JPH10138091A - 工作機械の熱変位補正方法 - Google Patents
工作機械の熱変位補正方法Info
- Publication number
- JPH10138091A JPH10138091A JP8312587A JP31258796A JPH10138091A JP H10138091 A JPH10138091 A JP H10138091A JP 8312587 A JP8312587 A JP 8312587A JP 31258796 A JP31258796 A JP 31258796A JP H10138091 A JPH10138091 A JP H10138091A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction amount
- displacement
- correction
- thermal displacement
- approximate expression
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims abstract description 185
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 164
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 44
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims abstract description 35
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 32
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 claims description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 21
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 21
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 8
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 235000001630 Pyrus pyrifolia var culta Nutrition 0.000 description 2
- 240000002609 Pyrus pyrifolia var. culta Species 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 241000893313 Helochara delta Species 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
- B23Q3/155—Arrangements for automatic insertion or removal of tools, e.g. combined with manual handling
- B23Q3/1552—Arrangements for automatic insertion or removal of tools, e.g. combined with manual handling parts of devices for automatically inserting or removing tools
- B23Q3/15526—Storage devices; Drive mechanisms therefor
- B23Q3/15534—Magazines mounted on the spindle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
することでより加工時間を長くせず正確な熱変位補正を
得る。 【解決手段】 送り軸の位置をモニタリングし、位置補
正単位時間毎送り軸の平均移動速度及び移動頻度を求め
てこの速度と頻度により近似式で補正量δn を求め更新
する(c7,c8)。この補正量より指令位置に対する
位置補正量を求めて、指令位置を位置補正量で補正す
る。電源再投入時には電源オフ時間より初期補正量を求
め記憶する(c1〜c6)。この補正量より指令位置に
対する位置補正量を求めて、指令位置を該位置補正量で
補正する。近似式によって補正量を求めるからセンサを
必要とせず、常に熱変位補正ができる。補正量の変化が
大きいときには(c10)センサにより熱変位量を測定
し補正量とし(c11,c12)、精度を向上させる。
センサによる測定回数が少なくなり加工時間を短くでき
る。
Description
熱変位補正方法に関する。
ータによって駆動されことからモータの発熱、軸受けの
回転による摩擦熱、送りねじのボールネジとボールナッ
トの係合部の摩擦熱によって、主軸や送りねじは膨脹し
機械位置が変位する。すなわち、位置決めすべきワーク
と工具の相対位置関係にずれが生じる。この熱による機
械位置の変動は、精度の高い加工を行なう場合に問題と
なる。
法として、従来、冷却装置を設けたり、送りねじのボー
ルネジに初期張力を与え、熱による膨脹の影響を受けな
いような構造としたり、変位センサや温度センサを設
け、検出変位や検出温度に基づいて、指令位置を補正す
る方法が採用されている。
に初期張力を与え、熱による膨脹の影響を受けないよう
な構造としたり、センサを設けて熱変位を補正する方法
では、構造的限界や、センサの取り付け位置、センサを
クーラントや切り粉から保護しセンサの信頼性を得るた
めの手段を講じる必要がある等の問題がある。また、セ
ンサを設けた場合では、測定に時間がかかり、結果的に
加工時間が長くかかったり、立ち上がり時の変位を補正
できないという問題がある。そこで、本発明の目的は、
センサ必要とせず、簡単で低コストで熱変位を補正でき
る熱変位補正方法を提供することにある。さらにセンサ
を併用することでより正確な熱変位の補正ができる熱変
位補正方法を提供することにある。
を用いて制御される工作機械において、送り軸の平均移
動速度及び移動頻度から、熱変位に対する補正量を求め
る近似式及び該近似式によって求められた補正量より指
令位置に対する位置補正量を求める近似式を予め数値制
御装置に記憶させておく。そして、送り軸の位置をモニ
タリングし、送り軸の平均移動速度及び移動頻度を求め
て上記近似式より送り軸の指令位置に対する位置補正量
を求める。指令位置を該位置補正量で補正して出力する
ことにより熱による変位を補正する。
影響を受ける。そこで、主軸回転速度から主軸の熱変位
に対する補正量を求める近似式を数値制御装置に記憶さ
せておき、主軸の回転速度をモニタリングし、モニタリ
ングした主軸回転速度から上記近似式で主軸の補正量を
求め、該補正量を主軸を移動させる送り軸の指令位置に
対する位置補正量に加算して、該送り軸の補正量とす
る。
再度運転を開始した時、先の運転による熱変位の影響を
受ける。そこで、工作機械の電源オフ時間における軸の
熱変位による補正量を求める近似式を数値制御装置に予
め記憶させておき、電源オフした時刻とその時の補正量
を記憶し、電源再投入時に記憶していた補正量と電源オ
フ時間により上記近似式より該電源再投入時の補正量と
する。
量が異なり熱変位が異なる。そのため、軸の潤滑方法の
差異によって上記補正量を求める近似式の係数を変える
ようにする。また、軸にかかる外乱負荷トルクの大きさ
によっても発熱量が異なり熱変位も異なるから、軸にか
かる外乱負荷トルクを検出し、該検出外乱負荷トルクの
大きさに応じて上記補正量を変える。
とし指令位置を補正しても精度が不十分な場合がある。
そこで、上記近似式で求めた補正量の変化が設定値以上
になると位置センサ又は温度センサにより位置変位又は
温度を測定し、測定値より補正量を求めることによって
精度をあげる。また、補正量(熱変位量)を知るため
に、数値制御装置に希望する軸と位置を入力し、上記近
似式で求められた入力軸の入力位置に対する位置補正量
を表示装置に表示する。
機械の立型ボール盤1の概略図である。図1中、62は
主軸モータ、52は垂直送り軸であるZ軸のボールネジ
53を駆動するZ軸用サーボモータ、10は該立型ボー
ル盤を制御する制御装置としての数値制御装置(CN
C)、Tはテーブル、64は主軸、65は主軸64に取
り付けられた工具である。テーブルTは図示しないX
軸、Y軸用サーボモータによってZ軸に垂直な方向で互
いに直交するX軸、Y軸方向に移動するものである。こ
の立型ボール盤1の構成は従来のものと何等変わるもの
ではないので、詳細は省略する。
0の要部を示す機能ブロック図である。数値制御装置1
0のプロセッサ11は数値制御装置10を全体的に制御
するプロセッサである。このプロセッサ11は、ROM
12に格納されたシステムプログラムをバス21を介し
て読み出し、このシステムプログラムに従って、数値制
御装置10を全体的に制御する。RAM13には一時的
な計算データや表示データおよびCRT/MDIユニッ
ト70を介してオペレータが入力した各種データ等が格
納される。CMOSメモリ14は図示しないバッテリで
バックアップされ、数値制御装置10の電源がオフにさ
れても記憶状態が保持される不揮発性メモリとして構成
され、後述する熱変位測定プログラムや補正量更新処理
プログ、ラムインターフェイス15を介して読込まれた
後述する加工プログラム、CRT/MDIユニット70
を介して入力された加工プログラム等が記憶されるよう
になっている。また、ROM12には、加工プログラム
の作成および編集のために必要とされる編集モードの処
理や自動運転のための処理を実施するための各種のシス
テムプログラムが予め書き込まれている。
に接続可能な外部機器のためのインターフェイスであ
り、紙テープリーダや紙テープパンチャーおよび外部記
憶装置等の外部機器72が接続される。紙テープリーダ
や外部記憶装置からは加工プログラム、後述する熱変位
測定プログラム等が読み込まれ、また、数値制御装置1
0内で編集された加工プログラムを紙テープパンチャー
や外部記憶装置に出力することができる。
ローラ)16は、数値制御装置10に内蔵されたシーケ
ンスプログラムで立型ボール盤(工作機械)1側の補助
装置等を制御する。即ち、加工プログラムで指令された
M機能,S機能およびT機能に従って、これらシーケン
スプログラムで補助装置側で必要な信号に変換し、I/
Oユニット17から補助装置側に出力する。この出力信
号により各種アクチュエータ等の補助装置が作動する。
また、工作機械1の本体に配備された操作盤の各種スイ
ッチ等の信号を受け、必要な処理をして、プロセッサ1
1に渡す。
ム,パラメータ,画像データ等の画像信号はCRT/M
DIユニット70に送られ、そのディスプレイに表示さ
れる。CRT/MDIユニット70はディスプレイやキ
ーボード等を備えた手動データ入力装置であり、インタ
ーフェイス18はCRT/MDIユニット70のキーボ
ードからのデータを受けてプロセッサ11に渡す。イン
ターフェイス19は手動パルス発生器71に接続され、
手動パルス発生器71からのパルスを受ける。手動パル
ス発生器71は立型ボール盤1の操作盤に実装され、手
動操作に基く分配パルスによる各軸制御で工作機械1の
可動部を精密に位置決めするために使用される。
X,Y軸の軸制御回路及びZ軸の軸制御回路30〜32
はプロセッサ11からの各軸の移動指令を受けて、各軸
の指令をサーボアンプ40〜42に出力する。サーボア
ンプ40〜42はこの指令を受けて、立型ボール盤1の
各軸のサーボモータ50〜52を駆動する。各軸のサー
ボモータ50〜52には位置検出用のパルスコーダが内
蔵されており、このパルスコーダからの位置信号がパル
ス列としてフィードバックされる。場合によっては、位
置検出器として、リニアスケールが使用される。また、
このパルス列をF/V(周波数/速度)変換することに
より、速度信号を生成することができる。図2ではこれ
らの位置信号のフィードバックおよび速度フィードバッ
クの説明は省略している。
への主軸回転指令を受け、スピンドルアンプ61にスピ
ンドル速度信号を出力する。スピンドルアンプ61はこ
のスピンドル速度信号を受けて、立型ボール盤1の主軸
モータ62を指令された回転速度で回転させ、工具65
を駆動する。主軸モータ62には歯車あるいはベルト等
でポジションコーダ63が結合され、該ポジションコー
ダ63が主軸64の回転に同期して帰還パルスを出力
し、その帰還パルスはインターフェイス20を経由して
プロセッサ11によって読み取られる。65は現在時刻
に同期するように調整された時計装置である。また、後
述する熱変位データを得る際に立型ボール盤1のテーブ
ルTに取り付けられる変位測定器(検出スイッチ)S
1,S2,S3はI/Oユニット17に接続され、PM
C16を介してプロセッサ11によりそのON/OFF
状態が確認される。
2,S3は、工具65の先端作用面がZ軸方向から接触
するのを検出するように構成されているが、必要に応
じ、工具の外周作用面がX軸方向から接触するのを検出
するための変位測定器や工具の外周作用面がY軸方向か
ら接触するのを検出するための変位測定器等を設けても
よい。
じを駆動した際、送りねじを構成するボールネジの伸
び、及び加工を停止し放熱によるボールネジの縮みの状
態を示す概念図である。ボールネジが駆動されると、ボ
ールネジは軸受部等の摩擦による発熱等による伸び、最
初は急激にのびるが発熱と放熱にバランスがとれとその
伸びの増大量は緩やかになる。一方、加工を停止し送り
ねじの移動を停止すると、放熱によってボールネジは縮
み、図3に示すような時間に対する熱変位曲線となる。
そこで、本発明は、工作機械(立型ボール盤1)を実験
駆動してこの発熱、放熱によるボールネジの熱変位曲線
を検出し、検出した熱変位曲線より、熱変位量予測近似
式を求め記憶しておき、実際に立型ボール盤1(工作機
械)を駆動して加工を行なう際には、この熱変位量予測
近似式に基づいて、指令位置を補正するようにした。
て、Z軸ボールネジの熱変位データを得る実験を行なう
と共に、主軸64を駆動して主軸駆動による発熱による
熱変位データを得る実験を行なった。まず、Z軸の−5
0mm、−150mm、−300mm位置の変位を測定
する変位測定器S1、S2、S3をテーブルTに取り付
け、主軸64に先端が平かな工具(エンドミル等)65
を装着し、インターフェイス15を介して不揮発性メモ
リ14変位測定プログラムを格納し、さらに、熱変位デ
ータを得るためのZ軸のストローク、速度、回数、変位
データ測定間隔、Z軸駆動時間(変位データ測定間隔×
測定回数として回数を設定)、変位データ測定終了時間
(測定回数を設定)をCRT/MDIユニット70から
設定し、熱変位測定プログラムの実行を指令する。
されるとプロセッサ11は、図4に示す処理を開始し、
まず、測定回数をカウントするカウンタnを「0」にセ
ットシ(ステップa1)、X軸、Y軸を駆動してテーブ
ルTを移動しZ軸−50mmの位置を検出する変位測定
器S1と主軸が対向する位置に位置決めし(ステップa
2)、Z軸を駆動して変位測定器S1が工具65の先端
を検出しオンになるまで下降させ、変位測定器S1から
オン信号が入力されると、その時のZ軸の位置を読み、
この読み取った位置と−50mmとの偏差を求めRAM
13上に設けたテーブルに記憶する(ステップa3)。
Z軸を上昇させると共にX,Y軸を駆動して、Z軸−1
50mmの位置を検出する変位測定器S2と主軸が対向
する位置に位置決めし、同様に変位測定器S2がオンす
るまでZ軸を下降させて、変位測定器S2がオンした時
のZ軸の位置を読み、−150mmとの偏差を求めRA
M13上に設けたテーブルに記憶する(ステップa4,
a5)。同様に、テーブルTを変位測定器S3と主軸が
対向する位置に位置決めし、Z軸を下降させ、変位測定
器S3がオンした時の位置と−300mmとの偏差を求
めRAM13上のテーブルに記憶する(ステップa6,
a7)。
