JPH10307005A - 測長装置 - Google Patents
測長装置Info
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- JPH10307005A JPH10307005A JP9117808A JP11780897A JPH10307005A JP H10307005 A JPH10307005 A JP H10307005A JP 9117808 A JP9117808 A JP 9117808A JP 11780897 A JP11780897 A JP 11780897A JP H10307005 A JPH10307005 A JP H10307005A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パターン検査と測長の機能を備えることによ
り、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、検査の
手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる。 【解決手段】 被測定物を載置する測定台と、被測定物
を照明する投光部１３と、画像取り込み手段７と、画像
取り込み手段７を移動させるＸ軸／Ｙ軸サーボモータ４
５ａ，４５ｂと、被処理物の寸法や座標を測定する測長
ユニットＵ１と、被測定物のパターンを検査するパター
ン検査ユニットＵ２と、パターン検査の結果および測長
した結果を表示するＣＲＴ５３とを備え、測長装置だけ
でパターン検査と測長の両方を行うことができる。
り、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、検査の
手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる。 【解決手段】 被測定物を載置する測定台と、被測定物
を照明する投光部１３と、画像取り込み手段７と、画像
取り込み手段７を移動させるＸ軸／Ｙ軸サーボモータ４
５ａ，４５ｂと、被処理物の寸法や座標を測定する測長
ユニットＵ１と、被測定物のパターンを検査するパター
ン検査ユニットＵ２と、パターン検査の結果および測長
した結果を表示するＣＲＴ５３とを備え、測長装置だけ
でパターン検査と測長の両方を行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
作成用の原板や、液晶表示装置や半導体ウエハに所定の
パターンを焼き付けるためのガラスマスク作成用の原板
や、高い精度を必要とする印刷物等の図形の寸法や座標
の位置などを測定するのに用いられる測長装置に関す
る。
作成用の原板や、液晶表示装置や半導体ウエハに所定の
パターンを焼き付けるためのガラスマスク作成用の原板
や、高い精度を必要とする印刷物等の図形の寸法や座標
の位置などを測定するのに用いられる測長装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント配線基板に所定のパター
ンを作成するプリント配線基板作成用の原板などは、別
体のパターン検査装置と測長装置を用いて、例えば、次
のようにして検査されている。
ンを作成するプリント配線基板作成用の原板などは、別
体のパターン検査装置と測長装置を用いて、例えば、次
のようにして検査されている。
【０００３】まず、被測定物となる原板を『パターン検
査装置』の測定台にセットし、ＣＣＤカメラなどの画像
取り込み部と測定台とを移動部により相対移動させ、取
り込んだ画像に基づきパターン検査ユニットにより原板
に形成されたパターンにピンホール、ブリッジ、切れ、
欠け、キズ、汚れ、ホコリなどの欠陥が生じていないか
を検査する。そして、上記のような欠陥がある場合に
は、その座標を記憶するとともにマーカーによりその箇
所にマーキングを施す。修正可能な欠陥であれば修正を
施して再びパターン検査を行い、修正不可能な欠陥であ
ればその原板を廃棄する。
査装置』の測定台にセットし、ＣＣＤカメラなどの画像
取り込み部と測定台とを移動部により相対移動させ、取
り込んだ画像に基づきパターン検査ユニットにより原板
に形成されたパターンにピンホール、ブリッジ、切れ、
欠け、キズ、汚れ、ホコリなどの欠陥が生じていないか
を検査する。そして、上記のような欠陥がある場合に
は、その座標を記憶するとともにマーカーによりその箇
所にマーキングを施す。修正可能な欠陥であれば修正を
施して再びパターン検査を行い、修正不可能な欠陥であ
ればその原板を廃棄する。
【０００４】次いで、上記のパターン検査により良品と
なった原板のみを『測長装置』の測定台にセットし、Ｃ
ＣＤカメラなどの画像取り込み部と測定台とを移動部に
より相対移動させ、取り込んだ画像に基づいて原板に形
成されたパターンの寸法やパターンの座標などを測長ユ
ニットにより計測し、設計値の許容誤差内に収まってい
るか否か等を検査する。
なった原板のみを『測長装置』の測定台にセットし、Ｃ
ＣＤカメラなどの画像取り込み部と測定台とを移動部に
より相対移動させ、取り込んだ画像に基づいて原板に形
成されたパターンの寸法やパターンの座標などを測長ユ
ニットにより計測し、設計値の許容誤差内に収まってい
るか否か等を検査する。
【０００５】そして、良品となった原板だけを用いて基
板に所定のパターンを形成し、プリント配線基板を作成
するようになっている。
板に所定のパターンを形成し、プリント配線基板を作成
するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来例の場合には、次のような問題がある。すなわ
ち、パターン検査と測長のためにそれぞれ別体の『パタ
ーン検査装置』と『測長装置』を用いる必要があるの
