JPH0815702B2 - Nc工作機械におけるボールねじの熱変位補正方法 - Google Patents

Nc工作機械におけるボールねじの熱変位補正方法

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JPH0815702B2
JPH0815702B2 JP1566391A JP1566391A JPH0815702B2 JP H0815702 B2 JPH0815702 B2 JP H0815702B2 JP 1566391 A JP1566391 A JP 1566391A JP 1566391 A JP1566391 A JP 1566391A JP H0815702 B2 JPH0815702 B2 JP H0815702B2
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次男 川村
聡 桑山
浩和 宮崎
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日立精機株式会社
垣野 義昭
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    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/49Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49211Compensation dilatation using calculated temperature from velocity

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、NC工作機械の運転
中に生じる送り駆動用のボールねじの熱変位による位置
決め誤差を補正する方法に関する。詳しくは、運転状態
からボールねじの熱変位量を時々刻々計算によって推定
し、その熱変位量をNC装置にピッチエラー補正として
与えることによりインプロセス補正する方法に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】ボールねじは工作機械の1つの要素であ
り、送り台、テーブルなどを移動させるためのものであ
る。これは機械効率が極めて高いなど多くの特徴をも
ち、駆動用あるいは位置決め要素として広く使用されて
いる。しかし、ボールねじはナット、軸受各部の摩擦力
やサーボモータの発熱が伝導するために温度が上昇し熱
膨脹を起こし、熱変位を生じる。現在のNC工作機械で
はセミクローズドループ方式が一般的であるが、この方
式のNC工作機械ではボールねじの熱変位が、そのまま
位置決め誤差となって現れる。このため、ボールねじに
予張力を与え、熱膨脹を吸収する方式が対策として使用
されてきた。ところが、最近では、径が大きいボールね
じを使用するうえに送り速度が非常に速くなっているの
で、発熱量が増大し、予張力方式で対応しようとする
と、非常に大きな引張力を加えねばならず、構造体が変
形したり、スラスト軸受に無理な力が加わって焼き付く
などの問題があった。
【0003】そこで、ボールねじに無理な予張力を与え
ず、しかも、特別な測定装置を必要としないボールねじ
の熱変位補正方法が開発され、特開昭63−25633
6号(以下、既提案方法という。)においてその方法が
提案されている。これは、ボールねじの発熱量からボー
ルねじの温度分布を求め、さらにボールねじの熱変位量
を時々刻々に予測して、この熱変位量をNC装置にピッ
チエラー補正として与えることにより、インプロセスで
補正する方法である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記既提案
の方法では、ボールねじの発熱量を具体的にはサーボモ
ータの電機子電流と電圧との積から求めている。そのた
め、以下に記載するような欠点があった。
【0005】すなわち、この発明の発明者らは、図6
(A),(B)に示すようなナットつまりテーブルの送
りパターン(以下、図6(A)を送りパターンA、図6
(B)を送りパターンBという。)でNC工作機械を運
転し、既提案の方法に基づくボールねじの補正量を求め
るとともに、実際の伸びを測定した。なお、送りパター
ンAはボールねじの中央領域(200mm)を送り速度
5m/minで往復させたもの、送りパターンBは同領
域を送り速度6.5m/min、20mmピッチで往復
させたものである。そして、両パターンとも30分間運
転して、3分ごとにボールねじの補正量を計算するとと
もに、実際の伸びを測定した。その結果が図7(A),
(B)に示されている。図7(A)は送りパターンAに
よるもの、図7(B)は送りパターンBによるものであ
る。
【0006】実験結果によれば、送りパターンA,Bと
もボールねじの実際の伸びに大差はない。それにもかか
わらず、送りパターンBの補正量は、送りパターンAの
補正量よりも大きく、およそ2倍になっている。このよ
うに補正量に違いが生ずる理由として、サーボモータを
加減速するときには非常に大きな電流が流れるので、加
減速の回数が多い送りパターンBについては、発熱量に
サーボモータ自身を加減速するためのエネルギーが多く
含まれてしまうことが考えられる。
【0007】したがって、既提案の方法では、サーボモ
ータの加減速に要するエネルギーまでも、ボールねじの
発熱量として計算してしまうので、送りパターンBのよ
うにサーボモータの加減速の回数を多くすると、実際の
伸びよりも補正量の方が大きくなってしまうというとい
う欠点があった。このため、既提案の方法は、サーボモ
ータの加減速の回数が多い場合や送り速度が高速の場合
には、実用に供することができない。
【0008】この発明の目的は、サーボモータの加減速
の回数にかかわらず、補正量をボールねじの実際の伸び
に近似させることができるNC工作機械におけるボール
ねじの熱変位補正方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段および作用】この発明は、
前記課題を解決するために次のような手段を採る。
【0010】この発明は、位置決め用ボールねじと、こ
のボールねじを回転駆動するためのサーボモータと、こ
のサーボモータの回転速度を制御するための速度制御手
段とを有するNC工作機械における前記ボールねじの熱
変位補正方法であって、以下の手順を有する。
【0011】a.前記サーボモータの回転速度を測定す
ること b.前記回転速度から前記ボールねじに発生する発熱量
を求めること c.前記発熱量から前記ボールねじの温度分布を算出す
ること d.前記温度分布から前記ボールねじの熱変位量を算出
すること e.前記熱変位量をNC装置のピッチエラ補正データメ
モリエリアに入力してボールねじのピッチエラー補正量
を修正させること。
【0012】前記回転速度の測定、前記発熱量の算出、
前記温度分布の算出、前記熱変位量の算出および前記ピ
ッチエラー補正量の修正を前記NC工作機械の運転時間
終了まで所定時間ごとに繰り返す。
【0013】前記NC工作機械の運転停止中の電源が切
られた時間から前記ボールねじの縮み量を算出し、前記
NC工作機械の運転開始時に前記縮み量を加味して前記
ボールねじのピッチエラーの補正量の初期設定を行う。
【0014】前記発熱量を前記ボールねじの前部軸受
部、ナット移動部および後部軸受部ごとに求め、前記各
部ごとに前記温度分布および前記熱変位量を算出する。
【0015】前記ナット移動部を複数の区分に分割し、
各分割区分ごとにナットの存在確率を求め、この存在確
率と前記ナット移動部全体の発熱量とから各分割区分ご
とに前記温度分布および前記熱変位量を算出する。
【0016】前記温度分布を所定の非定常熱伝導方程式
から算出する。
【0017】
【実施例】以下に示す実施例では、ボールねじの前部軸
受部、ナット移動部および後部軸受部ごとに発熱量を求
め、さらにナット移動部については、複数の区分に分割
し、各分割区分ごとに発熱量を求めている。そして、各
部または各分割区分ごとに非定常熱伝導方程式を解いて
温度分布を算出し、これから熱変位を算出している。ま
ず、発熱量の算出方法について説明する。
【0018】合計熱量の算出 ナット移動部は図3に示すように、例えば所定の長さ
L/8,L/4をもつ5つの区分に分割される。一定時
間(50ms)ごとにナットが図3のどの区分に存在す
るかを判別し、そのときのサーボモータの実回転数から
発生熱量を求め、後述する温度分布演算回路のデータエ
リアに格納する。発生熱量は次式により求められる。
【0019】
【数2】 ここで、Q:発生熱量、F:送り速度(回転数)、K,
T:係数である。
【0020】前記データエリアは次表に示すように、ボ
ールねじ1軸分として7つのデータエリアを2組持って
いる。
【0021】
【表1】 なお、一軸について2組のデータエリアをもつのは、1
つの組のデータエリアから温度分布を求めて補正量を算
出している間、逐次算出される熱量を他の組のデータエ
リアに格納するためである。
【0022】各区分でのナット移動による発生熱量は、
50msごとに一定時間(6400ms)すなわち12
8回算出され、これらの熱量は各区分ごと50msごと
に合計されて各区分1〜5に対応したデータエリア
(C)〜(G)に格納される。また6400msに発生
した各区分1〜5の熱量1〜5の合計熱量および各区分
1〜5での回転数の合計回転数がそれぞれデータエリア
(A),(B)に格納される。
【0023】ここでいう各区分の熱量および合計熱量
は、ボールねじのナット移動部Lのみに発生する正味の
熱量ではなく、前後軸受部に発生する熱量も含まれてい
る。したがって、ナット移動部、前後軸受部についての
正味の発生熱量を合計熱量から分配してやる必要があ
る。
【0024】合計熱量の分配 以下に示す合計熱量の分配方法は、既提案方法と同様
にナット移動部および前後軸受部において互いに他の部
分への熱伝導が生じず、熱的には近似的に独立している
とみなすことができること、また合計発熱量に対する各
熱源部の比率は送り速度の如何にかかわらずほぼ一定で
あるという知見に基づいている。
【0025】すなわち、合計発熱量QO 、ナット移動部
発熱量QN 、前部軸受発熱量QF 、後部軸受発熱量QB
とすると、各熱源部の発熱量は、次式
【0026】
【数3】 から算出される。ここで比率ηN ,ηF ,ηB は前記知
見により一定であり、実機についてQO ,QN ,QF
B を測定し、比率ηN ,ηF ,ηB をあらかじめ求め
ておけばよい。
【0027】ナット移動部の各分割区分への熱量の分配 この実施例では、前記のようにナット移動部の各分割
区分の熱量も算出している。これは、次のようにして求
められる。すなわち前記データエリア(C)〜(G)に
格納されている熱量は50msごとに算出した合計値で
あり、このこの合計値から各区分ごとに50msあたり
の平均熱量を求める。
【0028】そして、この平均熱量と合計熱量とから各
区分について、次式からナットの存在確率X1,X2…
X5を求める。
【0029】
【数4】 このようにして、各区分についての存在確率X1,X2
…X5が求められたら、この存在確率と前記ナット移動
部についての分配熱量QN とから、次式により各区分に
ついての分配熱量QN1,QN2…QN5を求める。
【0030】
【数5】 温度分布の算出 以上のようにして各熱源部の発生熱量が求められた
ら、この熱量から温度分布を算出する。温度分布は既提
案の方法と同様に次の非定常熱伝導方程式、
【0031】
【数6】
【0032】熱変位量の算出 ボールねじの各熱源部の温度分布が求められたら、こ
れから熱変位量を算出する。熱変位量は、既提案の方法
と同様に次式、
【0033】
【数7】 から求められる。ここでΔL: 熱変位量、β:ボールね
じ材料の線膨脹係数である。
【0034】次にこの発明による熱変位補正方法の具体
的な手順を説明する。図1は熱変位補正を実施するため
の機能ブロック図である。
【0035】補間制御回路1は、NCテープ2に読み込
まれた加工データに基づきボールねじの送り量を計算す
るための回路である。パルス分配器3はボールねじの送
り量に応じたパルス信号を各軸に分けて分配し、そのパ
ルス信号を速度制御回路4に与えるためのものである。
このパルス信号は、位置レジスタ5にも与えられ、ナッ
トの位置データが格納される。速度制御回路4はパルス
信号によりサーボモータ6の回転速度を制御するもので
ある。サーボモータ6の回転速度はロータリエンコーダ
などの速度検出器7により常時検出され、検出信号は速
度制御回路4および温度分布演算回路9に入力される。
【0036】パラメータメモリ8には、ボールねじの長
さ、径などの機械構造に関するパラメータ、ボールねじ
の密度、比熱などの物理的性質に関するパラメータおよ
び前記熱量分配係数(比率)ηN ,ηF ,ηBなどが入
力される。温度分布演算回路9は、サーボモータの回転
速度検出信号から式(1)に基づきボールねじの各区分
でのナットの移動による発熱量を50msごとに算出
し、6400ms後、合計発熱量から各熱源部の発熱量
の分配計算をする。
【0037】また、温度分布演算回路9は、ナットの存
在確率を算出し、ボールねじの各区分の発熱量を算出す
る。そして、温度分布演算回路9は、これらの発熱量と
パラメータメモリ8に記憶された各種データとから式
(2)を解き、各熱源部の温度分布を算出する。
【0038】補正データ演算回路10は、温度分布演算
回路9により算出された温度分布から式(3)に基づき
補正量を算出する。補正パルス発生器11は、補正デー
タ演算回路10により算出された補正量に応じた補正パ
ルスを発生し、速度制御回路4に与える。
【0039】図2は熱変位補正を実施するためのフロー
チャートである。このフローチャートにしたがって具体
的な手順を説明する。
【0040】初期設定 パラメータなどの設定データから、有限要素法による
演算に必要なマトリックスを設定する(S1 )。
【0041】NC機械の運転停止により電源を切ると、
時間が経過するにつれボールねじは縮むので、この縮み
量を加味して電源再投入時に補正データを変更する必要
がある。このため、電源が切られた時間を計算し
(S2 )、その時間をΔT、発生熱量を0、送り速度を
0としてデータ計算し、温度分布を初期設定する
(S3 )。そして、初期設定された温度分布と電源を切
る前の温度分布とから縮み量を計算し、補正データの変
更を行う(S4 )。
【0042】なお、このように縮み量を計算するため、
温度分布は電源が切られても消えないエリアに格納され
る。
