JPH09304438A - プローブユニットおよび検査用ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製作が容易であるにもかかわらず、各プロー
ブの弾力性を高めることにある。 【解決手段】 プローブユニットは、互いに角度を有す
る第１および第２の面を有する支持体と、シート状部材
および該シート状部材に形成された複数の電気配線を備
える弾性変形可能のプローブシートとを含む。前記プロ
ーブシートは、前記電気配線の一部分を被検査体の電極
に接続すべくプローブとしており、また隣り合うプロー
ブを物理的に切り離すスリットを有しており、さらに前
記プローブの少なくとも先端部が前記支持体の第１の面
の側に位置し、プローブシートの少なくとも他の一部が
前記支持体の第２の面の側に位置するように曲げられて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
被検査体の電気的特性の検査に用いるプローブユニット
および検査用ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路の通電試験は、一般に、プロー
ブカード、プローブボード等と称されている検査用ヘッ
ドを用いている。従来の多くの検査用ヘッドは、複数の
金属線を電気的絶縁性の基板に取り付け、各金属線を集
積回路の電極に接触させるプローブに利用している。こ
のような検査用ヘッドは、金属線のばね力が大きいこと
から、プローブと集積回路の端子との電気的な接触の度
合いは高いが、複数の金属線を基板に微小ピッチで正確
に取り付けることが難しく、したがって高価である。

【０００３】複数の金属線を用いない検査用ヘッドの１
つとして、電気絶縁性および可撓性を有するフィルムの
一方の面に印刷配線技術により形成された複数の電気配
線および各電気配線に形成された半球状の突起（測定用
接触子）を有するプローブシートと、該プローブシート
を支持する支持体とを備えたプローブユニットを用いた
検査用ヘッドが提案されている（特開昭６２−１８２６
７号公報、特開平２−１２６１６０号公報、特公平３−
４５５４１号公報）。

【０００４】これらの検査用ヘッドは、いずれも、各電
気配線に突起を形成してその電気配線の一部をプローブ
として利用することから、プローブシートの製作が容易
になり、廉価になる、という利点を有する反面、プロー
ブシートを支持体に平面的に取り付けているにすぎない
から、プローブ部分の弾力性が低く、したがってプロー
ブと集積回路の端子との間に充分な電気的接触を得るこ
とができず、正しい試験を行うことができない。

【０００５】上記のようなプローブシートのプローブ部
分と支持体との間に緩衝材を配置してプローブ部分の見
掛け上のばね力を大きくしたプローブユニットが提案さ
れている（特公平７−１０５４１６号公報）。しかし、
このプローブユニットでは、プローブ部分全体のばね力
は大きくなるが、１つのプローブ部分が変形すると、そ
の近傍の複数のプローブが変形するから、実際には各プ
ローブ部分の見掛け上のばね力は小さい。

【０００６】板状のばね材をプローブシートに配置し、
隣り合うプローブ部分をプローブシートに形成したスリ
ットにより物理的に切り離して独立したプローブとした
プローブユニットが提案されている（特開平４−３６３
６７１号公報）。しかし、このプローブユニットも、プ
ローブシートを支持体に平面的に取り付けているにすぎ
ないから、各プローブの弾力性が低く、プローブと集積
回路の端子との間に充分な電気的接触を得ることができ
ない。

【０００７】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、製作が容易
であるにもかかわらず、各プローブの弾力性を高めるこ
とにある。

【０００８】

【解決手段、作用、効果】本発明のプローブユニット
は、互いに角度を有する第１および第２の面を有する支
持体と、シート状部材および該シート状部材に形成され
た複数の電気配線を備える弾性変形可能のプローブシー
トとを含む。前記プローブシートは、前記電気配線の一
部分を被検査体の電極に接続すべくプローブとしてお
り、また隣り合うプローブを物理的に切り離すスリット
を有しており、さらに前記プローブの少なくとも先端部
が前記支持体の第１の面の側に位置し、プローブシート
の少なくとも他の一部が前記支持体の第２の面の側に位
置するように曲げられている。

