JPH10169859A - 集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット - Google Patents
集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガスケットInfo
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- JPH10169859A JPH10169859A JP33628696A JP33628696A JPH10169859A JP H10169859 A JPH10169859 A JP H10169859A JP 33628696 A JP33628696 A JP 33628696A JP 33628696 A JP33628696 A JP 33628696A JP H10169859 A JPH10169859 A JP H10169859A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 制御機器のボディの流路ブロックの相互のガ
ス流入通路、ガス流出通路に対する芯合わせを容易に且
つ一緒にできて、接続部に介在する作業を簡単化して装
着を容易にし且つ取り外しを容易にしてメンテナンス性
を向上でき、しかもガス流入通路、ガス流出通路の接続
部周縁を同時に安定してシールすることのできる集積化
ガスパネルの制御機器取付用シールガスケットを提供す
る。 【解決手段】 制御機器のボディ8が装着される流路ブ
ロック6の長円形凹部内周面に位置決めされるガイド部
21を外周に有すると共に、このガイド部21により芯
出しされ、制御機器のボディ8と流路ブロック6のガス
流入通路4及びガス流出通路5と同心に連通する2つの
ガス通路穴22、23を有し、且つこの2つのガス通路
穴22、23の周囲両面にフラットな同高の環状シール
面24、24′、25、25′を同心に突設した集積化
ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット。
ス流入通路、ガス流出通路に対する芯合わせを容易に且
つ一緒にできて、接続部に介在する作業を簡単化して装
着を容易にし且つ取り外しを容易にしてメンテナンス性
を向上でき、しかもガス流入通路、ガス流出通路の接続
部周縁を同時に安定してシールすることのできる集積化
ガスパネルの制御機器取付用シールガスケットを提供す
る。 【解決手段】 制御機器のボディ8が装着される流路ブ
ロック6の長円形凹部内周面に位置決めされるガイド部
21を外周に有すると共に、このガイド部21により芯
出しされ、制御機器のボディ8と流路ブロック6のガス
流入通路4及びガス流出通路5と同心に連通する2つの
ガス通路穴22、23を有し、且つこの2つのガス通路
穴22、23の周囲両面にフラットな同高の環状シール
面24、24′、25、25′を同心に突設した集積化
ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
高純度ガス系のガス供給制御装置としての集積化ガスパ
ネルの各ガス供給制御ラインに於いて、順次接続された
流路ブロックに制御機器を取付ける際のシールガスケッ
トに関するものである。
高純度ガス系のガス供給制御装置としての集積化ガスパ
ネルの各ガス供給制御ラインに於いて、順次接続された
流路ブロックに制御機器を取付ける際のシールガスケッ
トに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体製造装置の高純度ガス系の
ガス供給制御装置として集積化ガスパネルは、自動ダイ
ヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルター
ユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減圧弁、
レギュレータ、マスフローコントローラー、マスフロー
メーターなどの個々の独立した制御機器を、継手、配管
を用いて連結し、ガス供給制御ラインを構成し、これを
ベースプレート上に多数並列に設けたものである。
ガス供給制御装置として集積化ガスパネルは、自動ダイ
ヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルター
ユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減圧弁、
レギュレータ、マスフローコントローラー、マスフロー
メーターなどの個々の独立した制御機器を、継手、配管
を用いて連結し、ガス供給制御ラインを構成し、これを
ベースプレート上に多数並列に設けたものである。
【0003】このように個々の独立した機器を配管、継
手を用いて連結し、ガス供給制御ラインを構成している
と、スペースが増大し、集積化ガスキャビネットの内容
積が増大する。また、制御機器の脱着が困難でメンテナ
ンス性が悪い。さらに、ガス供給制御ラインは、各々異
なる回路構成となるため、トータル製作リードタイム
