JPH022947A - 検査・リペア装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し発明の目的」 （産業上の利用分野） 本発明は、ＬＣＤ（液晶デイスプレー）基板あるいは半
導体ウェハ等の被検査体の検査・リペア装置に関する。

（従来の技術） 近年、電子機器の小型化に伴い、例えばその表示パネル
としてＬＣＤのニーズが大きくなっている。

そして、この種のＬＣＤに液晶を封入する前に、液晶駆
動素子である例えばＴ　Ｐ　Ｔの電気的機能検査あるい
はマトリックス状に形成される横方向の走査ライン及び
縦方向の信号ラインまたはその交点のショート、オーブ
ン検査等が不可欠となっている。

このため、従来よりＬＣＤ検査装置が提供されており、
この検査装置にてＬＣＤの電気的特性検査を実行し、そ
の不良箇所、不良内容等のりペア情報を別個に設けられ
たりペア装置（あるいはレスキュー装置とも称する）に
伝達し、パータンシヨード、オープンなどを修理するよ
うにしている。

（発明が解決しようとする問題点） 上述した従来の構成によれば、ＬＣＤ検査装置及びリペ
ア装置は別体となっていたのて゛、上記リペア情報を例
えばフロッピーディスクに記憶し、ＬＣＤを収容するキ
ャリアカセットと共にリペア装置に移送して修理工程を
実行する必要があった。

しかし、このようにした場合、ＬＣＤ基板のＩＤ管理を
正確に実行しないと混乱が生ずる恐れが多く、かつ、検
査装置及びリペア装置で最初からアライメントをやり直
す必要かあり、検査、修理時間が増大すると共に、操作
が煩雑となっていた。

なお、このような問題はＬＣＤ基板に限らず他の被検査
体の検査、リペアの場合も同様に生じていた。

そこで、本発明の［１的とするところは上述した従来の
問題点を解決し、検査装置とリペア装置とを一体化する
ことでリペア情報の伝達を容易とし、かつ、アライメン
ト動作、被検査体の搬送動作時間等を短縮して検査、修
理のスループットを向上することができる検査・リペア
装置を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は、被検査体をａｒｔ支持して直交３軸方向及び
２次元平面を回転する方向に駆＃　ｆｉ制御可能であっ
て、かつ、プロービング位置とリペア位置とに亘って移
動可能なステージと、 上記プロービング位置にて被検査体の電極に通電するこ
とで、被検査体の電気的特性を検査する検査装置と、 この検査装置で測定された不良の内容及びアドレスを記
憶するメモリと、 上記リペア位置に固定され、上記メモリに記憶されたア
ドレスに基づくステージ駆動によって、少なくとも短絡
箇所を含む不良箇所にレーザースポットを一致させ、レ
ーザ光線を照射して修理を実行するりペア装置とを設け
て、検査・リペア装置を構成している。

（作用） 被検査体は、検査装置とりペア装置とで共通のステージ
上に支持され、まず、検査装置にて被検査体の電極に触
針して通電することで、その電流値をテスタにて測定し
て断線、′ｆＩ絡等の電気的特性検査を実行することが
できる。

なお、この不良内容及びそのアドレスはメモリに記憶さ
れる。

そして、この検査が終了し、かつ不良が生じている場合
には、Ｌ記ステージをリペア装置に移動し、かつ、メモ
リのアドレス情報にしたがって不良箇所をレーザースポ
ットに一致するようにステージ駆動してアライメントし
、ここでレーザー光により例えば規格箇所をレーザーカ
ットすることで、被検査体の不良箇所のリペアを実行す
ることができる。

そして、本発明の場合には上記レーザー光の光軸のずれ
をなくして適正箇所にレーザーを照射するため、レーザ
ー源はリペア位置上方に固定し、ステージ側の駆動によ
って不良箇所へのレーザースポット位置の設定を可能と
している。

また、リペアが実行された場合には、ステージを再度検
査装置側に移動し、少なくともリペア箇所のみ再検査す
ることもできる。

（実施例） 以下、本発明をＬＣＤ基板の検査・リペア装置に適用し
た一実施例について、図示の実施例を参照して具体的に
説明する。

この検査・リペア装置は、第１図に示すように、筐体の
右側面側に配置されたロータ装置１と、ローダ装置１の
左側であって筐体のフロント面側に配置されたプローブ
装置２と、その後方に配置されたレーザーリペア装置３
とから構成され、プローブ装置２のフロント側には検査
装置用の操作パネル４か、筐体の左側面側にはレーザー
リペア装置用の操作パネル５が、その後方にはモニター
］゛Ｖ６がそれぞれ配置されている。

