JPS601877A - 積層型圧電体 - Google Patents
積層型圧電体Info
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- JPS601877A JPS601877A JP58109244A JP10924483A JPS601877A JP S601877 A JPS601877 A JP S601877A JP 58109244 A JP58109244 A JP 58109244A JP 10924483 A JP10924483 A JP 10924483A JP S601877 A JPS601877 A JP S601877A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は＃ｄ層型圧１ｕ体、特にアクチュエータとして
用いうる温度依存性の少ないタイプの積層型圧電体に係
る。
用いうる温度依存性の少ないタイプの積層型圧電体に係
る。
従来の背景
セラミック圧電体が電圧′ｊｒ、断続して印加すること
によって変位することは知られており、この変位を利用
してアクチーエータ機能を満足させるためＫは、セラミ
ック圧電体全核数個精層し、その変位線を大きくすれば
よい。しかし、こりした禎層型圧電体金用いてアクチュ
エータを作與し、糊々実験？行なったところ、圧′的体
の変位開二が温度上昇とともに減少し、アクチーエータ
の燃料噴射片も減少するといつ不都合が生じた。
によって変位することは知られており、この変位を利用
してアクチーエータ機能を満足させるためＫは、セラミ
ック圧電体全核数個精層し、その変位線を大きくすれば
よい。しかし、こりした禎層型圧電体金用いてアクチュ
エータを作與し、糊々実験？行なったところ、圧′的体
の変位開二が温度上昇とともに減少し、アクチーエータ
の燃料噴射片も減少するといつ不都合が生じた。
そこで、不発明者らは、変位量が？！、？１度に依存し
ない積層型圧１４体を得るために、圧′１に体の組成を
種々変えて検討したが、圧電体の変１１ｒが８度に依存
しないものは見い出されず、温度上昇に伴なって変位量
が増力目するものと減少するものとに分類できることが
わかった。又、ＹＲ度変化に依存した圧電体の変位材の
増７１０率育たは減少率はほぼ一定で、＠線的な変化で
あることも見られた。
ない積層型圧１４体を得るために、圧′１に体の組成を
種々変えて検討したが、圧電体の変１１ｒが８度に依存
しないものは見い出されず、温度上昇に伴なって変位量
が増力目するものと減少するものとに分類できることが
わかった。又、ＹＲ度変化に依存した圧電体の変位材の
増７１０率育たは減少率はほぼ一定で、＠線的な変化で
あることも見られた。
発明の目的
不発明は、以上の如き問題点に鑑み、圧電体の変位線の
特性が温度変化によシ変化するの勿吟〒消または低減し
た梢Ｒ型圧゛覗体ｔ−提供することを目的とする。
特性が温度変化によシ変化するの勿吟〒消または低減し
た梢Ｒ型圧゛覗体ｔ−提供することを目的とする。
発明のイｔり成
そして、上記目的を達成するために、本発明によるＭ層
型圧電体では、それを槽底する圧電、単体に、温度変化
に関して変位量が増７Ｊｒｌ関数的に変化するものと減
少関数的に変化するものと全組み合わせて用いる。この
紹み合わせ全適当に選択することによって種層型圧電体
全体の変Ｉヅ＋１１の温度依存変化は解消ｌたは低減し
、アクチュエータの燃料噴射類の温度依存変化とい９間
」も解決できる。
型圧電体では、それを槽底する圧電、単体に、温度変化
に関して変位量が増７Ｊｒｌ関数的に変化するものと減
少関数的に変化するものと全組み合わせて用いる。この
紹み合わせ全適当に選択することによって種層型圧電体
全体の変Ｉヅ＋１１の温度依存変化は解消ｌたは低減し
、アクチュエータの燃料噴射類の温度依存変化とい９間
」も解決できる。
以下、実施列を用いて詳述する。
実ｍ列
セラミック圧電棒金＃造する。所定の組成に調整した生