(設計→製作→組立)が長くなる。その上、回路変更の
必要が生じた場合、これに対応することができない。
手を用いて連結し、ガス供給制御ラインを構成している
と、スペースが増大し、集積化ガスキャビネットの内容
積が増大する。また、制御機器の脱着が困難でメンテナ
ンス性が悪い。さらに、ガス供給制御ラインは、各々異
なる回路構成となるため、トータル製作リードタイム
(設計→製作→組立)が長くなる。その上、回路変更の
必要が生じた場合、これに対応することができない。
【0004】このようなことから本出願人は、上記問題
点を解決する集積化ガスパネルとして、図8に示すよう
にベースプレート1上に、多数のガス供給制御ライン2
を並設し、各ガス供給制御ライン2は、図9に示すよう
に上部に円形の上向き筒部3を有し、その下部に長円形
の凹部3aを有し、その凹部3aの底面3bに開口する
ガス流入通路4を一側に有し、他側に前記凹部3aの底
面3bに連通したガス流出通路5を有する流路ブロック
6を、順次ターンバックル式ナット7により接続して隣
接する流路ブロック6のガス流出通路5とガス流入通路
4を連通し、各流路ブロック6の上向き筒部3に、自動
ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィル
ターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減圧
弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、マス
フローメーター等の制御機器を適宜選択の上、それらの
円形のボディ8に外装された外ねじナット9により縦型
に脱着可能に装着した集積化ガスパネル10を開発し
た。
点を解決する集積化ガスパネルとして、図8に示すよう
にベースプレート1上に、多数のガス供給制御ライン2
を並設し、各ガス供給制御ライン2は、図9に示すよう
に上部に円形の上向き筒部3を有し、その下部に長円形
の凹部3aを有し、その凹部3aの底面3bに開口する
ガス流入通路4を一側に有し、他側に前記凹部3aの底
面3bに連通したガス流出通路5を有する流路ブロック
6を、順次ターンバックル式ナット7により接続して隣
接する流路ブロック6のガス流出通路5とガス流入通路
4を連通し、各流路ブロック6の上向き筒部3に、自動
ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィル
ターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減圧
弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、マス
フローメーター等の制御機器を適宜選択の上、それらの
円形のボディ8に外装された外ねじナット9により縦型
に脱着可能に装着した集積化ガスパネル10を開発し
た。
【0005】ところで、上記構成の集積化ガスパネル1
0に於いて、流路ブロック6の上向き筒部3に装着した
制御機器のボディ8は、該ボディ8のガス流入通路1
1、ガス流出通路12が流路ブロック6のガス流入通路
4、ガス流出通路5と接続されるのであるが、この接続
部は長円形凹部3aの底面3bと長円形凸部8aの下面
8bの平坦度に加工上の公差がある為、外ねじナット9
の締め付けによってシールすることができない。この
為、図10に示すようにガス流入通路11と4との接続
部周縁及びガス流出通路12と5との接続部周縁に夫々
弗素樹脂製のシールリング13を介在することが行われ
ている。
0に於いて、流路ブロック6の上向き筒部3に装着した
制御機器のボディ8は、該ボディ8のガス流入通路1
1、ガス流出通路12が流路ブロック6のガス流入通路
4、ガス流出通路5と接続されるのであるが、この接続
部は長円形凹部3aの底面3bと長円形凸部8aの下面
8bの平坦度に加工上の公差がある為、外ねじナット9
の締め付けによってシールすることができない。この
為、図10に示すようにガス流入通路11と4との接続
部周縁及びガス流出通路12と5との接続部周縁に夫々
弗素樹脂製のシールリング13を介在することが行われ
ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、このように
ガス流入通路11と4、ガス流出通路12と5の夫々の
接続部周縁に、各々弗素樹脂製のシールリング13を介
在することは、各々ガス流入通路11、4、ガス流出通
路12、5に対する芯合わせが難しく、接続部に介在す
る作業が厄介で、装着が難しく、メンテナンス性も悪
い。また、個々のシールリング13の締め付けが均等に
はならないので、圧縮、変形がばらつき、安定したシー
ル性が得られない。
ガス流入通路11と4、ガス流出通路12と5の夫々の
接続部周縁に、各々弗素樹脂製のシールリング13を介
在することは、各々ガス流入通路11、4、ガス流出通
路12、5に対する芯合わせが難しく、接続部に介在す
る作業が厄介で、装着が難しく、メンテナンス性も悪
い。また、個々のシールリング13の締め付けが均等に