が接触しない位置にテーブルTを退避させ(ステップa
8)、カウンタnに「1」加算し、該カウンタnの値が
動作時間として設定された測定回数n1以上か判断し
(ステップa9,a10)、以上に達していなければ、
Z軸の設定ストロークの動作を開始すると共にタイマに
設定された測定間隔時間をセットしスタートさせ、該タ
イマがタイムアップするまでZ軸のストローク動作を行
ない、タイムアップするとストローク動作を停止し(ス
テップa11〜a14)、ステップa2に戻り上述した
変位測定処理を行なう。
された測定回数n1以上になるまで上記ステップa2〜
a14の処理を実行しRAM13上のテーブルに測定し
た位置変位データを記憶する。そして、カウンタnの値
が設定値n1になると、該カウンタnが変位データ測定
終了時間として設定された測定回数n2以上か判断し
(ステップa15)、以上でなければ、タイマに測定間
隔時間をセットしスタートさせ、該タイマがタイムアッ
プすると(ステップa16,a17)、ステップa2に
戻り位置変位データを測定しRAM13上のテーブルに
記憶する。
テップa2〜a10、a15〜a17の処理を実行し、
設定値n2になると、この熱変位測定処理を終了する。
で毎分30回、ストロークを300mm(Z=0〜−3
00mm)に設定し、変位データ測定間隔を5分とし
て、Z軸を120分駆動し、Z=−50mm、−150
mm、−300mmの変位を測定した結果を、インター
フェイス15に接続したXYプロッタで打ち出したとき
の変位曲線(実線で表した曲線)である。
inに変えて他の設定値は同一として変位を測定した結
果を表す変位曲線(実線で表した曲線)である。図7
は、ストロークをZ=0〜−100mm、−100mm
〜−200mm、−200mm〜−300mmとそれぞ
れ変え、30m/minで毎分30回Z軸を往復動させ
てZ=−150mm(変位測定器S2)の変位を5分間
隔でそれぞれ測定して得られた結果の変位曲線である。
こうして得られた変位曲線よりこの変位曲線に合うよう
な近似式を求めこの近似式を補正量を求める近似式とし
た。図5〜7に破線で示す曲線は求めた近似式による曲
線を表しているものである。
グタイム(72msec)毎モニタリングすることによ
り、移動軸の位置補正単位時間(36sec)あたりの
平均移動速度、移動頻度を求め熱変位量を予測する近似
式を以下のようにして決めた。 δn =δn-1 +Qn −qn …(1) δn :補正量(熱変位量) Qn :位置補正単位時間あたりの発熱による変位量 qn :位置補正単位時間あたりの放熱による変位量 n:位置補正単位時間の回数 位置補正単位時間あたりの発熱による変位量Qn は次の
ように定義した。 Qn =A・[f(Bn )]α・Cn β A:係数 f(Bn ):平均移動速度による計算式 α:係数 Cn :移動頻度 β:係数 平均移動速度による計算式f(Bn )は、 f(Bn )=Bn ・f(xi) Bn :平均移動速度 Bn=[(|x1 −x0 |/ΔT)+…(|xi −xi-
1 |/ΔT)+…+(|xN −xN-1 |/ΔT)]/K xi :位置 ΔT:サンプリングタイム K :位置補正単位時間における速度が0でないデータ
の数 N :位置補正単位時間内における総データ数 f(xi):位置による計算式 f(xi)=γ・xi γ:係数 また移動頻度Cn は、Cn =K/Nである。
量qn は、 qn =D・F(δn-1 ) D:放熱に関する係数 F(δn-1 ):前変位量による計算式 F(δn-1 )=δn-1 ε と定義した。
(指令位置)により変位量が異なることから、指令位置
をパラメータとして補正量を計算する。この指令位置を
パラメータとする補正量を位置補正量という。この位置
補正量Δnは次の式で求める。
り図5,図6,図7等の変位曲線を求めて位置補正量Δ
n が変位曲線に合致するように最適値を求める。その結
果、図5,図6,図7で破線で示す曲線がこの位置補正
量Δn を求める近似式の関数によって求めた位置補正量
(変位曲線)である。
使って、指令位置から補正量を差し引くことによって補
正を行なった結果の一例を図8に示す。図8の例では、
速度30m/minでストローク300mmを30回/
min移動させたときの補正後の変位を示す。この図8
に示されるように熱変位が補正され、より正確な位置が
得られている。
る。この場合、主軸の熱変位はZ軸の位置変位として現
れることから、Z軸の位置変位を測定し、主軸の熱変位
を求める。実験として、主軸を4000rpm、800
0rpmそれぞれ回転させ5分間隔で主軸の熱変位を測
定した結果、図9に示す実験結果を得た。
タリングすることにより主軸の熱変位量を予測する近似
式を次のようにした。 δn =δn-1 +Qn +qn …(3) δn :補正量 Qn :位置補正単位時間あたりの発熱による変位量 qn :位置補正単位時間あたりの放熱による変位量 ここで、位置補正単位時間あたりの発熱による変位量Q
n は、 Qn =E・f(Sn )φ E:発熱に関する係数 f(Sn ):主軸回転速度による計算式 f(Sn )=(S1 /ΔT)…+(Si /ΔT)…+
(SN /ΔT) Si :回転数 ΔT:サンプリングタイム N:位置補正単位時間内における総データ数 φ:係数 位置補正単位時間あたりの放熱による変位量qn は qn =R・δn-1 η R:放熱に関する係数 η:係数 と定義した。
よって求めた図9の変位曲線に合致するように最適値を
求め、上記近似式によりZ軸の指令位置を補正して得ら
れた結果の一例を図10に示す。
き、工作機械の運転停止時間が短いと、送りねじ等は熱
により膨脹している。そこで、工作機械の電源をオフし
た時刻と上記補正量を記憶しておき、電源再投入時に先
に記憶した電源オフ時刻と補正量から電源投入時の補正
量を計算する計算式を次のように近似した。 δon=δoff −(q1 +…+qj …+qT ) …(4) qj =D・δn-1 ε、またはqj =R・δn-1 η T=(Ton−Toff )/t Ton:電源オン時刻 Toff :電源オフ時刻 t:位置補正単位時間(=N・ΔT) 図11は、速度30m/min、ストローク300mm
で30回/minで60min運転し、60min電源
をオフする運転を繰り返したときのZ=−150mmの
補正前の変位と補正した後の変位を示す図である。
ば、オイル潤滑に比べてグリース潤滑の方が発熱量も大
きいため、変位量も大きい。図12は、潤滑方法がグリ
スの場合とオイルの場合の実験結果の補正前の変位曲線
と補正後の変位曲線を示すものである。実験は、速度3
0m/min、30回/分、ストローク30mmでZ=
−150mmの位置の変位量を示している。
る。 δn ´=H・δn …(5) H:係数 上記係数Hは実験によって最適値を求める。この潤滑方
法による補正は潤滑方法による発熱熱量の差異から生じ
るものであるから、上記係数Hは1式、第3式で送り
軸、主軸の位置補正単位時間あたりの発熱による変位量
Qn の係数A、Eに含ませ、潤滑方法によって上記係数
A、Eを変えるようにする。
等)によって変位量が異なる。そこで、外乱負荷トルク
をオブザーバ等で求め、補正量δnに係数を乗じて補正
する。 δn ´=Mn ・δn …(6) Mn :外乱負荷トルクに関する係数 Mn =I・f(T(EXT)N)/TSTD f(T(EXT)N):外乱負荷トルク平均値計算式 f(T(EXT)N)=(T(EXT)1+…T(EXT)i…+
T(EXT)N)/N T(EXT)i:外乱負荷トルク TSTD :基準トルク I:係数 ここでの係数Iも実験によって最適値を求める。
メモリ14に設定する。なお、潤滑方法によって係数
A,Eを変えるものとして5式は設定しない。立型ボー
ル盤(工作機械)1を運転する際にはサンプリングダイ
ムΔT毎に送り軸の位置xi 、主軸回転数Si 、外乱負
荷トルクT(EXT)iを検出し記憶し、位置補正単位時間毎
に補正量、位置補正量を求め、指令位置を補正する。
運転されたときのバックグランド処理として実行される
補正量更新処理のフローチャートの概略である。工作機