の原料（ＰｂＱ Ｉ Ｔ ｉ Ｏ２＋ Ｚｒｏｌ等）あ
ルイｔｔ予め合成した原料（ＰｂＴｉ０． 、 ＰｂＺ
ｒＯｓ 、等）を混合した後、約８００〜９０００Ｃで
１〜５時間仮焼する。
の原料（ＰｂＱ Ｉ Ｔ ｉ Ｏ２＋ Ｚｒｏｌ等）あ
ルイｔｔ予め合成した原料（ＰｂＴｉ０． 、 ＰｂＺ
ｒＯｓ 、等）を混合した後、約８００〜９０００Ｃで
１〜５時間仮焼する。
しかる後、シート成形またはプレス成形によって板状あ
るいは棒状の成形体を作成する。これ全１１５０℃〜１
２５０℃で１〜５時間焼成した佐、研摩あるいはスライ
スして圧電単体を得る。第１図はこりして作成した圧電
単体に電極全形成し、それら全接着して一体化した俊分
極させて作った積層体に所定１花圧を印〃口したときの
変位量の温度に関するグラフである。直線（ａ）はｘＰ
ｂ （Ｎ ｉ 晃Ｎｂ 鉛）ＤＢｄｈ −ｙＰｂＴｉ
Ｏ，−ｚＰｂＺｒＯ３（ただしｘ＋ｙ＋ｚ＝１）糸の圧
電体の特性線で、温度上昇とともに圧電体の変位量が減
少している。面＃ｊ！（ｔ））は［： ｘＰｂ’ｒ １
ｔｓ−ｙＰ ｂＺｒ Ｏｓ ］ 十αＮｂｚ Ｏｓ （
ただし、ｘ＋ｙ＝ｔ＋ ａはｘＰｂＴｉＯｓｙＰｂＺｒ
０３に対する重緻比）糸の圧電体の特性線で、温度上昇
とともにＩｉ：＋α体のに位楕が増加している。
るいは棒状の成形体を作成する。これ全１１５０℃〜１
２５０℃で１〜５時間焼成した佐、研摩あるいはスライ
スして圧電単体を得る。第１図はこりして作成した圧電
単体に電極全形成し、それら全接着して一体化した俊分
極させて作った積層体に所定１花圧を印〃口したときの
変位量の温度に関するグラフである。直線（ａ）はｘＰ
ｂ （Ｎ ｉ 晃Ｎｂ 鉛）ＤＢｄｈ −ｙＰｂＴｉ
Ｏ，−ｚＰｂＺｒＯ３（ただしｘ＋ｙ＋ｚ＝１）糸の圧
電体の特性線で、温度上昇とともに圧電体の変位量が減
少している。面＃ｊ！（ｔ））は［： ｘＰｂ’ｒ １
ｔｓ−ｙＰ ｂＺｒ Ｏｓ ］ 十αＮｂｚ Ｏｓ （
ただし、ｘ＋ｙ＝ｔ＋ ａはｘＰｂＴｉＯｓｙＰｂＺｒ
０３に対する重緻比）糸の圧電体の特性線で、温度上昇
とともにＩｉ：＋α体のに位楕が増加している。
第２図は、こうして作成した圧■７単体を組合せて製造
した本発明の実施例である梢層型圧電俸Ａを示す。この
稍層型圧隘体Ａは、直径約１５門、厚さ約０．５市の円
板状のセラミック圧電単体１０１．１０２を複数個ａ／
ｌた長さ約４０卵の円柱形である。第２商中、砂地で示
したセラミック圧電単体１０１は第１図の直線（ａ）の
特性全示す前記組成のもの、一方、無地で示したセラミ
ック圧電単体１０２は第１図の直線Φ）の特性を示す前
記組成のものでああ。この２８類の圧Ｉｎ１体１０１．
１０２は第１図の１Ｊｌ（ａ） 、 （ｂ）の噸き絶対
値の逆数で用いるとよい。すなわち、この天／ｉｆ！ｉ
例１ −であるから、その絶対値の逆数の比ｆｄ、 ＝’ ：
１５０ ４３ １５〇 一部１：４ となる。従って、圧電単体ｌＯ１を１ １個に対して圧′１単体１０２’ｃ４個用い、かつ圧電
単体１０１は均一に分散して配置する。
した本発明の実施例である梢層型圧電俸Ａを示す。この
稍層型圧隘体Ａは、直径約１５門、厚さ約０．５市の円
板状のセラミック圧電単体１０１．１０２を複数個ａ／
ｌた長さ約４０卵の円柱形である。第２商中、砂地で示
したセラミック圧電単体１０１は第１図の直線（ａ）の
特性全示す前記組成のもの、一方、無地で示したセラミ
ック圧電単体１０２は第１図の直線Φ）の特性を示す前
記組成のものでああ。この２８類の圧Ｉｎ１体１０１．
１０２は第１図の１Ｊｌ（ａ） 、 （ｂ）の噸き絶対
値の逆数で用いるとよい。すなわち、この天／ｉｆ！ｉ
例１ −であるから、その絶対値の逆数の比ｆｄ、 ＝’ ：
１５０ ４３ １５〇 一部１：４ となる。従って、圧電単体ｌＯ１を１ １個に対して圧′１単体１０２’ｃ４個用い、かつ圧電
単体１０１は均一に分散して配置する。
こうした圧を狂単体の組み付けは次のようにして行なっ