はならないので、圧縮、変形がばらつき、安定したシー
ル性が得られない。
【0007】そこで本発明は、ガス流入通路、ガス流出
通路に対する芯合わせを容易に且つ一緒にできて、接続
部に介在する作業を簡単化して装着を容易にし且つ取り
外しを容易にしてメンテナンス性を向上でき、しかもガ
ス流入通路、ガス流出通路の接続部周縁を同時に安定し
てシールすることのできる集積化ガスパネルの制御機器
取付用シールガスケットを提供しようとするものであ
る。
通路に対する芯合わせを容易に且つ一緒にできて、接続
部に介在する作業を簡単化して装着を容易にし且つ取り
外しを容易にしてメンテナンス性を向上でき、しかもガ
ス流入通路、ガス流出通路の接続部周縁を同時に安定し
てシールすることのできる集積化ガスパネルの制御機器
取付用シールガスケットを提供しようとするものであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガ
スケットは、集積化ガスパネルの各ガス供給制御ライン
において順次接続された流路ブロックの円形の上向き筒
部の下部の長円形凹部底面に開口したガス流入通路及び
ガス流出通路と、これらと同心に前記流路ブロックの上
向き筒部に装着する制御機器の円形のボディの下部の長
円形凸部下面に開口したガス流入通路及びガス流出通路
との接続部に介在されるシールガスケットであって、該
シールガスケットが、前記流路ブロックの長円形凹部内
周面に位置決めされるガイド部を外周に有すると共に、
このガイド部により芯出しされ、前記ガス流入通路及び
ガス流出通路と同心に連通する2つのガス通路穴を有
し、且つこの2つのガス通路穴の周囲両面にフラットな
同高の環状シール面を同心に突設したものであることを
特徴とするものである。
の本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガ
スケットは、集積化ガスパネルの各ガス供給制御ライン
において順次接続された流路ブロックの円形の上向き筒
部の下部の長円形凹部底面に開口したガス流入通路及び
ガス流出通路と、これらと同心に前記流路ブロックの上
向き筒部に装着する制御機器の円形のボディの下部の長
円形凸部下面に開口したガス流入通路及びガス流出通路
との接続部に介在されるシールガスケットであって、該
シールガスケットが、前記流路ブロックの長円形凹部内
周面に位置決めされるガイド部を外周に有すると共に、
このガイド部により芯出しされ、前記ガス流入通路及び
ガス流出通路と同心に連通する2つのガス通路穴を有
し、且つこの2つのガス通路穴の周囲両面にフラットな
同高の環状シール面を同心に突設したものであることを
特徴とするものである。
【0009】上記の制御機器取付用シールガスケットに
於いて、外周のガイド部を全周に有する場合と周方向に
断続的に有する場合とがある。また、2つのガス通路穴
の周囲両面の環状シール面は、各々独立していることが
好ましい。
於いて、外周のガイド部を全周に有する場合と周方向に
断続的に有する場合とがある。また、2つのガス通路穴
の周囲両面の環状シール面は、各々独立していることが
好ましい。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の集積化ガスパネルの制御
機器取付用シールガスケットの実施形態を図によって説
明する。前述の図9に示す集積化ガスパネル10のベー
スプレート1上に多数並設された各ガス供給制御ライン
2において順次ターンバックル式ナット7により接続さ
れた流路ブロック6の円形の上向き筒部3における下部
の長円形凹部3aの底面3bに開口したガス流入通路4
及びガス流出通路5と、これらと同心に前記流路ブロッ
ク6の上向き筒部3に外ねじナット9により装着する自
動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィ
ルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減
圧弁、レギュレータ、マスフローコントローラー、マス
フローメーター等の制御機器の円形のボディ8における
フランジ下側の長円形凸部8aの下面8bに開口したガ
ス流入通路11及びガス流出通路12とが長円形凹部3
aと長円形凸部8aとの嵌合により連通され、この相互
の連通面である長円形凹部3aの底面3bと長円形凸部
8aの下面8bとの間に、本発明のシールガスケット2
0が介在される。
機器取付用シールガスケットの実施形態を図によって説
明する。前述の図9に示す集積化ガスパネル10のベー
スプレート1上に多数並設された各ガス供給制御ライン
2において順次ターンバックル式ナット7により接続さ
れた流路ブロック6の円形の上向き筒部3における下部
の長円形凹部3aの底面3bに開口したガス流入通路4
及びガス流出通路5と、これらと同心に前記流路ブロッ
ク6の上向き筒部3に外ねじナット9により装着する自
動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィ
ルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減
圧弁、レギュレータ、マスフローコントローラー、マス
フローメーター等の制御機器の円形のボディ8における
フランジ下側の長円形凸部8aの下面8bに開口したガ
ス流入通路11及びガス流出通路12とが長円形凹部3
aと長円形凸部8aとの嵌合により連通され、この相互
の連通面である長円形凹部3aの底面3bと長円形凸部
8aの下面8bとの間に、本発明のシールガスケット2
0が介在される。
【0011】本発明のシールガスケット20の基本的実
施形態は、図1の(a)、(b)に示すように外周に前
記流路ブロック6の上向き筒部3の下部の長円形凹部3
aの内周面に位置決めされるガイド部21を有すると共
に、このガイド部21により芯出しされ、前記ガス流入
通路4、11及びガス流出通路5、12と同心に連通す
る2つのガス通路穴22、23を有し、且つこのガス通
路穴22、23の周囲両面にフラットな同高の環状シー
ル面24、24′25、25′を同心に突設したもので
ある。
施形態は、図1の(a)、(b)に示すように外周に前
記流路ブロック6の上向き筒部3の下部の長円形凹部3
aの内周面に位置決めされるガイド部21を有すると共
に、このガイド部21により芯出しされ、前記ガス流入
通路4、11及びガス流出通路5、12と同心に連通す
る2つのガス通路穴22、23を有し、且つこのガス通
路穴22、23の周囲両面にフラットな同高の環状シー
ル面24、24′25、25′を同心に突設したもので
ある。
【0012】本発明のシールガスケット20の実用的実
施形態の1つは、図2の(a)、(b)に示すように外
周のガイド部21を、長円形、凹部3aの内周面に当接
する先端面円弧状の突出部26をガス通路穴22、23
と同心に各々90度間隔に三方に設けて、周方向に断続
的に備えたものであり、また、前記環状シール面24と
24′25と25′はラップさせて、そのラップさせた
部分に溝27を設けて分断独立させたものである。
施形態の1つは、図2の(a)、(b)に示すように外
周のガイド部21を、長円形、凹部3aの内周面に当接
する先端面円弧状の突出部26をガス通路穴22、23
と同心に各々90度間隔に三方に設けて、周方向に断続
的に備えたものであり、また、前記環状シール面24と
24′25と25′はラップさせて、そのラップさせた
部分に溝27を設けて分断独立させたものである。
【0013】本発明のシールガスケット20の実用的実
施形態の他の1つは、図2の(a)、(b)に示す外周
のガイド部21の平面形状を図3に示すように変更した
ものである。即ち、長円形、凹部3aの長径方向両側内
面に接触する球状部28、28′をガス通路穴22、2
3と同心に設け、その球状部28、28′の接続部に9
0度のV字状切欠29、29′を設けて、ガイド部21
を周方向に断続的に備えたものであり、環状シール面2
4と24′25と25′は図2の(a)、(b)に示す
シールガスケット20と同様にラップさせて、そのラッ
プさせた部分に溝27を設けて分断独立させてある。
施形態の他の1つは、図2の(a)、(b)に示す外周
のガイド部21の平面形状を図3に示すように変更した
ものである。即ち、長円形、凹部3aの長径方向両側内
面に接触する球状部28、28′をガス通路穴22、2
3と同心に設け、その球状部28、28′の接続部に9
0度のV字状切欠29、29′を設けて、ガイド部21
を周方向に断続的に備えたものであり、環状シール面2
4と24′25と25′は図2の(a)、(b)に示す
シールガスケット20と同様にラップさせて、そのラッ
プさせた部分に溝27を設けて分断独立させてある。
【0014】本発明のシールガスケット20のその他の
実施形態を図4〜図7に示す。図4に示すシールガスケ
ット20は、環状シール面24と24′(25と2
5′)を隣り合わせに独立させ、外周のガイド部21
を、ガス通路穴22、23を中心として90度間隔に長
径方向、短径方向にU字状切欠30を設けて周方向に断
続的に形成したものである。図5に示すシールガスケッ
ト20は、図4に示すシールガスケット20に於ける外
周のガイド部21の平面形状を変更したもので、長径方
向の両側部31を三角形となるようにカットしてガイド
部21を周方向に断続的に形成したものである。図6に
示すシールガスケット20は図2の(a)、(b)に示
すシールガスケット20の外周のガイド部21の平面形
状を一部変更し、環状シール面24と24′(25と2
5′)を隣り合わせに独立させたものである。図7に示
すシールガスケット20は、図1の(a)、(b)に示
すシールガスケット20の外周のガイド部21の周方向
に小円形の穴32を穿設して、ガイド部21を周方向に
断続的に形成したものである。
実施形態を図4〜図7に示す。図4に示すシールガスケ
ット20は、環状シール面24と24′(25と2
5′)を隣り合わせに独立させ、外周のガイド部21
を、ガス通路穴22、23を中心として90度間隔に長
径方向、短径方向にU字状切欠30を設けて周方向に断
続的に形成したものである。図5に示すシールガスケッ
