JP2009139169A - カンチレバー型プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カンチレバー型プローブカードが、回路基板と、該回路基板上に配設され、プローブ群を支持する中間支持体とからなり、加えて、分割されたプローブ群と該プローブ群の針元が接続されたフレキシブル配線基板と、該フレキシブル配線基板を保持すると共に着脱自在に該中間支持体に螺着された補強板と、該フレキシブル配線基板の出力端子と前記回路基板の端子との電気的接続を可能にしたコネクタと、から構成されるプローブユニットの複数個を並設して該回路基板上に配設したことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
3a:針先 3b:針元 4:回路基板 4−1:端子
5:中間支持体 6:樹脂固定部 7:コンデンサ
8:フレキシブル配線基板 8a:針元端子 8b:回路
9:コネクタ 10:補強材 11:固定ネジ
20:半導体チップ
Claims (5)
- 多数個の半導体チップの電極に接触させて電気的特性検査を行うカンチレバー型プロ−ブカードであって、該プローブカードがプローブ群と、回路基板と、該回路基板上に配設され、該プローブ群を支持する中間支持体と、該中間支持体に近接して設けられ、プローブ群の針元と対応する該回路基板の端子と電気的接続を図るフレキシブルな電気的接続手段と、から構成されていることを特徴とするカンチレバー型プローブカード。
- 前記電気的接続手段が、前記プローブ群の針元が接続された電気回路を有するフレキシブル配線基板と、該フレキシブル配線基板を保持する補強材と、該フレキシブル配線基板の出力端子と前記回路基板の端子との電気的接続を図るコネクタと、を設けたことを特徴とする請求項1に記載するカンチレバー型プローブカード。
- 前記フレキシブル配線基板の電気回路の針元側に回路用コンデンサを搭載することを特徴とする請求項2に記載するカンチレバー型プローブカード。
- 前記補強材が前記中間支持体の側面に着脱自在に螺着されていることを特徴とする請求項2又は3に記載するカンチレバー型プローブカード。
- 前記カンチレバー型プローブカードが、前記回路基板と、該回路基板上に配設され、該プローブ群を支持する中間支持体とからなり、加えて、分割されたプローブ群と該プローブ群の針元が接続された電気回路を有するフレキシブル配線基板と、該フレキシブル配線基板を保持すると共に着脱自在に該中間支持体の側面に螺着された補強材と、該フレキシブル配線基板の出力端子と前記回路基板の端子との電気的接続を可能にしたコネクタと、から構成されるプローブユニットの複数個を該回路基板上に配設したことを特徴とする請求項4に記載するカンチレバー型プローブカード。
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---|---|---|---|---|
KR101381802B1 (ko) * | 2011-12-27 | 2014-04-07 | 노바텍 마이크로일렉트로닉스 코포레이션 | 프로브 카드 및 그 제조 방법 |
JP2015064382A (ja) * | 2012-01-10 | 2015-04-09 | スター テクノロジーズ インコーポレイテッドStar Technologies Inc. | プローブの電気的接点を強化した構造を備えた集積回路用プローブカード |
JP2017194454A (ja) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 新特系統股▲フン▼有限公司Sync−Tech System Corporation | プローブカード |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09304438A (ja) * | 1996-05-16 | 1997-11-28 | Nippon Maikuronikusu:Kk | プローブユニットおよび検査用ヘッド |
JPH10282147A (ja) * | 1997-04-02 | 1998-10-23 | Micronics Japan Co Ltd | 平板状被検査体の試験用ヘッド |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09304438A (ja) * | 1996-05-16 | 1997-11-28 | Nippon Maikuronikusu:Kk | プローブユニットおよび検査用ヘッド |
JPH10282147A (ja) * | 1997-04-02 | 1998-10-23 | Micronics Japan Co Ltd | 平板状被検査体の試験用ヘッド |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101381802B1 (ko) * | 2011-12-27 | 2014-04-07 | 노바텍 마이크로일렉트로닉스 코포레이션 | 프로브 카드 및 그 제조 방법 |
US9279831B2 (en) | 2011-12-27 | 2016-03-08 | Novatek Microelectronics Corp. | Probe card and fabricating method thereof |
JP2015064382A (ja) * | 2012-01-10 | 2015-04-09 | スター テクノロジーズ インコーポレイテッドStar Technologies Inc. | プローブの電気的接点を強化した構造を備えた集積回路用プローブカード |
JP2017194454A (ja) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 新特系統股▲フン▼有限公司Sync−Tech System Corporation | プローブカード |
CN107305217A (zh) * | 2016-04-22 | 2017-10-31 | 新特***股份有限公司 | 探针卡 |
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