た。第３図は圧電単体１０１．１０２に銀ペーストで電
極を形成した様子を示す。圧電単体１０１．１０２の円
形の主要面に直径約１３喘の円形に銀ペーストを被着し
て生電極２とすると共に、銀ペーストを幅約３ｍｍで円
周面の一部にまで延長して側面電極３を形成する。銀ペ
ーストの厚さは約５〜１５マイクロト−ドルである。こ
うして′電極全形成した圧電単体１０１，１０．２は多
数積層されると、銀ペーストの接着作用でお互いに接着
され、一体的なものとなる。＃’７！ Ｈの仕方は同じ
同きの側面′電極３が１個おきに整列する如くする。こ
うして整列した側面電極３を第４図に示す如くリード線
４で順に電気的に接続すれは、複数の圧電単体１０１．
１０２は′電気的に並列接続される。笑１祭には、第２
図に戻ると、リード線ではＺ（約１００メツシユのステ
ンレス製金網４１全用い、その本１１線の一部を妹ずし
て側面電極３と銀ペースト（図示せず）で接続する。又
、金網４１の横線とＲ線が接触だけで父わると抵抗が大
きいので、金網４１の一部４２に銀ペーストまたは半田
を付着する。そして、外部へのリード線４３はこの部位
４２から取り出す。この接続方式であれば、作動時の圧
電体の変位を十分に吸収し、リード線４が側面電極３か
ら剥離したり、セラミック圧電体］、 ０１ 、１０２
に亀裂が入ったりすることを防止できる。
た。第３図は圧電単体１０１．１０２に銀ペーストで電
極を形成した様子を示す。圧電単体１０１．１０２の円
形の主要面に直径約１３喘の円形に銀ペーストを被着し
て生電極２とすると共に、銀ペーストを幅約３ｍｍで円
周面の一部にまで延長して側面電極３を形成する。銀ペ
ーストの厚さは約５〜１５マイクロト−ドルである。こ
うして′電極全形成した圧電単体１０１，１０．２は多
数積層されると、銀ペーストの接着作用でお互いに接着
され、一体的なものとなる。＃’７！ Ｈの仕方は同じ
同きの側面′電極３が１個おきに整列する如くする。こ
うして整列した側面電極３を第４図に示す如くリード線
４で順に電気的に接続すれは、複数の圧電単体１０１．
１０２は′電気的に並列接続される。笑１祭には、第２
図に戻ると、リード線ではＺ（約１００メツシユのステ
ンレス製金網４１全用い、その本１１線の一部を妹ずし
て側面電極３と銀ペースト（図示せず）で接続する。又
、金網４１の横線とＲ線が接触だけで父わると抵抗が大
きいので、金網４１の一部４２に銀ペーストまたは半田
を付着する。そして、外部へのリード線４３はこの部位
４２から取り出す。この接続方式であれば、作動時の圧
電体の変位を十分に吸収し、リード線４が側面電極３か
ら剥離したり、セラミック圧電体］、 ０１ 、１０２
に亀裂が入ったりすることを防止できる。
こうして得られた本発明の実施例の種層型圧′亀体Ａに
５００ｖの川、正金印加し、変位−―、を？ｌ＋す定し
、その温度依存性を調べたところ、第１図の直線（ｅ）
のように変位の温度依存性はほとんど見らｉＬなくなっ
た。
５００ｖの川、正金印加し、変位−―、を？ｌ＋す定し
、その温度依存性を調べたところ、第１図の直線（ｅ）
のように変位の温度依存性はほとんど見らｉＬなくなっ
た。
上記構成の圧電体Ａは第５図（１１） 、 （ｂ） 、
（ｃ）Ｋ示すように（第５１図Φ）、（Ｃ）ｔまそれ
ぞれ第５図（ａ）の線Ｂ−Ｂ、、ＩＣ−Ｃで切って見た
断面１図でろるり、（ν）脂製ケース１０の中に収納さ
れてアクチュエータ全形成している。即ち、第５図にお
いて、１１ｔｒｒ。
（ｃ）Ｋ示すように（第５１図Φ）、（Ｃ）ｔまそれ
ぞれ第５図（ａ）の線Ｂ−Ｂ、、ＩＣ−Ｃで切って見た
断面１図でろるり、（ν）脂製ケース１０の中に収納さ
れてアクチュエータ全形成している。即ち、第５図にお
いて、１１ｔｒｒ。
耐油性０リングでケース１０と樹脂製押板１９との間の
隙間全燃料が通るの全防いでいる。１２は逆止弁で、燃
料？一方回にだけ流るようにしである。１３はバネで、
ノズル１４をノズルホルダー１６に密着している。１７