ローダ装ｖ、１は、キャリアカセット内に収容したＬＣ
Ｄ基板を一枚ずつ収り出してプローブ装置２に供給し、
このプローブ装置２より搬出される検査又は修理、再検
査済みのＬＣＤをキャリアカセットに戻し搬送するもの
である。

上記プローブ装ｗ２は、本実施例の場合ＬＣＤ基板の走
査ライン、信号ラインのオーブン、上記各ライン間のシ
ミ１−ト及びライン交点の絶縁抵抗値を測定するもので
あり、このために第２図に示ずようにＬＣＤｌ０の４辺
に配置された各電極領域１１，１２，１３．１４にそれ
ぞれコンタクトできるように、４つのプローブボードが
配置されている。

ここで、電極領域１１．１２はそれぞれ走査ラインリー
ド電極、信号ラインリード電極であり、電極領域１３．
１４はそれぞれ上記電極領域１１゜１２の対向電極とな
っている。

そして、本実施例では上記電極領域１１．１２川のプロ
ーブボードとして、第３図（Ａ）に示すように、フレキ
シブルなフィルム電極２０の一端をカールさぜ、基板２
１との間に柔軟部材例えばフェルト２２を介在させたｆ
ｊ：、棟構造とし、フィルム電極２１を前記電極領域１
１．１２の各電極に圧接して電気的接続を行うようにな
っている。

一方、前記対向電極の電極領域１３．１４に使用される
プローブボードは、第３図（Ｂ）に示すように、基板２
５にプローブ針２６を多数（３）定し、この針２６の先
端を屈曲して上記電極領域１３゜１４の各電極に接触可
能としたものである。このように、２種のプローブボー
ドを採用している理由は、対向電極の電極領域１３．１
４はこの種の検査のためにのみ設けられているもので、
ＬＣＤ１０の高密度化によりそのパッドスペースが小さ
く制限されているので、小スペースでも確実にコンタク
ト可能なプローブ針２６によって導通を確保するように
している。

また、この対向電極は信号ライン又は走査ラインの各ラ
インの断線またはライン間の規格の検査時に使用される
ものであり、この種の欠陥は比較的少なく検査の要求も
低くなっている。そして、このようにニーズの低いライ
ンの規格、　Ｆｌ！の検査のために、フィルム電極方式
を４箇所に採用しようとすると、このフィルム電極を所
定幅に亘って均一圧力で電極に接触させるための調整機
構が大掛かりとなるので、支持機構が比較的簡易なプロ
ーブ針方式を採用することで、コストダウンを図ってい
る。

そして、各プローブボードは、第４図＆；示すテスター
３０に接続され、ここで各ラインのオープンまたはライ
ン間のショート、ライン交点の絶縁抵抗値等が判定可能
となっている。なお、上記プローブ装置２とテスター３
０とで検査装置を構成するものである。

このプローブ装置２では、上記ＬＣＤ　１０を載置支持
するステージ４０を、その載置面の直交２軸であるＸ、
Ｙｌｄ＋と、この両軸に直交する高さ方向であるＺ軸と
、このＺ軸の周りの回転方向であってＸ−Ｙ平面を回転
するθ方向に移動可能となっていて、しかも、ステージ
４０はプローブ装置２内のプロービング位置Ａの他に、
前述したリペア装置３でリペアが実行されるリペア位ｙ
Ｂにも移動可能となっている。そして、このステージ４
０の駆動はコントローラ４２によって制御されている。

また、このプローブ装置２での特徴として、上記プロー
ビング位ＷＡ″Ｃ″ＬＣＤ　１０のアライメントを実行
可能となっている。すなわち、上記テスト位ｆｉＡの−
Ｅ方には第１１３１］に示すようにマイクロスコープ８
が配置され、このマイクロスコープ８の接眼部にマウン
トを収り付けることで、ＣＯＤカメラ等のアライメント
カメラ４１（第４図図示）が配置可能となっている。そ
して、上記マイクロスコープ４１を介して拡大されたＬ
ＣＤｌ０の一部がアライメントカメラ４１に撮影され、
このアライメントカメラ４１の１９影留報は、第４図の
コントローラ４２に入力され、ビデオ切り換えによって
モニター１′Ｖ６に影像表示可能となっている。

そして、この画面を見ながら操作パネル４のジョイステ
ィックなどを操作してアライメントを行うか、あるいは
アライメントの自動化のために、」１記影像パターン（
例えば走査ライン、信号ラインのマトリックスパターン
）をコントローラ４２に送出し、例えばプローブ装置２
内に設けたメモリ４６で記憶している正規の位置にある
場合のバターンと比較し、この比較結果に基づきステー
ジ４０のアライメント駆動を自動制御することができる
。

このように、プロービングポジションとアライメントポ
ジションとを共通とすることで、従来のようにアライメ
ントを別の場所で実行した後の移動系の機械的誤差に起
因する位置ずれを防止することができ、探針位８１１度
を向」−することができる。

なお、上記テスタ３０での測定結果は、コンｉ・ローラ
４２を介して上記メモリ４６に記憶され、不良内容及び
そのアドレスがリペア情報として記憶されることになる
。なお、上記リペア情報を、後述するホストＣＰ　Ｕ　
４１１内のメモリに記憶するようにしてもよい。

次に、前記レーザーリペア装置３について説明する。

本実施例では、プローブ装置２に使用されるステージ４
０をリペア装ｒＦ！、３でも共用し、ＬＣＤｌ０をステ
ージ４０の駆動によって移動可能とすると共に、この」
ユ方に固定されたレーザーリペアユニット５０を設けて
いる。

このレーザリペアユニット５０は、ＬＣＤｌ０上のショ
ートパターンをトリミングするためのレーザーを発する
レーザ発振器５１と、ＬＣＤｌ０のアライメント川の情
報又はオペレータのモニタ情報を収集するためのＣＣＤ
カメラなどで構成されるオートフォーカス機能付きのり
ペアモニタカメラ６０とが設けられ、レーザー光軸とア
ライメント川及びモニタ用の光軸は一致するように構成
されている。

すなわち、レーザー発振器５１より発せられたレーザー
光は、Ｎ、Ｄフィルター５２．アパチャー５３を介して
反射ミラー５４で直角に反射され、さらにシャッター５
５及びレンズ５６を介して、］二泥足ペアモニタカメラ
６０の光軸上に配置されたビームスプリッタ５７に導か
れる。そして、このビームスプリッタ５７によって反射
されることで、同一光軸上に配置された対物レンズ５８
を介してＬＣＤｌ０上にレーザー光が照射されるように
なっている。

一方、上記レーザーリペアユニット５０内には、照明用
のランプ６１が配置され、この照明ランプ６１の光がＬ
ＣＤ１０によって反射され、上記対物レンズ５８．ビー
ムスプリッタ５７及び像の拡大レンズ系を介して、ＬＣ
Ｄｌ０の一部の像か拡大してリペアモニタカメラ６０に
結像され、ＬＣＤｌ０上の影像情報が収集可能となって
いる。

このように、レーザー発振器５１より発せられるレーザ
ー光の光軸と、リペアモニタカメラ６１のための光軸と
を一致させることで、アライメントされた位置に確実に
レーザー光を照射することができ、照射位置ずれを防止
することができる。

また、　ｉの光学系を共用することができるので、装置
の小型化とコストダウンとを図ることができる。

なお１．Ｌ記し−ザー発振器５１でのレーザー光の出射
は、下記のようにして行われる。すなわち、前記繰作パ
ネル５上には第５図に示すようにレーザーカットスイッ
チ７０（詳細を後述する）が設けられ、このスイッチ７
０が押下されるとレーザー励起信号がレーザー電源６２
に出力され、このレーザー電源６２よりレーザー励起信
号が」１記レーザー発振器５１に出力されることでレー
ザー光が出射される。

また、レーザーリペアユニット５０内の照明ランプ６１
の駆動も上記操作パネル５によって実行され、照明スイ
ッチ７１によってランプ６１を０Ｎ１０ＦＦＬ、また、
照度切り換えスイッチ７２によってランプ６１の明るさ
を連続的に変更可能となっている。

また、Ｅ足操作パネル５には、上記スイッチの他に、第
５図に示すような各種スイッチ等が設けられている。

電源スィッチ７３・・・レーザリペア装ｒｒｔ３の電源
をＯＮ１０　Ｆ　Ｆするものである。

カーソル移動スイッチ７４（Ｘ軸、Ｙ軸）・・・モニタ
ー１′Ｖ６に表示されるリペアパターンに重畳される直
交カーソル５ａ（第６図参照）を移動するためのもので
ある。なお、イニシャル時には上記レーザーを１回照射
させ、第６図（Ａ）、（Ｂ）示すようにモニターＴＶ６
に表示される照射ポイント５ｂにカーソル５ａの交点を
合わせ、以降固定するようにしている。すなわち、カー
ソル５ａの交点がレーザー照射位置（レーザースポット
）となる。

スタートスイッチ７５・・・レーザーリペア装置３に起
動をかけるスイッチであり、不良パターンカット後に、
本スイッチを押下することで次の不良パターンに移動す
るようになっている。

ストップスイッチ７６・・・レーザーリペア装置３に終
了をかける場ｈ、または動作の中断をかける場合に操作
されるスイッチである。

Ｚ軸移動スイッチ７７・・・ステージ４０をＺ方向に移
動させるスイッチである。

表示器７８・・・リペアに必要な情報を表示するもので
ある。

ジョイスティック７９・・・モニターＴ　Ｖ　６に表示
されたＬＣＤ　１０の画素をＸ、Ｙ方向に移動させるも
のである。

なお、前記レーザーカットスイッチ７０は、予め設定さ
れたカットパターンに従い、自動的にレーザーカットを
実行するためのもので、“ワンアクション′″でカット
できるように各モード毎にスイッチが取り付けられてい
る。

また、このプローブ・リペア装置の全制御を司どるため
にホストＣＰＵ４４が設けられ、このホストＣＰＵ４４
にはテストシーケンス、各種テスト条件が設定されるこ
とになる。

次に、作用について第７図のフローチャートを参照して
説明する。

まず、ステップ１〜４にしたがって、初期設定を行う、
ステップ１では、レーザリペア装置３の操作パネル５を
操作して、各種初期設定を実行する。ここで、第７図の
ステップ１中の（２）。

（３）の設定は、前述したように第６図（Ａ）。

（Ｂ）の手順にしたがって実行されるものである。

次に、ステップ２〜ステツプ４にて、レーザー光学系の
初期設定、ホストＣＰＵ４４の初期設定及びローダ装置
１への基板カセットのセットなどをそれぞれ実行する。

次に、ローダ装置１よりＬＣＤ基板１０をプローブ装置
２にロードしくステップ５）、ステップ６ではテスト及
リペアが選択されるので、以降プローブ装置２でのプロ
ービング検査が実行されることになる（ステップ７）。

ここで、このプローブ装置２の動作を説明する前に、前
記ＬＣＤ基板１０の構成について第８図を参照して説明
する。

アクティブマｉ・リックス方式の液晶基板上には、透明
電極、パッジベイト膜、配向膜などを備えた多数のピク
セル８０が形成されている。

これらのピクセル８０には、それぞれれＭＯ３型１’Ｆ
’ｒ８１が配置されており１．：ノＭＯ３型’Ｔ’　Ｆ
　Ｔ’８１のゲートは、それぞれゲートライン（信号ラ
インとも称する）８２ａ、８２ｂ、８２ｃｍ＝に、ソー
スは、それぞれソースライン（走査ラインとも称する＞
８３ａ、８３ｂ、８３ｃ・・・に接続されている。また
、ＭＯ８型ＴＦ’Ｉ’８１のドレインは、それぞれピク
セル８０内の透明電極に接続されている。

さらに、前記ゲートライン８３ａ、８３ｂ、８３ｃ・・
・は、基板１０の端部に形成したゲートリード電極８４
ａ、８４ｂ、８４ｃ・・・と、その対向電極８４ａ−，
８４ｂ−，８４ｃ〜・・・にそれぞれ接続されている。

また、前記ソースライン８３ａ。

８３ｂ、８３ｃも同様に、ソースリード電極８５ａ、８
５ｂ、８５ｃｍ　　と、その対向’：Ｍ、ｔ＠　８５　
ａ８５ｂ−８５ｃｍにそれぞれ接続されている。

そして、上記プローブ装置２では、上記ゲートライン、
ソースラインの交点における絶縁抵抗の値の検査、隣接
するライン間の規格の有無の検査、各ライン断線の有無
の検査等を実行している。

