JP2000147005A - コンタクトユニット及び電気的接続装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 有効な擦り作用が生じるにもかかわら
ず、目的とする接触圧が得られること 【解決手段】 コンタクトユニットは、可撓性を有する
電気接続体を板状の支持体に配置している。電気接続体
は、支持体の外面に配置された薄いベース部材に複数の
配線部を間隔をおいて配置し、コンタクト部を各配線部
に設けている。支持体は、コンタクト部が被接触箇所に
押圧されたとき、コンタクト部近傍の部位のうち、第１
及び第２の面のいずれか一方の側部位が他方側の部位よ
り大きく変形するように、弾性変形する弾性変形部を備
える

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
被検査体の電気的特性試験に用いるコンタクトユニット
及びこれを用いた電気的接続装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路の通電試験に用いる電気的接続
装置の１つとして、電気絶縁性及び可撓性を有するフィ
ルムの一方の面に複数の電気配線を形成し、各電気配線
に半球状の突起（バンプ電極）を形成したプローブシー
トを用いたフィルムタイプのプローブカードがある。こ
の電気的接続装置において、バンプ電極は集積回路のパ
ッド電極のような被接触箇所に押圧される。

【０００３】この電気的接続装置は、各電気配線に突起
を形成し、その電気配線の一部及びフィルムの対応する
部分をプローブ要素として利用することから、金属線を
プローブとして用いないから、プローブシートの製作が
容易になり、廉価になる、という利点を有する。

【０００４】しかし、従来のこの種の電気的接続装置で
は、隣り合うプローブ要素が独立していないため、バン
プ電極と集積回路の被接触箇所とを相対的に押圧したと
きのプローブ要素の変形量が少なく、その結果被接触箇
所に有効な擦り作用を与えることができず、良好な接触
状態が得られない。

【０００５】隣り合うプローブ要素間にスリットを形成
してフィンガー状プローブ要素とした電気的接続装置が
提案されている。しかし、この電気的接続装置では、プ
ローブ要素がそれ自体のばね性により弾性変形をするに
すぎないから、バンプ電極と被接触箇所との間に目的と
する接触圧が得られない。

【０００６】

【解決しようとする課題】それゆえに、この種の電気的
接続装置においては、有効な擦り作用が生じるにもかか
わらず、目的とする接触圧が得られることが重要であ
る。

【０００７】

【解決手段、作用、効果】本発明のコンタクトユニット
は、表裏方向の第１及び第２の面並びに該両面と交差す
る側面の第３の面を有する板状の支持体と、前記支持体
に配置された電気接続体とを含む。

【０００８】前記電気接続体は、少なくとも前記第１及
び第３の面にわたって配置された薄いベース部材と、前
記ベース部材に間隔をおいて配置された複数の配線部で
あってそれぞれが少なくとも前記第１及び第３の面にわ
たって伸びる配線部と、前記第３の面に対応する各配線
部の箇所に設けられ、前記配線部から前記ベース部材と
反対側に突出するコンタクト部とを備える。

【０００９】前記支持体は、コンタクト部が被接触箇所
に押圧されたとき、前記コンタクト部近傍の部位のう
ち、前記第１及び第２の面のいずれか一方の側部位が他
方側の部位より大きく変形するように、弾性変形する弾
性変形部を備える。

【００１０】本発明の電気的接続装置は、上記のような
複数のコンタクトユニットと、前記コンタクトユニット
が前記コンタクト部を下方とした状態に並列的に配置さ
れた開口を有するフレームと、前記コンタクトユニット
に個々に対応されて対応するコンタクトユニットを前記
フレームに取り付ける複数対の取付板であってそれぞれ
が対応するコンタクトユニットを介して対向した状態に
前記開口に配置された複数対の取付板とを含み、前記コ
ンタクトユニットは前記第３の面の側を前記フレームか
ら下方に突出させている。

【００１１】電気接続体のうち、各コンタクト部の近傍
はプローブ要素として作用する。コンタクト部の先端が
集積回路の電極部のような被接触箇所に押圧されたと
き、弾性変形部がプローブ要素と共に弾性性変形して、
コンタクト部と被接触箇所との間に所定の接触圧が得ら
れる。

【００１２】また、支持体の厚さ方向における一方側の
部位が他方側の部位より大きく変形するように、各プロ
ーブ要素がコンタクト部により変形するから、コンタク
ト部が被接触箇所に対し傾き、コンタクト部と被接触箇
所との間に有効な擦り作用が生じる。

【００１３】上記のように、本発明によれば、コンタク
ト部が被接触箇所に押圧されたとき、前記コンタクト部
近傍の部位のうち、第１及び第２の面のいずれか一方の
側の部位が他方の側の部位より大きく変形するように、
弾性変形する弾性変形部を支持体に設けたから、有効な
擦り作用を生じるにもかかわらず、目的とする接触圧が
得られる。

【００１４】前記弾性変形部は、前記第３の面の側にあ
って前記第１及び第２の面のいずれか一方の面の側に偏
心して配置された弾性部材とすることができる。この場
合、弾性部材は、前記第３の面の側に形成されて少なく
とも前記第１及び第２の面のいずれか一方の面及び前記
第３の面に開放する切欠部に配置することができる。

【００１５】上記の代わりに、前記弾性変形部は、前記
第３の面の側にあって前記第１及び第２の面のいずれか
一方の面に開放する切欠部により形成される部位として
もよい。

【００１６】前記弾性変形部及び前記電気接続体は、少
なくとも前記第３の面に開放するスリットを隣り合うコ
ンタクト部の間に有することができる。このようにすれ
ば、隣り合うプローブ要素の動き（変形）が独立するか
ら、擦り作用がより確実に生じ、より良好な接触が得ら
れる。

【００１７】前記支持体は、前記第１、第２及び第３の
面並びに前記弾性変形部を有する板状部と、該板状部の
前記第３の面と反対側に配置されて前記第３の面と反対
側の第４の面を形成する弾性体とを備え、前記ベース部
材及び前記各配線部はそれぞれ前記第２の面に対応する
部位からさらに前記第４の面に伸びる延長部を有してお
り、前記コンタクトユニットはさらに各配線部の前記延
長部に対応する部位に設けられた突起電極を備えること
ができる。

【００１８】上記のようなコンタクトユニットを用いる
電気的接続装置は、さらに、前記コンタクトユニットに
個々に対応されて対応するコンタクトユニットの前記突
起電極に対向する状態に前記フレームに配置された複数
の接続基板を含み、各接続基板は、前記突起電極に個々
に対応されて対応する突起電極に接触された複数の接続
ランドを一方の面に備え、また前記接続ランドに個々に
対応されて対応する接続ランドに接続された導電性の複
数のスルーホールを備えることができる。このようにす
れば、スルーホールにさし込まれるピンを有するコネク
タ及びこのコネクタに接続されたフラットケーブルによ
り突起電極をテスタに接続することができる。

【００１９】各取付板は、前記コンタクトユニットの端
面に係合する複数の部材を有しており、また止めねじに
より前記フレームに組み付けられており、さらに前記止
めねじを間にして間隔をおいた複数の調整ねじにより前
記コンタクトユニットの姿勢を調整可能にすることがで
きる。このようにすれば、コンタクトユニットの高さ及
び平行度のばらつきを止めねじ及び調整ねじにより修正
し、調整することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１、図２及び図３を参照する
に、コンタクトユニット１０は、長方形の板の形をした
支持体１２と、支持体１２の外周面に配置された可撓性
を有する薄い電気接続体１４とを含む。

【００２１】支持体１２は、細長い板状部１６の幅方向
の一端部に弾性部材１８を板状部１６の厚さ方向におけ
るいずれか一方側に偏位させて設け、幅方向の他端部に
弾性体２０を配置し、板状部１６の長手方向の各端部面
に突出部２２を形成している。

【００２２】板状部１６及び突出部２２は、セラミック
のような電気絶縁材料により一体的に製作されている。
弾性変形部１８及び弾性体２０は、図示の例では、シリ
コーンゴムのように三次元方向へ弾性変形可能の弾性部
材により形成されている。

【００２３】弾性変形部１８を形成する弾性部材は、板
状部１６の幅方向の一端部側に形成されて少なくとも板
状部１６の厚さ方向のいずれか一方の面と板状部１６の
幅方向の一端面とに開放する切欠部２３に配置されてお
り、板状部１６の長手方向に伸びる。

【００２４】弾性体２０は、板状部１６の長手方向に伸
びる。各突出部２２は、板状部１６の幅方向へ伸びてお
り、また端面に開放する半球状の凹所２４を長手方向に
間隔をおいた複数箇所（図示の例では、２箇所）に有す
る。

【００２５】電気接続体１４は、ポリイミドのような電
気絶縁性樹脂で製作された筒状のフィルム部材２６の外
面に複数の配線部２８を有し、各配線部２８の一端部に
コンタクト部３０を有し、バンプ電極のような突起電極
３２を各配線部２８の他端部に有する。

【００２６】配線部２８は、印刷配線技術のような適宜
な手法でベース部材２６に形成された配線パターンであ
り、また互いに接触しないように支持体１２の長手方向
に伸びている。図示の例では、配線部２８を、コ字状に
形成しているが、支持体１２の周りを伸びるリング状に
形成してもよい。

【００２７】電気接続体１４は、複数の配線部２８を平
坦なフィルム部材２６の一方の面に形成し、コンタクト
部３０及び突起電極３２を各配線部２８に形成し、その
フィルム部材２６を、コンタクト部３０及び突起電極３
２がそれぞれ支持体１２の幅方向の一端面及び他端面と
なりかつ配線部２８がコ字状に伸びるように、支持体１
２の外面に筒状に巻き付けて接着のような適宜な手法に
より支持体１２に取り付けることができる。

【００２８】各コンタクト部３０及び突起電極３２は、
ニッケルのような導電性の金属材料から形成されてお
り、また配線部２８から支持体１２と反対側に突出して
いる。各コンタクト部３０は、これをプローブとして作
用させるように突起電極３２よりやや長い突起状の電極
である。

【００２９】コンタクトユニット１０は、また、その幅
方向一端部から電気接続体１４及び支持体１２に形成さ
れたスリット３４を隣り合う配線部２８間に有する。ス
リット３４は、支持体１２の幅方向一端面から電気接続
体１４、板状部１６及び弾性変形部１８にわたる。この
ため、隣り合う配線部２８の一部及びその近傍の部分、
特にコンタクト部３０の近傍の部分は、独立して弾性変
形可能のプローブ要素として作用する。

【００３０】図示の例では、試験すべき被検査体３６は
集積回路であり、被接触箇所３８はパッド電極である。
各コンタクトユニット１０は、被接触箇所３８の配置パ
ターンと同じパターンになるように、製作されており、
配置されている。被検査体すなわち集積回路３６は、複
数の電極パッドを被接触箇所３８として一方の面に有す
る。そのような集積回路３６の１つとして、半導体ウエ
ーハ上の未切断のＩＣがある。

【００３１】図４から図６を参照するに、電気的接続装
置４０は、上記のような複数のコンタクトユニット１０
と、セラミックのような電気絶縁材料により円板状に形
成されたフレーム４２と、コンタクトユニット１０に個
々に対応されて対応するコンタクトユニット１０をフレ
ーム４２に取り付ける複数の取付板４４と、コンタクト
ユニット１０に個々に対応されて対応するコンタクトユ
ニット１０の突起電極３２に対向する状態にフレーム４
２に配置された細長い複数の接続基板４６とを含む。

【００３２】コンタクトユニット１０は、突起電極３２
が上方となり、コンタクト部３０の側が下方となり、厚
さ方向が同じ方向となる状態に、一対の取付板４４によ
りフレーム４２に並列的に配置されている。

【００３３】フレーム４２は、コンタクトユニット１０
を受け入れる矩形の開口４８を中央に有し、下方に伸び
る開口壁５０を開口４８の周りに有し、開口４８に突出
する矩形の内向きフランジ５２を上部に有する。各コン
タクトユニット１０は、コンタクト部３０の側の部位を
フレーム４２から下方へ突出させている。

【００３４】各取付板４４は、開口壁５０を厚さ方向に
貫通する止めねじ５４により、対応するコンタクトユニ
ット１０の端面と対向する状態に開口壁５０に組み付け
られている。各取付板４４は、上下方向に間隔をおいた
一対のボールプランジャ５６を有する。

【００３５】ボールプランジャ５６は、その具体的な構
造を示していないが、ボールと圧縮コイルばねとを筒状
部材内に配置し、筒状部材の一端部を蓋のような適宜な
手段により閉鎖し、ボールを圧縮コイルばねによりボー
ルの一部が筒状部材の他端部から突出した状態に付勢す
る構造を有する公知の係止具である。

【００３６】ボールプランジャ５６は、ボールの側を内
側とした状態に、対応するコンタクトユニット１０の凹
所２４に対向する箇所に配置されている。

【００３７】各コンタクトユニット１０は、対向する一
対の取付板４４間に下方からさし込まれて、凹所２４に
おいてボールプランジャ５６のボールに解除可能に係合
される。これにより、各コンタクトユニット１０は、対
向する一対の取付板４４に把持される。

【００３８】各取付板４４は、また、フレーム４２のフ
ランジ５２を上下方向に貫通する止めねじ５８と、一対
のガイドピン６０と、一対の調整ねじ６２とにより、フ
ランジ５２に組み付けられている。止めねじ５８は四角
形の中心位置に配置されており、ガイドピン６０及び調
整ねじ６２はそれぞれ止めねじ５８を間にして四角形の
対角線の方向に間隔をおいて配置されている。

【００３９】止めねじ５８はフランジ５２を貫通して取
付板４４に螺合されている。ガイドピン６０は、取付板
４４及びフランジ５２のいずれか一方に固定されてお
り、他方を貫通している。調整ねじ６２は、フランジ５
２に螺合されており、また取付板４４の上面に接触して
いる。このため、止めねじ５８を緩めた状態で、調整ね
じ６２のねじ込み量を調整することにより、コンタクト
ユニット１０の姿勢を調整可能にすることができるか
ら、コンタクトユニット１０の高さ及び平行度のばらつ
きを修正し、調整することができる。

【００４０】各接続基板４６は、その幅方向に間隔をお
いた一対の止めねじ６４と、両止めねじ間に設けられた
ガイドピン６６とにより、各端部において取付板４４の
上に取り付けられている。各止めねじ６４は、接続基板
４６を貫通して取付板４４に螺合されている。ガイドピ
ン６６は、取付板４４及び接続基板４６のいずれか一方
に設けられており、また他方を滑動可能に嵌合されてい
る。

【００４１】各接続基板４６は、コンタクトユニット１
０の突起電極３２に個々に対応された複数の接続ランド
６８を一方の面に有し、また接続ランド６８に個々に対
応されて対応する接続ランドに接続された導電性のスル
ーホール７０を有する。各接続基板４６は、接続ランド
６８を突起電極３２に接触させた状態に、取付板４４に
取り付けられている。各止めねじ６６は、コンタクトユ
ニット１０の姿勢を調整するとき、緩められる。

【００４２】電気的接続装置４０は、例えば、各取付板
４４を止めねじ５４により開口壁５０に緩く組み付ける
と共に、止めねじ５８によりフランジ５２に緩く組み付
け、各接続基板４６を止めねじ６４により取付板４４に
緩く組み付け、次いで各コンタクトユニット１０を下方
から開口４８にさし込み、次いで各コンタクトユニット
１０の姿勢を調整して止めねじ５４，６０をきつく締め
付け、その後止めねじ６４をきつく締め付けることによ
り、組み立てられる。

【００４３】電気的接続装置４０に組み立てられた状態
において、各コンタクトユニット１０は、フレーム４２
及び取付板４４に対し、ボールプランジャ５６のばね力
に抗してわずかに変位可能である。

【００４４】各スルーホール７０には、コネクタ７２の
接続ピン７４が差し込まれる。コネクタ７２は、各コン
タクトユニット１０をテスタのテストヘッドに接続する
フラットケーブル７６の一端部に設けられている。

【００４５】電気的接続装置４０は、テスタの検査ステ
ーションに配置され、各コンタクトユニット１０を複数
のフラットケーブル７６によりテスタのテストヘッドに
接続される。集積回路３６は、テスタの検査テーブル上
に配置される。

【００４６】通電試験時、コンタクト部３０が集積回路
３６のパッド電極３８に押圧される。これにより、集積
回路３６は、コンタクト部３０、配線部２８、突起電極
３２、接続ランド６８、スルーホール７０、コネクタ７
２及びフラットケーブル７６によりテスタのテストヘッ
ドに電気的に接続される。

【００４７】コンタクト部３０がパッド電極３８に押圧
されると、弾性変形部１８が弾性性変形して、コンタク
ト部１８と集積回路３６のパッド電極３８との間に所定
の接触圧が得られる。また、弾性変形部１８が支持体１
２の厚さ方向における一方側に変位されているから、各
プローブ要素は図３に示すように支持体１２の厚さ方向
における一方側の部位が他方側の部位より大きく変形す
るように凹み、その結果コンタクト部３０がパッド電極
３８に対し傾き、コンタクト部３０とパッド電極３８と
の間に有効な擦り作用が生じる。

【００４８】電気的接続装置４０においては、各コンタ
クトユニット１０がフレーム４２及び取付板４４に対し
てボールプランジャ５６のばね力に抗してわずかに変位
可能であるから、全体的に熱的に伸縮しても、コンタク
トユニット１０相互の位置的関係が大きく変化するおそ
れがない。

【００４９】また、被接触箇所３８の配置パターンが異
なる被検査体の通電試験をするときは、コンタクト部３
０を被接触箇所の配置パターンに対応した状態に配置し
た他のコンタクトユニットに交換すればよい。

【００５０】なお、弾性変形部をゴムのような弾性部材
を用いた弾性変形部１８とする代わりに、図７に示すよ
うに、板状部１６の一端部の側にあって支持体１２の厚
さ方向における一方の面に開放する切欠部８０により形
成される部位を弾性変形部８２としてもよい。

【００５１】図７に示す実施例において、弾性変形部８
２は、コンタクト部３０がパッド電極３８に押圧されて
いないと、図７（Ａ）に示す状態にあるが、コンタクト
部３０がパッド電極３８に押圧されると、図７（Ｂ）に
示すように、支持体１２の幅方向の一方側が大きく変形
するように弾性変形する。これにより、コンタクト部３
０は電極部に効果的な擦り作用を与える。

【００５２】なお、図２に示すように、配線部２８を覆
う電気絶縁層８４を電気接続体１０に設けてもよい。こ
のようにすれば、複数のコンタクトユニット１０を重ね
ても、隣り合うコンタクトユニット１０の配線部２８の
電気的接触が防止される。

【００５３】また、コンタクト部３０を配線部２８に予
め形成しておく代わりに、電気的接続装置４０に組み立
てた後に、電気的接続装置４０の全コンタクト部を配線
部に形成してもよい。このようにすれば、コンタクト部
を被接触箇所の配置パターンに正確に対応した配置に容
易に形成することができる。

【００５４】本発明は、上記実施例に限定されない。例
えば、本発明は、プローブカードをテスタのテストヘッ
ドに接続するインターフェース及びこれに用いるコンタ
クトユニットに適用することができる。また、本発明
は、集積回路の通電試験に用いるコンタクトユニット及
び電気的接続装置のみならず、液晶基板のような他の平
板状被検査体の通電試験に用いるコンタクトユニット及
び電気的接続装置にも適用することができる。それゆえ
に、本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るコンタクトユニットの一実施例を
示す正面図である。

【図２】図１に示すコンタクトユニットの左側面図であ
る。

【図３】図１に示すコンタクトユニットの作用を説明す
るための一部を拡大した断面図である。

【図４】図１に示すコンタクトユニットを用いた電気的
接続装置の一実施例を示す平面図であって、フラットケ
ーブルを除去した状態の平面図である。

【図５】図４の５−５線に沿って得た断面図である。

【図６】図４の６−６線に沿って得た断面図である。

【図７】コンタクトユニットの他の使用例を示す断面図
であって、（Ａ）はコンタクト部が被接触箇所に押圧さ
れていない状態を示し、（Ｂ）はコンタクト部が被接触
箇所に押圧されている状態を示す。

【符号の説明】

１０ コンタクトユニット １２ 支持体 １４ 電気接続体 １６ 板状部 １８，８２ 弾性変形部 ２０ 弾性体 ２３，８０ 切欠部 ２６ ベース部材 ２８ 配線部 ３０ コンタクト部 ３２ 突起電極 ３４ スリット ３６ 被検査体（集積回路） ３８ 被接触箇所（パッド電極） ４０ 電気的接続装置 ４２ フレーム ４４ 取付板 ４６ 接続基板 ４８ 開口 ５４，５８，６４ 止めねじ ５６ ボールプランジャ ６２ 調整ねじ ６０，６６ ガイドピン ６８ 接続ランド ７０ スルーホール ７２ コネクタ ７４ 接続ピン ７６ フラットケーブル

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表裏方向の第１及び第２の面並びに該両
   面と交差する側面の第３の面を有する板状の支持体と、
   前記支持体に配置された電気接続体とを含み、 前記電気接続体は、少なくとも前記第１及び第３の面に
   わたって配置された薄いベース部材と、前記ベース部材
   に間隔をおいて配置された複数の配線部であってそれぞ
   れが少なくとも前記第１及び第３の面にわたって伸びる
   配線部と、前記第３の面に対応する各配線部の箇所に設
   けられ、前記配線部から前記ベース部材と反対側に突出
   するコンタクト部とを備え、 前記支持体は、コンタクト部が被接触箇所に押圧された
   とき、前記コンタクト部近傍の部位のうち、前記第１及
   び第２の面のいずれか一方側の部位が他方側の部位より
   大きく変形するように、弾性変形する弾性変形部を備え
   る、コンタクトユニット。
2. 【請求項２】 前記弾性変形部は、前記第３の面の側に
   あって前記第１及び第２の面のいずれか一方の面の側に
   偏心して配置された弾性部材である、請求項１に記載の
   コンタクトユニット。
3. 【請求項３】 前記弾性変形部は、前記第３の面の側に
   あって前記第１及び第２の面のいずれか一方の面に開放
   する切欠部により形成される部位である、請求項１に記
   載のコンタクトユニット。
4. 【請求項４】 前記弾性変形部及び前記電気接続体は、
   少なくとも前記第３の面に開放するスリットを隣り合う
   コンタクト部の間に有する、請求項１，２又は３に記載
   のコンタクトユニット。
5. 【請求項５】 前記支持体は、前記第１、第２及び第３
   の面並びに前記弾性変形部を有する板状部と、該板状部
   の前記第３の面と反対側に配置されて前記第３の面と反
   対側の第４の面を形成する弾性体とを備え、前記ベース
   部材及び前記各配線部はそれぞれ前記第２の面に対応す
   る部位からさらに前記第４の面に伸びる延長部を有して
   おり、前記コンタクトユニットはさらに各配線部の前記
   延長部に対応する部位に設けられた突起電極を備える、
   請求項１，２，３又は４に記載のコンタクトユニット。
6. 【請求項６】 請求項１から５のいずれか１項に記載さ
   れた複数のコンタクトユニットと、前記コンタクトユニ
   ットが前記コンタクト部を下方とした状態に並列的に配
   置された開口を有するフレームと、前記コンタクトユニ
   ットに個々に対応されて対応するコンタクトユニットを
   前記フレームに取り付ける複数対の取付板であってそれ
   ぞれが対応するコンタクトユニットを介して対向した状
   態に前記開口に配置された複数対の取付板とを含み、前
   記コンタクトユニットは前記第３の面の側を前記フレー
   ムから下方に突出させている、電気的接続装置。
7. 【請求項７】 各取付板は、前記コンタクトユニットの
   端面に係合する複数の部材を有しており、また止めねじ
   により前記フレームに組み付けられており、さらに前記
   止めねじを間にして間隔をおいた複数の調整ねじにより
   前記コンタクトユニットの姿勢を調整可能である、請求
   項６に記載の電気的接続装置。
8. 【請求項８】 前記コンタクトユニットは請求項５に記
   載されたコンタクトユニットであり、電気的接続装置、
   さらに、前記コンタクトユニットに個々に対応されて対
   応するコンタクトユニットの前記突起電極に対向する状
   態に前記フレームに配置された複数の接続基板を含み、
   各接続基板は、前記突起電極に個々に対応されて対応す
   る突起電極に接触された複数の接続ランドを一方の面に
   備え、また前記接続ランドに個々に対応されて対応する
   接続ランドに接続された導電性の複数のスルーホールを
   備える、請求項７に記載の電気的接続装置。