
能である。
【0125】更に、請求項16、17、及び請求項18
に記載の発明によれば、読出し及び書込み動作を交互に
行い、共通化した信号線上に現われる読出しデータを隣
のコラムのセルに書込むことで、データを順次シフトす
るシフトレジスタを構成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す回路図である。
【図2】図1に示す構成の動作を示すタイミング図であ
る。
【図3】従来構成を示す回路図である。
【図4】図3に示す構成の動作を示すタイミング図であ
る。
【図5】本発明の第2の実施例を示す回路図である。
【図6】図5に示す構成の動作を示すタイミング図であ
る。
【図7】本発明の第3の実施例を示す回路図である。
【図8】図7に示す構成の動作を示すタイミング図であ
る。
【図9】本発明の第4の実施例を示す回路図である。
【図10】図9に示す構成の動作を示すタイミング図で
ある。
【図11】本発明の第5の実施例を示す回路図である。
【図12】図11に示す構成の動作を示すタイミング図
である。
【図13】本発明の第6の実施例を示す回路図である。
【図14】図13に示す構成の動作を示すタイミング図
である。
【図15】本発明の第7の実施例を示す回路図である。
【図16】図15に示す構成の動作を示すタイミング図
である。
【図17】本発明の第8の実施例を示す回路図である。
【図18】図17に示す構成の動作を示すタイミング図
である。
【図19】本発明の第9の実施例を示す回路図である。
【図20】図19に示す構成の動作を示すタイミング図
である。
【図21】本発明の第10の実施例を示す回路図であ
る。
【図22】図21に示す構成の動作を示すタイミング図
である。
【図23】本発明の半導体記憶装置の全体構成の一例を
示すブロック図である。
【図24】図23に示す半導体記憶装置のワード線駆動
系の一構成例の回路図である。
【図25】図23に示す半導体記憶装置において、第1
の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図26】図23に示すライトアンプの一構成例の回路
図である。
【図27】図23に示すセンスアンプの2つの構成例を
示す回路図である。
【図28】図23に示す半導体記憶装置において、第2
の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図29】図23に示す半導体記憶装置において、第3
の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図30】図23に示す半導体記憶装置において、第4
の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図31】図23に示す半導体記憶装置において、第5
の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図32】図23に示す半導体記憶装置において、第6
の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図33】図23に示す半導体記憶装置において、第7
の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図34】図23に示す半導体記憶装置において、第8
の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図35】図23に示す半導体記憶装置において、第9
の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図36】図23に示す半導体記憶装置において、第1
0の実施例に係るコラム系の一構成例の回路図である。
【図37】従来のSRAMデバイスのセルの回路構成及
びレイアウトパターンを示す図である。
【図38】本発明のセルの回路構成及びレイアウトパタ
ーンを示す図である。
【図39】本発明のメモリセルの反転エラー発生の原理
を示す図である。
【図40】本発明のメモリセルの反転エラー発生のタイ
ミング図である。
【図41】データ反転エラー対策を施したメモリセルの
原理を示す図である。
【図42】本発明の第11の実施例を示す回路図であ
る。
【図43】本発明の第12の実施例を示す回路図であ
る。
【図44】本発明の第13の実施例を示す回路図であ
る。
【図45】本発明の第14の実施例を示す回路図であ
る。
【図46】本発明の第15の実施例を示す回路図であ
る。
【図47】本発明の第16の実施例を示す回路図であ
る。
【図48】本発明の第17の実施例を示す回路図であ
る。
【図49】本発明の第18の実施例を示す回路図であ
る。
【図50】本発明の第19の実施例を示す回路図であ
る。
【図51】AND回路の構成例を示す図である。
【図52】図51(a)〜(d)の回路のレイアウト設
計例である。
【符号の説明】
Q1 ドライバトランジスタ Q2 読出しトランジスタ Q3 書込みトランジスタ Q4 コラム書込み選択トランジスタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 27/108

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マトリクス状に配列されたセルを有する
    半導体記憶装置において、 各セルは、ドライバトランジスタと、 読出しワード線で制御され、読出しビット線に読み出し
    たデータを出力する読出しトランジスタと、 書込みワード線で制御され、前記ドライバトランジスタ
    のゲートに接続されるセルキャパシタに、書込みビット
    線からの書込みデータを供給する書込みトランジスタ
    と、 コラム書込み選択信号線で制御され、前記書込みトラン
    ジスタに直列に接続されるコラム書込み選択トランジス
    タとを有することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記各セルは、データの書込み時、書込
    みビット線からの書込みデータを、コラム書込み選択ト
    ランジスタと書込みトランジスタの両方を介して、セル
    キャパシタに供給することを特徴とする請求項1記載の
    半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 アドレス線をデコードすることにより前
    記各セルの中から少なくともいずれか1つのセルを指定
    するデコード手段と、 データの書込み時に、指定されたセルの書込みビット線
    に書込みデータを供給し、更に該セルのコラム書込み選
    択信号線を選択する選択手段とを有し、 選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラム書
    込み選択トランジスタを駆動することを特徴とする請求
    項1または2記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 読出しビット線と隣接するセルのコラム
