JP3166842B2 - ウェーハ面取り装置 - Google Patents
ウェーハ面取り装置Info
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- JP3166842B2 JP3166842B2 JP16556798A JP16556798A JP3166842B2 JP 3166842 B2 JP3166842 B2 JP 3166842B2 JP 16556798 A JP16556798 A JP 16556798A JP 16556798 A JP16556798 A JP 16556798A JP 3166842 B2 JP3166842 B2 JP 3166842B2
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- Japan
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- wafer
- notch
- grinding
- axis
- grinding wheel
- Prior art date
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ面取り装置
に係り、特にシリコン、セラミックス等の高脆性材料の
ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り装置に
関する。
に係り、特にシリコン、セラミックス等の高脆性材料の
ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の素材となるシリコン等のウ
ェーハは、インゴットの状態からスライシングマシン等
の切断機でスライスされたのち、その周縁の割れや欠け
等を防止するために外周部に面取り加工が施される。と
ころで、これらのウェーハの外周には、その結晶方向の
判別及び整列を容易にするためにオリフラ又はノッチが
形成されていることが多い。そして、これらのウェーハ
については、オリフラ又はノッチについても同様に面取
り加工を施す必要がある。
ェーハは、インゴットの状態からスライシングマシン等
の切断機でスライスされたのち、その周縁の割れや欠け
等を防止するために外周部に面取り加工が施される。と
ころで、これらのウェーハの外周には、その結晶方向の
判別及び整列を容易にするためにオリフラ又はノッチが
形成されていることが多い。そして、これらのウェーハ
については、オリフラ又はノッチについても同様に面取
り加工を施す必要がある。
【０００３】従来のウェーハ面取り装置では、オリフラ
については外周（ウェーハの円形の部分）を面取り加工
する砥石と同じ砥石（外周研削用砥石）を用いて面取り
加工していたが、ノッチについては外周研削用砥石とは
異なるノッチ専用の砥石（ノッチ研削用砥石）を用いて
面取り加工していた。そして、従来のウェーハ面取装置
では、このノッチ研削用砥石と外周研削用砥石とが同一
直線上に配置されていた。
については外周（ウェーハの円形の部分）を面取り加工
する砥石と同じ砥石（外周研削用砥石）を用いて面取り
加工していたが、ノッチについては外周研削用砥石とは
異なるノッチ専用の砥石（ノッチ研削用砥石）を用いて
面取り加工していた。そして、従来のウェーハ面取装置
では、このノッチ研削用砥石と外周研削用砥石とが同一
直線上に配置されていた。
【０００４】すなわち、図１０（ａ）、（ｂ）に示すよ
うに、従来のウェーハ面取り装置では、ノッチ研削用砥
石１と外周研削用砥石２とが同一直線Ｌ上に配置されて
おり、外周加工時にはノッチ研削用砥石１が上方に退避
できる構成とされていた。あるいは、ノッチ研削用砥石
が外周研削用砥石に対して上下方向に位置をずらして設
置されていた。
うに、従来のウェーハ面取り装置では、ノッチ研削用砥
石１と外周研削用砥石２とが同一直線Ｌ上に配置されて
おり、外周加工時にはノッチ研削用砥石１が上方に退避
できる構成とされていた。あるいは、ノッチ研削用砥石
が外周研削用砥石に対して上下方向に位置をずらして設
置されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウェーハ面取り装置では、加工位置Ｐ（外周研削用砥石
２に向かって直線Ｌ上を移動したウェーハＷが外周研削
用砥石２と接触して研削される位置）の直前にノッチ研
削用砥石１が位置する構成となるため、外周研削用砥石
２やウェーハテーブル３のメンテナンスをする際にノッ
チ研削用砥石１が邪魔になり、作業がしにくいという欠
点があった。
ウェーハ面取り装置では、加工位置Ｐ（外周研削用砥石
２に向かって直線Ｌ上を移動したウェーハＷが外周研削
用砥石２と接触して研削される位置）の直前にノッチ研
削用砥石１が位置する構成となるため、外周研削用砥石
２やウェーハテーブル３のメンテナンスをする際にノッ
チ研削用砥石１が邪魔になり、作業がしにくいという欠
点があった。
【０００６】また、ノッチ研削用砥石と外周研削用砥石
の位置をずらして設置した場合は、別途砥石又はウェー
ハを上下動させる機構が必要となるとともに、その上下
動のストロークを長く設定しなければならず、装置が複
雑かつ大型化するという欠点があった。同様にノッチ研
削用砥石を上方又は下方に退避させる場合には、このノ
ッチ研削用砥石を上方又は下方に移動させる機構が別途
必要となり、装置が複雑かつ大型化するという欠点があ
った。
の位置をずらして設置した場合は、別途砥石又はウェー
ハを上下動させる機構が必要となるとともに、その上下
動のストロークを長く設定しなければならず、装置が複
雑かつ大型化するという欠点があった。同様にノッチ研
削用砥石を上方又は下方に退避させる場合には、このノ
ッチ研削用砥石を上方又は下方に移動させる機構が別途
必要となり、装置が複雑かつ大型化するという欠点があ
った。
【０００７】また、一般にウェーハの面取り加工は粗研
加工と精研加工を行う必要があるが、従来は、この粗研
加工と精研加工を別々のウェーハ面取り装置を用いて行
っていた。または、粗研用と精研用の砥石を同軸上に配
置した複合砥石を用いて行っていた。しかしながら、粗
研加工と精研加工を別々のウェーハ面取り装置を用いて
行う場合は、ウェーハ面取り装置が２台必要となるとい
う欠点があるとともに、一方の装置から他方の装置にウ
ェーハを搬送する必要が生じるため、加工効率が悪いと
いう欠点があった。また、このウェーハを搬送する過程
でウェーハの中心がズレて加工精度が低下するという欠
点もあった。
加工と精研加工を行う必要があるが、従来は、この粗研
加工と精研加工を別々のウェーハ面取り装置を用いて行
っていた。または、粗研用と精研用の砥石を同軸上に配
置した複合砥石を用いて行っていた。しかしながら、粗
研加工と精研加工を別々のウェーハ面取り装置を用いて
行う場合は、ウェーハ面取り装置が２台必要となるとい
う欠点があるとともに、一方の装置から他方の装置にウ
ェーハを搬送する必要が生じるため、加工効率が悪いと
いう欠点があった。また、このウェーハを搬送する過程
でウェーハの中心がズレて加工精度が低下するという欠
点もあった。
【０００８】一方、粗研用と精研用の砥石を同軸上に配
置した複合砥石を用いて面取り加工をした場合は１台の
ウェーハ面取り装置で粗研加工と精研加工を行うことが
できるが、ノッチ研削用砥石は細いため全長が長くなる
複合砥石とした場合は剛性が不足するという欠点があっ
た。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもの
で、精度よくウェーハを面取り加工することができ、メ
ンテナンスが容易なウェーハ面取り装置を提供すること
を目的とする。
置した複合砥石を用いて面取り加工をした場合は１台の
ウェーハ面取り装置で粗研加工と精研加工を行うことが
できるが、ノッチ研削用砥石は細いため全長が長くなる
複合砥石とした場合は剛性が不足するという欠点があっ
た。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもの
で、精度よくウェーハを面取り加工することができ、メ