【０００９】集積回路のような被検査体を検査すると
き、プローブユニットは、各プローブの先端部が被検査
体の端子に接触するように、被検査体に押圧される。こ
れにより、各プローブは弾性変形する。各プローブは、
隣りのプローブと物理的に切り離されているから、独立
して変形する。したがって、各プローブの変形は、隣の
プローブを変形させないし、隣のプローブのばね力を低
下させない。

【００１０】プローブユニットは、プローブシート自体
が弾性変形可能であり、しかもプローブが支持体の第１
の面の側に位置し、他の一部が支持体の第２の面の側に
位置するように、Ｌ字状またはＵ字状に曲げられている
から、プローブシートを平面的に支持体に配置した従来
のプローブユニットに比べ、たとえ各プローブが独立し
ていても、各プローブのばね力が大きい。

【００１１】本発明によれば、印刷配線技術により製作
可能のプローブシートを用いるから、プローブシートの
製作が容易である。また、隣り合うプローブが物理的に
切り離されており、しかもプローブが支持体の第１の面
の側に位置し、他の一部が第１の面に対して角度を有す
る第２の面の側に位置するように、プローブシートが曲
げられているから、各プローブのばね力が大きく、した
がってプローブと被検査体の端子との間に充分な電気的
接触を得ることができる。

【００１２】前記プローブシートは、さらに、前記電気
配線を前記支持体の第２の面の側の部分において覆う電
気的絶縁膜を備えることが好ましい。このようにすれ
ば、複数のプローブユニットを並列的に重ねても、隣り
合うプローブユニットの電気配線が電気的に短絡するこ
とを防止することができる。

【００１３】好ましい実施例においては、さらに、各電
気配線に接続されたリード部を有する可撓性のフラット
ケーブルすなわち帯状配線回路板を含む。また、シート
状部材は、金属製シートのように弾性変形可能のシート
材と、該シート材の一方の面に形成された電気絶縁製を
有する膜とを有し、電気配線はシート材と反対側の膜の
面に形成されている。さらに、前記プローブシートは前
記シート状部材の前記電気配線と反対の側の面において
前記支持体の第２の面に接着されている。

【００１４】前記支持体は、前記プローブの先端部が前
記支持体に当接することを防止する突出部または凹部を
前記第１の面に有することが好ましい。このようにすれ
ば、プローブの先端部が支持体から離されるから、プロ
ーブ先端部のばね力がより大きくなり、プローブと被検
査体の端子との間により良好な電気的接触を得ることが
できる。

【００１５】前記支持体は前記プローブの先端部を前記
第１の面と反対の側から目視可能の穴または溝を有する
ことが好ましい。このようにすれば、検査時に、被検査
体の端子に対するプローブの位置を穴または溝を通して
目視することができる。

【００１６】前記支持体は前記第２の面と反対の側の第
３の面をさらに有する直方体であり、前記第２の面は前
記第１の面から離れる部位ほど前記第２の面と反対の側
へ後退する傾斜面であることが好ましい。このようにす
れば、複数のプローブユニットを並列的に重ねるとき、
電気配線に接続されるリード線のために隣り合うプロー
ブユニット間に形成する間隔を小さくすることができる
から、複数のプローブユニットを高密度に配置すること
ができる。

【００１７】好ましい実施例において、前記支持体が前
記第２の面と反対の側の第３の面をさらに有する直方体
である場合、前記プローブシートはさらに他の一部が前
記第３の面の側に位置するように曲げられており、各ブ
ローブはその先端部分において前記シート材から物理的
に切り離されていることが好ましい。このようにすれ
ば、各プローブの先端部が支持体の第１の面から確実に
離されるから、プローブシートが支持体に安定した状態
に確実に支持されるにもかかわらず、各プローブがその
機能を喪失することがない。

【００１８】前記プローブシートは、さらに、前記複数
のプローブにより構成される第１のプローブ群と対称の
位置に形成された複数のプローブにより構成される第２
のプローブ群を備えるとともに、前記第２のプローブ群
の隣り合う各プローブを物理的に切り離す第２のスリッ
トを有しており、前記第２のプローブ群の各プローブ
は、前記シート状部材に形成された複数の第２の電気配
線の一部分に形成されているとともに、前記第１のプロ
ーブ群のプローブと物理的に切り離されていることが好
ましい。このようにすれば、多数のプローブをプローブ
シートに形成することができるし、対称的に形成された
２つ端子群を有する被検査体を一回で検査することがで
きる。

