JPH09320031A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH09320031A JPH09320031A JP13648196A JP13648196A JPH09320031A JP H09320031 A JPH09320031 A JP H09320031A JP 13648196 A JP13648196 A JP 13648196A JP 13648196 A JP13648196 A JP 13648196A JP H09320031 A JPH09320031 A JP H09320031A
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- magnetic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 広い周波数範囲で良好な出力特性を示す磁気
記録媒体、特にイオンアシストにより形成されたＦｅを
主体とする磁性層を有する磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 支持体上に形成された少なくとも１層の
磁性層を有する磁気記録媒体において、全磁性層のう
ち、支持体から最も遠い第一磁性層を、鉄を主成分とし
て含有し、且つ窒素、炭素及び酸素から選ばれる少なく
とも２種をそれぞれ５％（原子比）以上含有する磁性層
とし、且つ当該第一磁性層の垂直方向の保磁力（Ｈ
ｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比をＨｃV／ＨｃL
＝１．４〜２．２とする。
記録媒体、特にイオンアシストにより形成されたＦｅを
主体とする磁性層を有する磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 支持体上に形成された少なくとも１層の
磁性層を有する磁気記録媒体において、全磁性層のう
ち、支持体から最も遠い第一磁性層を、鉄を主成分とし
て含有し、且つ窒素、炭素及び酸素から選ばれる少なく
とも２種をそれぞれ５％（原子比）以上含有する磁性層
とし、且つ当該第一磁性層の垂直方向の保磁力（Ｈ
ｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比をＨｃV／ＨｃL
＝１．４〜２．２とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、鉄を主成分として
含有し、且つ窒素、炭素及び酸素のうち少なくとも２種
を含む磁性層を有する金属薄膜型の磁気記録媒体に関す
る。
含有し、且つ窒素、炭素及び酸素のうち少なくとも２種
を含む磁性層を有する金属薄膜型の磁気記録媒体に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる塗布型テープと、フ
ィルム上に真空中で磁性金属を蒸着する真空蒸着法等を
用いてバインダーを全く含まない金属薄膜の磁性層を非
磁性支持体上に付着させる金属薄膜型テープとがある。
そして、近年の磁気記録は高密度記録化の方向にあり、
金属薄膜型テープは、磁性層にバインダーを含まないこ
とから磁性材料の密度を高められるため、高密度記録に
有望であるとされている。
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる塗布型テープと、フ
ィルム上に真空中で磁性金属を蒸着する真空蒸着法等を
用いてバインダーを全く含まない金属薄膜の磁性層を非
磁性支持体上に付着させる金属薄膜型テープとがある。
そして、近年の磁気記録は高密度記録化の方向にあり、
金属薄膜型テープは、磁性層にバインダーを含まないこ
とから磁性材料の密度を高められるため、高密度記録に
有望であるとされている。
【０００３】ところで、真空蒸着法等によって非磁性支
持体上に形成する磁性層用の磁性材料としては、従来で
は、Ｃｏ系、Ｃｏ−Ｎｉ系、Ｃｏ−Ｃｒ系の強磁性合金
が用いられている。しかしながら、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒは
共に価格が高い上に公害問題も有している。この点、Ｆ
ｅ（金属鉄）は、価格が安く公害の安全性においても問
題はないが、高記録密度に不可欠な保磁力が低く、ま
た、耐蝕性が低いという欠点があり、Ｃｏ−Ｎｉ系、Ｃ
ｏ−Ｃｒ系及びＦｅに代わる磁性層用材料が望まれてい
る。加えて、記録密度を上げるため、テープとヘッドの
接触相対速度は速くなる傾向がある。しかしながら現状
では、金属薄膜型の磁性層については十分満足のゆく耐
久性が得られていない。
持体上に形成する磁性層用の磁性材料としては、従来で
は、Ｃｏ系、Ｃｏ−Ｎｉ系、Ｃｏ−Ｃｒ系の強磁性合金
が用いられている。しかしながら、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒは
共に価格が高い上に公害問題も有している。この点、Ｆ
ｅ（金属鉄）は、価格が安く公害の安全性においても問
題はないが、高記録密度に不可欠な保磁力が低く、ま
た、耐蝕性が低いという欠点があり、Ｃｏ−Ｎｉ系、Ｃ
ｏ−Ｃｒ系及びＦｅに代わる磁性層用材料が望まれてい
る。加えて、記録密度を上げるため、テープとヘッドの
接触相対速度は速くなる傾向がある。しかしながら現状
では、金属薄膜型の磁性層については十分満足のゆく耐
久性が得られていない。
【０００４】このような状況から、磁性層を構成する金
属の主体を低価格で環境汚染の心配のないＦｅとし、耐
食性を有する磁性層を形成するために、Ｆｅの蒸着中に
酸素、窒素、二酸化炭素等のガスやこれらの混合ガスを
イオン化して照射する、いわゆるイオンアシストによる
蒸着法により、Ｆｅ−Ｎ系、Ｆｅ−Ｃ系、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ
系、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系（以下、これ