械に電源が投入されると、現在時刻Tonを読み取りすで
に記憶されている電源オフの時刻Toff との差より電源
がオフであった時間Tを求める(ステップb1,b
2)。該時間Tが設定時間(この実施形態においては6
時間)を越えているか判断し(ステップb3)、越えて
いる場合には、補正量をすべて「0」にする(ステップ
b4)。越えていない場合には、上記4式の演算を行な
って移動軸の補正量δn 、主軸の補正量δn を求め書き
替える(ステップb5,b6)。
では36秒)経過するのを待って、1式、3式を演算し
各移動軸の補正量δn 、主軸の補正量δn を求め、さら
に、6式の演算を行なうことによって外乱負荷トルクに
よる補正量の補正を行なって、各移動軸の補正量δn
´、主軸の補正量δn'を求め補正量(各移動軸、主軸の
補正量δn、外乱負荷トルクにより補正された補正量δ
n ´)を更新し(ステップb7,b8)、ステップb9
に移行し、電源がオフされたか否か判断し、オフされて
いなければステップb7に移行し、前述の動作を繰り返
し実行する。一方、電源がオフにされると、該時刻を電
源オフ時刻Toff として不揮発性メモリ14に記憶する
と共に、現在記憶している各移動軸の補正量δn 、主軸
の補正量δn を不揮発性メモリ14に記憶し(ステップ
b10)、位置補正量更新処理を終了する。
ログラムの実行においては、熱変位補正モードに設定さ
れているか否か判断し設定されていると、加工プログラ
ムによる指令位置に対して、補正を行なう。この場合、
X軸、Y軸等の主軸を移動させる軸ではない移動軸に対
する補正は、移動軸に対して記憶されている補正量δn
´に対して2式の演算を行なうことによって位置補正量
Δn を求めて指令位置に対する補正を行なう。主軸を移
動させる軸(Z軸)に対しては、同様に求めた移動軸に
対する位置補正量Δn にさらに主軸の補正量δn ´を加
算して補正量として該軸の位置指令を補正することにな
る。
置変位量を検出せず、近似式によって補正量(変位量)
を求めるものであるが、より正確に熱変位量を求めると
すれば、やはり位置センサ又は温度センサによって変位
又は温度を測定することが望ましい。従来のセンサによ
って熱変位量又は温度を測定し補正量を求める方式は、
センサによる測定と補正量算出に時間がかかるという問
題、測定間隔が一定なため立ち上がり時の変位補正がで
きないという問題があった。そこで、上述した近似式に
よる変位量予測とセンサによる測定を併用して、より精
度の高い熱変位補正を行なう実施形態を以下図15の補
正量更新処理のフローチャートと共に説明する。
量δn と前回予測した補正量δn-1との差が所定値以上
の場合にはセンサによる測定を行なうものとし、センサ
で測定を行なわせるための上記差を設定値として予め数
値制御装置10設定しておく。さらに、熱変位補正を行
なう場合センサによる測定での補正を行なうか否かも設
定しておく。そして立型ボール盤(工作機械)1に電源
が投入されるとプロセッサ11は、図15でフローチャ
ートで示す処理をバックグランド処理として開始する。
ステップc1〜c8までは、図14のステップb1〜b
8と同一である。
サによる測定での補正を行なうように設定されるている
か判断し(ステップc9)、設定されていなければ、ス
テップc13に移行し、センサ補正を行なうと設定され
ている場合には、当該位置補正単位時間で求めた各送り
軸、主軸のそれぞれの補正量δn と前回求めたそされぞ
れの補正量δn-1 との差が設定値を越えているか判断し
(ステップc10)、すべて越えていなければステップ
c13に移行し、越えていると、センサによる従来と同
様の測定プログラムを実行し変位量を求める(ステップ
c11)。この場合、送り軸、主軸すべての軸の変位量
を測定してもよく、また近似式の予測で求めた補正量の
差が設定値を越えた軸のみセンサで変位量を測定するよ
うにしてもよい。なお、温度センサで温度を測定し、変
位量を求めるようにしてもよい。
時間の補正量δn として更新し(ステップc12)、ス
テップc13に移行して、電源がオフか判断し、オフで
なければステップc7に戻り以下の処理を実行する。ま
た電源がオフであると、現在時刻を電源オフ時刻Toff
と、現在記憶している各移動軸の補正量δn 、主軸の補
正量δn を不揮発性メモリ14に記憶し(ステップc1
4)、位置補正量更新処理を終了する。
の変化が大きいとセンサによって熱変位量を測定し、そ
の変位量を補正量として更新するからより正確な熱変位
補正を行なうことができる。しかも、センサによる熱変
位量測定は近似式により予測した補正量の変化が大きい
時のみ行われるから、センサによる測定回数が少なくな
り、加工時間の延長を少なくすることができる。なお、
この実施形態では、補正量を予測する位置補正単位時間
の1つ前の時間と当該時間の予測補正量の差によってセ
ンサによる測定を行なうか否かを決めたが、位置補正単
位時間の倍数毎に予測補正量の変化量を求め、この変化
量が設定値を越えた時にセンサによる測定を行なうよう
にしてもよい。この場合、ステップc9の後、カウンタ
に「1」を加算し、該カウンタが設定値を越えると、当
該該カウンタをリセットしてステップc10に移行し、
ステップc8で求めた予測補正量からメモリに記憶する
前回の判断時の補正量を差し引き差を求め該差が設定値
を越えていなければ、ステップc8で求めた予測補正量
を次回の判断時に使用する補正量として記憶し、ステッ
プc13に移行する。また、設定値を越えているとステ
ップc11に移行し、センサによる測定を行ない、得ら
れた変位量を補正量として更新し(ステップc12)、
この補正量を次回の判断時に使用する補正量としてメモ
リに記憶してステップc13に移行するようにすればよ
い。
b7、ステップc7によって位置補正単位時間毎補正量
が予測されるが、この予測補正量に基づいて、各送り
軸、さらには主軸の補正量をCRT/MDIユニット7
0の表示画面に表示するようにする。この場合、位置補
正量を表示すべき軸と、その軸が送り軸ならば、その位
置を指定しCRT/MDIユニット70から入力する
と、プロセッサ11は、ステップb8、c8で更新され
た補正量を位置補正単位時間毎に読み取り、送り軸であ
れば、入力された位置に基づいて上記2式の演算を行な
い該位置における補正量を図13のようにグラフ表示す
る。なお、主軸を移動される送り軸(Z軸)の場合に
は、主軸の補正量をこの送り軸の補正量に加算して表示
する。また、主軸の補正量は、ステップb8、c8で記
憶する主軸補正量をそのまま表示する。
送り軸や主軸の熱変位による位置ずれを補正することが
できるので、コストもかからず、センサの信頼性を考慮
する必要もない。また、常に熱変位補正を行なうことが
できるから、加工立ち上がり時にも熱変位補正がされ、
加工精度を向上させることができる。また、センサを使
用して熱変位を測定して補正量を求める方法も併用する
ことによって、位置補正精度を向上させることもでき
る。この場合、センサによる測定回数を減らすことがで
きるから、センサにより熱変位を測定し位置補正を行な
う場合と比較し加工時間を短くすることができる。
概略図である。
る。
送り軸の伸びと運転を停止した後の縮みを表す概念図で
ある。
る。
定実験結果の変位曲線である。
曲線である。
位曲線である。
を表す変位曲線である。
正後の位置変位を表す変位曲線である。
による補正後の位置変位を表す変位曲線である。
示す変位曲線である。
示す図である。
ある。
ローチャートの概略図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 数値制御装置を用いて制御される工作機
械において、送り軸の平均移動速度及び移動頻度から、
熱変位に対する補正量を求める近似式、及び該近似式に
よって求められた補正量より指令位置に対する位置補正
量を求める近似式を予め数値制御装置に記憶させてお
き、送り軸の位置をモニタリングし、送り軸の平均移動
速度及び移動頻度を求めて上記近似式より送り軸に対す
る指令位置に対する位置補正量を求めて、指令位置を該
位置補正量で補正して出力するようにした工作機械の熱