ト20は、図4に示すシールガスケット20に於ける外
周のガイド部21の平面形状を変更したもので、長径方
向の両側部31を三角形となるようにカットしてガイド
部21を周方向に断続的に形成したものである。図6に
示すシールガスケット20は図2の(a)、(b)に示
すシールガスケット20の外周のガイド部21の平面形
状を一部変更し、環状シール面24と24′(25と2
5′)を隣り合わせに独立させたものである。図7に示
すシールガスケット20は、図1の(a)、(b)に示
すシールガスケット20の外周のガイド部21の周方向
に小円形の穴32を穿設して、ガイド部21を周方向に
断続的に形成したものである。
【0015】上記各実施形態に示すように本発明のシー
ルガスケット20は、外周に、集積化ガスパネル10の
各ガス供給制御ライン2において順次接続された流路ブ
ロック6の円形の上向き凹部3の下部の長円形凹部3a
の内周面に位置決めされるガイド部21を有するので、
長円形凹部3aにシールガスケット20を装入すると、
このガイド部21により2つのガス通路穴22、23が
容易に且つ一緒に流路ブロック6のガス流入通路4及び
ガス流出通路5と同心に連通される。そして、円形の上
向き筒部3に制御機器の円形のボディ8を装入し、該ボ
ディ8の下部の長円形凸部8aを円形の上向き筒部3の
下部の長円形凹部3aに嵌合すると、ボディ8のガス流
入通路11及びガス流出通路12が容易に且つ一緒にシ
ールガスケット20の2つのガス通路穴22、23と同
心に連通される。然る後、ボディ8に外装された外ねじ
ナット9を締め付けると、ボディ8の下部の長円形凸部
8aと流路ブロック6の長円形凹部3aとが、その間に
介在されたシールガスケット20の2つのガス通路穴2
2、23の周囲両面のフラットな同高の環状シール面2
4、24′、25、25′に圧着されて、ガス流入通路
4と11、ガス流出通路5と12との接続部が同時に安
定してシールされる。
ルガスケット20は、外周に、集積化ガスパネル10の
各ガス供給制御ライン2において順次接続された流路ブ
ロック6の円形の上向き凹部3の下部の長円形凹部3a
の内周面に位置決めされるガイド部21を有するので、
長円形凹部3aにシールガスケット20を装入すると、
このガイド部21により2つのガス通路穴22、23が
容易に且つ一緒に流路ブロック6のガス流入通路4及び
ガス流出通路5と同心に連通される。そして、円形の上
向き筒部3に制御機器の円形のボディ8を装入し、該ボ
ディ8の下部の長円形凸部8aを円形の上向き筒部3の
下部の長円形凹部3aに嵌合すると、ボディ8のガス流
入通路11及びガス流出通路12が容易に且つ一緒にシ
ールガスケット20の2つのガス通路穴22、23と同
心に連通される。然る後、ボディ8に外装された外ねじ
ナット9を締め付けると、ボディ8の下部の長円形凸部
8aと流路ブロック6の長円形凹部3aとが、その間に
介在されたシールガスケット20の2つのガス通路穴2
2、23の周囲両面のフラットな同高の環状シール面2
4、24′、25、25′に圧着されて、ガス流入通路
4と11、ガス流出通路5と12との接続部が同時に安
定してシールされる。
【0016】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明の集積化
ガスパネルの制御機器取付用シールガスケットは、流路
ブロックとこれに装着する各種制御機器のボディとの接
続部において、相互のガス流入通路、ガス流出通路に対
する2つのガス通路穴の芯合わせを容易に且つ一緒にで
きて、接続部に介在する作業を簡単化し、且つ取り外し
も容易にできてメンテナンス性を向上でき、しかもガス
流入通路、ガス流出通路の接続部周縁を同時に安定して
シールすることができる。
ガスパネルの制御機器取付用シールガスケットは、流路
ブロックとこれに装着する各種制御機器のボディとの接
続部において、相互のガス流入通路、ガス流出通路に対
する2つのガス通路穴の芯合わせを容易に且つ一緒にで
きて、接続部に介在する作業を簡単化し、且つ取り外し
も容易にできてメンテナンス性を向上でき、しかもガス
流入通路、ガス流出通路の接続部周縁を同時に安定して
シールすることができる。
【図1】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの基本的実施形態を示すもので、(a)
は平面図、(b)は縦断面図である。
ールガスケットの基本的実施形態を示すもので、(a)
は平面図、(b)は縦断面図である。
【図2】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの実用的実施形態の1つを示すのもの
で、(a)は平面図、(b)は縦断面図である。
ールガスケットの実用的実施形態の1つを示すのもの
で、(a)は平面図、(b)は縦断面図である。
【図3】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの実用的実施形態の他の1つを示す平面
図である。
ールガスケットの実用的実施形態の他の1つを示す平面