はｌ収り付はカバーであり、ケース１０にネジどめしで
ある。１８は台座である。尚、ケース１０と、台座１８
と、ノズルホルダー１６とはノックピン等（図示せずン
によル相対的な位置移動が出来ないようにしである。
隙間全燃料が通るの全防いでいる。１２は逆止弁で、燃
料？一方回にだけ流るようにしである。１３はバネで、
ノズル１４をノズルホルダー１６に密着している。１７
はｌ収り付はカバーであり、ケース１０にネジどめしで
ある。１８は台座である。尚、ケース１０と、台座１８
と、ノズルホルダー１６とはノックピン等（図示せずン
によル相対的な位置移動が出来ないようにしである。
１５は燃料（ガソリン、軽油等）の入口である。
入口１５からの通路はケース１０の内部全通って逆止弁
１２に至る。ｌた、圧電体Ａのリード細４３は第５図（
Ｃ）に示すように、電極棒２０に接続して外部電源（図
示せず）＆′Ｃ接続するようにしである。
１２に至る。ｌた、圧電体Ａのリード細４３は第５図（
Ｃ）に示すように、電極棒２０に接続して外部電源（図
示せず）＆′Ｃ接続するようにしである。
次に翫このセラミック圧゛＋ａ体Ａ′ｆ！：アクチュエ
ータとして用いた時の作動について第５１図ヶ用いて簡
単にｄ♀明する。燃料は人口１５からアクチュエータ内
に燃料ポンプ（図示せず）により圧送され、逆止弁１２
を通９押板１９と台座１８及びノズルホルダー１６によ
シ形成された空間を満たす。この状態で外部のＷＬ極棒
２０を１巾してセラミック圧′覗体Ａに電圧を印加する
と、第２図に示したようにセラミック圧電体Ａは軸方向
に伸びる。ところが、セラミック圧電体Ａの上方はケー
ス１０により同市されているので、この変位は下方に同
かつて伸びる。そ９すると、押板１９と台座１８との隙
間が減少し、燃料の圧力が急に上列し、ノズル１４は下
方に動き、ノズル１４とノズルホルダー１６により生じ
た隙間全通って燃料が噴出される。
ータとして用いた時の作動について第５１図ヶ用いて簡
単にｄ♀明する。燃料は人口１５からアクチュエータ内
に燃料ポンプ（図示せず）により圧送され、逆止弁１２
を通９押板１９と台座１８及びノズルホルダー１６によ
シ形成された空間を満たす。この状態で外部のＷＬ極棒
２０を１巾してセラミック圧′覗体Ａに電圧を印加する
と、第２図に示したようにセラミック圧電体Ａは軸方向
に伸びる。ところが、セラミック圧電体Ａの上方はケー
ス１０により同市されているので、この変位は下方に同
かつて伸びる。そ９すると、押板１９と台座１８との隙
間が減少し、燃料の圧力が急に上列し、ノズル１４は下
方に動き、ノズル１４とノズルホルダー１６により生じ
た隙間全通って燃料が噴出される。
燃料の圧力が下がるとノズル１４がバネ１３の作用によ
り上方にもどりノズルホルダー１６との隙間全閉じる。
り上方にもどりノズルホルダー１６との隙間全閉じる。
次に、セラミック圧電体Ａのに４：圧印７ＪＤ ｌｌ−
止めると、セラミック圧電体Ａは上方にちぢみ、押板１
９と台座１８及びノズルホルダー１６によシ形成された
閉間の圧力が下がるため、新たな燃料が逆止ｆｆ１２ケ
通ってこの部分に供給される。このようにして作製した
アクチュエータはガソリン噴射用インジェクタ、ディー
ゼルエンジンのインジェクタ等に使用するものである。
止めると、セラミック圧電体Ａは上方にちぢみ、押板１
９と台座１８及びノズルホルダー１６によシ形成された
閉間の圧力が下がるため、新たな燃料が逆止ｆｆ１２ケ
通ってこの部分に供給される。このようにして作製した
アクチュエータはガソリン噴射用インジェクタ、ディー
ゼルエンジンのインジェクタ等に使用するものである。
尚、不夾施例でセラミック圧電単体１０１，１０２を多
数積層する理由は、約０．５酎当り約５００Ｖと１−い
゛電圧を印加しているため、セラミック圧１柾単体１０
１．１０２の厚さを厚くすると印〃口電圧金さらに大き
くしなければならないのと同時に突気の絶縁破ＷＶｔ起
こしやすくなるといり問題点等も生じてくるからである
