JPH10503889A - 重心移動を補償するフォースアクチュエータ装置を有する位置決め装置 - Google Patents
重心移動を補償するフォースアクチュエータ装置を有する位置決め装置Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.物体テーブルと、この物体テーブルを少なくともX軸方向に平行に位置決め 装置のフレームに固定した案内上で移動自在にする駆動ユニットとを具える位置 決め装置において、前記位置決め装置に、電気コントローラによって制御して動 作中に前記フレームに対して補償力を発生し、前記補償力の前記フレームの基準 点の周りの機械的モーメントが、前記物体に作用する重力の前記フレームの基準 点の周りの機械的モーメントの値に等しい値と、前記重力の機械的モーメントの 方向とは逆向きの方向とを有するフォースアクチュエータ装置を設けたことを特 徴とする位置決め装置。 2.前記物体テーブルを水平方向に平行に移動自在にするとともに、フォースア クチュエータ装置が垂直方向に平行に前記補償力を前記フレームに加えるように した請求項1記載の位置決め装置。 3.前記物体テーブルの水平のX軸方向に平行にかつこのX軸方向に直交する水 平のY軸方向に平行に移動自在にするとともに、前記フォースアクチュエータ装 置は、3個のフォースアクチュエータを互いに三角形形状となるよう配列し、各 フォースアクチュエータが垂直方向に平行に前記補償力を前記フレームに加える ようにした請求項2記載の位置決め装置。 4.前記フォースアクチュエータ装置を、前記位置決め装置のベースに前記フレ ームを連結する動力学的アイソレータの装置に一体にした請求項1乃至3のうち のいずれか一項に記載の位置決め装置。 5.前記補償力は、前記フォースアクチュエータ装置の磁石装置及び電気コイル 装置のローレンツ力のみからなるものとした請求項1乃至4のうちのいずれか一 項に記載の位置決め装置。 6.垂直のZ軸方向に平行に見て、放射源と、マスクホルダと、Z軸方向に平行 に指向する主軸を有する合焦装置と、位置決め装置によってZ軸方向に直交する 方向に移動自在のサブストレートホルダとをこの順序で支持するマシンフレーム を設けたリソグラフ装置において、前記サブストレートホルダの前記位置決め装 置を請求項1乃至5のうちのいずれか一項に記載の位置決め装置とし、 前記サブストレートホルダの位置決め装置のフレームを前記リソグラフ装置のマ シンフレームに属するものとし、前記サブストレートホルダの位置決め装置のフ ォースアクチュエータ装置が前記補償力を前記マシンフレームに加えるようにし たことを特徴とするリソグラフ装置。 7.垂直のZ軸方向に平行に見て、放射源と、位置決め装置によってZ軸方向に 平行に移動自在のマスクホルダと、Z軸方向に平行に指向する主軸を有する合焦 装置と、他の位置決め装置によってZ軸方向に直交する方向に移動自在のサブス トレートホルダとをこの順序で支持するマシンフレームを設けたリソグラフ装置 において、前記マスクホルダの前記位置決め装置を請求項1乃至5のうちのいず れか一項に記載の位置決め装置とし、前記マスクホルダの位置決め装置のフレー ムを前記リソグラフ装置のマシンフレームに属するものとし、前記マスクホルダ の位置決め装置のフォースアクチュエータ装置が前記補償力を前記マシンフレー ムに加えるようにしたことを特徴とするリソグラフ装置。 8.前記マスクホルダを、請求項1乃至5のうちのいずれか一項に記載の位置決 め装置によってZ軸方向に平行に移動自在にし、前記マスクホルダの位置決め装 置のフレームを前記リソグラフ装置のマシンフレームに属するものとし、前記マ スクホルダの位置決め装置のフォースアクチュエータ装置が前記補償力を前記マ シンフレームに加えるようにした請求項6記載のリソグラフ装置。 9.前記サブストレートホルダの位置決め装置及びマスクホルダの位置決め装置 にジョイントフォースアクチュエータ装置を設け、前記ジョイントフォースアク チュエータ装置の補償力の前記基準点の周りの機械的モーメントの値が、前記サ ブストレートホルダに作用する重力の前記基準点の周りの機械的モーメントと、 前記マスクホルダに作用する重力の前記基準点の周りの機械的モーメントとの和 の値に等しく、前記補償力の機械的モーメントの方向が前記和の機械的モーメン トの方向とは逆向きとなるようにした請求項7又は8記載のリソグラフ装置。 10.前記マシンフレームを、互いに三角形をなす形態に配列した3個の動力学的 アイソレータによって前記リソグラフ装置のベースに配置し、前記フォースアク チュエータ装置を3個の個別のフォースアクチュエータにより構成し、各フ ォースアクチュエータを前記動力学的アイソレータの各1個に一体にした請求項 6,7,8,又は9のうちのいずれか一項に記載のリソグラフ装置。
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