ンテナンスが容易なウェーハ面取り装置を提供すること
を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、外周研削用スピンドルに装着されて回転
する外周研削用砥石に向かってウェーハテーブルに保持
されて回転するウェーハを近づけることにより、ウェー
ハの外周を外周研削用砥石に押し当てて該ウェーハの外
周を面取り加工するとともに、ノッチスピンドルに装着
されて回転するノッチ研削用砥石に向かって前記ウェー
ハテーブルに保持されたウェーハを近づけることによ
り、ウェーハのノッチをノッチ研削用砥石に押し当てて
該ウェーハのノッチを面取り加工し、前記外周研削用砥
石は、粗研用の砥石と精研用の砥石とを同軸上に積み重
ねて構成されており、前記ノッチスピンドルは、粗研用
のノッチ研削用砥石が装着された第１ノッチスピンドル
と精研用のノッチ研削用砥石が装着された第２ノッチス
ピンドルとで構成され、前記第１ノッチスピンドルと第
２ノッチスピンドルとは、前記外周研削用スピンドルと
前記ウェーハテーブルとの間に配置されるとともに、そ
の中心が前記外周研削用スピンドルの中心と前記ウェー
ハテーブルの中心とを結ぶ直線を挟んで両側に設置され
ていることを特徴とする。
成するために、外周研削用スピンドルに装着されて回転
する外周研削用砥石に向かってウェーハテーブルに保持
されて回転するウェーハを近づけることにより、ウェー
ハの外周を外周研削用砥石に押し当てて該ウェーハの外
周を面取り加工するとともに、ノッチスピンドルに装着
されて回転するノッチ研削用砥石に向かって前記ウェー
ハテーブルに保持されたウェーハを近づけることによ
り、ウェーハのノッチをノッチ研削用砥石に押し当てて
該ウェーハのノッチを面取り加工し、前記外周研削用砥
石は、粗研用の砥石と精研用の砥石とを同軸上に積み重
ねて構成されており、前記ノッチスピンドルは、粗研用
のノッチ研削用砥石が装着された第１ノッチスピンドル
と精研用のノッチ研削用砥石が装着された第２ノッチス
ピンドルとで構成され、前記第１ノッチスピンドルと第
２ノッチスピンドルとは、前記外周研削用スピンドルと
前記ウェーハテーブルとの間に配置されるとともに、そ
の中心が前記外周研削用スピンドルの中心と前記ウェー
ハテーブルの中心とを結ぶ直線を挟んで両側に設置され
ていることを特徴とする。
【００１０】本発明によれば、外周研削用スピンドルの
中心とウェーハテーブルの中心とを結ぶ直線に対してオ
フセットされた位置にノッチ研削用スピンドルが設置さ
れている。
中心とウェーハテーブルの中心とを結ぶ直線に対してオ
フセットされた位置にノッチ研削用スピンドルが設置さ
れている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るウェーハ面取り装置の好ましい実施の形態について詳
説する。図１、図２は、それぞれ本発明に係るウェーハ
面取り装置１０の構成を示す側面図と平面図である。ま
た、図３、図４は、それぞれ図１のＡ−Ａ断面図とＢ−
Ｂ断面図である。
るウェーハ面取り装置の好ましい実施の形態について詳
説する。図１、図２は、それぞれ本発明に係るウェーハ
面取り装置１０の構成を示す側面図と平面図である。ま
た、図３、図４は、それぞれ図１のＡ−Ａ断面図とＢ−
Ｂ断面図である。
【００１２】図１、図２に示すように、本実施の形態の
ウェーハ面取り装置１０は、主としてウェーハ送りユニ
ット４２、外周研削ユニット４４及びノッチ研削ユニッ
ト４６から構成されている。まず、ウェーハ送りユニッ
ト４２の構成について説明する。図１、図２及び図３に
示すように、水平に配設されたベースプレート５０上に
は、一対のＹ軸ガイドレール５２、５２が所定の間隔を
もって敷設されている。この一対のＹ軸ガイドレール５
２、５２上にはＹ軸リニアガイド５４、５４、…を介し
てＹ軸テーブル５６がスライド自在に支持されている。
ウェーハ面取り装置１０は、主としてウェーハ送りユニ
ット４２、外周研削ユニット４４及びノッチ研削ユニッ
ト４６から構成されている。まず、ウェーハ送りユニッ
ト４２の構成について説明する。図１、図２及び図３に
示すように、水平に配設されたベースプレート５０上に
は、一対のＹ軸ガイドレール５２、５２が所定の間隔を
もって敷設されている。この一対のＹ軸ガイドレール５
２、５２上にはＹ軸リニアガイド５４、５４、…を介し
てＹ軸テーブル５６がスライド自在に支持されている。
【００１３】Ｙ軸テーブル５６の下面にはナット部材５
８が固着されており、該ナット部材５８は前記一対のＹ
軸ガイドレール５２、５２の間に配設されたＹ軸ボール
ネジ６０に螺合されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、そ
の両端部が前記ベースプレート５０上に配設された軸受
部材６２、６２に回動自在に支持されており、その一方
端には一方の軸受部材６２に設けられたＹ軸モータ６４
の出力軸が連結されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、こ
のＹ軸モータ６４を駆動することにより回動し、この結
果、前記Ｙ軸テーブル５６がＹ軸ガイドレール５２、５
２に沿って水平にスライド移動する。なお、以下、この
Ｙ軸テーブル５６がスライドする方向をＹ軸方向とす
る。
８が固着されており、該ナット部材５８は前記一対のＹ
軸ガイドレール５２、５２の間に配設されたＹ軸ボール
ネジ６０に螺合されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、そ
の両端部が前記ベースプレート５０上に配設された軸受
部材６２、６２に回動自在に支持されており、その一方
端には一方の軸受部材６２に設けられたＹ軸モータ６４
の出力軸が連結されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、こ
のＹ軸モータ６４を駆動することにより回動し、この結
果、前記Ｙ軸テーブル５６がＹ軸ガイドレール５２、５
２に沿って水平にスライド移動する。なお、以下、この
Ｙ軸テーブル５６がスライドする方向をＹ軸方向とす
る。
【００１４】前記Ｙ軸テーブル５６上には、図１、図２
及び図４に示すように、前記一対のＹ軸ガイドレール５
２、５２と直交するように一対のＸ軸ガイドレール６
６、６６が敷設されている。この一対のＸ軸ガイドレー
ル６６、６６上にはＸ軸リニアガイド６８、６８、…を
介してＸ軸テーブル７０がスライド自在に支持されてい
る。
及び図４に示すように、前記一対のＹ軸ガイドレール５
２、５２と直交するように一対のＸ軸ガイドレール６
６、６６が敷設されている。この一対のＸ軸ガイドレー
ル６６、６６上にはＸ軸リニアガイド６８、６８、…を
介してＸ軸テーブル７０がスライド自在に支持されてい
る。
【００１５】Ｘ軸テーブル７０の下面にはナット部材７
２が固着されており、該ナット部材７２は前記一対のＸ
軸ガイドレール６６、６６の間に配設されたＸ軸ボール
ネジ７４に螺合されている。Ｘ軸ボールネジ７４は、そ
の両端部が前記Ｘ軸テーブル７０上に配設された軸受部
材７６、７６に回動自在に支持されており、その一方端
には一方の軸受部材７６に設けられたＸ軸モータ７８の
出力軸が連結されている。Ｘ軸ボールネジ７４は、この
Ｘ軸モータ７８を駆動することにより回動し、この結
果、前記Ｘ軸テーブル７０がＸ軸ガイドレール６６、６
６に沿って水平にスライド移動する。なお、以下、この
Ｘ軸テーブル７０がスライドする方向をＸ軸方向とす
る。
２が固着されており、該ナット部材７２は前記一対のＸ
軸ガイドレール６６、６６の間に配設されたＸ軸ボール
ネジ７４に螺合されている。Ｘ軸ボールネジ７４は、そ
の両端部が前記Ｘ軸テーブル７０上に配設された軸受部
材７６、７６に回動自在に支持されており、その一方端
には一方の軸受部材７６に設けられたＸ軸モータ７８の
出力軸が連結されている。Ｘ軸ボールネジ７４は、この
Ｘ軸モータ７８を駆動することにより回動し、この結
果、前記Ｘ軸テーブル７０がＸ軸ガイドレール６６、６
６に沿って水平にスライド移動する。なお、以下、この