図である。
【図4】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの他の実施形態の示す平面図である。
ールガスケットの他の実施形態の示す平面図である。
【図5】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの他の実施形態を示す平面図である。
ールガスケットの他の実施形態を示す平面図である。
【図6】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの他の実施形態を示す平面図である。
ールガスケットの他の実施形態を示す平面図である。
【図7】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの他の実施形態を示す平面図である。
ールガスケットの他の実施形態を示す平面図である。
【図8】集積化ガスパネルの概略平面図である。
【図9】図8の集積化ガスパネルのガス供給制御ライン
の1つを示す一部縦断側面図である。
の1つを示す一部縦断側面図である。
【図10】集積化ガスパネルのガス供給制御ラインにお
ける制御機器取付部に従来のシーリングを介在した状態
を示す縦断面図である。
ける制御機器取付部に従来のシーリングを介在した状態
を示す縦断面図である。
1 ベースプレート 2 ガス供給制御ライン 3 円形の上向き筒部 3a 長円形凹部 3b 底面 4 ガス流入通路 5 ガス流出通路 6 流路ブロック 8 円形のボディ 8a 長円形凸部 8b 下面 10 集積化ガスパネル 11 ガス流入通路 12 ガス流出通路 20 シールガスケット 21 ガイド部 22、23 ガス通路穴 24、24′、25、25′ 環状シール面
Claims (3)
- 【請求項1】 集積化ガスパネルの各ガス供給制御ライ
ンにおいて順次接続された流路ブロックの円形の上向き
筒部の下部の長円形凹部底面に開口したガス流入通路及
びガス流出通路と、これらと同心に前記流路ブロックの
上向き筒部に装着する制御機器の円形のボディの下部の
長円形凸部下面に開口したガス流入通路及びガス流出通
路との接続部に介在されるシールガスケットであって、
該シールガスケットが、前記流路ブロックの長円形凹部
内周面に位置決めされるガイド部を外周に有すると共
に、このガイド部により芯出され、前記ガス流入通路及
びガス流出通路と同心に連通する2つのガス通路穴を有
し、且つこの2つのガス通路穴の周囲両面にフラットな
同高の環状シール面を同心に突設したものであることを
特徴とする集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガ
スケット。 - 【請求項2】 シールガスケットが、外周のガイド部を
全周に有するか、又は断続的に有することを特徴とする
請求項1記載の集積化ガスパネルの制御機器取付用シー
ルガスケット。 - 【請求項3】 2つのガス通路穴の周囲両面の環状シー
ル面が、各々独立していることを特徴とする集積化ガス
パネルの制御機器取付用シールガスケット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33628696A JPH10169859A (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33628696A JPH10169859A (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10169859A true JPH10169859A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18297545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33628696A Pending JPH10169859A (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10169859A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006090378A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
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WO2007007507A1 (ja) | 2005-07-12 | 2007-01-18 | Nippon Pillar Packing Co., Ltd. | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
-
1996
- 1996-12-03 JP JP33628696A patent/JPH10169859A/ja active Pending
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