変位補正方法。 - 【請求項2】 主軸回転速度から主軸の熱変位に対する
補正量を求める近似式を数値制御装置に記憶させてお
き、主軸の回転速度をモニタリングし、モニタリングし
た主軸回転速度から上記近似式で補正量を求め、主軸を
移動させる送り軸の指令位置に対する位置補正量に加算
して、該送り軸の補正量とする請求項1記載の工作機械
の熱変位補正方法。 - 【請求項3】 工作機械の電源オフ時間における軸の熱
変位による補正量を求める近似式を数値制御装置に予め
記憶させておき、工作機械の電源オフした時刻とその時
の補正量を記憶しておき、電源再投入時に、記憶してい
た補正量と電源オフ時間により上記近似式より補正量を
求めて該電源再投入時の補正量とする請求項1または請
求項2記載の工作機械の熱変位補正方法。 - 【請求項4】 軸の潤滑方法の差異によって上記補正量
を求める近似式の係数を変えるようにした請求項1乃至
3記載の内1項記載の工作機械の熱変位補正方法。 - 【請求項5】 軸にかかる外乱負荷トルクを検出し、該
検出外乱負荷トルクの大きさに応じて上記補正量を変え
るようにした請求項1乃至4記載の内1項記載の工作機
械の熱変位補正方法。 - 【請求項6】 上記近似式で求めた補正量の変化が設定
値以上になると、センサで位置変位又は温度を測定し、
測定地より補正量を求めた請求項1乃至5記載の内1項
記載の工作機械の熱変位補正方法。 - 【請求項7】 数値制御装置に軸と位置を入力し、上記
近似式で求められた入力位置に対する位置補正量を表示
装置に表示するようにした請求項1乃至6記載の内1項
記載の工作機械の熱変位補正方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31258796A JP3154946B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 工作機械の熱変位補正方法 |
US09/101,022 US6456896B1 (en) | 1996-11-11 | 1997-11-11 | Apparatus and method for thermal displacement correction for a machine tool |
PCT/JP1997/004103 WO1998021006A1 (fr) | 1996-11-11 | 1997-11-11 | Methode de correction de deplacement thermique de machine-outil |
EP97911516A EP0878267B1 (en) | 1996-11-11 | 1997-11-11 | Method of correcting thermal displacement of machine tool |
DE69736221T DE69736221T2 (de) | 1996-11-11 | 1997-11-11 | Verfahren zur korrektur thermischer verschiebung in einer werkzeugmaschine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31258796A JP3154946B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 工作機械の熱変位補正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10138091A true JPH10138091A (ja) | 1998-05-26 |
JP3154946B2 JP3154946B2 (ja) | 2001-04-09 |
Family
ID=18031003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31258796A Expired - Fee Related JP3154946B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 工作機械の熱変位補正方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6456896B1 (ja) |
EP (1) | EP0878267B1 (ja) |
JP (1) | JP3154946B2 (ja) |
DE (1) | DE69736221T2 (ja) |
WO (1) | WO1998021006A1 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009061517A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Makino Milling Mach Co Ltd | 放電加工機 |
JP2009061557A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Kira Corporation:Kk | ボールねじの熱変位補償方法と、その補償方法を実行するnc工作機械 |
WO2011024833A1 (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | ブラザー工業株式会社 | 工作機械の熱変位補正方法及び熱変位補正装置 |
JP2011045986A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Brother Industries Ltd | 数値制御式工作機械の熱変位補正方法及びその熱変位補正装置 |
JP2011135677A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | サーボ制御装置 |
DE102011055036A1 (de) | 2010-11-11 | 2012-05-16 | Fanuc Corporation | Verfahren und Vorrichtung zum Kompensieren einer thermischen Versetzung in einer Werkzeugmaschine |
JP5805268B1 (ja) * | 2014-05-16 | 2015-11-04 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工作機械の変位補正方法および工作機械の制御装置 |
DE102015109237A1 (de) | 2014-06-18 | 2015-12-24 | Fanuc Corporation | Vorrichtung zur Korrektur einer thermischen Versetzung für eine Arbeitsmaschine |
US11772222B2 (en) | 2019-08-07 | 2023-10-03 | Fanuc Corporation | Machine tool system |
WO2024116897A1 (ja) * | 2022-11-29 | 2024-06-06 | ブラザー工業株式会社 | 数値制御装置及び判定方法 |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3405965B2 (ja) * | 2000-07-06 | 2003-05-12 | ファナック株式会社 | 工作機械の熱変位補正方法 |
JP2002079439A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-19 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械の保守管理装置 |
JP2002086329A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-26 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械の熱変位補正量算出方法及び熱変位補正量算出装置 |
