JPH10307005A - 測長装置 - Google Patents
測長装置Info
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- JPH10307005A JPH10307005A JP9117808A JP11780897A JPH10307005A JP H10307005 A JPH10307005 A JP H10307005A JP 9117808 A JP9117808 A JP 9117808A JP 11780897 A JP11780897 A JP 11780897A JP H10307005 A JPH10307005 A JP H10307005A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パターン検査と測長の機能を備えることによ
り、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、検査の
手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる。 【解決手段】 被測定物を載置する測定台と、被測定物
を照明する投光部13と、画像取り込み手段7と、画像
取り込み手段7を移動させるX軸/Y軸サーボモータ4
5a,45bと、被処理物の寸法や座標を測定する測長
ユニットU1と、被測定物のパターンを検査するパター
ン検査ユニットU2と、パターン検査の結果および測長
した結果を表示するCRT53とを備え、測長装置だけ
でパターン検査と測長の両方を行うことができる。
り、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、検査の
手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる。 【解決手段】 被測定物を載置する測定台と、被測定物
を照明する投光部13と、画像取り込み手段7と、画像
取り込み手段7を移動させるX軸/Y軸サーボモータ4
5a,45bと、被処理物の寸法や座標を測定する測長
ユニットU1と、被測定物のパターンを検査するパター
ン検査ユニットU2と、パターン検査の結果および測長
した結果を表示するCRT53とを備え、測長装置だけ
でパターン検査と測長の両方を行うことができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
作成用の原板や、液晶表示装置や半導体ウエハに所定の
パターンを焼き付けるためのガラスマスク作成用の原板
や、高い精度を必要とする印刷物等の図形の寸法や座標
の位置などを測定するのに用いられる測長装置に関す
る。
作成用の原板や、液晶表示装置や半導体ウエハに所定の
パターンを焼き付けるためのガラスマスク作成用の原板
や、高い精度を必要とする印刷物等の図形の寸法や座標
の位置などを測定するのに用いられる測長装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、プリント配線基板に所定のパター
ンを作成するプリント配線基板作成用の原板などは、別
体のパターン検査装置と測長装置を用いて、例えば、次
のようにして検査されている。
ンを作成するプリント配線基板作成用の原板などは、別
体のパターン検査装置と測長装置を用いて、例えば、次
のようにして検査されている。
【0003】まず、被測定物となる原板を『パターン検
査装置』の測定台にセットし、CCDカメラなどの画像
取り込み部と測定台とを移動部により相対移動させ、取
り込んだ画像に基づきパターン検査ユニットにより原板
に形成されたパターンにピンホール、ブリッジ、切れ、
欠け、キズ、汚れ、ホコリなどの欠陥が生じていないか
を検査する。そして、上記のような欠陥がある場合に
は、その座標を記憶するとともにマーカーによりその箇
所にマーキングを施す。修正可能な欠陥であれば修正を
施して再びパターン検査を行い、修正不可能な欠陥であ
ればその原板を廃棄する。
査装置』の測定台にセットし、CCDカメラなどの画像
取り込み部と測定台とを移動部により相対移動させ、取
り込んだ画像に基づきパターン検査ユニットにより原板
に形成されたパターンにピンホール、ブリッジ、切れ、
欠け、キズ、汚れ、ホコリなどの欠陥が生じていないか
を検査する。そして、上記のような欠陥がある場合に
は、その座標を記憶するとともにマーカーによりその箇
所にマーキングを施す。修正可能な欠陥であれば修正を
施して再びパターン検査を行い、修正不可能な欠陥であ
ればその原板を廃棄する。
【0004】次いで、上記のパターン検査により良品と
なった原板のみを『測長装置』の測定台にセットし、C
CDカメラなどの画像取り込み部と測定台とを移動部に
より相対移動させ、取り込んだ画像に基づいて原板に形
成されたパターンの寸法やパターンの座標などを測長ユ
ニットにより計測し、設計値の許容誤差内に収まってい
るか否か等を検査する。
なった原板のみを『測長装置』の測定台にセットし、C
CDカメラなどの画像取り込み部と測定台とを移動部に
より相対移動させ、取り込んだ画像に基づいて原板に形
成されたパターンの寸法やパターンの座標などを測長ユ
ニットにより計測し、設計値の許容誤差内に収まってい
るか否か等を検査する。
【0005】そして、良品となった原板だけを用いて基
板に所定のパターンを形成し、プリント配線基板を作成
するようになっている。
板に所定のパターンを形成し、プリント配線基板を作成
するようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来例の場合には、次のような問題がある。すなわ
ち、パターン検査と測長のためにそれぞれ別体の『パタ
ーン検査装置』と『測長装置』を用いる必要があるの