Ｘ軸テーブル７０がスライドする方向をＸ軸方向とす
る。
【００１６】前記Ｘ軸テーブル７０上には、図１及び図
２に示すように、垂直にＺ軸ベース８０が立設されてお
り、該Ｚ軸ベース８０には一対のＺ軸ガイドレール８
２、８２が所定の間隔をもって敷設されている。この一
対のＺ軸ガイドレール８２、８２にはＺ軸リニアガイド
８４、８４を介してＺ軸テーブル８６がスライド自在に
支持されている。
２に示すように、垂直にＺ軸ベース８０が立設されてお
り、該Ｚ軸ベース８０には一対のＺ軸ガイドレール８
２、８２が所定の間隔をもって敷設されている。この一
対のＺ軸ガイドレール８２、８２にはＺ軸リニアガイド
８４、８４を介してＺ軸テーブル８６がスライド自在に
支持されている。
【００１７】Ｚ軸テーブル８６の側面にはナット部材８
８が固着されており、該ナット部材８８は前記一対のＺ
軸ガイドレール８２、８２の間に配設されたＺ軸ボール
ネジ９０に螺合されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、そ
の両端部が前記Ｚ軸ベース８０に配設された軸受部材９
２、９２に回動自在に支持されており、その下端部には
下側の軸受部材９２に設けられたＺ軸モータ９４の出力
軸が連結されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、このＺ軸
モータ９４を駆動することにより回動し、この結果、前
記Ｚ軸テーブル８６がＺ軸ガイドレール８２、８２に沿
って垂直にスライド移動する。なお、以下、このＺ軸テ
ーブル８６がスライドする方向をＺ軸方向とする。
８が固着されており、該ナット部材８８は前記一対のＺ
軸ガイドレール８２、８２の間に配設されたＺ軸ボール
ネジ９０に螺合されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、そ
の両端部が前記Ｚ軸ベース８０に配設された軸受部材９
２、９２に回動自在に支持されており、その下端部には
下側の軸受部材９２に設けられたＺ軸モータ９４の出力
軸が連結されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、このＺ軸
モータ９４を駆動することにより回動し、この結果、前
記Ｚ軸テーブル８６がＺ軸ガイドレール８２、８２に沿
って垂直にスライド移動する。なお、以下、このＺ軸テ
ーブル８６がスライドする方向をＺ軸方向とする。
【００１８】前記Ｚ軸テーブル８６上にはθ軸モータ９
６が垂直に設置されている。このθ軸モータ９６の出力
軸にはθ軸シャフト９８が連結されており、このθ軸シ
ャフト９８の上端部にウェーハテーブル１００が水平に
固着されている。面取り加工するウェーハＷは、このウ
ェーハテーブル１００上に位置決めして載置され、真空
吸着によって保持される。そして、保持されたウェーハ
Ｗは、前記θ軸モータ９６を駆動することによりθ軸回
りに回転する。
６が垂直に設置されている。このθ軸モータ９６の出力
軸にはθ軸シャフト９８が連結されており、このθ軸シ
ャフト９８の上端部にウェーハテーブル１００が水平に
固着されている。面取り加工するウェーハＷは、このウ
ェーハテーブル１００上に位置決めして載置され、真空
吸着によって保持される。そして、保持されたウェーハ
Ｗは、前記θ軸モータ９６を駆動することによりθ軸回
りに回転する。
【００１９】以上のように構成されたウェーハ送りユニ
ット４２において、ウェーハＷを保持したウェーハテー
ブル１００は、Ｙ軸モータ６４を駆動することによりＹ
軸方向に沿って水平にスライド移動し、Ｘ軸モータ７８
を駆動することによりＸ軸方向に沿って水平にスライド
移動する。そして、Ｚ軸モータ９４を駆動することによ
りＺ軸方向に沿って垂直にスライド移動し、θ軸モータ
９６を駆動することによりθ軸回りに回転する。
ット４２において、ウェーハＷを保持したウェーハテー
ブル１００は、Ｙ軸モータ６４を駆動することによりＹ
軸方向に沿って水平にスライド移動し、Ｘ軸モータ７８
を駆動することによりＸ軸方向に沿って水平にスライド
移動する。そして、Ｚ軸モータ９４を駆動することによ
りＺ軸方向に沿って垂直にスライド移動し、θ軸モータ
９６を駆動することによりθ軸回りに回転する。
【００２０】次に、外周研削ユニット４４の構成につい
て説明する。図１、図２及び図５に示すように、前記ベ
ースプレート５０上には垂直に架台１０２が設置されて
いる。架台１０２上には外周モータ１０４が垂直に設置
されており、この外周モータ１０４の出力軸には外周ス
ピンドル１０６が連結されている。ウェーハＷの外周を
面取り加工する外周研削用砥石１０８は、この外周スピ
ンドル１０６に装着される。
て説明する。図１、図２及び図５に示すように、前記ベ
ースプレート５０上には垂直に架台１０２が設置されて
いる。架台１０２上には外周モータ１０４が垂直に設置
されており、この外周モータ１０４の出力軸には外周ス
ピンドル１０６が連結されている。ウェーハＷの外周を
面取り加工する外周研削用砥石１０８は、この外周スピ
ンドル１０６に装着される。
【００２１】ここで、この外周研削用砥石１０８は、粗
研用の砥石１０８Ａと精研用の砥石１０８Ｂを同軸上に
積み重ねて構成されており（複合砥石）、一つの砥石で
粗加工と仕上げ加工を一度にできるように構成されてい
る。また、この粗研用の砥石１０８Ａと精研用の砥石１
０８Ｂの外周には、それぞれウェーハＷに要求される面
取り形状と同じ形状の溝１０８ａ、１０８ｂが形成され
ており（総形砥石）、この溝１０８ａ、１０８ｂにウェ
ーハＷの外周を押し当てることにより、ウェーハＷの外
周が面取り加工される。
研用の砥石１０８Ａと精研用の砥石１０８Ｂを同軸上に
積み重ねて構成されており（複合砥石）、一つの砥石で
粗加工と仕上げ加工を一度にできるように構成されてい
る。また、この粗研用の砥石１０８Ａと精研用の砥石１
０８Ｂの外周には、それぞれウェーハＷに要求される面
取り形状と同じ形状の溝１０８ａ、１０８ｂが形成され
ており（総形砥石）、この溝１０８ａ、１０８ｂにウェ
ーハＷの外周を押し当てることにより、ウェーハＷの外
周が面取り加工される。
【００２２】なお以下、必要に応じて前記粗研用の砥石
１０８Ａを外周粗研用砥石１０８Ａと呼び、精研用の砥
石１０８Ｂを外周精研用砥石１０８Ｂと呼ぶ。また、前
記外周研削用砥石１０８の回転中心Ｏを通り前記Ｙ軸ガ
イドレール５２、５２と平行な直線を『Ｙ軸』と呼び、
外周研削用砥石１０８の回転中心Ｏを通り、前記Ｘ軸ガ
イドレール６６、６６と平行な直線を『Ｘ軸』と呼ぶ。
また、外周研削用砥石１０８の回転軸を『Ｚ軸』とす
る。
１０８Ａを外周粗研用砥石１０８Ａと呼び、精研用の砥
石１０８Ｂを外周精研用砥石１０８Ｂと呼ぶ。また、前
記外周研削用砥石１０８の回転中心Ｏを通り前記Ｙ軸ガ
イドレール５２、５２と平行な直線を『Ｙ軸』と呼び、
外周研削用砥石１０８の回転中心Ｏを通り、前記Ｘ軸ガ
イドレール６６、６６と平行な直線を『Ｘ軸』と呼ぶ。
また、外周研削用砥石１０８の回転軸を『Ｚ軸』とす
る。
【００２３】次に、ノッチ研削ユニット４６の構成につ
いて説明する。図１、図２及び図５に示すように、前記
架台１０２の両側部には前記外周研削用砥石１０８の回
転軸に沿って一対の支柱１１０Ａ、１１０Ｂが垂直に配
設されている。この一対の支柱１１０Ａ、１１０Ｂの下
端部は前記架台１０２に支持されている。前記一対の支
柱１１０Ａ、１１０Ｂの上端部には、それぞれ水平な梁
部１１１Ａ、１１１Ｂが一体成形されている。この梁部
１１１Ａ、１１１Ｂの先端には、それぞれ一対の軸受部
材１１２Ａ、１１２Ｂが配設されており、該軸受部材１
１２Ａ、１１２Ｂにピン１１４Ａ、１１４Ｂを介してア
ーム１１６Ａ、１１６Ｂが揺動自在に支持されている。
このアーム１１６Ａ、１１６Ｂは、それぞれ図示しない
ロック手段によって水平位置（図５の実線の位置）及び
垂直位置（図４の二点破線の位置）においてロックされ
る。なお、以下この一対のアーム１１６Ａ、１１６Ｂを
それぞれ第１アーム１１６Ａ、第２アーム１１６Ｂと呼
ぶ。
いて説明する。図１、図２及び図５に示すように、前記
架台１０２の両側部には前記外周研削用砥石１０８の回
