JPH10281385A - 集積化ガスパネル用制御機器 - Google Patents
集積化ガスパネル用制御機器Info
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- JPH10281385A JPH10281385A JP9102404A JP10240497A JPH10281385A JP H10281385 A JPH10281385 A JP H10281385A JP 9102404 A JP9102404 A JP 9102404A JP 10240497 A JP10240497 A JP 10240497A JP H10281385 A JPH10281385 A JP H10281385A
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- gas
- control device
- diaphragm valve
- integrated
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Abstract
ることなく簡単にでき、また制御機器本体の結合部の緊
密なシール性を確保できてユーザーでも定期補修、交換
等のメンテナンスを簡単にでき、その上コンパクトにで
きてガスラインでの省スペース化を図ることができる。 【解決手段】 半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネ
ルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム弁
1、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニッ
ト、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、レギュレータ
ー、マスフローコントローラー、マスフローメーター等
の制御機器であって、本体を縦型にし、下部のボディ3
にガス流入通路4、ガス流出通路5を設け、ボディ3の
外周に内ねじを有する袋状ナット14を装着する。ボデ
ィ3を流路ブロック15の装着穴16に装入し、袋状ナ
ット14にて流路ブロック15に締結し、ボディ3の下
面と対向する装着穴16の底面を周縁より高い凸型に形
成し、これらの間にガス通路穴20、21を有するガス
ケット22を介在してシールしている。
Description
ス系のガス制御装置の集積化ガスパネルに於けるガスラ
インに使用される制御機器に関する。
0に示すようにパネル30上にガス上流側からマスフロ
ーコントローラー31、ブロックバルブ32、バルブ3
3、フィルター34の順に取り付けられたガスライン3
5が並列に多数配設されてぎっしり詰まっている。上記
ガスライン35の各制御機器は、定期交換部品であり、
ぎっしり詰まった場所での脱着作業は非常に厄介で時間
がかかる。例えば横型のフィルター34を取り外すには
2ヵ所のねじ部36、37を緩め、さらにシール面を傷
付けないようにする為、ガスライン35を部分的に緩め
なければならない。従って、フィルター1個を脱着する
に例えば下流側のバルブ等の機器を固定しているネジの
全てを緩めなければならず、ユーザーでの定期交換補修
が非常に大変である。
機器本体の脱着を、ガスラインを分解することなく簡単
にでき、また制御機器本体の結合部の緊密なシール性を
確保できて、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナ
ンスを簡単にでき、その上コンパクトにできてガスライ
ンでの省スペース化を図ることのできる集積化ガスパネ
ル用制御機器を提供しようとするものである。
の本発明の集積化ガスパネル用制御機器は、半導体用高
純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使
用される自動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラ
ム弁、フィルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフ
ラム弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、
マスフローメーター等の制御機器であって、該制御機器
の本体は縦型になされ、本体下部のボディにガス流入通
路、ガス流出通路が設けられ、ボディの外周に内ねじを
有する袋状ナットが装着されて成り、前記制御機器のボ
ディが流路ブロックの上向き開口の装着穴に装入され、
前記袋状ナットにて流路ブロックに締結されていること
を特徴とするものである。
て、制御機器のボディの下面と対向する流路ブロックの
装着穴の底面は周縁より高くなされて凸型に形成され、
この凸型の底面とボディの下面との間にガス通路穴を有
するガスケットが介在されてシールされていることが好
ましい。
面の溝に装入位置決めされ、ガス流入側のガス通路穴と
ガス流出側のガス通路穴を有する一体型であることが好
ましい。
スパネル用制御機器は、本体下部のボディの外周に装着
された内ねじを有する袋状ナットにて流路ブロックに締
結されているので、袋状ナット1個を緩めたり、締めた
りするだけで、流路ブロックからの本体の脱着が簡単に
でき、従来のようにガスラインを分解する必要がなく、
しかも本体の脱着時に生じるねじ部のパーティクルが流
路ブロックの装着穴に入ることがないので、ガス流路系
に入ることがない。また、本体下部のボディの下面と流
路ブロックの装着穴の底面との間に介在したガスケット
が、袋状ナット1個の締め付けにより均等に締め付けら
れるので、緊密なシール性を確保できる。しかも流路ブ