で、装置2台分の設置スペースが必要となるとともに、
検査を行うには装置2台分の購入費用が必要となって初
期投資が大きくなる。
うな従来例の場合には、次のような問題がある。すなわ
ち、パターン検査と測長のためにそれぞれ別体の『パタ
ーン検査装置』と『測長装置』を用いる必要があるの
で、装置2台分の設置スペースが必要となるとともに、
検査を行うには装置2台分の購入費用が必要となって初
期投資が大きくなる。
【0007】また、装置に原板をセットする作業を2回
行う必要があるので、一連の検査を完了するまでの作業
が煩雑となるとともに検査時間が長くなるという問題点
がある。
行う必要があるので、一連の検査を完了するまでの作業
が煩雑となるとともに検査時間が長くなるという問題点
がある。
【0008】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、パターン検査と測長の機能を備えるこ
とにより、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、
検査の手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる測長
装置を提供することを目的とする。
たものであって、パターン検査と測長の機能を備えるこ
とにより、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、
検査の手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる測長
装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項1に記載の測長装置は、被測定物を載置する
測定台と、前記測定台に載置された被測定物を照明する
照明手段と、前記被測定物の画像を取り込む画像取り込
み手段と、前記測定台と平行な平面内で前記被測定物と
前記画像取り込み手段とを相対移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニット
と、前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、
前記画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づい
て前記被測定物の寸法や座標を測定する測長ユニット
と、前記パターン検査ユニットによって前記被測定物を
検査した結果および前記測長ユニットによって前記被測
定物を測長した結果を出力する出力手段と、を備えてい
ることを特徴とするものである。
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項1に記載の測長装置は、被測定物を載置する
測定台と、前記測定台に載置された被測定物を照明する
照明手段と、前記被測定物の画像を取り込む画像取り込
み手段と、前記測定台と平行な平面内で前記被測定物と
前記画像取り込み手段とを相対移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニット
と、前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、
前記画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づい
て前記被測定物の寸法や座標を測定する測長ユニット
と、前記パターン検査ユニットによって前記被測定物を
検査した結果および前記測長ユニットによって前記被測
定物を測長した結果を出力する出力手段と、を備えてい
ることを特徴とするものである。
【0010】また、請求項2に記載の測長装置は、請求
項1に記載の測長装置において、前記照明手段を、パタ
ーン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
と、前記被測定物に光を導く光ファイバーと、前記間欠
発光手段または前記定常発光手段のいずれか一方の光を
前記光ファイバーに選択的に導く光選択手段とから構成
したことを特徴とするものである。
項1に記載の測長装置において、前記照明手段を、パタ
ーン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
と、前記被測定物に光を導く光ファイバーと、前記間欠
発光手段または前記定常発光手段のいずれか一方の光を
前記光ファイバーに選択的に導く光選択手段とから構成
したことを特徴とするものである。
【0011】また、請求項3に記載の測長装置は、請求
項1または請求項2に記載の測長装置において、前記画
像取り込み手段を前記測定台の上方に配設し、前記照明
手段を前記測定台の下方に配設したことを特徴とするも
のである。
項1または請求項2に記載の測長装置において、前記画
像取り込み手段を前記測定台の上方に配設し、前記照明
手段を前記測定台の下方に配設したことを特徴とするも
のである。
【0012】また、請求項4に記載の測長装置は、請求
項1ないし請求項3に記載の測長装置において、前記パ
ターン検査ユニットによる検査結果に基づいて、前記被
測定物上の欠陥箇所にマーキングを行うマーキング機構
をさらに備えていることを特徴とするものである。
項1ないし請求項3に記載の測長装置において、前記パ
ターン検査ユニットによる検査結果に基づいて、前記被
測定物上の欠陥箇所にマーキングを行うマーキング機構
をさらに備えていることを特徴とするものである。
【0013】
【作用】請求項1に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。被測定物を測定台に載置して被測定物を照明手段に