で、装置２台分の設置スペースが必要となるとともに、
検査を行うには装置２台分の購入費用が必要となって初
期投資が大きくなる。
うな従来例の場合には、次のような問題がある。すなわ
ち、パターン検査と測長のためにそれぞれ別体の『パタ
ーン検査装置』と『測長装置』を用いる必要があるの
で、装置２台分の設置スペースが必要となるとともに、
検査を行うには装置２台分の購入費用が必要となって初
期投資が大きくなる。
【０００７】また、装置に原板をセットする作業を２回
行う必要があるので、一連の検査を完了するまでの作業
が煩雑となるとともに検査時間が長くなるという問題点
がある。
行う必要があるので、一連の検査を完了するまでの作業
が煩雑となるとともに検査時間が長くなるという問題点
がある。
【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、パターン検査と測長の機能を備えるこ
とにより、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、
検査の手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる測長
装置を提供することを目的とする。
たものであって、パターン検査と測長の機能を備えるこ
とにより、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、
検査の手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる測長
装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の測長装置は、被測定物を載置する
測定台と、前記測定台に載置された被測定物を照明する
照明手段と、前記被測定物の画像を取り込む画像取り込
み手段と、前記測定台と平行な平面内で前記被測定物と
前記画像取り込み手段とを相対移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニット
と、前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、
前記画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づい
て前記被測定物の寸法や座標を測定する測長ユニット
と、前記パターン検査ユニットによって前記被測定物を
検査した結果および前記測長ユニットによって前記被測
定物を測長した結果を出力する出力手段と、を備えてい
ることを特徴とするものである。
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の測長装置は、被測定物を載置する
測定台と、前記測定台に載置された被測定物を照明する
照明手段と、前記被測定物の画像を取り込む画像取り込
み手段と、前記測定台と平行な平面内で前記被測定物と
前記画像取り込み手段とを相対移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニット
と、前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、
前記画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づい
て前記被測定物の寸法や座標を測定する測長ユニット
と、前記パターン検査ユニットによって前記被測定物を
検査した結果および前記測長ユニットによって前記被測
定物を測長した結果を出力する出力手段と、を備えてい
ることを特徴とするものである。
【００１０】また、請求項２に記載の測長装置は、請求
項１に記載の測長装置において、前記照明手段を、パタ
ーン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
と、前記被測定物に光を導く光ファイバーと、前記間欠
発光手段または前記定常発光手段のいずれか一方の光を
前記光ファイバーに選択的に導く光選択手段とから構成
したことを特徴とするものである。
項１に記載の測長装置において、前記照明手段を、パタ
ーン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
と、前記被測定物に光を導く光ファイバーと、前記間欠
発光手段または前記定常発光手段のいずれか一方の光を
前記光ファイバーに選択的に導く光選択手段とから構成
したことを特徴とするものである。
【００１１】また、請求項３に記載の測長装置は、請求
項１または請求項２に記載の測長装置において、前記画
像取り込み手段を前記測定台の上方に配設し、前記照明
手段を前記測定台の下方に配設したことを特徴とするも
のである。
項１または請求項２に記載の測長装置において、前記画
像取り込み手段を前記測定台の上方に配設し、前記照明
手段を前記測定台の下方に配設したことを特徴とするも
のである。
【００１２】また、請求項４に記載の測長装置は、請求
項１ないし請求項３に記載の測長装置において、前記パ
ターン検査ユニットによる検査結果に基づいて、前記被
測定物上の欠陥箇所にマーキングを行うマーキング機構
をさらに備えていることを特徴とするものである。
項１ないし請求項３に記載の測長装置において、前記パ
ターン検査ユニットによる検査結果に基づいて、前記被
測定物上の欠陥箇所にマーキングを行うマーキング機構
をさらに備えていることを特徴とするものである。
【００１３】
【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。被測定物を測定台に載置して被測定物を照明手段に
より照明し、移動手段により画像取り込み手段と被測定
物とを相対移動させて被測定物の画像を取り込む。取り
