JP3068010B2 - 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 - Google Patents
集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置Info
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Description
ス供給系に使用され、バルブが集積化されるガス制御装
置において、バルブを流路ブロックに結合する装置に関
する。
置は、配管系がガスジャングル化し、且つ大きなスペー
スを占めているため、近時、バルブをモジュール化して
コンパクト化する傾向にある。
ルブの交換メンテナンス性が良くないと使用できない。
図5、図6に夫々示す。図4に示す従来例においては、
流路ブロックFをバルブ本体として用い、この流路ブロ
ックFにバルブ本体を除くダイヤフラムバルブDの構成
要素を組み込んでダイヤフラムバルブDを構成してい
る。図5に示す従来例においては、流路ブロックF’に
ダイヤフラムバルブD’を4本のボルトBで取付けてい
る。図6に示す従来例においては、集積化のために流路
ブロックF″にダイヤフラムバルブD″を複数個取付け
て多連バルブとし、別の流路ブロック、基板等に複数本
ボルトBで取り付ける。
示す従来例の構成では、上記のように流路ブロックFを
バルブ本体として利用しているため、ダイヤフラムバル
ブDを交換するには、ダイヤフラムdまで分解する必要
があり、ユーザーではメンテナンスできない。図5に示
す従来例の構成では、ダイヤフラムバルブD′を流路ブ
ロックF′に4本のボルトBで締結するために手間取
り、さらに流路ブロックF′を狭いスペースの中で配管
系に取り付ける際、下面にメタルCリング(図示省略)
やガスケット等を介してやはり4本のボルトBで締結す
るために手間取り、しかも夫々うまくバランスさせない
と、各々下面の結合部でリークし易く、信頼性に欠け
る。図6に示す従来例の構成では、1つのバルブをメン
テナンスするにも全部交換となってしまうので、非経済
であり、さらにボルトBが何本もあり、シールを確保す
るための締め付け方が難しい。
を分解することなく簡単に行うことができ、したがっ
て、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡
単に行うことができるようにした集積化ガス制御装置に
おけるバルブ結合装置を提供しようとするものである。
の本発明の集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置
は、半導体用高純度ガス供給系に使用され、バルブが集
積される集積化ガス制御装置において、第1と第2のガ
ス通路を有する流路ブロックに上記第1と第2のガス通
路の一端を開口させるように形成された凹部と、この凹
部の内周面に形成された雌ねじと、上記第1と第2のガ
ス通路に連通し得る第1と第2のガス通路を有し、これ
ら第1と第2のガス通路を開閉し得るように構成された
バルブにおけるボディの外周に回転可能に嵌合され、上
記ボディを上記流路ブロックの凹部に互いの第1と第2
のガス通路が連通した挿入状態で上記凹部の雌ねじに離
脱可能に螺合されることにより、上記ボディを抜け止め
状態で結合する外ねじナットとを備えたものである。
ィにおける端部の接合面と流路ブロックの凹部における
底部の接合面との間にシール状態で介在され、上記バル
ブおよび上記流路ブロックの第1と第2のガス通路を連
通させるガス通路穴を有するガスケットを備えるのが好
ましい。また、上記ガスケットは、ガス流入側のガス通
路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型の場合
と、ガス通路穴を有する2個をリテーナで結合保持した
場合とがある。
ガス通路の開閉機構を内蔵しているバルブのボディがそ
の外周に装着された外ねじナットにて流路ブロックにね
じ結合されているので、外ねじナット1個を緩めたり、
締めたりするだけで、バルブを分解することなく、バル
ブの流路ブロックに対する着脱を簡単に行うことができ
る。
介在したガスケットが、外ねじナット1個の締め付けに
より均等に締め付けられるので、シール性が向上する。
けるバルブ結合装置の実施形態を図1によって説明する
と、1はダイヤフラムバルブであり、その構成について
概略説明すると、駆動部2とバルブボディ3とが結合さ
れている。バルブボディ3は有底筒状で、底部中心にガ
ス流入通路4が垂直に設けられ、その外側方にガス流出
通路5が垂直に設けられている。ガス流入通路4の上端
開口縁には弁座シート6がかしめ止めにて固設され、こ
れに弁体であるダイヤフラム7が押えピース8の押圧に
より密着され、バルブが閉鎖されるようになっている。
ダイヤフラム7の周縁部はボンネット9によりボディ3
内の底面周縁の突起10に押えられ、ボンネット9は駆
動部2の接続部外筒11により締め付けられている。押
えピース8は駆動部2のピストン12により押圧され
る。バルブボディ3の外周下端には鍔13が設けられ、
この鍔13の上側の外周に外ねじナット14が回転可能
に装着されている。
ているダイヤフラムバルブ1のバルブボディ3が流路ブ
ロック15の凹部16内に挿入されている。バルブボデ
ィ3の端部と凹部16の底部は長円形に形成されて凹凸
嵌合され、バルブボディ3の端部の接合面19と凹部1
6の底部の接合面20との間に図2に示すように中央に
ガス流入側のガス通路穴21とその両側にガス流出側の
ガス通路穴22を有するガスケット23が介在されてい
る。そして、バルブボディ3のガス流入通路4と流路ブ
ロック15のガス流入通路17とがガスケット23のガ
ス通路穴21を介して連通され、バルブボディ3のガス
流出通路5と流路ブロック15のガス流出通路18とが
ガスケット23のガス通路穴22を介して連通された状
態で、外ねじナット14が凹部16内上部の雌ねじ27
に離脱可能に螺合され、バルブボディ3の鍔13が外ね
じナット14により抜け止めされることにより、ダイヤ
フラムバルブ1のバルブボディ3が流路ブロック15に
結合され、相互の接合面19、20間に介在されたガス
ケット23が挟み付けられて接合面19、20がシール
されている。
路穴22は2個の内、1個使用され、他の1個は捨穴と
なるが、装着時その方向を見定める必要がなく、また全
面略均等な締付力にて挟み付けることができると共に長
円形に形成されているため、回り止めの効果もある。
21とガス流出用穴22を有する一体型のものである
が、図3に示すようにガス通路穴24を有するガスケッ
ト25をS字型のリテーナ26に2個結合保持したもの
であってもよい。その場合、接合面19、20の形状は
2個のガスケット25に相応する長円形になされる。
化ガス制御装置におけるバルブ結合装置によれば、ガス
通路の開閉機能を内蔵しているダイヤフラムバルブ1の
バルブボディ3がその外周に装着された外ねじナット1
4にて流路ブロック15にねじ結合されているので、外
ねじナット14を緩めたり、締めたりするだけで、ダイ
ヤフラムバルブ1を分解することなく、ダイヤフラムバ
ルブ1の流路ブロック15に対する着脱を簡単に行うこ
とができる。また、バルブボディ3の接合面19と流路
ブロック15の接合面20との間に介在したガスケット
23が外ねじナット14のみの締め付けにより均等に締
め付けられるのでシール性が向上する。
ガス制御装置におけるバルブ結合装置によれば、ガス通
路の開閉機構を内蔵しているバルブのボディに備えた外
ねじナット1つを緩めたり、締めたりするだけの簡単な
作業でバルブを分解することなく流路ブロックに着脱す
ることができ、したがって、ユーザーでも定期補修、交
換等のメンテナンスを簡単に行うことができる。
部との接合面に介在させたガスケットを外ねじと凹部と
の螺合により均等に締め付けることができるので、シー
ル性を向上させることができる。
合装置の一実施形態を示す要部縦断面図である。
示す平面図である。
を示す平面図である。
縦断面図である。
の斜視図である。
一部斜視図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 半導体用高純度ガス供給系に使用され、
バルブが集積される集積化ガス制御装置において、第1
と第2のガス通路を有する流路ブロックに上記第1と第
2のガス通路の一端を開口させるように形成された凹部
と、この凹部の内周面に形成された雌ねじと、上記第1
と第2のガス通路に連通し得る第1と第2のガス通路を
有し、これら第1と第2のガス通路を開閉し得るように
構成されたバルブにおけるボディの外周に回転可能に嵌
合され、上記ボディを上記流路ブロックの凹部に互いの
第1と第2のガス通路が連通した挿入状態で上記凹部の
雌ねじに離脱可能に螺合されることにより、上記ボディ
を抜け止め状態で結合する外ねじナットとを備えた集積
化ガス制御装置におけるバルブ結合装置。 - 【請求項2】 バルブのボディにおける端部の接合面と
流路ブロックの凹部における底部の接合面との間にシー
ル状態で介在され、上記バルブおよび上記流路ブロック
の第1と第2のガス通路を連通させるガス通路穴を有す
るガスケットを備えた請求項1記載の集積化ガス制御装
置におけるバルブ結合装置。 - 【請求項3】 ガスケットが、ガス流入側のガス通路穴
とガス流出側のガス通路穴を有する一体型、又はガス通
路穴を有する2個をリテーナで結合保持したものである
請求項2記載の集積化ガス制御装置におけるバルブ結合
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8215931A JP3068010B2 (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP8215931A JP3068010B2 (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=16680638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8215931A Expired - Fee Related JP3068010B2 (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3068010B2 (ja) |
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CN111344510A (zh) * | 2017-10-31 | 2020-06-26 | 株式会社富士金 | 阀装置 |
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1996
- 1996-07-30 JP JP8215931A patent/JP3068010B2/ja not_active Expired - Fee Related
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