ロックの装着穴の底面を凸型にしてあるので、本体下部
のボディの脱着時にガスケットシール面にゴミの侵入、
溜りが生じるのを防止できる。さらに、制御機器が縦型
でコンパクトとなるので、ガスラインでの省スペース化
を図ることができる。
機器の一実施形態を図1によって説明すると、1は半導
体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスライ
ンに使用される自動ダイヤフラム弁で、本体が縦型にな
されて上部に駆動部2、下部にボディ3を有する。ボデ
ィ3は有底筒状で、底部中心にガス流入通路4が設けら
れ、その外側方にガス流出通路5が垂直に設けられてい
る。ガス流入通路4の上端開口縁には弁座シート6がか
しめ止めにて固設され、これに弁体であるダイヤフラム
7が押えピース8の押圧により密着され、バルブが閉鎖
されるようになっている。尚、図1中、9はダイヤフラ
ム7の周縁部をボディ3内の底面周縁の突起10に押え
るボンネット、11はボンネット9を締め付ける駆動部
2の接続部外筒、12は押えピース8を押圧する駆動部
2のピストンである。
けられ、この鍔13の上側の外周に内ねじを有する袋状
ナット14が装着されている。ボディ3は、流路ブロッ
ク15の上向き開口の円形の装着穴16内に装入され、
前記の袋状ナット14が装着穴16の筒状壁外周面のね
じ17に締め込まれて流路ブロック15に締結されてい
る。そしてボディ3のガス流入通路4と流路ブロック1
5のガス流入通路18とが連通され、ボディ3のガス流
出通路5と流路ブロック15のガス流出通路19とが連
通されている。この連通部分の相互の接合面間には即
ち、ボディ3の下面と前記装着穴16の底面との間には
図2に示すようにガス流入側のガス通路穴20とガス流
出側のガス通路穴21を有するガスケット22が挟み付
けられて相互の接合面がシールされている。前記装着穴
16の底面は周縁より高くなされて凸型に形成され、前
記ガスケット22は図3に示すように長方形になされて
ボディ3の下面に設けた溝23に装入位置決めされてい
る。尚、ガスケット22は、必要に応じてリテーナを用
いて位置決めしてもよい。
ガスパネル用自動ダイヤフラム弁1は、開弁時、ガスが
流路ブロック15のガス流入通路18から入り、ガスケ
ット22のガス通路穴20、ボディ3のガス流入通路4
を通って、ボディ3の内側に入り、ここからボディ3の
ガス流出通路5、ガスケット22のガス通路穴21を通
って、流路ブロック15のガス流出通路19から出てい
く。かかる機能の集積化ガスパネル用自動ダイヤフラム
弁1は、ボディ3の外周に装着された内ねじを有する袋
状ナット14にて流路ブロック15に締結されているの
で、袋状ナット14を緩めたり、締めたりするだけで、
流路ブロック15からの本体の脱着が簡単にでき、従来
のようにガスラインを分解する必要がなく、しかも本体
の脱着時に生じるねじ部のパーティクルが流路ブロック
15の装着穴16に入ることがないので、ガス流路系に
入ることがない。また、本体のボディ4の下面と流路ブ
ロック15の装着穴16の底面との間に介在したガスケ
ット22が袋状ナット14のみの締め付けにより均等に
締め付けられるので、緊密なシール性を確保できる。し
かも流路ブロック15の装着穴16の底面を凸型にして
あるので、本体下部のボディ3の脱着時にガスケット2
2のシール面にゴミの侵入、溜りが生じるのを防止でき
る。さらに、自動ダイヤフラム弁の本体2が縦型にガス
パネルに配されてコンパクトとなるので、ガスラインで
の省スペース化を図ることができる。
御機器の実施形態は、自動ダイヤフラム弁1の場合であ
るが、トグル型手動ダイヤフラム弁40の場合は、図4
に示すように構成され、フィルターユニット41の場合
は図5に示すように構成され、チャッキ弁42付自動ダ
イヤフラム弁43の場合は図6に示すように構成され、
レギュレーター44の場合は図7に示すように構成さ
れ、マスフローコントローラー45の場合は図8に示す
ように構成され、マスフローメーター46の場合は図9
に示すように構成される。これらの制御機器は、いずれ
も本体が縦型になされ、本体下部のボディ3′にガス流
入通路4′、ガス流出通路5′が設けられ、ボディ3′
の外周に内ねじを有する袋状ナット14′が装着されて
成り、前記ボディ3′が流路ブロック15′の上向き開
口の装着穴16′に装入され、前記袋状ナット14′に
て流路ブロック15′に締結されている。また、ボディ
3′の下面と対向する流路ブロック15′の底面が周縁
より高くなされて凸型に形成され、この凸型の底面とボ
ディ3′の下面との間にガス通路穴20′、21′を有
するガスケット22′が介在されてシールされている。
そしてこのガスケット22′は前記実施形態の自動ダイ
ヤフラム弁1の場合のガスケット22と同様にボディ
3′の下面の溝23′に装入位置決めされている。
ガスパネル用制御機器は、流路ブロックの装着穴からの
制御機器本体の脱着を、ガスラインを分解することな
く、内ねじを有する袋状ナット1つを緩めたり、締めた
りするだけで簡単にでき、しかも制御機器本体の脱着時
に生じるねじ部のパーティクルが流路ブロックの装着穴
に入ることがないので、ガス流路系に入ることがない。
また制御機器本体の結合部をガスケットにより緊密なシ
ール性を確保でき、しかも流路ブロックの装着穴の底面
を凸型にしてあるので、制御機器本体の脱着時にガスケ
ットのシール面にゴミの侵入、溜りが生じるのを防止で
きる。従って、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテ
ナンスを簡単にできる。その上、本発明の制御機器は、
本体が縦型にガスパネルに配されてコンパクトとなるの