込んだ画像に基づきパターン検査ユニットによりパター
ンを検査して、その結果を出力手段に出力する。また、
被測定物を測定台に載置したまま相対移動により画像取
り込み手段と被測定物とを相対移動させて、被測定物の
画像を取り込み、測長ユニットにより被測定物の寸法や
座標を測定して出力手段に結果を出力する。このように
測定台、照明手段、画像取り込み手段、移動手段、出力
手段をパターン検査ユニットと測長ユニットで共用して
いるので、装置を小型化できてコストを低減できる。ま
た、測定台への被測定物のセットが一度で済むので、被
測定物の段取り替えが不要となる。
る。被測定物を測定台に載置して被測定物を照明手段に
より照明し、移動手段により画像取り込み手段と被測定
物とを相対移動させて被測定物の画像を取り込む。取り
込んだ画像に基づきパターン検査ユニットによりパター
ンを検査して、その結果を出力手段に出力する。また、
被測定物を測定台に載置したまま相対移動により画像取
り込み手段と被測定物とを相対移動させて、被測定物の
画像を取り込み、測長ユニットにより被測定物の寸法や
座標を測定して出力手段に結果を出力する。このように
測定台、照明手段、画像取り込み手段、移動手段、出力
手段をパターン検査ユニットと測長ユニットで共用して
いるので、装置を小型化できてコストを低減できる。ま
た、測定台への被測定物のセットが一度で済むので、被
測定物の段取り替えが不要となる。
【００１４】また、請求項２に記載の発明によれば、パ
ターン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
とを光選択手段により選択的に光ファイバーに導くよう
に照明手段を構成しているので、パターン検査処理時と
測長処理時に適切な照明を選択できる。
ターン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
とを光選択手段により選択的に光ファイバーに導くよう
に照明手段を構成しているので、パターン検査処理時と
測長処理時に適切な照明を選択できる。
【００１５】また、請求項３に記載の発明によれば、画
像取り込み手段を測定台の上方に、照明手段を測定台の
下方に備えているので、プリント配線基板作成用のフィ
ルム原板などの光透過性の被測定物を適切に検査するこ
とができる。
像取り込み手段を測定台の上方に、照明手段を測定台の
下方に備えているので、プリント配線基板作成用のフィ
ルム原板などの光透過性の被測定物を適切に検査するこ
とができる。
【００１６】また、請求項４に記載の発明によれば、マ
ーキング機構により欠陥箇所にマーキングを施すので、
検査後の被測定物を見るだけで欠陥の有無や規模を容易
に知ることができる。
ーキング機構により欠陥箇所にマーキングを施すので、
検査後の被測定物を見るだけで欠陥の有無や規模を容易
に知ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。図１は実施例に係る測長装置の概略
構成を示す外観斜視図であり、図２は移動手段の概略構
成を示す斜視図であり、図３は画像取り込み手段の概略
構成を示す斜視図である。また、図４は、装置のブロッ
ク図を示す。なお、以下の説明においては、プリント配
線基板作成用の原板や印刷物等を被測定物と称する。
実施例を説明する。図１は実施例に係る測長装置の概略
構成を示す外観斜視図であり、図２は移動手段の概略構
成を示す斜視図であり、図３は画像取り込み手段の概略
構成を示す斜視図である。また、図４は、装置のブロッ
ク図を示す。なお、以下の説明においては、プリント配
線基板作成用の原板や印刷物等を被測定物と称する。
【００１８】ガラスなどの光透過性材料で平板状に形成
され、被測定物Ｗを載置する測定台１は、装置を操作す
るための各種スイッチを含む操作パネル３を前面に備え
た装置筐体５の上面に水平姿勢で配設されている。測定
台１の上方には、画像取り込み手段７がＸ方向駆動架台
９を介して取り付けられており、図２に示すように画像
取り込み手段駆動ループ１０によりＸ方向に移動される
ようになっている。また、Ｘ方向駆動架台９は、装置筐
体５の上面に内蔵されたＹ方向駆動部１１により画像取
り込み手段７ごとＹ方向に移動されるようになってお
り、測定台１に平行なＸ−Ｙ平面内で画像取り込み手段
７を移動するようになっている。なお、上記の画像取り
込み手段駆動ループ１０とＹ方向駆動部１１とが本発明
の移動手段に相当する。
され、被測定物Ｗを載置する測定台１は、装置を操作す
るための各種スイッチを含む操作パネル３を前面に備え
た装置筐体５の上面に水平姿勢で配設されている。測定
台１の上方には、画像取り込み手段７がＸ方向駆動架台
９を介して取り付けられており、図２に示すように画像
取り込み手段駆動ループ１０によりＸ方向に移動される
ようになっている。また、Ｘ方向駆動架台９は、装置筐
体５の上面に内蔵されたＹ方向駆動部１１により画像取
り込み手段７ごとＹ方向に移動されるようになってお
り、測定台１に平行なＸ−Ｙ平面内で画像取り込み手段
７を移動するようになっている。なお、上記の画像取り
込み手段駆動ループ１０とＹ方向駆動部１１とが本発明
の移動手段に相当する。
【００１９】測定台１の下方には、上記画像取り込み手
段７に対向する位置に反射鏡１３ａを有する投光部１３
が配設されている。この投光部１３には、図４に示すよ
うに光ファイバー１５を介して２分岐型ライトガイド１
７が接続されており、２分岐型ライトガイド１７には、
測長用に定常発光するハロゲンランプ１９と、パターン
検査用に間欠発光するＸｅランプ（キセノンランプ）２
１とが接続されている。このＸｅランプ２１の間欠発光
動作は、Ｘｅランプコントローラ２３によって制御され
るようになっている。なお、投光部１３が本発明の照明