より照明し、移動手段により画像取り込み手段と被測定
物とを相対移動させて被測定物の画像を取り込む。取り
込んだ画像に基づきパターン検査ユニットによりパター
ンを検査して、その結果を出力手段に出力する。また、
被測定物を測定台に載置したまま相対移動により画像取
り込み手段と被測定物とを相対移動させて、被測定物の
画像を取り込み、測長ユニットにより被測定物の寸法や
座標を測定して出力手段に結果を出力する。このように
測定台、照明手段、画像取り込み手段、移動手段、出力
手段をパターン検査ユニットと測長ユニットで共用して
いるので、装置を小型化できてコストを低減できる。ま
た、測定台への被測定物のセットが一度で済むので、被
測定物の段取り替えが不要となる。
る。被測定物を測定台に載置して被測定物を照明手段に
より照明し、移動手段により画像取り込み手段と被測定
物とを相対移動させて被測定物の画像を取り込む。取り
込んだ画像に基づきパターン検査ユニットによりパター
ンを検査して、その結果を出力手段に出力する。また、
被測定物を測定台に載置したまま相対移動により画像取
り込み手段と被測定物とを相対移動させて、被測定物の
画像を取り込み、測長ユニットにより被測定物の寸法や
座標を測定して出力手段に結果を出力する。このように
測定台、照明手段、画像取り込み手段、移動手段、出力
手段をパターン検査ユニットと測長ユニットで共用して
いるので、装置を小型化できてコストを低減できる。ま
た、測定台への被測定物のセットが一度で済むので、被
測定物の段取り替えが不要となる。
【0014】また、請求項2に記載の発明によれば、パ
ターン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
とを光選択手段により選択的に光ファイバーに導くよう
に照明手段を構成しているので、パターン検査処理時と
測長処理時に適切な照明を選択できる。
ターン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
とを光選択手段により選択的に光ファイバーに導くよう
に照明手段を構成しているので、パターン検査処理時と
測長処理時に適切な照明を選択できる。
【0015】また、請求項3に記載の発明によれば、画
像取り込み手段を測定台の上方に、照明手段を測定台の
下方に備えているので、プリント配線基板作成用のフィ
ルム原板などの光透過性の被測定物を適切に検査するこ
とができる。
像取り込み手段を測定台の上方に、照明手段を測定台の
下方に備えているので、プリント配線基板作成用のフィ
ルム原板などの光透過性の被測定物を適切に検査するこ
とができる。
【0016】また、請求項4に記載の発明によれば、マ
ーキング機構により欠陥箇所にマーキングを施すので、
検査後の被測定物を見るだけで欠陥の有無や規模を容易
に知ることができる。
ーキング機構により欠陥箇所にマーキングを施すので、
検査後の被測定物を見るだけで欠陥の有無や規模を容易
に知ることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。図1は実施例に係る測長装置の概略
構成を示す外観斜視図であり、図2は移動手段の概略構
成を示す斜視図であり、図3は画像取り込み手段の概略
構成を示す斜視図である。また、図4は、装置のブロッ
ク図を示す。なお、以下の説明においては、プリント配
線基板作成用の原板や印刷物等を被測定物と称する。
実施例を説明する。図1は実施例に係る測長装置の概略
構成を示す外観斜視図であり、図2は移動手段の概略構
成を示す斜視図であり、図3は画像取り込み手段の概略
構成を示す斜視図である。また、図4は、装置のブロッ
ク図を示す。なお、以下の説明においては、プリント配
線基板作成用の原板や印刷物等を被測定物と称する。
【0018】ガラスなどの光透過性材料で平板状に形成
され、被測定物Wを載置する測定台1は、装置を操作す
るための各種スイッチを含む操作パネル3を前面に備え
た装置筐体5の上面に水平姿勢で配設されている。測定
台1の上方には、画像取り込み手段7がX方向駆動架台
9を介して取り付けられており、図2に示すように画像
取り込み手段駆動ループ10によりX方向に移動される
ようになっている。また、X方向駆動架台9は、装置筐
体5の上面に内蔵されたY方向駆動部11により画像取
り込み手段7ごとY方向に移動されるようになってお
り、測定台1に平行なX−Y平面内で画像取り込み手段
7を移動するようになっている。なお、上記の画像取り
込み手段駆動ループ10とY方向駆動部11とが本発明
の移動手段に相当する。
され、被測定物Wを載置する測定台1は、装置を操作す
るための各種スイッチを含む操作パネル3を前面に備え
た装置筐体5の上面に水平姿勢で配設されている。測定
台1の上方には、画像取り込み手段7がX方向駆動架台
9を介して取り付けられており、図2に示すように画像
取り込み手段駆動ループ10によりX方向に移動される
ようになっている。また、X方向駆動架台9は、装置筐
体5の上面に内蔵されたY方向駆動部11により画像取
り込み手段7ごとY方向に移動されるようになってお
り、測定台1に平行なX−Y平面内で画像取り込み手段
7を移動するようになっている。なお、上記の画像取り
込み手段駆動ループ10とY方向駆動部11とが本発明
の移動手段に相当する。
【0019】測定台1の下方には、上記画像取り込み手
段7に対向する位置に反射鏡13aを有する投光部13
が配設されている。この投光部13には、図4に示すよ
うに光ファイバー15を介して2分岐型ライトガイド1
7が接続されており、2分岐型ライトガイド17には、
測長用に定常発光するハロゲンランプ19と、パターン
検査用に間欠発光するXeランプ(キセノンランプ)2
1とが接続されている。このXeランプ21の間欠発光
動作は、Xeランプコントローラ23によって制御され
るようになっている。なお、投光部13が本発明の照明
手段に相当し、ハロゲンランプ19が定常発光手段に相
当し、Xeランプ21とXeランプコントローラ23が
間欠発光手段に相当する。
段7に対向する位置に反射鏡13aを有する投光部13
が配設されている。この投光部13には、図4に示すよ
うに光ファイバー15を介して2分岐型ライトガイド1
7が接続されており、2分岐型ライトガイド17には、
測長用に定常発光するハロゲンランプ19と、パターン
検査用に間欠発光するXeランプ(キセノンランプ)2
1とが接続されている。このXeランプ21の間欠発光
動作は、Xeランプコントローラ23によって制御され
るようになっている。なお、投光部13が本発明の照明
手段に相当し、ハロゲンランプ19が定常発光手段に相
当し、Xeランプ21とXeランプコントローラ23が
間欠発光手段に相当する。
【0020】投光部13は、図2に示すように、測定台
1の周囲を囲むようにしてループを形成する投光部駆動
ループ25の下側一部位に連動連結されており、この投
光部駆動ループ25の上側一部位は係合金具26により
画像取り込み手段駆動ループ10の下側に連動連結され
ている。したがって、画像取り込み手段7が矢印A方向
に移動すれば、係合金具26により画像取り込み手段駆
動ループ10の下側に係合している投光部駆動ループ2
5の上部はその反対方向に移動し、その結果、投光部1
3は矢印Aと同方向に同じ距離だけ移動することにな
り、常に画像取り込み手段7と投光部13とが測定台1
を挟んで対向した状態で移動することになる。
1の周囲を囲むようにしてループを形成する投光部駆動
ループ25の下側一部位に連動連結されており、この投
光部駆動ループ25の上側一部位は係合金具26により
画像取り込み手段駆動ループ10の下側に連動連結され
ている。したがって、画像取り込み手段7が矢印A方向
に移動すれば、係合金具26により画像取り込み手段駆
動ループ10の下側に係合している投光部駆動ループ2
5の上部はその反対方向に移動し、その結果、投光部1
3は矢印Aと同方向に同じ距離だけ移動することにな
り、常に画像取り込み手段7と投光部13とが測定台1
を挟んで対向した状態で移動することになる。
【0021】画像取り込み手段7は、図3に示すよう
に、対物レンズを含む鏡筒部27の上部にCCDカメラ
29を備えるとともに、その下部にリング状の反射照明
部31を備えている。なお、この反射照明部31は、光
ファイバー31a(図1)を介して図示しない光源に接
続されている。さらに、反射照明部31の外周部の2箇
所には、マーカーMを鉛直方向に沿って進退自在に収納
したマーキング機構33が配設されている。マーキング
機構33は、マーカーコントローラ35によって制御さ
れるようになっており、そこからの制御信号によって図
3中に二点鎖線で示すように一方のマーカーMの下端部
を被測定物Wに接触させ、欠陥箇所にマーキングを施す
ようになっている。
に、対物レンズを含む鏡筒部27の上部にCCDカメラ
29を備えるとともに、その下部にリング状の反射照明
部31を備えている。なお、この反射照明部31は、光
ファイバー31a(図1)を介して図示しない光源に接
続されている。さらに、反射照明部31の外周部の2箇
所には、マーカーMを鉛直方向に沿って進退自在に収納
したマーキング機構33が配設されている。マーキング
機構33は、マーカーコントローラ35によって制御さ
れるようになっており、そこからの制御信号によって図
3中に二点鎖線で示すように一方のマーカーMの下端部
を被測定物Wに接触させ、欠陥箇所にマーキングを施す
ようになっている。
【0022】CCDカメラ29からの画像信号は、分配
器37に出力されて2つに分離され、一方は測長ユニッ
トU1 の画像取り込み部39に出力され、他方はパター
ン検査ユニットU2の画像検査部41に出力される。測
長ユニットU1を構成している制御部43は、後述する
各部を制御するとともに、パターン検査ユニットU2
(Xeランプコントローラ23、マーカーコントローラ
35、画像検査部41)も制御するものである。
器37に出力されて2つに分離され、一方は測長ユニッ
トU1 の画像取り込み部39に出力され、他方はパター
ン検査ユニットU2の画像検査部41に出力される。測
長ユニットU1を構成している制御部43は、後述する
各部を制御するとともに、パターン検査ユニットU2
(Xeランプコントローラ23、マーカーコントローラ
35、画像検査部41)も制御するものである。
【0023】測長ユニットU1は、上述した操作パネル
3と画像取り込み部39の他に、上述した投光部駆動ル
ープ25を駆動して画像取り込み手段駆動ループ10を
介して画像取り込み手段7をX方向に移動させるX軸サ
ーボモータ45a及びY方向駆動部11を駆動してX方
向駆動架台9をY方向に移動させるY軸サーボモータ4
5bを、制御部43の制御信号に基づき制御するサーボ
モータコントローラ47と、これらX軸/Y軸サーボモ
ータ45a,45bの回転量に応じた移動距離を検出す
るエンコーダ49と、このエンコーダ49が検出した移
動距離に基づいて画像取り込み手段7が取り込む視野内
の特定位置の座標を読み取る座標読み取り部51と、画
像取り込み手段7の視野内の画像を出力するとともに、
パターン検査処理および測長処理の結果などを出力する
CRT53とを含むものである。
3と画像取り込み部39の他に、上述した投光部駆動ル
ープ25を駆動して画像取り込み手段駆動ループ10を
介して画像取り込み手段7をX方向に移動させるX軸サ
ーボモータ45a及びY方向駆動部11を駆動してX方
向駆動架台9をY方向に移動させるY軸サーボモータ4
5bを、制御部43の制御信号に基づき制御するサーボ
モータコントローラ47と、これらX軸/Y軸サーボモ
ータ45a,45bの回転量に応じた移動距離を検出す
るエンコーダ49と、このエンコーダ49が検出した移
動距離に基づいて画像取り込み手段7が取り込む視野内
の特定位置の座標を読み取る座標読み取り部51と、画
像取り込み手段7の視野内の画像を出力するとともに、
パターン検査処理および測長処理の結果などを出力する
CRT53とを含むものである。
【0024】なお、上述したハロゲンランプ19による
測長用の定常発光と、Xeランプ21とXeランプコン
トローラ23による間欠発光とは、オペレータが操作パ
ネル3から指示した検査処理内容に応じて制御部43に
よって選択される。つまり、測長処理が指示された場合
には、ハロゲンランプ19を制御して定常発光により被
測定物Wを照明し、パターン検査処理が指示された場合
には、画像検査部41を介してXeランプコントローラ
23を制御して間欠発光により被測定物Wを照明するよ
うになっている。したがって、制御部43により2分岐
型ライトガイド17に入射される光が選択されるので、
制御部43が本発明の光選択手段に相当する。
測長用の定常発光と、Xeランプ21とXeランプコン
トローラ23による間欠発光とは、オペレータが操作パ
ネル3から指示した検査処理内容に応じて制御部43に
よって選択される。つまり、測長処理が指示された場合
には、ハロゲンランプ19を制御して定常発光により被
測定物Wを照明し、パターン検査処理が指示された場合
には、画像検査部41を介してXeランプコントローラ
23を制御して間欠発光により被測定物Wを照明するよ
うになっている。したがって、制御部43により2分岐
型ライトガイド17に入射される光が選択されるので、
制御部43が本発明の光選択手段に相当する。
【0025】なお、制御部43は、検査内容が測長処理
である場合に限り、オペレータによる操作パネル3から
の指示に基づいて、ハロゲンランプ19と投光部13に
よる下方からの照明のみと、反射照明部31による上方
からの照明のみと、これらを組み合わせた上下方向から
の照明とを切り換えることができるようになっている。
である場合に限り、オペレータによる操作パネル3から
の指示に基づいて、ハロゲンランプ19と投光部13に
よる下方からの照明のみと、反射照明部31による上方
からの照明のみと、これらを組み合わせた上下方向から
の照明とを切り換えることができるようになっている。
【0026】次に、図5のフローチャートを参照しつつ
上述した構成の装置によるパターン検査処理と測長処理
による一連の処理について説明する。なお、以下の説明
においては、先にパターン検査処理を行い、次いで測長
処理を行う場合を例に採って説明するが、検査処理の順
序に関してはその逆であってもよい。また、以下の説明
では、プログラムに従って自動的に測定を行うようにし
ているが、プログラムを使用せず、オペレータが逐次に
測定箇所を指示する手動方式であってもこの装置で検査
測定が可能であることは言うまでもない。
上述した構成の装置によるパターン検査処理と測長処理
による一連の処理について説明する。なお、以下の説明
においては、先にパターン検査処理を行い、次いで測長
処理を行う場合を例に採って説明するが、検査処理の順
序に関してはその逆であってもよい。また、以下の説明
では、プログラムに従って自動的に測定を行うようにし
ているが、プログラムを使用せず、オペレータが逐次に
測定箇所を指示する手動方式であってもこの装置で検査
測定が可能であることは言うまでもない。
【0027】ステップS1(被測定物のセット) 被測定物Wを測定台1の上面にセットする。例えば、測
定台1の特定箇所に描かれている基準線に沿って被測定
物Wを載置する。
定台1の特定箇所に描かれている基準線に沿って被測定
物Wを載置する。
【0028】ステップS2(パターン検査方法の指示) 次いで、オペレータは操作パネル3を介して、被測定物
Wのパターン検査処理に応じて予め作成・記憶されてい
るプログラムを選択したり、必要であれば取り込む画像
の種類(ネガ/ポジ)やその白/黒の閾値などのパラメ
ータを指示する。または、操作パネル3を介して画像取
り込み手段7を適宜の位置に移動させつつパターン検査
用処理プログラムを新規作成/一部変更したり、検査開
始位置を指定するなどの検査方法を指示する。
Wのパターン検査処理に応じて予め作成・記憶されてい
るプログラムを選択したり、必要であれば取り込む画像
の種類(ネガ/ポジ)やその白/黒の閾値などのパラメ
ータを指示する。または、操作パネル3を介して画像取
り込み手段7を適宜の位置に移動させつつパターン検査
用処理プログラムを新規作成/一部変更したり、検査開
始位置を指定するなどの検査方法を指示する。
【0029】ステップS3(パターン検査処理) オペレータが操作パネル3を介してパターン検査処理の
開始を指示すると、制御部43は上記のステップS2で
指示したプログラムを含むパターン検査方法に基づい
て、パターン検査ユニットU2に処理の開始を指示す
る。制御部43は、上述したサーボモータコントローラ
47を介してX軸/Y軸サーボモータ45a,45bを
制御し、座標読み取り部51からの座標を読み取りつ
つ、画像取り込み手段7をプログラムに応じた位置に自
動的に移動させる。画像取り込み手段7は、投光部13
から照射されるXeランプ21の間欠照射光により照明
された被測定物Wのパターン画像を取り込み、画像信号
を画像検査部41に出力する。画像検査部41は、プロ
グラムに応じた画像処理をパターンの画像信号に対して
施し、その画像に基づいてパターンの良否を自動的に判
断する。なお、パターン検査の結果、不良であると判断
された特定箇所の座標は、画像検査部41に内蔵されて
いる図示しないメモリに記憶されるとともに、マーカー
機構33によってその位置にマーキングが行われる。
開始を指示すると、制御部43は上記のステップS2で
指示したプログラムを含むパターン検査方法に基づい
て、パターン検査ユニットU2に処理の開始を指示す
る。制御部43は、上述したサーボモータコントローラ
47を介してX軸/Y軸サーボモータ45a,45bを
制御し、座標読み取り部51からの座標を読み取りつ
つ、画像取り込み手段7をプログラムに応じた位置に自
動的に移動させる。画像取り込み手段7は、投光部13
から照射されるXeランプ21の間欠照射光により照明
された被測定物Wのパターン画像を取り込み、画像信号
を画像検査部41に出力する。画像検査部41は、プロ
グラムに応じた画像処理をパターンの画像信号に対して
施し、その画像に基づいてパターンの良否を自動的に判
断する。なお、パターン検査の結果、不良であると判断
された特定箇所の座標は、画像検査部41に内蔵されて
いる図示しないメモリに記憶されるとともに、マーカー
機構33によってその位置にマーキングが行われる。
【0030】ステップS4(結果表示) パターン検査処理が終了すると、その結果は画像検査部
41から制御部43に出力され、制御部43から所定の
フォーマットでCRT53に出力される。オペレータ
は、この結果表示を見て、あるいは被測定物Wに施され
たマーキングを見て、続けて測長処理を行うか否かを判
断する。ここでは、被測定物Wのパターンに欠陥がな
く、続けて測長処理を行うものとして説明する。
41から制御部43に出力され、制御部43から所定の
フォーマットでCRT53に出力される。オペレータ
は、この結果表示を見て、あるいは被測定物Wに施され
たマーキングを見て、続けて測長処理を行うか否かを判
断する。ここでは、被測定物Wのパターンに欠陥がな
く、続けて測長処理を行うものとして説明する。
【0031】ステップS5(測長方法の指示) 次いで、オペレータは被測定物Wを測定台1から取り外
すことなくそのまま操作パネル3を介して、被測定物W
の測長処理に応じて予め作成・記憶されているプログラ
ムを選択したり、必要であれば下方のみ/上方のみ/上
下の照明方式を指示し、また、操作パネル3を介して画
像取り込み手段7を適宜の位置に移動させつつ新たに測
長箇所を指示したり、検査開始位置を指定するなどの検
査方法を指示する。なお、この時点では、Xeランプ2
1への供給電力は遮断されており、代わりにハロゲンラ
ンプ19に電力が供給されている。
すことなくそのまま操作パネル3を介して、被測定物W
の測長処理に応じて予め作成・記憶されているプログラ
ムを選択したり、必要であれば下方のみ/上方のみ/上
下の照明方式を指示し、また、操作パネル3を介して画
像取り込み手段7を適宜の位置に移動させつつ新たに測
長箇所を指示したり、検査開始位置を指定するなどの検
査方法を指示する。なお、この時点では、Xeランプ2
1への供給電力は遮断されており、代わりにハロゲンラ
ンプ19に電力が供給されている。
【0032】ステップS6(測長処理) 指示された測長方法にしたがって、制御部43が画像取
り込み手段7を移動させつつ投光部13または/および
反射照射部31により照明されている被測定物Wの特定
箇所に形成されているパターンの寸法や座標を自動的に
測定する。
り込み手段7を移動させつつ投光部13または/および
反射照射部31により照明されている被測定物Wの特定
箇所に形成されているパターンの寸法や座標を自動的に
測定する。
【0033】ステップS7(結果表示) 測定結果は、制御部43から所定のフォーマットで成形
されてCRT53に出力される。オペレータは、この結
果表示を見て被測定物Wが不良か否かを判断する。な
お、プログラムによっては、予め設定されている正常値
と比較して、良/不良だけをCRT53に出力すること
も可能である。
されてCRT53に出力される。オペレータは、この結
果表示を見て被測定物Wが不良か否かを判断する。な
お、プログラムによっては、予め設定されている正常値
と比較して、良/不良だけをCRT53に出力すること
も可能である。
【0034】上述したように測長装置にパターン検査ユ
ニットを内蔵したことにより、測定台1、画像取り込み
手段7、X軸/Y軸サーボモータ45a,45bなどを
含む移動手段、CRT53を測長ユニットU1とパター
ン検査ユニットU2で共用できるので、装置を小型化で
きるとともにコストを低減できる。したがって、装置の
設置スペースを小さくできるとともに装置の購入費用を
大幅に低減することができる。
ニットを内蔵したことにより、測定台1、画像取り込み
手段7、X軸/Y軸サーボモータ45a,45bなどを
含む移動手段、CRT53を測長ユニットU1とパター
ン検査ユニットU2で共用できるので、装置を小型化で
きるとともにコストを低減できる。したがって、装置の
設置スペースを小さくできるとともに装置の購入費用を
大幅に低減することができる。
【0035】また、パターン検査と測長とを同じ装置で
行うことができるので、測定台1への被測定物Wのセッ
トが一度で済み、被測定物Wの段取り替えが不要とな
る。したがって、検査の手間が簡単化でき、検査時間を
短縮化することができる。さらに、段取り替えに起因し
て被測定物Wの位置が微妙にずれるような不都合も防止
できるので、検査精度の向上が期待できる。
行うことができるので、測定台1への被測定物Wのセッ
トが一度で済み、被測定物Wの段取り替えが不要とな
る。したがって、検査の手間が簡単化でき、検査時間を
短縮化することができる。さらに、段取り替えに起因し
て被測定物Wの位置が微妙にずれるような不都合も防止
できるので、検査精度の向上が期待できる。
【0036】なお、上記の説明では、パターン検査の後
に測長を行うようにしたが、ある箇所のパターン検査を
行った後にその箇所の測長を行い、他の箇所に移動した
後に同様にパターン検査/測長を行うように、パターン
検査と測長とを並行して同時に実行することも可能であ
る。このように並行して二つの処理を行うようにする
と、さらなる検査時間の短縮化が期待できる。
に測長を行うようにしたが、ある箇所のパターン検査を
行った後にその箇所の測長を行い、他の箇所に移動した
後に同様にパターン検査/測長を行うように、パターン
検査と測長とを並行して同時に実行することも可能であ
る。このように並行して二つの処理を行うようにする
と、さらなる検査時間の短縮化が期待できる。
【0037】また、上述したように画像取り込み手段7
を移動させることなく、被測定物Wを載置した測定台1
を移動させるように構成してもよい。また、測定台1
は、水平である必要はなく、傾斜させてもまた垂直に立
てて配置してもよい。
を移動させることなく、被測定物Wを載置した測定台1
を移動させるように構成してもよい。また、測定台1
は、水平である必要はなく、傾斜させてもまた垂直に立
てて配置してもよい。
【0038】また、投光部13により画像取り込み手段
7に対向した位置のみを照明するように構成したが、測
定台1の全面を照明するようにしてもよい。この場合に
は、上述した投光部駆動ループ25が不要となるので、
駆動系を簡略化することができる。
7に対向した位置のみを照明するように構成したが、測
定台1の全面を照明するようにしてもよい。この場合に
は、上述した投光部駆動ループ25が不要となるので、
駆動系を簡略化することができる。
【0039】また、上記の構成では、マーキング機構3
3により、パターン検査処理の結果に基づいて被測定物
の欠陥箇所にマーキングを施すようにしたが、欠陥箇所
の座標を記憶するだけでマーキングが不要である場合に
は、マーキング機構33を設ける必要はない。
3により、パターン検査処理の結果に基づいて被測定物
の欠陥箇所にマーキングを施すようにしたが、欠陥箇所
の座標を記憶するだけでマーキングが不要である場合に
は、マーキング機構33を設ける必要はない。
【0040】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1に記載の発明によれば、測定台、照明手段、画像取り
込み手段、移動手段、出力手段をパターン検査ユニット
と測長ユニットで共用しているので、装置を小型化でき
てコストを低減できる。したがって、装置の設置スペー
スを小さくできるとともに装置の購入費用を低減でき
る。
1に記載の発明によれば、測定台、照明手段、画像取り
込み手段、移動手段、出力手段をパターン検査ユニット
と測長ユニットで共用しているので、装置を小型化でき
てコストを低減できる。したがって、装置の設置スペー
スを小さくできるとともに装置の購入費用を低減でき
る。
【0041】また、測定台への被測定物のセットが一度
で済み、被測定物の段取り替えが不要となる。したがっ
て、検査の手間が簡単化でき、検査時間を短縮化するこ
とができる。さらに、段取り替えに起因して被測定物の
位置が微妙にずれるような不都合も防止できるので、検
査精度を向上させることができる。
で済み、被測定物の段取り替えが不要となる。したがっ
て、検査の手間が簡単化でき、検査時間を短縮化するこ
とができる。さらに、段取り替えに起因して被測定物の
位置が微妙にずれるような不都合も防止できるので、検
査精度を向上させることができる。
【0042】また、パターン検査と測長とを並行して同
時に実行することも可能なため、さらなる検査時間の短
縮化も期待できる。
時に実行することも可能なため、さらなる検査時間の短
縮化も期待できる。
【0043】請求項2に記載の発明によれば、パターン
検査処理時と測長処理時に適切な照明を選択できるの
で、それぞれの処理を好適に行うことができる。
検査処理時と測長処理時に適切な照明を選択できるの
で、それぞれの処理を好適に行うことができる。
【0044】また、請求項3に記載の発明によれば、被
測定物の下方から照明してその上方から画像を取り込む
ので、特にプリント配線基板作成用のフィルム原板など
の光透過性の被測定物を適切に検査することができる。
測定物の下方から照明してその上方から画像を取り込む
ので、特にプリント配線基板作成用のフィルム原板など
の光透過性の被測定物を適切に検査することができる。
【0045】また、請求項4に記載の発明によれば、マ
ーキングを施すことによって検査後の被測定物を見るだ
けで欠陥の有無や規模を容易に知ることができる。
ーキングを施すことによって検査後の被測定物を見るだ
けで欠陥の有無や規模を容易に知ることができる。
【図1】実施例に係る測長装置の概略構成を示す外観斜
視図である。
視図である。
【図2】移動手段の概略構成を示す斜視図である。
【図3】画像取り込み手段の概略構成を示す図である。
【図4】装置のブロック図である。
【図5】実施例装置の動作の一例を示すフローチャート
である。
である。
W … 被測定物 1 … 測定台 7 … 画像取り込み手段 9 … X方向駆動架台 10 … 画像取り込み手段駆動ループ(移動手段) 11 … Y方向駆動部(移動手段) 13 … 投光部(照明手段) 19 … ハロゲンランプ(定常発光手段) 21 … Xeランプ(間欠発光手段) 23 … Xeランプコントローラ(間欠発光手段) 33 … マーキング機構 43 … 制御部(光選択手段) U1 … 測長ユニット U2 … パターン検査ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山下 浩 京都府京都市伏見区羽束師古川町322 大 日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者 鈴木 克明 京都府京都市伏見区羽束師古川町322 大 日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内
