JPH1047514A - 集積化バルブ - Google Patents
集積化バルブInfo
- Publication number
- JPH1047514A JPH1047514A JP21593196A JP21593196A JPH1047514A JP H1047514 A JPH1047514 A JP H1047514A JP 21593196 A JP21593196 A JP 21593196A JP 21593196 A JP21593196 A JP 21593196A JP H1047514 A JPH1047514 A JP H1047514A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- integrated
- passage
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Valve Housings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バルブの脱着を、バルブを分解することなく
簡単にでき、またバルブの接合部のシール性を向上で
き、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡
単にできる集積化バルブを提供する。 【解決手段】 半導体用高純度ガス供給系に使用される
バルブが集積された集積化バルブに於いて、バルブ１の
ボディ３自体の外周に外ねじナット１４を装着し、外ね
じナット１４にて流路ブロック１５にねじ結合する。バ
ルブ１のボディ３自体と流路ブロック１５との接合面
に、ガス通路穴２４を有するガスケット２５を介在して
シールしてある。
簡単にでき、またバルブの接合部のシール性を向上で
き、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡
単にできる集積化バルブを提供する。 【解決手段】 半導体用高純度ガス供給系に使用される
バルブが集積された集積化バルブに於いて、バルブ１の
ボディ３自体の外周に外ねじナット１４を装着し、外ね
じナット１４にて流路ブロック１５にねじ結合する。バ
ルブ１のボディ３自体と流路ブロック１５との接合面
に、ガス通路穴２４を有するガスケット２５を介在して
シールしてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体用高純度ガ
ス供給系のガス制御装置の集積化バルブに関する。
ス供給系のガス制御装置の集積化バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体用高純度ガス供給系のガス制御装
置は、配管系がガスジャングル化し、且つ大きなスペー
スを占めている為、近時、バルブをモジュール化してコ
ンパクト化する傾向にある。
置は、配管系がガスジャングル化し、且つ大きなスペー
スを占めている為、近時、バルブをモジュール化してコ
ンパクト化する傾向にある。
【０００３】しかし、バルブをモジュール化しても、バ
ルブの交換メンテナンス性が良くないと使用できないも
のである。
ルブの交換メンテナンス性が良くないと使用できないも
のである。
【０００４】バルブをモジュール化した従来例を図４、
５、６に夫々示す。図４に示す集積化バルブＶは、流路
ブロックＦにダイヤフラムバルブＤを組み込んだもので
あるが、ダイヤフラムバルブＤを交換するには、ダイヤ
フラムｄまで分解する必要があり、ユーザーではメンテ
ナンスできない。図５に示す集積化バルブＶ′は、流路
ブロックＦ′にダイヤフラムバルブＤ′をボルトＢで締
結したものであるが、４本のボルトＢで締結する為、手
間取り、さらに流路ブロックＦ′を狭いスペースの中で
配管系に取り付ける際、下面にメタルＣリング（図示省
略）やガスケット等を介してやはり４本のボルトＢで締
結する為、手間取り、しかも夫々うまくバランスさせな
いと、各々下面の結合部でリークし易く、信頼性に欠け
る。図６に示す集積化バルブＶ″は、集積化の為に流路
ブロックＦ″にダイヤフラムバルブＤ″を複数取り付け
て多連バルブとしたものであるが、１つのバルブをメン
テナンスするにも全部交換となってしまうので、不経済
であり、さらにボルトＢが何本もあり、シールを確保す
る為の締め付け方が難しい。
５、６に夫々示す。図４に示す集積化バルブＶは、流路
ブロックＦにダイヤフラムバルブＤを組み込んだもので
あるが、ダイヤフラムバルブＤを交換するには、ダイヤ
フラムｄまで分解する必要があり、ユーザーではメンテ
ナンスできない。図５に示す集積化バルブＶ′は、流路
ブロックＦ′にダイヤフラムバルブＤ′をボルトＢで締
結したものであるが、４本のボルトＢで締結する為、手
間取り、さらに流路ブロックＦ′を狭いスペースの中で
配管系に取り付ける際、下面にメタルＣリング（図示省
略）やガスケット等を介してやはり４本のボルトＢで締
結する為、手間取り、しかも夫々うまくバランスさせな
いと、各々下面の結合部でリークし易く、信頼性に欠け
る。図６に示す集積化バルブＶ″は、集積化の為に流路
ブロックＦ″にダイヤフラムバルブＤ″を複数取り付け
て多連バルブとしたものであるが、１つのバルブをメン
テナンスするにも全部交換となってしまうので、不経済
であり、さらにボルトＢが何本もあり、シールを確保す
る為の締め付け方が難しい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、バル
ブの脱着を、バルブを分解することなく簡単にでき、ま
た、バルブの接合部のシール性を向上できて、ユーザー
でも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にできる集
積化バルブを提供しようとするものである。
ブの脱着を、バルブを分解することなく簡単にでき、ま
た、バルブの接合部のシール性を向上できて、ユーザー
でも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にできる集
積化バルブを提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の集積化バルブは、半導体用高純度ガス供給系