転軸に沿って一対の支柱１１０Ａ、１１０Ｂが垂直に配
設されている。この一対の支柱１１０Ａ、１１０Ｂの下
端部は前記架台１０２に支持されている。前記一対の支
柱１１０Ａ、１１０Ｂの上端部には、それぞれ水平な梁
部１１１Ａ、１１１Ｂが一体成形されている。この梁部
１１１Ａ、１１１Ｂの先端には、それぞれ一対の軸受部
材１１２Ａ、１１２Ｂが配設されており、該軸受部材１
１２Ａ、１１２Ｂにピン１１４Ａ、１１４Ｂを介してア
ーム１１６Ａ、１１６Ｂが揺動自在に支持されている。
このアーム１１６Ａ、１１６Ｂは、それぞれ図示しない
ロック手段によって水平位置（図５の実線の位置）及び
垂直位置（図４の二点破線の位置）においてロックされ
る。なお、以下この一対のアーム１１６Ａ、１１６Ｂを
それぞれ第１アーム１１６Ａ、第２アーム１１６Ｂと呼
ぶ。
【００２４】前記第１アーム１１６Ａと第２アーム１１
６Ｂの先端には、それぞれ第１ノッチモータ１１８Ａと
第２ノッチモータ１１８Ｂが支持されている。この第１
ノッチモータ１１８Ａと第２ノッチモータ１１８Ｂの出
力軸には、それぞれ第１ノッチスピンドル１２０Ａと第
２ノッチスピンドル１２０Ｂが連結されている。前記第
１ノッチスピンドル１２０Ａには、ノッチ粗研用砥石１
２２Ａが装着されており、このノッチ粗研用砥石１２２
Ａによってノッチの粗研面取り加工が行われる。一方、
前記第２ノッチスピンドル１２０Ｂには、ノッチ精研用
砥石１２２Ｂが装着されており、このノッチ精研用砥石
１２２Ｂによってノッチの仕上げ面取り加工が行われ
る。
６Ｂの先端には、それぞれ第１ノッチモータ１１８Ａと
第２ノッチモータ１１８Ｂが支持されている。この第１
ノッチモータ１１８Ａと第２ノッチモータ１１８Ｂの出
力軸には、それぞれ第１ノッチスピンドル１２０Ａと第
２ノッチスピンドル１２０Ｂが連結されている。前記第
１ノッチスピンドル１２０Ａには、ノッチ粗研用砥石１
２２Ａが装着されており、このノッチ粗研用砥石１２２
Ａによってノッチの粗研面取り加工が行われる。一方、
前記第２ノッチスピンドル１２０Ｂには、ノッチ精研用
砥石１２２Ｂが装着されており、このノッチ精研用砥石
１２２Ｂによってノッチの仕上げ面取り加工が行われ
る。
【００２５】ところで、図２及び図５に示すように、前
記第１ノッチスピンドル１２０Ａと第２ノッチスピンド
ル１２０Ｂは、前記第１アーム１１６Ａと第２アーム１
１６Ｂが水平に保持されると、Ｙ軸を挟んで左右対称位
置に配置される。また、前記外周研削用砥石１０８と同
じ高さの位置に配置される。なお、詳しくは図示されて
いないが、このノッチ粗研用砥石１２２Ａとノッチ精研
用砥石１２２Ｂの外周にも前記外周研削用砥石１０８と
同様にウェーハＷに要求される面取り形状と同じ形状の
溝が形成されている。
記第１ノッチスピンドル１２０Ａと第２ノッチスピンド
ル１２０Ｂは、前記第１アーム１１６Ａと第２アーム１
１６Ｂが水平に保持されると、Ｙ軸を挟んで左右対称位
置に配置される。また、前記外周研削用砥石１０８と同
じ高さの位置に配置される。なお、詳しくは図示されて
いないが、このノッチ粗研用砥石１２２Ａとノッチ精研
用砥石１２２Ｂの外周にも前記外周研削用砥石１０８と
同様にウェーハＷに要求される面取り形状と同じ形状の
溝が形成されている。
【００２６】次に、前記のごとく構成された本発明に係
るウェーハ面取り装置１０の実施の形態の作用について
説明する。初期状態において、ウェーハテーブル１００
は、その回転軸θがＹ軸上に位置するとともに、外周研
削用砥石１０８から所定距離離れた位置に位置してい
る。また、外周研削用砥石１０８に対して所定高さの位
置に位置している。以下、このウェーハテーブル１００
の位置を『原点位置』とする。
るウェーハ面取り装置１０の実施の形態の作用について
説明する。初期状態において、ウェーハテーブル１００
は、その回転軸θがＹ軸上に位置するとともに、外周研
削用砥石１０８から所定距離離れた位置に位置してい
る。また、外周研削用砥石１０８に対して所定高さの位
置に位置している。以下、このウェーハテーブル１００
の位置を『原点位置』とする。
【００２７】まず、ウェーハＷを図示しない搬送装置に
よってウェーハテーブル１００上に位置決めして載置す
る。この際、ウェーハＷは、その中心ＯW がウェーハテ
ーブル１００の回転軸θと一致するように載置し、ま
た、そのノッチＮＯがＹ軸上に位置するように載置す
る。ウェーハＷがウェーハテーブル１００上に載置され
ると、そのウェーハＷがウェーハテーブル１００に吸着
保持される。そして、このウェーハＷがウェーハテーブ
ル１００に吸着保持されるとウェーハＷの面取り加工が
開始される。ウェーハＷの面取り加工は、まずウェーハ
Ｗの外周の部分（ウェーハＷの円形の部分）Ｃから行わ
れる。
よってウェーハテーブル１００上に位置決めして載置す
る。この際、ウェーハＷは、その中心ＯW がウェーハテ
ーブル１００の回転軸θと一致するように載置し、ま
た、そのノッチＮＯがＹ軸上に位置するように載置す
る。ウェーハＷがウェーハテーブル１００上に載置され
ると、そのウェーハＷがウェーハテーブル１００に吸着
保持される。そして、このウェーハＷがウェーハテーブ
ル１００に吸着保持されるとウェーハＷの面取り加工が
開始される。ウェーハＷの面取り加工は、まずウェーハ
Ｗの外周の部分（ウェーハＷの円形の部分）Ｃから行わ
れる。
【００２８】図６（ａ）〜（ｄ）には、そのウェーハＷ
の外周Ｃを面取り加工する場合の加工手順が示されてい
る。まず、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェーハテーブ
ル１００がＺ軸方向に沿って所定量移動する。これによ
り、ウェーハテーブル１００に保持されたウェーハＷが
外周研削用砥石１０８の溝１０８ａと同じ高さに位置す
る。このウェーハＷの位置を『外周粗研加工位置』とす
る。
の外周Ｃを面取り加工する場合の加工手順が示されてい
る。まず、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェーハテーブ
ル１００がＺ軸方向に沿って所定量移動する。これによ
り、ウェーハテーブル１００に保持されたウェーハＷが
外周研削用砥石１０８の溝１０８ａと同じ高さに位置す
る。このウェーハＷの位置を『外周粗研加工位置』とす
る。
【００２９】次に、外周モータ１０４とθ軸モータ９６
が駆動され、外周研削用砥石１０８とウェーハテーブル
１００が共に同方向に高速回転する。次に、Ｙ軸モータ
６４が駆動され、ウェーハＷがＹ軸上を外周研削用砥石
１０８に向かって送られる。このとき、ウェーハＷは外
周研削用砥石１０８に接触する直前まで比較的速いスピ
ードで送られ、その後、減速してゆっくりとしたスピー
ドで送られる。
が駆動され、外周研削用砥石１０８とウェーハテーブル
１００が共に同方向に高速回転する。次に、Ｙ軸モータ
６４が駆動され、ウェーハＷがＹ軸上を外周研削用砥石
１０８に向かって送られる。このとき、ウェーハＷは外
周研削用砥石１０８に接触する直前まで比較的速いスピ
ードで送られ、その後、減速してゆっくりとしたスピー
ドで送られる。
【００３０】外周研削用砥石１０８に向かって送られた
ウェーハＷは、図６（ｂ）に示すように、その外周が外
周粗研用砥石１０８Ａの溝１０８ａに接触する。この接
触後もウェーハＷはゆっくりとしたスピードで外周研削
用砥石１０８に向けて送られ、この結果、ウェーハＷの
外周Ｃが外周粗研用砥石１０８Ａに微小量ずつ研削され
て粗面取り加工される。
ウェーハＷは、図６（ｂ）に示すように、その外周が外
周粗研用砥石１０８Ａの溝１０８ａに接触する。この接
触後もウェーハＷはゆっくりとしたスピードで外周研削
用砥石１０８に向けて送られ、この結果、ウェーハＷの
外周Ｃが外周粗研用砥石１０８Ａに微小量ずつ研削され
て粗面取り加工される。
【００３１】図６（ｃ）に示すように、ウェーハＷの送
りは、外周研削用砥石１０８とウェーハテーブル１００
との軸間距離が所定距離Ｌ1 に達するまで与えられる。
そして、この軸間距離が所定距離Ｌ1 に達するとＹ軸モ
ータ６４の駆動が停止される。停止後、Ｙ軸モータ６４