手段に相当し、ハロゲンランプ１９が定常発光手段に相
当し、Ｘｅランプ２１とＸｅランプコントローラ２３が
間欠発光手段に相当する。
段７に対向する位置に反射鏡１３ａを有する投光部１３
が配設されている。この投光部１３には、図４に示すよ
うに光ファイバー１５を介して２分岐型ライトガイド１
７が接続されており、２分岐型ライトガイド１７には、
測長用に定常発光するハロゲンランプ１９と、パターン
検査用に間欠発光するＸｅランプ（キセノンランプ）２
１とが接続されている。このＸｅランプ２１の間欠発光
動作は、Ｘｅランプコントローラ２３によって制御され
るようになっている。なお、投光部１３が本発明の照明
手段に相当し、ハロゲンランプ１９が定常発光手段に相
当し、Ｘｅランプ２１とＸｅランプコントローラ２３が
間欠発光手段に相当する。
【００２０】投光部１３は、図２に示すように、測定台
１の周囲を囲むようにしてループを形成する投光部駆動
ループ２５の下側一部位に連動連結されており、この投
光部駆動ループ２５の上側一部位は係合金具２６により
画像取り込み手段駆動ループ１０の下側に連動連結され
ている。したがって、画像取り込み手段７が矢印Ａ方向
に移動すれば、係合金具２６により画像取り込み手段駆
動ループ１０の下側に係合している投光部駆動ループ２
５の上部はその反対方向に移動し、その結果、投光部１
３は矢印Ａと同方向に同じ距離だけ移動することにな
り、常に画像取り込み手段７と投光部１３とが測定台１
を挟んで対向した状態で移動することになる。
１の周囲を囲むようにしてループを形成する投光部駆動
ループ２５の下側一部位に連動連結されており、この投
光部駆動ループ２５の上側一部位は係合金具２６により
画像取り込み手段駆動ループ１０の下側に連動連結され
ている。したがって、画像取り込み手段７が矢印Ａ方向
に移動すれば、係合金具２６により画像取り込み手段駆
動ループ１０の下側に係合している投光部駆動ループ２
５の上部はその反対方向に移動し、その結果、投光部１
３は矢印Ａと同方向に同じ距離だけ移動することにな
り、常に画像取り込み手段７と投光部１３とが測定台１
を挟んで対向した状態で移動することになる。
【００２１】画像取り込み手段７は、図３に示すよう
に、対物レンズを含む鏡筒部２７の上部にＣＣＤカメラ
２９を備えるとともに、その下部にリング状の反射照明
部３１を備えている。なお、この反射照明部３１は、光
ファイバー３１ａ（図１）を介して図示しない光源に接
続されている。さらに、反射照明部３１の外周部の２箇
所には、マーカーＭを鉛直方向に沿って進退自在に収納
したマーキング機構３３が配設されている。マーキング
機構３３は、マーカーコントローラ３５によって制御さ
れるようになっており、そこからの制御信号によって図
３中に二点鎖線で示すように一方のマーカーＭの下端部
を被測定物Ｗに接触させ、欠陥箇所にマーキングを施す
ようになっている。
に、対物レンズを含む鏡筒部２７の上部にＣＣＤカメラ
２９を備えるとともに、その下部にリング状の反射照明
部３１を備えている。なお、この反射照明部３１は、光
ファイバー３１ａ（図１）を介して図示しない光源に接
続されている。さらに、反射照明部３１の外周部の２箇
所には、マーカーＭを鉛直方向に沿って進退自在に収納
したマーキング機構３３が配設されている。マーキング
機構３３は、マーカーコントローラ３５によって制御さ
れるようになっており、そこからの制御信号によって図
３中に二点鎖線で示すように一方のマーカーＭの下端部
を被測定物Ｗに接触させ、欠陥箇所にマーキングを施す
ようになっている。
【００２２】ＣＣＤカメラ２９からの画像信号は、分配
器３７に出力されて２つに分離され、一方は測長ユニッ
トＵ1 の画像取り込み部３９に出力され、他方はパター
ン検査ユニットＵ２の画像検査部４１に出力される。測
長ユニットＵ１を構成している制御部４３は、後述する
各部を制御するとともに、パターン検査ユニットＵ２
（Ｘｅランプコントローラ２３、マーカーコントローラ
３５、画像検査部４１）も制御するものである。
器３７に出力されて２つに分離され、一方は測長ユニッ
トＵ1 の画像取り込み部３９に出力され、他方はパター
ン検査ユニットＵ２の画像検査部４１に出力される。測
長ユニットＵ１を構成している制御部４３は、後述する
各部を制御するとともに、パターン検査ユニットＵ２
（Ｘｅランプコントローラ２３、マーカーコントローラ
３５、画像検査部４１）も制御するものである。
【００２３】測長ユニットＵ１は、上述した操作パネル
３と画像取り込み部３９の他に、上述した投光部駆動ル
ープ２５を駆動して画像取り込み手段駆動ループ１０を
介して画像取り込み手段７をＸ方向に移動させるＸ軸サ
ーボモータ４５ａ及びＹ方向駆動部１１を駆動してＸ方
向駆動架台９をＹ方向に移動させるＹ軸サーボモータ４
５ｂを、制御部４３の制御信号に基づき制御するサーボ
モータコントローラ４７と、これらＸ軸／Ｙ軸サーボモ
ータ４５ａ，４５ｂの回転量に応じた移動距離を検出す
るエンコーダ４９と、このエンコーダ４９が検出した移
動距離に基づいて画像取り込み手段７が取り込む視野内
の特定位置の座標を読み取る座標読み取り部５１と、画
像取り込み手段７の視野内の画像を出力するとともに、
パターン検査処理および測長処理の結果などを出力する
ＣＲＴ５３とを含むものである。
３と画像取り込み部３９の他に、上述した投光部駆動ル
ープ２５を駆動して画像取り込み手段駆動ループ１０を
介して画像取り込み手段７をＸ方向に移動させるＸ軸サ
ーボモータ４５ａ及びＹ方向駆動部１１を駆動してＸ方
向駆動架台９をＹ方向に移動させるＹ軸サーボモータ４
５ｂを、制御部４３の制御信号に基づき制御するサーボ
モータコントローラ４７と、これらＸ軸／Ｙ軸サーボモ
ータ４５ａ，４５ｂの回転量に応じた移動距離を検出す