Claims (4)
- 【請求項1】 被測定物を載置する測定台と、 前記測定台に載置された被測定物を照明する照明手段
と、 前記被測定物の画像を取り込む画像取り込み手段と、 前記測定台と平行な平面内で前記被測定物と前記画像取
り込み手段とを相対移動させる移動手段と、 前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニット
と、 前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物の寸法や座標を測定する測長ユニットと、 前記パターン検査ユニットによって前記被測定物を検査
した結果および前記測長ユニットによって前記被測定物
を測長した結果を出力する出力手段と、 を備えていることを特徴とする測長装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の測長装置において、前
記照明手段を、パターン検査用の間欠発光手段と、測長
用の定常発光手段と、前記被測定物に光を導く光ファイ
バーと、前記間欠発光手段または前記定常発光手段のい
ずれか一方の光を前記光ファイバーに選択的に導く光選
択手段とから構成したことを特徴とする測長装置。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の測長装
置において、前記画像取り込み手段を前記測定台の上方
に配設し、前記照明手段を前記測定台の下方に配設した
ことを特徴とする測長装置。 - 【請求項4】 請求項1ないし請求項3に記載の測長装
置において、前記パターン検査ユニットによる検査結果
に基づいて、前記被測定物上の欠陥箇所にマーキングを
行うマーキング機構をさらに備えていることを特徴とす
る測長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9117808A JPH10307005A (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9117808A JPH10307005A (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 測長装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10307005A true JPH10307005A (ja) | 1998-11-17 |
Family
ID=14720789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9117808A Abandoned JPH10307005A (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 測長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10307005A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100360896C (zh) * | 2003-07-21 | 2008-01-09 | 立融仪器贸易有限公司 | 一种工件的测量方法及其装置 |
JP2009074931A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Sokkia Topcon Co Ltd | 二次元座標測定機 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63286752A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-24 | Toshiba Mach Co Ltd | パタ−ンの欠陥検査または寸法測定方法 |
JPH0587544A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置 |
JPH06294750A (ja) * | 1991-08-22 | 1994-10-21 | Kla Instr Corp | 光学式基板検査装置 |
-
1997
- 1997-05-08 JP JP9117808A patent/JPH10307005A/ja not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63286752A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-24 | Toshiba Mach Co Ltd | パタ−ンの欠陥検査または寸法測定方法 |
JPH06294750A (ja) * | 1991-08-22 | 1994-10-21 | Kla Instr Corp | 光学式基板検査装置 |
JPH0587544A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100360896C (zh) * | 2003-07-21 | 2008-01-09 | 立融仪器贸易有限公司 | 一种工件的测量方法及其装置 |
JP2009074931A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Sokkia Topcon Co Ltd | 二次元座標測定機 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040914 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20041018 |