。そこで、不実Ｍ ｆｆ１１では、セラミック圧電単体
１０１ 、１１） ２の厚さは０．５Ｂとしてこれ全多
数積層する梅造とした。
数積層する理由は、約０．５酎当り約５００Ｖと１−い
゛電圧を印加しているため、セラミック圧１柾単体１０
１．１０２の厚さを厚くすると印〃口電圧金さらに大き
くしなければならないのと同時に突気の絶縁破ＷＶｔ起
こしやすくなるといり問題点等も生じてくるからである
。そこで、不実Ｍ ｆｆ１１では、セラミック圧電単体
１０１ 、１１） ２の厚さは０．５Ｂとしてこれ全多
数積層する梅造とした。
こうして作製したアクチュエータを用いて２００Ｈｚ
のパルス電圧を印加して軽油の噴射実験を行なった。噴
射量の温度依存性ｔ−−１べたところ、第６図のＩＫ線
（ｃ）の如く、殆んど温度依存なく一足の噴射量葡示し
た。従って、これ金車に搭載すれば、外気温によって噴
射量が変動することがなくなり、燃料噴射機の制御が容
易になると考えられる。
のパルス電圧を印加して軽油の噴射実験を行なった。噴
射量の温度依存性ｔ−−１べたところ、第６図のＩＫ線
（ｃ）の如く、殆んど温度依存なく一足の噴射量葡示し
た。従って、これ金車に搭載すれば、外気温によって噴
射量が変動することがなくなり、燃料噴射機の制御が容
易になると考えられる。
比較のために、第１図の直線（ａ）に示す特性を持つセ
ラミック圧′亀単体ｌＯ１のみを用いて、以上の例と同
様のＳ層型圧電体Ａｔ−作成し、同様にしてアクチュエ
ータに組み込み、軽油の噴射ｔｔ一温度を変えて測足し
た。その結果第６図の直線（ａ）のように、温度上昇と
ともに軽油噴射量は減少した。
ラミック圧′亀単体ｌＯ１のみを用いて、以上の例と同
様のＳ層型圧電体Ａｔ−作成し、同様にしてアクチュエ
ータに組み込み、軽油の噴射ｔｔ一温度を変えて測足し
た。その結果第６図の直線（ａ）のように、温度上昇と
ともに軽油噴射量は減少した。
これは圧電体のに付所が温就上昇とともに減少すること
に基づくものである。
に基づくものである。
尚、不発明はｓｉＪ述の笑ｂＧｉ例に限定されることは
ない。ド１えば、温度上昇とともに変位数が減少する圧
電体としてｘＰｂ（ＣｏＨＮｂＨ）Ｏｎ ７ＰｂＴｉＯ
ｓ−ｚＰｂＺｒＯ３糸他、温度上昇とともに変位量が増
７ＪＩｌする圧電体としてｘＰｂ （Ｂｉ （，５Ｎｂ
づＳ ） Ｏｓ ７ＰｂＴｉＯ８−ｚＰｂＺｒ０３糸他
、を用いてもよい。更には、セラミック圧電体に限るこ
となくセラミック・明晰の複合体による圧電体でもよい
。又、ＡＩ′ｉ層に朴ける圧電単体の配置は任、蛭であ
る。伊し、誘亀用失による発生熱量の相違ｔ−考慮する
と前ｄ１２実姉例におけるように分数配置することが好
ましい。セラミック圧電単体からの？ｌｆ、極の取り出
し方、並タリ接続の仕方も任意でアリ、硬するにセラミ
ック圧電体の圧力としての変位全吸収できる楢造であれ
ばよい。
ない。ド１えば、温度上昇とともに変位数が減少する圧
電体としてｘＰｂ（ＣｏＨＮｂＨ）Ｏｎ ７ＰｂＴｉＯ
ｓ−ｚＰｂＺｒＯ３糸他、温度上昇とともに変位量が増
７ＪＩｌする圧電体としてｘＰｂ （Ｂｉ （，５Ｎｂ
づＳ ） Ｏｓ ７ＰｂＴｉＯ８−ｚＰｂＺｒ０３糸他
、を用いてもよい。更には、セラミック圧電体に限るこ
となくセラミック・明晰の複合体による圧電体でもよい
。又、ＡＩ′ｉ層に朴ける圧電単体の配置は任、蛭であ
る。伊し、誘亀用失による発生熱量の相違ｔ−考慮する
と前ｄ１２実姉例におけるように分数配置することが好
ましい。セラミック圧電単体からの？ｌｆ、極の取り出
し方、並タリ接続の仕方も任意でアリ、硬するにセラミ
ック圧電体の圧力としての変位全吸収できる楢造であれ
ばよい。
発明の効果
以上の説明から’ｕＪらか７ｚＪ：′）に、本発明に、
１へシ、温度が変化しても重圧印加時出力とし°Ｃの変
位置が変化しないか倹く小さい積層型圧電体が提供され
、アクチュエータに組み込んでもその（ａ能が安定であ
る１、
１へシ、温度が変化しても重圧印加時出力とし°Ｃの変
位置が変化しないか倹く小さい積層型圧電体が提供され
、アクチュエータに組み込んでもその（ａ能が安定であ
る１、
第１図は矛１１層型圧′ｔｆｉ体の変位Ｉｎの温度に関
するグラフ、第２図は本発明の実姉例の積層型圧電体の
ｊＩＩｊｌ而図、第面図は圧電単体のｆＥ億構造孕示す
ための正Ｕ＋＊図、右９１１１面図、および背１川凶、
ｆ［占４１シ１は実極例の積層型圧′祇体の亀気配押図
、第５１凶はアクチュエータの平面図、および縦断面図
、第６図はアクチュエータの軽油照射ｆｉｔ−の温度に
門するグラフでちる。 １０１．１０２・・・セラミックＪＦ電噴体、２・・・
主電極、３・−・１目り面″枳転 ４，４１，４２．４
３・・・配線；Ａ・・・種層型圧ｔｈ１体。 第１図 温度（°Ｃ） 第 ３図 （Ｑ） （ｂ） （Ｃ） 第４図 第 ５図
するグラフ、第２図は本発明の実姉例の積層型圧電体の
ｊＩＩｊｌ而図、第面図は圧電単体のｆＥ億構造孕示す
ための正Ｕ＋＊図、右９１１１面図、および背１川凶、
ｆ［占４１シ１は実極例の積層型圧′祇体の亀気配押図
、第５１凶はアクチュエータの平面図、および縦断面図
、第６図はアクチュエータの軽油照射ｆｉｔ−の温度に
門するグラフでちる。 １０１．１０２・・・セラミックＪＦ電噴体、２・・・
主電極、３・−・１目り面″枳転 ４，４１，４２．４
３・・・配線；Ａ・・・種層型圧ｔｈ１体。 第１図 温度（°Ｃ） 第 ３図 （Ｑ） （ｂ） （Ｃ） 第４図 第 ５図
Claims (1)
- １、温度変化に関して圧ｉＥ単体の電圧印加時串力とし
ての変位量が増加関数的に変化する圧電単体と減少関数
的に変化する圧電単体と全組み合わせて積層して成るこ
とを特ｒ？ｉ、とする積層型圧電体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58109244A JPS601877A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 積層型圧電体 |
| US06/621,624 US4570098A (en) | 1983-06-20 | 1984-06-18 | Temperature compensated stack of piezoelectric elements |
| DE19843422935 DE3422935A1 (de) | 1983-06-20 | 1984-06-20 | Piezoelektrischer wandler |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58109244A JPS601877A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 積層型圧電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS601877A true JPS601877A (ja) | 1985-01-08 |
| JPH0256824B2 JPH0256824B2 (ja) | 1990-12-03 |
Family
ID=14505265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58109244A Granted JPS601877A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 積層型圧電体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4570098A (ja) |
| JP (1) | JPS601877A (ja) |
| DE (1) | DE3422935A1 (ja) |
Cited By (1)
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