は逆方向に駆動され、これにより、ウェーハＷがＹ軸上
を外周研削用砥石１０８から離れる方向に移動する。そ
して、図６（ｄ）に示すように、ウェーハＷが前記外周
粗研加工位置に復帰すると、Ｙ軸モータ６４の駆動が停
止される。
りは、外周研削用砥石１０８とウェーハテーブル１００
との軸間距離が所定距離Ｌ1 に達するまで与えられる。
そして、この軸間距離が所定距離Ｌ1 に達するとＹ軸モ
ータ６４の駆動が停止される。停止後、Ｙ軸モータ６４
は逆方向に駆動され、これにより、ウェーハＷがＹ軸上
を外周研削用砥石１０８から離れる方向に移動する。そ
して、図６（ｄ）に示すように、ウェーハＷが前記外周
粗研加工位置に復帰すると、Ｙ軸モータ６４の駆動が停
止される。
【００３２】以上により、ウェーハＷの外周Ｃの粗面取
り加工が終了する。次に、ウェーハＷの外周の仕上げ面
取り加工が行われる。ウェーハＷが外周粗研加工位置に
復帰すると、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェーハテー
ブル１００がＺ軸方向に沿って所定量移動する。この結
果、ウェーハＷが外周精研用砥石１０８Ｂの溝１０８ｂ
と同じ高さに位置する。このウェーハＷの位置を『外周
精研加工位置』とする。
り加工が終了する。次に、ウェーハＷの外周の仕上げ面
取り加工が行われる。ウェーハＷが外周粗研加工位置に
復帰すると、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェーハテー
ブル１００がＺ軸方向に沿って所定量移動する。この結
果、ウェーハＷが外周精研用砥石１０８Ｂの溝１０８ｂ
と同じ高さに位置する。このウェーハＷの位置を『外周
精研加工位置』とする。
【００３３】次に、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェー
ハＷがＹ軸上を外周研削用砥石１０８に向かって送られ
る。このとき、ウェーハＷは前記同様に外周研削用砥石
１０８に接触する直前まで比較的速いスピードで送ら
れ、その後、減速してゆっくりとしたスピードで送られ
る。外周研削用砥石１０８に向かって送られたウェーハ
Ｗは、その外周Ｃが外周精研用砥石１０８Ｂの溝１０８
ｂに接触する。この接触後もウェーハＷはゆっくりとし
たスピードで外周研削用砥石１０８に向けて送られ、こ
の結果、ウェーハＷの外周Ｃが外周精研用砥石１０８Ｂ
に微小量ずつ研削されて仕上げ面取り加工される。
ハＷがＹ軸上を外周研削用砥石１０８に向かって送られ
る。このとき、ウェーハＷは前記同様に外周研削用砥石
１０８に接触する直前まで比較的速いスピードで送ら
れ、その後、減速してゆっくりとしたスピードで送られ
る。外周研削用砥石１０８に向かって送られたウェーハ
Ｗは、その外周Ｃが外周精研用砥石１０８Ｂの溝１０８
ｂに接触する。この接触後もウェーハＷはゆっくりとし
たスピードで外周研削用砥石１０８に向けて送られ、こ
の結果、ウェーハＷの外周Ｃが外周精研用砥石１０８Ｂ
に微小量ずつ研削されて仕上げ面取り加工される。
【００３４】ウェーハＷの送りは、外周研削用砥石１０
８とウェーハテーブル１００との軸間距離が所定距離Ｌ
2 に達するまで与えられる。そして、この軸間距離が所
定距離Ｌ2 に達するとＹ軸モータ６４の駆動が停止され
る。停止後、Ｙ軸モータ６４は逆方向に駆動され、これ
により、ウェーハＷがＹ軸上を外周研削用砥石１０８か
ら離れる方向に移動する。そして、ウェーハＷが前記外
周精研加工位置に復帰すると、Ｙ軸モータ６４の駆動が
停止される。
８とウェーハテーブル１００との軸間距離が所定距離Ｌ
2 に達するまで与えられる。そして、この軸間距離が所
定距離Ｌ2 に達するとＹ軸モータ６４の駆動が停止され
る。停止後、Ｙ軸モータ６４は逆方向に駆動され、これ
により、ウェーハＷがＹ軸上を外周研削用砥石１０８か
ら離れる方向に移動する。そして、ウェーハＷが前記外
周精研加工位置に復帰すると、Ｙ軸モータ６４の駆動が
停止される。
【００３５】前記Ｙ軸モータ６４の駆動停止とともに、
前記外周モータ１０４とθ軸モータ９６の駆動も停止さ
れ、これにより、外周研削用砥石１０８とウェーハＷの
回転が停止する。以上により、ウェーハＷの外周Ｃの仕
上げ面取り加工が終了する。次いで、ウェーハＷのノッ
チＮＯの面取り加工が行われる。
前記外周モータ１０４とθ軸モータ９６の駆動も停止さ
れ、これにより、外周研削用砥石１０８とウェーハＷの
回転が停止する。以上により、ウェーハＷの外周Ｃの仕
上げ面取り加工が終了する。次いで、ウェーハＷのノッ
チＮＯの面取り加工が行われる。
【００３６】前記外周精研加工位置に復帰したウェーハ
Ｗは、図７（ａ）に示すように、そのノッチＮＯがＹ軸
上に位置している。この状態から、まず、Ｘ軸モータ７
８が駆動され、ウェーハＷがＸ軸方向に所定量移動す
る。この結果、図７（ｂ）に示すように、ウェーハＷに
形成されたノッチＮＯの一方側のノッチコーナーＮＲ
が、ノッチ粗研用砥石１２２Ａを通りＹ軸と平行な直線
上に位置する。次に、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェ
ーハＷがＺ軸方向に沿って所定量移動する。この結果、
ウェーハＷがノッチ粗研用砥石１２２Ａの溝と同じ高さ
に位置する。このウェーハＷの位置を『ノッチ粗研加工
位置』とする。
Ｗは、図７（ａ）に示すように、そのノッチＮＯがＹ軸
上に位置している。この状態から、まず、Ｘ軸モータ７
８が駆動され、ウェーハＷがＸ軸方向に所定量移動す
る。この結果、図７（ｂ）に示すように、ウェーハＷに
形成されたノッチＮＯの一方側のノッチコーナーＮＲ
が、ノッチ粗研用砥石１２２Ａを通りＹ軸と平行な直線
上に位置する。次に、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェ
ーハＷがＺ軸方向に沿って所定量移動する。この結果、
ウェーハＷがノッチ粗研用砥石１２２Ａの溝と同じ高さ
に位置する。このウェーハＷの位置を『ノッチ粗研加工
位置』とする。
【００３７】ノッチ粗研加工位置にウェーハＷが位置す
ると、次に、第１ノッチモータ１１８Ａが駆動され、ノ
ッチ粗研用砥石１２２Ａが高速回転する。これと同時に
Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷがノッチ粗研用
砥石１２２Ａに向かって移動する。ウェーハＷが所定距
離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停止され、この結
果、図７（ｃ）に示すように、ウェーハＷの一方側のノ
ッチコーナーＮＲがノッチ粗研用砥石１２２Ａの溝に当
接する。そして、この当接と同時にＸ軸モータ７８及び
Ｙ軸モータ６４が同時に駆動され、ウェーハＷにＸ軸方
向及びＹ軸方向の送りが与えられる。この送りはノッチ
コーナーＮＲの形状に沿って与えられ、この結果、ノッ
チコーナーＮＲが常にノッチ粗研用砥石１２２Ａに当接
して、ノッチコーナーＮＲが粗面取り加工される。
ると、次に、第１ノッチモータ１１８Ａが駆動され、ノ
ッチ粗研用砥石１２２Ａが高速回転する。これと同時に
Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷがノッチ粗研用
砥石１２２Ａに向かって移動する。ウェーハＷが所定距
離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停止され、この結
果、図７（ｃ）に示すように、ウェーハＷの一方側のノ
ッチコーナーＮＲがノッチ粗研用砥石１２２Ａの溝に当
接する。そして、この当接と同時にＸ軸モータ７８及び
Ｙ軸モータ６４が同時に駆動され、ウェーハＷにＸ軸方
向及びＹ軸方向の送りが与えられる。この送りはノッチ
コーナーＮＲの形状に沿って与えられ、この結果、ノッ
チコーナーＮＲが常にノッチ粗研用砥石１２２Ａに当接
して、ノッチコーナーＮＲが粗面取り加工される。
【００３８】ノッチコーナーＮＲの粗面取りが終了する
と、連続してウェーハＷにＸ軸方向及びＹ軸方向の送り
が与えられ、ウェーハＷのノッチＮＯの面取りが行われ
