JPH1093379A - 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 - Google Patents
圧電共振子およびそれを用いた電子部品Info
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- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 25
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 63
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/58—Multiple crystal filters
- H03H9/60—Electric coupling means therefor
- H03H9/605—Electric coupling means therefor consisting of a ladder configuration
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Abstract
どに用いるのに適した圧電共振子を得る。 【解決手段】 圧電共振子10は、複数枚の圧電体層を
電極14を介在させながら積層して形成された基体12
を含む。この基体12の大部分には、第1振動部24a
が形成される。第1振動部24aは、1つの電極14を
挟んで隣り合った圧電体層が、基体12の長手方向に沿
って互いに逆向きに分極される。第1振動部24aの両
外側には、第2振動部24bが形成される。第2振動部
24bの圧電体層は、電極14を挟んで隣接した第1振
動部24aの圧電体層と同一方向に分極されている。そ
して、基体12の各圧電体層には、電極14の両側で互
いに異なる方向へ電界が印加される。
Description
それを用いた電子部品に関し、特にたとえば、圧電体の
機械的共振を利用した圧電共振子、およびそれを用いた
ラダー型フィルタ,発振子,ディスクリミネータ,フィ
ルタなどの電子部品に関する。
において出願人が先に提案した未だ未公開の圧電共振子
の一例を示す斜視図であり、図19はその図解図であ
る。圧電共振子1は、たとえば直方体状の基体2を含
む。基体2は、複数の圧電体層が電極3を介在させつつ
一体に積層されて形成される。この圧電体層は、圧電セ
ラミックからなる。電極3は、その面が基体2の長手方
向に直交し、かつ互いに所定の間隔を置きながら配置さ
れる。そして、圧電体層が、図19に矢印で示すよう
に、1つの電極3の両側において、互いに逆向きとなる
ように基体2の長手方向に分極されることにより、図1
9に斜線で示すように振動部4が形成される。この圧電
共振子1では、基体2の長手方向の両端面には電極が形
成されないため、基体2の両端面の圧電体層は圧電的に
不活性なダミー層dとなる。また、基体2の対向する側
面には、それぞれ複数の絶縁膜5,6が形成される。基
体2の一方の側面においては、電極3の露出部が、1つ
おきに絶縁膜5で被覆される。また、基体2の他方の側
面においては、一方の側面で絶縁膜5に被覆されていな
い電極3の露出部が、1つおきに絶縁膜6で被覆され
る。さらに、これらの接続部、すなわち基体2の絶縁膜
5,6が形成された側面には、外部電極7,8が形成さ
れる。したがって、外部電極7には絶縁膜5で被覆され
ていない電極3が接続され、外部電極8には絶縁膜6で
被覆されていない電極3が接続される。つまり、電極3
の隣合うものが、それぞれ外部電極7および外部電極8
に接続される。そして、外部電極7,8が入出力電極と
して使用される。
共振子の振動状況を説明するための図解図である。図2
0に示す圧電共振子1は、上述した圧電共振子と同様の
構造を有するものである。図20において、圧電共振子
1の基体2に記載した3段の矢印のうち、上段に記載し
た矢印は電界の印加方向を示し、中段に記載した白抜き
矢印は分極方向を示し、下段に記載した矢印は圧電縦効
果による各圧電体層の伸縮方向を示す。圧電共振子1
に、時間の経過とともに電圧の向きが変わる交流信号が