で、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
形態である自動ダイヤフラム弁を示す縦断面図である。
装入部分を示すA−A矢視断面図である。
施形態であるトグル型手動ダイヤフラム弁を示す要部縦
断面図である。
施形態であるフィルターユニットを示す縦断面図であ
る。
施形態であるチャッキ弁付自動ダイヤフラム弁を示す要
部縦断面図である。
施形態であるレギュレーターを示す要部縦断面図であ
る。
施形態であるマスフローコントローラーを示す要部縦断
面図である。
施形態であるマスフローメーターを示す要部縦断面図で
ある。
の一例を示す平面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネ
ルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム
弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニッ
ト、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、レギュレータ
ー、マスフローコントローラー、マスフローメーター等
の制御機器であって、該制御機器の本体は縦型になさ
れ、本体下部のボディにガス流入通路、ガス流出通路が
設けられ、ボディの外周に内ねじを有する袋状ナットが
装着されて成り、前記制御機器のボディが流路ブロック
の上向き開口の装着穴に装入され、前記袋状ナットにて
流路ブロックに締結されていることを特徴とする集積化
ガスパネル用制御機器。 - 【請求項2】 請求項1記載の集積化ガスパネル用制御
機器に於いて、制御機器のボディの下面と対向する流路
ブロックの装着穴の底面が周縁より高くなされて凸型に
形成され、この凸型の底面とボディの下面との間にガス
通路穴を有するガスケットが介在されてシールされてい
ることを特徴とする集積化ガスパネル用制御機器。 - 【請求項3】 請求項2記載の集積化ガスパネル用制御
機器に於いて、ガスケットが、ボディ下面の溝に装入位
置決めされ、ガス流入側のガス通路穴とガス流出側のガ
ス通路穴を有する一体型であることを特徴とする集積化
ガスパネル用制御機器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10240497A JP3549701B2 (ja) | 1997-04-07 | 1997-04-07 | 集積化ガスパネル用制御機器 |
TW86113389A TW397909B (en) | 1996-09-30 | 1997-09-15 | Integration gas controller |
US08/929,853 US6073646A (en) | 1996-09-30 | 1997-09-15 | Gas controlling device for integration |
KR1019970048631A KR100273843B1 (ko) | 1996-09-30 | 1997-09-22 | 집적화용 가스 제어기기 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10240497A JP3549701B2 (ja) | 1997-04-07 | 1997-04-07 | 集積化ガスパネル用制御機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10281385A true JPH10281385A (ja) | 1998-10-23 |
JP3549701B2 JP3549701B2 (ja) | 2004-08-04 |
Family
ID=14326513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10240497A Expired - Lifetime JP3549701B2 (ja) | 1996-09-30 | 1997-04-07 | 集積化ガスパネル用制御機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3549701B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009002523A (ja) * | 2008-09-22 | 2009-01-08 | Hitachi Metals Ltd | メタルダイヤフラム弁 |
-
1997
- 1997-04-07 JP JP10240497A patent/JP3549701B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009002523A (ja) * | 2008-09-22 | 2009-01-08 | Hitachi Metals Ltd | メタルダイヤフラム弁 |
JP4697612B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2011-06-08 | 日立金属株式会社 | メタルダイヤフラム弁 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3549701B2 (ja) | 2004-08-04 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040407 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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