るエンコーダ４９と、このエンコーダ４９が検出した移
動距離に基づいて画像取り込み手段７が取り込む視野内
の特定位置の座標を読み取る座標読み取り部５１と、画
像取り込み手段７の視野内の画像を出力するとともに、
パターン検査処理および測長処理の結果などを出力する
ＣＲＴ５３とを含むものである。
【００２４】なお、上述したハロゲンランプ１９による
測長用の定常発光と、Ｘｅランプ２１とＸｅランプコン
トローラ２３による間欠発光とは、オペレータが操作パ
ネル３から指示した検査処理内容に応じて制御部４３に
よって選択される。つまり、測長処理が指示された場合
には、ハロゲンランプ１９を制御して定常発光により被
測定物Ｗを照明し、パターン検査処理が指示された場合
には、画像検査部４１を介してＸｅランプコントローラ
２３を制御して間欠発光により被測定物Ｗを照明するよ
うになっている。したがって、制御部４３により２分岐
型ライトガイド１７に入射される光が選択されるので、
制御部４３が本発明の光選択手段に相当する。
測長用の定常発光と、Ｘｅランプ２１とＸｅランプコン
トローラ２３による間欠発光とは、オペレータが操作パ
ネル３から指示した検査処理内容に応じて制御部４３に
よって選択される。つまり、測長処理が指示された場合
には、ハロゲンランプ１９を制御して定常発光により被
測定物Ｗを照明し、パターン検査処理が指示された場合
には、画像検査部４１を介してＸｅランプコントローラ
２３を制御して間欠発光により被測定物Ｗを照明するよ
うになっている。したがって、制御部４３により２分岐
型ライトガイド１７に入射される光が選択されるので、
制御部４３が本発明の光選択手段に相当する。
【００２５】なお、制御部４３は、検査内容が測長処理
である場合に限り、オペレータによる操作パネル３から
の指示に基づいて、ハロゲンランプ１９と投光部１３に
よる下方からの照明のみと、反射照明部３１による上方
からの照明のみと、これらを組み合わせた上下方向から
の照明とを切り換えることができるようになっている。
である場合に限り、オペレータによる操作パネル３から
の指示に基づいて、ハロゲンランプ１９と投光部１３に
よる下方からの照明のみと、反射照明部３１による上方
からの照明のみと、これらを組み合わせた上下方向から
の照明とを切り換えることができるようになっている。
【００２６】次に、図５のフローチャートを参照しつつ
上述した構成の装置によるパターン検査処理と測長処理
による一連の処理について説明する。なお、以下の説明
においては、先にパターン検査処理を行い、次いで測長
処理を行う場合を例に採って説明するが、検査処理の順
序に関してはその逆であってもよい。また、以下の説明
では、プログラムに従って自動的に測定を行うようにし
ているが、プログラムを使用せず、オペレータが逐次に
測定箇所を指示する手動方式であってもこの装置で検査
測定が可能であることは言うまでもない。
上述した構成の装置によるパターン検査処理と測長処理
による一連の処理について説明する。なお、以下の説明
においては、先にパターン検査処理を行い、次いで測長
処理を行う場合を例に採って説明するが、検査処理の順
序に関してはその逆であってもよい。また、以下の説明
では、プログラムに従って自動的に測定を行うようにし
ているが、プログラムを使用せず、オペレータが逐次に
測定箇所を指示する手動方式であってもこの装置で検査
測定が可能であることは言うまでもない。
【００２７】ステップＳ１（被測定物のセット） 被測定物Ｗを測定台１の上面にセットする。例えば、測
定台１の特定箇所に描かれている基準線に沿って被測定
物Ｗを載置する。
定台１の特定箇所に描かれている基準線に沿って被測定
物Ｗを載置する。
【００２８】ステップＳ２（パターン検査方法の指示） 次いで、オペレータは操作パネル３を介して、被測定物
Ｗのパターン検査処理に応じて予め作成・記憶されてい
るプログラムを選択したり、必要であれば取り込む画像
の種類（ネガ／ポジ）やその白／黒の閾値などのパラメ
ータを指示する。または、操作パネル３を介して画像取
り込み手段７を適宜の位置に移動させつつパターン検査
用処理プログラムを新規作成／一部変更したり、検査開
始位置を指定するなどの検査方法を指示する。
Ｗのパターン検査処理に応じて予め作成・記憶されてい
るプログラムを選択したり、必要であれば取り込む画像
の種類（ネガ／ポジ）やその白／黒の閾値などのパラメ
ータを指示する。または、操作パネル３を介して画像取
り込み手段７を適宜の位置に移動させつつパターン検査
用処理プログラムを新規作成／一部変更したり、検査開
始位置を指定するなどの検査方法を指示する。
【００２９】ステップＳ３（パターン検査処理） オペレータが操作パネル３を介してパターン検査処理の
開始を指示すると、制御部４３は上記のステップＳ２で
指示したプログラムを含むパターン検査方法に基づい
て、パターン検査ユニットＵ２に処理の開始を指示す
る。制御部４３は、上述したサーボモータコントローラ
４７を介してＸ軸／Ｙ軸サーボモータ４５ａ，４５ｂを
制御し、座標読み取り部５１からの座標を読み取りつ
つ、画像取り込み手段７をプログラムに応じた位置に自
動的に移動させる。画像取り込み手段７は、投光部１３
から照射されるＸｅランプ２１の間欠照射光により照明
された被測定物Ｗのパターン画像を取り込み、画像信号
を画像検査部４１に出力する。画像検査部４１は、プロ
グラムに応じた画像処理をパターンの画像信号に対して
施し、その画像に基づいてパターンの良否を自動的に判
断する。なお、パターン検査の結果、不良であると判断
された特定箇所の座標は、画像検査部４１に内蔵されて
いる図示しないメモリに記憶されるとともに、マーカー
機構３３によってその位置にマーキングが行われる。
開始を指示すると、制御部４３は上記のステップＳ２で
指示したプログラムを含むパターン検査方法に基づい