入力されると、基体2は、図20(A)の状態と図20
(B)の状態を交互に繰り返して、長手方向に振動す
る。すなわち、図20(A)に示すように、各圧電体層
に分極方向と同一方向へ電界が印加されたときには、各
圧電体層は、基体2の長手方向へ伸び、基体2全体とし
ても長手方向に伸びる。一方、図20(B)に示すよう
に、各圧電体層に分極方向と逆方向へ電界が印加された
ときには、各圧電体層は、基体2の長手方向に縮み、基
体2全体としても長手方向に縮む。これが交互に繰り返
されて、基体2はその長手方向に振動する。
示すように、電界が印加された際に各圧電体層に発生す
る伸縮の向きが全て同じである。言い換えれば、各圧電
体層に逆圧電効果により発生する駆動力の向きが全て同
じである。このため、この圧電共振子1では、入力信号
が効率良く機械振動に変換されるので、電気機械結合係
数を大きくすることができ、共振周波数Frと***振周
波数Faとの差であるΔFも比較的大きくすることがで
きる。ΔFの大きな共振子は、たとえば、広帯域のフィ
ルタに用いるのに適している。
ィルタや発振子などでは、小さなΔFが要求される場合
がある。しかし、図18ないし図20を参照しながら説
明した圧電共振子1では、ΔFの小さなものを得るため
には、電極面積や圧電体層の大きさや厚みを変更しなけ
ればならず、そのためには煩雑な手間を要するという問
題があった。
Fが小さく、狭帯域のフィルタや発振子などに用いるの
に適した圧電共振子を提供することである。
有する基体と、基体の少なくとも一部を構成し、基体の
長手方向に沿って分極された複数の圧電体層と基体の長
手方向と直交するように基体内に配置される複数の電極
とが交互に積層されてなる積層体部と、基体内の複数の
電極を接続するために基体の同一または異なる側面に形
成される一対の外部電極とを含む圧電共振子であって、
積層体部は、第1振動部および第2振動部を含み、第1
振動部の圧電体層に分極方向と同一方向に電界が印加さ
れるときには、第2振動部の圧電体層に分極方向と逆方
向に電界が印加され、第1振動部の圧電体層に分極方向
と逆方向に電界が印加されるときには、第2振動部の圧
電体層に分極方向と同一方向に電界が印加される、圧電
共振子である。
いた電子部品であって、基体を支持するための支持部材
を、表面にパターン電極の形成された絶縁基板で構成
し、絶縁基板上に圧電共振子の基体の長手方向のほぼ中
央部を保持するための取付部材を介して基体を取り付け
るとともに、絶縁基板上に基体を覆うようにキャップを
配置したことを特徴とする、電子部品である。さらに、
この発明は、上述の圧電共振子を用いた電子部品であっ
て、基体を支持するための支持部材を、表面にパターン
電極の形成された絶縁基板で構成し、絶縁基板上に、直
列および並列にラダー型に接続される複数の圧電共振子
を、それぞれの基体の長手方向のほぼ中央部を保持する
ための取付部材を介して取り付けるとともに、絶縁基板
上に基体を覆うようにキャップを配置したことを特徴と
する、電子部品である。
長手方向に電界を加えたときに、基体に長さ振動モード
の基本振動が励振される。この励振は、圧電縦効果を利
用して行われる。そのため、幅モードや厚みモードなど
のような基本振動と異なるモードの振動が発生しにく
く、スプリアスが小さくなる。また、この発明にかかる
圧電共振子では、長さモードの基本振動の励振された基
体の第2振動部と第1振動部とが互いに逆位相で振動し
ようとするので、ΔFが小さくなる。
型フィルタ,発振子,ディスクリミネータ,フィルタな
どの電子部品を作製する場合、パターン電極を形成した
絶縁体基板上に圧電共振子を取り付け、さらにキャップ
で覆うことによって、チップ型の電子部品とすることが
できる。
と第1振動部との比率や互いの位置を調整することによ
り、圧電共振子の外形を変化させることなく、ΔFの選
択の幅を広げることができ、多様なΔFを実現すること
ができる。また、この発明によれば、ΔFの小さな圧電
共振子を得ることが可能であるので、狭帯域のフィルタ
や発振子などとして用いるのに適した圧電共振子を得る
ことができる。
を作製する場合、チップ型の電子部品とすることができ
るので、回路基板などに実装することが簡単である。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
の一例を示す斜視図であり、図2はその図解図である。
圧電共振子10は、たとえば直方体状の基体12を含
む。基体12は、複数枚の圧電体層を電極14を介在さ
せながら積層して形成される積層体部を含み、積層体部
は第1振動部24aおよび第2振動部24bを含む。各
圧電体層は、圧電セラミックで形成される。複数枚の電
極14は、それぞれの面を基体12の長手方向に直交さ
せ、かつ互いに所定の間隔を置きながら形成される。
は、第1振動部24aが形成される。第1振動部24a
は、基体12に長さモードの基本振動を励振するための
ものである。この第1振動部24aでは、図2に黒矢印
で示すように、1つの電極14を挟んで隣り合った圧電
体層が、基体12の長手方向に沿って互いに逆向きに分
極される。一方、第1振動部24aの両外側には、第2
振動部24bが形成される。第2振動部24bは、第1
振動部24aによる振動の効率を若干阻害して、圧電共
振子10のΔFを下げるためのものである。この第2振
動部24bの圧電体層は、図2に白抜き矢印で示すよう
に、電極14を挟んで隣接した第1振動部24aの圧電
体層と同一方向に分極されている。さらに、第2振動部
24bの両外側には、ダミー層dが形成される。なお、
ダミー層dは必要の無い場合には形成しなくてもよい。
ぞれ複数の絶縁膜16,18が形成される。基体12の
一方の側面においては、電極14の露出部が、1つおき
に絶縁膜16で被覆される。また、基体12の他方の側
面においては、一方の側面で絶縁膜16に被覆されてい
ない電極14の露出部が、1つおきに絶縁膜18で被覆
される。これらの絶縁膜16,18が形成された基体1
2の2つの側面が、後述の外部電極との接続部となる。
2の絶縁膜16,18が形成された側面には、外部電極
20,22が形成される。したがって、外部電極20に
は絶縁膜16で被覆されていない電極14が接続され、
外部電極22には絶縁膜18で被覆されていない電極1
4が接続される。つまり、電極14の隣合うものが、そ
れぞれ電極20および電極22に接続される。この圧電
共振子10では、外部電極20,22が入出力電極とし
て使用される。このとき、隣り合う電極14間に電界が
印加されるため、基体12は圧電的に活性となる。
の振動状況を説明するための図解図である。図3に示す
圧電共振子10は、上述した図1および図2に示す圧電
共振子と同様の構造を有するものである。図3におい
て、圧電共振子10の基体12に記載した3段の矢印の
うち、上段に記載した矢印は電界の印加方向を示し、中
段に記載した白抜き矢印は分極方向を示し、下段に記載
した矢印は圧電縦効果による各圧電体層の伸縮方向を示
す。そして、圧電共振子10の外部電極20および22
に、時間の経過とともに電圧の向きが変わる交流信号が
入力されると、基体12を構成する各圧電体層に電極1
4の両側で互いに異なる方向へ電界が印加され、基体1
2の中心部をノードとした長さ振動モードの基本振動が
励振される。すると、基体12は、図3(A)の状態と
図3(B)の状態を交互に繰り返して、長手方向に振動
する。
振動部24aの各圧電体層に分極方向と同一方向へ電界
が印加されたときには、各圧電体層は、基体12の長手
方向へ伸び、基体12全体としても長手方向に伸びる。
しかし、このとき、第2振動部24bの圧電体層には、
分極方向と逆方向へ電界が印加されることになるので、
第2振動部24bは基体12の長手方向に縮もうとす
る。一方、図3(B)に示すように、各圧電体層に分極
方向と逆方向へ電界が印加されたときには、各圧電体層
は、基体12の長手方向に縮み、基体12全体としても
長手方向に縮む。しかし、このとき、第2振動部24b
の圧電体層には、分極方向と同一方向へ電界が印加され
ることになるので、第2振動部24bは基体12の長手
方向に伸びようとする。また、図4は、この発明に係る
圧電共振子10の振動時における各圧電体層の厚みの変
化の状況を示す図解図である。図4において、基体12