【0043】リアルタイムデータ入力 50msごとに、ナットの現在位置、送り速度のデー
タが温度分布演算回路9に入力され(S5 )、各区分ご
とに発生熱量が式(1)に基づいて計算される。
【0044】データ計算 一定時間(6400ms)経過すると(S6 )、温度
分布演算回路9により合計発熱量からナットの存在確率
および各熱源部の温度分布が計算される(S7 )。
【0045】補正データの変更 補正モードがONであれば(S8 )、補正データ演算
回路10により温度分布から式(3)に基づきボールね
じの伸びが補正量として演算され、補正データが変更さ
れる(S9 )。そしてこの補正データに応じた補正パル
スが、補正パルス発生器11から速度制御回路4に送ら
れる。
【0046】このように電源投入後すなわち初期設定後
は、一定時間(6400ms)経過ごとに補正データの
変更が行われる。
【0047】実験例 図4は、この発明方法による熱変位補正量と実際の伸
びとを比較するための実験装置を示している。実験には
立型マシニングセンタのX軸を使用した。サーボモータ
20に連結されるボールねじ21は、前後部軸受22,
23に支持されている。テーブル24はナット25を介
してボールねじ21に取付けられている。
【0048】ボールねじ21の伸びは、マシニングセン
タの主軸ヘッド26にダイヤルゲージ27を固定し、テ
ーブル24上のX軸線上にある三点(両端と中央)に基
準ブロック28を設け、これにダイヤルゲージ27の接
触子を当接させることにより測定した。またサーボモー
タ20の送り速度は、NC装置29の内部の送り速度モ
ニタデータを電圧として出力させ、データメモリ付レコ
ーダ30により測定した。
【0049】なお、X軸ストロークは760mm、サー
ボモータ定格出力はAC2.3KW、max3,000
R.P.M、ボールねじ寸法は長さ1,140mm,直
径40mmφ、ピッチ12mm、最大早送り速度は30
m/minである。
【0050】以上の実験装置により、既提案方法の場合
と同様に図6に示す送りパターンA,Bでマシニングセ
ンタを運転し、補正量を求めるとともに、実際の伸びを
測定した。
【0051】なお、既提案の場合と同様に、送りパター
ンAはボールねじの中央領域(200mm)を送り速度
5m/minで往復させたもの、送りパターンBは同領
域を送り速度6.5m/min、20mmピッチで往復
させたものである。そして、両パターンとも30分間運
転して、3分ごとにボールねじの補正量を計算するとと
もに、実際の伸びを測定した。その結果が図5(A),
(B)に示されている。図5(A)は送りパターンAに
よるもの、図5(B)は送りパターンBによるものであ
る。
【0052】実験結果によれば、送りパターンAのみな
らず、送りパターンBについても補正量と実際の伸びが
近似していることがわかる。
【0053】
【発明の効果】以上詳記したように、この発明によれ
ば、サーボモータの加減速の頻度にかかわらず、補正量
をボールねじの実際の伸びに近似させることができ、し
たがってセミクローズドループ方式のNC工作機械にお
いて高精度の加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明方法を実施するための機能ブロック図
である。
【図2】この発明を実施するためのフローチャートであ
る。
【図3】ボールねじを区分して熱量を求める場合の説明
図である。
【図4】この発明方法を実験するための装置の概略図で
ある。
【図5】この発明方法の実験結果を示すグラフである。
【図6】この発明方法および既提案方法を実験するため
に選択した送りパターンを示す図である。
【図7】既提案方法の実験結果を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑山 聡 千葉県我孫子市我孫子1番地 日立精機株 式会社内 (72)発明者 宮崎 浩和 千葉県我孫子市我孫子1番地 日立精機株 式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−256336(JP,A)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】位置決め用ボールねじと、このボールねじ
    を回転駆動するためのサーボモータと、このサーボモー
    タの回転速度を制御するための速度制御手段とを有する
    NC工作機械における前記ボールねじの熱変位補正方法
    であって、以下の手順を有する。 a.前記サーボモータの回転速度を測定すること b.前記回転速度から前記ボールねじに発生する発熱量
    を求めること c.前記発熱量から前記ボールねじの温度分布を算出す
    ること d.前記温度分布から前記ボールねじの熱変位量を算出
    すること e.前記熱変位量をNC装置のピッチエラ補正データメ