【００１９】複数のプローブシートを用いる場合、それ
らのプローブシートを支持体に一方向へ間隔をおいて順
次配置することが好ましい。このようにすれば、複数の
被検査体を同時に検査するように１つのプローブユニッ
トを適用することができるし、１つの被検査体を複数の
プローブシートにより検査するように１つのプローブユ
ニットを適用することができる。また、隣り合うプロー
ブシートが物理的に分離されているから、プローブシー
トと支持体との熱膨張係数が異なっても、各プローブシ
ートと支持体との熱伸縮の差が隣のプローブシートに影
響を与えず、したがって各プローブと被検査体の端子と
の相対的なずれが小さい。

【００２０】検査用ヘッドは、貫通穴を有する基板と、
上記したようなプローブユニットとを含む。プローブユ
ニットは、前記支持体の第１の面が前記基板の一方の面
から突出した状態に前記基板に配置されている。１つの
プローブユニットを前記基板に配置してもよいし、複数
のプローブユニットを前記基板に並列的に配置してもよ
い。前記基板は、さらに、テスタに電気的に接続される
複数の第１の電極と、可撓性を有する帯状の配線回路板
により前記電気配線に接続される複数の第２の電極とを
有することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１および図２を参照するに、検
査用ヘッド１０は、集積回路のように多数の電極すなわ
ち端子を微小ピッチで配置した被検査体の通電試験に用
いられる。検査用ヘッド１０は、円板状の基板１２と、
該基板に並列的に組み付けられた取付枠１４と、該取付
枠に組み付けられた複数のプローブユニット１６と、各
プローブユニット１６から伸びるフラットケーブル１８
とを含む。検査用ヘッド１０は、基板１２の厚さ方向が
上下方向となるように、図示しない検査装置に取り付け
られる。なお、図１は、フラットケーブル１８を除去し
た状態で示す。

【００２２】基板１２は、矩形の貫通穴２０を中央部に
有しており、また外部のテスタに電気的に接続される複
数の第１の電極すなわちテスターランド２２を外周部に
有しており、さらにフラットケーブル１８を接続する複
数の第２の電極すなわちコネクタ２４を中間部に有す
る。

【００２３】取付枠１６は、貫通穴２０に嵌合されてお
り、また複数のねじ部材または接着材により基板１２に
変位不能に取り付けられている。プローブユニット１６
は、複数のねじ部材（図示せず）により取付枠１４に取
り外し可能に取り付けられている。フラットケーブル１
８は、印刷配線技術により形成された可撓性を有する帯
状の配線回路板であり、また基板１２のコネクタ２４に
結合されるコネクタ２６を一端部に有する。

【００２４】図３〜図９を参照するに、各プローブユニ
ット１６は、細長い直方体の形状を有する支持体３０
と、該支持体にその長手方向へ間隔をおいて組み付けら
れた弾性変形可能の複数（図示の例では、４つ）のプロ
ーブシート３２とを含む。

【００２５】支持体３０は、断面形状がほぼ四角形の柱
の形を有しており、また各端面の上端部から長手方向へ
突出する板状の取付部３４を有する。支持体３０は、取
付部３４に形成された穴３６に通されるねじ部材によ
り、図１および図２に示す取付枠１４に取り付けられ
る。支持体３０は、また、該支持体を上下方向に貫通す
る複数の貫通穴３８を有する。各貫通穴３８は、支持体
３０の長手方向に長い平面形状を有しており、またプロ
ーブシート３２に対応されている。

【００２６】図９に示すように、支持体３０の下面４０
は、高さ位置が一方の側面４２の側から中央に向けて漸
次下方となり、次いで他方の側面４４の側に向けて漸次
上方となる山形面とされている。山形の頂部すなわち下
方への突出部４６は、一方の側面４２の側に変位してい
る。

【００２７】支持体３０は、線熱膨張率の小さい材料、
たとえばノビナイトなる商品名で市販されている金属材
料で形成することが好ましく、これにより高温測定時に
おける被検査体の端子に対する測定用突起すなわち接触
子の位置ずれを抑えることができる。

【００２８】図７〜図９に示すように、各プローブシー
ト３２は、弾性変形可能のシート状部材５０と、該シー
ト状部材に形成された複数の電気配線５２と、配線パタ
ーンすなわち電気配線５２を支持体３０の一方の側面４
２の側の部分において覆う電気的絶縁膜５４とを備え
る。各プローブシート３２は、また、電気配線５２が外
側となるように、コ字状すなわちＵ字状に曲げられて、
シート状部材５０において支持体３０の側面４２，４４
に接着されている。

【００２９】シート状部材５０は、ステンレスのような
金属でフィルム状に製作されたシート材のように弾性変
形可能のシート材５０ａと、ポリイミドのように電気的
絶縁性を有する材料でシート材５０ａの一方の面に形成
された絶縁膜５０ｂとを有する。電気配線５２は、狭く
かつ薄い帯状の形状を有しており、またシート材５０ａ
と反対の側において絶縁膜５０ｂの部分に並列的に形成
されている。

【００３０】各電気配線５２は、シート状部材５０の一
端から中央部まで連続しており、中央側の端部を接触ア
ームすなわちプローブ５６としている。各プローブシー
ト３２は、隣り合うプローブ５６を物理的に切り離すス
リット５８を有する。スリット５８は、プローブ５６の
先端をシート状部材５０から物理的に切り離している。
各プローブ５６は、半球状の突起６０を先端部外側に有
する。バンプすなわち突起６０は、被検査体の端子に当
接される検査用の接触子として用いられる。

【００３１】各プローブシート３２は、各プローブ５６
が支持体３０の下面４０の側となり、各プローブ５６が
その長手方向の途中において突出部４６に当接し、また
各プローブ５６の先端が穴３８の下方に位置し、さらに
各プローブ５６の先端部がシート状部材５０から下方へ
僅かに突出する状態に、Ｕ字状に曲げられかつ支持体３
０の側面４２，４４に装着等により固定されている。各
プローブシート３２の下面のうち、プローブ５６以外の
部分を支持体３０の下面４０に接着等により固定しても
よい。

【００３２】電気絶縁膜５４は、支持体３０の側面４２
の下部に対応する部分に形成されている。フラットケー
ブル１８は、印刷配線技術により作成された可撓性を有
する印刷配線回路板であり、また各電気配線５２に対応
されたリード部を有する。フラットケーブル１８は、各
リード部の端部が対応する電気配線５２に接触した状態
に、熱圧着のような手段によりプローブシート３２に接
続される。

【００３３】プローブユニット１６は、プローブ５６が
下方となりかつプローブ５６が取付枠１４を上下方向に
貫通した状態に取付枠１４に並列的に配置され、ねじ止
めされる。複数のプローブユニット１６が並列的に重ね
られた状態において、各電気的絶縁膜５４は、隣合うプ
ローブユニットが接触しても、隣合うプローブユニット
の電気的短絡を防止する

【００３４】複数のプローブユニット１６を取り付けた
取付枠１４は、プローブ５６が下方となるようにプロー
ブユニット１６が基板１２を上下方向に貫通した状態に
基板１２に組み付けられる。

【００３５】集積回路のような被検査体の通電試験をす
るとき、検査用ヘッド１０は、各プローブ５６の接触子
６０が被検査体の端子に接触するように、被検査体に押
圧される。このとき、被検査体の端子に対するプローブ
５６の位置を穴３８を通して目視・確認することができ
る。

【００３６】各接触子６０が被検査体の端子に押圧され
ると、各プローブ５６が弾性変形する。各プローブ５６
は、隣りのプローブ５６と物理的に切り離されているか
ら、独立して変形する。したがって、各プローブ５６の
変形は、隣のプローブ５６を変形させないし、隣のプロ
ーブ５６のばね力を低下させない。

【００３７】プローブユニット１６は、プローブシート
３２自体が弾性変形可能であり、しかもプローブ５６が
支持体３０の下面４０の面の側に位置しかつ他の部分が
支持体３０の両側面４２，４４の側に位置するようにＵ
字状に曲げられており、その上プローブシート３２が両
側面４２，４４に取り付けられているから、プローブシ
ートを平面的に支持体に配置した従来のプローブユニッ
トに比べ、たとえ隣り合うプローブ５６が切り離されて
いても、プローブ５６のばね力は大きい。

【００３８】大きいばね力を有するプローブ５６の弾性
変形は、接触子６０とウエハパッドのような端子とを相
互に押圧した状態で相対的に変位させる。これにより、
端子の酸化膜の一部が接触子６０により掻き取られるか
ら、接触子６０と端子との間に充分な電気的接触を得る
ことができる。これに対し、小さいばね力を有するプロ
ーブの弾性変形は、接触子と端子との間に滑りを生じる
だけで、接触子が端子の酸化膜の一部を掻き取る作用を
しないから、通電試験に充分な電気的接触を接触子６０
と被検査体の端子との間に得ることができない。

【００３９】ブローブユニット１６は、各プローブ５６
がその長手方向の途中において突出部４６に当接するこ
とにより、プローブ５６の先端部が支持体３０に当接す
ることを防止されているから、各プローブ５６の先端部
は支持体３０の下面４０から離される。その結果、プロ
ーブ先端部のばね力がより大きく、各接触子６０と被検
査体の端子との間により良好な電気的接触が得られる。
また、プローブシート３２がＵ字状の曲げられて支持体
３０の側面４２，４４に止められているから、プローブ
シートが支持体に安定した状態に確実に支持されるにも
かかわらず、各プローブはその機能を喪失しない。

【００４０】ブローブユニット１６によれば、複数のプ
ローブシート３２を支持体３０に一方向へ間隔６２をお
いて順次配置したから、複数の被検査体を同時に検査す
るように１つのプローブユニット１６を適用することが
できるし、１つの被検査体を複数のプローブシート３２
により検査するように１つのプローブユニット１６を適
用することができる。

【００４１】ブローブユニット１６によれば、また、隣
り合うプローブシート３２が間隔６２により物理的に分
離されているから、支持体３０とプローブシート３２と
の熱膨張係数が異なっても、支持体３０とプローブシー
ト３２との熱伸縮の差が隣のプローブシート３２に影響
を与えず、したがって各接触子６０と被検査体の端子と
の相対的なずれが小さい。しかし、１つの支持体に１つ
のプローブシートを配置する用にしてもよい。

【００４２】検査用ヘッド１０によれば、並列的に配置
された複数のプローブユニット１６を備えるから、複数
の被検査体を同時に検査することができる。しかし、検
査ヘッドは、１つのプローブユニットを備えていてもよ
い。

【００４３】支持体３０の側面４２，４４を下面４０か
ら離れる部位ほど穴３８の側へ後退する傾斜面としても
よい。このようにすれば、複数のプローブユニット１６
を並列的に重ねても、隣り合うプローブユニット間に形
成する隙間、特にフラットケーブル１８のために必要と
する隙間を小さくすることができるから、複数のプロー
ブユニットを高密度に配置することができる。

【００４４】図１０〜図１２に示すプローブユニット７
０は、前記した支持体３０と同様に線熱膨張率の小さい
金属材料で角柱状に形成された支持体７２と、前記した
プローブシート３２と同様に印刷配線技術により製作さ
れた複数のプローブシート７４とを含む。

【００４５】支持体７２は、各端面の上端部から長手方
向へ突出する板状の取付部７６を有しており、取付部７
６に形成された穴７８に通されるねじ部材により、図１
および図２に示す取付枠１４に取り付けられる。支持体
７２の下面８０は平坦面であり、側面８２，８４はプロ
ーブシート７４毎に形成された凹所により下面８０から
離れる部位ほど中央部の側へ後退する傾斜面としてされ
ている。

【００４６】支持体７２は、下端の側面８２，８４側の
各角部を切欠した切欠部８６と、側面８２，８４のそれ
ぞれに形成した上下方向に伸びる溝８８とをプローブシ
ート７４毎に有する。切欠部８６と溝８８とは、対応す
るプローブシート７４を上方から目視可能に連通してい
る。

【００４７】各プローブシート７４は、プローブシート
３２と同様に、弾性変形可能のシート状部材９０と、該
シート状部材に形成された複数の第１および第２の電気
配線９２と、該第１および第２の電気配線を支持体７２
の側面８２および８４の側の部分においてそれぞれ覆う
第１および第２の電気的絶縁膜９４とを備える。各プロ
ーブシート７４は、また、第１および第２の電気配線９
２が外側となるように、Ｕ字状に曲げられて、シート状
部材９０において支持体７２の側面８２および８４に接
着等により固定されている。

【００４８】シート状部材９０は、シート状部材５０と
同様に、金属製フィルムのように弾性変形可能のシート
材９０ａと、電気的絶縁性を有する材料でシート材９０
ａの一方の面に形成された絶縁膜９０ｂとを有する。第
１および第２の電気配線９２は、電気配線５２と同様
に、狭くかつ薄い帯状の形状を有にしており、また絶縁
膜９０ｂの部分に並列的に形成されている。

【００４９】第１の電気配線９２と第２の電気配線９２
とは、支持体７２の長手方向へ伸びる仮想的な線に関し
て対称の位置に形成されている。第１の電気配線９２は
シート状部材９０の一端から中央部まで連続しており、
第２の電気配線９２はシート状部材９０の他端から中央
部まで連続してしている。第１および第２の電気配線９
２は、中央側の端部を支持体７２の長手方向へ伸びる仮
想的な線に関して対称の第１および第２のプローブ９６
としている。

【００５０】隣り合うプローブ９６は、各プローブシー
ト７４に形成されたスリット９８により物理的に切り離
されている。プローブ９６の先端も、スリット９８によ
りシート状部材９０から物理的に切り離されている。各
プローブ９６は、半球状の突起１００を先端部外側に有
する。バンプすなわち突起１００は、被検査体の端子に
当接される検査用の接触子として用いられる。

【００５１】各プローブシート７４は、各プローブ９６
が支持体７２の下面８０の側となり、また各プローブ９
６の先端が溝８８の下方に位置し、さらに各プローブ９
６の先端部がシート状部材９０から下方へ僅かに突出す
る状態に、Ｕ字状に曲げられて支持体７２の側面８２に
装着等により固定されている。各プローブシート７４の
下面のうち、プローブ９６以外の部分を支持体７２の下
面８０に接着等により固定してもよい。隣り合うプロー
ブシート７４は、間隔６２をおいている。

【００５２】各電気的絶縁膜９４は、支持体７２の対応
する側面８４の下部に対応する部分に形成されている。
各フラットケーブル１８は、各リード部の端部を対応す
る電気配線９２に接触させた状態に熱圧着のような手段
によりプローブシート７４に接続される。

【００５３】プローブユニット７０によれば、各プロー
ブシート７４が対称的および並列的に形成された第１お
よび第２のプローブ群を備えるから、多数のプローブを
プローブシートに形成することができるし、対称的に形
成された２つ端子群を有する被検査体を一回で検査する
ことができる。

【００５４】図１３〜図１５に示すプローブユニット１
１０は、図７〜図９に示すプローブユニット１６を、そ
の幅寸法すなわち厚さ寸法を小さく改良した実施例であ
る。それゆえに、プローブユニット１１０は、支持体１
１２が図９における支持体３０の穴３８より左方の部位
を残して除去されていることと、各プローブシート１１
４の対応する部分が除去されていることと、各プローブ
シート１１４がＬ字状の曲げられていることとを除い
て、図７〜図９に示すプローブユニット１６と同じに形
成されている。

【００５５】プローブユニット１１０によれば、プロー
ブユニット１６および７０に比べ、幅寸法すなわち厚さ
寸法が小さいから、高密度に配置することができる。

【００５６】図１６〜図１９により、図１〜図９に示す
プローブユニット１６の製造方法を説明するための図で
る。

【００５７】先ず、図１６（Ａ）に示すように、複数の
プローブシートを製作可能の大きさを有するステンレス
製の薄板すなわちシート材５０ａの一方の面全体にポリ
イミド材を塗布することにより電気的絶縁膜５０ｂを形
成する。これにより、シート状部材５０が形成される。

【００５８】次いで、図１６（Ｂ）に示すように、金に
よる配線パターンを印刷配線技術すなわち写真製版技術
により絶縁膜５０ｂの面上に形成する。これにより、シ
ート状部材５０の一端から中央部まで伸びる多数の電気
配線５２が並列的に形成される。

【００５９】次いで、図１６（Ｃ）に示すように、電気
配線５２の一部にポリイミド材を塗布することにより電
気絶縁膜５４を形成する。

【００６０】次いで、図１７（Ａ）に示すように、各電
気配線５２の先端部に接触子６０をメッキ加工により形
成する。

【００６１】次いで、図１７（Ｂ）に示すように、レー
ザ加工によりスリット５８をシート状部材５０に形成す
る。これにより、電気配線５２の先端部が切り離され
て、接触アームすなわちプローブ５６が各電気配線５２
の先端部に形成される。

【００６２】以上により、複数のプローブシートを一体
的に有するシート１２０が形成される。

【００６３】次いで、図１８（Ａ）および（Ｂ）に示す
ように、シート１２０を折り曲げるための溝１２２をレ
ーザ加工によりシート材５０ａの他方の面（裏面）に形
成する。

【００６４】次いで、図１８（Ｃ）に示すように、シー
ト１２０をＵ字状に折り曲げる。これにより、各プロー
ブ５６の先端部はシート１２０から外方へ僅かに突出す
る。

【００６５】次いで、図１９（Ａ）に示すように、Ｕ字
状に曲げたシート１２０を予め所定の形状に製作された
支持体３０に接着する。

【００６６】次いで、図１９（Ｂ）に示すように、シー
ト１２０をレーザ加工により複数のプローブシート３２
に分断する。これにより、隣り合うプローブシート３２
間に隙間６２が形成される。

【００６７】次いで、図１９（Ｃ）に示すように、フラ
ットケーブル１８を各リード部が電気配線と接触した状
態に各プローブシート３２に熱圧着により接着する。

【００６８】上記のように、印刷配線技術を利用してプ
ローブシートを製作するならば、プローブシートを大量
におよび容易に製作することができ、プローブシート自
体が廉価になる。

【００６９】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、シート状部材は、電気的絶縁性を有しかつ弾性
変形可能の単一のシート材であってもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプローブユニットを用いた検査用ヘッ
ドの一実施例を示す平面図である。

【図２】図１の２−２線に沿って得た断面図である。

【図３】本発明のプローブユニットの一実施例を示す平
面図である。

【図４】図３に示すプローブユニットの正面図である。

【図５】図３に示すプローブユニットの底面図である。

【図６】図３に示すプローブユニットの右側面図であ
る。

【図７】プローブシートの一実施例を示す正面図であ
る。

【図８】図７に示すプローブシートの底面図である。

【図９】図７の９−９線に沿って得た断面図である。

【図１０】プローブシートの他の実施例を示す正面図で
ある。

【図１１】図１０に示すプローブシートの底面図であ
る。

【図１２】図１０の１１−１１線に沿って得た断面図で
ある。

【図１３】プローブシートのさらに他の実施例を示す正
面図である。

【図１４】図１３に示すプローブシートの底面図であ
る。

【図１５】図１３の１３−１３線に沿って得た断面図で
ある。

【図１６】図７に示すプローブシートの製造方法の工程
を説明するための図である。

【図１７】図１６に続くを工程説明するための図であ
る。

【図１８】図１７に続くを工程説明するための図であ
る。

【図１９】図１８に続くを工程説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１０ 検査用ヘッド １２ 基板 １４ 取付枠 １６，７０，１１２ プローブユニット １８ フラットケーブル ２０ 基板の穴 ３０，７２，１１２ 支持体 ３２，７４，１１４ プローブシート ３８ 支持体の穴 ４６ 支持体の突出部 ５０，９０ シート状部材 ５２，９２ 電気配線 ５４，９４ 電気的絶縁膜 ５６，９６ プローブ ５８，９８ スリット ６０，１００ 接触子 ６２ 間隔 ８６ 支持体の溝 ８８ 支持体の切欠部 ５−ａ，９０ａ シート材 ５０ｂ，９０ｂ 電気絶縁性の膜

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに角度を有する第１および第２の面
   を有する支持体と、シート状部材および該シート状部材
   に形成された複数の電気配線を備える弾性変形可能のプ
   ローブシートとを含み、前記プローブシートは、前記電
   気配線の一部分を被検査体の電極に接続すべくプローブ
   としており、また隣り合うプローブを物理的に切り離す
   スリットを有しており、さらに前記プローブの少なくと
   も先端部が前記支持体の第１の面の側に位置し、プロー
   ブシートの少なくとも他の一部が前記支持体の第２の面
   の側に位置するように曲げられている、プローブユニッ
   ト。
2. 【請求項２】 前記プローブシートは、さらに、前記電
   気配線を前記支持体の第２の面の側の部分において覆う
   電気的絶縁膜を備える、請求項１に記載のプローブユニ
   ット。
3. 【請求項３】 前記プローブシートは前記シート状部材
   の前記電気配線と反対の側の面において前記支持体の第
   ２の面に接着されている、請求項１または２に記載のプ
   ローブユニット。
4. 【請求項４】 前記支持体は、前記プローブの先端部が
   前記支持体に当接することを防止する突出部または凹部
   を前記第１の面に有する、請求項１〜３のいずれか１項
   に記載のプローブユニット。
5. 【請求項５】 前記支持体は前記プローブの先端部を前
   記第１の面と反対の側から目視可能の穴または溝を有す
   る、請求項１〜４のいずれか１項に記載のプローブユニ
   ット。
6. 【請求項６】 前記支持体は前記第２の面と反対の側の
   第３の面をさらに有する直方体であり、前記第２の面は
   前記第１の面から離れる部位ほど前記第２の面と反対の
   側へ後退する傾斜面である、請求項１〜５のいずれか１
   項に記載のプローブユニット。
7. 【請求項７】 前記支持体は前記第２の面と反対の側の
   第３の面をさらに有する直方体であり、前記プローブシ
   ートはさらに他の一部が前記第３の面の側に位置するよ
   うに曲げられており、各ブローブはその先端部分におい
   て前記シート材から物理的に切り離されている、請求項
   １〜６のいずれか１項に記載のプローブユニット。
8. 【請求項８】 前記プローブシートは、さらに、前記複
   数のプローブにより構成される第１のプローブ群と対称
   の位置に形成された複数のプローブにより構成される第
   ２のプローブ群を備えるとともに、前記第２のプローブ
   群の隣り合う各プローブを物理的に切り離す第２のスリ
   ットを有しており、前記第２のプローブ群の各プローブ
   は、前記シート状部材に形成された複数の第２の電気配
   線の一部分に形成されているとともに、前記第１のプロ
   ーブ群のプローブと物理的に切り離されている、請求項
   ７に記載のプローブユニット。
9. 【請求項９】 複数の前記プローブシートが前記支持体
   に一方向へ間隔をおいて順次配置されている、請求項１
   〜８のいずれか１項に記載のプローブユニット。
10. 【請求項１０】 さらに、各電気配線に接続されたリー
    ド部を有する可撓性のフラットケーブルを含む、請求項
    １〜９のいずれか１項に記載のプローブユニット。
11. 【請求項１１】 貫通穴を有する基板と、請求項１〜１
    １のいずれか一方に記載のプローブユニットであって前
    記支持体の第１の面が前記基板の一方の面から突出した
    状態に前記基板に配置されたプローブユニットとを含
    む、検査用ヘッド。
12. 【請求項１２】 複数の前記プローブユニットが前記基
    板に並列的に配置されている、請求項１１に記載の検査
    用ヘッド。
13. 【請求項１３】 前記基板は、さらに、テスタに電気的
    に接続される複数の第１の電極と、可撓性を有する帯状
    の配線回路板により前記電気配線に接続される複数の第
    ２の電極とを有する、請求項１１または１２に記載の検
    査用ヘッド。