このため、第３図に示すプローブボードを上記電極に接
触させ、通電するラインを切り換えなから］−述した各
検査を実行している。

例えば、ソースラインとゲートラインの交点の絶縁抵抗
値の検査の場合には、ソースリード電極８５ａに１０〜
１２Ｖの電圧を印加し、ソースライン８３ａ、ゲートラ
イン８２ａの交点を介してゲートライン８２ａに流れる
電流を測定することで実行できる。以下、同様にして各
交点の絶縁抵抗値を測定することかできる。

また、ライン間の規格、各ラインの［ｔｔｒｖｉＬを検
査する場合には、対向電極を使用して検査することがで
きる。

なお、上記検査を実行するに際しては、本出願人か先に
提案した検査方法（特願昭６２−２８６８７２．特願昭
６２−３０３９５１）を好適に採用することができる。

ここで、上記のように各種検査を実行するにあたって、
その前提として１０−ブボードの接触部か上記各電極に
正しく接触していることが必要となる。このためには、
ＬＣＤ基板１０のアライメントか成されている必要があ
る。

本実施例では、上記のアライメントをブローピンク位２
ＡにＬＣＤ　１０を設定した状態で、このアライメント
位ｔＡの真上に設置されたマイクロスコープ８を介して
アライメントカメラ４１によってＬＣＤｌ０の一部表面
を拡大して撮影し、これをモニターＴＶ６に表示してジ
ョイスティック等により手動調整するか、あるいは撮影
パターンと予め記憶されている正規な位置でのパターン
とを比較して、それが一致するように自動ｌｉＩ整する
かして、アライメントを行うようにしている。

このように、プロービングポジションＡとアライメント
ポジションとを同一とすることで、従来のＩＣ検査装置
のようにプロービングポジションに達する前でアライメ
ントを実行するものと比較すれば、アライメント後の搬
送ルートの機械的誤差の重畳による探引位置精度の悪化
を防止することができる。

上記検査において断線不良、短絡不良等が生じた場合に
は、この不良のアドレス及びその内容がテスター３０よ
りコン］・ローラ４２を介してメモＩＪ４６に記憶され
ることになる。

全検査が終了した場合には、このＬＣＤ基板１０に対し
て不良があるか否かを判別しくステップ８）、不良か生
じた場合には次にリペア装置３での動作が開始される。

すなわち、この不良特に短絡の生じているＬＣＤ基板１
０をステージ４０の駆動によってリペア装置３のレーザ
ーイニシャル位置にロードする（ステップ９）。

次に、上記メモリ４６の内のアドレス情報にしたがって
ステージ４０を移動させ、晟初の不良パターン位置がレ
ーザスポット位置に一致するように設定する（ステップ
１０）、ここで、オートかマニュアルかが判別され（ス
テップ１１）、マニュアルの場合にはＺ軸移動スイッチ
７７によってステージ４０をＺ方向に駆動してリペアモ
ニタカメラ６０の焦点合わせを行って焦点が合うまでこ
れを繰り返す（ステップ１２．１３＞。

マニュアルモードにて焦点が合った場合及びオートモー
ドが；Ｘ択されている場合には、次にジョイスティック
７９によってレーザースポット位置と不良パターン位置
とのファインアライメントを実行する（ステップ１４）
。

このファインアライメントにあたって、リペアモニタカ
メラ６０によって不良パターンを拡大して撮影し、これ
をモニターＴＶ６に表示し、このモニターＴ　Ｖ　６に
重畳して表示されているカーソル５ａの交点に前記不良
パターンが一致するように、ジョイスティック７９を操
作することになる。

位置があった場合にはくステップ１６）、次にカットモ
ードが選択され、レーザーカットスイッチ７０か押下さ
れる（ステップ１７）。

次に、ステップ駆動か又は連続駆動かが判断され、連続
駆動であればカット後にさらに不良パターンがあるか否
かが判断され（ステップ２０）、不良パターンが存在す
る場合にはステップ１０に戻って同様な動作を繰り返す
。

ステップ駆動の場合には、カットＯＫか否かが判断され
（ステップ１８）、ＯＫであればスタートスイッチ７６
を押下することで（ステップ１９）ステップ２０に移行
し、不良パターンが存在する場合にはステップ１０に戻
って同様な動作を繰り返ずことになる。

なお、上述したレーザー光によるパターンカットにあた
っては、本実施例の場合アライメントカメラ６０を使用
して行った不良パターンのアライメント位置に確実にレ
ーザーを照射することができ、したがってレーザー照射
の位置ずれかないので確実なレーザーカットを実行する
ことができる。