らを単にＦｅ系という場合もある）の磁性膜を形成する
ことが試みられている。
属の主体を低価格で環境汚染の心配のないＦｅとし、耐
食性を有する磁性層を形成するために、Ｆｅの蒸着中に
酸素、窒素、二酸化炭素等のガスやこれらの混合ガスを
イオン化して照射する、いわゆるイオンアシストによる
蒸着法により、Ｆｅ−Ｎ系、Ｆｅ−Ｃ系、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ
系、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系（以下、これ
らを単にＦｅ系という場合もある）の磁性膜を形成する
ことが試みられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このようなイオンアシ
ストにより形成されたＦｅ系の磁性層は、主として耐久
性の向上を目的としたものであるが、炭化、窒化、酸化
により結晶系が立方晶系や斜方晶系になるため、保磁力
の向きが大きな問題となってくる。つまり、長手方向に
高い保磁力（Ｈｃ）を持つだけでは高い出力を得ること
はできない。特に全域で高い出力を得ることは困難とな
る。従って、本発明の目的は、イオンアシストにより形
成されたＦｅ系の磁性層を有する磁気記録媒体におい
て、全域で高い出力特性を示す磁気記録媒体を提供する
ことにある。
ストにより形成されたＦｅ系の磁性層は、主として耐久
性の向上を目的としたものであるが、炭化、窒化、酸化
により結晶系が立方晶系や斜方晶系になるため、保磁力
の向きが大きな問題となってくる。つまり、長手方向に
高い保磁力（Ｈｃ）を持つだけでは高い出力を得ること
はできない。特に全域で高い出力を得ることは困難とな
る。従って、本発明の目的は、イオンアシストにより形
成されたＦｅ系の磁性層を有する磁気記録媒体におい
て、全域で高い出力特性を示す磁気記録媒体を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記のよ
うな状況に鑑み、全域で高い出力特性を示す鉄系の磁気
記録媒体を得るために鋭意研究した結果、Ｆｅ系の磁性
層において垂直方向の保磁力と長手方向の保磁力を特定
の比率とすることにより、前記の目的を達成できること
を見出し、本発明を完成するに至った。
うな状況に鑑み、全域で高い出力特性を示す鉄系の磁気
記録媒体を得るために鋭意研究した結果、Ｆｅ系の磁性
層において垂直方向の保磁力と長手方向の保磁力を特定
の比率とすることにより、前記の目的を達成できること
を見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】即ち、本発明は、支持体と、該支持体上に
形成された少なくとも１層の磁性層を有する磁気記録媒
体であって、前記磁性層のうち、前記支持体から最も遠
い第一磁性層が、鉄を主成分として含有し、且つ窒素、
炭素及び酸素から選ばれる少なくとも２種をそれぞれ５
％（原子比）以上含有し、更に当該第一磁性層の垂直方
向の保磁力（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比
ＨｃV／ＨｃLが１．４〜２．２である磁気記録媒体を提
供するものである。
形成された少なくとも１層の磁性層を有する磁気記録媒
体であって、前記磁性層のうち、前記支持体から最も遠
い第一磁性層が、鉄を主成分として含有し、且つ窒素、
炭素及び酸素から選ばれる少なくとも２種をそれぞれ５
％（原子比）以上含有し、更に当該第一磁性層の垂直方
向の保磁力（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比
ＨｃV／ＨｃLが１．４〜２．２である磁気記録媒体を提
供するものである。
【０００８】本発明において、「鉄を主成分とする」と
は、磁性層中の原子比で５０％以上、好ましくは６０〜
９０％含むことを意味する。また、本発明において、
「垂直方向」とは、磁性層の深さ方向（磁性層表面から
支持体への方向）の垂直方向を意味し、この方向に沿っ
て測定した保磁力をＨｃV とする。また、本発明におい
て、「長手方向」とは媒体の走行方向を意味し、この方
向に沿って測定した保磁力をＨｃL とする。本発明にお
いて、ＨｃL 、ＨｃV は、振動試料磁束計（ＶＳＭ）を
用いて測定される。
は、磁性層中の原子比で５０％以上、好ましくは６０〜
９０％含むことを意味する。また、本発明において、
「垂直方向」とは、磁性層の深さ方向（磁性層表面から
支持体への方向）の垂直方向を意味し、この方向に沿っ
て測定した保磁力をＨｃV とする。また、本発明におい
て、「長手方向」とは媒体の走行方向を意味し、この方
向に沿って測定した保磁力をＨｃL とする。本発明にお
いて、ＨｃL 、ＨｃV は、振動試料磁束計（ＶＳＭ）を
用いて測定される。
【０００９】本発明の磁気記録媒体は、少なくとも一層
の磁性層を有するものであり、そのうち支持体から最も
遠い第一磁性層に特徴を有する。すなわち、第一磁性層
は鉄を主体として含有し、且つ窒素、炭素及び酸素から
選ばれる少なくとも２種を、それぞれ５％（原子比）以
上含有する。そして、当該第一磁性層の垂直方向の保磁
力（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比がＨｃV
／ＨｃL＝１．４〜２．２である。
の磁性層を有するものであり、そのうち支持体から最も
遠い第一磁性層に特徴を有する。すなわち、第一磁性層
は鉄を主体として含有し、且つ窒素、炭素及び酸素から
選ばれる少なくとも２種を、それぞれ５％（原子比）以
上含有する。そして、当該第一磁性層の垂直方向の保磁
力（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比がＨｃV
／ＨｃL＝１．４〜２．２である。
【００１０】本発明において、第一磁性層における鉄
（Ｆｅ）、窒素（Ｎ）、炭素（Ｃ）及び酸素（Ｏ）の割