が縮む前の各圧電体層の厚みをtで示し、基体12が縮
んだ後の各圧電体層の厚みをt1 〜t3で示す。これら
の厚みは、t>t3 >t2 >t1 の関係にある。つま
り、圧電体層は、基体12の中央に配置されるほど縮む
割合が大きい。
共振子10では、長さ振動モードの基本振動が励振され
た基体12の一部分を占める第2振動部24bが、基体
12の残りの大部分を占める第1振動部24aの振動方
向とは逆位相で振動しようとする。そのため、第1振動
部24aの振動の効率が若干阻害され、圧電振動子10
のΔFが小さくなる。したがって、狭帯域のフィルタや
発振子などとして用いるのに適した圧電共振子を得るこ
とができる。しかも、この圧電共振子10では、励振に
圧電縦効果を利用して基本振動となる長さ振動を励振し
ているので、幅モードや厚みモードなどのような基本振
動と異なるモードの振動が発生しにくく、スプリアスが
小さくなる。また、この圧電共振子10の構造によれ
ば、第2振動部24bの第1振動部24aに対する比率
や位置を調整することにより、圧電共振子10の外形を
変化させることなく、ΔFの選択の幅を広げることがで
き、多様なΔFを実現することができる。たとえば、図
1および図2に示す実施例では、第2振動部24bが第
1振動部24aの両外側に形成されたが、これに限ら
ず、第2振動部24bを基体12の中心部に寄せて配置
してもよい。また、この圧電共振子10では、第2振動
部24bが、第1振動部24aの両外側に1層ずつ形成
されたが、これに限らず、第1振動部24aの内側に単
層のみ形成されてもよく、さらに、第2振動部24b
は、複数層形成されてもよい。
を調べるための実施例を示す図解図である。一方、図6
は比較例を示す図解図である。図5に示す圧電共振子1
0は、長さl=3.78mm、高さt=1.0mm、幅
w=1.0mmである。この圧電共振子10の基体12
の中央部には、4枚の圧電体層が電極14を間に挟みつ
つ一体に積層されてなる第1振動部24aが形成され
る。第1振動部24aの両外側には、それぞれ1枚の圧
電体層が電極14で挟持された第2振動部24bが第1
振動部24aと一体に形成される。そのため、この基体
12の両端部には、それぞれ電極14が形成されてい
る。なお、この基体12を構成する圧電体層は、すべて
同じ厚みである。一方、比較例としての図6に示す圧電
共振子1は、図5に示す圧電共振子10と同じ外形寸法
を有する。この圧電共振子1の基体2は、6枚の圧電体
層が電極3を間に挟みつつ一体に積層されて形成され
る。この基体2の両端部にも、それぞれ電極が形成され
る。この基体2を構成する圧電体層も、すべて同じ厚み
である。
圧電体層の分極方向を示す。図5に示す実施例の圧電共
振子10では、第2振動部24bを構成する圧電体層の
分極方向が、電極14を挟んで隣り合った第1振動部2
4aの圧電体層と同一方向に分極されている。そして、
第1振動部24aと第2振動部24bとが、逆位相で振
動しようとする。一方、図6に示す比較例の圧電共振子
1では、電極3を挟んで隣り合った圧電体層が、基体2
の長手方向に沿って、互いに逆方向に分極される。この
圧電共振子1は、第2振動部を有しない。
す圧電共振子10および図6に示す圧電共振子1の共振
周波数Fr、***振周波数Fa、およびその差ΔFをそ
れぞれ有限要素法により計算して表1に示した。
10では、図6に示す比較例の圧電共振子1よりもΔF
が小さいことがわかる。
例の構造および振動状況を説明するための図解図であ
る。図7において、圧電共振子10の基体12に記載し
た3段の矢印のうち、上段に記載した矢印は電界の印加
方向を示し、中段に記載した白抜き矢印は分極方向を示
し、下段に記載した矢印は圧電縦効果による各圧電体層
の伸縮方向を示す。図7に示す圧電共振子10は、図2
に示した圧電共振子と比べて、第2振動部24bの圧電
体層の分極方向と絶縁膜16,18の配置の仕方とが異
なる。すなわち、図7に示す圧電共振子10では、第2
振動部24bが基体12の図7図示右端側に形成され
る。この第2振動部24bは、電極14とダミー電極1
4′とで挟持された一つの圧電体層からなる。この圧電
共振子10では、第2振動部24bを構成する圧電体層