これは、−に記アライメントカメラ６０の光軸と、レー
ザー光の光軸とが、第４図に示すように同軸となってい
るからであり、しかも光軸の一致により光学系の構成が
一部共通化されるので、装置の小型化とコストダウンと
を図ることができる。

また、ライン交点の配線の絶縁不良が発生した場合には
、片側のラインがレーザーカットされ、後に別の工程に
おいてワイヤボンディング等の方法により再配線処理か
必要となる。この後工程を確実に実行するために、何等
らかの媒体（フロッピディスク、プリンター用紙）等に
より伝達すると、管理かがｊ誰であり不便であるばかり
か、後工程の実施ミスが生じ易い。

そこで、本実施例ではこのようにライン交点の絶縁不良
により一方のラインをレーザーカットした場合には、そ
のカットされたラインの例えば端部（パターン以外の領
域）にレーザー光を照射し、これをマーカーとして使用
するようにしている。

そして、後工程によってこのマーカーを識別して不良ア
ドレスを認識することができるので、何等の媒体を要せ
ずに確実に再配線工程を実施することが可能となる。な
お、後工程用のマーカーとして切断用レーザーを用いる
場合、そのマーキング位置は種々の変形実施が可能であ
り、少なくともラインカットがあったことと、そのカッ
ト位置を容易に判別できるような位置であればよい。

全ての不良パターンについてのレーザーカットが終了し
た場合には、ステージ４０の駆動によってこのＬＣＤ基
板１０をプローバ装置２に戻し搬送し、不良パターンで
あった場所のみ再テストを実行する（ステップ２１）。

このようにして検査、リペアか終了し、かつ、再テスト
ＯＫの場合には（ステップ２２）、基板１０をローダ装
置１のキャリアカセットに戻し搬送しくステップ２３）
、ローダ装置内にセットされた全基板１０に対して同様
な検査、リペアを繰り返し、全ロットが終了することで
シーケンスが終了する（ステップ２４）。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

上記実施例は被検査体をり、、ＣＤ基板とした例であっ
たが、これに限らず、検査及びレーザーリペアを要する
種々の被検査体に適用できる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば被検査体の検査の
ための検査装置と、この検査によって不良と判別された
箇所のリペアを行うリペア装置とを一体化することで、
リペア情報を正確に伝達して確実なりペアを実行するこ
とができ、また、被検査体の搬送系を共用することで構
成が簡易となり、かつ、アライメント動作、被検査体の
搬送動作時間等を可縮して検査、修理のスループットを
向りすることができる

【図面の簡単な説明】 第１図は、本発明をＬＣＤの検査、リペアに適用した検
査・リペア装置の外観斜視図、第２図は、ＬＣＤの？Ｉ
ｔ極領域を説明するための概略説明図、 第３図（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ２種のプローブボー
ドを説明するため概略説明図、第４図は、第１図に示す
装置のブロック図、第５図は、リペア装置用の操作パネ
ルを示す概略平面図、 第６図は（Ａ）、（Ｂ）は、イニシャル時のレーザース
ポットとカーソル交点とを一致させる動作を説明するた
めの概略説明図、 第７図は、実施例装置の動作を説明するためのフローチ
ャート、 第８図は、ＬＣＤ基板のパターン構成を説明するための
概略説明図である。 １・・・ローダ装置、 ２．３０・・・検査装置、 ３・・・レーザーリペア装置、 １０・・・被検査体（ＬＣＤ基板）、 ４０・・・ステージ、 ４４・・・メモリ、 ５１・・・レーザーリペアユニット、 ８１・・・液晶駆動素子、 ８２　ａ　、　８２　ｂ　、　８２　ｃ−−・信号ライ
ン、８３ａ、８３ｂ、８３ｃ・・−走査ライン。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被検査体を載置支持して直交３軸方向及び２次元平面を
   回転する方向に駆動制御可能であつて、かつ、プロービ
   ング位置とリペア位置とに亘つて移動可能なステージと
   、 上記プロービング位置で被検査体の電極に通電すること
   で、被検査体の電気的特性を検査する検査装置と、 この検査装置で測定された不良の内容及びアドレスを記
   憶するメモリと、 上記リペア位置に固定され、上記メモリに記憶されたア
   ドレスに基づくステージ駆動によって、少なくとも短絡
   箇所を含む不良箇所にレーザースポットを一致させ、レ
   ーザ光線を照射して修理を実行するリペア装置とを有す
   ることを特徴とする検査・リペア装置。