に使用されるバルブが集積された集積化バルブに於い
て、上記バルブのボディ自体の外周に外ねじナットを装
着し、該外ねじナットにて流路ブロックにねじ結合した
ことを特徴とするものである。
の本発明の集積化バルブは、半導体用高純度ガス供給系
に使用されるバルブが集積された集積化バルブに於い
て、上記バルブのボディ自体の外周に外ねじナットを装
着し、該外ねじナットにて流路ブロックにねじ結合した
ことを特徴とするものである。
【０００７】上記バルブのボディ自体と流路ブロックと
の接合面に、バス通路穴を有するガスケットが介在され
てシールされていることが好ましい。
の接合面に、バス通路穴を有するガスケットが介在され
てシールされていることが好ましい。
【０００８】上記ガスケットは、ガス流入側のガス通路
穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型のガスケッ
トの場合と、ガス通路穴を有するガスケット２個をリテ
ーナで結合保持した場合とがある。
穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型のガスケッ
トの場合と、ガス通路穴を有するガスケット２個をリテ
ーナで結合保持した場合とがある。
【０００９】上記のように構成された本発明の集積化バ
ルブは、バルブのボディ自体がその外周に装着された外
ねじナットにて流路ブロックにねじ結合されているの
で、外ねじナット１個を緩めたり、締めたりするだけ
で、流路ブロックとのボディの脱着が簡単にでき、上記
バルブを分解する必要がない。また、ボディと流路ブロ
ックとの接合面に介在したガスケットが、外ねじナット
１個の締め付けにより均等に締め付けられるので、シー
ル性が向上する。
ルブは、バルブのボディ自体がその外周に装着された外
ねじナットにて流路ブロックにねじ結合されているの
で、外ねじナット１個を緩めたり、締めたりするだけ
で、流路ブロックとのボディの脱着が簡単にでき、上記
バルブを分解する必要がない。また、ボディと流路ブロ
ックとの接合面に介在したガスケットが、外ねじナット
１個の締め付けにより均等に締め付けられるので、シー
ル性が向上する。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の集積化バルブの実施形態
を図１によって説明すると、１はダイヤフラムバルブ
で、駆動部２とバルブボディ３とより成る。バルブボデ
ィ３は有底筒状で、底部中心にガス流入通路４が垂直に
設けられ、その外側方にガス流出通路５が垂直に設けら
れている。ガス流入通路４の上端開口縁には弁座シート
６がかしめ止めにて固設され、これに弁体であるダイヤ
フラム７が押えピース８の押圧により密着され、バルブ
が閉鎖されるようになっている。尚、図１中、９はダイ
ヤフラム７の周縁部をボディ３内の底面周縁の突起１０
に押えるボンネット、１１はボンネット９を締め付ける
駆動部２の接続部外筒、１２は押えピース８を押圧する
駆動部２のピストンである。
を図１によって説明すると、１はダイヤフラムバルブ
で、駆動部２とバルブボディ３とより成る。バルブボデ
ィ３は有底筒状で、底部中心にガス流入通路４が垂直に
設けられ、その外側方にガス流出通路５が垂直に設けら
れている。ガス流入通路４の上端開口縁には弁座シート
６がかしめ止めにて固設され、これに弁体であるダイヤ
フラム７が押えピース８の押圧により密着され、バルブ
が閉鎖されるようになっている。尚、図１中、９はダイ
ヤフラム７の周縁部をボディ３内の底面周縁の突起１０
に押えるボンネット、１１はボンネット９を締め付ける
駆動部２の接続部外筒、１２は押えピース８を押圧する
駆動部２のピストンである。
【００１１】然してバルブボディ３の外周下端には鍔１
３が設けられ、この鍔１３の上側の外周に外ねじナット
１４が装着され、この外ねじナット１４にてバルブボデ
ィ３が流路ブロック１５の凹部１６内に締め込み装着さ
れている。そしてバルブボディ３のガス流入通路４と流
路ブロック１５のガス流入通路１７とが連通され、バル
ブボディ３のガス流出通路５と流路ブロック１５のガス
流出通路１８とが連通されている。この連通部分の相互
の接合面１９、２０は長円形になされて凹凸嵌合され、
この相互の接合面１９、２０の間に図２に示すように中
央にガス流入側のガス通路穴２１とその両側にガス流出
側のガス通路穴２２を有するガスケット２３が挟み付け
られて、接合面１９、２０がシールされている。上記ガ
スケット２３のガス流出側のガス通路穴２２は２個の
内、１個使用され、他の１個は捨穴となるが、装着時そ
の方向を見定める必要がなく、また全面略均等な締付力
にて挟み付けることができると共に長円形になされてい
る為、回り止めの効果もある。尚、上記ガスケット２３
は、ガス流入用穴２１とガス流出用穴２２を有する一体
型のものであるが、図３に示すようにガス通路穴２４を
有するガスケット２５をＳ字型のリテーナ２６に２個結
合保持したものであってもよい。その場合、接合面１
９、２０の形状は２個のガスケット２５に相応する長円
形になされる。
３が設けられ、この鍔１３の上側の外周に外ねじナット
１４が装着され、この外ねじナット１４にてバルブボデ
ィ３が流路ブロック１５の凹部１６内に締め込み装着さ
れている。そしてバルブボディ３のガス流入通路４と流
路ブロック１５のガス流入通路１７とが連通され、バル
ブボディ３のガス流出通路５と流路ブロック１５のガス
流出通路１８とが連通されている。この連通部分の相互
の接合面１９、２０は長円形になされて凹凸嵌合され、
この相互の接合面１９、２０の間に図２に示すように中
央にガス流入側のガス通路穴２１とその両側にガス流出
側のガス通路穴２２を有するガスケット２３が挟み付け
られて、接合面１９、２０がシールされている。上記ガ
スケット２３のガス流出側のガス通路穴２２は２個の
内、１個使用され、他の１個は捨穴となるが、装着時そ
の方向を見定める必要がなく、また全面略均等な締付力
にて挟み付けることができると共に長円形になされてい
る為、回り止めの効果もある。尚、上記ガスケット２３
は、ガス流入用穴２１とガス流出用穴２２を有する一体
型のものであるが、図３に示すようにガス通路穴２４を
有するガスケット２５をＳ字型のリテーナ２６に２個結
合保持したものであってもよい。その場合、接合面１