    モリエリアに入力してボールねじのピッチエラー補正量
    を修正させること。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記回転速度の測定、
    前記発熱量の算出、前記温度分布の算出、前記熱変位量
    の算出および前記ピッチエラー補正量の修正を前記NC
    工作機械の運転時間終了まで所定時間ごとに繰り返すこ
    とを特徴とするボールねじの熱変位補正方法。
  3. 【請求項3】請求項2において、前記NC工作機械の運
    転停止中の電源が切られた時間から前記ボールねじの縮
    み量を算出し、前記NC工作機械の運転開始時に前記縮
    み量を加味して前記ボールねじのピッチエラーの補正量
    の初期設定を行うことを特徴とするボールねじの熱変位
    補正方法。
  4. 【請求項4】請求項1ないし3のいずれか1において、
    前記発熱量を前記ボールねじの前部軸受部、ナット移動
    部および後部軸受部ごとに求め、前記各部ごとに前記温
    度分布および前記熱変位量を算出することを特徴とする
    ボールねじの熱変位補正方法。
  5. 【請求項5】請求項4において、前記ナット移動部を複
    数の区分に分割し、各分割区分ごとにナットの存在確率
    を求め、この存在確率と前記ナット移動部全体の発熱量
    とから各分割区分ごとに前記温度分布および前記熱変位
    量を算出することを特徴とするボールねじの熱変位補正
    方法。
  6. 【請求項6】請求項1ないし5のいずれか1において、
    前記温度分布を以下の非定常熱伝導方程式、 【数1】 から算出することを特徴とするボールねじの熱変位補正
    方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013111831B4 (de) * 2012-10-30 2016-06-16 Fanuc Corporation Servo-Regelvorrichtung für eine Korrektur auf Basis der Dehn- oder Kontraktionsgröße einer Kugelgewindespindel

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3154946B2 (ja) * 1996-11-11 2001-04-09 ファナック株式会社 工作機械の熱変位補正方法
JP3405965B2 (ja) * 2000-07-06 2003-05-12 ファナック株式会社 工作機械の熱変位補正方法
JP2002254269A (ja) * 2001-03-02 2002-09-10 Nsd Corp サーボモータ制御装置
JP4538480B2 (ja) * 2007-09-07 2010-09-08 株式会社キラ・コーポレーション ボールねじの熱変位補償方法と、その補償方法を実行するnc工作機械
JP2009214283A (ja) 2008-03-13 2009-09-24 Brother Ind Ltd 工作機械の熱変位補正方法、熱変位補正装置及びその熱変位補正用プログラム
JP5224177B2 (ja) * 2008-07-30 2013-07-03 ブラザー工業株式会社 工作機械の熱変位補正方法及び熱変位補正装置
JP2010082724A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Brother Ind Ltd 工作機械の熱変位補正装置及び熱変位補正方法
JP5169946B2 (ja) * 2009-03-31 2013-03-27 ブラザー工業株式会社 数値制御式工作機械及びその熱変位補正方法
JP5387838B2 (ja) * 2009-08-28 2014-01-15 ブラザー工業株式会社 数値制御式工作機械の熱変位補正方法及びその熱変位補正装置
JP6285297B2 (ja) * 2014-07-03 2018-02-28 ファナック株式会社 工作機械の制御装置
JP6538786B2 (ja) * 2017-09-07 2019-07-03 ファナック株式会社 温度推定装置および温度推定方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013111831B4 (de) * 2012-10-30 2016-06-16 Fanuc Corporation Servo-Regelvorrichtung für eine Korrektur auf Basis der Dehn- oder Kontraktionsgröße einer Kugelgewindespindel

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