が、電極14およびダミー電極14′を挟んで隣り合っ
た第1振動部24aの圧電体層とは逆方向に分極されて
いる。そして、ダミー電極14′は、基体12の両側面
において絶縁膜16および18で絶縁され、外部電極2
0および22に接続されない。また、ダミー電極14′
の図7図示左隣りの電極14は、絶縁膜16で絶縁され
て外部電極20と接続されず、外部電極22に接続され
る。さらに、ダミー電極14′の図7図示右隣りの電極
14は、絶縁膜18で絶縁されて外部電極22と接続さ
れず、外部電極20に接続される。そのため、図7
(A)および図7(B)に示すように、このダミー電極
14′の両側の圧電体層には、それぞれ基体12の長手
方向に沿って同一方向へ、すなわち、一端側から他端側
へまたは他端側から一端側へと電界が印加される。この
構造をとることにより、第1振動部24aの圧電体層に
その分極方向と同一方向に電界が印加されるときには、
第2振動部24bの圧電体層にはその分極方向と逆方向
に電界が印加され、第1振動部24aの圧電体層にその
分極方向と逆方向に電界が印加されるときには、第2振
動部24bの圧電体層にはその分極方向と同一方向に電
界が印加されることになる。そのため、図7(A)およ
び図7(B)の下段の矢印に示すように、第1振動部2
4aと第2振動部24bとが、互いに逆位相で振動しよ
うとする。したがって、図7に示す圧電共振子10で
も、図1ないし図6を参照しながら説明した上述の圧電
共振子と同様の効果を得ることができる。
に他の例の構造および振動状況を説明するための図解図
である。図9は、図8に示す圧電共振子の回路図であ
る。図8に示す圧電共振子10は、基本的には、図1な
いし図6を参照しながら説明した圧電共振子と同様の構
造を有するが、第2振動部24bの両側に容量部26が
一体的に形成されて基体12が構成されている点で相違
する。容量部26は、分極されていないたとえばPZT
などの圧電体層が電極14で挟持されて形成される。容
量部26の一方の電極14は、外部電極20に接続さ
れ、他方の電極14は、外部電極22に接続される。つ
まり、容量部26は、図9に示すように、第1振動部2
4aおよび第2振動部24bに並列に接続される。した
がって、図8に示す圧電共振子10では、容量部26を
調整することにより、長さ基本振動のΔFの調整をする
ことができる。たとえば、誘電体層の容量を増やすほ
ど、制動容量が大きくなり、ΔFは小さくなる。
囲でΔFを調整することができ、設計の自由度が高い。
そのため、この圧電共振子10は、ΔFを小さくするこ
とができ、帯域幅の狭いフィルタや発振子などに用いる
のに適する。また、図8に示す圧電共振子10では、第
1振動部24aおよび第2振動部24bと容量部26と
の比率を変えたり、第1振動部24aおよび第2振動部
24bに対する容量部26の配置の位置を変えたりする
ことによっても、ΔFの値を幅広い範囲で調整すること
ができる。たとえば、図8に示す圧電共振子10では、
容量部26が基体12の両端部に形成されたが、これに
限らず、容量部26を基体12の中心部に寄せて配置す
るほどΔFが小さくなる。さらに、図8に示す圧電共振
子10では、容量部26の容量を調整することによっ
て、圧電共振子10全体の容量を上げることができる。
容量部26の容量は、電極14の対向面積、誘電体層の
厚み等を変えることにより調整できる。また、容量部2
6は複数の誘電体層を電極14を間に挟みながら積層す
ることにより形成してもよい。この場合も容量部26は
振動部24と並列に接続される。そして、この場合に
は、積層数を上げるほどΔFは小さくなる一方で、容量
は上がる。なお、容量部26を形成するための材質とし
ては、PZTに限らず、誘電率を有する材質であれば様
々なものが適用でき、PZTより大きな誘電率を有する
材料(たとえばBaTiO3 など)を用いてもよい。
ら、上述の構造を有する圧電共振子を用いた発振子やデ
ィスクリミネータなどの電子部品について説明する。こ
の電子部品60に用いられる圧電共振子10は、図1な
いし図6を参照しながら説明した圧電共振子でもよく、
図7に示した圧電共振子でもよく、図8に示した圧電共
振子でもよい。図10は、電子部品60の一例を示す斜
視図である。電子部品60は、絶縁体基板62を含む。
絶縁体基板62の対向する端部には、それぞれ2つずつ
凹部64が形成される。絶縁体基板62の一方面上に
は、図11に示すように、2つのパターン電極66,6
8が形成される。一方のパターン電極66は、対向する
凹部64間に形成され、その一端側から絶縁体基板62
の中央部に向かって、L字状に延びるように形成され
る。また、他方のパターン電極68は、別の対向する凹
部64間に形成され、その他端側から絶縁体基板62の
中央部に向かって、直線状に延びるように形成される。
これらのパターン電極66,68は、絶縁体基板62の
端部から他方面に向かって、回り込むように形成され
る。
電極66の端部には、導電接着剤などによって取付部材
70が形成される。そして、図12に示すように、取付
部材70上に、上述の圧電共振子10が取り付けられ
る。このとき、基体12の長手方向の中央部が取付部材
70上に配置され、たとえば圧電共振子10の外部電極
22が取付部材70に接合され、パターン電極66に接
続される。そして、他方の外部電極20が、導電ワイヤ
72などによって、パターン電極68に接続される。こ
のとき、導電ワイヤ72は、圧電共振子10の外部電極
20の長手方向の中央部に接続される。
プ74がかぶせられる。このとき、金属キャップ74と
パターン電極66,68とが導通しないように、絶縁基
板62およびパターン電極66,68上に絶縁性樹脂が
塗布される。そして、金属キャップ74がかぶせられる
ことによって、電子部品60が作製される。この電子部
品60では、絶縁体基板62の端部から裏面に回り込む
ように形成されたパターン電極66,68が、外部回路
と接続するための入出力端子として用いられる。
成され、この取付部材70に圧電共振子10の長手方向
の中央部が固定されているため、圧電共振子10の端部
が絶縁体基板62から離れた状態で配置され振動が阻害
されない。また、同様に、圧電共振子10のノード点で
ある中央部が取付部材70に固定されるとともに、導電
ワイヤ72もノード点である中央部に接続されるため、
励振される長さ振動が弱められない。
もに回路基板などに実装され、発振子やディスクリミネ
ータとして用いられる。このような構造の電子部品60
では、金属キャップ74で密封・保護されているため、
リフロー半田などによる取り付けが可能なチップ部品と
して使用することができる。
場合、上述の圧電共振子10が用いられているので、ス
プリアスが小さく抑えられ、スプリアスによる異常発振
を防止することができる。また、圧電共振子10の容量
値を自由に設定できるため、外部回路とのインピーダン
ス整合をとることが容易である。
ータとして用いる場合、共振子のΔFが小さいという特
徴は、ピークセパレーションが狭いという特徴につなが
る。さらに、共振子の容量設計範囲が広いため、外部回
路とのインピーダンス整合をとることが容易である。
の例を示す斜視図である。図14は、図13に示した圧
電共振子の構造を示す図解図である。図13および図1
4に示す圧電共振子10は、基本的な構造は図1ないし
図6を参照しながら説明した圧電共振子と同様である
が、基体12の1つの側面に2つの外部電極20,22
が形成される点で相違する。この場合、基体12の1つ
の側面において、2列に絶縁膜16,18が形成される
ことにより、2列の接続部が形成される。図14に示す
ように、絶縁膜16は基体12の幅方向一端側に形成さ
れ、絶縁膜18は基体12の幅方向他端側に形成され
る。これらの2列の絶縁膜16,18は、それぞれ1つ
おきの電極14上に形成される。このとき、2列の絶縁
膜16,18は、互いに異なる電極14上に形成され
る。そして、これらの絶縁膜16上に、2列の外部電極
20,22が形成される。この圧電共振子10について
も、上述の圧電共振子と同様の効果を得ることができ
る。また、この圧電共振子10では、基体12の一つの
側面に2つの外部電極20,22を形成しているので、
回路基板上に圧電共振子10をフェイスボンディングし
て、ラダーフィルタや発振子やディスクリミネータなど
を作製することができる。つまり、図13および図14
に示す構造の圧電共振子10は、フェイスボンディング
により絶縁体基板上に固着でき、ワイヤを使わないです
むので、電子部品の製造が一層容易化される。
共振子を用いた電子部品の例を示す要部平面図であり、
図16はその要部分解斜視図である。図15および図1
6に示す電子部品60では、図13および図14に示し
た構造を有する4つの圧電共振子10a,10b,10
cおよび10dが用いられる。また、この電子部品60
では、図16に示すように、支持部材としての絶縁体基
板62上に、4つのパターン電極90,92,94,9
6が形成される。これらのパターン電極90〜96に
は、間隔を隔てて一列に配置される5つのランドが形成
される。この場合、絶縁体基板62の一端から1番目の
ランドR1はパターン電極90に形成され、2番目のラ
ンドR2および5番目のランドR5はパターン電極92
に形成され、3番目のランドR3はパターン電極94に
形成され、4番目のランドR4はパターン電極96に形
成される。そして、圧電共振子10a〜10dと、1番
目〜5番目のランドR1〜R5とを接続するために、矩
形ブロック状で少なくとも表面が導電体からなる取付部
材98,100,102,104,106,108,1
10および112が準備される。これらの取付部材98
〜112は、図13に示すように、あらかじめ圧電共振
子10のノード部の電極20および22に導電性接着剤
などでそれぞれ取り付けられる。それから、圧電共振子
10は、図16に示すようにひっくり返され、1番目の
ランドR1には取付部材98が取り付けられ、2番目の
ランドR2には取付部材100および102が取り付け
られ、3番目のランドR3には取付部材104および1
06が取り付けられ、4番目のランドR4には取付部材
108および110が取り付けられ、5番目のランドR
5には取付部材112が、それぞれ、導電性接着剤など
で取り付けられる。この場合、これらの取付部材98〜
112は、図15に示すように、間隔を隔てて一列に配
置されることになる。こうして、取付部材98〜112
によって4つの圧電共振子10a〜10dが絶縁体基板
62上に支持されるとともに、それらの圧電共振子10
の電極20および22がそれぞれ絶縁体基板62上のパ
タ−ン電極90〜96に接続される。この場合、図17
に示す梯子型の回路が得られるようにパターン電極90
〜96は形成されている。そして、絶縁体基板62上
に、金属キャップ(図示せず)がかぶせられる。
梯子型の回路を有するラダーフィルタとして用いられ
る。このとき、2つの圧電共振子10a,10cは直列
共振子として用いられ、別の2つの圧電共振子10b,
10dは並列共振子として用いられる。このようなラダ
ーフィルタでは、並列の圧電共振子10b,10dの容
量が、直列の圧電共振子10a,10cの容量よりも格
段に大きくなるように設計される。ラダーフィルタの減
衰量は、直列共振子と並列共振子の容量比に左右され
る。この電子部品60では、圧電共振子10a〜10d
の容量を調整することにより、少ない共振子数でより大
きい減衰量をもったラダーフィルタを実現することがで
きる。また、圧電共振子10a〜10dのΔFが小さい
ので、通過帯域幅の狭いラダーフィルタを実現すること
ができる。さらに、直列接続される圧電共振子10aお
よび10cのΔFをそれぞれ小さくし、並列接続される
圧電共振子10bおよび10dのΔFをそれぞれ大きく
して両者のΔF差を大きくすることにより、通過帯域幅
の広いラダーフィルタを実現することができる。
では、隣接する圧電共振子の各一方の電極を同一のラン
ド上に取付部材を介して取り付けるため、隣接する圧電
共振子の2つの電極間で絶縁する必要がなく、隣接する
圧電共振子を接近させることができ、小型化が可能であ
る。
である。
る。
説明するための図解図である。
圧電体層の厚みの変化の状況を示す図解図である。
の実施例を示す図解図である。
び振動状況を説明するための図解図である。
造および振動状況を説明するための図解図である。
の一例を示す斜視図である。
板の例を示す斜視図である。
視図である。
図である。
た電子部品の例を示す要部平面図である。
図である。
路図である。
子の一例を示す斜視図である。
る。
状況を説明するための図解図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 長手方向を有する基体と、 前記基体の少なくとも一部を構成し、基体の長手方向に
沿って分極された複数の圧電体層と前記基体の長手方向
と直交するように前記基体内に配置される複数の電極と
が交互に積層されてなる積層体部と、 前記基体内の前記複数の電極を接続するために前記基体
の同一または異なる側面に形成される一対の外部電極と
を含む圧電共振子であって、 前記積層体部は、第1振動部および第2振動部を含み、 前記第1振動部の圧電体層に分極方向と同一方向に電界
が印加されるときには、前記第2振動部の圧電体層に分
極方向と逆方向に電界が印加され、 前記第1振動部の圧電体層に分極方向と逆方向に電界が
印加されるときには、前記第2振動部の圧電体層に分極
方向と同一方向に電界が印加される、圧電共振子。 - 【請求項2】 請求項1に記載の圧電共振子を用いた電
子部品であって、 前記基体を支持するための支持部材を、表面にパターン
電極の形成された絶縁基板で構成し、 前記絶縁基板上に前記圧電共振子の基体の長手方向のほ
ぼ中央部を保持するための取付部材を介して前記基体を
取り付けるとともに、 前記絶縁基板上に前記基体を覆うようにキャップを配置
したことを特徴とする、電子部品。 - 【請求項3】 請求項1に記載の圧電共振子を用いた電
子部品であって、 前記基体を支持するための支持部材を、表面にパターン
電極の形成された絶縁基板で構成し、 前記絶縁基板上に、直列および並列にラダー型に接続さ
れる複数の前記圧電共振子を、それぞれの基体の長手方
向のほぼ中央部を保持するための取付部材を介して取り
付けるとともに、 前記絶縁基板上に前記基体を覆うようにキャップを配置
したことを特徴とする、電子部品。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP26552996A JP3267171B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26552996A JP3267171B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
Publications (2)
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JPH1093379A true JPH1093379A (ja) | 1998-04-10 |
JP3267171B2 JP3267171B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=17418404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26552996A Expired - Lifetime JP3267171B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
Country Status (6)
Country | Link |
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US (1) | US5925971A (ja) |
EP (1) | EP0829957B1 (ja) |
JP (1) | JP3267171B2 (ja) |
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DE69714162T2 (de) | 2002-12-12 |
NO971943L (no) | 1998-03-13 |
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JP3267171B2 (ja) | 2002-03-18 |
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