JPH09304438A - プローブユニットおよび検査用ヘッド - Google Patents
プローブユニットおよび検査用ヘッドInfo
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- JPH09304438A JPH09304438A JP8144867A JP14486796A JPH09304438A JP H09304438 A JPH09304438 A JP H09304438A JP 8144867 A JP8144867 A JP 8144867A JP 14486796 A JP14486796 A JP 14486796A JP H09304438 A JPH09304438 A JP H09304438A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製作が容易であるにもかかわらず、各プロー
ブの弾力性を高めることにある。 【解決手段】 プローブユニットは、互いに角度を有す
る第1および第2の面を有する支持体と、シート状部材
および該シート状部材に形成された複数の電気配線を備
える弾性変形可能のプローブシートとを含む。前記プロ
ーブシートは、前記電気配線の一部分を被検査体の電極
に接続すべくプローブとしており、また隣り合うプロー
ブを物理的に切り離すスリットを有しており、さらに前
記プローブの少なくとも先端部が前記支持体の第1の面
の側に位置し、プローブシートの少なくとも他の一部が
前記支持体の第2の面の側に位置するように曲げられて
いる。
ブの弾力性を高めることにある。 【解決手段】 プローブユニットは、互いに角度を有す
る第1および第2の面を有する支持体と、シート状部材
および該シート状部材に形成された複数の電気配線を備
える弾性変形可能のプローブシートとを含む。前記プロ
ーブシートは、前記電気配線の一部分を被検査体の電極
に接続すべくプローブとしており、また隣り合うプロー
ブを物理的に切り離すスリットを有しており、さらに前
記プローブの少なくとも先端部が前記支持体の第1の面
の側に位置し、プローブシートの少なくとも他の一部が
前記支持体の第2の面の側に位置するように曲げられて
いる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
被検査体の電気的特性の検査に用いるプローブユニット
および検査用ヘッドに関する。
被検査体の電気的特性の検査に用いるプローブユニット
および検査用ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路の通電試験は、一般に、プロー
ブカード、プローブボード等と称されている検査用ヘッ
ドを用いている。従来の多くの検査用ヘッドは、複数の
金属線を電気的絶縁性の基板に取り付け、各金属線を集
積回路の電極に接触させるプローブに利用している。こ
のような検査用ヘッドは、金属線のばね力が大きいこと
から、プローブと集積回路の端子との電気的な接触の度
合いは高いが、複数の金属線を基板に微小ピッチで正確
に取り付けることが難しく、したがって高価である。
ブカード、プローブボード等と称されている検査用ヘッ
ドを用いている。従来の多くの検査用ヘッドは、複数の
金属線を電気的絶縁性の基板に取り付け、各金属線を集
積回路の電極に接触させるプローブに利用している。こ
のような検査用ヘッドは、金属線のばね力が大きいこと
から、プローブと集積回路の端子との電気的な接触の度
合いは高いが、複数の金属線を基板に微小ピッチで正確
に取り付けることが難しく、したがって高価である。
【0003】複数の金属線を用いない検査用ヘッドの1
つとして、電気絶縁性および可撓性を有するフィルムの
一方の面に印刷配線技術により形成された複数の電気配
線および各電気配線に形成された半球状の突起(測定用
接触子)を有するプローブシートと、該プローブシート
を支持する支持体とを備えたプローブユニットを用いた
検査用ヘッドが提案されている(特開昭62−1826
7号公報、特開平2−126160号公報、特公平3−
45541号公報)。
つとして、電気絶縁性および可撓性を有するフィルムの
一方の面に印刷配線技術により形成された複数の電気配
線および各電気配線に形成された半球状の突起(測定用
接触子)を有するプローブシートと、該プローブシート
を支持する支持体とを備えたプローブユニットを用いた
検査用ヘッドが提案されている(特開昭62−1826
7号公報、特開平2−126160号公報、特公平3−
45541号公報)。
【0004】これらの検査用ヘッドは、いずれも、各電
気配線に突起を形成してその電気配線の一部をプローブ
として利用することから、プローブシートの製作が容易
になり、廉価になる、という利点を有する反面、プロー
ブシートを支持体に平面的に取り付けているにすぎない
から、プローブ部分の弾力性が低く、したがってプロー
ブと集積回路の端子との間に充分な電気的接触を得るこ
とができず、正しい試験を行うことができない。
気配線に突起を形成してその電気配線の一部をプローブ
として利用することから、プローブシートの製作が容易
になり、廉価になる、という利点を有する反面、プロー
ブシートを支持体に平面的に取り付けているにすぎない
から、プローブ部分の弾力性が低く、したがってプロー
ブと集積回路の端子との間に充分な電気的接触を得るこ
とができず、正しい試験を行うことができない。
【0005】上記のようなプローブシートのプローブ部
分と支持体との間に緩衝材を配置してプローブ部分の見
掛け上のばね力を大きくしたプローブユニットが提案さ
れている(特公平7−105416号公報)。しかし、
このプローブユニットでは、プローブ部分全体のばね力
は大きくなるが、1つのプローブ部分が変形すると、そ
の近傍の複数のプローブが変形するから、実際には各プ
ローブ部分の見掛け上のばね力は小さい。
分と支持体との間に緩衝材を配置してプローブ部分の見
掛け上のばね力を大きくしたプローブユニットが提案さ
れている(特公平7−105416号公報)。しかし、
このプローブユニットでは、プローブ部分全体のばね力
は大きくなるが、1つのプローブ部分が変形すると、そ
の近傍の複数のプローブが変形するから、実際には各プ
ローブ部分の見掛け上のばね力は小さい。
【0006】板状のばね材をプローブシートに配置し、
隣り合うプローブ部分をプローブシートに形成したスリ
ットにより物理的に切り離して独立したプローブとした
プローブユニットが提案されている(特開平4−363
671号公報)。しかし、このプローブユニットも、プ
ローブシートを支持体に平面的に取り付けているにすぎ
ないから、各プローブの弾力性が低く、プローブと集積
回路の端子との間に充分な電気的接触を得ることができ
ない。
隣り合うプローブ部分をプローブシートに形成したスリ
ットにより物理的に切り離して独立したプローブとした
プローブユニットが提案されている(特開平4−363
671号公報)。しかし、このプローブユニットも、プ
ローブシートを支持体に平面的に取り付けているにすぎ
ないから、各プローブの弾力性が低く、プローブと集積
回路の端子との間に充分な電気的接触を得ることができ
ない。
【0007】
【解決しようとする課題】本発明の目的は、製作が容易
であるにもかかわらず、各プローブの弾力性を高めるこ
とにある。
であるにもかかわらず、各プローブの弾力性を高めるこ
とにある。
【0008】
【解決手段、作用、効果】本発明のプローブユニット
は、互いに角度を有する第1および第2の面を有する支
持体と、シート状部材および該シート状部材に形成され
た複数の電気配線を備える弾性変形可能のプローブシー
トとを含む。前記プローブシートは、前記電気配線の一
部分を被検査体の電極に接続すべくプローブとしてお
り、また隣り合うプローブを物理的に切り離すスリット
を有しており、さらに前記プローブの少なくとも先端部
が前記支持体の第1の面の側に位置し、プローブシート
の少なくとも他の一部が前記支持体の第2の面の側に位
置するように曲げられている。
は、互いに角度を有する第1および第2の面を有する支
持体と、シート状部材および該シート状部材に形成され
た複数の電気配線を備える弾性変形可能のプローブシー
トとを含む。前記プローブシートは、前記電気配線の一
部分を被検査体の電極に接続すべくプローブとしてお
り、また隣り合うプローブを物理的に切り離すスリット
を有しており、さらに前記プローブの少なくとも先端部
が前記支持体の第1の面の側に位置し、プローブシート
の少なくとも他の一部が前記支持体の第2の面の側に位
置するように曲げられている。
【0009】集積回路のような被検査体を検査すると
き、プローブユニットは、各プローブの先端部が被検査
体の端子に接触するように、被検査体に押圧される。こ
れにより、各プローブは弾性変形する。各プローブは、
隣りのプローブと物理的に切り離されているから、独立
して変形する。したがって、各プローブの変形は、隣の
プローブを変形させないし、隣のプローブのばね力を低
下させない。
き、プローブユニットは、各プローブの先端部が被検査
体の端子に接触するように、被検査体に押圧される。こ
れにより、各プローブは弾性変形する。各プローブは、
隣りのプローブと物理的に切り離されているから、独立
して変形する。したがって、各プローブの変形は、隣の
プローブを変形させないし、隣のプローブのばね力を低
下させない。
【0010】プローブユニットは、プローブシート自体
が弾性変形可能であり、しかもプローブが支持体の第1
の面の側に位置し、他の一部が支持体の第2の面の側に
位置するように、L字状またはU字状に曲げられている
から、プローブシートを平面的に支持体に配置した従来
のプローブユニットに比べ、たとえ各プローブが独立し
ていても、各プローブのばね力が大きい。
が弾性変形可能であり、しかもプローブが支持体の第1
の面の側に位置し、他の一部が支持体の第2の面の側に
位置するように、L字状またはU字状に曲げられている
から、プローブシートを平面的に支持体に配置した従来
のプローブユニットに比べ、たとえ各プローブが独立し
ていても、各プローブのばね力が大きい。
【0011】本発明によれば、印刷配線技術により製作
可能のプローブシートを用いるから、プローブシートの
製作が容易である。また、隣り合うプローブが物理的に
切り離されており、しかもプローブが支持体の第1の面
の側に位置し、他の一部が第1の面に対して角度を有す
る第2の面の側に位置するように、プローブシートが曲
げられているから、各プローブのばね力が大きく、した
がってプローブと被検査体の端子との間に充分な電気的
接触を得ることができる。
可能のプローブシートを用いるから、プローブシートの
製作が容易である。また、隣り合うプローブが物理的に
切り離されており、しかもプローブが支持体の第1の面
の側に位置し、他の一部が第1の面に対して角度を有す
る第2の面の側に位置するように、プローブシートが曲
げられているから、各プローブのばね力が大きく、した
がってプローブと被検査体の端子との間に充分な電気的
接触を得ることができる。
【0012】前記プローブシートは、さらに、前記電気
配線を前記支持体の第2の面の側の部分において覆う電
気的絶縁膜を備えることが好ましい。このようにすれ
ば、複数のプローブユニットを並列的に重ねても、隣り
合うプローブユニットの電気配線が電気的に短絡するこ
とを防止することができる。
配線を前記支持体の第2の面の側の部分において覆う電
気的絶縁膜を備えることが好ましい。このようにすれ
ば、複数のプローブユニットを並列的に重ねても、隣り
合うプローブユニットの電気配線が電気的に短絡するこ
とを防止することができる。
【0013】好ましい実施例においては、さらに、各電
気配線に接続されたリード部を有する可撓性のフラット
ケーブルすなわち帯状配線回路板を含む。また、シート
状部材は、金属製シートのように弾性変形可能のシート
材と、該シート材の一方の面に形成された電気絶縁製を
有する膜とを有し、電気配線はシート材と反対側の膜の
面に形成されている。さらに、前記プローブシートは前
記シート状部材の前記電気配線と反対の側の面において
前記支持体の第2の面に接着されている。
気配線に接続されたリード部を有する可撓性のフラット
ケーブルすなわち帯状配線回路板を含む。また、シート
状部材は、金属製シートのように弾性変形可能のシート
材と、該シート材の一方の面に形成された電気絶縁製を
有する膜とを有し、電気配線はシート材と反対側の膜の
面に形成されている。さらに、前記プローブシートは前
記シート状部材の前記電気配線と反対の側の面において
前記支持体の第2の面に接着されている。
【0014】前記支持体は、前記プローブの先端部が前
記支持体に当接することを防止する突出部または凹部を
前記第1の面に有することが好ましい。このようにすれ
ば、プローブの先端部が支持体から離されるから、プロ
ーブ先端部のばね力がより大きくなり、プローブと被検
査体の端子との間により良好な電気的接触を得ることが
できる。
記支持体に当接することを防止する突出部または凹部を
前記第1の面に有することが好ましい。このようにすれ
ば、プローブの先端部が支持体から離されるから、プロ
ーブ先端部のばね力がより大きくなり、プローブと被検
査体の端子との間により良好な電気的接触を得ることが
できる。
【0015】前記支持体は前記プローブの先端部を前記
第1の面と反対の側から目視可能の穴または溝を有する
ことが好ましい。このようにすれば、検査時に、被検査
体の端子に対するプローブの位置を穴または溝を通して
目視することができる。
第1の面と反対の側から目視可能の穴または溝を有する
ことが好ましい。このようにすれば、検査時に、被検査
体の端子に対するプローブの位置を穴または溝を通して
目視することができる。
【0016】前記支持体は前記第2の面と反対の側の第
3の面をさらに有する直方体であり、前記第2の面は前
記第1の面から離れる部位ほど前記第2の面と反対の側
へ後退する傾斜面であることが好ましい。このようにす
れば、複数のプローブユニットを並列的に重ねるとき、
電気配線に接続されるリード線のために隣り合うプロー
ブユニット間に形成する間隔を小さくすることができる
から、複数のプローブユニットを高密度に配置すること
ができる。
3の面をさらに有する直方体であり、前記第2の面は前
記第1の面から離れる部位ほど前記第2の面と反対の側
へ後退する傾斜面であることが好ましい。このようにす
れば、複数のプローブユニットを並列的に重ねるとき、
電気配線に接続されるリード線のために隣り合うプロー
ブユニット間に形成する間隔を小さくすることができる
から、複数のプローブユニットを高密度に配置すること
ができる。
【0017】好ましい実施例において、前記支持体が前
記第2の面と反対の側の第3の面をさらに有する直方体
である場合、前記プローブシートはさらに他の一部が前
記第3の面の側に位置するように曲げられており、各ブ
ローブはその先端部分において前記シート材から物理的
に切り離されていることが好ましい。このようにすれ
ば、各プローブの先端部が支持体の第1の面から確実に
離されるから、プローブシートが支持体に安定した状態
に確実に支持されるにもかかわらず、各プローブがその
機能を喪失することがない。
記第2の面と反対の側の第3の面をさらに有する直方体
である場合、前記プローブシートはさらに他の一部が前
記第3の面の側に位置するように曲げられており、各ブ
ローブはその先端部分において前記シート材から物理的
に切り離されていることが好ましい。このようにすれ
ば、各プローブの先端部が支持体の第1の面から確実に
離されるから、プローブシートが支持体に安定した状態
に確実に支持されるにもかかわらず、各プローブがその
機能を喪失することがない。
【0018】前記プローブシートは、さらに、前記複数
のプローブにより構成される第1のプローブ群と対称の
位置に形成された複数のプローブにより構成される第2
のプローブ群を備えるとともに、前記第2のプローブ群
の隣り合う各プローブを物理的に切り離す第2のスリッ
トを有しており、前記第2のプローブ群の各プローブ
は、前記シート状部材に形成された複数の第2の電気配
線の一部分に形成されているとともに、前記第1のプロ
ーブ群のプローブと物理的に切り離されていることが好
ましい。このようにすれば、多数のプローブをプローブ
シートに形成することができるし、対称的に形成された
2つ端子群を有する被検査体を一回で検査することがで
きる。
のプローブにより構成される第1のプローブ群と対称の
位置に形成された複数のプローブにより構成される第2
のプローブ群を備えるとともに、前記第2のプローブ群
の隣り合う各プローブを物理的に切り離す第2のスリッ
トを有しており、前記第2のプローブ群の各プローブ
は、前記シート状部材に形成された複数の第2の電気配
線の一部分に形成されているとともに、前記第1のプロ
ーブ群のプローブと物理的に切り離されていることが好
ましい。このようにすれば、多数のプローブをプローブ
シートに形成することができるし、対称的に形成された
2つ端子群を有する被検査体を一回で検査することがで
きる。
【0019】複数のプローブシートを用いる場合、それ
らのプローブシートを支持体に一方向へ間隔をおいて順
次配置することが好ましい。このようにすれば、複数の
被検査体を同時に検査するように1つのプローブユニッ
トを適用することができるし、1つの被検査体を複数の
プローブシートにより検査するように1つのプローブユ
ニットを適用することができる。また、隣り合うプロー
ブシートが物理的に分離されているから、プローブシー
トと支持体との熱膨張係数が異なっても、各プローブシ
ートと支持体との熱伸縮の差が隣のプローブシートに影
響を与えず、したがって各プローブと被検査体の端子と
の相対的なずれが小さい。
らのプローブシートを支持体に一方向へ間隔をおいて順
次配置することが好ましい。このようにすれば、複数の
被検査体を同時に検査するように1つのプローブユニッ
トを適用することができるし、1つの被検査体を複数の
プローブシートにより検査するように1つのプローブユ
ニットを適用することができる。また、隣り合うプロー
ブシートが物理的に分離されているから、プローブシー
トと支持体との熱膨張係数が異なっても、各プローブシ
ートと支持体との熱伸縮の差が隣のプローブシートに影
響を与えず、したがって各プローブと被検査体の端子と
の相対的なずれが小さい。
【0020】検査用ヘッドは、貫通穴を有する基板と、
上記したようなプローブユニットとを含む。プローブユ
ニットは、前記支持体の第1の面が前記基板の一方の面
から突出した状態に前記基板に配置されている。1つの
プローブユニットを前記基板に配置してもよいし、複数
のプローブユニットを前記基板に並列的に配置してもよ
い。前記基板は、さらに、テスタに電気的に接続される
複数の第1の電極と、可撓性を有する帯状の配線回路板
により前記電気配線に接続される複数の第2の電極とを
有することができる。
上記したようなプローブユニットとを含む。プローブユ
ニットは、前記支持体の第1の面が前記基板の一方の面
から突出した状態に前記基板に配置されている。1つの
プローブユニットを前記基板に配置してもよいし、複数
のプローブユニットを前記基板に並列的に配置してもよ
い。前記基板は、さらに、テスタに電気的に接続される
複数の第1の電極と、可撓性を有する帯状の配線回路板
により前記電気配線に接続される複数の第2の電極とを
有することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】図1および図2を参照するに、検
査用ヘッド10は、集積回路のように多数の電極すなわ
ち端子を微小ピッチで配置した被検査体の通電試験に用
いられる。検査用ヘッド10は、円板状の基板12と、
該基板に並列的に組み付けられた取付枠14と、該取付
枠に組み付けられた複数のプローブユニット16と、各
プローブユニット16から伸びるフラットケーブル18
とを含む。検査用ヘッド10は、基板12の厚さ方向が
上下方向となるように、図示しない検査装置に取り付け
られる。なお、図1は、フラットケーブル18を除去し
た状態で示す。
査用ヘッド10は、集積回路のように多数の電極すなわ
ち端子を微小ピッチで配置した被検査体の通電試験に用
いられる。検査用ヘッド10は、円板状の基板12と、
該基板に並列的に組み付けられた取付枠14と、該取付
枠に組み付けられた複数のプローブユニット16と、各
プローブユニット16から伸びるフラットケーブル18
とを含む。検査用ヘッド10は、基板12の厚さ方向が
上下方向となるように、図示しない検査装置に取り付け
られる。なお、図1は、フラットケーブル18を除去し
た状態で示す。
【0022】基板12は、矩形の貫通穴20を中央部に
有しており、また外部のテスタに電気的に接続される複
数の第1の電極すなわちテスターランド22を外周部に
有しており、さらにフラットケーブル18を接続する複
数の第2の電極すなわちコネクタ24を中間部に有す
る。
有しており、また外部のテスタに電気的に接続される複
数の第1の電極すなわちテスターランド22を外周部に
有しており、さらにフラットケーブル18を接続する複
数の第2の電極すなわちコネクタ24を中間部に有す
る。
【0023】取付枠16は、貫通穴20に嵌合されてお
り、また複数のねじ部材または接着材により基板12に
変位不能に取り付けられている。プローブユニット16
は、複数のねじ部材(図示せず)により取付枠14に取
り外し可能に取り付けられている。フラットケーブル1
8は、印刷配線技術により形成された可撓性を有する帯
状の配線回路板であり、また基板12のコネクタ24に
結合されるコネクタ26を一端部に有する。
り、また複数のねじ部材または接着材により基板12に
変位不能に取り付けられている。プローブユニット16
は、複数のねじ部材(図示せず)により取付枠14に取
り外し可能に取り付けられている。フラットケーブル1
8は、印刷配線技術により形成された可撓性を有する帯
状の配線回路板であり、また基板12のコネクタ24に
結合されるコネクタ26を一端部に有する。
【0024】図3〜図9を参照するに、各プローブユニ
ット16は、細長い直方体の形状を有する支持体30
と、該支持体にその長手方向へ間隔をおいて組み付けら
れた弾性変形可能の複数(図示の例では、4つ)のプロ
ーブシート32とを含む。
ット16は、細長い直方体の形状を有する支持体30
と、該支持体にその長手方向へ間隔をおいて組み付けら
れた弾性変形可能の複数(図示の例では、4つ)のプロ
ーブシート32とを含む。
【0025】支持体30は、断面形状がほぼ四角形の柱
の形を有しており、また各端面の上端部から長手方向へ
突出する板状の取付部34を有する。支持体30は、取
付部34に形成された穴36に通されるねじ部材によ
り、図1および図2に示す取付枠14に取り付けられ
る。支持体30は、また、該支持体を上下方向に貫通す
る複数の貫通穴38を有する。各貫通穴38は、支持体
30の長手方向に長い平面形状を有しており、またプロ
ーブシート32に対応されている。
の形を有しており、また各端面の上端部から長手方向へ
突出する板状の取付部34を有する。支持体30は、取
付部34に形成された穴36に通されるねじ部材によ
り、図1および図2に示す取付枠14に取り付けられ
る。支持体30は、また、該支持体を上下方向に貫通す
る複数の貫通穴38を有する。各貫通穴38は、支持体
30の長手方向に長い平面形状を有しており、またプロ
ーブシート32に対応されている。
【0026】図9に示すように、支持体30の下面40
は、高さ位置が一方の側面42の側から中央に向けて漸
次下方となり、次いで他方の側面44の側に向けて漸次
上方となる山形面とされている。山形の頂部すなわち下
方への突出部46は、一方の側面42の側に変位してい
る。
は、高さ位置が一方の側面42の側から中央に向けて漸
次下方となり、次いで他方の側面44の側に向けて漸次
上方となる山形面とされている。山形の頂部すなわち下
方への突出部46は、一方の側面42の側に変位してい
る。
【0027】支持体30は、線熱膨張率の小さい材料、
たとえばノビナイトなる商品名で市販されている金属材
料で形成することが好ましく、これにより高温測定時に
おける被検査体の端子に対する測定用突起すなわち接触
子の位置ずれを抑えることができる。
たとえばノビナイトなる商品名で市販されている金属材
料で形成することが好ましく、これにより高温測定時に
おける被検査体の端子に対する測定用突起すなわち接触
子の位置ずれを抑えることができる。
【0028】図7〜図9に示すように、各プローブシー
ト32は、弾性変形可能のシート状部材50と、該シー
ト状部材に形成された複数の電気配線52と、配線パタ
ーンすなわち電気配線52を支持体30の一方の側面4
2の側の部分において覆う電気的絶縁膜54とを備え
る。各プローブシート32は、また、電気配線52が外
側となるように、コ字状すなわちU字状に曲げられて、
シート状部材50において支持体30の側面42,44
に接着されている。
ト32は、弾性変形可能のシート状部材50と、該シー
ト状部材に形成された複数の電気配線52と、配線パタ
ーンすなわち電気配線52を支持体30の一方の側面4
2の側の部分において覆う電気的絶縁膜54とを備え
る。各プローブシート32は、また、電気配線52が外
側となるように、コ字状すなわちU字状に曲げられて、
シート状部材50において支持体30の側面42,44
に接着されている。
【0029】シート状部材50は、ステンレスのような
金属でフィルム状に製作されたシート材のように弾性変
形可能のシート材50aと、ポリイミドのように電気的
絶縁性を有する材料でシート材50aの一方の面に形成
された絶縁膜50bとを有する。電気配線52は、狭く
かつ薄い帯状の形状を有しており、またシート材50a
と反対の側において絶縁膜50bの部分に並列的に形成
されている。
金属でフィルム状に製作されたシート材のように弾性変
形可能のシート材50aと、ポリイミドのように電気的
絶縁性を有する材料でシート材50aの一方の面に形成
された絶縁膜50bとを有する。電気配線52は、狭く
かつ薄い帯状の形状を有しており、またシート材50a
と反対の側において絶縁膜50bの部分に並列的に形成
されている。
【0030】各電気配線52は、シート状部材50の一
端から中央部まで連続しており、中央側の端部を接触ア
ームすなわちプローブ56としている。各プローブシー
ト32は、隣り合うプローブ56を物理的に切り離すス
リット58を有する。スリット58は、プローブ56の
先端をシート状部材50から物理的に切り離している。
各プローブ56は、半球状の突起60を先端部外側に有
する。バンプすなわち突起60は、被検査体の端子に当
接される検査用の接触子として用いられる。
端から中央部まで連続しており、中央側の端部を接触ア
ームすなわちプローブ56としている。各プローブシー
ト32は、隣り合うプローブ56を物理的に切り離すス
リット58を有する。スリット58は、プローブ56の
先端をシート状部材50から物理的に切り離している。
各プローブ56は、半球状の突起60を先端部外側に有
する。バンプすなわち突起60は、被検査体の端子に当
接される検査用の接触子として用いられる。
【0031】各プローブシート32は、各プローブ56
が支持体30の下面40の側となり、各プローブ56が
その長手方向の途中において突出部46に当接し、また
各プローブ56の先端が穴38の下方に位置し、さらに
各プローブ56の先端部がシート状部材50から下方へ
僅かに突出する状態に、U字状に曲げられかつ支持体3
0の側面42,44に装着等により固定されている。各
プローブシート32の下面のうち、プローブ56以外の
部分を支持体30の下面40に接着等により固定しても
よい。
が支持体30の下面40の側となり、各プローブ56が
その長手方向の途中において突出部46に当接し、また
各プローブ56の先端が穴38の下方に位置し、さらに
各プローブ56の先端部がシート状部材50から下方へ
僅かに突出する状態に、U字状に曲げられかつ支持体3
0の側面42,44に装着等により固定されている。各
プローブシート32の下面のうち、プローブ56以外の
部分を支持体30の下面40に接着等により固定しても
よい。
【0032】電気絶縁膜54は、支持体30の側面42
の下部に対応する部分に形成されている。フラットケー
ブル18は、印刷配線技術により作成された可撓性を有
する印刷配線回路板であり、また各電気配線52に対応
されたリード部を有する。フラットケーブル18は、各
リード部の端部が対応する電気配線52に接触した状態
に、熱圧着のような手段によりプローブシート32に接
続される。
の下部に対応する部分に形成されている。フラットケー
ブル18は、印刷配線技術により作成された可撓性を有
する印刷配線回路板であり、また各電気配線52に対応
されたリード部を有する。フラットケーブル18は、各
リード部の端部が対応する電気配線52に接触した状態
に、熱圧着のような手段によりプローブシート32に接
続される。
【0033】プローブユニット16は、プローブ56が
下方となりかつプローブ56が取付枠14を上下方向に
貫通した状態に取付枠14に並列的に配置され、ねじ止
めされる。複数のプローブユニット16が並列的に重ね
られた状態において、各電気的絶縁膜54は、隣合うプ
ローブユニットが接触しても、隣合うプローブユニット
の電気的短絡を防止する
下方となりかつプローブ56が取付枠14を上下方向に
貫通した状態に取付枠14に並列的に配置され、ねじ止
めされる。複数のプローブユニット16が並列的に重ね
られた状態において、各電気的絶縁膜54は、隣合うプ
ローブユニットが接触しても、隣合うプローブユニット
の電気的短絡を防止する
【0034】複数のプローブユニット16を取り付けた
取付枠14は、プローブ56が下方となるようにプロー
ブユニット16が基板12を上下方向に貫通した状態に
基板12に組み付けられる。
取付枠14は、プローブ56が下方となるようにプロー
ブユニット16が基板12を上下方向に貫通した状態に
基板12に組み付けられる。
【0035】集積回路のような被検査体の通電試験をす
るとき、検査用ヘッド10は、各プローブ56の接触子
60が被検査体の端子に接触するように、被検査体に押
圧される。このとき、被検査体の端子に対するプローブ
56の位置を穴38を通して目視・確認することができ
る。
るとき、検査用ヘッド10は、各プローブ56の接触子
60が被検査体の端子に接触するように、被検査体に押
圧される。このとき、被検査体の端子に対するプローブ
56の位置を穴38を通して目視・確認することができ
る。
【0036】各接触子60が被検査体の端子に押圧され
ると、各プローブ56が弾性変形する。各プローブ56
は、隣りのプローブ56と物理的に切り離されているか
ら、独立して変形する。したがって、各プローブ56の
変形は、隣のプローブ56を変形させないし、隣のプロ
ーブ56のばね力を低下させない。
ると、各プローブ56が弾性変形する。各プローブ56
は、隣りのプローブ56と物理的に切り離されているか
ら、独立して変形する。したがって、各プローブ56の
変形は、隣のプローブ56を変形させないし、隣のプロ
ーブ56のばね力を低下させない。
【0037】プローブユニット16は、プローブシート
32自体が弾性変形可能であり、しかもプローブ56が
支持体30の下面40の面の側に位置しかつ他の部分が
支持体30の両側面42,44の側に位置するようにU
字状に曲げられており、その上プローブシート32が両
側面42,44に取り付けられているから、プローブシ
ートを平面的に支持体に配置した従来のプローブユニッ
トに比べ、たとえ隣り合うプローブ56が切り離されて
いても、プローブ56のばね力は大きい。
32自体が弾性変形可能であり、しかもプローブ56が
支持体30の下面40の面の側に位置しかつ他の部分が
支持体30の両側面42,44の側に位置するようにU
字状に曲げられており、その上プローブシート32が両
側面42,44に取り付けられているから、プローブシ
ートを平面的に支持体に配置した従来のプローブユニッ
トに比べ、たとえ隣り合うプローブ56が切り離されて
いても、プローブ56のばね力は大きい。
【0038】大きいばね力を有するプローブ56の弾性
変形は、接触子60とウエハパッドのような端子とを相
互に押圧した状態で相対的に変位させる。これにより、
端子の酸化膜の一部が接触子60により掻き取られるか
ら、接触子60と端子との間に充分な電気的接触を得る
ことができる。これに対し、小さいばね力を有するプロ
ーブの弾性変形は、接触子と端子との間に滑りを生じる
だけで、接触子が端子の酸化膜の一部を掻き取る作用を
しないから、通電試験に充分な電気的接触を接触子60
と被検査体の端子との間に得ることができない。
変形は、接触子60とウエハパッドのような端子とを相
互に押圧した状態で相対的に変位させる。これにより、
端子の酸化膜の一部が接触子60により掻き取られるか
ら、接触子60と端子との間に充分な電気的接触を得る
ことができる。これに対し、小さいばね力を有するプロ
ーブの弾性変形は、接触子と端子との間に滑りを生じる
だけで、接触子が端子の酸化膜の一部を掻き取る作用を
しないから、通電試験に充分な電気的接触を接触子60
と被検査体の端子との間に得ることができない。
【0039】ブローブユニット16は、各プローブ56
がその長手方向の途中において突出部46に当接するこ
とにより、プローブ56の先端部が支持体30に当接す
ることを防止されているから、各プローブ56の先端部
は支持体30の下面40から離される。その結果、プロ
ーブ先端部のばね力がより大きく、各接触子60と被検
査体の端子との間により良好な電気的接触が得られる。
また、プローブシート32がU字状の曲げられて支持体
30の側面42,44に止められているから、プローブ
シートが支持体に安定した状態に確実に支持されるにも
かかわらず、各プローブはその機能を喪失しない。
がその長手方向の途中において突出部46に当接するこ
とにより、プローブ56の先端部が支持体30に当接す
ることを防止されているから、各プローブ56の先端部
は支持体30の下面40から離される。その結果、プロ
ーブ先端部のばね力がより大きく、各接触子60と被検
査体の端子との間により良好な電気的接触が得られる。
また、プローブシート32がU字状の曲げられて支持体
30の側面42,44に止められているから、プローブ
シートが支持体に安定した状態に確実に支持されるにも
かかわらず、各プローブはその機能を喪失しない。
【0040】ブローブユニット16によれば、複数のプ
ローブシート32を支持体30に一方向へ間隔62をお
いて順次配置したから、複数の被検査体を同時に検査す
るように1つのプローブユニット16を適用することが
できるし、1つの被検査体を複数のプローブシート32
により検査するように1つのプローブユニット16を適
用することができる。
ローブシート32を支持体30に一方向へ間隔62をお
いて順次配置したから、複数の被検査体を同時に検査す
るように1つのプローブユニット16を適用することが
できるし、1つの被検査体を複数のプローブシート32
により検査するように1つのプローブユニット16を適
用することができる。
【0041】ブローブユニット16によれば、また、隣
り合うプローブシート32が間隔62により物理的に分
離されているから、支持体30とプローブシート32と
の熱膨張係数が異なっても、支持体30とプローブシー
ト32との熱伸縮の差が隣のプローブシート32に影響
を与えず、したがって各接触子60と被検査体の端子と
の相対的なずれが小さい。しかし、1つの支持体に1つ
のプローブシートを配置する用にしてもよい。
り合うプローブシート32が間隔62により物理的に分
離されているから、支持体30とプローブシート32と
の熱膨張係数が異なっても、支持体30とプローブシー
ト32との熱伸縮の差が隣のプローブシート32に影響
を与えず、したがって各接触子60と被検査体の端子と
の相対的なずれが小さい。しかし、1つの支持体に1つ
のプローブシートを配置する用にしてもよい。
【0042】検査用ヘッド10によれば、並列的に配置
された複数のプローブユニット16を備えるから、複数
の被検査体を同時に検査することができる。しかし、検
査ヘッドは、1つのプローブユニットを備えていてもよ
い。
された複数のプローブユニット16を備えるから、複数
の被検査体を同時に検査することができる。しかし、検
査ヘッドは、1つのプローブユニットを備えていてもよ
い。
【0043】支持体30の側面42,44を下面40か
ら離れる部位ほど穴38の側へ後退する傾斜面としても
よい。このようにすれば、複数のプローブユニット16
を並列的に重ねても、隣り合うプローブユニット間に形
成する隙間、特にフラットケーブル18のために必要と
する隙間を小さくすることができるから、複数のプロー
ブユニットを高密度に配置することができる。
ら離れる部位ほど穴38の側へ後退する傾斜面としても
よい。このようにすれば、複数のプローブユニット16
を並列的に重ねても、隣り合うプローブユニット間に形
成する隙間、特にフラットケーブル18のために必要と
する隙間を小さくすることができるから、複数のプロー
ブユニットを高密度に配置することができる。
【0044】図10〜図12に示すプローブユニット7
0は、前記した支持体30と同様に線熱膨張率の小さい
金属材料で角柱状に形成された支持体72と、前記した
プローブシート32と同様に印刷配線技術により製作さ
れた複数のプローブシート74とを含む。
0は、前記した支持体30と同様に線熱膨張率の小さい
金属材料で角柱状に形成された支持体72と、前記した
プローブシート32と同様に印刷配線技術により製作さ
れた複数のプローブシート74とを含む。
【0045】支持体72は、各端面の上端部から長手方
向へ突出する板状の取付部76を有しており、取付部7
6に形成された穴78に通されるねじ部材により、図1
および図2に示す取付枠14に取り付けられる。支持体
72の下面80は平坦面であり、側面82,84はプロ
ーブシート74毎に形成された凹所により下面80から
離れる部位ほど中央部の側へ後退する傾斜面としてされ
ている。
向へ突出する板状の取付部76を有しており、取付部7
6に形成された穴78に通されるねじ部材により、図1
および図2に示す取付枠14に取り付けられる。支持体
72の下面80は平坦面であり、側面82,84はプロ
ーブシート74毎に形成された凹所により下面80から
離れる部位ほど中央部の側へ後退する傾斜面としてされ
ている。
【0046】支持体72は、下端の側面82,84側の
各角部を切欠した切欠部86と、側面82,84のそれ
ぞれに形成した上下方向に伸びる溝88とをプローブシ
ート74毎に有する。切欠部86と溝88とは、対応す
るプローブシート74を上方から目視可能に連通してい
る。
各角部を切欠した切欠部86と、側面82,84のそれ
ぞれに形成した上下方向に伸びる溝88とをプローブシ
ート74毎に有する。切欠部86と溝88とは、対応す
るプローブシート74を上方から目視可能に連通してい
る。
【0047】各プローブシート74は、プローブシート
32と同様に、弾性変形可能のシート状部材90と、該
シート状部材に形成された複数の第1および第2の電気
配線92と、該第1および第2の電気配線を支持体72
の側面82および84の側の部分においてそれぞれ覆う
第1および第2の電気的絶縁膜94とを備える。各プロ
ーブシート74は、また、第1および第2の電気配線9
2が外側となるように、U字状に曲げられて、シート状
部材90において支持体72の側面82および84に接
着等により固定されている。
32と同様に、弾性変形可能のシート状部材90と、該
シート状部材に形成された複数の第1および第2の電気
配線92と、該第1および第2の電気配線を支持体72
の側面82および84の側の部分においてそれぞれ覆う
第1および第2の電気的絶縁膜94とを備える。各プロ
ーブシート74は、また、第1および第2の電気配線9
2が外側となるように、U字状に曲げられて、シート状
部材90において支持体72の側面82および84に接
着等により固定されている。
【0048】シート状部材90は、シート状部材50と
同様に、金属製フィルムのように弾性変形可能のシート
材90aと、電気的絶縁性を有する材料でシート材90
aの一方の面に形成された絶縁膜90bとを有する。第
1および第2の電気配線92は、電気配線52と同様
に、狭くかつ薄い帯状の形状を有にしており、また絶縁
膜90bの部分に並列的に形成されている。
同様に、金属製フィルムのように弾性変形可能のシート
材90aと、電気的絶縁性を有する材料でシート材90
aの一方の面に形成された絶縁膜90bとを有する。第
1および第2の電気配線92は、電気配線52と同様
に、狭くかつ薄い帯状の形状を有にしており、また絶縁
膜90bの部分に並列的に形成されている。
【0049】第1の電気配線92と第2の電気配線92
とは、支持体72の長手方向へ伸びる仮想的な線に関し
て対称の位置に形成されている。第1の電気配線92は
シート状部材90の一端から中央部まで連続しており、
第2の電気配線92はシート状部材90の他端から中央
部まで連続してしている。第1および第2の電気配線9
2は、中央側の端部を支持体72の長手方向へ伸びる仮
想的な線に関して対称の第1および第2のプローブ96
としている。
とは、支持体72の長手方向へ伸びる仮想的な線に関し
て対称の位置に形成されている。第1の電気配線92は
シート状部材90の一端から中央部まで連続しており、
第2の電気配線92はシート状部材90の他端から中央
部まで連続してしている。第1および第2の電気配線9
2は、中央側の端部を支持体72の長手方向へ伸びる仮
想的な線に関して対称の第1および第2のプローブ96
としている。
【0050】隣り合うプローブ96は、各プローブシー
ト74に形成されたスリット98により物理的に切り離
されている。プローブ96の先端も、スリット98によ
りシート状部材90から物理的に切り離されている。各
プローブ96は、半球状の突起100を先端部外側に有
する。バンプすなわち突起100は、被検査体の端子に
当接される検査用の接触子として用いられる。
ト74に形成されたスリット98により物理的に切り離
されている。プローブ96の先端も、スリット98によ
りシート状部材90から物理的に切り離されている。各
プローブ96は、半球状の突起100を先端部外側に有
する。バンプすなわち突起100は、被検査体の端子に
当接される検査用の接触子として用いられる。
【0051】各プローブシート74は、各プローブ96
が支持体72の下面80の側となり、また各プローブ9
6の先端が溝88の下方に位置し、さらに各プローブ9
6の先端部がシート状部材90から下方へ僅かに突出す
る状態に、U字状に曲げられて支持体72の側面82に
装着等により固定されている。各プローブシート74の
下面のうち、プローブ96以外の部分を支持体72の下
面80に接着等により固定してもよい。隣り合うプロー
ブシート74は、間隔62をおいている。
が支持体72の下面80の側となり、また各プローブ9
6の先端が溝88の下方に位置し、さらに各プローブ9
6の先端部がシート状部材90から下方へ僅かに突出す
る状態に、U字状に曲げられて支持体72の側面82に
装着等により固定されている。各プローブシート74の
下面のうち、プローブ96以外の部分を支持体72の下
面80に接着等により固定してもよい。隣り合うプロー
ブシート74は、間隔62をおいている。
【0052】各電気的絶縁膜94は、支持体72の対応
する側面84の下部に対応する部分に形成されている。
各フラットケーブル18は、各リード部の端部を対応す
る電気配線92に接触させた状態に熱圧着のような手段
によりプローブシート74に接続される。
する側面84の下部に対応する部分に形成されている。
各フラットケーブル18は、各リード部の端部を対応す
る電気配線92に接触させた状態に熱圧着のような手段
によりプローブシート74に接続される。
【0053】プローブユニット70によれば、各プロー
ブシート74が対称的および並列的に形成された第1お
よび第2のプローブ群を備えるから、多数のプローブを
プローブシートに形成することができるし、対称的に形
成された2つ端子群を有する被検査体を一回で検査する
ことができる。
ブシート74が対称的および並列的に形成された第1お
よび第2のプローブ群を備えるから、多数のプローブを
プローブシートに形成することができるし、対称的に形
成された2つ端子群を有する被検査体を一回で検査する
ことができる。
【0054】図13〜図15に示すプローブユニット1
10は、図7〜図9に示すプローブユニット16を、そ
の幅寸法すなわち厚さ寸法を小さく改良した実施例であ
る。それゆえに、プローブユニット110は、支持体1
12が図9における支持体30の穴38より左方の部位
を残して除去されていることと、各プローブシート11
4の対応する部分が除去されていることと、各プローブ
シート114がL字状の曲げられていることとを除い
て、図7〜図9に示すプローブユニット16と同じに形
成されている。
10は、図7〜図9に示すプローブユニット16を、そ
の幅寸法すなわち厚さ寸法を小さく改良した実施例であ
る。それゆえに、プローブユニット110は、支持体1
12が図9における支持体30の穴38より左方の部位
を残して除去されていることと、各プローブシート11
4の対応する部分が除去されていることと、各プローブ
シート114がL字状の曲げられていることとを除い
て、図7〜図9に示すプローブユニット16と同じに形
成されている。
【0055】プローブユニット110によれば、プロー
ブユニット16および70に比べ、幅寸法すなわち厚さ
寸法が小さいから、高密度に配置することができる。
ブユニット16および70に比べ、幅寸法すなわち厚さ
寸法が小さいから、高密度に配置することができる。
【0056】図16〜図19により、図1〜図9に示す
プローブユニット16の製造方法を説明するための図で
る。
プローブユニット16の製造方法を説明するための図で
る。
【0057】先ず、図16(A)に示すように、複数の
プローブシートを製作可能の大きさを有するステンレス
製の薄板すなわちシート材50aの一方の面全体にポリ
イミド材を塗布することにより電気的絶縁膜50bを形
成する。これにより、シート状部材50が形成される。
プローブシートを製作可能の大きさを有するステンレス
製の薄板すなわちシート材50aの一方の面全体にポリ
イミド材を塗布することにより電気的絶縁膜50bを形
成する。これにより、シート状部材50が形成される。
【0058】次いで、図16(B)に示すように、金に
よる配線パターンを印刷配線技術すなわち写真製版技術
により絶縁膜50bの面上に形成する。これにより、シ
ート状部材50の一端から中央部まで伸びる多数の電気
配線52が並列的に形成される。
よる配線パターンを印刷配線技術すなわち写真製版技術
により絶縁膜50bの面上に形成する。これにより、シ
ート状部材50の一端から中央部まで伸びる多数の電気
配線52が並列的に形成される。
【0059】次いで、図16(C)に示すように、電気
配線52の一部にポリイミド材を塗布することにより電
気絶縁膜54を形成する。
配線52の一部にポリイミド材を塗布することにより電
気絶縁膜54を形成する。
【0060】次いで、図17(A)に示すように、各電
気配線52の先端部に接触子60をメッキ加工により形
成する。
気配線52の先端部に接触子60をメッキ加工により形
成する。
【0061】次いで、図17(B)に示すように、レー
ザ加工によりスリット58をシート状部材50に形成す
る。これにより、電気配線52の先端部が切り離され
て、接触アームすなわちプローブ56が各電気配線52
の先端部に形成される。
ザ加工によりスリット58をシート状部材50に形成す
る。これにより、電気配線52の先端部が切り離され
て、接触アームすなわちプローブ56が各電気配線52
の先端部に形成される。
【0062】以上により、複数のプローブシートを一体
的に有するシート120が形成される。
的に有するシート120が形成される。
【0063】次いで、図18(A)および(B)に示す
ように、シート120を折り曲げるための溝122をレ
ーザ加工によりシート材50aの他方の面(裏面)に形
成する。
ように、シート120を折り曲げるための溝122をレ
ーザ加工によりシート材50aの他方の面(裏面)に形
成する。
【0064】次いで、図18(C)に示すように、シー
ト120をU字状に折り曲げる。これにより、各プロー
ブ56の先端部はシート120から外方へ僅かに突出す
る。
ト120をU字状に折り曲げる。これにより、各プロー
ブ56の先端部はシート120から外方へ僅かに突出す
る。
【0065】次いで、図19(A)に示すように、U字
状に曲げたシート120を予め所定の形状に製作された
支持体30に接着する。
状に曲げたシート120を予め所定の形状に製作された
支持体30に接着する。
【0066】次いで、図19(B)に示すように、シー
ト120をレーザ加工により複数のプローブシート32
に分断する。これにより、隣り合うプローブシート32
間に隙間62が形成される。
ト120をレーザ加工により複数のプローブシート32
に分断する。これにより、隣り合うプローブシート32
間に隙間62が形成される。
【0067】次いで、図19(C)に示すように、フラ
ットケーブル18を各リード部が電気配線と接触した状
態に各プローブシート32に熱圧着により接着する。
ットケーブル18を各リード部が電気配線と接触した状
態に各プローブシート32に熱圧着により接着する。
【0068】上記のように、印刷配線技術を利用してプ
ローブシートを製作するならば、プローブシートを大量
におよび容易に製作することができ、プローブシート自
体が廉価になる。
ローブシートを製作するならば、プローブシートを大量
におよび容易に製作することができ、プローブシート自
体が廉価になる。
【0069】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、シート状部材は、電気的絶縁性を有しかつ弾性
変形可能の単一のシート材であってもよい。
とえば、シート状部材は、電気的絶縁性を有しかつ弾性
変形可能の単一のシート材であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプローブユニットを用いた検査用ヘッ
ドの一実施例を示す平面図である。
ドの一実施例を示す平面図である。
【図2】図1の2−2線に沿って得た断面図である。
【図3】本発明のプローブユニットの一実施例を示す平
面図である。
面図である。
【図4】図3に示すプローブユニットの正面図である。
【図5】図3に示すプローブユニットの底面図である。
【図6】図3に示すプローブユニットの右側面図であ
る。
る。
【図7】プローブシートの一実施例を示す正面図であ
る。
る。
【図8】図7に示すプローブシートの底面図である。
【図9】図7の9−9線に沿って得た断面図である。
【図10】プローブシートの他の実施例を示す正面図で
ある。
ある。
【図11】図10に示すプローブシートの底面図であ
る。
る。
【図12】図10の11−11線に沿って得た断面図で
ある。
ある。
【図13】プローブシートのさらに他の実施例を示す正
面図である。
面図である。
【図14】図13に示すプローブシートの底面図であ
る。
る。
【図15】図13の13−13線に沿って得た断面図で
ある。
ある。
【図16】図7に示すプローブシートの製造方法の工程
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図17】図16に続くを工程説明するための図であ
る。
る。
【図18】図17に続くを工程説明するための図であ
る。
る。
【図19】図18に続くを工程説明するための図であ
る。
る。
10 検査用ヘッド 12 基板 14 取付枠 16,70,112 プローブユニット 18 フラットケーブル 20 基板の穴 30,72,112 支持体 32,74,114 プローブシート 38 支持体の穴 46 支持体の突出部 50,90 シート状部材 52,92 電気配線 54,94 電気的絶縁膜 56,96 プローブ 58,98 スリット 60,100 接触子 62 間隔 86 支持体の溝 88 支持体の切欠部 5−a,90a シート材 50b,90b 電気絶縁性の膜
Claims (13)
- 【請求項1】 互いに角度を有する第1および第2の面
を有する支持体と、シート状部材および該シート状部材
に形成された複数の電気配線を備える弾性変形可能のプ
ローブシートとを含み、前記プローブシートは、前記電
気配線の一部分を被検査体の電極に接続すべくプローブ
としており、また隣り合うプローブを物理的に切り離す
スリットを有しており、さらに前記プローブの少なくと
も先端部が前記支持体の第1の面の側に位置し、プロー
ブシートの少なくとも他の一部が前記支持体の第2の面
の側に位置するように曲げられている、プローブユニッ
ト。 - 【請求項2】 前記プローブシートは、さらに、前記電
気配線を前記支持体の第2の面の側の部分において覆う
電気的絶縁膜を備える、請求項1に記載のプローブユニ
ット。 - 【請求項3】 前記プローブシートは前記シート状部材
の前記電気配線と反対の側の面において前記支持体の第
2の面に接着されている、請求項1または2に記載のプ
ローブユニット。 - 【請求項4】 前記支持体は、前記プローブの先端部が
前記支持体に当接することを防止する突出部または凹部
を前記第1の面に有する、請求項1〜3のいずれか1項
に記載のプローブユニット。 - 【請求項5】 前記支持体は前記プローブの先端部を前
記第1の面と反対の側から目視可能の穴または溝を有す
る、請求項1〜4のいずれか1項に記載のプローブユニ
ット。 - 【請求項6】 前記支持体は前記第2の面と反対の側の
第3の面をさらに有する直方体であり、前記第2の面は
前記第1の面から離れる部位ほど前記第2の面と反対の
側へ後退する傾斜面である、請求項1〜5のいずれか1
項に記載のプローブユニット。 - 【請求項7】 前記支持体は前記第2の面と反対の側の
第3の面をさらに有する直方体であり、前記プローブシ
ートはさらに他の一部が前記第3の面の側に位置するよ
うに曲げられており、各ブローブはその先端部分におい
て前記シート材から物理的に切り離されている、請求項
1〜6のいずれか1項に記載のプローブユニット。 - 【請求項8】 前記プローブシートは、さらに、前記複
数のプローブにより構成される第1のプローブ群と対称
の位置に形成された複数のプローブにより構成される第
2のプローブ群を備えるとともに、前記第2のプローブ
群の隣り合う各プローブを物理的に切り離す第2のスリ
ットを有しており、前記第2のプローブ群の各プローブ
は、前記シート状部材に形成された複数の第2の電気配
線の一部分に形成されているとともに、前記第1のプロ
ーブ群のプローブと物理的に切り離されている、請求項
7に記載のプローブユニット。 - 【請求項9】 複数の前記プローブシートが前記支持体
に一方向へ間隔をおいて順次配置されている、請求項1
〜8のいずれか1項に記載のプローブユニット。 - 【請求項10】 さらに、各電気配線に接続されたリー
ド部を有する可撓性のフラットケーブルを含む、請求項
1〜9のいずれか1項に記載のプローブユニット。 - 【請求項11】 貫通穴を有する基板と、請求項1〜1
1のいずれか一方に記載のプローブユニットであって前
記支持体の第1の面が前記基板の一方の面から突出した
状態に前記基板に配置されたプローブユニットとを含
む、検査用ヘッド。 - 【請求項12】 複数の前記プローブユニットが前記基
板に並列的に配置されている、請求項11に記載の検査
用ヘッド。 - 【請求項13】 前記基板は、さらに、テスタに電気的
に接続される複数の第1の電極と、可撓性を有する帯状
の配線回路板により前記電気配線に接続される複数の第
2の電極とを有する、請求項11または12に記載の検
査用ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8144867A JPH09304438A (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | プローブユニットおよび検査用ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8144867A JPH09304438A (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | プローブユニットおよび検査用ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09304438A true JPH09304438A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=15372247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8144867A Pending JPH09304438A (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | プローブユニットおよび検査用ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09304438A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100452537B1 (ko) * | 2002-06-04 | 2004-10-13 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 접촉자 블록 및 전기적 접속장치 |
JP2008217921A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Shinka Jitsugyo Kk | プローブ組立体、バーの研磨装置、およびバーの研磨方法 |
JP2009139169A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Japan Electronic Materials Corp | カンチレバー型プローブカード |
JP4662587B2 (ja) * | 1998-11-13 | 2011-03-30 | 株式会社日本マイクロニクス | コンタクトユニット及び電気的接続装置 |
JP2012119049A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Tdk Corp | バーンイン試験方法及びバーンイン試験装置 |
-
1996
- 1996-05-16 JP JP8144867A patent/JPH09304438A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP4658081B2 (ja) * | 2007-03-06 | 2011-03-23 | 新科實業有限公司 | プローブ組立体、バーの研磨装置、およびバーの研磨方法 |
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