る。すなわち、図７（ｄ）に示すように、ノッチＮＯが
常にノッチ粗研用砥石１２２Ａに当接するように、ノッ
チＮＯの形状に沿ってウェーハＷに送りが与えられる。
同図の場合、ノッチＮＯはＶ字状に形成されているの
で、このＶ字状のノッチＮＯの形状に沿ってＶ字を描く
ようにウェーハＷに送りが与えられる。この結果、Ｖ字
状に形成されたノッチＮＯが粗面取り加工される。
と、連続してウェーハＷにＸ軸方向及びＹ軸方向の送り
が与えられ、ウェーハＷのノッチＮＯの面取りが行われ
る。すなわち、図７（ｄ）に示すように、ノッチＮＯが
常にノッチ粗研用砥石１２２Ａに当接するように、ノッ
チＮＯの形状に沿ってウェーハＷに送りが与えられる。
同図の場合、ノッチＮＯはＶ字状に形成されているの
で、このＶ字状のノッチＮＯの形状に沿ってＶ字を描く
ようにウェーハＷに送りが与えられる。この結果、Ｖ字
状に形成されたノッチＮＯが粗面取り加工される。
【００３９】ノッチＮＯの粗面取り加工が終了すると、
図７（ｅ）に示すように、ノッチ粗研用砥石１２２Ａと
ウェーハＷとの接触点が他方側のノッチコーナーＮＲに
達する。そして、この接触点が他方側のノッチコーナー
ＮＲに達すると、連続的にノッチコーナーＮＲの面取り
が行われる。すなわち、ウェーハＷにＸ軸方向の送りと
Ｙ軸方向の送りが与えられ、ノッチコーナーＮＲが常に
ノッチ粗研用砥石１２２Ａに当接するようにウェーハＷ
に送りが与えられる（ノッチコーナーＮＲの形状に沿っ
た送りが与えられる。）。この結果、ウェーハＷの他方
側のノッチコーナーＮＲが粗面取り加工される。
図７（ｅ）に示すように、ノッチ粗研用砥石１２２Ａと
ウェーハＷとの接触点が他方側のノッチコーナーＮＲに
達する。そして、この接触点が他方側のノッチコーナー
ＮＲに達すると、連続的にノッチコーナーＮＲの面取り
が行われる。すなわち、ウェーハＷにＸ軸方向の送りと
Ｙ軸方向の送りが与えられ、ノッチコーナーＮＲが常に
ノッチ粗研用砥石１２２Ａに当接するようにウェーハＷ
に送りが与えられる（ノッチコーナーＮＲの形状に沿っ
た送りが与えられる。）。この結果、ウェーハＷの他方
側のノッチコーナーＮＲが粗面取り加工される。
【００４０】他方側のノッチコーナーＮＲの面取りが終
了すると、ウェーハＷの送りは、一時停止される。そし
て、この状態から上記と逆の操作によってウェーハＷに
送りが与えられ、図７（ｆ）及び図７（ｇ）に示すよう
に、逆方向に向けてノッチコーナーＮＲ、ノッチＮＯ及
び他方側のノッチコーナーＮＲが順に粗面取り加工され
る。
了すると、ウェーハＷの送りは、一時停止される。そし
て、この状態から上記と逆の操作によってウェーハＷに
送りが与えられ、図７（ｆ）及び図７（ｇ）に示すよう
に、逆方向に向けてノッチコーナーＮＲ、ノッチＮＯ及
び他方側のノッチコーナーＮＲが順に粗面取り加工され
る。
【００４１】以上の操作を複数回繰り返すことにより、
ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの粗面取り加工がな
される。ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの粗面取り
加工が終了すると、図７（ｇ）に示すように、ウェーハ
Ｗは最初にノッチ粗研用砥石１２２Ａと接触した位置で
停止する。そして、その停止後、ノッチ研削用砥石１２
２Ａから離れる方向に向かって所定量移動し、図７
（ｈ）に示すノッチ粗研加工位置に復帰する。
ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの粗面取り加工がな
される。ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの粗面取り
加工が終了すると、図７（ｇ）に示すように、ウェーハ
Ｗは最初にノッチ粗研用砥石１２２Ａと接触した位置で
停止する。そして、その停止後、ノッチ研削用砥石１２
２Ａから離れる方向に向かって所定量移動し、図７
（ｈ）に示すノッチ粗研加工位置に復帰する。
【００４２】一方、ウェーハＷがノッチ粗研加工位置に
復帰すると、第１ノッチモータ１１８Ａの駆動が停止さ
れ、ノッチ粗研用砥石１２２Ａの回転が停止する。以上
により、ウェーハＷのノッチＮＯの粗面取り加工が終了
する。次いで、ウェーハＷのノッチＮＯの仕上げ面取り
加工が行われる。ウェーハＷがノッチ粗研加工位置に復
帰すると、Ｘ軸モータ７８が駆動され、ウェーハＷがＸ
軸方向に所定量移動する。この結果、図８（ａ）に示す
ように、ウェーハＷに形成されたノッチＮＯの一方側の
ノッチコーナーＮＲが、精研用砥石１２２Ｂを通りＹ軸
と平行な直線上に位置する。次に、Ｚ軸モータ９４が駆
動され、ウェーハＷがＺ軸方向に沿って所定量移動す
る。この結果、ウェーハＷがノッチ精研用砥石１２２Ｂ
の溝と同じ高さに位置する。以下、このウェーハＷの位
置を『ノッチ精研加工位置』とする。
復帰すると、第１ノッチモータ１１８Ａの駆動が停止さ
れ、ノッチ粗研用砥石１２２Ａの回転が停止する。以上
により、ウェーハＷのノッチＮＯの粗面取り加工が終了
する。次いで、ウェーハＷのノッチＮＯの仕上げ面取り
加工が行われる。ウェーハＷがノッチ粗研加工位置に復
帰すると、Ｘ軸モータ７８が駆動され、ウェーハＷがＸ
軸方向に所定量移動する。この結果、図８（ａ）に示す
ように、ウェーハＷに形成されたノッチＮＯの一方側の
ノッチコーナーＮＲが、精研用砥石１２２Ｂを通りＹ軸
と平行な直線上に位置する。次に、Ｚ軸モータ９４が駆
動され、ウェーハＷがＺ軸方向に沿って所定量移動す
る。この結果、ウェーハＷがノッチ精研用砥石１２２Ｂ
の溝と同じ高さに位置する。以下、このウェーハＷの位
置を『ノッチ精研加工位置』とする。
【００４３】ノッチ精研加工位置にウェーハＷが位置す
ると、次に、第２ノッチモータ１１８Ｂが駆動され、ノ
ッチ精研用砥石１２２Ｂが高速回転する。これと同時に
Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷがノッチ精研用
砥石１２２Ｂに向かって移動する。ウェーハＷが所定距
離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停止され、この結
果、図８（ｂ）に示すように、ウェーハＷの一方側のノ
ッチコーナーＮＲがノッチ精研用砥石１２２Ｂの溝に当
接する。そして、この当接と同時にＸ軸モータ７８及び
Ｙ軸モータ６４が同時に駆動され、ウェーハＷにＸ軸方
向及びＹ軸方向の送りが与えられる。この送りはノッチ
コーナーＮＲの形状に沿って与えられ、この結果、ノッ
チコーナーＮＲが常にノッチ精研用砥石１２２Ｂに当接
して、ノッチコーナーＮＲが仕上げ面取り加工される。
ると、次に、第２ノッチモータ１１８Ｂが駆動され、ノ
ッチ精研用砥石１２２Ｂが高速回転する。これと同時に
Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷがノッチ精研用
砥石１２２Ｂに向かって移動する。ウェーハＷが所定距
離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停止され、この結
果、図８（ｂ）に示すように、ウェーハＷの一方側のノ
ッチコーナーＮＲがノッチ精研用砥石１２２Ｂの溝に当
接する。そして、この当接と同時にＸ軸モータ７８及び
Ｙ軸モータ６４が同時に駆動され、ウェーハＷにＸ軸方
向及びＹ軸方向の送りが与えられる。この送りはノッチ
コーナーＮＲの形状に沿って与えられ、この結果、ノッ
チコーナーＮＲが常にノッチ精研用砥石１２２Ｂに当接
して、ノッチコーナーＮＲが仕上げ面取り加工される。
【００４４】ノッチコーナーＮＲの仕上げ面取りが終了
すると、連続してウェーハＷにＸ軸方向及びＹ軸方向の
送りが与えられ、ウェーハＷのノッチＮＯの面取りが行
われる。すなわち、図８（ｃ）に示すように、ノッチＮ
Ｏが常にノッチ精研用砥石１２２Ｂに当接するように、
ノッチＮＯの形状に沿ってウェーハＷに送りが与えられ
る。同図の場合、ノッチＮＯはＶ字状に形成されている
ので、このＶ字状のノッチＮＯの形状に沿ってＶ字を描
くようにウェーハＷに送りが与えられる。この結果、Ｖ