    書込み選択信号線とは、共通化された信号線であること
    を特徴とする請求項1または2記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 アドレス線をデコードすることにより前
    記各セルの中から少なくともいずれか1つのセルを指定
    するデコード手段と、 データの書込み時に、指定されたセルの書込みビット線
    に書込みデータを供給し、更に該セルの前記共通化され
    た信号線を選択する選択手段とを有し、 選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラム書
    込み選択トランジスタを駆動することを特徴とする請求
    項4記載の半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 各セルの読出しビット線とコラム書込み
    選択信号線とは、共通化された信号線であることを特徴
    とする請求項1または2記載の半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 アドレス線をデコードすることにより前
    記各セルの中から少なくともいずれか1つのセルを指定
    するデコード手段と、 データの書込み時に、指定されたセルの書込みビット線
    に書込みデータを供給し、更に該セルの前記共通化され
    た信号線を選択する選択手段とを有し、 選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラム書
    込み選択トランジスタを駆動することを特徴とする請求
    項6記載の半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 読出しビット線と隣接するセルの書込み
    ビット線とは、共通化された信号線であることを特徴と
    する請求項1または2記載の半導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 アドレス線をデコードすることにより前
    記各セルの中から少なくともいずれか1つのセルを指定
    するデコード手段と、 データの書込み時に、指定されたセルの前記共通化され
    た信号線に書込みデータを供給し、更に該セルのコラム
    書込み選択信号線を選択する選択手段とを有し、 選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラム書
    込み選択トランジスタを駆動することを特徴とする請求
    項8記載の半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】 各セルの読出しビット線と書込みビッ
    ト線とは、共通化された信号線であることを特徴とする
    請求項1または2記載の半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】 アドレス線をデコードすることにより
    前記各セルの中から少なくともいずれか1つのセルを指
    定するデコード手段と、 データの書込み時に、指定されたセルの前記共通化され
    た信号線に書込みデータを供給し、更に該セルのコラム
    書込み選択信号線を選択する選択手段とを有し、 選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラム書
    込み選択トランジスタを駆動することを特徴とする請求
    項10記載の半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】 書込みビット線とセルキャパシタとの
    間に、前記書込みトランジスタ及びコラム書込み選択ト
    ランジスタと直列に書込み制御トランジスタを設け、 該書込み制御トランジスタを隣接するセルに係る書込み
    ビット線で制御すると共に、 各セルにおいて、書込みビット線、読出しビット線及び
    コラム書込み選択信号線とを共通化した信号線で構成す
    ることを特徴とする請求項1または2記載の半導体記憶
    装置。
  13. 【請求項13】 アドレス線をデコードすることにより
    前記各セルの中から少なくともいずれか1つのセルを指
    定するデコード手段と、 データの書込み時に、指定されたセルの前記共通化した
    信号線に書込みデータを供給し、更に該セル隣接したセ
    ルの共通化した信号線を選択する選択手段とを有し、 選択された信号線の制御で、指定されたセルのコラム書
    込み選択トランジスタを駆動することを特徴とする請求
    項12記載の半導体記憶装置。
  14. 【請求項14】 各セルにおいて、書込みビット線と読
    出しビット線とを共通化した信号線で構成するととも
    に、複数セルに係るコラム書込み選択信号線を同時に駆
    動することで、複数ビットを同時に複数セルに書込むこ
    とを特徴とする請求項1または2記載の半導体記憶装
    置。
  15. 【請求項15】 各セルにおいて、読出しビット線とコ
    ラム書込み選択信号線とを共通化した信号線で構成する
    とともに、複数セルに係るコラム書込み選択信号線を同
    時に駆動することで、複数ビットを同時に複数セルに書
    込むことを特徴とする請求項1または2記載の半導体記
    憶装置。
  16. 【請求項16】 読出しビット線と隣接するセルの書込
    みビット線とを共通化した信号線で構成するとともに、
    読出し及び書込み動作を交互に行い、共通化した信号線
    上に現われる読出しデータを隣のコラムのセルに書込む
    ことで、データを順次シフトすることを特徴とする請求
    項1または2記載の半導体記憶装置。
  17. 【請求項17】 各セルにおいて、書込みビット線と読
    出しビット線とを共通化した信号線で構成するととも
    に、読出し及び書込み動作を交互に行い、共通化した信
    号線上に現われる読出しデータを同一コラムの隣りのセ
    ルに書込むことで、データを順次シフトすることを特徴
    とする請求項1または2記載の半導体記憶装置。
  18. 【請求項18】 該書込みトランジスタと該コラム書込
    み選択トランジスタに置き換えて、 書込みワード線とコラム書込み選択信号線を入力とし、
    書込み選択信号線を出力とするAND回路と、 書込み選択信号線で制御され、ドライバトランジスタの
    ゲートに接続されるセルキャパシタに、書込みビット線
    からの書込みデータを供給する書込み選択トランジスタ
    とを有することを特徴とする請求項4乃至17いずれか
    一項記載の半導体記憶装置。
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