て、パターン検査ユニットＵ２に処理の開始を指示す
る。制御部４３は、上述したサーボモータコントローラ
４７を介してＸ軸／Ｙ軸サーボモータ４５ａ，４５ｂを
制御し、座標読み取り部５１からの座標を読み取りつ
つ、画像取り込み手段７をプログラムに応じた位置に自
動的に移動させる。画像取り込み手段７は、投光部１３
から照射されるＸｅランプ２１の間欠照射光により照明
された被測定物Ｗのパターン画像を取り込み、画像信号
を画像検査部４１に出力する。画像検査部４１は、プロ
グラムに応じた画像処理をパターンの画像信号に対して
施し、その画像に基づいてパターンの良否を自動的に判
断する。なお、パターン検査の結果、不良であると判断
された特定箇所の座標は、画像検査部４１に内蔵されて
いる図示しないメモリに記憶されるとともに、マーカー
機構３３によってその位置にマーキングが行われる。
【００３０】ステップＳ４（結果表示） パターン検査処理が終了すると、その結果は画像検査部
４１から制御部４３に出力され、制御部４３から所定の
フォーマットでＣＲＴ５３に出力される。オペレータ
は、この結果表示を見て、あるいは被測定物Ｗに施され
たマーキングを見て、続けて測長処理を行うか否かを判
断する。ここでは、被測定物Ｗのパターンに欠陥がな
く、続けて測長処理を行うものとして説明する。
４１から制御部４３に出力され、制御部４３から所定の
フォーマットでＣＲＴ５３に出力される。オペレータ
は、この結果表示を見て、あるいは被測定物Ｗに施され
たマーキングを見て、続けて測長処理を行うか否かを判
断する。ここでは、被測定物Ｗのパターンに欠陥がな
く、続けて測長処理を行うものとして説明する。
【００３１】ステップＳ５（測長方法の指示） 次いで、オペレータは被測定物Ｗを測定台１から取り外
すことなくそのまま操作パネル３を介して、被測定物Ｗ
の測長処理に応じて予め作成・記憶されているプログラ
ムを選択したり、必要であれば下方のみ／上方のみ／上
下の照明方式を指示し、また、操作パネル３を介して画
像取り込み手段７を適宜の位置に移動させつつ新たに測
長箇所を指示したり、検査開始位置を指定するなどの検
査方法を指示する。なお、この時点では、Ｘｅランプ２
１への供給電力は遮断されており、代わりにハロゲンラ
ンプ１９に電力が供給されている。
すことなくそのまま操作パネル３を介して、被測定物Ｗ
の測長処理に応じて予め作成・記憶されているプログラ
ムを選択したり、必要であれば下方のみ／上方のみ／上
下の照明方式を指示し、また、操作パネル３を介して画
像取り込み手段７を適宜の位置に移動させつつ新たに測
長箇所を指示したり、検査開始位置を指定するなどの検
査方法を指示する。なお、この時点では、Ｘｅランプ２
１への供給電力は遮断されており、代わりにハロゲンラ
ンプ１９に電力が供給されている。
【００３２】ステップＳ６（測長処理） 指示された測長方法にしたがって、制御部４３が画像取
り込み手段７を移動させつつ投光部１３または／および
反射照射部３１により照明されている被測定物Ｗの特定
箇所に形成されているパターンの寸法や座標を自動的に
測定する。
り込み手段７を移動させつつ投光部１３または／および
反射照射部３１により照明されている被測定物Ｗの特定
箇所に形成されているパターンの寸法や座標を自動的に
測定する。
【００３３】ステップＳ７（結果表示） 測定結果は、制御部４３から所定のフォーマットで成形
されてＣＲＴ５３に出力される。オペレータは、この結
果表示を見て被測定物Ｗが不良か否かを判断する。な
お、プログラムによっては、予め設定されている正常値
と比較して、良／不良だけをＣＲＴ５３に出力すること
も可能である。
されてＣＲＴ５３に出力される。オペレータは、この結
果表示を見て被測定物Ｗが不良か否かを判断する。な
お、プログラムによっては、予め設定されている正常値
と比較して、良／不良だけをＣＲＴ５３に出力すること
も可能である。
【００３４】上述したように測長装置にパターン検査ユ
ニットを内蔵したことにより、測定台１、画像取り込み
手段７、Ｘ軸／Ｙ軸サーボモータ４５ａ，４５ｂなどを
含む移動手段、ＣＲＴ５３を測長ユニットＵ１とパター
ン検査ユニットＵ２で共用できるので、装置を小型化で
きるとともにコストを低減できる。したがって、装置の
設置スペースを小さくできるとともに装置の購入費用を
大幅に低減することができる。
ニットを内蔵したことにより、測定台１、画像取り込み
手段７、Ｘ軸／Ｙ軸サーボモータ４５ａ，４５ｂなどを
含む移動手段、ＣＲＴ５３を測長ユニットＵ１とパター
ン検査ユニットＵ２で共用できるので、装置を小型化で
きるとともにコストを低減できる。したがって、装置の
設置スペースを小さくできるとともに装置の購入費用を
大幅に低減することができる。
【００３５】また、パターン検査と測長とを同じ装置で
行うことができるので、測定台１への被測定物Ｗのセッ
トが一度で済み、被測定物Ｗの段取り替えが不要とな
る。したがって、検査の手間が簡単化でき、検査時間を
短縮化することができる。さらに、段取り替えに起因し
て被測定物Ｗの位置が微妙にずれるような不都合も防止
できるので、検査精度の向上が期待できる。
行うことができるので、測定台１への被測定物Ｗのセッ
トが一度で済み、被測定物Ｗの段取り替えが不要とな
る。したがって、検査の手間が簡単化でき、検査時間を
短縮化することができる。さらに、段取り替えに起因し
て被測定物Ｗの位置が微妙にずれるような不都合も防止
できるので、検査精度の向上が期待できる。
【００３６】なお、上記の説明では、パターン検査の後
に測長を行うようにしたが、ある箇所のパターン検査を
行った後にその箇所の測長を行い、他の箇所に移動した
後に同様にパターン検査／測長を行うように、パターン
検査と測長とを並行して同時に実行することも可能であ
