JPH10249689A - ウェーハ面取方法及び装置 - Google Patents
ウェーハ面取方法及び装置Info
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- JPH10249689A JPH10249689A JP9055191A JP5519197A JPH10249689A JP H10249689 A JPH10249689 A JP H10249689A JP 9055191 A JP9055191 A JP 9055191A JP 5519197 A JP5519197 A JP 5519197A JP H10249689 A JPH10249689 A JP H10249689A
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- notch
- chamfering
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- axis
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B51/00—Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/02—Frames; Beds; Carriages
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B9/065—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】外周にオリフラ又はノッチが形成されたウェー
ハを精度良く面取りすることができるウェーハ面取方法
及び装置の提供。 【解決手段】回転自在に支持したウェーハＷを互いに直
交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持し、そのＹ軸
上に回転自在に支持した外周加工砥石４８を設置する。
ウェーハＷの円形部Ｃを面取りするときは、ウェーハＣ
の円形部を回転する外周加工砥石４８に当接させ、その
状態からウェーハＷに回転を与えて円形部Ｃを面取りす
る。また、ウェーハＷのオリフラＯＦを面取りするとき
は、ウェーハＷのオリフラＯＦを回転する外周加工砥石
４８に当接させ、その状態から、ウェーハＷにＸ軸方向
の送りを与えてオリフラＯＦを面取りする。
ハを精度良く面取りすることができるウェーハ面取方法
及び装置の提供。 【解決手段】回転自在に支持したウェーハＷを互いに直
交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持し、そのＹ軸
上に回転自在に支持した外周加工砥石４８を設置する。
ウェーハＷの円形部Ｃを面取りするときは、ウェーハＣ
の円形部を回転する外周加工砥石４８に当接させ、その
状態からウェーハＷに回転を与えて円形部Ｃを面取りす
る。また、ウェーハＷのオリフラＯＦを面取りするとき
は、ウェーハＷのオリフラＯＦを回転する外周加工砥石
４８に当接させ、その状態から、ウェーハＷにＸ軸方向
の送りを与えてオリフラＯＦを面取りする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ面取方法及
び装置に係り、特に外周にオリフラ又はノッチが形成さ
れたウェーハのウェーハ面取方法及び装置に関する。
び装置に係り、特に外周にオリフラ又はノッチが形成さ
れたウェーハのウェーハ面取方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェーハ面取装置は、ウェーハテ
ーブルをＹ軸方向に移動自在に支持し、そのＹ軸上に外
周加工砥石を設置して構成されていた。かかる構成の面
取装置では、ウェーハの円形部の面取りをするときは、
回転するウェーハの円形部を回転する外周加工砥石に当
接させることにより面取りし、ウェーハのオリフラ部を
面取するときは、ウェーハのオリフラ部を回転する外周
加工砥石に当接させ、この状態でウェーハに微小回転及
びＹ軸方向の微小送りを与えてオリフラ部の面取を行っ
ていた。
ーブルをＹ軸方向に移動自在に支持し、そのＹ軸上に外
周加工砥石を設置して構成されていた。かかる構成の面
取装置では、ウェーハの円形部の面取りをするときは、
回転するウェーハの円形部を回転する外周加工砥石に当
接させることにより面取りし、ウェーハのオリフラ部を
面取するときは、ウェーハのオリフラ部を回転する外周
加工砥石に当接させ、この状態でウェーハに微小回転及
びＹ軸方向の微小送りを与えてオリフラ部の面取を行っ
ていた。
【０００３】ノッチ付きウェーハのノッチ部を面取りす
る場合も同様であり、ウェーハのノッチ部を回転するノ
ッチ加工砥石に押しつけ、この状態でウェーハに微小回
転及びＹ軸方向の微小送りを与えてノッチ部の面取を行
っていた。
る場合も同様であり、ウェーハのノッチ部を回転するノ
ッチ加工砥石に押しつけ、この状態でウェーハに微小回
転及びＹ軸方向の微小送りを与えてノッチ部の面取を行
っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の面取方法では、オリフラ部又はノッチ部を面取
りする場合のウェーハの移動及び回転制御が極めて困難
であり、この結果、オリフラ部又はノッチ部の真直精度
が悪くなるという欠点があった。本発明は、このような
事情に鑑みてなされたもので、外周にオリフラ又はノッ
チが形成されたウェーハを精度良く面取りすることがで
きるウェーハ面取方法及び装置を提供することを目的と
する。
た従来の面取方法では、オリフラ部又はノッチ部を面取
りする場合のウェーハの移動及び回転制御が極めて困難
であり、この結果、オリフラ部又はノッチ部の真直精度
が悪くなるという欠点があった。本発明は、このような
事情に鑑みてなされたもので、外周にオリフラ又はノッ
チが形成されたウェーハを精度良く面取りすることがで
きるウェーハ面取方法及び装置を提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、外周にオリフラが形成されたウェーハの
ウェーハ面取方法において、回転自在に支持したウェー
ハを互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持
するとともに、回転自在に支持した外周加工砥石をその
Ｙ軸上に設置し、前記ウェーハの円形部を回転する前記
外周加工砥石に当接させ、その状態から前記ウェーハに
回転を与えて前記ウェーハの円形部を面取りする工程
と、前記ウェーハのオリフラ部を回転する前記外周加工
砥石に当接させ、その状態から前記ウェーハにＸ軸方向
の送りを与えて前記ウェーハのオリフラ部を面取りする
工程と、前記ウェーハのオリフラコーナー部を回転する
前記外周加工砥石に当接させ、その状態から、前記オリ
フラコーナー部が常に前記外周加工砥石に当接するよう
に、前記ウェーハに回転とＸ軸方向の送り及びＹ軸方向
の送りを与えて前記ウェーハのコーナー部を面取りする
工程と、を所定の順で組み合わせることにより前記ウェ
ーハの周縁を面取りすることを特徴とする。
成するために、外周にオリフラが形成されたウェーハの
ウェーハ面取方法において、回転自在に支持したウェー
ハを互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持
するとともに、回転自在に支持した外周加工砥石をその
Ｙ軸上に設置し、前記ウェーハの円形部を回転する前記
外周加工砥石に当接させ、その状態から前記ウェーハに
回転を与えて前記ウェーハの円形部を面取りする工程
と、前記ウェーハのオリフラ部を回転する前記外周加工
砥石に当接させ、その状態から前記ウェーハにＸ軸方向
の送りを与えて前記ウェーハのオリフラ部を面取りする
工程と、前記ウェーハのオリフラコーナー部を回転する
前記外周加工砥石に当接させ、その状態から、前記オリ
フラコーナー部が常に前記外周加工砥石に当接するよう
に、前記ウェーハに回転とＸ軸方向の送り及びＹ軸方向
の送りを与えて前記ウェーハのコーナー部を面取りする
工程と、を所定の順で組み合わせることにより前記ウェ
ーハの周縁を面取りすることを特徴とする。
【０００６】本発明は、回転自在に支持したウェーハを
互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持し、
そのＹ軸上に回転自在に支持した外周加工砥石を設置す
る。そして、ウェーハの円形部を面取りするときは、ウ
ェーハの円形部を回転する外周加工砥石に当接させ、そ
の状態からウェーハに回転を与えて円形部を面取りす
る。また、ウェーハのオリフラ部を面取りするときは、
ウェーハのオリフラ部を回転する外周加工砥石に当接さ
せ、その状態から、ウェーハにＸ軸方向の送りを与えて
オリフラ部を面取りする。また、ウェーハのオリフラコ
ーナー部を面取りするときは、ウェーハのオリフラコー
ナー部を回転する外周加工砥石に当接させ、その状態か
ら、オリフラコーナー部が常に外周加工砥石に当接する
ように、ウェーハに回転とＸ軸方向の送り及びＹ軸方向
の送りを与えて折り触れコーナー部を面取りする。
互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持し、
そのＹ軸上に回転自在に支持した外周加工砥石を設置す
る。そして、ウェーハの円形部を面取りするときは、ウ
ェーハの円形部を回転する外周加工砥石に当接させ、そ
の状態からウェーハに回転を与えて円形部を面取りす
る。また、ウェーハのオリフラ部を面取りするときは、
ウェーハのオリフラ部を回転する外周加工砥石に当接さ
せ、その状態から、ウェーハにＸ軸方向の送りを与えて
オリフラ部を面取りする。また、ウェーハのオリフラコ
ーナー部を面取りするときは、ウェーハのオリフラコー
ナー部を回転する外周加工砥石に当接させ、その状態か
ら、オリフラコーナー部が常に外周加工砥石に当接する
ように、ウェーハに回転とＸ軸方向の送り及びＹ軸方向
の送りを与えて折り触れコーナー部を面取りする。
【０００７】また、前記目的を達成するために、外周に
ノッチが形成されたウェーハのウェーハ面取方法におい
て、回転自在に支持したウェーハを互いに直交するＸ軸
及びＹ軸方向に移動自在に支持するとともに、回転自在
に支持した外周加工砥石と回転自在に支持したノッチ加
工砥石をそのＹ軸上に設置し、前記ウェーハの円形部を
回転する前記外周加工砥石に当接させ、その状態から前
記ウェーハに回転を与えて前記ウェーハの円形部を面取
りする工程と、前記ウェーハのノッチ部を回転する前記
ノッチ加工砥石に当接させ、その状態から前記ノッチ部
が常に前記ノッチ加工砥石に当接するように、前記ウェ
ーハにＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与えて前記
ウェーハのノッチ部を面取りする工程と、前記ウェーハ
のノッチコーナー部を回転する前記ノッチ加工砥石に当
接させ、その状態から、前記ノッチコーナー部が常に前
記ノッチ加工砥石に当接するように、前記ウェーハにＸ
軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与えて前記ウェーハ
のコーナー部を面取りする工程と、を所定の順で組み合
わせることにより前記ウェーハの周縁を面取りすること
を特徴とする。
ノッチが形成されたウェーハのウェーハ面取方法におい
て、回転自在に支持したウェーハを互いに直交するＸ軸
及びＹ軸方向に移動自在に支持するとともに、回転自在
に支持した外周加工砥石と回転自在に支持したノッチ加
工砥石をそのＹ軸上に設置し、前記ウェーハの円形部を
回転する前記外周加工砥石に当接させ、その状態から前
記ウェーハに回転を与えて前記ウェーハの円形部を面取
りする工程と、前記ウェーハのノッチ部を回転する前記
ノッチ加工砥石に当接させ、その状態から前記ノッチ部
が常に前記ノッチ加工砥石に当接するように、前記ウェ
ーハにＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与えて前記
ウェーハのノッチ部を面取りする工程と、前記ウェーハ
のノッチコーナー部を回転する前記ノッチ加工砥石に当
接させ、その状態から、前記ノッチコーナー部が常に前
記ノッチ加工砥石に当接するように、前記ウェーハにＸ
軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与えて前記ウェーハ
のコーナー部を面取りする工程と、を所定の順で組み合
わせることにより前記ウェーハの周縁を面取りすること
を特徴とする。
【０００８】本発明は、回転自在に支持したウェーハを
互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持し、
そのＹ軸上に回転自在に支持した外周加工砥石と回転自
在に支持したノッチ加工砥石を設置する。そして、ウェ
ーハの円形部を面取りするときは、ウェーハの円形部を
回転する外周加工砥石に当接させ、その状態から前記ウ
ェーハに回転を与えて円形部を面取りする。また、ウェ
ーハのノッチ部を面取りするときは、ウェーハのノッチ
部を回転するノッチ加工砥石に当接させ、その状態か
ら、ノッチ部が常にノッチ加工砥石に当接するように、
ウェーハにＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与えて
ノッチ部を面取りする。また、ウェーハのノッチコーナ
ー部を面取りするときは、ウェーハのノッチコーナー部
をノッチ加工砥石に当接させ、その状態から、ノッチコ
ーナー部が常にノッチ加工砥石に当接するように、ウェ
ーハにＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与えてノッ
チコーナー部を面取りする。
互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持し、
そのＹ軸上に回転自在に支持した外周加工砥石と回転自
在に支持したノッチ加工砥石を設置する。そして、ウェ
ーハの円形部を面取りするときは、ウェーハの円形部を
回転する外周加工砥石に当接させ、その状態から前記ウ
ェーハに回転を与えて円形部を面取りする。また、ウェ
ーハのノッチ部を面取りするときは、ウェーハのノッチ
部を回転するノッチ加工砥石に当接させ、その状態か
ら、ノッチ部が常にノッチ加工砥石に当接するように、
ウェーハにＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与えて
ノッチ部を面取りする。また、ウェーハのノッチコーナ
ー部を面取りするときは、ウェーハのノッチコーナー部
をノッチ加工砥石に当接させ、その状態から、ノッチコ
ーナー部が常にノッチ加工砥石に当接するように、ウェ
ーハにＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与えてノッ
チコーナー部を面取りする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るウェーハ面取方法及び装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図１は、本発明に係るウェーハ面取装置
の実施の形態を示す側面部である。同図に示すように、
前記ウェーハ面取装置１０は、ウェーハ送り装置１２と
砥石装置１４とから構成されている。
るウェーハ面取方法及び装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図１は、本発明に係るウェーハ面取装置
の実施の形態を示す側面部である。同図に示すように、
前記ウェーハ面取装置１０は、ウェーハ送り装置１２と
砥石装置１４とから構成されている。
【００１０】まず、ウェーハ送り装置１２の構成につい
て説明する。図１〜図３に示すように、水平に配置され
たベース１６上には、一対のガイドレール１８、１８が
配設されている。このガイドレール１８、１８上には、
スライダー２０、２０、…を介してＹ軸テーブル２２が
スライド移動自在に支持されている。このＹ軸テーブル
２２は送りネジ機構によって駆動され、該送りネジ機構
は次のように構成される。
て説明する。図１〜図３に示すように、水平に配置され
たベース１６上には、一対のガイドレール１８、１８が
配設されている。このガイドレール１８、１８上には、
スライダー２０、２０、…を介してＹ軸テーブル２２が
スライド移動自在に支持されている。このＹ軸テーブル
２２は送りネジ機構によって駆動され、該送りネジ機構
は次のように構成される。
【００１１】図２に示すように、前記ベース１６上に
は、前記ガイドレール１８、１８に沿ってボールネジ２
４が配設されている。このボールネジ２４には、前記Ｙ
軸テーブル２２に固着されたナット部材２６が螺合され
ている。前記ボールネジ２４の一方端には、正逆回転可
能なモータ２８が連結されており、このモータ２８を駆
動することにより、前記ボールネジ２４は回動する。そ
して、このボールネジ２４が回動することにより、前記
ナット部材２６がボールネジ２４に沿って移動し、この
結果、前記ナット部材２６に連結されたＹ軸テーブル２
２が、ガイドレール１８、１８に沿ってスライド移動す
る。
は、前記ガイドレール１８、１８に沿ってボールネジ２
４が配設されている。このボールネジ２４には、前記Ｙ
軸テーブル２２に固着されたナット部材２６が螺合され
ている。前記ボールネジ２４の一方端には、正逆回転可
能なモータ２８が連結されており、このモータ２８を駆
動することにより、前記ボールネジ２４は回動する。そ
して、このボールネジ２４が回動することにより、前記
ナット部材２６がボールネジ２４に沿って移動し、この
結果、前記ナット部材２６に連結されたＹ軸テーブル２
２が、ガイドレール１８、１８に沿ってスライド移動す
る。
【００１２】なお、以下、このＹ軸テーブル２２がスラ
イドする方向をＹ軸方向といい、このＹ軸方向の直線の
うち前記Ｙ軸テーブル２２の中心を通る直線をＹ軸とい
う。前記Ｙ軸テーブル２２上には、Ｙ軸方向と直交する
方向に一対のガイドレール３０、３０が配設されてい
る。このガイドレール３０、３０上には、スライダ３
２、３２、…を介してＸ軸テーブル３４がスライド移動
自在に支持されている。このＸ軸テーブル３４は、前記
Ｙ軸テーブル２２と同様に送りネジ機構によって駆動さ
れ、該送りネジ機構は次のように構成される。
イドする方向をＹ軸方向といい、このＹ軸方向の直線の
うち前記Ｙ軸テーブル２２の中心を通る直線をＹ軸とい
う。前記Ｙ軸テーブル２２上には、Ｙ軸方向と直交する
方向に一対のガイドレール３０、３０が配設されてい
る。このガイドレール３０、３０上には、スライダ３
２、３２、…を介してＸ軸テーブル３４がスライド移動
自在に支持されている。このＸ軸テーブル３４は、前記
Ｙ軸テーブル２２と同様に送りネジ機構によって駆動さ
れ、該送りネジ機構は次のように構成される。
【００１３】図２に示すように、前記Ｙ軸テーブル２２
上には、前記ガイドレール３０、３０に沿ってボールネ
ジ３６が配設されている。このボールネジ３６には、前
記Ｘ軸テーブル３４に固着されたナット部材３８が螺合
されている。前記ボールネジ３６の一方端には、正逆回
転可能なモータ４０が連結されており、このモータ４０
を駆動することにより、前記ボールネジ３６は回動す
る。そして、このボールネジ３６が回動することによ
り、前記ナット部材３８がボールネジ３６に沿って移動
し、この結果、前記ナット部材３８に連結されたＸ軸テ
ーブル３４が、ガイドレール３０、３０に沿ってスライ
ド移動する。
上には、前記ガイドレール３０、３０に沿ってボールネ
ジ３６が配設されている。このボールネジ３６には、前
記Ｘ軸テーブル３４に固着されたナット部材３８が螺合
されている。前記ボールネジ３６の一方端には、正逆回
転可能なモータ４０が連結されており、このモータ４０
を駆動することにより、前記ボールネジ３６は回動す
る。そして、このボールネジ３６が回動することによ
り、前記ナット部材３８がボールネジ３６に沿って移動
し、この結果、前記ナット部材３８に連結されたＸ軸テ
ーブル３４が、ガイドレール３０、３０に沿ってスライ
ド移動する。
【００１４】なお、以下、このＸ軸テーブル３４がスラ
イドする方向をＸ軸方向といい、このＸ軸方向の直線の
うち前記Ｘ軸テーブル３４の中心を通る直線をＸ軸とい
う。前記Ｘ軸テーブル３４上には、その中央部にテーブ
ル受台４２が設置されている。このテーブル受台４２上
には、ウェーハテーブル４４が設置されており、該ウェ
ーハテーブル４４は、前記テーブル受台４２に内蔵され
た図示しないモータに駆動されて回転する。
イドする方向をＸ軸方向といい、このＸ軸方向の直線の
うち前記Ｘ軸テーブル３４の中心を通る直線をＸ軸とい
う。前記Ｘ軸テーブル３４上には、その中央部にテーブ
ル受台４２が設置されている。このテーブル受台４２上
には、ウェーハテーブル４４が設置されており、該ウェ
ーハテーブル４４は、前記テーブル受台４２に内蔵され
た図示しないモータに駆動されて回転する。
【００１５】面取りするウェーハＷは、前記ウェーハテ
ーブル４４上に真空吸着されて保持される。なお、以
下、このウェーハテーブル４４の回転中心を通る直線を
θ軸という。ウェーハ送り装置１２は、前記のごとく構
成され、この結果、前記ウェーハテーブル４４に保持さ
れるウェーハＷは、θ軸を中心とした回転に加え、Ｘ軸
及びＹ軸方向の送りを与えることができる。
ーブル４４上に真空吸着されて保持される。なお、以
下、このウェーハテーブル４４の回転中心を通る直線を
θ軸という。ウェーハ送り装置１２は、前記のごとく構
成され、この結果、前記ウェーハテーブル４４に保持さ
れるウェーハＷは、θ軸を中心とした回転に加え、Ｘ軸
及びＹ軸方向の送りを与えることができる。
【００１６】次に、前記砥石装置１４の構成について説
明する。図１に示すように、前記砥石装置１４は、砥石
受台４６を有している。この砥石受台４６は、前記ベー
ス１６に垂直に立設された図示しないコラムにスライド
自在に支持されており、図示しない駆動装置に駆動され
て該コラムに沿って昇降移動する。前記砥石受台４６の
下部には、外周加工砥石４８とノッチ加工砥石５０が設
けられており、該外周加工砥石４８とノッチ加工砥石５
０は、それぞれ前記砥石受台４６に内蔵された図示しな
いモータに駆動されて回転する。この外周加工砥石４８
とノッチ加工砥石５０は、図２に示すように、互いにＹ
軸上に設置され、かつ、ノッチ加工砥石５０が外周加工
砥石４８に対して所定高さ上方の位置に設置されてい
る。
明する。図１に示すように、前記砥石装置１４は、砥石
受台４６を有している。この砥石受台４６は、前記ベー
ス１６に垂直に立設された図示しないコラムにスライド
自在に支持されており、図示しない駆動装置に駆動され
て該コラムに沿って昇降移動する。前記砥石受台４６の
下部には、外周加工砥石４８とノッチ加工砥石５０が設
けられており、該外周加工砥石４８とノッチ加工砥石５
０は、それぞれ前記砥石受台４６に内蔵された図示しな
いモータに駆動されて回転する。この外周加工砥石４８
とノッチ加工砥石５０は、図２に示すように、互いにＹ
軸上に設置され、かつ、ノッチ加工砥石５０が外周加工
砥石４８に対して所定高さ上方の位置に設置されてい
る。
【００１７】砥石装置１４は、前記のごとく構成され、
この砥石装置１４の回転する外周加工砥石４８又はノッ
チ加工砥石５０に、前記ウェーハＷの周縁を当接される
ことにより、該ウェーハＷは、その周縁を面取りされ
る。本実施の形態のウェーハ面取装置１０は以上のよう
に構成され、その駆動を図示しない制御装置によって制
御される。
この砥石装置１４の回転する外周加工砥石４８又はノッ
チ加工砥石５０に、前記ウェーハＷの周縁を当接される
ことにより、該ウェーハＷは、その周縁を面取りされ
る。本実施の形態のウェーハ面取装置１０は以上のよう
に構成され、その駆動を図示しない制御装置によって制
御される。
【００１８】次に、前記のごとく構成された本発明に係
るウェーハ面取装置１０の実施の形態の作用について説
明する。なお、上述した面取装置１０では、オリフラ付
きウェーハＷとノッチ付きウェーハＷの両方の面取りを
行うことができるので、まず、オリフラ付きウェーハＷ
の面取り方法について説明し、次いでノッチ付きウェー
ハＷの面取り方法について説明する。
るウェーハ面取装置１０の実施の形態の作用について説
明する。なお、上述した面取装置１０では、オリフラ付
きウェーハＷとノッチ付きウェーハＷの両方の面取りを
行うことができるので、まず、オリフラ付きウェーハＷ
の面取り方法について説明し、次いでノッチ付きウェー
ハＷの面取り方法について説明する。
【００１９】図４（ａ）〜（ｆ）には、オリフラ付きウ
ェーハＷの面取方法の手順が示されている。以下、同図
を適宜参照しながら、オリフラ付きウェーハＷの面取方
法について説明する。まず、ウェーハＷの初期設定を行
う。すなわち、ウェーハテーブル４４上にウェーハＷを
位置決めして載置し、その載置したウェーハＷをウェー
ハテーブル４４で吸着保持する。
ェーハＷの面取方法の手順が示されている。以下、同図
を適宜参照しながら、オリフラ付きウェーハＷの面取方
法について説明する。まず、ウェーハＷの初期設定を行
う。すなわち、ウェーハテーブル４４上にウェーハＷを
位置決めして載置し、その載置したウェーハＷをウェー
ハテーブル４４で吸着保持する。
【００２０】ここで、前記ウェーハＷは、その中心が前
記ウェーハテーブル４４の軸心θ軸と一致するように載
置し、かつ、そのオリフラＯＦがＹ軸と平行になるよう
に設定する（図４（ａ）参照）。この状態を初期状態と
し、この初期状態において、前記ウェーハＷの軸心は、
Ｙ軸上に位置し、かつ、外周加工砥石４８の軸心から所
定距離離れた点に位置する。
記ウェーハテーブル４４の軸心θ軸と一致するように載
置し、かつ、そのオリフラＯＦがＹ軸と平行になるよう
に設定する（図４（ａ）参照）。この状態を初期状態と
し、この初期状態において、前記ウェーハＷの軸心は、
Ｙ軸上に位置し、かつ、外周加工砥石４８の軸心から所
定距離離れた点に位置する。
【００２１】一方、砥石装置１４においては、砥石受台
４６が昇降移動し、外周加工砥石４８が所定の加工位置
に位置するように高さ調整がなされる。以上の初期設定
が終了すると、ウェーハＷの面取りを開始する。まず、
外周加工砥石４８が回転駆動され、これと同時に、ウェ
ーハＷが外周加工砥石に向かってＹ軸上を移動する。ウ
ェーハＷは、所定距離移動すると、その移動が停止す
る。そして、この状態において、ウェーハＷの円形部Ｃ
が前記回転する外周加工砥石４８に当接する。
４６が昇降移動し、外周加工砥石４８が所定の加工位置
に位置するように高さ調整がなされる。以上の初期設定
が終了すると、ウェーハＷの面取りを開始する。まず、
外周加工砥石４８が回転駆動され、これと同時に、ウェ
ーハＷが外周加工砥石に向かってＹ軸上を移動する。ウ
ェーハＷは、所定距離移動すると、その移動が停止す
る。そして、この状態において、ウェーハＷの円形部Ｃ
が前記回転する外周加工砥石４８に当接する。
【００２２】図４（ａ）に示すように、ウェーハＷの円
形部Ｃが外周加工砥石４８に当接すると、これと同時
に、ウェーハＷに所定角度回転が与えられる。この結
果、前記ウェーハＷは、その円形部Ｃが、回転する外周
加工砥石４８に研削されて面取りされる。図４（ｂ）に
示すように、前記ウェーハＷが所定角度回転すると、ウ
ェーハＷと外周加工砥石４８との接触点が、ウェーハＷ
のオリフラコーナーＷROに達する。ここで、この状態か
ら、単にウェーハＷを回転させても、オリフラコーナー
ＯＲは、外周加工砥石４８から接触しなくなってしまう
ので、次のように、ウェーハＷを制御してオリフラコー
ナーＯＲの面取りを行う。
形部Ｃが外周加工砥石４８に当接すると、これと同時
に、ウェーハＷに所定角度回転が与えられる。この結
果、前記ウェーハＷは、その円形部Ｃが、回転する外周
加工砥石４８に研削されて面取りされる。図４（ｂ）に
示すように、前記ウェーハＷが所定角度回転すると、ウ
ェーハＷと外周加工砥石４８との接触点が、ウェーハＷ
のオリフラコーナーＷROに達する。ここで、この状態か
ら、単にウェーハＷを回転させても、オリフラコーナー
ＯＲは、外周加工砥石４８から接触しなくなってしまう
ので、次のように、ウェーハＷを制御してオリフラコー
ナーＯＲの面取りを行う。
【００２３】すなわち、図４（ｃ）に示すように、接触
点がウェーハＷのオリフラコーナーＯＲに達すると、ウ
ェーハＷに、θ軸を中心とした回転とＸ軸及びＹ軸方向
の送りが与えられ、オリフラコーナーＯＲが常に外周加
工砥石４８に当接するようにウェーハＷが移動する。こ
の結果、前記ウェーハＷのオリフラコーナーＯＲは、そ
の当接する外周加工砥石４８に研削されて面取りされ
る。
点がウェーハＷのオリフラコーナーＯＲに達すると、ウ
ェーハＷに、θ軸を中心とした回転とＸ軸及びＹ軸方向
の送りが与えられ、オリフラコーナーＯＲが常に外周加
工砥石４８に当接するようにウェーハＷが移動する。こ
の結果、前記ウェーハＷのオリフラコーナーＯＲは、そ
の当接する外周加工砥石４８に研削されて面取りされ
る。
【００２４】以上のように制御されたウェーハＷは、図
４（ｃ）に実線で示すように、最終的にオリフラＯＦが
Ｘ軸と平行な状態となって、オリフラコーナーＯＲの面
取りを終了する。この状態において、外周加工砥石４８
は、ウェーハＷのオリフラＯＦに当接した状態にあるの
で、この状態から連続してオリフラＯＦの面取りを行
う。
４（ｃ）に実線で示すように、最終的にオリフラＯＦが
Ｘ軸と平行な状態となって、オリフラコーナーＯＲの面
取りを終了する。この状態において、外周加工砥石４８
は、ウェーハＷのオリフラＯＦに当接した状態にあるの
で、この状態から連続してオリフラＯＦの面取りを行
う。
【００２５】オリフラＯＦの面取りは、図４（ｄ）に示
すように、ウェーハＷにＸ軸方向の送りを与えることに
より行う。この結果、ウェーハＷは、そのオリフラＯＦ
が外周加工砥石４８に当接した状態でオリフラＯＦに沿
って移動するので、オリフラＯＦは、外周加工砥石４８
に研削されて面取りされる。前記ウェーハＷのＸ軸方向
の送りは、図４（ｅ）に示すように、外周加工砥石４８
が、他方側のオリフラＯＦの端部、すなわち、他方側の
オリフラコーナーＯＲに達するまで与えられ、該オリフ
ラコーナーＯＲに達すると、再びオリフラコーナーＯＲ
の面取りを行う。
すように、ウェーハＷにＸ軸方向の送りを与えることに
より行う。この結果、ウェーハＷは、そのオリフラＯＦ
が外周加工砥石４８に当接した状態でオリフラＯＦに沿
って移動するので、オリフラＯＦは、外周加工砥石４８
に研削されて面取りされる。前記ウェーハＷのＸ軸方向
の送りは、図４（ｅ）に示すように、外周加工砥石４８
が、他方側のオリフラＯＦの端部、すなわち、他方側の
オリフラコーナーＯＲに達するまで与えられ、該オリフ
ラコーナーＯＲに達すると、再びオリフラコーナーＯＲ
の面取りを行う。
【００２６】すなわち、図４（ｆ）に示すように、接触
点がウェーハＷのオリフラコーナーＯＲに達すると、ウ
ェーハＷに、θ軸を中心とした回転とＸ軸及びＹ軸方向
の送りが与えられ、オリフラコーナーＯＲが常に外周加
工砥石４８に当接するようにウェーハＷが移動する。こ
の結果、前記ウェーハＷのオリフラコーナーＯＲは、そ
の当接する外周加工砥石４８に研削されて面取りされ
る。
点がウェーハＷのオリフラコーナーＯＲに達すると、ウ
ェーハＷに、θ軸を中心とした回転とＸ軸及びＹ軸方向
の送りが与えられ、オリフラコーナーＯＲが常に外周加
工砥石４８に当接するようにウェーハＷが移動する。こ
の結果、前記ウェーハＷのオリフラコーナーＯＲは、そ
の当接する外周加工砥石４８に研削されて面取りされ
る。
【００２７】以上のように制御されたウェーハＷは、図
４（ｆ）に破線で示すように、最終的にウェーハＷの軸
心がＹ軸上に位置して、オリフラコーナーＯＲの面取り
を終了する。この状態において、外周加工砥石４８は、
ウェーハＷの円形部Ｃに当接した状態にあるので、この
状態からウェーハＷにθ軸を中心とした回転を与えて、
円形部Ｃの面取りを行う。そして、このように、ウェー
ハＷに回転が与えられることにより、ウェーハＷは、面
取りを開始した状態、すなわち、図４（ａ）に示す状態
に戻るので、以下、上述した一連の加工を複数回繰り返
すことにより、ウェーハＷの全周に渡る面取りは終了す
る。
４（ｆ）に破線で示すように、最終的にウェーハＷの軸
心がＹ軸上に位置して、オリフラコーナーＯＲの面取り
を終了する。この状態において、外周加工砥石４８は、
ウェーハＷの円形部Ｃに当接した状態にあるので、この
状態からウェーハＷにθ軸を中心とした回転を与えて、
円形部Ｃの面取りを行う。そして、このように、ウェー
ハＷに回転が与えられることにより、ウェーハＷは、面
取りを開始した状態、すなわち、図４（ａ）に示す状態
に戻るので、以下、上述した一連の加工を複数回繰り返
すことにより、ウェーハＷの全周に渡る面取りは終了す
る。
【００２８】ウェーハＷの面取りが終了すると、ウェー
ハＷは、面取りを開始した状態、すなわち、図４（ａ）
の状態で停止し、その後、Ｙ軸上を外周加工砥石４８か
ら離れる方向に向かって移動し、初期状態に復帰する。
そして、ウェーハテーブル４４から取り出され、加工は
終了する。このように、本実施の形態のウェーハ面取方
法及び装置によれば、ウェーハＷのオリフラＯＦを面取
りするに際して、オリフラＯＦに沿った直線的な送りが
ウェーハＷに与えられるので、真直精度の高い面取加工
を容易に行うことができる。同様に、オリフラコーナー
ＯＲの面取りを行う場合も、オリフラコーナーＯＲに沿
って、常にオリフラコーナーＯＲが外周研削砥石４８に
当接するように、ウェーハＷに送りが与えられるため、
真直精度の高い面取加工を容易に行うことができる。ま
た、ウェーハＷの制御も単純化することができる。
ハＷは、面取りを開始した状態、すなわち、図４（ａ）
の状態で停止し、その後、Ｙ軸上を外周加工砥石４８か
ら離れる方向に向かって移動し、初期状態に復帰する。
そして、ウェーハテーブル４４から取り出され、加工は
終了する。このように、本実施の形態のウェーハ面取方
法及び装置によれば、ウェーハＷのオリフラＯＦを面取
りするに際して、オリフラＯＦに沿った直線的な送りが
ウェーハＷに与えられるので、真直精度の高い面取加工
を容易に行うことができる。同様に、オリフラコーナー
ＯＲの面取りを行う場合も、オリフラコーナーＯＲに沿
って、常にオリフラコーナーＯＲが外周研削砥石４８に
当接するように、ウェーハＷに送りが与えられるため、
真直精度の高い面取加工を容易に行うことができる。ま
た、ウェーハＷの制御も単純化することができる。
【００２９】なお、本実施の形態では、ウェーハＷの全
周を連続的に面取りしていたが、各部分を個別に加工す
るようにしてもよい。すなわち、最初にウェーハＷの円
形部Ｃのみを面取りし、次いで、オリフラＯＦの面取り
を行い、最後にオリフラコーナーＯＲの面取りを行うよ
うにしてもよい。また、加工順序もこれに限定されるも
のではなく、例えば、最初にオリフラＯＦの面取りを行
い、次いでオリフラコーナーＯＲの面取りを行い、最後
に円形部Ｃの面取り加工を行うようにしてもよい。
周を連続的に面取りしていたが、各部分を個別に加工す
るようにしてもよい。すなわち、最初にウェーハＷの円
形部Ｃのみを面取りし、次いで、オリフラＯＦの面取り
を行い、最後にオリフラコーナーＯＲの面取りを行うよ
うにしてもよい。また、加工順序もこれに限定されるも
のではなく、例えば、最初にオリフラＯＦの面取りを行
い、次いでオリフラコーナーＯＲの面取りを行い、最後
に円形部Ｃの面取り加工を行うようにしてもよい。
【００３０】次に、ノッチ付きウェーハＷの面取方法に
ついて説明する。図５（ａ）〜（ｅ）には、ノッチ付き
ウェーハＷの面取方法の流れが示されている。以下、前
記同様に、同図を適宜参照しながら、ノッチ付きウェー
ハＷの面取方法を説明する。まず、ウェーハＷの初期設
定を行う。すなわち、ウェーハテーブル４４上にウェー
ハＷを位置決めして載置し、その載置したウェーハＷを
ウェーハテーブル４４で吸着保持する。
ついて説明する。図５（ａ）〜（ｅ）には、ノッチ付き
ウェーハＷの面取方法の流れが示されている。以下、前
記同様に、同図を適宜参照しながら、ノッチ付きウェー
ハＷの面取方法を説明する。まず、ウェーハＷの初期設
定を行う。すなわち、ウェーハテーブル４４上にウェー
ハＷを位置決めして載置し、その載置したウェーハＷを
ウェーハテーブル４４で吸着保持する。
【００３１】ここで、前記ウェーハＷは、その中心が前
記ウェーハテーブル４４の軸心θ軸と一致するように載
置し、かつ、そのノッチＮＯがＸ軸上に位置するように
設定する（図５（ａ）参照）。この状態を初期状態と
し、この初期状態において、前記ウェーハＷの軸心は、
Ｙ軸上に位置し、かつ、外周加工砥石４８の軸心から所
定距離離れた点に位置する。
記ウェーハテーブル４４の軸心θ軸と一致するように載
置し、かつ、そのノッチＮＯがＸ軸上に位置するように
設定する（図５（ａ）参照）。この状態を初期状態と
し、この初期状態において、前記ウェーハＷの軸心は、
Ｙ軸上に位置し、かつ、外周加工砥石４８の軸心から所
定距離離れた点に位置する。
【００３２】一方、砥石装置１４においては、砥石受台
４６が昇降移動し、外周加工砥石４８が所定の加工位置
に位置するように高さ調整がなされる。以上の初期設定
が終了すると、ウェーハＷの面取りを開始する。まず、
外周加工砥石４８が回転駆動され、これと同時に、ウェ
ーハＷが外周加工砥石に向かってＹ軸上を移動する。ウ
ェーハＷは、所定距離移動すると、その移動が停止す
る。そして、この状態において、ウェーハＷの円形部Ｃ
が前記回転する外周加工砥石４８に当接する。
４６が昇降移動し、外周加工砥石４８が所定の加工位置
に位置するように高さ調整がなされる。以上の初期設定
が終了すると、ウェーハＷの面取りを開始する。まず、
外周加工砥石４８が回転駆動され、これと同時に、ウェ
ーハＷが外周加工砥石に向かってＹ軸上を移動する。ウ
ェーハＷは、所定距離移動すると、その移動が停止す
る。そして、この状態において、ウェーハＷの円形部Ｃ
が前記回転する外周加工砥石４８に当接する。
【００３３】図４（ａ）に示すように、ウェーハＷの円
形部Ｃが外周加工砥石４８に当接すると、これと同時
に、ウェーハＷに回転が与えられる。この結果、前記ウ
ェーハＷは、図５（ｂ）に示すように、その円形部Ｃが
回転する外周加工砥石４８に研削されて面取りされる。
前記ウェーハＷの円形部Ｃの面取りは、ウェーハＷが所
定回回転することにより終了する。そして、その円形部
Ｃの面取りが終了したウェーハＷは、その回転が停止さ
れるとともに、初期状態に復帰する。この状態に復帰し
たのち、次のノッチＮＯの面取り加工に入る。
形部Ｃが外周加工砥石４８に当接すると、これと同時
に、ウェーハＷに回転が与えられる。この結果、前記ウ
ェーハＷは、図５（ｂ）に示すように、その円形部Ｃが
回転する外周加工砥石４８に研削されて面取りされる。
前記ウェーハＷの円形部Ｃの面取りは、ウェーハＷが所
定回回転することにより終了する。そして、その円形部
Ｃの面取りが終了したウェーハＷは、その回転が停止さ
れるとともに、初期状態に復帰する。この状態に復帰し
たのち、次のノッチＮＯの面取り加工に入る。
【００３４】ノッチＮＯの面取りは、まず、ウェーハＷ
が初期状態からＸ軸方向に所定距離移動し、所定の加工
位置に位置する（図５（ｃ）参照）。一方、砥石装置１
４においては、砥石受台４６が所定距離下降し、ノッチ
加工砥石５０が所定の加工位置に位置する。そして、各
々が所定の加工位置に位置すると、ノッチ加工砥石５０
が回転駆動され、これと同時に、ウェーハＷにＹ軸方向
の送りが与える。
が初期状態からＸ軸方向に所定距離移動し、所定の加工
位置に位置する（図５（ｃ）参照）。一方、砥石装置１
４においては、砥石受台４６が所定距離下降し、ノッチ
加工砥石５０が所定の加工位置に位置する。そして、各
々が所定の加工位置に位置すると、ノッチ加工砥石５０
が回転駆動され、これと同時に、ウェーハＷにＹ軸方向
の送りが与える。
【００３５】ウェーハＷは、所定距離移動すると、その
移動が停止する。そして、この状態において、ウェーハ
ＷのノッチコーナーＮＲが前記回転するノッチ加工砥石
５０に当接する。図５（ｃ）に示すように、ウェーハＷ
のノッチコーナーＮＲがノッチ加工砥石５０に当接する
と、これと同時に、ウェーハＷにＸ軸方向及びＹ軸方向
の送りが与えられ、ノッチコーナーＮＲの面取りが行わ
れる。すなわち、ノッチコーナーＮＲが常にノッチ加工
砥石５０に当接するように、そのノッチコーナーＮＲの
形状に沿ってウェーハＷに送りが与えられる。この結
果、前記ウェーハＷのノッチコーナーＮＲは、当接する
ノッチ加工砥石５０に研削されて面取りされる。
移動が停止する。そして、この状態において、ウェーハ
ＷのノッチコーナーＮＲが前記回転するノッチ加工砥石
５０に当接する。図５（ｃ）に示すように、ウェーハＷ
のノッチコーナーＮＲがノッチ加工砥石５０に当接する
と、これと同時に、ウェーハＷにＸ軸方向及びＹ軸方向
の送りが与えられ、ノッチコーナーＮＲの面取りが行わ
れる。すなわち、ノッチコーナーＮＲが常にノッチ加工
砥石５０に当接するように、そのノッチコーナーＮＲの
形状に沿ってウェーハＷに送りが与えられる。この結
果、前記ウェーハＷのノッチコーナーＮＲは、当接する
ノッチ加工砥石５０に研削されて面取りされる。
【００３６】ノッチコーナーＮＲの面取りが終了する
と、ウェーハＷには、連続してＸ軸方向及びＹ軸方向の
送りが与えられ、ノッチＮＯの面取が行われる。すなわ
ち、図５（ｄ）に示すように、ノッチＮＯが常にノッチ
加工砥石５０に当接するように、そのノッチＮＯの形状
に沿ってウェーハＷに送りが与えられる。同図の場合、
ノッチＮＯは、Ｖ字状に形成されているので、このＶ字
状のノッチＮＯの形状に沿って、Ｖ字を描くようにウェ
ーハＷは移動する。この結果、前記ウェーハＷのノッチ
ＮＯが、当接するノッチ加工砥石５０に研削されて面取
りされる。
と、ウェーハＷには、連続してＸ軸方向及びＹ軸方向の
送りが与えられ、ノッチＮＯの面取が行われる。すなわ
ち、図５（ｄ）に示すように、ノッチＮＯが常にノッチ
加工砥石５０に当接するように、そのノッチＮＯの形状
に沿ってウェーハＷに送りが与えられる。同図の場合、
ノッチＮＯは、Ｖ字状に形成されているので、このＶ字
状のノッチＮＯの形状に沿って、Ｖ字を描くようにウェ
ーハＷは移動する。この結果、前記ウェーハＷのノッチ
ＮＯが、当接するノッチ加工砥石５０に研削されて面取
りされる。
【００３７】上記のようにしてノッチＮＯに沿って移動
したウェーハＷは、ノッチ加工砥石５０との接触点が、
他方側のノッチコーナーＮＲに達すると、図５（ｅ）に
示すように、連続的にノッチコーナーＮＲの面取りが行
われる。すなわち、ウェーハＷにＸ軸方向の送りとＹ軸
方向の送りが与えられ、ノッチコーナーＮＲが常にノッ
チ加工砥石５０に当接するように、そのノッチコーナー
ＮＲの形状に沿ってウェーハＷが移動する。この結果、
前記ウェーハＷのノッチコーナーＮＲは、当接するノッ
チ加工砥石５０に研削されて面取りされる。
したウェーハＷは、ノッチ加工砥石５０との接触点が、
他方側のノッチコーナーＮＲに達すると、図５（ｅ）に
示すように、連続的にノッチコーナーＮＲの面取りが行
われる。すなわち、ウェーハＷにＸ軸方向の送りとＹ軸
方向の送りが与えられ、ノッチコーナーＮＲが常にノッ
チ加工砥石５０に当接するように、そのノッチコーナー
ＮＲの形状に沿ってウェーハＷが移動する。この結果、
前記ウェーハＷのノッチコーナーＮＲは、当接するノッ
チ加工砥石５０に研削されて面取りされる。
【００３８】他方側のノッチコーナーＮＲの面取りが終
了すると、ウェーハＷの送りは、一時停止される。そし
て、この状態から、前記操作と同様の手順で、今度は逆
方向からノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの面取りを
行う。すなわち、ノッチ加工砥石５０が、他方側のノッ
チコーナーＮＲからノッチＮＯに沿って相対的に移動
し、最初の加工開始位置（図５（ｃ）に示す位置）に復
帰する。
了すると、ウェーハＷの送りは、一時停止される。そし
て、この状態から、前記操作と同様の手順で、今度は逆
方向からノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの面取りを
行う。すなわち、ノッチ加工砥石５０が、他方側のノッ
チコーナーＮＲからノッチＮＯに沿って相対的に移動
し、最初の加工開始位置（図５（ｃ）に示す位置）に復
帰する。
【００３９】以上の操作を所望に応じて複数回繰り返す
ことにより、ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの面取
り加工は終了する。ノッチＮＯの面取りが終了すると、
ウェーハＷは、ノッチＮＯの面取りを開始した状態、す
なわち、図５（ｃ）の状態で停止し、その後、Ｙ軸上を
ノッチ加工砥石５０から離れる方向に向かって移動し、
初期状態に復帰する。そして、ウェーハテーブル４４か
ら取り出され、加工は終了する。
ことにより、ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの面取
り加工は終了する。ノッチＮＯの面取りが終了すると、
ウェーハＷは、ノッチＮＯの面取りを開始した状態、す
なわち、図５（ｃ）の状態で停止し、その後、Ｙ軸上を
ノッチ加工砥石５０から離れる方向に向かって移動し、
初期状態に復帰する。そして、ウェーハテーブル４４か
ら取り出され、加工は終了する。
【００４０】このように、本実施の形態のウェーハ面取
方法及び装置によれば、ウェーハＷのノッチＮＯを面取
りするに際して、ノッチＮＯに沿った直線的な送りがウ
ェーハＷに与えられるので、形状精度の高い面取加工を
容易に行うことができる。同様に、ノッチコーナーＮＲ
の面取りを行う場合も、ノッチコーナーＮＲに沿って、
常にノッチコーナーＮＲが外周研削砥石４８に当接する
ように、ウェーハＷに送りが与えられるため、形状精度
の高い面取加工を容易に行うことができる。また、ウェ
ーハＷの制御も単純化することができる。
方法及び装置によれば、ウェーハＷのノッチＮＯを面取
りするに際して、ノッチＮＯに沿った直線的な送りがウ
ェーハＷに与えられるので、形状精度の高い面取加工を
容易に行うことができる。同様に、ノッチコーナーＮＲ
の面取りを行う場合も、ノッチコーナーＮＲに沿って、
常にノッチコーナーＮＲが外周研削砥石４８に当接する
ように、ウェーハＷに送りが与えられるため、形状精度
の高い面取加工を容易に行うことができる。また、ウェ
ーハＷの制御も単純化することができる。
【００４１】なお、本実施の形態では、最初にウェーハ
Ｗの円形部Ｃの面取りを行い、次いでノッチＮＯ及びノ
ッチコーナーＮＲの面取りを行うようにしているが、加
工順序はこれに限定されるものではなく、例えば、最初
にノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの面取りを行い、
次いでウェーハＷの円形部Ｃの面取りを行うようにして
もよい。
Ｗの円形部Ｃの面取りを行い、次いでノッチＮＯ及びノ
ッチコーナーＮＲの面取りを行うようにしているが、加
工順序はこれに限定されるものではなく、例えば、最初
にノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの面取りを行い、
次いでウェーハＷの円形部Ｃの面取りを行うようにして
もよい。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ウェーハの移動制御を、回転と直交する２軸方向の移動
との組合せで行うようにしたことにより、外周にオリフ
ラ又はノッチが形成されたウェーハであっても、その全
周に渡って周縁を精度良く面取りすることができる。
ウェーハの移動制御を、回転と直交する２軸方向の移動
との組合せで行うようにしたことにより、外周にオリフ
ラ又はノッチが形成されたウェーハであっても、その全
周に渡って周縁を精度良く面取りすることができる。
【図１】本発明に係るウェーハ面取装置の実施の形態を
示す側面図
示す側面図
【図２】ウェーハ送り装置の平面図
【図３】図２のＡ−Ａ矢視図
【図４】（ａ）〜（ｆ）は、オリフラ付きウェーハの面
取方法の説明図
取方法の説明図
【図５】（ａ）〜（ｅ）は、ノッチ付きウェーハの面取
方法の説明図
方法の説明図
１０…ウェーハ面取装置 １２…ウェーハ送り装置 １４…砥石装置 ２２…Ｙ軸テーブル ３４…Ｘ軸テーブル ４２…テーブル受台 ４４…ウェーハテーブル ４６…砥石受台 ４８…外周加工砥石 ５０…ノッチ加工砥石 Ｗ…ウェーハ Ｃ…円形部 ＯＦ…オリフラ ＯＲ…オリフラコーナー ＮＯ…ノッチ ＮＲ…ノッチコーナー
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年５月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】本発明は、回転自在に支持したウェーハを
互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持し、
そのＹ軸上に回転自在に支持した外周加工砥石を設置す
る。そして、ウェーハの円形部を面取りするときは、ウ
ェーハの円形部を回転する外周加工砥石に当接させ、そ
の状態からウェーハに回転を与えて円形部を面取りす
る。また、ウェーハのオリフラ部を面取りするときは、
ウェーハのオリフラ部を回転する外周加工砥石に当接さ
せ、その状態から、ウェーハにＸ軸方向の送りを与えて
オリフラ部を面取りする。また、ウェーハのオリフラコ
ーナー部を面取りするときは、ウェーハのオリフラコー
ナー部を回転する外周加工砥石に当接させ、その状態か
ら、オリフラコーナー部が常に外周加工砥石に当接する
ように、ウェーハに回転とＸ軸方向の送り及びＹ軸方向
の送りを与えてオリフラコーナー部を面取りする。
互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持し、
そのＹ軸上に回転自在に支持した外周加工砥石を設置す
る。そして、ウェーハの円形部を面取りするときは、ウ
ェーハの円形部を回転する外周加工砥石に当接させ、そ
の状態からウェーハに回転を与えて円形部を面取りす
る。また、ウェーハのオリフラ部を面取りするときは、
ウェーハのオリフラ部を回転する外周加工砥石に当接さ
せ、その状態から、ウェーハにＸ軸方向の送りを与えて
オリフラ部を面取りする。また、ウェーハのオリフラコ
ーナー部を面取りするときは、ウェーハのオリフラコー
ナー部を回転する外周加工砥石に当接させ、その状態か
ら、オリフラコーナー部が常に外周加工砥石に当接する
ように、ウェーハに回転とＸ軸方向の送り及びＹ軸方向
の送りを与えてオリフラコーナー部を面取りする。
Claims (4)
- 【請求項１】 外周にオリフラが形成されたウェーハの
ウェーハ面取方法において、 回転自在に支持したウェーハを互いに直交するＸ軸及び
Ｙ軸方向に移動自在に支持するとともに、回転自在に支
持した外周加工砥石をそのＹ軸上に設置し、 前記ウェーハの円形部を回転する前記外周加工砥石に当
接させ、その状態から前記ウェーハに回転を与えて前記
ウェーハの円形部を面取りする工程と、 前記ウェーハのオリフラ部を回転する前記外周加工砥石
に当接させ、その状態から前記ウェーハにＸ軸方向の送
りを与えて前記ウェーハのオリフラ部を面取りする工程
と、 前記ウェーハのオリフラコーナー部を回転する前記外周
加工砥石に当接させ、その状態から、前記オリフラコー
ナー部が常に前記外周加工砥石に当接するように、前記
ウェーハに回転とＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを
与えて前記ウェーハのコーナー部を面取りする工程と、
を所定の順で組み合わせることにより前記ウェーハの周
縁を面取りすることを特徴とするウェーハ面取方法。 - 【請求項２】 外周にオリフラが形成されたウェーハの
ウェーハ面取装置において、 互いに直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に移動自在に支持
されたテーブル受台と、 前記テーブル受台上に設置され、ウェーハを保持するウ
ェーハテーブルと、 前記テーブル受台が移動するＹ軸上に設置され、昇降移
動自在に支持された砥石受台と、 前記砥石受台に設けられ、回転自在に支持された外周加
工砥石と、 前記テーブル受台のＸ軸方向及びＹ軸方向の送り、前記
ウェーハテーブルの回転、前記砥石受台の昇降、及び、
前記外周加工砥石の回転を駆動制御する制御装置と、か
らなり、前記制御装置は、 前記ウェーハの円形部を面取りするときは、前記ウェー
ハの円形部を回転する前記外周加工砥石に当接させ、そ
の状態から前記ウェーハに回転を与え、 前記ウェーハのオリフラ部を面取りするときは、前記ウ
ェーハのオリフラ部を回転する前記外周加工砥石に当接
させ、その状態から前記ウェーハにＸ軸方向の送りを与
え、 前記ウェーハのオリフラコーナー部を面取りするとき
は、前記ウェーハのオリフラコーナー部を回転する前記
外周加工砥石に当接させ、その状態から、前記オリフラ
コーナー部が常に前記外周加工砥石に当接するように、
前記ウェーハに回転とＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送
りを与えることを特徴とするウェーハ面取装置。 - 【請求項３】 外周にノッチが形成されたウェーハのウ
ェーハ面取方法において、 回転自在に支持したウェーハを互いに直交するＸ軸及び
Ｙ軸方向に移動自在に支持するとともに、回転自在に支
持した外周加工砥石と回転自在に支持したノッチ加工砥
石をそのＹ軸上に設置し、 前記ウェーハの円形部を回転する前記外周加工砥石に当
接させ、その状態から前記ウェーハに回転を与えて前記
ウェーハの円形部を面取りする工程と、 前記ウェーハのノッチ部を回転する前記ノッチ加工砥石
に当接させ、その状態から前記ノッチ部が常に前記ノッ
チ加工砥石に当接するように、前記ウェーハにＸ軸方向
の送り及びＹ軸方向の送りを与えて前記ウェーハのノッ
チ部を面取りする工程と、 前記ウェーハのノッチコーナー部を回転する前記ノッチ
加工砥石に当接させ、その状態から、前記ノッチコーナ
ー部が常に前記ノッチ加工砥石に当接するように、前記
ウェーハにＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与えて
前記ウェーハのコーナー部を面取りする工程と、を所定
の順で組み合わせることにより前記ウェーハの周縁を面
取りすることを特徴とするウェーハ面取方法。 - 【請求項４】 外周にノッチが形成されたウェーハのウ
ェーハ面取装置において、 互いに直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に移動自在に支持
されたテーブル受台と、 前記テーブル受台上に設置され、ウェーハを保持するウ
ェーハテーブルと、 前記Ｙ軸上に設置され、昇降移動自在に支持された砥石
受台と、 前記砥石受台に設けられ、回転自在に支持された外周加
工砥石と、 前記砥石受台の前記ノッチ加工砥石と接触しない位置に
設けられ、 前記テーブル受台のＸ軸方向及びＹ軸方向の送り、前記
ウェーハテーブルの回転、前記砥石受台の昇降、前記外
周加工砥石の回転、及び、前記ノッチ加工砥石の回転を
駆動制御する制御装置と、からなり、前記制御装置は、 前記ウェーハの円形部を面取りするときは、前記ウェー
ハの円形部を回転する前記外周加工砥石に当接させ、そ
の状態から前記ウェーハに回転を与え、 前記ウェーハのノッチ部を面取りするときは、前記ウェ
ーハのノッチ部を回転する前記ノッチ加工砥石に当接さ
せ、その状態から、前記ノッチ部が常に前記ノッチ加工
砥石に当接するように、前記ウェーハにＸ軸方向の送り
及びＹ軸方向の送りを与え、 前記ウェーハのノッチコーナー部を面取りするときは、
前記ウェーハのノッチコーナー部を回転する前記ノッチ
加工砥石に当接させ、その状態から、前記ノッチコーナ
ー部が常に前記ノッチ加工砥石に当接するように、前記
ウェーハにＸ軸方向の送り及びＹ軸方向の送りを与える
ことを特徴とするウェーハ面取装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9055191A JPH10249689A (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | ウェーハ面取方法及び装置 |
| US09/037,049 US6066031A (en) | 1997-03-10 | 1998-03-09 | Wafer chamfering method and apparatus |
| TW087108544A TW377463B (en) | 1997-03-10 | 1998-06-01 | Wafer chamfering method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9055191A JPH10249689A (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | ウェーハ面取方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10249689A true JPH10249689A (ja) | 1998-09-22 |
Family
ID=12991812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9055191A Pending JPH10249689A (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | ウェーハ面取方法及び装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
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| US (1) | US6066031A (ja) |
| JP (1) | JPH10249689A (ja) |
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