US6671573B2 (en) * | 2000-12-14 | 2003-12-30 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Numerical controller and method for controlling the shaft of numeric controller |
JP4763914B2 (ja) * | 2001-05-17 | 2011-08-31 | キヤノン株式会社 | 回転角度検出装置 |
US20030012631A1 (en) * | 2001-07-12 | 2003-01-16 | Pencis Christopher H. | High temperature substrate transfer robot |
US6556887B2 (en) | 2001-07-12 | 2003-04-29 | Applied Materials, Inc. | Method for determining a position of a robot |
EP1308239A3 (de) * | 2001-10-31 | 2005-08-10 | GROB-Werke Burkhart Grob e.K. | Werkzeugmaschine und Verfahren zur Justage der Spindelposition dieser Werkzeugmaschine |
JP4080249B2 (ja) * | 2002-06-04 | 2008-04-23 | 日立ビアメカニクス株式会社 | 加工方法 |
JP4299761B2 (ja) * | 2004-10-22 | 2009-07-22 | ヤマザキマザック株式会社 | 工作機械の熱変位補正方法及び熱変位補正装置 |
EP1989019B1 (en) * | 2006-03-02 | 2009-07-29 | Mikron Agie Charmilles AG | Method and apparatus for a displacement correction for a machine tool |
FR2900360B1 (fr) * | 2006-04-28 | 2008-06-20 | Staubli Faverges Sca | Procede et dispositif de reglage de parametres de fonctionnement d'un robot, programme et support d'enregistrement pour ce procede |
US7717481B2 (en) | 2007-01-11 | 2010-05-18 | Applied Materials, Inc. | High temperature robot end effector |
JP4891104B2 (ja) * | 2007-01-29 | 2012-03-07 | オークマ株式会社 | 工作機械の熱変位推定方法 |
TW201021959A (en) * | 2008-12-11 | 2010-06-16 | Ind Tech Res Inst | A thermal error compensation method for machine tools |
CN101887250B (zh) * | 2009-05-12 | 2012-05-30 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | Cnc工具机控制装置 |
DE102010054393A1 (de) * | 2010-12-07 | 2012-06-14 | Chiron-Werke Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Bestimmung der Position eines Werkzeuges |
US9026242B2 (en) * | 2011-05-19 | 2015-05-05 | Taktia Llc | Automatically guided tools |
JP5859900B2 (ja) * | 2012-04-09 | 2016-02-16 | 富士機械製造株式会社 | 工作機械 |
EP2852868B1 (en) | 2012-04-26 | 2021-12-01 | Shaper Tools, Inc. | Systems and methods for performing a task on a material, or locating the position of a device relative to the surface of the material |
JP5698798B2 (ja) * | 2013-06-24 | 2015-04-08 | ファナック株式会社 | 熱変位量補正機能を有する工作機械 |
JP6280078B2 (ja) * | 2015-05-11 | 2018-02-14 | ファナック株式会社 | 工作機械の熱変位補正訓練装置 |
EP3657279B1 (en) | 2015-05-13 | 2023-03-29 | Shaper Tools, Inc. | Systems, methods and apparatus for guided tools |
JP6285396B2 (ja) * | 2015-07-17 | 2018-02-28 | ファナック株式会社 | 工作機械の実測定の要否を自動判定する熱変位補正装置 |
CN109070295B (zh) * | 2016-03-28 | 2020-10-27 | 斗山机床株式会社 | 机床的热位移补偿参数自动转换装置及转换方法 |
CN105892401A (zh) * | 2016-04-18 | 2016-08-24 | 安徽省捷甬达智能机器有限公司 | 一种基于温差的机床运动补偿方法 |
CN105867301B (zh) * | 2016-04-18 | 2018-05-15 | 安徽省捷甬达智能机器有限公司 | 一种基于误差适应的数控机床温度补偿方法 |
CN105867302B (zh) * | 2016-04-18 | 2018-05-15 | 安徽省捷甬达智能机器有限公司 | 一种数控机床温度补偿*** |
CN114879598A (zh) | 2016-08-19 | 2022-08-09 | 整形工具股份有限公司 | 用于共享工具制造和设计数据的***、方法和装置 |
JP6464203B2 (ja) * | 2017-01-10 | 2019-02-06 | ファナック株式会社 | 工作機械の機械学習装置および熱変位補正装置 |
WO2019084948A1 (zh) * | 2017-11-06 | 2019-05-09 | 大连理工大学 | 一种卧式数控车床的主轴径向热漂移误差建模及补偿方法 |
JP6882234B2 (ja) * | 2018-07-13 | 2021-06-02 | ファナック株式会社 | 工作機械 |
US11467066B2 (en) * | 2019-01-31 | 2022-10-11 | Dalian University Of Technology | Method for determining the preload value of the screw based on thermal error and temperature rise weighting |
CN109739182B (zh) * | 2019-01-31 | 2020-06-16 | 大连理工大学 | 一种对冷却***扰动不敏感的主轴热误差补偿方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3579073A (en) * | 1970-05-20 | 1971-05-18 | Richard Johnstone | Spindle growth compensator |