合は、上記の範囲を満たす限り限定されないが、例えば
以下のような割合が考えられる。 ＜Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系＞ Ｆｅ：６０〜９０％、好ましくは６５〜８４％（原子
比、以下同じ） Ｎ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｏ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ ＜Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系＞ Ｆｅ：６０〜９０％、好ましくは６５〜８４％ Ｃ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｏ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ ＜Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系＞ Ｆｅ：６０〜９０％、好ましくは６５〜８４％ Ｎ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｃ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｏ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ ここで、第一磁性層中の窒素、炭素及び酸素の比率が５
％以上で、且つこれらの元素を２種以上含まないと、耐
食性、特に高温多湿下で放置後の耐食性が低下する。
（Ｆｅ）、窒素（Ｎ）、炭素（Ｃ）及び酸素（Ｏ）の割
合は、上記の範囲を満たす限り限定されないが、例えば
以下のような割合が考えられる。 ＜Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系＞ Ｆｅ：６０〜９０％、好ましくは６５〜８４％（原子
比、以下同じ） Ｎ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｏ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ ＜Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系＞ Ｆｅ：６０〜９０％、好ましくは６５〜８４％ Ｃ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｏ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ ＜Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系＞ Ｆｅ：６０〜９０％、好ましくは６５〜８４％ Ｎ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｃ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｏ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ ここで、第一磁性層中の窒素、炭素及び酸素の比率が５
％以上で、且つこれらの元素を２種以上含まないと、耐
食性、特に高温多湿下で放置後の耐食性が低下する。
【００１１】前記した通り本発明の第一磁性層は、その
垂直方向の保磁力ＨｃV と長手方向の保磁力ＨｃL の比
がＨｃV／ＨｃL＝１．４〜２．２である。この比が１．
４未満であると高域での出力特性が悪い。また、この比
が２．２を超えると逆に低域での出力特性が劣る。Ｈｃ
V 、ＨｃL の具体的な数値はこの比を満たしていれば限
定されないが、それぞれ望ましくは、１０００〜２８０
０（Ｏｅ）の範囲から選ばれる。
垂直方向の保磁力ＨｃV と長手方向の保磁力ＨｃL の比
がＨｃV／ＨｃL＝１．４〜２．２である。この比が１．
４未満であると高域での出力特性が悪い。また、この比
が２．２を超えると逆に低域での出力特性が劣る。Ｈｃ
V 、ＨｃL の具体的な数値はこの比を満たしていれば限
定されないが、それぞれ望ましくは、１０００〜２８０
０（Ｏｅ）の範囲から選ばれる。
【００１２】本発明において、垂直方向の保磁力ＨｃV
と長手方向の保磁力ＨｃL をコントロールする方法とし
ては、例えば以下のような方法が挙げられる。 蒸着時の遮蔽板又はルツボの位置をコントロールして
蒸気の入射角をコントロールする。この場合、入射角を
大きくすればＨｃV／ＨｃLは小さくなる。 蒸着時のイオンガンの入射角をコントロールする。 磁性層のコラムの生成をコントロールする物質を用い
てアンダーコート層（磁性層の下層となる層）を形成
し、その上に磁性層を形成する。 この他にもいろいろな方法が考えられる。また、イオン
アシスト蒸着法以外の方法で磁性層を形成することも可
能であり、それぞれの方法に応じた任意の手法で保磁力
の調整を行えばよい。
と長手方向の保磁力ＨｃL をコントロールする方法とし
ては、例えば以下のような方法が挙げられる。 蒸着時の遮蔽板又はルツボの位置をコントロールして
蒸気の入射角をコントロールする。この場合、入射角を
大きくすればＨｃV／ＨｃLは小さくなる。 蒸着時のイオンガンの入射角をコントロールする。 磁性層のコラムの生成をコントロールする物質を用い
てアンダーコート層（磁性層の下層となる層）を形成
し、その上に磁性層を形成する。 この他にもいろいろな方法が考えられる。また、イオン
アシスト蒸着法以外の方法で磁性層を形成することも可
能であり、それぞれの方法に応じた任意の手法で保磁力
の調整を行えばよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体において、
Ｆｅ系の第一磁性層は、鉄を蒸着させながら窒素イオ
ン、炭素イオン、酸素イオンを供給する、いわゆるイオ
ンアシスト蒸着法により形成される。磁性層を形成する
イオンアシスト蒸着法は従来知られている方法により行
なうことができる。ただしイオンアシスト蒸着法以外の
方法、例えばスパッタ法、電子シャワー法、ＣＶＤ法等
を用いてもよい。しかしながら、前記したように、本発
明では第一磁性層中に鉄の他に、窒素、炭素及び酸素の
少なくとも２種が原子比で５％以上含まれる必要があ
る。磁性層の厚さは５００〜５０００Åとするのが良
い。
Ｆｅ系の第一磁性層は、鉄を蒸着させながら窒素イオ
ン、炭素イオン、酸素イオンを供給する、いわゆるイオ
ンアシスト蒸着法により形成される。磁性層を形成する
イオンアシスト蒸着法は従来知られている方法により行
なうことができる。ただしイオンアシスト蒸着法以外の
方法、例えばスパッタ法、電子シャワー法、ＣＶＤ法等
を用いてもよい。しかしながら、前記したように、本発
明では第一磁性層中に鉄の他に、窒素、炭素及び酸素の
少なくとも２種が原子比で５％以上含まれる必要があ
る。磁性層の厚さは５００〜５０００Åとするのが良
い。
【００１４】また、本発明においては、磁性層を多層構
造とすることができるが、その場合、上記の通り、全磁
性層の最表層である第一磁性層をＦｅ系の磁性層とし、
これに隣接する下層の磁性層もＦｅ系とすることが好ま
しい。しかしながら、下層の磁性層はイオンアシストに
よらない金属薄膜型の磁性層であってもよい。本発明に
おいて、第一磁性層の厚さは限定されないが、通常５０
０〜２５００Åである。下層の磁性層を形成する場合も
その厚さは５００〜２０００Å程度である。
造とすることができるが、その場合、上記の通り、全磁
性層の最表層である第一磁性層をＦｅ系の磁性層とし、
これに隣接する下層の磁性層もＦｅ系とすることが好ま
しい。しかしながら、下層の磁性層はイオンアシストに
よらない金属薄膜型の磁性層であってもよい。本発明に
おいて、第一磁性層の厚さは限定されないが、通常５０
０〜２５００Åである。下層の磁性層を形成する場合も
その厚さは５００〜２０００Å程度である。
【００１５】本発明の磁気記録媒体の支持体の材料とし
ては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレートのようなポリエステル；ポリエチレン、ポリプ
ロピレン等のポリオレフィン; セルローストリアセテー
ト、セルロースジアセテート等のセルロース誘導体；ポ
リカーボネート；ポリ塩化ビニル；ポリイミド；芳香族
ポリアミド等のプラスチック等が使用される。これらの
基材の厚さは３〜５０μｍ程度である。
ては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレートのようなポリエステル；ポリエチレン、ポリプ
ロピレン等のポリオレフィン; セルローストリアセテー
ト、セルロースジアセテート等のセルロース誘導体；ポ
リカーボネート；ポリ塩化ビニル；ポリイミド；芳香族
ポリアミド等のプラスチック等が使用される。これらの
基材の厚さは３〜５０μｍ程度である。
【００１６】また、磁性層上には、厚さ１０〜２００Å
程度の保護層、特にダイヤモンドライクカーボン、グラ
ファイト等の炭素薄膜、酸化珪素、炭化珪素等の含珪素
薄膜、酸化ジルコニウム薄膜等からなる保護層を設ける
ことが望ましい。また、かかる保護層上には、厚さ２〜
５０Å程度の潤滑層、特にパーフルオロポリエーテル等
のフッ素系潤滑剤からなる潤滑層を形成するのが好まし
い。保護層を形成しない場合には磁性層上にこれらの潤
滑層を形成するのが好ましい。また、磁性層が形成され
る面と反対の面には、更にカーボンブラックを主成分と
する厚さ０．１〜１．０μｍ程度のバックコート層等を
設けてもよい。これらの層を形成する原料は従来公知の
ものが適宜使用できる。また、Ｃｕ−Ａｌ合金等の金属
を蒸着させて厚さ５００〜１００００Å程度のバックコ
ート層を形成してもよい。更に蒸着時に酸化、炭化並び
に窒化などを行うことにより、酸化膜、炭化膜、窒化膜
及びそれらの複合物等のようにセラミックス化したもの
は特に好適である。
程度の保護層、特にダイヤモンドライクカーボン、グラ
ファイト等の炭素薄膜、酸化珪素、炭化珪素等の含珪素
薄膜、酸化ジルコニウム薄膜等からなる保護層を設ける
ことが望ましい。また、かかる保護層上には、厚さ２〜
５０Å程度の潤滑層、特にパーフルオロポリエーテル等
のフッ素系潤滑剤からなる潤滑層を形成するのが好まし
い。保護層を形成しない場合には磁性層上にこれらの潤
滑層を形成するのが好ましい。また、磁性層が形成され
る面と反対の面には、更にカーボンブラックを主成分と
する厚さ０．１〜１．０μｍ程度のバックコート層等を
設けてもよい。これらの層を形成する原料は従来公知の
ものが適宜使用できる。また、Ｃｕ−Ａｌ合金等の金属
を蒸着させて厚さ５００〜１００００Å程度のバックコ
ート層を形成してもよい。更に蒸着時に酸化、炭化並び
に窒化などを行うことにより、酸化膜、炭化膜、窒化膜
及びそれらの複合物等のようにセラミックス化したもの
は特に好適である。
【００１７】図１により本発明の磁気記録媒体の製造方
法の一例を示す。図１はイオンアシスト蒸着装置の要部
であり、図１中、１はキャンロール、２はベースフィル
ム、３はイオンガン、４は防着板、５は電子銃、６はル
ツボであり、金属鉄を収容している。このうち、イオン
ガン３以外は図示しない真空容器内に収容されている。
ベースフィルム２は、円筒状のキャンロール１を搬送さ
れる。また、キャンロール１の下方には、ＭｇＯ製のル
ツボ６が置かれ、この中に鉄（例えば純度９９．９５％
のＦｅ）が収容され、このルツボ６内のＦｅ面に対して
電子銃５から電子ビームが照射される。これにより、Ｆ
ｅが加熱気化して、キャンロール１上を走行するベース
フィルム２に付着する。一方、Ｆｅの蒸着時には、フィ
ルム２の蒸着面に対して垂直方向にイオンが照射される
ようにイオンガン３を配置し、このイオンガン３には炭
素源、窒素源、酸素源となるガス、例えばメタンガスや
炭酸ガスを供給し所望のイオンを生成させ、蒸着領域中
に供給する。また、任意に酸素ガス導入管（図示せず）
を設置して酸素ガスを蒸着領域中に通気して酸素源とし
てもよい。これにより、Ｆｅを主体として、窒素、炭
素、酸素を含む本発明の第一磁性層が形成される。な
お、多層構造の磁性層を形成する場合は、図１のような
装置を用いて連続的に形成してもよいし、蒸着を複数回
繰り返して（いわゆるバッチ式で）形成することもでき
るが、いずれの方法の場合も第一磁性層は本発明で規定
する条件を満たすＦｅ系性層とする必要がある。
法の一例を示す。図１はイオンアシスト蒸着装置の要部
であり、図１中、１はキャンロール、２はベースフィル
ム、３はイオンガン、４は防着板、５は電子銃、６はル
ツボであり、金属鉄を収容している。このうち、イオン
ガン３以外は図示しない真空容器内に収容されている。
ベースフィルム２は、円筒状のキャンロール１を搬送さ
れる。また、キャンロール１の下方には、ＭｇＯ製のル
ツボ６が置かれ、この中に鉄（例えば純度９９．９５％
のＦｅ）が収容され、このルツボ６内のＦｅ面に対して
電子銃５から電子ビームが照射される。これにより、Ｆ
ｅが加熱気化して、キャンロール１上を走行するベース
フィルム２に付着する。一方、Ｆｅの蒸着時には、フィ
ルム２の蒸着面に対して垂直方向にイオンが照射される
ようにイオンガン３を配置し、このイオンガン３には炭
素源、窒素源、酸素源となるガス、例えばメタンガスや
炭酸ガスを供給し所望のイオンを生成させ、蒸着領域中
に供給する。また、任意に酸素ガス導入管（図示せず）
を設置して酸素ガスを蒸着領域中に通気して酸素源とし
てもよい。これにより、Ｆｅを主体として、窒素、炭
素、酸素を含む本発明の第一磁性層が形成される。な
お、多層構造の磁性層を形成する場合は、図１のような
装置を用いて連続的に形成してもよいし、蒸着を複数回
繰り返して（いわゆるバッチ式で）形成することもでき
るが、いずれの方法の場合も第一磁性層は本発明で規定
する条件を満たすＦｅ系性層とする必要がある。
【００１８】上記では、イオンアシスト蒸着法により磁
性層を形成する方法を説明したが、磁性層の形成方法は
これに限定されるものではなく、前述した如くスパッタ
法、ＣＶＤ法等の方法を使用してもよい。また、これら
の方法を組み合わせて磁性層の形成を行ってもよい。
性層を形成する方法を説明したが、磁性層の形成方法は
これに限定されるものではなく、前述した如くスパッタ
法、ＣＶＤ法等の方法を使用してもよい。また、これら
の方法を組み合わせて磁性層の形成を行ってもよい。
【００１９】
【実施例】以下実施例にて本発明を説明するが、本発明
はこれらの実施例に限定されるものではない。
はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００２０】実施例１ （１）磁気テープの製造 厚さ６．５μｍのＰＥＴフィルム上に図１の装置を用い
たイオンアシスト蒸着により、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系磁性層を
形成した。この磁性層の厚さは１７００Åであり、原子
比はＦｅ：Ｎ：Ｏ＝７６：１４：１０（原子％）であっ
た。次いで、この磁性層上にＥＣＲプラズマＣＶＤ法に
より厚さが１００Åのダイヤモンドライクカーボン薄膜
からなる保護層を形成した。更に、この保護層上に極性
基である−ＯＨ基を持つパーフルオロポリエーテル〔デ
ムナムＳＡ：ダイキン工業製〕を厚さが１００Åとなる
ように付着して潤滑剤層を形成した。また、このフィル
ムの磁性層形成面と反対の面に、バックコート層を形成
した。バックコート層は、２０〜３０ｎｍの直径のカー
ボンを含有するバインダーを乾燥後の厚さが０．５μｍ
となるようにフィルムに塗布して乾燥して形成した。上
記により得られた、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系磁性層、ダイヤモン
ドライクカーボン保護層、フッ素系潤滑層及びバックコ
ート層が形成されたフィルムを８ｍｍ巾に裁断し、カセ
ットケースにローディングし８ｍｍビデオテープを得
た。
たイオンアシスト蒸着により、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系磁性層を
形成した。この磁性層の厚さは１７００Åであり、原子
比はＦｅ：Ｎ：Ｏ＝７６：１４：１０（原子％）であっ
た。次いで、この磁性層上にＥＣＲプラズマＣＶＤ法に
より厚さが１００Åのダイヤモンドライクカーボン薄膜
からなる保護層を形成した。更に、この保護層上に極性
基である−ＯＨ基を持つパーフルオロポリエーテル〔デ
ムナムＳＡ：ダイキン工業製〕を厚さが１００Åとなる
ように付着して潤滑剤層を形成した。また、このフィル
ムの磁性層形成面と反対の面に、バックコート層を形成
した。バックコート層は、２０〜３０ｎｍの直径のカー
ボンを含有するバインダーを乾燥後の厚さが０．５μｍ
となるようにフィルムに塗布して乾燥して形成した。上
記により得られた、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系磁性層、ダイヤモン
ドライクカーボン保護層、フッ素系潤滑層及びバックコ
ート層が形成されたフィルムを８ｍｍ巾に裁断し、カセ
ットケースにローディングし８ｍｍビデオテープを得
た。
【００２１】得られた８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃL
を前記した方法により測定したところ、ＨｃV ＝２００
０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１１８０（Ｏｅ）であった〔Ｈｃ
V ／ＨｃL ＝１．７〕。
を前記した方法により測定したところ、ＨｃV ＝２００
０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１１８０（Ｏｅ）であった〔Ｈｃ
V ／ＨｃL ＝１．７〕。
【００２２】（２）性能評価 上記で得られた８ｍｍビデオテープについて、出力及
び耐食性を以下の方法で評価した。その結果を表１に
示す。 出力 出力は市販の８ｍｍＶＴＲを用いて、１〜３０ＭＨｚに
おける出力を測定した。なお、出力は市販のＨｉ８用テ
ープ（ソニー株式会社製）を基準（０ｄＢ）とする相対
評価とした。 耐食性 耐食性は、８ｍｍビデオテープを６０℃、９０％ＲＨの
環境下に４週間放置し、前後の飽和磁束密度（Ｂｓ）の
減少率で評価した。
び耐食性を以下の方法で評価した。その結果を表１に
示す。 出力 出力は市販の８ｍｍＶＴＲを用いて、１〜３０ＭＨｚに
おける出力を測定した。なお、出力は市販のＨｉ８用テ
ープ（ソニー株式会社製）を基準（０ｄＢ）とする相対
評価とした。 耐食性 耐食性は、８ｍｍビデオテープを６０℃、９０％ＲＨの
環境下に４週間放置し、前後の飽和磁束密度（Ｂｓ）の
減少率で評価した。
【００２３】実施例２ 実施例１において、イオンアシスト蒸着の際のイオン源
を炭素としてＦｅ−Ｃ−Ｏ系磁性層を形成し、その他は
実施例１と同様にして８ｍｍビデオテープを製造した。
ここで、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系磁性層の原子比はＦｅ：Ｃ：Ｏ
＝７０：２０：１０（原子％）であった。また、得られ
た８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃL を前記した方法によ
り測定したところ、ＨｃV ＝１５４０（Ｏｅ）、ＨｃL
＝１１００（Ｏｅ）であった〔ＨｃV ／ＨｃL ＝１．
４〕。この８ｍｍビデオテープについて実施例１と同様
の評価を行った。その結果を表１に示す。
を炭素としてＦｅ−Ｃ−Ｏ系磁性層を形成し、その他は
実施例１と同様にして８ｍｍビデオテープを製造した。
ここで、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系磁性層の原子比はＦｅ：Ｃ：Ｏ
＝７０：２０：１０（原子％）であった。また、得られ
た８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃL を前記した方法によ
り測定したところ、ＨｃV ＝１５４０（Ｏｅ）、ＨｃL
＝１１００（Ｏｅ）であった〔ＨｃV ／ＨｃL ＝１．
４〕。この８ｍｍビデオテープについて実施例１と同様
の評価を行った。その結果を表１に示す。
【００２４】実施例３ 実施例１において、イオンアシスト蒸着の際のイオン源
を窒素と炭素としてＦｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層を形成
し、その他は実施例１と同様にして８ｍｍビデオテープ
を製造した。ここで、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層の原子
比はＦｅ：Ｎ：Ｃ：Ｏ＝７５：１０：５：１０（原子
％）であった。また、得られた８ｍｍテープのＨｃV 及
びＨｃL を前記した方法により測定したところ、ＨｃV
＝２６４０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１２００（Ｏｅ）であっ
た〔ＨｃV ／ＨｃL ＝２．２〕。この８ｍｍビデオテー
プについて実施例１と同様の評価を行った。その結果を
表１に示す。
を窒素と炭素としてＦｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層を形成
し、その他は実施例１と同様にして８ｍｍビデオテープ
を製造した。ここで、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層の原子
比はＦｅ：Ｎ：Ｃ：Ｏ＝７５：１０：５：１０（原子
％）であった。また、得られた８ｍｍテープのＨｃV 及
びＨｃL を前記した方法により測定したところ、ＨｃV
＝２６４０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１２００（Ｏｅ）であっ
た〔ＨｃV ／ＨｃL ＝２．２〕。この８ｍｍビデオテー
プについて実施例１と同様の評価を行った。その結果を
表１に示す。
【００２５】実施例４ 実施例３において、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層における
原子比をＦｅ：Ｎ：Ｃ：Ｏ＝７３：１２：１０：５（原
子％）とした以外は同様にして８ｍｍビデオテープを製
造した。また、得られた８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃ
L を前記した方法により測定したところ、ＨｃV ＝２３
７５（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１２５０（Ｏｅ）であった〔Ｈ
ｃV ／ＨｃL ＝１．９〕。この８ｍｍビデオテープにつ
いて実施例１と同様の評価を行った。その結果を表１に
示す。
原子比をＦｅ：Ｎ：Ｃ：Ｏ＝７３：１２：１０：５（原
子％）とした以外は同様にして８ｍｍビデオテープを製
造した。また、得られた８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃ
L を前記した方法により測定したところ、ＨｃV ＝２３
７５（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１２５０（Ｏｅ）であった〔Ｈ
ｃV ／ＨｃL ＝１．９〕。この８ｍｍビデオテープにつ
いて実施例１と同様の評価を行った。その結果を表１に
示す。
【００２６】比較例１ 実施例１において、ＨｃV 及びＨｃL をそれぞれＨｃV
＝１１００（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１０００（Ｏｅ）〔Ｈｃ
V ／ＨｃL ＝１．１〕とした以外は同様にして８ｍｍビ
デオテープを製造し、実施例１と同様の評価を行った。
その結果を表１に示す。
＝１１００（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１０００（Ｏｅ）〔Ｈｃ
V ／ＨｃL ＝１．１〕とした以外は同様にして８ｍｍビ
デオテープを製造し、実施例１と同様の評価を行った。
その結果を表１に示す。
【００２７】比較例２ 実施例１において、ＨｃV 及びＨｃL をそれぞれＨｃV
＝２７３０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１０５０（Ｏｅ）〔Ｈｃ
V ／ＨｃL ＝２．６〕とした以外は同様にして８ｍｍビ
デオテープを製造し、実施例１と同様の評価を行った。
その結果を表１に示す。
＝２７３０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１０５０（Ｏｅ）〔Ｈｃ
V ／ＨｃL ＝２．６〕とした以外は同様にして８ｍｍビ
デオテープを製造し、実施例１と同様の評価を行った。
その結果を表１に示す。
【００２８】比較例３ 実施例４において、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層における
原子比をＦｅ：Ｎ：Ｃ：Ｏ＝８９：４：３：４（原子
％）とした以外は同様にして８ｍｍビデオテープを製造
した。また、得られた８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃL
を前記した方法により測定したところ、ＨｃV ＝１８２
０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝９６０（Ｏｅ）であった〔ＨｃV
／ＨｃL ＝１．９〕。この８ｍｍビデオテープについて
実施例１と同様の評価を行った。その結果を表１に示
す。
原子比をＦｅ：Ｎ：Ｃ：Ｏ＝８９：４：３：４（原子
％）とした以外は同様にして８ｍｍビデオテープを製造
した。また、得られた８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃL
を前記した方法により測定したところ、ＨｃV ＝１８２
０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝９６０（Ｏｅ）であった〔ＨｃV
／ＨｃL ＝１．９〕。この８ｍｍビデオテープについて
実施例１と同様の評価を行った。その結果を表１に示
す。
【００２９】
【表１】
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、広い周波数範囲で良好
な出力特性を示す磁気記録媒体が得られる。しかも、本
発明の磁気記録媒体は耐食性にも優れている。
な出力特性を示す磁気記録媒体が得られる。しかも、本
発明の磁気記録媒体は耐食性にも優れている。
【図１】本発明の磁気記録媒体を製造する装置の要部の
一例を示す略図
一例を示す略図
１ キャンロール ２ ベースフィルム ３ イオンガン ４ 防着板 ５ 電子銃 ６ ルツボ
フロントページの続き (72)発明者 水野谷 博英 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内 (72)発明者 遠藤 克巳 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 支持体と、該支持体上に形成された少な
くとも１層の磁性層を有する磁気記録媒体であって、前
記磁性層のうち、前記支持体から最も遠い第一磁性層
が、鉄を主成分として含有し、且つ窒素、炭素及び酸素
から選ばれる少なくとも２種をそれぞれ５％（原子比）
以上含有し、更に当該第一磁性層の垂直方向の保磁力
（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比ＨｃV／Ｈ
ｃLが１．４〜２．２である磁気記録媒体。 - 【請求項２】 磁性層が多層からなる請求項１記載の磁
気記録媒体。 - 【請求項３】 第一磁性層における垂直方向の保磁力
（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）が、何れも１０
００〜２８００（Ｏｅ）の範囲から選ばれる請求項１又
は２記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13648196A JPH09320031A (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13648196A JPH09320031A (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320031A true JPH09320031A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15176157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13648196A Pending JPH09320031A (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09320031A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005500644A (ja) * | 2001-08-20 | 2005-01-06 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 磁気フィルムを堆積させる方法および装置 |
| SG119145A1 (en) * | 2001-02-01 | 2006-02-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method and apparatus |
| WO2019187323A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP2021057095A (ja) * | 2019-10-01 | 2021-04-08 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記録再生装置および磁気記録媒体カートリッジ |
-
1996
- 1996-05-30 JP JP13648196A patent/JPH09320031A/ja active Pending
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG119145A1 (en) * | 2001-02-01 | 2006-02-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method and apparatus |
| JP2005500644A (ja) * | 2001-08-20 | 2005-01-06 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 磁気フィルムを堆積させる方法および装置 |
| JP2020109716A (ja) * | 2018-03-30 | 2020-07-16 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| US10748570B2 (en) | 2018-03-30 | 2020-08-18 | Sony Corporation | Magnetic recording medium |
| WO2019189941A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP6635240B1 (ja) * | 2018-03-30 | 2020-01-22 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP6635239B1 (ja) * | 2018-03-30 | 2020-01-22 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP2020053110A (ja) * | 2018-03-30 | 2020-04-02 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP2020057447A (ja) * | 2018-03-30 | 2020-04-09 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JPWO2019187323A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2020-04-30 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| WO2019187323A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| WO2019189942A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP2020140761A (ja) * | 2018-03-30 | 2020-09-03 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP2020144971A (ja) * | 2018-03-30 | 2020-09-10 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP2020144972A (ja) * | 2018-03-30 | 2020-09-10 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体 |
| US11270729B2 (en) | 2018-03-30 | 2022-03-08 | Sony Corporation | Magnetic recording medium |
| JP2022010111A (ja) * | 2018-03-30 | 2022-01-14 | ソニーグループ株式会社 | 磁気記録媒体 |
| US11145328B2 (en) | 2018-03-30 | 2021-10-12 | Sony Corporation | Magnetic recording medium |
| US11205455B2 (en) | 2018-03-30 | 2021-12-21 | Sony Corporation | Magnetic recording medium |
| WO2021065019A1 (ja) * | 2019-10-01 | 2021-04-08 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記録再生装置および磁気記録媒体カートリッジ |
| JP2021057095A (ja) * | 2019-10-01 | 2021-04-08 | ソニー株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記録再生装置および磁気記録媒体カートリッジ |
| US11830532B2 (en) | 2019-10-01 | 2023-11-28 | Sony Group Corporation | Magnetic recording medium including magnetic layer having magnetic powder, magnetic recording/reproducing device, and magnetic recording medium cartridge |
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