字状に形成されたノッチＮＯが仕上げ面取り加工され
る。
すると、連続してウェーハＷにＸ軸方向及びＹ軸方向の
送りが与えられ、ウェーハＷのノッチＮＯの面取りが行
われる。すなわち、図８（ｃ）に示すように、ノッチＮ
Ｏが常にノッチ精研用砥石１２２Ｂに当接するように、
ノッチＮＯの形状に沿ってウェーハＷに送りが与えられ
る。同図の場合、ノッチＮＯはＶ字状に形成されている
ので、このＶ字状のノッチＮＯの形状に沿ってＶ字を描
くようにウェーハＷに送りが与えられる。この結果、Ｖ
字状に形成されたノッチＮＯが仕上げ面取り加工され
る。
【００４５】ノッチＮＯの面取りが終了すると、図８
（ｄ）に示すように、ノッチ精研用砥石１２２Ｂとウェ
ーハＷとの接触点が他方側のノッチコーナーＮＲに達す
る。そして、この接触点が他方側のノッチコーナーＮＲ
に達すると、連続的にノッチコーナーＮＲの面取りが行
われる。すなわち、ウェーハＷにＸ軸方向の送りとＹ軸
方向の送りが与えられ、ノッチコーナーＮＲが常にノッ
チ精研用砥石１２２Ｂに当接するようにウェーハＷに送
りが与えられる（ノッチコーナーＮＲの形状に沿った送
りが与えられる。）。この結果、ウェーハＷの他方側の
ノッチコーナーＮＲが仕上げ面取り加工される。
（ｄ）に示すように、ノッチ精研用砥石１２２Ｂとウェ
ーハＷとの接触点が他方側のノッチコーナーＮＲに達す
る。そして、この接触点が他方側のノッチコーナーＮＲ
に達すると、連続的にノッチコーナーＮＲの面取りが行
われる。すなわち、ウェーハＷにＸ軸方向の送りとＹ軸
方向の送りが与えられ、ノッチコーナーＮＲが常にノッ
チ精研用砥石１２２Ｂに当接するようにウェーハＷに送
りが与えられる（ノッチコーナーＮＲの形状に沿った送
りが与えられる。）。この結果、ウェーハＷの他方側の
ノッチコーナーＮＲが仕上げ面取り加工される。
【００４６】他方側のノッチコーナーＮＲの面取りが終
了すると、ウェーハＷの送りは、一時停止される。そし
て、この状態から上記と逆の操作によってウェーハＷに
送りが与えられ、図８（ｅ）及び図８（ｆ）に示すよう
に、逆方向に向けてノッチコーナーＮＲ、ノッチＮＯ及
び他方側のノッチコーナーＮＲが順に仕上げ面取り加工
される。
了すると、ウェーハＷの送りは、一時停止される。そし
て、この状態から上記と逆の操作によってウェーハＷに
送りが与えられ、図８（ｅ）及び図８（ｆ）に示すよう
に、逆方向に向けてノッチコーナーＮＲ、ノッチＮＯ及
び他方側のノッチコーナーＮＲが順に仕上げ面取り加工
される。
【００４７】以上の操作を複数回繰り返すことにより、
ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの仕上げ面取り加工
がなされる。ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの仕上
げ面取り加工が終了すると、図８（ｆ）に示すように、
ウェーハＷは最初にノッチ精研用砥石１２２Ｂと接触し
た位置で停止する。そして、その停止後、ノッチ研削用
砥石１２２Ｂから離れる方向に向かって所定量移動し、
図８（ｇ）に示すノッチ精研加工位置に復帰する。
ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの仕上げ面取り加工
がなされる。ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの仕上
げ面取り加工が終了すると、図８（ｆ）に示すように、
ウェーハＷは最初にノッチ精研用砥石１２２Ｂと接触し
た位置で停止する。そして、その停止後、ノッチ研削用
砥石１２２Ｂから離れる方向に向かって所定量移動し、
図８（ｇ）に示すノッチ精研加工位置に復帰する。
【００４８】一方、ウェーハＷがノッチ精研加工位置に
復帰すると、第２ノッチモータ１１８Ｂの駆動が停止さ
れ、ノッチ精研用砥石１２２Ｂの回転が停止する。ま
た、ウェーハＷがノッチ精研加工位置に復帰すると、図
８（ｈ）に示すように、ウェーハテーブル１００がＸ軸
方向及びＺ軸方向に所定量移動して原点位置に復帰す
る。
復帰すると、第２ノッチモータ１１８Ｂの駆動が停止さ
れ、ノッチ精研用砥石１２２Ｂの回転が停止する。ま
た、ウェーハＷがノッチ精研加工位置に復帰すると、図
８（ｈ）に示すように、ウェーハテーブル１００がＸ軸
方向及びＺ軸方向に所定量移動して原点位置に復帰す
る。
【００４９】以上の一連工程でウェーハＷの外周Ｃとノ
ッチＮＯの粗面取り加工と仕上げ面取り加工が終了す
る。ウェーハテーブル１００が原点位置に復帰すると、
ウェーハＷの吸着が解除され、図示しない搬送装置によ
ってウェーハテーブル１００上からウェーハＷが取り上
げられる。そして、そのまま次の工程へと搬送されてゆ
く。
ッチＮＯの粗面取り加工と仕上げ面取り加工が終了す
る。ウェーハテーブル１００が原点位置に復帰すると、
ウェーハＷの吸着が解除され、図示しない搬送装置によ
ってウェーハテーブル１００上からウェーハＷが取り上
げられる。そして、そのまま次の工程へと搬送されてゆ
く。
【００５０】以上説明したように、本実施の形態のウェ
ーハ面取り装置１０では、ノッチ粗研用砥石１２２Ａと
ノッチ精研用砥石１２２Ｂとを備えているため、１台の
装置で粗研加工と精研加工を同時に行うことができる。
したがって、従来のように粗研加工後に別の装置で精研
加工を行う必要がなくなり、加工効率が向上する。ま
た、同じウェーハテーブル１００に乗せたまま粗研加工
と精研加工を行うことができるので、乗せ替えに伴う芯
ズレを防止することができ、高精度な面取り加工を行う
ことができるようになる。
ーハ面取り装置１０では、ノッチ粗研用砥石１２２Ａと
ノッチ精研用砥石１２２Ｂとを備えているため、１台の
装置で粗研加工と精研加工を同時に行うことができる。
したがって、従来のように粗研加工後に別の装置で精研
加工を行う必要がなくなり、加工効率が向上する。ま
た、同じウェーハテーブル１００に乗せたまま粗研加工
と精研加工を行うことができるので、乗せ替えに伴う芯
ズレを防止することができ、高精度な面取り加工を行う
ことができるようになる。
【００５１】また、ノッチ粗研用砥石１２２Ａとノッチ
精研用砥石１２２Ｂは、別々のノッチスピンドル１２０
Ａ、１２０Ｂに装着されているため複合砥石とする必要
がなくなり、短い長さに製作することができる。このた
め、砥石の剛性を十分に確保することができる。さら
に、ノッチ粗研用砥石１２２Ａとノッチ精研用砥石１２
２Ｂは、中心位置（Ｙ軸）からオフセットされて設置さ
れているため、外周研削用砥石１０８及びウェーハテー
ブル１００のメンテナンスがしやすくなる。
精研用砥石１２２Ｂは、別々のノッチスピンドル１２０
Ａ、１２０Ｂに装着されているため複合砥石とする必要
がなくなり、短い長さに製作することができる。このた
め、砥石の剛性を十分に確保することができる。さら
に、ノッチ粗研用砥石１２２Ａとノッチ精研用砥石１２
２Ｂは、中心位置（Ｙ軸）からオフセットされて設置さ
れているため、外周研削用砥石１０８及びウェーハテー
ブル１００のメンテナンスがしやすくなる。
【００５２】また、ノッチ粗研用砥石１２２Ａとノッチ
精研用砥石１２２Ｂは、中心位置からオフセットして設
置することにより、外周研削用砥石１０８と同じ高さの
位置に配置することができる。これにより、ウェーハテ
ーブル１００を上下動させる際のストロークを短く設定
することができるようになり、装置のコンパクト化を図
ることができるようになる。
精研用砥石１２２Ｂは、中心位置からオフセットして設
置することにより、外周研削用砥石１０８と同じ高さの
位置に配置することができる。これにより、ウェーハテ
ーブル１００を上下動させる際のストロークを短く設定
することができるようになり、装置のコンパクト化を図
ることができるようになる。
【００５３】なお、本実施の形態のウェーハ面取り装置
１０では、ウェーハ側を砥石側に移動させてウェーハＷ
の面取り加工を行うようにしているが、ウェーハ側を固
定とし砥石側を移動させてウェーハＷの面取り加工を行
うようにしてもよい。また、本実施の形態のウェーハ面
取り装置１０では、ノッチスピンドル１２０Ａ、１２０