US4031368A (en) * | 1972-04-17 | 1977-06-21 | Verkstadsteknik Ab | Adaptive control of cutting machining operations |
US4074177A (en) * | 1975-07-17 | 1978-02-14 | Giddings & Lewis, Inc. | Methods and apparatus for automatic movement of a member to precisely indexed positions despite signal drift or offset |
JPS5776608A (en) * | 1980-10-30 | 1982-05-13 | Fanuc Ltd | Position error correction device |
JPS57114340A (en) * | 1980-12-30 | 1982-07-16 | Fanuc Ltd | Thermal displacement compensation |
DE8435005U1 (de) * | 1984-11-29 | 1986-04-03 | Werkzeugmaschinenfabrik Adolf Waldrich Coburg Gmbh & Co, 8630 Coburg | Werkzeugmaschine mit einer Werkzeugmaschinenspindel mit Kühleinrichtung in einem Spindelstock |
DE3501000A1 (de) * | 1984-12-06 | 1986-06-12 | Mannesmann Demag Kunststofftechnik Zweigniederlassung der Mannesmann Demag AG, 8501 Schwaig | Werkzeug-einbau- und spannvorrichtung an einer spritzgiessmaschine |
JPS63272447A (ja) | 1987-04-30 | 1988-11-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | たわみ量補正付送り制御装置 |
JP2544790B2 (ja) | 1988-10-04 | 1996-10-16 | 大阪機工 株式会社 | 工作機械送り系の位置決め誤差の補正方法および装置 |
JPH0815702B2 (ja) | 1991-01-17 | 1996-02-21 | 日立精機株式会社 | Nc工作機械におけるボールねじの熱変位補正方法 |
JPH0783977B2 (ja) * | 1991-10-28 | 1995-09-13 | 日立精機株式会社 | 工作機械の熱変位補正方法 |
JPH05253790A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Toshiba Mach Co Ltd | 工作機械の超精密温度制御システム及びその制御方法 |
JP2745355B2 (ja) | 1992-03-31 | 1998-04-28 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工作機械の主軸熱変位補正方法および装置 |
US5444640A (en) * | 1993-01-13 | 1995-08-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Numerical control method for controlling various kinds of machine tools by correcting for thermal displacement |
US5562526A (en) * | 1993-03-29 | 1996-10-08 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for grinding a workpiece |
JP3327655B2 (ja) * | 1993-12-27 | 2002-09-24 | ブラザー工業株式会社 | Nc工作機械の変位補正装置 |
JP3154288B2 (ja) | 1994-03-14 | 2001-04-09 | 大阪機工株式会社 | Nc工作機械におけるボールねじの熱変位補正方法 |
JP3407972B2 (ja) * | 1994-04-27 | 2003-05-19 | ファナック株式会社 | 工作機械の熱変位補正方法 |
US5949685A (en) * | 1997-06-03 | 1999-09-07 | The Boeing Company | Real-time orientation of machine media to improve machine accuracy |
JP3413068B2 (ja) * | 1997-08-19 | 2003-06-03 | オークマ株式会社 | 工作機械の熱変位推定方法 |
-
1996
- 1996-11-11 JP JP31258796A patent/JP3154946B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-11-11 EP EP97911516A patent/EP0878267B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-11 WO PCT/JP1997/004103 patent/WO1998021006A1/ja active IP Right Grant
- 1997-11-11 DE DE69736221T patent/DE69736221T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-11-11 US US09/101,022 patent/US6456896B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009061517A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Makino Milling Mach Co Ltd | 放電加工機 |
JP2009061557A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Kira Corporation:Kk | ボールねじの熱変位補償方法と、その補償方法を実行するnc工作機械 |
JP4538480B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2010-09-08 | 株式会社キラ・コーポレーション | ボールねじの熱変位補償方法と、その補償方法を実行するnc工作機械 |
WO2011024833A1 (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | ブラザー工業株式会社 | 工作機械の熱変位補正方法及び熱変位補正装置 |
JP2011045986A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Brother Industries Ltd | 数値制御式工作機械の熱変位補正方法及びその熱変位補正装置 |
JP2011045987A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Brother Industries Ltd | 数値制御式工作機械の熱変位補正方法及びその熱変位補正装置 |
JP2011135677A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | サーボ制御装置 |