る。このように並行して二つの処理を行うようにする
と、さらなる検査時間の短縮化が期待できる。
に測長を行うようにしたが、ある箇所のパターン検査を
行った後にその箇所の測長を行い、他の箇所に移動した
後に同様にパターン検査／測長を行うように、パターン
検査と測長とを並行して同時に実行することも可能であ
る。このように並行して二つの処理を行うようにする
と、さらなる検査時間の短縮化が期待できる。
【００３７】また、上述したように画像取り込み手段７
を移動させることなく、被測定物Ｗを載置した測定台１
を移動させるように構成してもよい。また、測定台１
は、水平である必要はなく、傾斜させてもまた垂直に立
てて配置してもよい。
を移動させることなく、被測定物Ｗを載置した測定台１
を移動させるように構成してもよい。また、測定台１
は、水平である必要はなく、傾斜させてもまた垂直に立
てて配置してもよい。
【００３８】また、投光部１３により画像取り込み手段
７に対向した位置のみを照明するように構成したが、測
定台１の全面を照明するようにしてもよい。この場合に
は、上述した投光部駆動ループ２５が不要となるので、
駆動系を簡略化することができる。
７に対向した位置のみを照明するように構成したが、測
定台１の全面を照明するようにしてもよい。この場合に
は、上述した投光部駆動ループ２５が不要となるので、
駆動系を簡略化することができる。
【００３９】また、上記の構成では、マーキング機構３
３により、パターン検査処理の結果に基づいて被測定物
の欠陥箇所にマーキングを施すようにしたが、欠陥箇所
の座標を記憶するだけでマーキングが不要である場合に
は、マーキング機構３３を設ける必要はない。
３により、パターン検査処理の結果に基づいて被測定物
の欠陥箇所にマーキングを施すようにしたが、欠陥箇所
の座標を記憶するだけでマーキングが不要である場合に
は、マーキング機構３３を設ける必要はない。
【００４０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、測定台、照明手段、画像取り
込み手段、移動手段、出力手段をパターン検査ユニット
と測長ユニットで共用しているので、装置を小型化でき
てコストを低減できる。したがって、装置の設置スペー
スを小さくできるとともに装置の購入費用を低減でき
る。
１に記載の発明によれば、測定台、照明手段、画像取り
込み手段、移動手段、出力手段をパターン検査ユニット
と測長ユニットで共用しているので、装置を小型化でき
てコストを低減できる。したがって、装置の設置スペー
スを小さくできるとともに装置の購入費用を低減でき
る。
【００４１】また、測定台への被測定物のセットが一度
で済み、被測定物の段取り替えが不要となる。したがっ
て、検査の手間が簡単化でき、検査時間を短縮化するこ
とができる。さらに、段取り替えに起因して被測定物の
位置が微妙にずれるような不都合も防止できるので、検
査精度を向上させることができる。
で済み、被測定物の段取り替えが不要となる。したがっ
て、検査の手間が簡単化でき、検査時間を短縮化するこ
とができる。さらに、段取り替えに起因して被測定物の
位置が微妙にずれるような不都合も防止できるので、検
査精度を向上させることができる。
【００４２】また、パターン検査と測長とを並行して同
時に実行することも可能なため、さらなる検査時間の短
縮化も期待できる。
時に実行することも可能なため、さらなる検査時間の短
縮化も期待できる。
【００４３】請求項２に記載の発明によれば、パターン
検査処理時と測長処理時に適切な照明を選択できるの
で、それぞれの処理を好適に行うことができる。
検査処理時と測長処理時に適切な照明を選択できるの
で、それぞれの処理を好適に行うことができる。
【００４４】また、請求項３に記載の発明によれば、被
測定物の下方から照明してその上方から画像を取り込む
ので、特にプリント配線基板作成用のフィルム原板など
の光透過性の被測定物を適切に検査することができる。
測定物の下方から照明してその上方から画像を取り込む
ので、特にプリント配線基板作成用のフィルム原板など
の光透過性の被測定物を適切に検査することができる。
【００４５】また、請求項４に記載の発明によれば、マ
ーキングを施すことによって検査後の被測定物を見るだ
けで欠陥の有無や規模を容易に知ることができる。
ーキングを施すことによって検査後の被測定物を見るだ
けで欠陥の有無や規模を容易に知ることができる。
【図１】実施例に係る測長装置の概略構成を示す外観斜
視図である。
視図である。
【図２】移動手段の概略構成を示す斜視図である。
【図３】画像取り込み手段の概略構成を示す図である。
【図４】装置のブロック図である。
【図５】実施例装置の動作の一例を示すフローチャート
である。
である。
Ｗ … 被測定物 １ … 測定台 ７ … 画像取り込み手段 ９ … Ｘ方向駆動架台 １０ … 画像取り込み手段駆動ループ（移動手段） １１ … Ｙ方向駆動部（移動手段） １３ … 投光部（照明手段） １９ … ハロゲンランプ（定常発光手段） ２１ … Ｘｅランプ（間欠発光手段） ２３ … Ｘｅランプコントローラ（間欠発光手段） ３３ … マーキング機構 ４３ … 制御部（光選択手段） Ｕ１ … 測長ユニット Ｕ２ … パターン検査ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山下 浩 京都府京都市伏見区羽束師古川町322 大 日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者 鈴木 克明 京都府京都市伏見区羽束師古川町322 大 日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内
Claims (4)
- 【請求項１】 被測定物を載置する測定台と、 前記測定台に載置された被測定物を照明する照明手段
と、 前記被測定物の画像を取り込む画像取り込み手段と、 前記測定台と平行な平面内で前記被測定物と前記画像取
り込み手段とを相対移動させる移動手段と、 前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニット
と、 前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物の寸法や座標を測定する測長ユニットと、 前記パターン検査ユニットによって前記被測定物を検査
した結果および前記測長ユニットによって前記被測定物
を測長した結果を出力する出力手段と、 を備えていることを特徴とする測長装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の測長装置において、前
記照明手段を、パターン検査用の間欠発光手段と、測長
用の定常発光手段と、前記被測定物に光を導く光ファイ
バーと、前記間欠発光手段または前記定常発光手段のい
ずれか一方の光を前記光ファイバーに選択的に導く光選
択手段とから構成したことを特徴とする測長装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の測長装
置において、前記画像取り込み手段を前記測定台の上方
に配設し、前記照明手段を前記測定台の下方に配設した
ことを特徴とする測長装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３に記載の測長装
置において、前記パターン検査ユニットによる検査結果
に基づいて、前記被測定物上の欠陥箇所にマーキングを
行うマーキング機構をさらに備えていることを特徴とす
る測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9117808A JPH10307005A (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9117808A JPH10307005A (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 測長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10307005A true JPH10307005A (ja) | 1998-11-17 |
Family
ID=14720789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9117808A Abandoned JPH10307005A (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 測長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10307005A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100360896C (zh) * | 2003-07-21 | 2008-01-09 | 立融仪器贸易有限公司 | 一种工件的测量方法及其装置 |
| JP2009074931A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Sokkia Topcon Co Ltd | 二次元座標測定機 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63286752A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-24 | Toshiba Mach Co Ltd | パタ−ンの欠陥検査または寸法測定方法 |
| JPH0587544A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置 |
| JPH06294750A (ja) * | 1991-08-22 | 1994-10-21 | Kla Instr Corp | 光学式基板検査装置 |
-
1997
- 1997-05-08 JP JP9117808A patent/JPH10307005A/ja not_active Abandoned
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63286752A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-24 | Toshiba Mach Co Ltd | パタ−ンの欠陥検査または寸法測定方法 |
| JPH06294750A (ja) * | 1991-08-22 | 1994-10-21 | Kla Instr Corp | 光学式基板検査装置 |
| JPH0587544A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100360896C (zh) * | 2003-07-21 | 2008-01-09 | 立融仪器贸易有限公司 | 一种工件的测量方法及其装置 |
| JP2009074931A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Sokkia Topcon Co Ltd | 二次元座標測定機 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040914 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20041018 |