９、２０の形状は２個のガスケット２５に相応する長円
形になされる。
【００１２】上記のように構成された実施形態の集積化
バルブは、ダイヤフラムバルブ１のバルブボディ３自体
がその外周に装着された外ねじナット１４にて流路ブロ
ック１５にねじ結合されているので、外ねじナット１４
を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブロック１５と
のバルブボディ３の脱着が簡単にでき、ダイヤフラムバ
ルブ１を分解する必要がない。また、バルブボディ３の
接合面１９と流路ブロック１５の接合面２０との間に介
在したガスケット２３が外ねじナット１４のみの締め付
けにより均等に締め付けられるのでシール性が向上す
る。
バルブは、ダイヤフラムバルブ１のバルブボディ３自体
がその外周に装着された外ねじナット１４にて流路ブロ
ック１５にねじ結合されているので、外ねじナット１４
を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブロック１５と
のバルブボディ３の脱着が簡単にでき、ダイヤフラムバ
ルブ１を分解する必要がない。また、バルブボディ３の
接合面１９と流路ブロック１５の接合面２０との間に介
在したガスケット２３が外ねじナット１４のみの締め付
けにより均等に締め付けられるのでシール性が向上す
る。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明の集積化
バルブは、バルブの脱着を、バルブを分解することなく
外ねじナット１つを緩めたり、締めたりするだけで簡単
にでき、またバルブの接合部のシール性を向上でき、従
ってユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡
単にできる。
バルブは、バルブの脱着を、バルブを分解することなく
外ねじナット１つを緩めたり、締めたりするだけで簡単
にでき、またバルブの接合部のシール性を向上でき、従
ってユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡
単にできる。
【図１】本発明の集積化バルブの一実施形態を示す要部
縦断面図である。
縦断面図である。
【図２】図１の集積化バルブに於けるガスケットを示す
平面図である。
平面図である。
【図３】ガスケットの他の例を示す平面図である。
【図４】従来の集積化バルブの一例を示す要部縦断面図
である。
である。
【図５】従来の集積化バルブの他の例を示す斜視図であ
る。
る。
【図６】従来の集積化バルブのさらに他の例を示す斜視
図である。
図である。
１ ダイヤフラムバルブ ３ バルブボディ １４ 外ねじナット １５ 流路ブロック ２１、２２ ガス通路穴 ２３ 一体型のガスケット ２４ ガス通路穴 ２５ ガスケット ２６ リテーナ
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体用高純度ガス供給系に使用される
バルブが集積された集積化バルブに於いて、上記バルブ
のボディ自体の外周に外ねじナットを装着し、該外ねじ
ナットにて流路ブロックにねじ結合したことを特徴とす
る集積化バルブ。 - 【請求項２】 請求項１記載の集積化バルブに於いて、
バルブのボディ自体と流路ブロックとの接合面にガス通
路穴を有するガスケットが介在されてシールされている
ことを特徴とする集積化バルブ。 - 【請求項３】 請求項２記載の集積化バルブに於いて、
ガスケットが、ガス流入側のガス通路穴とガス流出側の
ガス通路穴を有する一体型のガスケット、又はガス通路
穴を有するガスケット２個をリテーナで結合保持したも
のであることを特徴とする集積化バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215931A JP3068010B2 (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215931A JP3068010B2 (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1047514A true JPH1047514A (ja) | 1998-02-20 |
| JP3068010B2 JP3068010B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=16680638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8215931A Expired - Fee Related JP3068010B2 (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3068010B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003086579A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Ckd Corp | ガス供給集積ユニット |
| JP2013113418A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Kitz Sct:Kk | ダイヤフラムバルブ |
| WO2019087838A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | 株式会社フジキン | バルブ装置 |
| WO2019087843A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | 株式会社フジキン | バルブ装置 |
| KR20190137899A (ko) * | 2017-05-31 | 2019-12-11 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브 장치 및 유체제어장치 |
-
1996
- 1996-07-30 JP JP8215931A patent/JP3068010B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003086579A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Ckd Corp | ガス供給集積ユニット |
| JP2013113418A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Kitz Sct:Kk | ダイヤフラムバルブ |
| KR20190137899A (ko) * | 2017-05-31 | 2019-12-11 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브 장치 및 유체제어장치 |
| KR20200040869A (ko) * | 2017-10-31 | 2020-04-20 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브장치 |
| WO2019087843A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | 株式会社フジキン | バルブ装置 |
| KR20200040868A (ko) * | 2017-10-31 | 2020-04-20 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브장치 |
| WO2019087838A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | 株式会社フジキン | バルブ装置 |
| CN111316026A (zh) * | 2017-10-31 | 2020-06-19 | 株式会社富士金 | 阀装置 |
| JPWO2019087838A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2020-11-12 | 株式会社フジキン | バルブ装置 |
| JPWO2019087843A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2020-11-12 | 株式会社フジキン | バルブ装置 |
| TWI717648B (zh) * | 2017-10-31 | 2021-02-01 | 日商富士金股份有限公司 | 閥裝置、使用此閥裝置的流量控制裝置、流體控制裝置、流量控制方法、半導體製造裝置及半導體製造方法 |
| US11231026B2 (en) | 2017-10-31 | 2022-01-25 | Fujikin Incorporated | Valve device |
| US11320056B2 (en) | 2017-10-31 | 2022-05-03 | Fujikin Incorporated | Valve device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3068010B2 (ja) | 2000-07-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6073646A (en) | Gas controlling device for integration | |
| US6547255B1 (en) | Fluid seals | |
| KR100718936B1 (ko) | 집적화 가스 제어 장치 | |
| JP3605705B2 (ja) | 流体制御器 | |
| JP2604279Y2 (ja) | ダイアフラム弁 | |
| US6012479A (en) | Integrated gas control device | |
| US20030042459A1 (en) | Unitary diaphragm and seat assembly | |
| WO2007018228A1 (ja) | 継手付き流体制御器 | |
| JPH1047514A (ja) | 集積化バルブ | |
| US6168166B1 (en) | Metal gasket with two half beads | |
| JPH04214972A (ja) | チューブをハウジング部材に連結するためのシール及びその形成方法 | |
| US7556059B2 (en) | Tank structure | |
| JPH10169859A (ja) | 集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット | |
| JP3739500B2 (ja) | 集積化ガスパネル用フィルターユニット | |
| RU2147096C1 (ru) | Арматура с размещенным в корпусе шпинделем | |
| JP2001108131A (ja) | ピストンバルブ | |
| JPH10281385A (ja) | 集積化ガスパネル用制御機器 | |
| JPH11201303A (ja) | ガス供給制御装置用複合化弁 | |
| JP2506206Y2 (ja) | ピストンバルブの取付け構造 | |
| KR200260307Y1 (ko) | 밸브조립체 | |
| CN210050356U (zh) | 一种新型自密封性阀盖 | |
| JP3188996B2 (ja) | 配管ジョイント付減圧弁 | |
| JP2548337Y2 (ja) | 油圧ダイアフラムポンプの弁装置 | |
| KR200245216Y1 (ko) | 볼트 신장체결장치 | |
| JPH1122701A (ja) | 圧力容器のガスプラグおよびそのガスプラグ用ガス供給装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090519 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110519 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130519 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |