JPH09320031A - Magnetic recording medium - Google Patents
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- JPH09320031A JPH09320031A JP13648196A JP13648196A JPH09320031A JP H09320031 A JPH09320031 A JP H09320031A JP 13648196 A JP13648196 A JP 13648196A JP 13648196 A JP13648196 A JP 13648196A JP H09320031 A JPH09320031 A JP H09320031A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、鉄を主成分として
含有し、且つ窒素、炭素及び酸素のうち少なくとも２種
を含む磁性層を有する金属薄膜型の磁気記録媒体に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal thin-film type magnetic recording medium containing iron as a main component and having a magnetic layer containing at least two of nitrogen, carbon and oxygen.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる塗布型テープと、フ
ィルム上に真空中で磁性金属を蒸着する真空蒸着法等を
用いてバインダーを全く含まない金属薄膜の磁性層を非
磁性支持体上に付着させる金属薄膜型テープとがある。
そして、近年の磁気記録は高密度記録化の方向にあり、
金属薄膜型テープは、磁性層にバインダーを含まないこ
とから磁性材料の密度を高められるため、高密度記録に
有望であるとされている。2. Description of the Related Art Magnetic recording media, such as magnetic tape,
The binder is completely coated by using a coating tape made by coating a magnetic paint in which a magnetic powder is dispersed in a binder on a film that is a non-magnetic support, and a vacuum deposition method that deposits a magnetic metal in a vacuum on the film. There is a metal thin film type tape in which a magnetic layer of a metal thin film which is not included is attached on a non-magnetic support.
And, magnetic recording in recent years is in the direction of high density recording,
The metal thin film type tape is considered to be promising for high density recording because the density of the magnetic material can be increased because the magnetic layer does not contain a binder.
【０００３】ところで、真空蒸着法等によって非磁性支
持体上に形成する磁性層用の磁性材料としては、従来で
は、Ｃｏ系、Ｃｏ−Ｎｉ系、Ｃｏ−Ｃｒ系の強磁性合金
が用いられている。しかしながら、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒは
共に価格が高い上に公害問題も有している。この点、Ｆ
ｅ（金属鉄）は、価格が安く公害の安全性においても問
題はないが、高記録密度に不可欠な保磁力が低く、ま
た、耐蝕性が低いという欠点があり、Ｃｏ−Ｎｉ系、Ｃ
ｏ−Ｃｒ系及びＦｅに代わる磁性層用材料が望まれてい
る。加えて、記録密度を上げるため、テープとヘッドの
接触相対速度は速くなる傾向がある。しかしながら現状
では、金属薄膜型の磁性層については十分満足のゆく耐
久性が得られていない。By the way, as a magnetic material for a magnetic layer formed on a non-magnetic support by a vacuum vapor deposition method or the like, Co, Co--Ni and Co--Cr ferromagnetic alloys have been conventionally used. There is. However, Co, Ni and Cr are all expensive and have pollution problems. This point, F
Although e (metallic iron) is inexpensive and has no problem in terms of pollution safety, it has the disadvantages of low coercive force, which is essential for high recording density, and low corrosion resistance.
A material for the magnetic layer, which replaces the o-Cr system and Fe, is desired. In addition, in order to increase the recording density, the relative contact speed between the tape and the head tends to increase. However, at present, satisfactory durability is not obtained for the metal thin film type magnetic layer.
【０００４】このような状況から、磁性層を構成する金
属の主体を低価格で環境汚染の心配のないＦｅとし、耐
食性を有する磁性層を形成するために、Ｆｅの蒸着中に
酸素、窒素、二酸化炭素等のガスやこれらの混合ガスを
イオン化して照射する、いわゆるイオンアシストによる
蒸着法により、Ｆｅ−Ｎ系、Ｆｅ−Ｃ系、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ
系、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系（以下、これ
らを単にＦｅ系という場合もある）の磁性膜を形成する
ことが試みられている。Under these circumstances, Fe is used as a main component of the magnetic layer, which is inexpensive and does not cause environmental pollution, and in order to form a magnetic layer having corrosion resistance, oxygen, nitrogen, Fe—N-based, Fe—C-based, Fe—N—O is formed by a so-called ion-assisted vapor deposition method in which a gas such as carbon dioxide or a mixed gas thereof is ionized and irradiated.
It has been attempted to form a magnetic film of a system, a Fe—C—O system, or a Fe—N—C—O system (hereinafter, these may be simply referred to as a Fe system).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このようなイオンアシ
ストにより形成されたＦｅ系の磁性層は、主として耐久
性の向上を目的としたものであるが、炭化、窒化、酸化
により結晶系が立方晶系や斜方晶系になるため、保磁力
の向きが大きな問題となってくる。つまり、長手方向に
高い保磁力（Ｈｃ）を持つだけでは高い出力を得ること
はできない。特に全域で高い出力を得ることは困難とな
る。従って、本発明の目的は、イオンアシストにより形
成されたＦｅ系の磁性層を有する磁気記録媒体におい
て、全域で高い出力特性を示す磁気記録媒体を提供する
ことにある。The Fe-based magnetic layer formed by such ion assisting is mainly intended to improve durability, but the crystal system is cubic due to carbonization, nitriding and oxidation. The orientation of the coercive force becomes a big problem because it becomes a system or an orthorhombic system. That is, a high output cannot be obtained only by having a high coercive force (Hc) in the longitudinal direction. In particular, it is difficult to obtain a high output over the entire area. Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium having an Fe-based magnetic layer formed by ion assist, which exhibits high output characteristics over the entire area.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記のよ
うな状況に鑑み、全域で高い出力特性を示す鉄系の磁気
記録媒体を得るために鋭意研究した結果、Ｆｅ系の磁性
層において垂直方向の保磁力と長手方向の保磁力を特定
の比率とすることにより、前記の目的を達成できること
を見出し、本発明を完成するに至った。In view of the above situation, the inventors of the present invention have made earnest studies to obtain an iron-based magnetic recording medium exhibiting high output characteristics over the entire area, and as a result, the Fe-based magnetic layer was obtained. In the above, it was found that the above-mentioned object can be achieved by making the coercive force in the vertical direction and the coercive force in the longitudinal direction have a specific ratio, and has completed the present invention.
【０００７】即ち、本発明は、支持体と、該支持体上に
形成された少なくとも１層の磁性層を有する磁気記録媒
体であって、前記磁性層のうち、前記支持体から最も遠
い第一磁性層が、鉄を主成分として含有し、且つ窒素、
炭素及び酸素から選ばれる少なくとも２種をそれぞれ５
％（原子比）以上含有し、更に当該第一磁性層の垂直方
向の保磁力（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比
ＨｃV／ＨｃLが１．４〜２．２である磁気記録媒体を提
供するものである。That is, the present invention is a magnetic recording medium having a support and at least one magnetic layer formed on the support, wherein the first magnetic layer farthest from the support is one of the magnetic layers. The magnetic layer contains iron as a main component, and nitrogen,
5 at least two selected from carbon and oxygen
% (Atomic ratio) or more, and the ratio Hc V / Hc L of the coercive force (Hc V ) in the vertical direction and the coercive force (Hc L ) in the longitudinal direction of the first magnetic layer is 1.4 to 2.2. The present invention provides a magnetic recording medium.
【０００８】本発明において、「鉄を主成分とする」と
は、磁性層中の原子比で５０％以上、好ましくは６０〜
９０％含むことを意味する。また、本発明において、
「垂直方向」とは、磁性層の深さ方向（磁性層表面から
支持体への方向）の垂直方向を意味し、この方向に沿っ
て測定した保磁力をＨｃV とする。また、本発明におい
て、「長手方向」とは媒体の走行方向を意味し、この方
向に沿って測定した保磁力をＨｃL とする。本発明にお
いて、ＨｃL 、ＨｃV は、振動試料磁束計（ＶＳＭ）を
用いて測定される。In the present invention, "mainly containing iron" means that the atomic ratio in the magnetic layer is 50% or more, preferably 60 to 50%.
90% included. In the present invention,
The “vertical direction” means a vertical direction in the depth direction of the magnetic layer (direction from the magnetic layer surface to the support), and the coercive force measured along this direction is Hc V. Further, in the present invention, the “longitudinal direction” means the running direction of the medium, and the coercive force measured along this direction is Hc L. In the present invention, Hc L and Hc V are measured using a vibrating sample magnetometer (VSM).
【０００９】本発明の磁気記録媒体は、少なくとも一層
の磁性層を有するものであり、そのうち支持体から最も
遠い第一磁性層に特徴を有する。すなわち、第一磁性層
は鉄を主体として含有し、且つ窒素、炭素及び酸素から
選ばれる少なくとも２種を、それぞれ５％（原子比）以
上含有する。そして、当該第一磁性層の垂直方向の保磁
力（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比がＨｃV
／ＨｃL＝１．４〜２．２である。The magnetic recording medium of the present invention has at least one magnetic layer, and is characterized by the first magnetic layer farthest from the support. That is, the first magnetic layer contains iron as a main component, and also contains at least two kinds selected from nitrogen, carbon and oxygen in an amount of 5% (atomic ratio) or more. The ratio of the coercive force (Hc V ) in the vertical direction and the coercive force (Hc L ) in the longitudinal direction of the first magnetic layer is Hc V.
/ Hc L = 1.4 to 2.2.
【００１０】本発明において、第一磁性層における鉄
（Ｆｅ）、窒素（Ｎ）、炭素（Ｃ）及び酸素（Ｏ）の割
合は、上記の範囲を満たす限り限定されないが、例えば
以下のような割合が考えられる。 ＜Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系＞ Ｆｅ：６０〜９０％、好ましくは６５〜８４％（原子
比、以下同じ） Ｎ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｏ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ ＜Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系＞ Ｆｅ：６０〜９０％、好ましくは６５〜８４％ Ｃ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｏ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ ＜Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系＞ Ｆｅ：６０〜９０％、好ましくは６５〜８４％ Ｎ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｃ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ Ｏ： ５〜２５％、好ましくは ７〜２０％ ここで、第一磁性層中の窒素、炭素及び酸素の比率が５
％以上で、且つこれらの元素を２種以上含まないと、耐
食性、特に高温多湿下で放置後の耐食性が低下する。In the present invention, the ratio of iron (Fe), nitrogen (N), carbon (C) and oxygen (O) in the first magnetic layer is not limited as long as the above range is satisfied. Percentage is possible. <Fe-N-O system> Fe: 60 to 90%, preferably 65 to 84% (atomic ratio, the same hereinafter) N: 5 to 25%, preferably 7 to 20% O: 5 to 25%, preferably 7 to 20% <Fe-CO system> Fe: 60 to 90%, preferably 65 to 84% C: 5 to 25%, preferably 7 to 20% O: 5 to 25%, preferably 7 to 20% % <Fe-NCO system> Fe: 60 to 90%, preferably 65 to 84% N: 5 to 25%, preferably 7 to 20% C: 5 to 25%, preferably 7 to 20% O: 5 to 25%, preferably 7 to 20%, where the ratio of nitrogen, carbon and oxygen in the first magnetic layer is 5
% Or more and two or more of these elements are not contained, the corrosion resistance, particularly the corrosion resistance after standing under high temperature and high humidity is deteriorated.
【００１１】前記した通り本発明の第一磁性層は、その
垂直方向の保磁力ＨｃV と長手方向の保磁力ＨｃL の比
がＨｃV／ＨｃL＝１．４〜２．２である。この比が１．
４未満であると高域での出力特性が悪い。また、この比
が２．２を超えると逆に低域での出力特性が劣る。Ｈｃ
V 、ＨｃL の具体的な数値はこの比を満たしていれば限
定されないが、それぞれ望ましくは、１０００〜２８０
０（Ｏｅ）の範囲から選ばれる。As described above, in the first magnetic layer of the present invention, the ratio of the coercive force Hc V in the vertical direction to the coercive force Hc L in the longitudinal direction is Hc V / Hc L = 1.4 to 2.2. This ratio is 1.
If it is less than 4, the output characteristics in the high range are poor. On the other hand, when this ratio exceeds 2.2, the output characteristics in the low frequency range are deteriorated. Hc
The specific numerical values of V and Hc L are not limited as long as this ratio is satisfied, but are preferably 1000 to 280, respectively.
It is selected from the range of 0 (Oe).
【００１２】本発明において、垂直方向の保磁力ＨｃV
と長手方向の保磁力ＨｃL をコントロールする方法とし
ては、例えば以下のような方法が挙げられる。 蒸着時の遮蔽板又はルツボの位置をコントロールして
蒸気の入射角をコントロールする。この場合、入射角を
大きくすればＨｃV／ＨｃLは小さくなる。 蒸着時のイオンガンの入射角をコントロールする。 磁性層のコラムの生成をコントロールする物質を用い
てアンダーコート層（磁性層の下層となる層）を形成
し、その上に磁性層を形成する。 この他にもいろいろな方法が考えられる。また、イオン
アシスト蒸着法以外の方法で磁性層を形成することも可
能であり、それぞれの方法に応じた任意の手法で保磁力
の調整を行えばよい。In the present invention, the vertical coercive force Hc V
As a method for controlling the coercive force Hc L in the longitudinal direction, for example, the following method may be mentioned. The incident angle of vapor is controlled by controlling the position of the shielding plate or crucible during vapor deposition. In this case, the larger the incident angle, the smaller Hc V / Hc L. Controls the angle of incidence of the ion gun during vapor deposition. An undercoat layer (a layer below the magnetic layer) is formed using a substance that controls the generation of columns of the magnetic layer, and the magnetic layer is formed thereon. In addition to this, various methods can be considered. The magnetic layer can be formed by a method other than the ion-assisted vapor deposition method, and the coercive force may be adjusted by any method according to each method.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体において、
Ｆｅ系の第一磁性層は、鉄を蒸着させながら窒素イオ
ン、炭素イオン、酸素イオンを供給する、いわゆるイオ
ンアシスト蒸着法により形成される。磁性層を形成する
イオンアシスト蒸着法は従来知られている方法により行
なうことができる。ただしイオンアシスト蒸着法以外の
方法、例えばスパッタ法、電子シャワー法、ＣＶＤ法等
を用いてもよい。しかしながら、前記したように、本発
明では第一磁性層中に鉄の他に、窒素、炭素及び酸素の
少なくとも２種が原子比で５％以上含まれる必要があ
る。磁性層の厚さは５００〜５０００Åとするのが良
い。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the magnetic recording medium of the present invention,
The Fe-based first magnetic layer is formed by a so-called ion assisted vapor deposition method of supplying nitrogen ions, carbon ions, and oxygen ions while depositing iron. The ion-assisted deposition method for forming the magnetic layer can be performed by a conventionally known method. However, a method other than the ion assisted vapor deposition method, for example, a sputtering method, an electron shower method, a CVD method or the like may be used. However, as described above, in the present invention, at least two kinds of nitrogen, carbon and oxygen must be contained in the first magnetic layer in an atomic ratio of 5% or more in addition to iron. The thickness of the magnetic layer is preferably 500-5000Å.
【００１４】また、本発明においては、磁性層を多層構
造とすることができるが、その場合、上記の通り、全磁
性層の最表層である第一磁性層をＦｅ系の磁性層とし、
これに隣接する下層の磁性層もＦｅ系とすることが好ま
しい。しかしながら、下層の磁性層はイオンアシストに
よらない金属薄膜型の磁性層であってもよい。本発明に
おいて、第一磁性層の厚さは限定されないが、通常５０
０〜２５００Åである。下層の磁性層を形成する場合も
その厚さは５００〜２０００Å程度である。In the present invention, the magnetic layer may have a multi-layered structure. In that case, as described above, the first magnetic layer, which is the outermost layer of all magnetic layers, is a Fe-based magnetic layer,
The lower magnetic layer adjacent to this is also preferably made of Fe system. However, the lower magnetic layer may be a metal thin film type magnetic layer that does not rely on ion assist. In the present invention, the thickness of the first magnetic layer is not limited, but usually 50
It is 0 to 2500Å. Even when the lower magnetic layer is formed, the thickness is about 500 to 2000Å.
【００１５】本発明の磁気記録媒体の支持体の材料とし
ては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレートのようなポリエステル；ポリエチレン、ポリプ
ロピレン等のポリオレフィン; セルローストリアセテー
ト、セルロースジアセテート等のセルロース誘導体；ポ
リカーボネート；ポリ塩化ビニル；ポリイミド；芳香族
ポリアミド等のプラスチック等が使用される。これらの
基材の厚さは３〜５０μｍ程度である。Examples of the material of the support of the magnetic recording medium of the present invention include polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate; polycarbonate; Plastics such as vinyl; polyimide; and aromatic polyamide are used. The thickness of these substrates is about 3 to 50 μm.
【００１６】また、磁性層上には、厚さ１０〜２００Å
程度の保護層、特にダイヤモンドライクカーボン、グラ
ファイト等の炭素薄膜、酸化珪素、炭化珪素等の含珪素
薄膜、酸化ジルコニウム薄膜等からなる保護層を設ける
ことが望ましい。また、かかる保護層上には、厚さ２〜
５０Å程度の潤滑層、特にパーフルオロポリエーテル等
のフッ素系潤滑剤からなる潤滑層を形成するのが好まし
い。保護層を形成しない場合には磁性層上にこれらの潤
滑層を形成するのが好ましい。また、磁性層が形成され
る面と反対の面には、更にカーボンブラックを主成分と
する厚さ０．１〜１．０μｍ程度のバックコート層等を
設けてもよい。これらの層を形成する原料は従来公知の
ものが適宜使用できる。また、Ｃｕ−Ａｌ合金等の金属
を蒸着させて厚さ５００〜１００００Å程度のバックコ
ート層を形成してもよい。更に蒸着時に酸化、炭化並び
に窒化などを行うことにより、酸化膜、炭化膜、窒化膜
及びそれらの複合物等のようにセラミックス化したもの
は特に好適である。On the magnetic layer, a thickness of 10 to 200Å
It is desirable to provide a protective layer of a certain degree, particularly a carbon thin film such as diamond-like carbon and graphite, a silicon-containing thin film such as silicon oxide and silicon carbide, and a zirconium oxide thin film. Further, the protective layer has a thickness of 2 to
It is preferable to form a lubricating layer of about 50 Å, especially a lubricating layer made of a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether. When the protective layer is not formed, it is preferable to form these lubricating layers on the magnetic layer. Further, on the surface opposite to the surface on which the magnetic layer is formed, a back coat layer or the like containing carbon black as a main component and having a thickness of about 0.1 to 1.0 μm may be further provided. As a raw material for forming these layers, conventionally known materials can be appropriately used. Alternatively, a metal such as a Cu-Al alloy may be deposited to form a back coat layer having a thickness of about 500 to 10000 °. Further, ceramics such as an oxide film, a carbonized film, a nitrided film and a composite thereof by performing oxidation, carbonization and nitridation during vapor deposition are particularly preferable.
【００１７】図１により本発明の磁気記録媒体の製造方
法の一例を示す。図１はイオンアシスト蒸着装置の要部
であり、図１中、１はキャンロール、２はベースフィル
ム、３はイオンガン、４は防着板、５は電子銃、６はル
ツボであり、金属鉄を収容している。このうち、イオン
ガン３以外は図示しない真空容器内に収容されている。
ベースフィルム２は、円筒状のキャンロール１を搬送さ
れる。また、キャンロール１の下方には、ＭｇＯ製のル
ツボ６が置かれ、この中に鉄（例えば純度９９．９５％
のＦｅ）が収容され、このルツボ６内のＦｅ面に対して
電子銃５から電子ビームが照射される。これにより、Ｆ
ｅが加熱気化して、キャンロール１上を走行するベース
フィルム２に付着する。一方、Ｆｅの蒸着時には、フィ
ルム２の蒸着面に対して垂直方向にイオンが照射される
ようにイオンガン３を配置し、このイオンガン３には炭
素源、窒素源、酸素源となるガス、例えばメタンガスや
炭酸ガスを供給し所望のイオンを生成させ、蒸着領域中
に供給する。また、任意に酸素ガス導入管（図示せず）
を設置して酸素ガスを蒸着領域中に通気して酸素源とし
てもよい。これにより、Ｆｅを主体として、窒素、炭
素、酸素を含む本発明の第一磁性層が形成される。な
お、多層構造の磁性層を形成する場合は、図１のような
装置を用いて連続的に形成してもよいし、蒸着を複数回
繰り返して（いわゆるバッチ式で）形成することもでき
るが、いずれの方法の場合も第一磁性層は本発明で規定
する条件を満たすＦｅ系性層とする必要がある。FIG. 1 shows an example of a method of manufacturing the magnetic recording medium of the present invention. 1 is a main part of an ion assisted vapor deposition apparatus. In FIG. 1, 1 is a can roll, 2 is a base film, 3 is an ion gun, 4 is an adhesion plate, 5 is an electron gun, 6 is a crucible, and metal iron is used. Are housed. The components other than the ion gun 3 are housed in a vacuum vessel (not shown).
The base film 2 is transported on a cylindrical can roll 1. Further, a crucible 6 made of MgO is placed below the can roll 1, and iron (for example, purity 99.95%) is contained therein.
Of the crucible 6 is irradiated with an electron beam from the electron gun 5. Thereby, F
e is heated and vaporized and adheres to the base film 2 running on the can roll 1. On the other hand, when depositing Fe, the ion gun 3 is arranged so that ions are irradiated in a direction perpendicular to the deposition surface of the film 2. The ion gun 3 has a gas serving as a carbon source, a nitrogen source, and an oxygen source, for example, methane gas. Or carbon dioxide gas is supplied to generate desired ions and supply them into the deposition region. Optionally, an oxygen gas inlet pipe (not shown)
May be provided and oxygen gas may be passed through the deposition region to serve as an oxygen source. As a result, the first magnetic layer of the present invention containing Fe, nitrogen, carbon, and oxygen as a main component is formed. When forming a magnetic layer having a multi-layer structure, it may be formed continuously by using the apparatus as shown in FIG. 1 or may be formed by repeating vapor deposition a plurality of times (so-called batch type). In any of the methods, the first magnetic layer needs to be a Fe-based layer that satisfies the conditions specified in the present invention.
【００１８】上記では、イオンアシスト蒸着法により磁
性層を形成する方法を説明したが、磁性層の形成方法は
これに限定されるものではなく、前述した如くスパッタ
法、ＣＶＤ法等の方法を使用してもよい。また、これら
の方法を組み合わせて磁性層の形成を行ってもよい。Although the method of forming the magnetic layer by the ion assisted vapor deposition method has been described above, the method of forming the magnetic layer is not limited to this, and the sputtering method, the CVD method or the like may be used as described above. You may. Further, the magnetic layer may be formed by combining these methods.
【００１９】[0019]
【実施例】以下実施例にて本発明を説明するが、本発明
はこれらの実施例に限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
【００２０】実施例１ （１）磁気テープの製造 厚さ６．５μｍのＰＥＴフィルム上に図１の装置を用い
たイオンアシスト蒸着により、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系磁性層を
形成した。この磁性層の厚さは１７００Åであり、原子
比はＦｅ：Ｎ：Ｏ＝７６：１４：１０（原子％）であっ
た。次いで、この磁性層上にＥＣＲプラズマＣＶＤ法に
より厚さが１００Åのダイヤモンドライクカーボン薄膜
からなる保護層を形成した。更に、この保護層上に極性
基である−ＯＨ基を持つパーフルオロポリエーテル〔デ
ムナムＳＡ：ダイキン工業製〕を厚さが１００Åとなる
ように付着して潤滑剤層を形成した。また、このフィル
ムの磁性層形成面と反対の面に、バックコート層を形成
した。バックコート層は、２０〜３０ｎｍの直径のカー
ボンを含有するバインダーを乾燥後の厚さが０．５μｍ
となるようにフィルムに塗布して乾燥して形成した。上
記により得られた、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系磁性層、ダイヤモン
ドライクカーボン保護層、フッ素系潤滑層及びバックコ
ート層が形成されたフィルムを８ｍｍ巾に裁断し、カセ
ットケースにローディングし８ｍｍビデオテープを得
た。Example 1 (1) Production of Magnetic Tape A Fe—N—O type magnetic layer was formed on a PET film having a thickness of 6.5 μm by ion assisted vapor deposition using the apparatus shown in FIG. The thickness of this magnetic layer was 1700Å, and the atomic ratio was Fe: N: O = 76: 14: 10 (atomic%). Next, a protective layer made of a diamond-like carbon thin film having a thickness of 100 ° was formed on the magnetic layer by ECR plasma CVD. Further, a perfluoropolyether having a polar —OH group [Demnum SA: manufactured by Daikin Industries, Ltd.] was adhered on the protective layer so as to have a thickness of 100 Å to form a lubricant layer. A back coat layer was formed on the surface of this film opposite to the surface on which the magnetic layer was formed. The back coat layer has a thickness of 0.5 μm after drying a binder containing carbon having a diameter of 20 to 30 nm.
It was formed by coating on a film and drying. The film having the Fe—N—O-based magnetic layer, the diamond-like carbon protective layer, the fluorine-based lubricating layer and the back coat layer obtained above was cut into 8 mm width, loaded into a cassette case and loaded with an 8 mm video tape. Obtained.
【００２１】得られた８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃL
を前記した方法により測定したところ、ＨｃV ＝２００
０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１１８０（Ｏｅ）であった〔Ｈｃ
V ／ＨｃL ＝１．７〕。Hc V and Hc L of the obtained 8 mm tape
Was measured by the above method, Hc V = 200
0 (Oe) and Hc L = 1180 (Oe) [Hc
V / Hc L = 1.7].
【００２２】（２）性能評価 上記で得られた８ｍｍビデオテープについて、出力及
び耐食性を以下の方法で評価した。その結果を表１に
示す。 出力 出力は市販の８ｍｍＶＴＲを用いて、１〜３０ＭＨｚに
おける出力を測定した。なお、出力は市販のＨｉ８用テ
ープ（ソニー株式会社製）を基準（０ｄＢ）とする相対
評価とした。 耐食性 耐食性は、８ｍｍビデオテープを６０℃、９０％ＲＨの
環境下に４週間放置し、前後の飽和磁束密度（Ｂｓ）の
減少率で評価した。(2) Performance Evaluation The output and corrosion resistance of the 8 mm video tape obtained above were evaluated by the following methods. Table 1 shows the results. Output The output was measured at 1 to 30 MHz using a commercially available 8 mm VTR. The output was a relative evaluation using a commercially available Hi8 tape (manufactured by Sony Corporation) as a reference (0 dB). Corrosion Resistance Corrosion resistance was evaluated by reducing the saturation magnetic flux density (Bs) before and after leaving an 8 mm video tape left in an environment of 60 ° C. and 90% RH for 4 weeks.
【００２３】実施例２ 実施例１において、イオンアシスト蒸着の際のイオン源
を炭素としてＦｅ−Ｃ−Ｏ系磁性層を形成し、その他は
実施例１と同様にして８ｍｍビデオテープを製造した。
ここで、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ系磁性層の原子比はＦｅ：Ｃ：Ｏ
＝７０：２０：１０（原子％）であった。また、得られ
た８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃL を前記した方法によ
り測定したところ、ＨｃV ＝１５４０（Ｏｅ）、ＨｃL
＝１１００（Ｏｅ）であった〔ＨｃV ／ＨｃL ＝１．
４〕。この８ｍｍビデオテープについて実施例１と同様
の評価を行った。その結果を表１に示す。Example 2 An 8 mm video tape was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the Fe—C—O based magnetic layer was formed by using carbon as the ion source in the ion assisted vapor deposition.
Here, the atomic ratio of the Fe—C—O magnetic layer is Fe: C: O.
= 70:20:10 (atomic%). Further, Hc V and Hc L of the obtained 8 mm tape were measured by the above-mentioned method. As a result, Hc V = 1540 (Oe), Hc L
= 1100 (Oe) [Hc V / Hc L = 1.
4]. The same evaluation as in Example 1 was performed on this 8 mm video tape. Table 1 shows the results.
【００２４】実施例３ 実施例１において、イオンアシスト蒸着の際のイオン源
を窒素と炭素としてＦｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層を形成
し、その他は実施例１と同様にして８ｍｍビデオテープ
を製造した。ここで、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層の原子
比はＦｅ：Ｎ：Ｃ：Ｏ＝７５：１０：５：１０（原子
％）であった。また、得られた８ｍｍテープのＨｃV 及
びＨｃL を前記した方法により測定したところ、ＨｃV
＝２６４０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１２００（Ｏｅ）であっ
た〔ＨｃV ／ＨｃL ＝２．２〕。この８ｍｍビデオテー
プについて実施例１と同様の評価を行った。その結果を
表１に示す。Example 3 An Fe-N—C—O-based magnetic layer was formed by using nitrogen and carbon as ion sources in the ion assisted deposition in Example 1, and the other steps were the same as in Example 1 and an 8 mm video tape was used. Was manufactured. Here, the atomic ratio of the Fe—N—C—O magnetic layer was Fe: N: C: O = 75: 10: 5: 10 (atomic%). Further, when the Hc V and Hc L of 8mm tape obtained was measured by the method described above, Hc V
= 2640 (Oe) and Hc L = 1200 (Oe) [Hc V / Hc L = 2.2]. The same evaluation as in Example 1 was performed on this 8 mm video tape. Table 1 shows the results.
【００２５】実施例４ 実施例３において、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層における
原子比をＦｅ：Ｎ：Ｃ：Ｏ＝７３：１２：１０：５（原
子％）とした以外は同様にして８ｍｍビデオテープを製
造した。また、得られた８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃ
L を前記した方法により測定したところ、ＨｃV ＝２３
７５（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１２５０（Ｏｅ）であった〔Ｈ
ｃV ／ＨｃL ＝１．９〕。この８ｍｍビデオテープにつ
いて実施例１と同様の評価を行った。その結果を表１に
示す。Example 4 The same as Example 3 except that the atomic ratio in the Fe—N—C—O system magnetic layer was Fe: N: C: O = 73: 12: 10: 5 (atomic%). 8 mm video tape was manufactured. In addition, Hc V and Hc of the obtained 8 mm tape
When L was measured by the method described above, Hc V = 23
75 (Oe), Hc L = 1250 (Oe) [H
c V / Hc L = 1.9]. The same evaluation as in Example 1 was performed on this 8 mm video tape. Table 1 shows the results.
【００２６】比較例１ 実施例１において、ＨｃV 及びＨｃL をそれぞれＨｃV
＝１１００（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１０００（Ｏｅ）〔Ｈｃ
V ／ＨｃL ＝１．１〕とした以外は同様にして８ｍｍビ
デオテープを製造し、実施例１と同様の評価を行った。
その結果を表１に示す。Comparative Example 1 In Example 1, Hc V and Hc L are respectively Hc V
= 1100 (Oe), Hc L = 1000 (Oe) [Hc
V / Hc L = 1.1] was similarly prepared, and an 8 mm video tape was manufactured, and the same evaluation as in Example 1 was performed.
Table 1 shows the results.
【００２７】比較例２ 実施例１において、ＨｃV 及びＨｃL をそれぞれＨｃV
＝２７３０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝１０５０（Ｏｅ）〔Ｈｃ
V ／ＨｃL ＝２．６〕とした以外は同様にして８ｍｍビ
デオテープを製造し、実施例１と同様の評価を行った。
その結果を表１に示す。Comparative Example 2 In Example 1, Hc V and Hc L are respectively Hc V
= 2730 (Oe), Hc L = 1050 (Oe) [Hc
V / Hc L = 2.6], except that an 8 mm video tape was manufactured in the same manner, and the same evaluation as in Example 1 was performed.
Table 1 shows the results.
【００２８】比較例３ 実施例４において、Ｆｅ−Ｎ−Ｃ−Ｏ系磁性層における
原子比をＦｅ：Ｎ：Ｃ：Ｏ＝８９：４：３：４（原子
％）とした以外は同様にして８ｍｍビデオテープを製造
した。また、得られた８ｍｍテープのＨｃV 及びＨｃL
を前記した方法により測定したところ、ＨｃV ＝１８２
０（Ｏｅ）、ＨｃL ＝９６０（Ｏｅ）であった〔ＨｃV
／ＨｃL ＝１．９〕。この８ｍｍビデオテープについて
実施例１と同様の評価を行った。その結果を表１に示
す。Comparative Example 3 The procedure of Example 4 was repeated except that the atomic ratio in the Fe—N—C—O system magnetic layer was changed to Fe: N: C: O = 89: 4: 3: 4 (atomic%). 8 mm video tape was manufactured. In addition, Hc V and Hc L of the obtained 8 mm tape
Was measured by the above-mentioned method, Hc V = 182
0 (Oe) and Hc L = 960 (Oe) [Hc V
/ Hc L = 1.9]. The same evaluation as in Example 1 was performed on this 8 mm video tape. Table 1 shows the results.
【００２９】[0029]
【表１】 [Table 1]
【００３０】[0030]
【発明の効果】本発明によれば、広い周波数範囲で良好
な出力特性を示す磁気記録媒体が得られる。しかも、本
発明の磁気記録媒体は耐食性にも優れている。According to the present invention, a magnetic recording medium exhibiting excellent output characteristics in a wide frequency range can be obtained. Moreover, the magnetic recording medium of the present invention has excellent corrosion resistance.
【図１】本発明の磁気記録媒体を製造する装置の要部の
一例を示す略図FIG. 1 is a schematic view showing an example of a main part of an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention.
１ キャンロール ２ ベースフィルム ３ イオンガン ４ 防着板 ５ 電子銃 ６ ルツボ 1 can roll 2 base film 3 ion gun 4 deposition plate 5 electron gun 6 crucible
フロントページの続き (72)発明者 水野谷 博英 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内 (72)発明者 遠藤 克巳 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内Continued on the front page (72) Inventor Hirohide Mizunotani 2606 Kabane-cho, Akaga-cho, Haga-gun, Tochigi Pref.Katsumi Endo 2606 Kabane-cho, Akabane-shi, Haga-gun, Tochigi Kao Co., Ltd.
Claims (3)
くとも１層の磁性層を有する磁気記録媒体であって、前
記磁性層のうち、前記支持体から最も遠い第一磁性層
が、鉄を主成分として含有し、且つ窒素、炭素及び酸素
から選ばれる少なくとも２種をそれぞれ５％（原子比）
以上含有し、更に当該第一磁性層の垂直方向の保磁力
（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）の比ＨｃV／Ｈ
ｃLが１．４〜２．２である磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium having a support and at least one magnetic layer formed on the support, wherein a first magnetic layer farthest from the support is one of the magnetic layers, Contains iron as the main component and contains at least two kinds selected from nitrogen, carbon and oxygen in an amount of 5% (atomic ratio).
The above content, and further, the ratio Hc V / H of the coercive force (Hc V ) in the vertical direction and the coercive force (Hc L ) in the longitudinal direction of the first magnetic layer.
A magnetic recording medium in which c L is 1.4 to 2.2.
気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic layer comprises multiple layers.
（ＨｃV）と長手方向の保磁力（ＨｃL）が、何れも１０
００〜２８００（Ｏｅ）の範囲から選ばれる請求項１又
は２記載の磁気記録媒体。3. The coercive force (Hc V ) in the vertical direction and the coercive force (Hc L ) in the longitudinal direction of the first magnetic layer are both 10
The magnetic recording medium according to claim 1 or 2, which is selected from the range of 00 to 2800 (Oe).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13648196A JPH09320031A (en) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13648196A JPH09320031A (en) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | Magnetic recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320031A true JPH09320031A (en) | 1997-12-12 |
Family
ID=15176157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13648196A Pending JPH09320031A (en) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | Magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09320031A (en) |
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- 1996-05-30 JP JP13648196A patent/JPH09320031A/en active Pending
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