Ｂを２つ設置しているが、この数に限定されるものでは
ない。ノッチスピンドルは１つのみであってもよく、こ
の場合は中心位置（Ｙ軸）からオフセットして設置す
る。
１０では、ウェーハ側を砥石側に移動させてウェーハＷ
の面取り加工を行うようにしているが、ウェーハ側を固
定とし砥石側を移動させてウェーハＷの面取り加工を行
うようにしてもよい。また、本実施の形態のウェーハ面
取り装置１０では、ノッチスピンドル１２０Ａ、１２０
Ｂを２つ設置しているが、この数に限定されるものでは
ない。ノッチスピンドルは１つのみであってもよく、こ
の場合は中心位置（Ｙ軸）からオフセットして設置す
る。
【００５４】さらに、本実施の形態のウェーハ面取り装
置１０では、ウェーハを面取り加工する砥石に総形砥石
を用いているが、これに限らず、図９に示すように、外
周に台形状の溝が形成された砥石１３０を使用してもよ
い。この砥石を用いた場合は、溝１３０Ａのテーパ面１
３０ａにウェーハＷの上縁又は下縁を押し当てることに
より、ウェーハＷの片縁ずつ面取り加工する。
置１０では、ウェーハを面取り加工する砥石に総形砥石
を用いているが、これに限らず、図９に示すように、外
周に台形状の溝が形成された砥石１３０を使用してもよ
い。この砥石を用いた場合は、溝１３０Ａのテーパ面１
３０ａにウェーハＷの上縁又は下縁を押し当てることに
より、ウェーハＷの片縁ずつ面取り加工する。
【００５５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ノッチ研削用スピンドルが両側に設置されているため、
メンテナンスがしやすい構成となる。また、ノッチ研削
用スピンドルを複数設置することにより、ノッチの粗研
加工と精研加工を１台の装置で行うことができるように
なる。さらに、複合砥石を用いる必要がなくなるため、
砥石の長さを短くすることができ、砥石の剛性を十分に
確保することができる。
ノッチ研削用スピンドルが両側に設置されているため、
メンテナンスがしやすい構成となる。また、ノッチ研削
用スピンドルを複数設置することにより、ノッチの粗研
加工と精研加工を１台の装置で行うことができるように
なる。さらに、複合砥石を用いる必要がなくなるため、
砥石の長さを短くすることができ、砥石の剛性を十分に
確保することができる。
【図１】ウェーハ面取り装置の構成を示す側面図
【図２】ウェーハ面取り装置の構成を示す平面図
【図３】図１のＡ−Ａ断面図
【図４】図１のＢ−Ｂ断面図
【図５】外周研削ユニットとノッチ研削ユニットの構成
を示す正面図
を示す正面図
【図６】ノッチ付きウェーハの外周を面取り加工する方
法の説明図
法の説明図
【図７】ノッチ付きウェーハのノッチを粗面取り加工す
る方法の説明図
る方法の説明図
【図８】ノッチ付きウェーハのノッチを仕上げ面取り加
工する方法の説明図
工する方法の説明図
【図９】砥石の他の実施の形態の構成を示す側面図
【図１０】従来のウェーハ面取り装置の構成の説明図
１０…ウェーハ面取り装置 ４２…ウェーハ送りユニット ４４…外周研削ユニット ４６…ノッチ研削ユニット ５６…Ｙ軸テーブル ７０…Ｘ軸テーブル ８６…Ｚ軸テーブル １００…ウェーハテーブル １０４…外周モータ １０８…外周研削用砥石 １１８Ａ…第１ノッチモータ １１８Ｂ…第２ノッチモータ １２０Ａ…第１ノッチスピンドル １２０Ｂ…第２ノッチスピンドル １２２Ａ…ノッチ粗研用砥石 １２２Ｂ…ノッチ精研用砥石 Ｗ…ウェーハ Ｃ…円形部 ＮＯ…ノッチ ＮＲ…ノッチコーナー
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 9/00 601 H01L 21/304 621
Claims (2)
- 【請求項１】外周研削用スピンドルに装着されて回転す
る外周研削用砥石に向かってウェーハテーブルに保持さ
れて回転するウェーハを近づけることにより、ウェーハ
の外周を外周研削用砥石に押し当てて該ウェーハの外周
を面取り加工するとともに、ノッチスピンドルに装着さ
れて回転するノッチ研削用砥石に向かって前記ウェーハ
テーブルに保持されたウェーハを近づけることにより、
ウェーハのノッチをノッチ研削用砥石に押し当てて該ウ
ェーハのノッチを面取り加工し、前記外周研削用砥石
は、粗研用の砥石と精研用の砥石とを同軸上に積み重ね
て構成されており、前記ノッチスピンドルは、粗研用の
ノッチ研削用砥石が装着された第１ノッチスピンドルと
精研用のノッチ研削用砥石が装着された第２ノッチスピ
ンドルとで構成され、前記第１ノッチスピンドルと第２
ノッチスピンドルとは、前記外周研削用スピンドルと前
記ウェーハテーブルとの間に配置されるとともに、その
中心が前記外周研削用スピンドルの中心と前記ウェーハ
テーブルの中心とを結ぶ直線を挟んで両側に設置されて
いることを特徴とするウェーハ面取り装置。 - 【請求項２】 前記ノッチ研削用砥石と前記外周研削用
砥石とが同じ高さの位置に設置されていることを特徴と
する請求項１記載のウェーハ面取り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16556798A JP3166842B2 (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | ウェーハ面取り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16556798A JP3166842B2 (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | ウェーハ面取り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000000744A JP2000000744A (ja) | 2000-01-07 |
| JP3166842B2 true JP3166842B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=15814824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16556798A Expired - Fee Related JP3166842B2 (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | ウェーハ面取り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3166842B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6306016B1 (en) * | 2000-08-03 | 2001-10-23 | Tsk America, Inc. | Wafer notch polishing machine and method of polishing an orientation notch in a wafer |
| JP2010105141A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Naoetsu Electronics Co Ltd | 半導体接合ウエーハの製造方法 |
| KR102586040B1 (ko) * | 2018-05-10 | 2023-10-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | 면취가공용 휠, 이를 구비하는 면취가공장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치 제조방법 |
-
1998
- 1998-06-12 JP JP16556798A patent/JP3166842B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000000744A (ja) | 2000-01-07 |
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