KR101455480B1 (ko) * | 2009-12-24 | 2014-10-27 | 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤 | 서보 제어 장치 |
DE102011055036B4 (de) * | 2010-11-11 | 2013-12-12 | Fanuc Corporation | Verfahren und Vorrichtung zum Kompensieren des thermischen Versatzes bei einer Werkzeugmaschine |
DE102011055036A1 (de) | 2010-11-11 | 2012-05-16 | Fanuc Corporation | Verfahren und Vorrichtung zum Kompensieren einer thermischen Versetzung in einer Werkzeugmaschine |
US8924003B2 (en) | 2010-11-11 | 2014-12-30 | Fanuc Corporation | Thermal displacement compensation method and thermal displacement compensation device for machine tool |
JP5805268B1 (ja) * | 2014-05-16 | 2015-11-04 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工作機械の変位補正方法および工作機械の制御装置 |
JP2015217469A (ja) * | 2014-05-16 | 2015-12-07 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工作機械の変位補正方法および工作機械の制御装置 |
DE102015109237A1 (de) | 2014-06-18 | 2015-12-24 | Fanuc Corporation | Vorrichtung zur Korrektur einer thermischen Versetzung für eine Arbeitsmaschine |
US9869992B2 (en) | 2014-06-18 | 2018-01-16 | Fanuc Corporation | Thermal displacement correction device for working machine |
DE102015109237B4 (de) | 2014-06-18 | 2018-07-12 | Fanuc Corporation | Vorrichtung zur Korrektur einer thermischen Versetzung für eine Arbeitsmaschine |
US11772222B2 (en) | 2019-08-07 | 2023-10-03 | Fanuc Corporation | Machine tool system |
WO2024116897A1 (ja) * | 2022-11-29 | 2024-06-06 | ブラザー工業株式会社 | 数値制御装置及び判定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0878267A4 (en) | 2004-04-21 |
WO1998021006A1 (fr) | 1998-05-22 |
JP3154946B2 (ja) | 2001-04-09 |
DE69736221T2 (de) | 2006-11-09 |
US6456896B1 (en) | 2002-09-24 |
EP0878267A1 (en) | 1998-11-18 |
DE69736221D1 (de) | 2006-08-10 |
EP0878267B1 (en) | 2006-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3154946B2 (ja) | 工作機械の熱変位補正方法 | |
US6471451B2 (en) | Method of correcting thermal displacement of machine tool | |
US9092025B2 (en) | Thermal displacement compensating device for machine tool | |
JP4299761B2 (ja) | 工作機械の熱変位補正方法及び熱変位補正装置 | |
US8924003B2 (en) | Thermal displacement compensation method and thermal displacement compensation device for machine tool | |
US9945799B2 (en) | Thermal displacement correction device for machine tool | |
JP3363958B2 (ja) | ドリル加工方式 | |
JPH07132440A (ja) | 加工負荷監視方式 | |
US20130211598A1 (en) | Warm-up control device for machine tool | |
JP2015199168A (ja) | 機械の熱変位補正装置 | |
US20160224010A1 (en) | Thermal displacement correction apparatus for machine tool | |
JPH08174383A (ja) | 工具破損検出方式 | |
WO1995004631A1 (fr) | Systeme de detection de cassure d'outil | |
JPH07129211A (ja) | 変動負荷自動補正方式 | |
JPH08215983A (ja) | 工作機械の熱変位補正方法及びその装置 | |
JPH0751996A (ja) | Cncの過剰負荷検出方式 | |
JPH0751997A (ja) | 加工負荷監視方式 | |
JPH0751993A (ja) | Cncの機械要素寿命推定方式 | |
Cetinkunt et al. | Friction characterization experiments on a single point diamond turning machine tool | |
JPH06143093A (ja) | 工具の摩耗補正方式 | |
JPH0751995A (ja) | 加工負荷監視方式 | |
JP3099386B2 (ja) | 加工装置 | |
JPH07132437A (ja) | ボールねじの熱変位補正方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000613 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010116 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080202 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090202 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090202 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100202 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100202 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110202 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |