JPH09267494A - プリンタ装置及びその製造方法 - Google Patents

プリンタ装置及びその製造方法

Info

Publication number
JPH09267494A
JPH09267494A JP8318185A JP31818596A JPH09267494A JP H09267494 A JPH09267494 A JP H09267494A JP 8318185 A JP8318185 A JP 8318185A JP 31818596 A JP31818596 A JP 31818596A JP H09267494 A JPH09267494 A JP H09267494A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
opening
printer device
groove
pressure chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP8318185A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Aihara
隆 相原
Toru Naganuma
徹 長沼
Masato Ando
真人 安藤
Kenji Okamoto
健司 岡本
Kouichirou Kijima
公一朗 木島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP8318185A priority Critical patent/JPH09267494A/ja
Priority to US08/787,269 priority patent/US6257700B1/en
Priority to EP97400232A priority patent/EP0787588B1/en
Priority to DE69703255T priority patent/DE69703255T2/de
Publication of JPH09267494A publication Critical patent/JPH09267494A/ja
Priority to US09/349,982 priority patent/US6276057B1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14274—Structure of print heads with piezoelectric elements of stacked structure type, deformed by compression/extension and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1606—Coating the nozzle area or the ink chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1625—Manufacturing processes electroforming
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1632—Manufacturing processes machining
    • B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1637—Manufacturing processes molding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1646—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2107—Ink jet for multi-colour printing characterised by the ink properties
    • B41J2/211—Mixing of inks, solvent or air prior to paper contact
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14475—Structure thereof only for on-demand ink jet heads characterised by nozzle shapes or number of orifices per chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/21—Line printing
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/42—Piezoelectric device making
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノズル周辺へのインク、希釈液、混合溶液の
付着及び広がりを抑え、プリント不良の発生を抑え、濃
度階調を正確に再現して高解像度の記録画像の形成を可
能とする。微量の定量媒体を吐出媒体へ混合することを
可能とし、広い範囲の濃度階調を正確に再現して高解像
度の記録画像の形成を可能とする。 【解決手段】 ノズル開口面に隣合って開口し、吐出媒
体を吐出する第１のノズルと定量媒体を吐出する第２の
ノズルとの間に溝部を形成する。また、この溝部の代わ
りに親水加工部を形成しても良い。さらには、上記親水
加工部を無加工として無加工部とし、これを残すように
撥水加工を行って撥水加工部を形成しても良い。さらに
また、上記溝部の代わりに島状の突起部を形成しても良
い。さらには、ノズル開口面に撥液処理膜を形成し、上
記撥液処理膜の一部を選択的に除去して溝部を形成して
も良い。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、定量媒体と吐出媒
体を混合吐出するプリンタ装置に関する。詳しくは、ノ
ズル周辺へのインク、希釈液、混合溶液の広がりを制御
する手段を設け、高解像度の記録画像の形成を可能とす
るプリンタ装置、微量の定量媒体の定量も正確に行い、
高解像度の記録画像の形成を可能とするプリンタ装置及
びその製造方法に係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、特にオフィス等においてデスクト
ップパブリッシングと称されるコンピュータを使用した
文書作成が盛んに行われるようになってきており、最近
では文字や図形だけでなく、写真様のカラーの自然画像
を文字，図形とともに出力するといった要求も増加して
きている。そして、これに伴い、高品位な自然画像をプ
リントすることが要求され、中間調の再現が重要となっ
てきている。
【０００３】また、印刷信号に応じて印刷時に必要な時
だけインク液滴をノズルより吐出して紙，フィルム等の
印刷媒体に印刷する、いわゆるオンデマンド型のプリン
タ装置は、小型化，低コスト化が可能なため、近年急速
に普及しつつある。
【０００４】このようにインク液滴を吐出する方法とし
ては、様々な方法が提案されているが、ピエゾ素子を用
いる方法または発熱素子を用いる方法が一般的である。
前者はピエゾ素子の変形によりインクに圧力を加えて吐
出させる方法である。後者は、発熱素子によりインクを
加熱沸騰させて発生する泡の圧力でインクを吐出させる
方法である。
【０００５】そして、上記のような中間調を上述のイン
ク液滴を吐出するオンデマンド型のプリンタ装置で再現
する方法としては、様々な方法が提案されている。すな
わち、第１の方法としてはピエゾ素子或いは発熱素子に
与える電圧パルスの電圧やパルス幅を変化させて吐出す
る液滴サイズを制御し、印刷ドットの径を可変として階
調を表現するものが挙げられる。
【０００６】しかしながらこの方法によると、ピエゾ素
子或いは発熱素子に与える電圧やパルス幅を下げすぎる
とインクを吐出できなくなるため、最小液滴径に限界が
あり、表現可能な階調段数が少なく、特に低濃度の表現
が困難であり、自然画像をプリントアウトするには不十
分である。
【０００７】また、第２の方法としては、ドット径は変
化させずに１画素を例えば４×４のドットよりなるマト
リクスで構成し、このマトリクス単位でいわゆるディザ
法を用いて階調表現を行う方法が挙げられる。なお、こ
の場合には１７階調の表現が可能である。
【０００８】しかしながらこの方法で、例えば第１の方
法と同じドット密度で印刷を行った場合、解像度は第１
の方法の１／４であり、荒さが目立つため、自然画像を
プリントアウトするには不十分である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】これに対して、本発明
者等は、希釈液とインクを混合し、これらの混合液滴を
吐出することにより、吐出されるインク液滴の濃度を変
化させ、印刷されるドットの濃度を制御することを可能
にし、解像度の劣化を発生させることなく階調を表現
し、自然画像をプリントアウトする方式のプリンタ装置
を提案してきた。
【００１０】このようなプリンタ装置のプリントヘッド
としては、吐出媒体が導入される第１のノズルと定量媒
体が導入される第２のノズルを互いに隣合うようにして
有し、第２のノズルから所定量の定量媒体を第１のノズ
ルに向けて滲み出させて当該第１のノズル開口近傍にて
吐出媒体と混合させ、第１のノズルから吐出媒体を定量
媒体と混合されている吐出媒体と共に押し出して、定量
媒体と吐出媒体を第１及び第２のノズルの面内方向に混
合吐出するようなプリントヘッドが挙げられる。なお、
上記定量媒体及び吐出媒体は、どちらか一方がインクで
あり、残りの一方が希釈液であれば良い。
【００１１】しかしながら、上記のようなプリントヘッ
ドにおいては、図６２及び図６３に示すように、プリン
トヘッド１０１の第１及び第２のノズル１０２，１０３
の開口するノズル開口面１０１ａの第１及び第２のノズ
ル１０２，１０３の開口部周辺にインク、希釈液、混合
溶液等の液体１０４が広がって付着し、以下のような不
都合を引き起こしていた。
【００１２】すなわち、上記のように第１及び第２のノ
ズル１０２，１０３の開口部周辺に液体１０４が付着し
ていると、印字の際に印字不要の部分にこの液体が付着
して色が付いてしまう、いわゆるかぶりが発生し、プリ
ント不良を引き起こしてしまう。
【００１３】また、第１及び第２のノズル１０２，１０
３の開口部周辺に液体１０４が付着していると、後の印
字の際の各ノズルからのインク、希釈液、混合溶液の吐
出方向にずれが生じ、プリント不良を引き起こしてしま
う。
【００１４】さらには、第１及び第２のノズル１０２，
１０３の開口部周辺に液体１０４が付着していると、後
の印字の際のインクと希釈液の混合比に影響する可能性
が高く、濃度変化に対する応答性を損ない、ドット内の
濃度階調を正確に再現することができず、記録画像の解
像度を損なってしまう。
【００１５】さらにまた、上記のようなプリントヘッド
においては、ドット内の濃度階調を正確に表現するため
に、所定量の定量媒体を吐出媒体に確実に混合させるこ
と、混合後にこれらを確実に分離することが要求され
る。
【００１６】そこで、上記のようなプリンタ装置におい
ては、混合後に定量媒体と吐出媒体を確実に分離するべ
く、上記のようなプリントヘッドにおいては、ノズル開
口面に撥液処理膜を形成するようにしている。
【００１７】また、所定量の定量媒体を吐出媒体に確実
に混合させるためには、図６４に模式的に示すように、
断面円形で吐出媒体を吐出する第１のノズル２０１と断
面楕円形で定量媒体を押し出す第２のノズル２０２を有
する場合においては、定量媒体は第２のノズル２０２か
ら等方的に押し出されるのではなく、第１のノズル２０
１に向けて方向性を有して押し出されることが好まし
い。
【００１８】しかしながら、上記のようにノズル開口面
全面に亘って撥液処理膜が形成されている場合には、図
６５に模式的に示すように、第２のノズル２０２より押
し出された定量媒体２０３は、図中矢印Ａで示すように
第２のノズル２０２の開口部近傍に等方的に広がってし
まう。このように定量媒体２０３が等方的に広がってし
まうと、微量の定量媒体２０３を定量しようとする場合
において、定量媒体２０３が吐出媒体が吐出される第１
のノズル２０１に到達せず、混合が行われない可能性が
ある。
【００１９】このため、このようなプリントヘッドにお
いては、表現可能な階調を微量の定量媒体２０３を混合
する領域から多量の定量媒体２０３を混合する領域まで
広く確保するために、吐出媒体を吐出する第１のノズル
２０１と定量媒体を押し出す第２のノズル２０２間の距
離を極力近づけて微量の定量媒体２０３の混合も可能と
している。
【００２０】ところが、このように第１のノズル２０１
と第２のノズル２０２を極力近づけて形成するためには
製造装置の機械的な位置精度を高めなければならず、こ
のようなプリントヘッドを安定して製造することは、作
業が困難であるとともに、製造コストが高価となってし
まうという不都合を有していた。
【００２１】そこで本発明は、ノズル周辺へのインク、
希釈液、混合溶液の付着を抑え、プリント不良の発生を
抑え、濃度階調を正確に再現して高解像度の記録画像の
形成を可能とするプリンタ装置、微量の定量媒体を吐出
媒体へ混合することを可能とし、広い範囲の濃度階調を
正確に再現して高解像度の記録画像の形成を可能とする
プリンタ装置及びその製造方法を提供することを目的と
する。
【００２２】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明は、吐出媒体が導入される第１の圧力室と、
定量媒体が導入される第２の圧力室とを有し、上記第１
の圧力室に連通する第１のノズル及び第２の圧力室に連
通する第２のノズルとを互いに隣合うように開口して有
し、第２のノズルから第１のノズルに向けて定量媒体を
滲み出させた後、第１のノズルから吐出媒体を吐出させ
て定量媒体と吐出媒体を混合吐出するプリンタ装置のプ
リントヘッドのノズル開口面の第１のノズルの開口部と
第２のノズルの開口部の間に溝部が形成されていること
を特徴とするものである。
【００２３】なお、上記本発明のプリンタ装置において
は、溝部の幅が第２のノズルの開口径よりも小さいこと
が好ましい。
【００２４】また、上記本発明のプリンタ装置において
は、溝部の形状が、第２のノズルの開口部から第１のノ
ズルの開口部にわたって形成されている形状、或いは第
２のノズルの開口部から第２のノズルの開口部と第１の
ノズルの開口部間の中途部にわたって形成されている形
状の何れでも良い。
【００２５】さらに、上記本発明のプリンタ装置におい
て、溝部の形状が後者とされている場合には、溝部の深
さが第２のノズルから第１のノズル側に向かうに従って
浅くなっていくことが好ましい。
【００２６】さらにまた、溝部の形状が後者とされてい
る場合には、第１のノズルの開口部から第１のノズルの
開口部と第２のノズルの開口部間の中途部にわたって形
成される溝部も形成するようにしても良く、この場合に
は、上記溝部の深さが第１のノズルから第２のノズル側
に向かうに従って浅くなっていくことが好ましい。
【００２７】なお、溝部の形状が、第２のノズルの開口
部から第１のノズルの開口部にわたって形成されている
形状とされている場合においては、溝部の深さを各ノズ
ル開口部側が深く、ノズル開口部間中央に向かうに従っ
て浅くなるようにしても良い。
【００２８】また、この本発明のプリンタ装置において
は、プリントヘッドのノズル開口面の少なくとも第２の
ノズル開口部周辺に第２のノズル開口部を囲むように凹
部が形成されていることが好ましく、第１のノズル開口
部周辺にも第１のノズル開口部を囲むように凹部が形成
されていることがより好ましい。なお、これら凹部は溝
部と接続されていても良い。
【００２９】また、本発明は、吐出媒体が導入される第
１の圧力室と、定量媒体が導入される第２の圧力室とを
有し、上記第１の圧力室に連通する第１のノズル及び第
２の圧力室に連通する第２のノズルとを互いに隣合うよ
うに開口して有し、第２のノズルから第１のノズルに向
けて定量媒体を滲み出させた後、第１のノズルから吐出
媒体を吐出させて定量媒体と吐出媒体を混合吐出するプ
リンタ装置のプリントヘッドのノズル開口面の第１のノ
ズルの開口部と第２のノズルの開口部間に親水加工部が
形成されていることを特徴とするものである。
【００３０】なお、上記本発明のプリンタ装置において
は、プリントヘッドのノズル開口面の親水加工部以外の
部分が撥水加工部とされていても良い。
【００３１】また、この本発明のプリンタ装置の親水加
工部の形状は、第２のノズルの開口部から第１のノズル
の開口部にわたって形成されている形状、第２のノズル
の開口部から第２のノズルの開口部と第１のノズルの開
口部間の中途部にわたって形成されている形状の何れで
も良い。
【００３２】さらにまた、親水加工部の形状が後者とさ
れている場合には、第１のノズルの開口部から第１のノ
ズルの開口部と第２のノズルの開口部間の中途部にわた
って形成される親水加工部も形成するようにしても良
い。
【００３３】さらに、この本発明のプリンタ装置におい
ては、プリントヘッドのノズル開口面の少なくとも第２
のノズル開口部周辺に第２のノズル開口部を囲むように
親水加工部が形成されていることが好ましく、第１のノ
ズル開口部周辺にも第１のノズル開口部を囲むように親
水加工部が形成されていることがより好ましい。なお、
これらノズル開口部周辺の親水加工部は、前述のノズル
開口部間の親水加工部と接続されていても良い。
【００３４】また、本発明は、上記親水加工部を有する
プリンタ装置の親水加工部を無加工部とし、残りの部分
を撥水加工部とすることを特徴とするものである。
【００３５】さらに、本発明は、吐出媒体が導入される
第１の圧力室と、定量媒体が導入される第２の圧力室と
を有し、上記第１の圧力室に連通する第１のノズル及び
第２の圧力室に連通する第２のノズルとを互いに隣合う
ように開口して有し、第２のノズルから第１のノズルに
向けて定量媒体を滲み出させた後、第１のノズルから吐
出媒体を吐出させて定量媒体と吐出媒体を混合吐出する
プリンタ装置のプリントヘッドのノズル開口面の第１の
ノズルの開口部と第２のノズルの開口部の間に島状の突
起部が形成されていることを特徴とするものである。
【００３６】さらにまた、本発明は、吐出媒体が導入さ
れる第１の圧力室と、定量媒体が導入される第２の圧力
室とを有し、上記第１の圧力室に連通する第１のノズル
及び第２の圧力室に連通する第２のノズルとを互いに隣
合うように開口して有し、第２のノズルから第１のノズ
ルに向けて定量媒体を滲み出させた後、第１のノズルか
ら吐出媒体を吐出させて定量媒体と吐出媒体を混合吐出
するプリンタ装置のプリントヘッドのノズル開口面に撥
液処理膜が形成されており、上記撥液処理膜の一部が選
択的に除去されて第１のノズルの開口部と第２のノズル
の開口部の間に溝部が形成されていることを特徴とする
ものである。
【００３７】なお、本発明のプリンタ装置においては、
溝部の幅が第２のノズルの開口径よりも小さいことが好
ましい。
【００３８】また、上記本発明のプリンタ装置において
は、溝部が、少なくとも第２のノズルの開口部に接続さ
れていることが好ましく、さらには第２のノズルの開口
部から第１のノズルの開口部にわたって形成されている
ことが好ましい。
【００３９】さらに、上記本発明のプリンタ装置におい
ては、溝部が複数形成されていても良い。そして、この
場合にも、複数の溝部が少なくとも第２のノズルの開口
部に接続されていることが好ましく、さらには第２のノ
ズルの開口部から第１のノズルの開口部にわたって形成
されていることが好ましい。
【００４０】また、この場合にも、複数の溝部が形成さ
れる部分の幅が第２のノズルの開口径よりも狭いことが
好ましい。
【００４１】さらにまた、本発明のプリンタ装置におい
ては、第２のノズルの開口部に接続されて形成されてい
る複数の溝部と直交する方向にも複数の溝部が形成され
ていても良い。
【００４２】なお、上記本発明のプリンタ装置において
は、撥液処理膜が塗布型の撥液材料を塗布することによ
り形成されていることが好ましい。さらに、上記本発明
のプリンタ装置においては、溝部の底面に撥液処理膜を
有することが好ましい。
【００４３】上記撥液処理膜及び溝部底面の撥液処理膜
としては、ポリイミド系材料が好ましく、このポリイミ
ド系材料が感光性材料であることが好ましい。
【００４４】また、上記本発明のプリンタ装置を製造す
る方法としては、第１の圧力室とこれに連通する第１の
ノズルと、第２の圧力室とこれに連通する第２のノズル
とを形成し、プリントヘッドを形成する工程と、プリン
トヘッドの第１のノズル及び第２のノズルのノズル開口
面に撥液処理膜を形成し、この撥液処理膜の一部を選択
的に除去して第１のノズルの開口部と第２のノズルの開
口部の間に溝部を形成する工程を有するものが挙げられ
る。
【００４５】なお、上記のような製造方法においては、
溝部の形成を第１のノズル及び第２のノズルの形成より
も先に行うようにしても良い。
【００４６】上記撥液処理膜はポリイミド系材料よりな
ることが好ましく、さらには感光性材料であることが好
ましい。
【００４７】さらには、上記のような製造方法において
は、撥液処理膜を２層の膜を積層塗布して形成するよう
にし、上層の一部のみを選択除去して底部に撥液処理膜
を有する溝部を形成するようにしても良い。
【００４８】この場合においては、上層となる膜がポリ
イミド系材料よりなることが好ましく、さらには感光性
材料であることが好ましい。
【００４９】なお、この場合には、下層となる膜もポリ
イミド系材料よりなることが好ましい。さらには、下層
となる膜が重合形成を必要とする膜である場合には、上
層となる膜の塗布を下層となる膜の重合形成よりも前に
行うことが好ましい。
【００５０】さらに、本発明の製造方法においては、撥
液処理膜の選択除去がフォトリソグラフィー技術により
行われることが好ましい。
【００５１】本発明のプリンタ装置においては、プリン
トヘッドのノズル開口面に互いに隣合って開口している
第１及び第２のノズルの開口部間に、例えば第２のノズ
ルの開口部から第１のノズルの開口部にわたる溝部を形
成しており、第２のノズルから滲み出す定量媒体は毛管
現象により上記溝部を伝って第１のノズルに向けて供給
されるため、この定量媒体が溝部以外の部分に漏れにく
く、ノズル開口部周辺への定量媒体の付着が抑えられ
る。
【００５２】また、この溝部を第２のノズルの開口部か
ら第２のノズルの開口部と第１のノズルの開口部間の中
途部にわたって形成すれば、定量媒体を第２のノズルか
ら第１のノズルに向けて滲み出させた後に、所定量の定
量媒体を第１のノズル開口部近傍に残存させて定量を行
うべく定量媒体を第２のノズル内に引き込む際の定量媒
体の引き込みが良好に行われて、ノズル開口部周辺への
定量媒体の付着が抑えられる。
【００５３】さらに、この溝部を第１のノズルの開口部
から第１のノズルの開口部と第２のノズルの開口部間の
中途部にわたっても形成されているものとすれば、上述
のようにして定量媒体の定量を行う際に、定量媒体の定
量分と引き込み分の分離がさらに良好に行われて、ノズ
ル開口部周辺への定量媒体の付着が抑えられる。
【００５４】なお、この溝部の幅を第２のノズルの開口
径よりも小さいものとすれば、毛管現象がより起こり易
い。
【００５５】さらに、この溝部を第２のノズルの開口部
から第２のノズルの開口部と第１のノズルの開口部間の
中途部にわたって形成する場合に、溝部の深さを第２の
ノズルから第１のノズル側に向かうに従って浅くなって
いくようにすれば、定量媒体の定量がより良好に行われ
る。
【００５６】そして、溝部を第１のノズルの開口部から
第１のノズルの開口部と第２のノズルの開口部間の中途
部にわたっても形成する場合に、溝部の深さを第１のノ
ズルから第２のノズル側に向かうに従って浅くなってい
くようにすれば、定量媒体の定量がさらに良好に行われ
る。
【００５７】さらにまた、このプリンタ装置のプリント
ヘッドのノズル開口面の少なくとも第２のノズル開口部
周辺に第２のノズル開口部を囲むように凹部を形成す
る、さらには第１のノズル開口部周辺にも第１のノズル
開口部を囲むように凹部を形成すれば、インク、希釈
液、混合溶液のノズル開口部周辺への広がりがさらに抑
えられる。
【００５８】また、本発明のプリンタ装置においては、
プリントヘッドのノズル開口面に互いに隣合って開口し
ている第１及び第２のノズルの開口部間に、例えば第２
のノズルの開口部から第１のノズルの開口部にわたる親
水加工部を形成しており、上記親水加工部の定量媒体に
対する濡れ性が比較的良好であることから、第２のノズ
ルから滲み出す定量媒体は上記親水加工部を伝って第１
のノズルに向けて供給され、この定量媒体が親水加工部
以外の部分に漏れにくく、ノズル開口部周辺への定量媒
体の付着が抑えられる。
【００５９】そして、この親水加工部を第２のノズルの
開口部から第２のノズルの開口部と第１のノズルの開口
部間の中途部にわたって形成するものとすれば、定量媒
体を第２のノズルから第１のノズルに向けて滲み出させ
た後に、所定量の定量媒体を第１のノズル開口部近傍に
残存させて定量を行うべく定量媒体を第１のノズル内に
引き込む際の定量媒体の引き込みが良好に行われて、ノ
ズル開口部周辺への定量媒体の付着が抑えられる。
【００６０】さらに、この親水加工部を第１のノズルの
開口部から第１のノズルの開口部と第２のノズルの開口
部間の中途部にわたっても形成されているものとすれ
ば、上述のようにして定量媒体の定量を行う際に、定量
媒体の定量分と引き込み分の分離がさらに良好に行われ
て、ノズル開口部周辺への定量媒体の付着が抑えられ
る。
【００６１】さらにまた、このプリンタ装置のプリント
ヘッドのノズル開口面の親水加工部以外の部分を撥水加
工部とすれば、定量媒体は親水加工部をさらに選択して
伝うようになる。
【００６２】そして、このプリンタ装置のプリントヘッ
ドのノズル開口面の少なくとも第２のノズル開口部周辺
に第２のノズル開口部を囲むように親水加工部を形成す
る、さらには第１のノズル開口部周辺にも第１のノズル
開口部を囲むように親水加工部を形成すれば、インク、
希釈液、混合溶液のノズル開口部周辺への広がりがさら
に抑えられる。
【００６３】また、本発明のプリンタ装置において、前
述の親水加工部を無加工部とし、残りの部分を撥水加工
部としても、親水加工部を形成した場合と同様の作用が
得られる。
【００６４】さらに、本発明のプリンタ装置において
は、プリントヘッドのノズル開口面に互いに隣合って開
口している第１及び第２のノズルの開口部間に島状の突
起部を形成しており、 第２のノズルから滲み出す定量
媒体は毛管現象により上記突起部の輪郭に沿って伝わっ
て第１のノズルに向けて供給されるため、この定量媒体
が突起部以外の部分に広がりにくく、ノズル開口部周辺
への定量媒体の付着が抑えられる。
【００６５】また、本発明のプリンタ装置においては、
プリントヘッドのノズル開口面に撥液処理膜を形成し、
互いに隣合って開口している第１及び第２のノズルの開
口部間に、上記撥液処理膜の一部を選択的に除去して溝
部を形成するようにしている。
【００６６】固体と液体の界面における「濡れやすさ」
とは、固体表面の表面荒さの影響を受ける。すなわち、
固体と液体のそれぞれの材料自体における液体と固体と
の接触部分の接触角度（言いかえると、表面荒さが零の
場合における接触角度）が９０（ｄｅｇ．）よりも大き
い場合においては、表面荒さが大きくなるほど、液体と
固体は濡れ難くなるが、固体と液体のそれぞれの材料自
体における液体と固体との接触部分の接触角度（言いか
えると、表面荒さが零の場合における接触角度）が９０
（ｄｅｇ．）よりも小さい場合においては、表面荒さが
大きくなるほど、液体と固体は濡れやすくなる。
【００６７】本発明のプリンタ装置において使用される
定量媒体においては、撥液材料との接触角度は９０（ｄ
ｅｇ．）以下となり、上述の表面荒さが大きくなるほ
ど、濡れやすくなることとなる。
【００６８】従って、本発明のプリンタ装置において
は、撥液処理膜の一部を選択的に除去して形成した溝部
は、他の部分よりも表面荒さが荒く、濡れ易くなり、定
量媒体はこの溝部近傍を選択して押し出されることとな
る。このことから、微量の定量媒体であっても第１のノ
ズルに向けて確実に押し出され、表現可能な階調の幅を
広げるために第１のノズルと第２のノズルを極力近づけ
て形成する必要がなくなる。
【００６９】さらに本発明のプリンタ装置においては、
溝部の幅を第２のノズルの開口径よりも小さくしてい
る。このように、溝部の幅を第２のノズルの開口径より
も小さくすれば、第２のノズルより押し出された直後の
定量媒体の液滴の曲率半径よりも溝部の幅が小さくな
り、定量媒体はこの溝部を他の部分よりも表面荒さが荒
い部分として選択し易くなり、定量媒体が第１のノズル
に向けてより確実に押し出される。
【００７０】上述したことは、溝部が複数形成されてい
ても同様であり、定量媒体はこれら溝部近傍を選択して
押し出されることとなる。また、このように、複数の溝
部を有する場合において、複数の溝部が形成される部分
の幅を第２のノズルの開口径よりも小さくすれば、定量
媒体はこれら溝部を他の部分よりも表面荒さが荒い部分
として選択し易くなり、定量媒体が第１のノズルに向け
てより確実に押し出される。
【００７１】また、本発明のプリンタ装置において、溝
部の底面に撥液処理膜を有するようにすれば、印刷待機
時において溝部を通じて定量媒体と吐出媒体が自然混合
してしまうことがない。
【００７２】さらに、本発明のプリンタ装置を製造する
に際し、撥液処理膜を２層の膜を積層塗布して形成し、
上層の一部のみを選択除去するようにすれば、底部に撥
液処理膜を有する溝部が容易に形成される。
【００７３】そして、撥液処理膜を感光性のポリイミド
系材料により形成すれば、溝部はフォトリソグラフィー
技術により容易に形成される。撥液処理膜を２層の膜を
積層塗布して形成する場合には、少なくとも上層となる
膜を感光性のポリイミド系材料により形成すれば、溝部
はフォトリソグラフィー技術により容易に形成される。
【００７４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施の形
態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００７５】本発明を適用したプリンタ装置としては、
図１に示すような構成のいわゆるシリアル型のものが挙
げられる。すなわち、被印刷物であるプリント紙１が支
持されるドラム２と、上記プリント紙１に印刷を行うプ
リントヘッド３により主に構成されるものである。
【００７６】このとき、上記プリント紙１は、ドラム２
の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ４により、ド
ラム２に圧着保持されている。また、上記ドラム２の外
周近傍には、送りネジ５がドラム２の軸方向に平行に設
けられている。そして、この送りネジ５には、プリント
ヘッド３が保持されている。すなわち、かかるプリント
ヘッド３は、送りネジ５の回転によって、図中矢印Ｍで
示すようにドラム２の軸方向に移動するようになってい
る。
【００７７】一方、ドラム２は、プーリ６、ベルト７、
プーリ８を介してモータ９により図中矢印ｍで示すよう
に回転駆動される。さらに、送りネジ５及びモータ９の
回転とプリントヘッド３は、ヘッドドライブ，ヘッド送
り制御，ドラム回転制御１０により印画データ及び制御
信号１１に基づいて駆動制御される。
【００７８】上記の構成においては、プリントヘッド３
が移動して１行分の印字を行うと、ドラム２を１行分だ
け回転させて次の印字を行う。プリントヘッド３が移動
し、印画する場合は、一方向の場合と往復方向の場合と
がある。
【００７９】本発明のプリンタ装置としては、図２に示
すような構成のいわゆるライン型のものも挙げられる。
このプリンタ装置は、図２に示すように、図１に示した
プリンタ装置と略同様の構成を有するものであり、送り
ネジ５により保持され、この送りネジ５の回転によりド
ラム２の軸方向に移動可能となされるプリントヘッド３
の代わりにドラム２の軸方向に複数のプリントヘッドが
固定されて配列されるプリントヘッド１２が配されてな
るものである。すなわち、上記プリントヘッド１２にお
いては、一行分の印字が同時に行われることとなり、１
行分の印字を行うと、ドラム２を１行分だけ回転させて
次の印字を行う。さらに、この場合には、一行分を一括
して印字する他、一行分を複数のブロックに分割する、
或いは一行おきに交互に印字するといったことも可能で
ある。
【００８０】このようなプリンタ装置における印字及び
制御系のブロック図を図３に示す。印字データなどの信
号入力２１は、信号処理制御回路２２に入力され、この
信号処理制御回路２２において印字順番に揃えられて、
ドライバ２３を介してヘッド２４（プリントヘッド）に
送られる。印字順番は、ヘッド２４や印字部の構成で異
なり、また印字データの入力順番との関係もあり、必要
に応じてラインバッファメモリや１画面メモリなどのメ
モリ２５に一旦記録してから取り出す。ヘッド２４に
は、階調信号や吐出信号を入力する。
【００８１】なお、マルチヘッドでノズル数が非常に多
い場合には、ヘッド２４にＩＣを搭載してヘッド２４に
接続する配線数を減らすようにする。また、信号処理制
御回路２２には、補正２６が接続されており、γ補正、
カラーの場合の色補正、各ヘッドのばらつき補正などを
行う。補正２６には、予め決められた補正データをＲＯ
Ｍマップ形式で格納しておき、外部条件、例えばノズル
番号、温度、入力信号などに応じて取り出すようにする
のが一般的である。
【００８２】信号処理制御回路２２は、ＣＰＵやＤＳＰ
構成としてソフトウエアで処理することが一般的であ
り、処理された信号は各種制御モータ駆動その他２７に
送られる。各種制御モータ駆動その他２７では、ドラム
及び送りネジを回転駆動するモータの駆動、同期、ヘッ
ドのクリーニング、プリント紙の供給、排出などの制御
を行う。また、信号には、印字データ以外の操作部信号
や外部制御信号が含まれることは言うまでもない。
【００８３】次に、本発明のプリンタ装置を構成するプ
リントヘッド３の構成について示す。ただし、ここでは
希釈液にインクを混合しながらこれらを混合吐出する、
いわゆるキャリアジェット方式のプリンタ装置のプリン
トヘッドの例について述べる。上記プリントヘッド３
は、図４に示すように、インク及び希釈液を混合吐出さ
せ、２種類の圧力室を有する圧力室ユニット３１と、上
記２種類の圧力室に対応する第１のピエゾユニット３２
及び第２のピエゾユニット３３により主に構成されるも
のである。
【００８４】上記圧力室ユニット３１は、上述のように
インク及び希釈液を混合吐出させるものであり、図５に
拡大して示すように内部に希釈液の吐出口とされる第１
のノズル３４とこれに連通される第１の導入口３５とイ
ンクの吐出口となる第２のノズル３６とこれに連通され
る第２の導入口３７とが略中央に形成される板状のオリ
フィスプレート３８と、図４に示すように圧力室側壁３
９ａ，３９ｂ，３９ｃ，３９ｄ，３９ｅが隔壁となって
形成されて希釈液の流路となる第１の圧力室４０とイン
クの流路となる第２の圧力室４１と、振動板４２により
構成される。
【００８５】そして、上記オリフィスプレート３８にお
いては、図５に拡大して示すように、第１及び第２のノ
ズル３４，３６の一端が印字面となる一主面３８ａに臨
み、上記第１及び第２のノズル３４，３６に連通する第
１及び第２の導入口３５，３７の一端が上記一主面３８
ａに対向する裏面３８ｂに臨むようになされている。従
って、第１の導入口３５と第１のノズル３４は全体とし
てオリフィスプレート３８を貫通し、第２の導入口３７
と第２のノズル３６も全体としてオリフィスプレート３
８を貫通することとなる。また、上記第１及び第２のノ
ズル３４，３６は図５中θで示すこれらの開口方向間の
角度が例えば４５°をなすように形成されている。
【００８６】さらに、上記オリフィスプレート３８にお
いては、図４中に示すように、第１及び第２のノズル３
４，３６、第１及び第２の導入口３５，３７を挟むよう
に希釈液溜まりとなる断面略コ字状の第１の供給室４３
とインク溜まりとなる断面略コ字状の第２の供給室４４
が、その開口部が印字面となる一主面３８ａに対向する
裏面３８ｂに臨むようにして形成されている。
【００８７】このとき、上記オリフィスプレート３８の
裏面３８ｂ側に隔壁として圧力室側壁３９ａ，３９ｂ，
３９ｃ，３９ｄ，３９ｅが積層形成され、上記圧力室側
壁３９ａ，３９ｂ，３９ｃ，３９ｄ，３９ｅの形成され
ていない部分により第１の供給室４３の開口部と第１の
導入口３５の開口部をつなぎ、流路となる第１の圧力室
４０が形成されるとともに、第２の供給室４４の開口部
と第２の導入口３７の開口部をつなぎ、流路となる第２
の圧力室４１が形成されることとなる。
【００８８】そして、上記圧力室側壁３９ａ，３９ｂ，
３９ｃ，３９ｄ，３９ｅ上に振動板４２が積層形成さ
れ、上記第１及び第２の圧力室４０，４１が密閉されて
いる。
【００８９】また、上記第１のピエゾユニット３２は、
圧電材と導電材とを交互に積層した板状の第１の積層ピ
エゾ素子４５と、上記第１の積層ピエゾ素子４５の一方
の端部を固定する第１の支持体４６と、上記第１の積層
ピエゾ素子４５の固定された第１の支持体４６を圧力室
ユニット３１に対して固定する第１のホルダー４７とに
より構成される。一方の第２のピエゾユニット３３にお
いても同様であり、第２の積層ピエゾ素子４８が第２の
支持体４９にその一端が固定され、これらは第２のホル
ダー５０により圧力室ユニット３１に対して固定されて
いる。
【００９０】上記第１及び第２の積層ピエゾ素子４５，
４８としては、圧電材と導電材を第１及び第２の圧力室
４０，４１の長手方向に直交する方向に積層したもの、
或いは長手方向に平行な方向に積層したもののどちらを
使用しても良い。積層ピエゾ素子は電圧を加えられると
その積層方向に伸びる特性を有している。
【００９１】このため、前者の積層ピエゾ素子は、電圧
の印加により第１及び第２の圧力室４０，４１の長手方
向に伸びる一方で、これと直交する方向には縮むことと
なる。従って、この積層ピエゾ素子は、圧力室に圧力を
付与しないようになる。このような積層ピエゾ素子をｄ
31モードの積層ピエゾ素子と称する。
【００９２】一方の後者の積層ピエゾ素子においては、
電圧を加えると第１及び第２の圧力室４０，４１の長手
方向と直交する方向に伸び、圧力室に圧力を付与するよ
うになる。このような積層ピエゾ素子をｄ33モードの積
層ピエゾ素子と称する。
【００９３】そして、上記第１の積層ピエゾ素子４５は
振動板４２を介して第１の圧力室４０に対向するように
配されており、第２の積層ピエゾ素子４８も振動板４２
を介して第２の圧力室４１に対向するように配されてい
る。
【００９４】従って、上記のような構成のプリントヘッ
ド３においては、希釈液が、図示しない希釈液タンクか
ら図示しない供給管や供給溝を通って第１の供給室４３
に供給され、ここから図５に示すように第１の圧力室４
０を通って第１の導入口３５に連通する第１のノズル３
４に充填され、該希釈液５１により第１のノズル３４の
先端部に第１のメニスカスＤ1 が形成される。
【００９５】一方のインクにおいても同様であり、図示
しないインクタンクから図示しない供給管や供給溝を通
って第２の供給室４４に供給され、ここから図５に示す
ように第２の圧力室４１を通って第２の導入口３７に連
通する第２のノズル３６に充填され、インク５２により
第２のノズル３６の先端部に第２のメニスカスＤ2 が形
成される。
【００９６】このような構成のプリンタ装置により印刷
を行う場合、例えば第１及び第２の積層ピエゾ素子４
５，４８としていわゆるｄ31モードの積層ピエゾ素子を
使用している場合の駆動電圧の印加タイミングを図６に
示す。
【００９７】すなわち、図６（ａ）に示すように、印刷
前の待機時、図中（Ａ）で示す時点において、予め第１
の積層ピエゾ素子４５に例えば２０Ｖを印加し、図６
（ｂ）に示すように、印刷前の待機時、図中（Ａ）で示
す時点において、予め第２の積層ピエゾ素子４８には例
えば１０Ｖを印加しておく。
【００９８】そして、印刷時には、前述のヘッドドライ
ブ，ヘッド送り制御，ドラム回転制御１０からの信号に
基づいて、先ず第２のノズル３６からインク５２を押し
出してしみ出させるべく、図６（ｂ）中（Ｂ）で示す時
点で第２の積層ピエゾ素子４８の電圧を例えば５Ｖまで
除々に下げ、この状態で例えば１５０μｓｅｃ保持す
る。すると、第２の積層ピエゾ素子４８が長手方向に除
々に伸長し、インク５２が第２のノズル３６の外から第
１のノズル３４の開口付近までしみ出し、第１のノズル
３４の希釈液５１に合わさる。
【００９９】その後、第２のノズル３６内にインク５２
を引き込み、定量されたインク５２のみを第１のノズル
３４開口付近に残存させるべく、図６（ｂ）中（Ｃ）で
示す時点で第２の積層ピエゾ素子４８の電圧を１０Ｖま
で徐々に戻す。すると、第２の積層ピエゾ素子４８が長
手方向に除々に縮小し、第２のノズル３６の内圧が解除
され、インク５２は第２のノズル３６内に戻ろうとす
る。これにより、定量されたインクのみが第１のノズル
３４開口付近に残存することとなる。
【０１００】次に、第１のノズル３４から希釈液５１を
吐出するべく、図６（ａ）中に示すように、図中（Ｄ）
で示す時点で第１の積層ピエゾ素子４５の電圧を例えば
０Ｖとする。すると、第１の積層ピエゾ素子４５が長手
方向に伸長し、振動板４２を介して第１の圧力室４０が
加圧され、第１のノズル３４に内圧が加わる。その結
果、第１のノズル３４内の内圧によって希釈液５１が押
し出され、この希釈液と第１のノズル３４開口付近に残
存していたインクとの混合溶液が形成される。
【０１０１】次に、図６（ａ）中（Ｄ）で示す時点から
例えば５０μｓｅｃの間０Ｖとし、図６（ａ）中（Ｅ）
で示す時点で第１の積層ピエゾ素子４５の電圧を例えば
２０Ｖに戻すと、第１の積層ピエゾ素子４５が長手方向
に縮小し、第１のノズル３４の内圧が解除され、希釈液
５１は第１のノズル３４内に戻ろうとする。これによ
り、第１のノズル３４内の希釈液５１と混合溶液間にく
びれが生じ、ついには混合溶液が第１のノズル３４から
吐出され、これが前述のプリント紙１に被着して印刷が
行われる。
【０１０２】第１及び第２の圧力室４０，４１の内圧は
やがて元に戻り、希釈液５１及びインク５２は再び第１
及び第２のノズル３４，３６内に充填され、元の状態と
なる。
【０１０３】なお、図６（ｂ）中Ｔ1 で示され、図中
（Ｂ）で示す時点と図中（Ｃ）で示す時点間のインク定
量パルス幅、図６（ａ）中Ｔ2 で示され、図中（Ｄ）で
示す時点と図中（Ｅ）で示す時点間の希釈液吐出パルス
幅、図６（ｂ）中Ｖで示されるインク定量電圧は可変で
ある。
【０１０４】そして、図６（ａ），図６（ｂ）に示され
るように、上記動作を繰り返すことで印刷がなされ、図
６（ａ）中Ｔ3 で示される印刷のサイクルは例えば１ｍ
ｓｅｃとすれば良い。
【０１０５】なお、上記プリントヘッド３においては、
オリフィスプレート３８、圧力室側壁３９ａ，３９ｂ，
３９ｃ，３９ｄ，３９ｅ、および振動板４２には、ポリ
サルフォン等の樹脂、ドライフィルムフォトレジスト、
およびニッケル等の金属板をそれぞれ用いることができ
る。
【０１０６】次に、上記プリントヘッドの駆動回路を図
７に示す。すなわち、デジタル中間調データが他ブロッ
クより供給され、シリアルパラレル変換回路２１１によ
り各インク定量部（第２の積層ピエゾ素子４８）制御回
路２１３および吐出制御回路２１４に送られる。シリア
ルパラレル変換回路２１１より与えられたデジタル中間
調データが所定のしきい値以下の場合は、インク定量お
よび吐出は行わない。印字タイミングになると、他ブロ
ックから印字トリガが出力され、タイミング制御回路２
１２がそれを検出し、所定のタイミングでインク定量部
コントロール信号と吐出コントロール信号をそれぞれイ
ンク定量部（第２の積層ピエゾ素子４８）制御回路２１
３および吐出制御回路２１４に出力する。それぞれの信
号は、先に図６で示したタイミングで出力される。これ
にしたがって、インク定量部（第２の積層ピエゾ素子４
８）２１５および吐出部（第１のピエゾ素子４５）２１
６に所定電圧が印加される。
【０１０７】なお、上記インク５２としては、水や有機
溶媒、或いはこれらの混合物に各色の水性染料や顔料を
溶解若しくは分散させたものが好ましい。そして必要に
応じて、このような溶液に粘度調整剤、表面張力調整
剤、防腐剤、ｐＨ調整剤等を含有させても良い。
【０１０８】一方、上記希釈液５１としては、無色透明
なものが好ましく、水や有機溶媒、或いはこれらの混合
物、さらには、このような溶液に粘度調整剤、表面張力
調整剤、防腐剤、ｐＨ調整剤等を含有させたものが挙げ
られる。
【０１０９】そして、本例のプリンタ装置においては、
図８に模式的に示すように、プリントヘッド３のオリフ
ィスプレート３８の印字面であり、ノズル開口面でもあ
る一主面３８ａの第１のノズル３４と第２のノズル３６
の間に図中斜線部で示す親水加工部５３を形成してい
る。この親水加工部５３は第２のノズル３６の開口部か
ら第１のノズル３４の開口部間にわたって形成されてい
る。なお、この親水加工部５３はオリフィスプレート３
８の一主面３８ａの所定の位置をコロナ処理や紫外線照
射等して形成すれば良い。
【０１１０】従って、上述のように、印刷を行うべく、
第２のノズル３６からインク５２を滲み出させると、こ
のインク５２はインクに対して濡れ性の良好な親水加工
部５３を選択して伝って第１のノズル３４に向けて供給
されることとなる。このため、インク５２が親水加工部
５３以外の部分に漏れにくく、第１及び第２のノズル３
４，３６の開口部周辺へのインクの付着が抑えられ、プ
リント不良の発生が抑えられ、濃度階調が正確に再現さ
れて高解像度の記録画像の形成が可能となる。
【０１１１】上述の例においては、親水加工部５３を第
２のノズル３６と第１のノズル３４の開口部間にわたる
ものとしたが、この親水加工部は第２のノズル３６の開
口部から第１及び第２のノズルの開口部間の中途部にわ
たって形成されるものとされても良い。
【０１１２】そしてこの場合には、上述のように、所定
量のインク５２を第１のノズル３４開口部近傍に残存さ
せて定量を行うべくインク５２を第２のノズル３６内に
引き込む際のインク５２の引き込みが良好に行われて、
ノズル開口部周辺へのインク５２の付着が抑えられ、プ
リント不良の発生が抑えられ、濃度階調が正確に再現さ
れて高解像度の記録画像の形成が可能となる。
【０１１３】さらに、上記のような親水加工部５３の他
に撥水加工部を形成するようにしても良い。すなわち、
図９に模式的に示すように、プリントヘッド３のオリフ
ィスプレート３８の一主面３８ａの親水加工部５３以外
の部分に撥水加工を施し、図９中網掛け部にて示す撥水
加工部５４としても良い。
【０１１４】この場合においては、インク５２は、親水
加工部５３と撥水加工部５４の濡れ性の差異により、親
水加工部５３をさらに選択して伝うようになり、第１及
び第２のノズル３４，３６の開口部周辺へのインクの付
着がさらに抑えられ、プリント不良の発生がさらに抑え
られ、濃度階調がさらに正確に再現されて、さらに高解
像度の記録画像の形成が可能となる。
【０１１５】上記のような親水加工部５３の形状は、こ
れまで述べたような、ただ一本の線状のものの他、図１
０に模式的に示すような２本の線５３ａ，５３ｂに分か
れている形状のものも挙げられる。
【０１１６】さらに、本発明のプリンタ装置のプリント
ヘッドとしては、前述のプリンタ装置のプリントヘッド
の親水加工部５４を無加工として無加工部とし、残りの
部分に撥水加工を施して撥水加工部としても良く、同様
の作用効果が得られる。
【０１１７】本発明のプリンタ装置のプリントヘッドと
しては、上述のように親水加工部を有するものの他、オ
リフィスプレートのノズル開口面となる一主面の第１の
ノズルの開口部と第２のノズルの開口部間に溝部が形成
されているものも挙げられる。
【０１１８】すなわち、例えば、これまで述べたプリン
トヘッドと略同様の構成を有するプリントヘッドであ
り、図１１及び図１２に模式的に示すようにオリフィス
プレート６８のノズル開口面となる一主面６８ａの第２
のノズル６６の開口部から第１のノズル６４の開口部に
わたって、これらの間を結ぶような深さ一定の溝部６３
が形成されてなるものが挙げられる。
【０１１９】なお、このような溝部６３は、オリフィス
プレート６８の一主面６８ａに対して紫外線レーザ加工
を行う等の手段により形成すれば良く、機械加工、エッ
チング等の手段によっても形成される。また、オリフィ
スプレート６８を射出成形、電鋳等の手段により形成す
る場合には、上記溝部６３を含んだ形状にて形成するよ
うにすれば良い。これらの手段はオリフィスプレート形
成材料に応じて選択するようにすれば良い。
【０１２０】従って、上述のプリントヘッドと同様にし
て印刷を行おうとすると、第２のノズル６６から滲み出
すインクは毛管現象により上記溝部６３を伝って第１の
ノズル６４に向けて供給されるため、このインクが溝部
６３以外の部分に漏れにくく、ノズル開口部周辺へのイ
ンクの付着が抑えられ、プリント不良の発生が抑えら
れ、濃度階調が正確に再現されて高解像度の記録画像の
形成が可能となる。
【０１２１】このようなプリントヘッドとしては、図１
３に模式的に示すように、先に述べたプリントヘッドと
略同様の構成を有し、溝部６５が第１のノズル６４及び
第２のノズル６６の開口部近傍においては深さが深く、
これら開口部の中間点に向かって徐々に浅くなっていく
形状の溝部として形成されているものも挙げられる。
【０１２２】また、このようなプリントヘッドとして
は、図１４及び図１５に模式的に示すように、先に述べ
たプリントヘッドと略同様の構成を有し、オリフィスプ
レート６８のノズル開口面となる一主面６８ａの第２の
ノズル６６の開口部から第１のノズル６４の開口部と第
２のノズル６６の開口部の中途部にわたって、深さ一定
の溝部６７が形成されてなるものが挙げられる。
【０１２３】このプリントヘッドにより印刷を行おうと
すると、インクを第２のノズル６６から第１のノズル６
４に向けて滲み出させた後に、所定量のインクを第１の
ノズル６４開口部近傍に残存させて定量を行うべくイン
クを第２のノズル６６内に引き込む際のインクの引き込
みが良好に行われて、ノズル開口部周辺へのインクの付
着が抑えられ、プリント不良の発生が抑えられ、濃度階
調が正確に再現されて高解像度の記録画像の形成が可能
となる。
【０１２４】このように、溝部６７を第２のノズル６６
の開口部から第１及び第２のノズル６４，６６の開口部
間の中途部にわたって形成する場合には、図１６に模式
的に示すように、溝部６９を第２のノズル６６から第１
のノズル６４側に向うに従って浅くなっていく形状とす
ることが好ましく、このようにすれば、インクの定量が
より良好に行われる。
【０１２５】上記のような溝部６７の形状は、これまで
述べたような、ただ一本の線状のものの他、図１７に模
式的に示すような２本の線６７ａ，６７ｂに分かれてい
る形状のものも挙げられる。
【０１２６】さらには、溝部６７の形状は、図１８
（ａ），（ｂ）に示すように溝部６７の第１のノズル６
４側の端部が円弧をなすもの、尖っているもの等が挙げ
られる。
【０１２７】また、このように第１のノズルと第２のノ
ズル間に溝部が形成されるプリントヘッドとしては、図
１９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、第２のノズ
ル６６の開口部から第１及び第２のノズル６４，６６の
開口部間の中途部にわたって第１の溝部として形成され
る溝部６７の他に、第１のノズル６４の開口部から第１
のノズル６４の開口部と第２のノズル６６の開口部間の
中途部にわたって第２の溝部として形成される溝部７０
を有するものが挙げられる。なお、これら溝部６７と溝
部７０は端部が対向し、互いに接触しないように形成さ
れている。
【０１２８】このプリントヘッドにより印刷を行おうと
すると、インクを定量する際に、インクの定量分と引き
込み分の分離がさらに良好に行われて、ノズル開口部周
辺へのインクの付着が抑えられ、プリント不良の発生が
抑えられ、濃度階調が正確に再現されて高解像度の記録
画像の形成が可能となる。
【０１２９】この溝部７０においても、溝部６７と同様
に第２のノズル６６側の端部が平面をなすもの、円弧を
なすもの、尖っているもの等の形状をとることが可能で
あり、この溝部７０においても深さが第１のノズル６４
から第２のノズル６６側に向かうに従って浅くなること
が好ましい。
【０１３０】そして、溝部７０の深さを上述のようにす
ると、希釈液の吐出がより良好に行われる。
【０１３１】第１及び第２のノズル間に溝部が形成され
るプリントヘッドとしては、図２０（ａ），（ｂ），
（ｃ）に示すように第２のノズル６６の開口部から第１
のノズル６４の開口部近傍にわたって形成される溝部７
１を有するものが挙げられる。
【０１３２】この溝部７１においても、溝部６７と同様
に第１のノズル６４側の端部が平面をなすもの、円弧を
なすもの、尖っているもの等の形状をとることが可能で
あり、この溝部７１においても深さが第２のノズル６６
から第１のノズル６４側に向かうに従って浅くなること
が好ましい。
【０１３３】本発明のプリンタ装置のプリントヘッドと
しては、上述のように第１及び第２のノズルの開口部間
に溝部が形成されるとともに、ノズル開口面の少なくと
も第２のノズル開口部周辺に第２のノズル開口部を囲む
ような凹部が形成されているものも挙げられる。
【０１３４】すなわち、例えば、これまで述べたプリン
トヘッドと略同様の構成を有するプリントヘッドであ
り、図２１及び図２２に模式的に示すようにオリフィス
プレート７８のノズル開口面となる一主面７８ａの第２
のノズル７６の開口部から第１及び第２のノズル７４，
７６の開口部間の中途部にわたって溝部７３が形成され
るとともに、第２のノズル７６の開口部周辺に当該第２
のノズル７６の開口部を囲むような凹部７５が形成され
てなるものが挙げられ、インクのノズル開口部周辺への
広がりがさらに抑えられる。
【０１３５】なお、上記溝部７３は、その深さが第２の
ノズル７６から第１のノズル７４側に向かうに従って浅
くなるものとなされており、溝部７３と凹部７５は接続
されている。
【０１３６】なお、この溝部７３としては、ただ一本の
線状のものの他、図２３に模式的に示すような２本の線
７３ａ，７３ｂに分かれている形状のものも挙げられ
る。
【０１３７】また、本発明のプリンタ装置のプリントヘ
ッドとしては、図２４に模式的に示すように、第２のノ
ズル７６の開口部から第１及び第２のノズル７４，７６
の開口部間の中途部にわたって形成される溝部７３と、
第２のノズル７６の開口部周辺に当該第２のノズル７６
の開口部を囲むような凹部７５が形成されるとともに、
第１のノズル７４の開口部周辺にもこの第１のノズル開
口部を囲むような凹部７７が形成されているものが挙げ
られる。なお、上記溝部７３と凹部７５は接続されてい
る。このプリンタ装置のプリントヘッドにおいては、上
述のようにインクのノズル開口部周辺への広がりがさら
に抑えられるとともに、希釈液と混合溶液のノズル開口
部周辺への広がりがさらに抑えられる。
【０１３８】このような凹部７５，７７を有するプリン
トヘッドにおいても、前述のプリントヘッドと同様に、
溝部７３の形状を、図２５（ａ），（ｂ）に示すように
溝部７３の第１のノズル７４側の端部が円弧をなすも
の、尖っているもの等とすることが可能である。
【０１３９】また、図２６（ａ），（ｂ），（ｃ）に示
すように、第２のノズル７６の開口部から第１及び第２
のノズル７４，７６の開口部間の中途部にわたって第１
の溝部として形成される溝部７３の他に、第１のノズル
７４の開口部から第１のノズル７４の開口部と第２のノ
ズル７６の開口部間の中途部にわたって第２の溝部とし
て形成される溝部８０を有するようにしても良い。な
お、これら溝部７３と溝部８０は端部が対向し、互いに
接触しないように形成されている。
【０１４０】この溝部８０においても、溝部７３と同様
に第２のノズル７６側の端部が平面をなすもの、円弧を
なすもの、尖っているもの等の形状をとることが可能で
あり、この溝部８０においても深さが第１のノズル７４
から第２のノズル７６側に向かうに従って浅くなること
が好ましい。
【０１４１】さらにまた、図２７（ａ），（ｂ），
（ｃ）に示すように第２のノズル７６の開口部から第１
のノズル７４の開口部近傍にわたって形成される溝部８
１を形成するようにしても良い。
【０１４２】この溝部８１においても、溝部７３と同様
に第１のノズル７４側の端部が平面をなすもの、円弧を
なすもの、尖っているもの等の形状をとることが可能で
あり、この溝部８１においても深さが第２のノズル７６
から第１のノズル７４側に向かうに従って浅くなること
が好ましい。
【０１４３】さらには、溝部として、図２８及び図２９
に模式的に示すように、第２のノズル７６の開口部から
第１のノズル７４の開口部にわたる溝部８２を形成する
ようにしても良い。なお、この溝部８２は両端が凹部７
５，７７にそれぞれ接続されている。
【０１４４】これまで、溝部及び凹部と溝部の様々な形
状について述べてきたが、この溝部及び凹部と溝部の代
わりにその部分を前述の親水加工部としても同様の効果
が得られる。なお、この溝部及び凹部と溝部を無加工部
として残すように撥水加工を行っても同様の効果が得ら
れる。
【０１４５】また、本発明のプリンタ装置のプリントヘ
ッドとしては、図３０及び図３１に模式的に示すよう
に、オリフィスプレート８８のノズル開口面となる一主
面８８ａの第１のノズル８４の開口部と第２のノズル８
６の開口部の間に島状の突起部８３が形成されてなるも
のが挙げられる。
【０１４６】この島状の突起部８３は平面楕円状の柱状
の突起であり、第１のノズル８４と第２のノズル８６を
結ぶ方向が長手方向とされて形成されており、第１及び
第２のノズル８４，８６の開口部に接触することなく形
成されている。
【０１４７】このプリンタ装置により印刷を行うと、第
２のノズル８６から滲み出すインクは毛管現象により上
記突起部８３の輪郭に沿って伝わって第１のノズル８４
に向けて供給されるため、このインクが突起部８３以外
の部分に広がりにくく、ノズル開口部周辺へのインクの
付着が抑えられ、プリント不良の発生が抑えられ、濃度
階調が正確に再現されて高解像度の記録画像の形成が可
能となる。
【０１４８】なお、この例においては突起部８３をその
長手方向が第１のノズル８４と第２のノズル８６を結ぶ
方向と一致するように形成するものとしたが、突起部８
３をその長手方向が第１のノズル８４と第２のノズル８
６を結ぶ方向と直交する方向に一致するように形成する
と、インク定量時のインクの引き込みが容易となる。
【０１４９】さらに、本発明を適用したプリンタ装置と
しては、以下に示すような構成のものも挙げられる。こ
のプリンタ装置の構成は、先に図１に示したものと同様
とされる。そして、このプリンタ装置の印字及び制御系
のブロック図を図３２に示す。このブロック図は先に示
した図２と略同様の構成を有するが、制御部９０が図２
に示したものと同様の信号処理制御回路２２、メモリ２
５、駆動制御部２７及び補正回路２６の他、第１のドラ
イバ９１と第２のドライバ９２によって構成されてい
る。なお、ここでは、図２と同様の部分については説明
を省略する。これら第１のドライバ９１及び第２のドラ
イバ９２はそれぞれ吐出媒体を吐出する第１のノズル及
び定量媒体を押し出す第２のノズルの数に応じて設けら
れている。
【０１５０】第１のドライバ９１は、後述するように、
第１のノズルから吐出媒体を吐出させるために設けられ
た第１の積層型ピエゾ素子（吐出側）を駆動制御するも
のであり、第２のドライバ９２は第２のノズルから定量
媒体を押し出すために設けられた第２の積層型ピエゾ素
子（定量側）を駆動制御するものである。なお、上記吐
出側と定量側の何れか一方がインクであり、他方が希釈
液とされている。
【０１５１】これら各第１のドライバ９１及び第２のド
ライバ９２は信号処理制御回路２２内に設けられた後述
のシリアルパラレル変換回路及びタイミング制御回路の
制御に基づいて、それぞれに対応する第１の積層型ピエ
ゾ素子及び第２の積層型ピエゾ素子を駆動制御する。
【０１５２】次に、上記プリントヘッドの駆動回路を図
３３に示す。すなわち、デジタル中間調データが他ブロ
ックより供給され、シリアルパラレル変換回路９４によ
り第１のドライバ９１および第２のドライバ９２に送ら
れる。シリアルパラレル変換回路９４より与えられたデ
ジタル中間調データが所定のしきい値以下の場合は、定
量および吐出は行わない。印字タイミングになると、他
ブロックから印字トリガが出力され、タイミング制御回
路９５がそれを検出し、所定のタイミングで定量部コン
トロール信号と吐出コントロール信号をそれぞれ第１の
ドライバ９１および第２のドライバ９２に出力する。
【０１５３】次に、プリントヘッドの構成について説明
する。なお、ここでは、インクを定量媒体とし、希釈液
を吐出媒体とするプリントヘッドの例について述べる。
本例のプリントヘッドは、図３４に示すように、圧力室
形成部材１２１、振動板１２２、第１及び第２の積層型
ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂ、ノズル形成部材１２４
により主に構成されるものである。
【０１５４】上記圧力室形成部材１２１は、厚さ略０．
２ｍｍのステンレススチール等により形成すれば良い。
【０１５５】そして、上記圧力室形成部材１２１には吐
出媒体バッファタンク（以下、希釈液バッファタンクと
称する。）を構成する貫通孔部１３５と、吐出媒体圧力
室（以下、希釈液圧力室と称する。）を構成して一主面
１２１ａに臨んで開口する第１の凹部１３６、吐出媒体
供給路（以下、希釈液供給路と称する。）を構成して一
主面１２１ａと相対向する主面１２１ｂに臨んで開口
し、貫通孔部１３５と第１の凹部１３６の底面の端部間
を接続するように形成される第２の凹部１３７、吐出媒
体導入口（以下、希釈液導入口と称する。）を構成して
主面１２１ｂに臨んで開口し、第１の凹部１３６の他端
部と接続される第３の凹部１３８が形成されている。
【０１５６】また、上記圧力室形成部材１２１には定量
媒体バッファタンク（以下、インクバッファタンクと称
する。）を構成する貫通孔部１２５と、定量媒体圧力室
（以下、インク圧力室と称する。）を構成して一主面１
２１ａに臨んで開口する第４の凹部１２６、定量媒体供
給路（以下、インク供給路と称する。）を構成して一主
面１２１ａと相対向する主面１２１ｂに臨んで開口し、
貫通孔部１２５と第４の凹部１２６の底面の端部間を接
続するように形成される第５の凹部１２７、定量媒体導
入口（以下、インク導入口と称する。）を構成して主面
１２１ｂに臨んで開口し、第４の凹部１２６の他端部と
接続される第６の凹部１２８が形成されている。
【０１５７】そして、この圧力室形成部材１２１におい
ては、第６の凹部１２８と第３の凹部１３８が所定の間
隔を有して相対向するように各貫通孔部及び凹部が形成
されている。
【０１５８】さらに、本例のプリントヘッドにおいて
は、上記圧力室形成部材１２１の一主面１２１ａ側に振
動板１２２を配し、相対向する主面１２１ｂ側にノズル
形成部材１２４（以下、オリフィスプレート１２４と称
する。）を配して、圧力室形成部材１２１を振動板１２
２とオリフィスプレート１２４により厚さ方向に挟み込
んでいる。
【０１５９】オリフィスプレート１２４は、例えば厚さ
５０μｍ程度の樹脂よりなる板材等により形成されてお
り、ガラス転移点が２００℃程度の三井東圧化学株式会
社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネオフレックス（商品
名）等が挙げられ、このような樹脂を使用すれば、イン
ク及び希釈液に対する化学的な安定が確保され、好まし
い。
【０１６０】上記オリフィスプレート１２４には、イン
ク導入口を形成する第６の凹部１２８に対応する位置
に、定量媒体であるインクを押し出して定量するための
第２のノズル１３２（以下、インクノズル１３２と称す
る。）が形成されるとともに、希釈液導入口を形成する
第３の凹部１３８に対応する位置に、吐出媒体である希
釈液を吐出するための第１のノズル１４２（以下、希釈
液ノズル１４２と称する。）が形成されている。
【０１６１】なお、上記インクノズル１３２は、ノズル
開口面となる一主面１２４ａに近づくにつれ希釈液ノズ
ル１４２に近づく方向の孔部として形成されている。な
お、これらインクノズル１３２及び希釈液ノズル１４２
は断面形状が例えば円形の所定径を有する貫通孔として
形成されており、インク導入口となる第６の凹部１２８
及び希釈液導入口となる第３の凹部１３８よりも小径を
なすように形成されている。
【０１６２】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、オリフィスプレート１２４のノズル開
口面となる一主面１２４ａ上の撥液処理膜１３０をイン
クノズル１３２と希釈液ノズル１４２の開口部を除いた
部分に形成し、且つ撥液処理膜１３０の一部を選択除去
してインクノズル１３２の開口部と希釈液ノズル１４２
の開口部間に後述するような溝部を形成している。
【０１６３】この撥液処理膜１３０を形成する材料とし
ては、塗布型のポリイミド系材料等が挙げられ、感光性
を有する材料が好ましく挙げられる。
【０１６４】ここで、インク導入口を形成する第６の凹
部１２８はインクノズル１３２よりも大径を有するよう
に形成されている。一方、希釈液導入口を形成する第３
の凹部１３８も希釈液ノズル１４２よりも大径を有する
ように形成されている。
【０１６５】すなわち、圧力室形成部材１２１を振動板
１２２とオリフィスプレート１２４により厚さ方向に挟
み込むことによって、貫通孔部１３５、第１の凹部１３
６、第２の凹部１３７、第３の凹部１３８が接続される
ことにより形成される空洞部が振動板１２２とオリフィ
スプレート１２４により塞がれて、圧力室形成部材１２
１の振動板１２２側からオリフィスプレート１２４側に
向かって厚さ方向に形成される希釈液バッファタンク１
５３、これと接続され圧力室形成部材１２１の面内方向
に形成される希釈液供給路１５４と、これに接続され振
動板１２２側に形成される希釈液圧力室１５５、上記希
釈液圧力室１５５に接続され、オリフィスプレート１２
４側に開口する希釈液導入口１５６が連続して形成され
ることとなる。
【０１６６】また、圧力室形成部材１２１を振動板１２
２とオリフィスプレート１２４により厚さ方向に挟み込
むことによって、貫通孔部１２５、第４の凹部１２６、
第５の凹部１２７、第６の凹部１２８が接続されること
により形成される空洞部が振動板１２２とオリフィスプ
レート１２４により塞がれて、圧力室形成部材１２１の
振動板１２２側からオリフィスプレート１２４側に向か
って厚さ方向に形成されるインクバッファタンク１４
３、これと接続され圧力室形成部材１２１の面内方向に
形成されるインク供給路１４４と、これに接続され振動
板１２２側に形成されるインク圧力室１４５、上記イン
ク圧力室１４５に接続され、オリフィスプレート１２４
側に開口するインク導入口１４６が連続して形成される
こととなる。
【０１６７】そして、前述のように振動板１２２には希
釈液供給口１３９が形成され、オリフィスプレート１２
４には希釈液ノズル１４２が形成されていることから、
希釈液供給口１３９、希釈液バッファタンク１５３、希
釈液供給路１５４、希釈液圧力室１５５、希釈液導入口
１５６、希釈液ノズル１４２の順に希釈液が流れること
となる。
【０１６８】さらに、前述のように振動板１２２にはイ
ンク供給口１２９が形成され、オリフィスプレート１２
４にはインクノズル１３２が形成されていることから、
インク供給口１２９、インクバッファタンク１４３、イ
ンク供給路１４４、インク圧力室１４５、インク導入口
１４６、インクノズル１３２の順にインクが流れること
となる。
【０１６９】そして、本例のプリントヘッドにおいて
は、オリフィスプレート１２４のノズル開口面となる一
主面１２４ａ上に形成される撥液処理膜１３０を１層目
の膜１３０ａと２層目の膜１３０ｂが積層形成されるも
のとし、図３６に模式的に示すように、撥液処理膜１３
０を形成し、上層側となる２層目の膜１３０ｂの一部を
選択除去してインクノズル１３２と希釈液ノズル１４２
の開口部間を直線的に接続するような溝部１３１を形成
している。なお、この溝部１３１は、その幅がインクノ
ズル１３２の開口径よりも小さく、その底面側には撥液
処理膜１３０を形成し、下層となる１層目の膜１３０ａ
が露呈している。
【０１７０】さらに、本例のプリントヘッドにおいて
は、希釈液ノズル１４２及びインクノズル１３２の直径
を略３０μｍ〜５０μｍ程度とすれば良く、溝部１３１
は、３０μｍ以下、望ましくは２０μｍ以下、さらに望
ましくは１０μｍ以下の幅を有するものとなされること
が好ましい。
【０１７１】また、本例のプリントヘッドにおいては、
振動板１２２の圧力室形成部材１２１と接着される面と
は反対側の一主面１２２ａのインク圧力室１４５に対応
する位置に突起部１４９が形成されており、この突起部
１４９を介して積層型ピエゾ素子１２３ｂ（第１の積層
型ピエゾ素子）が図示しない接着剤により接着されて載
置されている。同様に、希釈液圧力室１５５に対応する
位置にも突起部１５９が形成されており、この突起部１
５９を介して積層型ピエゾ素子１２３ａ（第２の積層型
ピエゾ素子）が載置されている。なお、上記積層型ピエ
ゾ素子１２３ａ，１２３ｂとしては、圧電部材と導電部
材とが交互に積層されてなるものが挙げられる。このと
き、圧電部材と導電部材との積層数は何層であっても良
い。
【０１７２】この突起部１４９，１５９はインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５の平面の面積及び積層
型ピエゾ素子１２３ｂ，１２３ａの平面の面積よりも小
さいものとして形成されている。さらに、上記振動板１
２２の一主面１２２ａのインク供給口１２９に対応する
位置には図示しないインクタンクに接続されるインク供
給管１５０が接続され、同様に希釈液供給口１３９に対
応する位置には図示しない希釈液タンクに接続される希
釈液供給管１６０が接続されている。
【０１７３】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、図３５に模式的に示すように、プリン
トヘッド中のインクバッファタンク１４３及び希釈液バ
ッファタンク１５３は、管状の部材となされており、こ
のインクバッファタンク１４３及び希釈液バッファタン
ク１５３の長手方向に複数の上述したようなプリントヘ
ッドが所定の間隔を有して平行に配列されて、インクバ
ッファタンク１４３は各プリントヘッドの共通のインク
配給管となされ、希釈液バッファタンク１５３も各プリ
ントヘッドの共通の希釈液配給管となされている。そし
て、これらプリントヘッドにおいては、前述のプリント
ヘッドと同様に、インクバッファタンク１４３に対して
インク供給路１４４が接続され、希釈液バッファタンク
１５３に対して希釈液供給路１５４が接続されている。
このため、各プリントヘッドのインクノズル１３２と希
釈液ノズル１４２は隣合うようにして１つの面上に開口
することとなる。
【０１７４】すなわち、本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドにおいては、インクは図示しないインクタンクか
らインクバッファタンク１４３に供給され、ここから各
プリントヘッドのインク供給路１４４に供給されること
となり、一方の希釈液も図示しない希釈液タンクから希
釈液バッファタンク１５３に供給され、ここから各プリ
ントヘッドの希釈液供給路１５４に供給されることとな
る。
【０１７５】本例のプリンタ装置のプリントヘッドによ
り印刷を行うには、以下のようにすれば良い。すなわ
ち、本例のプリンタ装置のプリントヘッドで使用されて
いる積層型ピエゾ素子である積層型ピエゾ素子１２３ａ
（以下、第１の積層型ピエゾ素子１２３ａと称する。）
においては、駆動電圧が印加されると、図３４中矢印Ｍ
1 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位する性質を有
するため、これに接着されている突起部１５９を中心に
振動板１２２を持ち上げることとなり、図３７に示すよ
うに希釈液圧力室１５５の体積が増大することとなる。
このことは、他方の積層型ピエゾ素子１２３ｂ（以下、
第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂと称する。）において
も同様であり、駆動電圧が印加されると、図３４中矢印
Ｍ1 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位する性質を
有するため、これに接着されている突起部１４９を中心
に振動板１２２を持ち上げることとなり、図３７中に示
すようにインク圧力室１４５の体積が増大することとな
る。
【０１７６】またこの第１及び第２の積層型ピエゾ素子
１２３ａ，１２３ｂは駆動電圧が解放されると、図３４
中に矢印Ｍ1 で示す方向に直線的に変位する性質を有す
るため、これに接着されている突起部１４９，１５９を
介して振動板１２２を押圧して湾曲させてインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５の体積を減少させてイ
ンク圧力室１４５或いは希釈液圧力室１５５内の圧力を
上昇させることとなる。このとき、突起部１４９，１５
９は、その平面面積が第１及び第２の積層型ピエゾ素子
１２３ａ，１２３ｂの平面面積よりも小さくなるように
なされているので、第１及び第２の積層型ピエゾ素子１
２３ａ，１２３ｂの変位を振動板１２２の希釈液圧力室
１５５或いはインク圧力室１４５に対応する位置に集中
的に伝達することが可能である。
【０１７７】上記のような構成のプリンタ装置により印
刷を行う場合の、駆動電圧の印加タイミングは先に図６
に示した通りである。これに合わせて印刷動作を説明す
る。ただし、図６中の第１の積層ピエゾ素子４５を第１
の積層型ピエゾ素子１２３ａとし、第２の積層ピエゾ素
子４８を第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂとする。
【０１７８】すなわち、図６（ａ）に示すように、印刷
前の待機時、図中（Ａ）で示す時点において、希釈液圧
力室１５５に対応する位置に設けられる第１の積層型ピ
エゾ素子１２３ａに予め例えば２０Ｖを印加し、図６
（ｂ）に示すように、印刷前の待機時、図中（Ａ）で示
す時点において、インク圧力室１４５に対応する位置に
設けられる第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂには予め例
えば１０Ｖを印加しておく。すると、図３７中に示すよ
うに、インク圧力室１４５と希釈液圧力室１５５の体積
が増加した状態となる。このとき、インクノズル１３
２、希釈液ノズル１４２の何れにおいても先端にメニス
カスが形成されている。
【０１７９】そして、印刷時には、前述のヘッドドライ
ブ，ヘッド送り制御，ドラム回転制御からの信号に基づ
いて、定量媒体を飛翔させることなく定量するべく、図
６（ｂ）中（Ｂ）で示す時点で第１の積層型ピエゾ素子
１２３ａの電圧を例えば５Ｖまで除々に下げ、この状態
で例えば１５０μｓｅｃ保持する。すると、第２の積層
型ピエゾ素子１２３ｂが図３７中矢印Ｍ1 で示す方向に
除々に伸長し、図３８中に示すように振動板１２２を介
してインク圧力室１４５が徐々に加圧され、インク圧力
室１４５が元の形状に戻ろうとするため、インクノズル
１３２に内圧が加わり、インクがインクノズル１３２か
ら希釈液ノズル１４２の開口付近までしみ出し、希釈液
ノズル１４２の希釈液に合わさる。なお、このときの電
圧は、画像データの階調に合わせて設定されており、イ
ンクの量は画像データに応じたものとなる。
【０１８０】その後、インクノズル１３２内にインクを
引き込み、定量されたインクのみを希釈液ノズル１４２
開口付近に残存させるべく、図６（ｂ）中（Ｃ）で示す
時点で第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂの電圧を１０Ｖ
まで徐々に戻す。すると、第２の積層型ピエゾ素子１２
３ｂが図３８中矢印Ｍ1 で示す方向とは反対の方向に除
々に縮小し、インクノズル１３２の内圧が解除され、イ
ンクはインクノズル１３２内に戻ろうとする。これによ
り、定量されたインクのみが希釈液ノズル１４２開口付
近に残存することとなる。
【０１８１】次に、希釈液ノズル１４２から希釈液を吐
出するべく、図６（ａ）中に示すように、図中（Ｄ）で
示す時点で第１の積層型ピエゾ素子１２３ａの電圧を例
えば０Ｖとする。すると、第１の積層型ピエゾ素子１２
３ａが図３８中矢印Ｍ1 で示す方向に伸長し、振動板１
２２を介して希釈液圧力室１５５が加圧され、希釈液圧
力室１５５が元の形状に戻ろうとするため、希釈液ノズ
ル１４２に内圧が加わる。その結果、希釈液ノズル１４
２内の内圧によって希釈液が押し出され、この希釈液と
希釈液ノズル１４２開口付近に残存していたインクとの
混合溶液が形成される。
【０１８２】次に、図６（ａ）中（Ｄ）で示す時点から
例えば５０μｓｅｃの間０Ｖとし、図６（ａ）中（Ｅ）
で示す時点で第１の積層型ピエゾ素子１２３ａの電圧を
例えば２０Ｖに戻すと、第１の積層型ピエゾ素子１２３
ａが図３８中矢印Ｍ1 で示す方向とは反対の方向に縮小
し、希釈液ノズル１４２の内圧が解除され、希釈液が希
釈液ノズル１４２内に戻ろうとする。これにより、希釈
液ノズル１４２内の希釈液と混合溶液間にくびれが生
じ、ついには混合溶液が希釈液ノズル１４２から吐出さ
れ、当該混合溶液が前述のプリント紙１に被着して印刷
が行われる。このとき、第１の積層型ピエゾ素子１２３
ａに印加される駆動電圧の時間変化は、希釈液ノズル１
４２から混合液滴を吐出し得るように設定されている。
【０１８３】希釈液圧力室１５５及びインク圧力室１４
５の内圧はやがて元に戻り、希釈液及びインクは再び希
釈液ノズル１４２及びインクノズル１３２内に充填さ
れ、再び図３４に示すような印刷待機状態となる。
【０１８４】すなわち、図３２に示した駆動回路の信号
は、上記のような図６で示したタイミングで出力され、
これにしたがって、第１の積層型ピエゾ素子１２３ａお
よび第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂに所定電圧が印加
される。
【０１８５】本例のプリンタ装置においては、プリント
ヘッドのオリフィスプレート１２４のノズル開口面とな
る一主面１２４ａに撥液処理膜１３０を形成し、互いに
隣合って開口している希釈液ノズル１４２及びインクノ
ズル１３２の開口部間に、上記撥液処理膜１３０の一部
を選択的に除去して溝部１３１を形成するようにしてい
る。
【０１８６】固体と液体の界面における「濡れやすさ」
とは、固体表面の表面荒さの影響を受ける。すなわち、
固体と液体のそれぞれの材料自体における液体と固体と
の接触部分の接触角度（言いかえると、表面荒さが零の
場合における接触角度）が９０（ｄｅｇ．）よりも大き
い場合においては、表面荒さが大きくなるほど、液体と
固体は濡れ難くなるが、固体と液体のそれぞれの材料自
体における液体と固体との接触部分の接触角度（言いか
えると、表面荒さが零の場合における接触角度）が９０
（ｄｅｇ．）よりも小さい場合においては、表面荒さが
大きくなるほど、液体と固体は濡れやすくなる。
【０１８７】本例のプリンタ装置において使用される定
量媒体であるインクにおいては、撥液材料との接触角度
は９０（ｄｅｇ．）以下となり、上述の表面荒さが大き
くなるほど、濡れやすくなることとなる。
【０１８８】従って、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、撥液処理膜１３０の一部を選択的に除
去して形成した溝部１３１は、他の部分よりも表面荒さ
が荒く、濡れ易くなり、定量媒体であるインクはこの溝
部１３１近傍を選択して押し出されることとなる。この
ことから、微量のインクであっても希釈液ノズル１４２
に向けて確実に押し出され、希釈液とインクの混合吐出
が確実に行われる。すなわち、本例のプリンタ装置にお
いては、低濃度領域においても正確な階調表現が行わ
れ、広い範囲の濃度階調が正確に再現されて高解像度の
記録画像の形成が可能となる。
【０１８９】また、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドにおいては、溝部１３１の底面側に撥液材料よりなる
１層目の膜１３０ａが露呈していることとなることか
ら、印刷待機時のインクと希釈液の自然混合も防止され
る。
【０１９０】続いて本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドの製造方法について述べる。先ず、圧力室形成部材を
製造する。すなわち、図３９に示すように、厚さが略
０．２ｍｍのステンレススチールよりなるステンレス部
材１７１の一主面１７１ａに例えば感光性ドライフイル
ムや液体レジスト材料などのレジストを塗布した後、イ
ンクバッファタンク及び希釈液バッファタンクを形成す
るための貫通孔とインク圧力室及び希釈液圧力室を形成
するための凹部の形成位置に応じた部分をエッチング可
能なパターンを有するマスクを用いてパターン露光し、
レジスト１７２を形成する。
【０１９１】また、このステンレス部材１７１の一主面
１７１ａに相対向する主面１７１ｂにも同様にしてイン
ク供給路及び希釈液供給路を形成するための凹部、イン
ク導入口及び希釈液導入口を形成するための凹部の形成
位置に応じた部分をエッチング可能なパターンを有する
マスクを用いてパターン露光し、レジスト１７３を形成
する。
【０１９２】続いて、上記ステンレス部材１７１をレジ
スト１７２，１７３をマスクとして、例えば塩化第２鉄
水溶液等のエッチング溶液に所定時間浸してエッチング
を行う。その結果、図４０に示すように、インクバッフ
ァタンクを形成し、一主面１７１ａからこれと相対向す
る主面１７１ｂに貫通する貫通孔１２５、インク圧力室
を形成し、一主面１７１ａに臨んで開口する第４の凹部
１２６、貫通孔１２５の側面と第４の凹部１２６の底面
を接続してインク供給路を形成し、一主面１７１ｂに臨
んで開口する第５の凹部１２７、インク導入口を形成
し、第４の凹部１２６の底面から一主面１７１ｂに臨ん
で開口する第６の凹部１２８が形成される。また、同様
に希釈液バッファタンクを形成し、一主面１７１ａから
これと相対向する主面１７１ｂに貫通する貫通孔１３
５、希釈液圧力室を形成し、一主面１７１ａに臨んで開
口する第１の凹部１３６、貫通孔１３５の側面と第１の
凹部１３６の底面を接続してインク供給路を形成し、一
主面１７１ｂに臨んで開口する第２の凹部１３７、希釈
液導入口を形成し、第１の凹部１３６の底面から一主面
１７１ｂに臨んで開口する第３の凹部１３８が形成され
る。なお、これらは、前述のように、第６の凹部１２８
と第３の凹部１３８が所定の間隔を有して相対向するよ
うに形成される。
【０１９３】このとき、ステンレス部材１７１の片方の
主面からのエッチング量がステンレス部材１７１の厚さ
の約１／２強となるようにエッチング量を選定するよう
にする。この場合、ステレンス部材１７１の厚さが０．
２ｍｍとされているので、ステンレス部材１７１の片方
の主面からのエッチング量を約０．１１ｍｍ程度とす
る。このようにすれば、各貫通孔及び各凹部の寸法精度
を向上しつつ、これらを安定して形成することができ
る。
【０１９４】また、ステンレス部材１７１の両面からの
エッチング量を同程度としているので、第１の凹部１３
６及び第４の凹部１２６を形成する条件と、第２の凹部
１３７、第３の凹部１３８、第５の凹部１２７、第６の
凹部１２８を形成する条件とを略同条件に設定し得るの
で、エッチングの工程を簡易かつ短時間に行うことがで
きる。
【０１９５】続いてレジスト１７２，１７３を除去す
る。レジスト１７２，１７３としてドライフィルムレジ
ストを使用した場合には、例えば５％以下の水酸化ナト
リウム水溶液を用いれば良く、レジスト１７２，１７３
として液体レジスト材料を用いた場合には、例えば専用
アルカリ溶液を用いれば良い。その結果、図４１に示す
ように、貫通孔１３５、第１の凹部１３６、第２の凹部
１３７、第３の凹部１３８と、貫通孔１２５、第４の凹
部１２６、第５の凹部１２７、第６の凹部１２８が形成
される圧力室形成部材１２１が形成される。
【０１９６】次に、図４２に示すように、圧力室形成部
材１２１の第２の凹部１３７、第３の凹部１３８、第５
の凹部１２７、第６の凹部１２８が開口する一主面１２
１ｂ上に、厚さが略５０μｍでガラス転移点が２５０℃
以下の樹脂材料をオリフィスプレート１２４として配す
る。このオリフィスプレート１２４形成材料としては、
三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネ
オフレックス（商品名）よりなる膜が挙げられ、これを
配するには熱圧着を行えば良い。そして、この場合、プ
レス温度を２３０℃程度とし、圧力を２０ｋｇｆ／ｃｍ
2 〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 とすれば良い。このようにすれ
ば、圧力室形成部材１２１とオリフィスプレート１２４
の接着強度を確保することができるとともに、効率良く
接着することができる。
【０１９７】またこの場合、オリフィスプレート１２４
には、まだインクノズル及び希釈液ノズルが形成されて
いないので、この工程においては、圧力室形成部材１２
１とオリフィスプレート１２４の位置合わせ精度がさほ
ど要求されず、この工程は容易に実施される。さらに
は、接着剤を必要としないことから、接着剤が第２の凹
部１３７、第３の凹部１３８、第５の凹部１２７、第６
の凹部１２８を塞いでしまうこともない。
【０１９８】次に、図４３に示すように、オリフィスプ
レート１２４の一主面１２４ａ上に撥液処理膜を構成す
る１層目の膜１３０ａを形成する。この１層目の膜１３
０ａは、例えば日立化成株式会社製の塗布型ポリイミド
材料 ＰＩＸ（商品名）、或いは東レ株式会社製の塗布
型ポリイミド材料 セミコファイン（商品名）やトレニ
ース（商品名）等の成膜後に、レーザ加工による加工が
可能であり、さらに撥水性も有する材料により形成す
る。
【０１９９】そして、これらの材料は一般に塗布を行う
前の状態の液状の状態においては、溶剤に溶かされてい
るので、脱溶剤を目的とした乾燥を行い、その材料の例
えば最終イミド重合反応工程の前の状態とする。
【０２００】乾燥条件としては、９０℃〜１２０℃程度
の温度において、３０分程度保持して溶剤を乾燥させた
後、２００℃程度の温度（Ｔ1 ）にて３０〜６０分保持
するといった条件が挙げられる。
【０２０１】次に、図４４に示すように、１層目の膜１
３０ａ上にやはり撥液処理膜を構成する２層目の膜１３
０ｂを形成する。この２層目の膜は、例えば日立化成株
式会社の塗布型ポリイミド材料 ＰＩＸ（商品名）、或
いは東レ株式会社製の塗布型ポリイミド材料 セミコフ
ァイン（商品名）等のフォトリソグラフィー技術を用い
た加工により選択除去が可能であり、さらに膜形成後
に、レーザ加工により加工することが可能で、且つ撥水
性も有する材料により形成する。
【０２０２】例えば、日立化成株式会社の塗布型ポリイ
ミド材料 ＰＩＸ（商品名）、或いは東レ株式会社製の
塗布型ポリイミド材料 セミコファイン（商品名）を使
用した場合においては、９０℃〜１２０℃程度の温度に
おいて、３０分程度保持して溶剤を乾燥させた後、１３
０℃〜１６０℃程度の温度（Ｔ2 ）にて３０〜６０分保
持するようにして２層目の膜１３０ｂを形成するように
すれば良い。ここで、１層目の膜１３０ａと２層目の膜
１３０ｂとを同系列の材料により形成した場合において
は、温度Ｔ1 を温度Ｔ2 よりも高くする必要がある。
【０２０３】またさらに、１層目の膜１３０ａにおいて
は、上述の工程においては、最終イミド重合工程を経て
おらず、撥水性を有していないので、平滑な膜の塗布を
行うことができる。
【０２０４】次に、図４５に示すように、撥液処理膜１
３０の２層目の膜１３０ｂ上に、例えば感光性の液状レ
ジスト材料などを塗布した後、フォトリソグラフィー工
程、すなわち露光・現像工程を行い、図３６に示したよ
うな溝部１３１に対応した形状のマスク材料１６１を形
成する。
【０２０５】続いて、上記マスク材料１６１をマスク材
として使用し、撥液処理膜１３０のパターンエッチング
を行い、溝部１３１を形成する。このように、フォトリ
ソグラフィー技術により溝部１３１を形成するようにす
ると、溝部１３１の深さを安定して確保することが可能
である。ここで、１層目の膜１３０ａ及び２層目の膜１
３０ｂを日立化成株式会社製の塗布型ポリイミド材料
ＰＩＸ（商品名）、或いは東レ株式会社製の塗布型ポリ
イミド材料 セミコファイン（商品名）により形成した
場合においては、有機アルカリ溶剤、例えば東京応化株
式会社製の現像液 ＮＭＤ−３（商品名）を用いること
により、精度よいエッチングを行うことができる。
【０２０６】なお、この場合、撥液処理膜１３０の１層
目の膜１３０ａの熱処理温度Ｔ1 は２層目の膜１３０ｂ
の熱処理温度Ｔ2 よりも高温とされているので、１層目
の膜１３０ａの方が２層目の膜１３０ｂよりもエッチン
グレートが遅く、図４６に示すように、２層目の膜１３
０ｂのみを精度良くエッチングすることができ、溝部１
３１が形成される。
【０２０７】次にマスク材料１６１を所定の溶剤（例え
ばアセトン等）により剥離した後、最終イミド重合工程
の熱処理を行い、撥液処理膜１３０の１層目の膜１３０
ａ及び２層目の膜１３０ｂに撥水性を付与し、図４７に
示すように撥液処理膜１３０を完成する。ただし、図４
７以降においては、溝部の図示を省略することとする。
上記熱処理の具体的な条件としては、３５０℃程度の温
度で約６０分保持する条件が挙げられる。
【０２０８】また上述の説明においては、撥液処理膜１
３０の２層目の膜１３０ｂの構成材料として、１層目の
膜１３０ａの構成材料と同様の、最終重合工程において
イミド重合反応をする材料を用いた例について説明した
が、２層目の膜１３０ｂの構成材料としては、例えば宇
部興産株式会社製の塗布型ポリイミド材料 ユピコート
（商品名）等の原材料の時点でイミド重合反応がされて
おり、比較的低温の温度（１６０℃〜１８０℃）の温度
で、イミド重合反応でない最終重合反応をする材料を用
いても構わない。ただし、この宇部興産株式会社製の塗
布型ポリイミド材料 ユピコート（商品名）等、原材料
の時点でイミド重合反応がされており、比較的低温の温
度（１６０℃〜１８０℃）の温度において、イミド重合
反応でない最終重合反応をする材料を用いた場合におい
ても、上層となる２層目の膜１３０ｂの塗布工程は、下
層となる１層目の膜１３０ａの最終重合反応前、すなわ
ち、１層目の膜１３０ａに撥水性が付与される前に行う
必要がある。
【０２０９】より具体的には、宇部興産株式会社製の塗
布型ポリイミド材料 ユピコート（商品名）を用いた場
合には、７０℃〜９０℃程度の温度で３０分〜４０分程
度保持し、溶剤を乾燥した後の状態において、２層目の
膜１３０ｂの塗布工程を行う必要がある。
【０２１０】続いて、図４８に示すように、オリフィス
プレート１２４の圧力室形成部材１２１側となる主面１
２４ｂ側から第３の凹部１３８を介してエキシマレーザ
を垂直に照射し、オリフィスプレート１２４、撥液処理
膜１３０の１層目の膜１３０ａ及び２層目の膜１３０ｂ
を貫通する希釈液ノズル１４２を形成する。
【０２１１】また、図４８中に示すように、オリフィス
プレート１２４の圧力室形成部材１２１側となる主面１
２４ｂ側から第６の凹部１２８を介してエキシマレーザ
を斜め方向に照射し、オリフィスプレート１２４、撥液
処理膜１３０の１層目の膜１３０ａ及び２層目の膜１３
０ｂを貫通するインクノズル１３２を形成し、オリフィ
スプレート１２４を完成する。このインクノズル１３２
を形成する際には、エキシマレーザ光を希釈液ノズル１
４２側に徐々に近づくような方向で照射し、インクノズ
ル１３２が開口部に向かうに従って希釈液ノズル１４２
に徐々に近づいていくものとして形成する。
【０２１２】ここでオリフィスプレート１２４、１層目
の膜１３０ａ及び２層目の膜１３０ｂの何れもがポリイ
ミド材料よりなり、エキシマレーザによるアブレーショ
ン加工が容易な材料により形成しているので、インクノ
ズル１３２及び希釈液ノズル１４２は容易に形成され
る。
【０２１３】また、希釈液導入口１５６を形成する第３
の凹部１３８、インク導入口１４６を形成する第６の凹
部１２８は、それぞれ希釈液ノズル１４２、インクノズ
ル１３２よりも大径を有するものとされていることか
ら、エキシマレーザによるアブレーション加工時のオリ
フィスプレート１２４と圧力室形成部材１２１との位置
合わせ精度が緩和できると共に、アブレーション加工時
に圧力室形成部材１２１によってエキシマレーザが遮蔽
される危険性が回避される。
【０２１４】続いて、図４９に示すように、例えばエポ
キシ系の図示しない接着剤を用い、圧力室形成部材１２
１のオリフィスプレート１２４が配される面と反対側の
主面１２１ａ上に一主面１２２ａの所定の位置に突起部
１４９，１５９が予め形成されている振動板１２２を接
着する。この場合、第２の凹部１３７、第３の凹部１３
８、第５の凹部１２７、第６の凹部１２８は、圧力室形
成部材１２１の振動板１２２が配される一主面１２１ａ
とは反対側の主面１２１ｂ側に形成されているので、振
動板１２２の接着工程において、接着剤によりこれらが
塞がれることが未然に防止される。
【０２１５】そして、このように圧力室形成部材１２１
を振動板１２２とオリフィスプレート１２４により挟み
込むことにより、第２の凹部１３７により希釈液供給路
１５４が形成され、第１の凹部１３６により希釈液圧力
室１５５、第３の凹部１３８により希釈液導入口１５６
が形成される。
【０２１６】また、同様に、第５の凹部１２７によりイ
ンク供給路１４４が形成され、第４の凹部１２６により
インク圧力室１４５、第５の凹部１２８によりインク導
入口１４６が形成される。
【０２１７】本例のプリンタ装置においては、前述のよ
うに、第２の凹部１３７、第５の凹部１２７が、圧力室
形成部材１２１の振動板１２２が配される一主面１２１
ａとは反対側の主面１２１ｂ側に形成されていることか
ら、希釈液供給路１５４、インク供給路１４４の流路抵
抗の上昇が回避される。
【０２１８】また、このことから、圧力室形成部材１２
１と振動板１２２を接着する接着剤の選択範囲を従来に
比して大幅に広げることができる。
【０２１９】なお、上記のように振動板１２２を圧力室
形成部材１２１上に接着する際には、突起部１５９と希
釈液圧力室１５５を形成する第１の凹部１３６、突起部
１４９とインク圧力室１４５を形成する第４の凹部１２
６の位置合わせのみを考慮すればよく、振動板１２２の
接着工程は容易に行われる。
【０２２０】続いて、突起部１５９上に第１の積層型ピ
エゾ素子１２３ａ、突起部１４９上に第２の積層型ピエ
ゾ素子１２３ｂを例えばエポキシ系の接着剤を用いて接
着すると共に、希釈液供給管１６０を振動板１２２の貫
通孔１３９に接続し、インク供給管１５０も振動板１２
２の貫通孔１２９に接続して、図３４に示すようなプリ
ントヘッドを完成する。
【０２２１】本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いては、微量のインクであっても希釈液に確実に混合さ
れるため、表現可能な階調の幅を広げるために希釈液ノ
ズル１４２とインクノズル１３２を極力近づけて形成す
る必要がなくなる。
【０２２２】従って、上記のようにしてプリントヘッド
を製造する際の希釈液ノズル１４２及びインクノズル１
３２の孔開け工程（ここではエキシマレーザによるアブ
レーション加工工程）における製造装置の機械的な位置
精度を高める必要がなくなり、作業が容易となり、製造
コストを高めることなく、安定して製造することが可能
である。
【０２２３】さらに、本発明を適用したプリンタ装置の
プリントヘッドにおいては、希釈液ノズルとインクノズ
ルの開口部間に形成される溝部を以下に示すような形状
としても良い。すなわち、図５０に示すように希釈液ノ
ズル１４２とインクノズル１３２の開口部間に亘って複
数の溝部１６２を形成するようにしても良い。
【０２２４】このように、複数の溝部１６２を形成する
ようにすれば、希釈液ノズル１４２とインクノズル１３
２の形成工程において、これらの形成位置に多少ズレが
発生しても、複数存在する溝部１６２或いはこれらの間
の突起部の何れかが、希釈液ノズル１４２とインクノズ
ル１３２とに挟まれる領域の中心近傍に位置することと
なるので、ノズルの位置合わせ精度を緩和することがで
きる。すなわち、図５１に模式的に示すように、複数の
溝部１６２に対する希釈液ノズル１４２及びインクノズ
ル１３２の図中矢印ｘで示す横方向の位置合わせ精度を
緩和することができる。
【０２２５】また、上述の製造方法のように、溝部を形
成した後に希釈液ノズル１４２及びインクノズル１３２
を形成するようにすれば、複数の溝部１６２に対する希
釈液ノズル１４２及びインクノズル１３２の図中矢印ｙ
で示す縦方向の位置合わせ精度を緩和することもでき
る。
【０２２６】希釈液ノズル１４２とインクノズル１３２
の開口部間に形成される溝部としては、これらの開口部
間における表面荒さを大きくするような形状のものであ
れば良い。すなわち、前述のような開口部間を接続する
方向の平行なパターンを有するものだけではなく、図５
２に示すように希釈液ノズル１４２とインクノズル１３
２の開口部間を接続するような複数の溝部１６３を有す
るとともに、これらと直交する方向にも複数の溝部１６
４を有する形状のものも挙げられる。
【０２２７】上記のような形状の溝部を有するプリント
ヘッドを有するプリンタ装置においても前述のプリント
ヘッドを有するプリンタ装置と同様の効果が得られる。
【０２２８】なお、上述したプリンタ装置のプリントヘ
ッド撥液処理膜１３０を形成する２層目の膜１３０ｂを
形成するフォトリソグラフィー技術を用いた加工により
選択除去が可能な日立化成株式会社製の塗布型ポリイミ
ド材料 ＰＩＸ（商品名）或いは東レ株式会社製の塗布
型ポリイミド材料 セミコファイン（商品名）を使用し
た例について説明したが、２層目の膜１３０ｂを形成す
る材料としては、感光性を有する撥液材料、例えば富士
ハント株式会社製の感光性塗布型ポリイミド材料 ＰＲ
ＯＢＩＭＩＤＥ ＸＢ−７０２１（商品名）、或いは東
レ株式会社製の感光性塗布型ポリイミド材料 フォトニ
ース ＵＲ−３１４０（商品名）等を用いることも可能
である。
【０２２９】さらには、宇部興産株式会社製の塗布型ポ
リイミド材料 ユピコート（商品名）に感光性の機能を
加えた材料であるＰＳ−１００（商品名）を用いること
も可能となる。
【０２３０】このように、２層目の膜１３０ｂを形成す
る材料として感光性の材料を使用すると、前述した工程
中で使用したマスク材料１６１を用いる必要がなくな
り、マスク材料１６１の塗布工程、さらには剥離工程を
省略することが可能となり、工程を削減が可能となる。
さらには、２層目の膜１３０ｂを所定形状に現像しなが
らエッチングを行うことが可能となり、より高精度によ
り微細なパターンのパターニングを行うことが可能とな
る。
【０２３１】また、上述の例においては、オリフィスプ
レート１２４をガラス転移点が２５０℃以下の三井東圧
化学株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネオフレッ
クス（商品名）により形成する例について述べたが、こ
のオリフィスプレート１２４は以下に示すような構成と
しても良い。
【０２３２】すなわち、図５３に示すように、例えば厚
さが略１２５μｍでガラス転移点が２５０℃以上のデュ
ポン社製のポリイミドフィルム カプトン（商品名）よ
りなる板材１６５の一主面１６５ａ上に、例えば厚さが
略７μｍでガラス転移点が２５０℃以下の三井東圧化学
株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネオフレックス
（商品名）よりなる樹脂膜１６６が塗布形成されたオリ
フィスプレート１６７を用いて形成するようにしても良
い。
【０２３３】このオリフィスプレート１６７の厚さはオ
リフィスプレート１２４の厚さよりも厚いので、オリフ
ィスプレート１２４と比べて強度を一段と確保すること
ができ、且つ希釈液ノズル１４２の長さを長くすること
ができるため、吐出される混合液滴の吐出の方向性を高
めることができる。
【０２３４】またさらに、このオリフィスプレート１６
７を用いた場合には、インクノズル１３２の傾斜角度に
余裕をもたせることができると共に、希釈液圧力室１５
５とインク圧力室１４５の間隔を容易に拡げることがで
きるので、インク漏れ及び希釈液漏れを確実に防止し得
る。
【０２３５】さらに、本発明を適用したプリンタ装置の
プリントヘッドとしては、上述のように圧力印加手段と
して積層型ピエゾ素子を使用したものの他、圧電素子を
使用したものも挙げられる。
【０２３６】すなわち、本例のプリントヘッドは、図５
４に示すように先に図３４に示したプリントヘッドと略
同様の構成を有するものである。そこで、図５４中にお
いては、図３４と同様の構成の部分については、同一の
符号を付し、説明を省略することとする。本例のプリン
トヘッドと先に示したプリントヘッドにおいて大きく異
なる点は、振動板１２２の突起部１５９，１４９上に第
１及び第２の積層型ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂでは
なく、板状の第１及び第２の圧電素子１６８ａ，１６８
ｂが載置されていることである。
【０２３７】この第１及び第２の圧電素子１６８ａ，１
６８ｂの分極及び電圧の印加方向は、これらに電圧を印
加した場合にこれらの面内方向に縮む方向となされてい
る。すなわち、電圧を印加することにより、第１及び第
２の圧電素子１６８ａ，１６８ｂが面内方向に縮み、突
起部１５９，１４９をそれぞれ介して振動板１２２を図
中矢印Ｍ2 方向に押圧して当該振動板１２２を面内方向
に撓ませるようになされている。
【０２３８】このようなプリントヘッドを有するプリン
タ装置において印刷を行うには、以下に示すようにすれ
ば良い。すなわち、印刷待機状態においては、駆動電圧
を印加せず、インク及び希釈液は表面張力と釣り合う位
置、すなわちインクノズル１３２及び希釈液ノズル１４
２の先端近傍にそれぞれメニスカスを形成する。
【０２３９】そして、インクを定量するべく、第２の圧
電素子１６８ｂに駆動電圧を印加する。すると、図５５
に示すように、第２の圧電素子１６８ｂが面内方向に撓
み、突起部１４９を介して振動板１２２を図中矢印Ｍ2
で示す方向に押圧する。その結果、インク圧力室１４５
の体積が減少して内圧が上昇し、インクはインクノズル
１３２から希釈液ノズル１４２に向けて押し出される。
【０２４０】ここで第２の圧電素子１６８ｂに印加する
電圧の電圧値は画像データの階調に応じた値に設定され
ているので、インクノズル１３２の先端から押し出され
るインク量は画像データに応じた量となる。
【０２４１】このとき、本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドにおいてもオリフィスプレート１２４上の撥液処
理膜１３０のインクノズル１３２と希釈液ノズル１４２
間に溝部を形成していることから、インクは微量であっ
ても希釈液ノズル１４２に向けて正確に押し出され、低
濃度領域においても正確な階調表現が行われ、広い範囲
の濃度階調が正確に再現されて高解像度の記録画像の形
成が可能となる。
【０２４２】続いて、このインクノズル１３２から押し
出された状態にあるインクは、希釈液ノズル１４２の先
端部近傍においてメニスカスを形成している希釈液と接
触して混合される。
【０２４３】次いで、インクが混合された希釈液を吐出
するべく、第１の圧電素子１６８ａに駆動電圧を印加す
る。すると、図５６に示すように、第１の圧電素子１６
８ａが面内方向に撓み、突起部１５９を介して振動板１
２２を図中矢印Ｍ2 で示す方向に押圧する。その結果、
希釈液圧力室１５５の体積が減少して内圧が上昇し、イ
ンクが混合された希釈液、すなわち混合溶液が希釈液ノ
ズル１４２から吐出される。この混合溶液が、画像デー
タに応じたインク濃度を有することは言うまでもない。
ここで、第１の圧電素子１６８ａに印加する駆動電圧の
時間変化は、希釈液ノズル１４２から混合溶液が吐出し
得るように設定されている。
【０２４４】これまで述べた例においては、インク導入
口１４６及び希釈液導入口１５６の径がインクノズル１
３２及び希釈液ノズル１４２の径よりも３０μｍ〜５０
μｍ大となされているプリントヘッドの例について述べ
たが、本発明はこれに限らず、インク圧力室１４５及び
希釈液圧力室１５５に圧力が印加された際に影響が生じ
ない範囲で、インク導入口１４６及び希釈液導入口１５
６の径をインクノズル１３２及び希釈液ノズル１４２の
径よりも大きくしても良い。
【０２４５】さらに、これまで述べた例においては、イ
ンク及び希釈液供給路１４４，１５４、インク及び希釈
液導入口１４６，１５６をオリフィスプレート１２４側
に配される形状としたが、これらは振動板１２２側に配
されるようにしても良い。
【０２４６】また、これまで述べた例においては、圧力
室形成部材とオリフィスプレートを別個に有するプリン
トヘッドの例について述べたが、オリフィスプレートと
してこれらの機能を兼ね備えるものを使用するようにし
ても良い。
【０２４７】このようなプリントヘッドとしては、図５
７に示すようなものが挙げられる。すなわち、オリフィ
スプレート１７１を射出成形により形成するようにす
る。このオリフィスプレート１７１においては、一主面
１７１ａに臨んで、希釈液バッファタンクを形成する孔
部１８５、希釈液供給路を形成する第２の凹部１８７、
希釈液圧力室を形成する第１の凹部１８６、希釈液導入
口を形成する第３の凹部１８８が連通するように形成さ
れ、この第３の凹部１８８の底面側から一主面１７１ａ
と反対側の主面１７１ｂに貫通する希釈液ノズル１９４
が形成されている。
【０２４８】また、このオリフィスプレート１７１にお
いては、一主面１７１ａに臨んで、インクバッファタン
クを形成する孔部１７５、インク供給路を形成する第５
の凹部１７７、インク圧力室を形成する第４の凹部１７
６、インク導入口を形成する第５の凹部１７８が連通す
るように形成され、この第５の凹部１７８の底面側から
一主面１７１ａと反対側の主面１７１ｂに貫通するイン
クノズル１８４が形成されている。なお、このオリフィ
スプレート１７１を形成する材料としては、ポリイミ
ド、ポリベンゾイミダゾール等が挙げられる。
【０２４９】そして、上記オリフィスプレート１７１の
希釈液ノズル１９４及びインクノズル１８４が開口する
一主面１７１ｂ側に撥液処理膜１３０を形成する１層目
及び２層目の膜１３０ａ，１３０ｂが形成される。さら
に、一主面１７１ａ側には第１の積層型ピエゾ素子１２
３ａと第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂが配される振動
板１２２が配され、インク供給管１５０と希釈液供給管
１６０も配される。なお、ここでは、前述したプリンタ
装置のプリントヘッドと同様の構成の部分においては同
一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【０２５０】本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いても撥液処理膜１３０の希釈液ノズル１９４とインク
ノズル１８４の開口面間に図示しない溝部を形成するよ
うにしており、これまで述べたプリンタ装置と同様の効
果が得られる。
【０２５１】なお、これまで述べた例においては、振動
板の大きさを圧力室形成部材の主面全体に接着し得る大
きさとした例について述べたが、本発明のプリンタ装置
においては、この振動板はインク圧力室及び希釈液圧力
室を覆う大きさを有していれば良い。この場合、振動板
の大きさがかなり小さくなるため、圧力室形成部材への
接着が非常に容易となる。
【０２５２】さらに、これまで述べた例においては、圧
力室形成部材をステンレススチール等よりなる厚さ０．
２ｍｍ程度の金属板により形成する例について述べてい
るが、この金属板の厚さはこれに限定されるものではな
く、エッチング工程に対する耐久性及び強度を確保する
べく、０．１ｍｍ以上とされていれば良い。
【０２５３】また、これまで述べた例においては、オリ
フィスプレートを圧力室形成部材に熱圧着する際の温度
を２３０℃程度とし、圧力を２０ｋｇｆ／ｃｍ2 〜３０
ｋｇｆ／ｃｍ2 としているが、本発明のプリンタ装置に
おいてはこれに限らず、接着強度を得ることができれ
ば、この他種々の条件でオリフイスプレートを圧力室形
成部材に熱圧着するようにしてもよい。
【０２５４】さらに、これまで述べた例においては、ノ
ズルの形成をエキシマレーザを用いたアブレーション加
工により行う例について述べたが、本発明のプリンタ装
置においては、これに限らず、炭酸ガスレーザ等、この
他種々のレーザを使用した加工を適用し得る。
【０２５５】さらにまた、これまで述べた例において
は、充填される溶液に圧力が印加される箇所として各圧
力室を示したが、これ以外の形態のものも適用可能であ
る。さらには、液体を定量及び吐出する箇所としてノズ
ルを示したが、これ以外の形態のものも適用可能であ
る。
【０２５６】さらに、これまで述べた例においては、オ
リフィスプレートを形成する材料として、ガラス転移点
が２５０℃以下の樹脂材料、例えば厚さが５０μｍでガ
ラス転移点が２５０℃以下の三井東圧化学株式会社製の
熱可塑性ポリイミド材料を用いた例について述べたが、
本発明のプリンタ装置においてはこれに限らず、種々の
樹脂材料を適用し得る。
【０２５７】さらにまた、上述の例においては、オリフ
ィスプレートを例えば厚さが略１２５μｍでガラス転移
点が２５０℃以上のデュポン社製のポリイミドフィルム
カプトン（商品名）よりなる板材上に、例えば厚さが
略７μｍでガラス転移点が２５０℃以下の三井東圧化学
株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネオフレックス
（商品名）よりなる樹脂膜が形成された材料により形成
する例についても述べたが、本発明のプリンタ装置にお
いては、これに限らず、ガラス転移点が２５０℃以上の
板材とガラス転移点が２５０℃以下の樹脂膜が形成され
た材料であれば、種々の材料が適用可能である。
【０２５８】本発明は、これまで述べたシリアル型或い
はライン型の他、ドラム回転型のプリンタ装置にも適用
可能である。上記ドラム回転型プリンタ装置は、図５８
に示すような構成を有する。図５８中においては、先に
示した図１との対応部分には同一符号を付して示し、そ
の説明を省略するとともに、制御機構を示す部分の図示
を省略する。このプリンタ装置においては、ドラム２が
回転するとその回転に同期してプリントヘッド部３から
インクが吐出され、プリント紙１上に画像が形成され
る。ドラム２が図中矢印ｍで示す方向に１回転してプリ
ント紙１上に円周方向に１列の印刷が完了すると、送り
ねじ５が回転してプリントヘッド部３を図中矢印Ｍ´で
示す方向に１ピッチ分移動させ、次の列の印刷を行う。
この場合、ドラム２と送りねじ５を同時に回転させ、印
刷しながらプリントヘッド部３を徐々に移動させる方法
もある。マルチノズルヘッドの場合や同じ場所を何度か
印字するような構成の場合は、ドラム２と送りねじ５と
を連動して同時に回転させながらスパイラル状の印字を
行う。
【０２５９】これまでの例においては、キャリアジェッ
ト方式のプリンタ装置について述べてきたが、本発明が
インクに希釈液を混合しながら吐出する濃度変調型のイ
ンクジェット方式のプリンタ装置にも適用可能であるこ
とは言うまでもない。
【０２６０】濃度変調型のインクジェット方式のプリン
タ装置においては、低濃度の表現力がキャリアジェット
方式のプリンタ装置に比較して劣るものの、逆に高濃度
部分において十分なインク濃度を得ることができる。
【０２６１】また、キャリアジェット方式及び濃度変調
型のインクジェット方式の何れにおいても、いわゆる連
続階調記録が可能であるため、特に写真画像等の印刷を
行う場合、滑らかな濃淡表現が可能であり、好適であ
る。
【０２６２】
【実施例】次に、本発明のプリンタ装置の効果を確認す
るべく、以下に示すような実験を行った。なお、ここで
は、プリントヘッドのノズル開口面に撥液処理膜が形成
されており、上記撥液処理膜の一部が選択的に除去され
て溝部が形成されているプリンタ装置の効果を確認する
ものとし、撥液処理膜に溝部を形成することにより、こ
の部分の濡れ性を他の部分よりも高めることが可能であ
ることを確認する実験を行うこととした。
【０２６３】先ず、サンプルを作製した。すなわち、図
５９に示すように、厚さ０．５ｍｍのＳｉ基板１９１上
に厚さ０．０５μｍのＴａ2 Ｏ5 スパッタ膜１９２を形
成し、その上に厚さ０．０５μｍのＳｉＯ2 スパッタ膜
１９３を形成し、さらに厚さ１μｍの第１のポリイミド
膜１９５を形成し、最上層として溝部１９７に応じた部
分が選択的に除去されてなる厚さ０．０３μｍの第２の
ポリイミド膜１９６が形成されたサンプルをサンプル１
として用意した。すなわち、溝部１９７の深さは必然的
に０．０３μｍとなる。
【０２６４】次に、図６０に示すように、Ｓｉ基板１９
１上にＴａ2 Ｏ5 スパッタ膜１９２を形成し、その上に
ＳｉＯ2 スパッタ膜１９３を形成し、さらに第１のポリ
イミド膜１９５を形成し、この第１のポリイミド膜１９
３の一部を除去して溝部１９７を形成したサンプルをサ
ンプル２として用意した。このとき、溝部１９７の深さ
は、０．０４μｍ〜０．０８μｍ程度となるものと思わ
れる。
【０２６５】さらに、図６１に示すように、Ｓｉ基板１
９１上にＴａ2 Ｏ5 スパッタ膜１９２を形成し、その上
にＳｉＯ2 スパッタ膜１９３を形成し、最上層として溝
部１９７に応じた部分が選択的に除去されてなる厚さ
０．０３μｍの第２のポリイミド膜１９６が形成された
サンプルをサンプル３として用意した。すなわち、溝部
１９７の深さは必然的に０．０３μｍとなる。
【０２６６】なお、各サンプルともに、溝部１９７のパ
ターニング周期Λを２．５μｍとした。また、各サンプ
ルの溝の幅は１．０μｍ程度であり、溝ではない凸部の
幅は１．５μｍであった。
【０２６７】そして、これらサンプル１〜３の溝部形成
面に対し、表面張力が３１ｄｙｎ／ｃｍ〜３２ｄｙｎ／
ｃｍ程度となるように、水とグリコールを混合した溶液
を接触させた場合の溝部形成方向の接触角とこれに垂直
な方向の接触角を調査した。また、インクの代わりに純
水を接触させた場合の溝部形成方向の接触角とこれに垂
直な方向の接触角も調査した。なお、純水を表面が平滑
面とされている第２のポリイミド膜１９６に接触させた
場合の接触角は９２．３ｄｅｇである。結果を表１に示
す。なお、溝部形成方向の接触角をＡ、溝部形成方向に
垂直な方向の接触角をＢとして示す。
【０２６８】
【表１】
【０２６９】表１の結果を見てわかるように、表面張力
が大きい純水においては、サンプル１〜３ともに溝部形
成方向の接触角と溝部形成方向に垂直な方向の接触角に
差異が認められなかった。
【０２７０】しかしながら、サンプル１，２の結果とサ
ンプル３の結果から、溝部の底面に撥液処理膜があるサ
ンプル１，２においては濡れ難く、溝部の底面に撥液処
理膜がないサンプル３においては濡れ易いことが確認さ
れた。すなわち、溝部の底面に撥液処理膜がない場合、
ノズル間の自然混合が発生する可能性があるものと考え
られる。さらに、サンプル１，２の結果を比較すると、
溝部の深さが濡れ易さに影響を及ぼすことがわかる。
【０２７１】また、表１の結果を見てわかるように、表
面張力が小さいインクにおいては、サンプル１〜３とも
に溝部形成方向、溝部形成方向に垂直な方向の何れにお
いても純水の場合よりも接触角が小さく、濡れ易いこと
が確認された。さらに、溝部形成方向の接触角の方が溝
部形成方向に垂直な方向の接触角よりも小さく、差異が
認められ、溝部の形成方向により液体が流れる方向を規
制することが可能であることが確認された。
【０２７２】すなわち、前述したプリンタ装置のように
インクノズルと希釈液ノズル間を接続するような方向に
溝部を形成すれば、インクは溝部形成方向に流れ易くな
ることが確認された。さらに、サンプル１，２の結果を
比較すると、溝部の深さが濡れ易さに影響を及ぼすこと
がわかる。
【０２７３】従って、これらのことから本発明を適用し
たプリンタ装置のようにプリントヘッドのノズル開口面
に溝部を形成すれば、定量媒体の押し出し方向を規制す
ることが可能であり、また底面に撥液処理膜を有するよ
うにすることで自然混合が回避されることをが確認され
た。
【０２７４】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のプリンタ装置においては、プリントヘッドのノズル
開口面に互いに隣合って開口している第１及び第２のノ
ズルの開口部間に、例えば第２のノズルの開口部から第
１のノズルの開口部にわたる溝部を形成しており、第２
のノズルから滲み出す定量媒体は毛管現象により上記溝
部を伝って第１のノズルに向けて供給されるため、この
定量媒体が溝部以外の部分に漏れにくく、ノズル開口部
周辺への定量媒体の付着が抑えられる。
【０２７５】また、この溝部を第２のノズルの開口部か
ら第２のノズルの開口部と第１のノズルの開口部間の中
途部にわたって形成すれば、定量媒体を第２のノズルか
ら第１のノズルに向けて滲み出させた後に、所定量の定
量媒体を第１のノズル開口部近傍に残存させて定量を行
うべく定量媒体を第２のノズル内に引き込む際の定量媒
体の引き込みが良好に行われて、ノズル開口部周辺への
定量媒体の付着が抑えられる。
【０２７６】さらに、この溝部を第１のノズルの開口部
から第１のノズルの開口部と第２のノズルの開口部間の
中途部にわたっても形成されているものとすれば、上述
のようにして定量媒体の定量を行う際に、定量媒体の定
量分と引き込み分の分離がさらに良好に行われて、ノズ
ル開口部周辺への定量媒体の付着が抑えられる。
【０２７７】なお、この溝部の幅を第２のノズルの開口
径よりも小さいものとすれば、毛管現象がより起こり易
い。
【０２７８】さらに、この溝部を第２のノズルの開口部
から第２のノズルの開口部と第１のノズルの開口部間の
中途部にわたって形成する場合に、溝部の深さを第２の
ノズルから第１のノズル側に向かうに従って浅くなって
いくようにすれば、定量媒体の定量がより良好に行われ
る。
【０２７９】そして、溝部を第１のノズルの開口部から
第１のノズルの開口部と第２のノズルの開口部間の中途
部にわたっても形成する場合に、溝部の深さを第１のノ
ズルから第２のノズル側に向かうに従って浅くなってい
くようにすれば、定量媒体の定量がさらに良好に行われ
る。
【０２８０】さらにまた、このプリンタ装置のプリント
ヘッドのノズル開口面の少なくとも第２のノズル開口部
周辺に第２のノズル開口部を囲むように凹部を形成す
る、さらには第１のノズル開口部周辺にも第１のノズル
開口部を囲むように凹部を形成すれば、インク、希釈
液、混合溶液のノズル開口部周辺への広がりがさらに抑
えられる。
【０２８１】また、本発明のプリンタ装置においては、
プリントヘッドのノズル開口面に互いに隣合って開口し
ている第１及び第２のノズルの開口部間に、例えば第２
のノズルの開口部から第１のノズルの開口部にわたる親
水加工部を形成しており、上記親水加工部の定量媒体に
対する濡れ性が比較的良好であることから、第２のノズ
ルから滲み出す定量媒体は上記親水加工部を伝って第１
のノズルに向けて供給され、この定量媒体が親水加工部
以外の部分に漏れにくく、ノズル開口部周辺への定量媒
体の付着が抑えられる。
【０２８２】そして、この親水加工部を第２のノズルの
開口部から第２のノズルの開口部と第１のノズルの開口
部間の中途部にわたって形成するものとすれば、定量媒
体を第２のノズルから第１のノズルに向けて滲み出させ
た後に、所定量の定量媒体を第１のノズル開口部近傍に
残存させて定量を行うべく定量媒体を第２のノズル内に
引き込む際の定量媒体の引き込みが良好に行われて、ノ
ズル開口部周辺への定量媒体の付着が抑えられる。
【０２８３】さらに、この親水加工部を第１のノズルの
開口部から第１のノズルの開口部と第２のノズルの開口
部間の中途部にわたっても形成されているものとすれ
ば、上述のようにして定量媒体の定量を行う際に、定量
媒体の定量分と引き込み分の分離がさらに良好に行われ
て、ノズル開口部周辺への定量媒体の付着が抑えられ
る。
【０２８４】さらにまた、このプリンタ装置のプリント
ヘッドのノズル開口面の親水加工部以外の部分を撥水加
工部とすれば、定量媒体は親水加工部をさらに選択して
伝うようになる。
【０２８５】そして、このプリンタ装置のプリントヘッ
ドのノズル開口面の少なくとも第２のノズル開口部周辺
に第２のノズル開口部を囲むように親水加工部を形成す
る、さらには第１のノズル開口部周辺にも第１のノズル
開口部を囲むように親水加工部を形成すれば、インク、
希釈液、混合溶液のノズル開口部周辺への広がりがさら
に抑えられる。
【０２８６】また、本発明のプリンタ装置において、前
述の親水加工部を無加工部とし、残りの部分を撥水加工
部としても、親水加工部を形成した場合と同様の作用が
得られる。
【０２８７】さらに、本発明のプリンタ装置において
は、プリントヘッドのノズル開口面に互いに隣合って開
口している第１及び第２のノズルの開口部間に島状の突
起部を形成しており、 第２のノズルから滲み出す定量
媒体は毛管現象により上記突起部の輪郭に沿って伝わっ
て第１のノズルに向けて供給されるため、この定量媒体
が突起部以外の部分に広がりにくく、ノズル開口部周辺
への定量媒体の付着が抑えられる。
【０２８８】従って、これら本発明のプリンタ装置にお
いては、プリント不良が抑えられ、濃度階調が正確に再
現されて高解像度の記録画像の形成が可能となる。
【０２８９】また、本発明のプリンタ装置においては、
プリントヘッドのノズル開口面に撥液処理膜を形成し、
互いに隣合って開口している第１及び第２のノズルの開
口部間に、上記撥液処理膜の一部を選択的に除去して溝
部を形成するようにしている。
【０２９０】固体と液体の界面における「濡れやすさ」
とは、固体表面の表面荒さの影響を受ける。すなわち、
固体と液体のそれぞれの材料自体における液体と固体と
の接触部分の接触角度（言いかえると、表面荒さが零の
場合における接触角度）が９０（ｄｅｇ．）よりも大き
い場合においては、表面荒さが大きくなるほど、液体と
固体は濡れ難くなるが、固体と液体のそれぞれの材料自
体における液体と固体との接触部分の接触角度（言いか
えると、表面荒さが零の場合における接触角度）が９０
（ｄｅｇ．）よりも小さい場合においては、表面荒さが
大きくなるほど、液体と固体は濡れやすくなる。
【０２９１】本発明のプリンタ装置において使用される
定量媒体においては、撥液材料との接触角度は９０（ｄ
ｅｇ．）以下となり、上述の表面荒さが大きくなるほ
ど、濡れやすくなることとなる。
【０２９２】従って、本発明のプリンタ装置において
は、撥液処理膜の一部を選択的に除去して形成した溝部
は、他の部分よりも表面荒さが荒く、濡れ易くなり、定
量媒体はこの溝部近傍を選択して押し出されることとな
る。このことから、微量の定量媒体であっても第１のノ
ズルに向けて確実に押し出され、低濃度領域においても
正確な階調表現が行われ、広い範囲の濃度階調が正確に
再現されて高解像度の記録画像の形成が可能となる。
【０２９３】また、このことから、表現可能な階調の幅
を広げるために第１のノズルと第２のノズルを極力近づ
けて形成する必要がなくなり、製造装置の機械的な位置
精度を高める必要がなくなり、作業が容易となり、製造
コストを高めることなく、安定して製造することが可能
である。
【０２９４】さらに本発明のプリンタ装置においては、
溝部の幅を第２のノズルの開口径よりも小さくしてい
る。このように、溝部の幅を第２のノズルの開口径より
も小さくすれば、第２のノズルより押し出された直後の
定量媒体の液滴の曲率半径よりも溝部の幅が小さくな
り、定量媒体はこの溝部を他の部分よりも表面荒さが荒
い部分として選択し易くなり、定量媒体が第１のノズル
に向けてより確実に押し出される。
【０２９５】上述したことは、溝部が複数形成されてい
ても同様であり、定量媒体はこれら溝部近傍を選択して
押し出されることとなる。また、このように、複数の溝
部を有する場合において、複数の溝部が形成される部分
の幅を第２のノズルの開口径よりも小さくすれば、定量
媒体はこれら溝部を他の部分よりも表面荒さが荒い部分
として選択し易くなり、定量媒体が第１のノズルに向け
てより確実に押し出される。
【０２９６】また、本発明のプリンタ装置において、溝
部の底面に撥液処理膜を有するようにすれば、印刷待機
時において溝部を通じて定量媒体と吐出媒体が自然混合
してしまうことがない。
【０２９７】さらに、本発明のプリンタ装置を製造する
に際し、撥液処理膜を２層の膜を積層塗布して形成し、
上層の一部のみを選択除去するようにすれば、底部に撥
液処理膜を有する溝部が容易に形成される。
【０２９８】そして、撥液処理膜を感光性のポリイミド
系材料により形成すれば、溝部はフォトリソグラフィー
技術により容易に形成される。撥液処理膜を２層の膜を
積層塗布して形成する場合には、少なくとも上層となる
膜を感光性のポリイミド系材料により形成すれば、溝部
はフォトリソグラフィー技術により容易に形成され、生
産性も良好となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したプリンタ装置の一例を模式的
に示す要部概略斜視図である。
【図２】本発明を適用したプリンタ装置の他の例を模式
的に示す要部概略斜視図である。
【図３】本発明を適用したプリンタ装置の一例の印字及
び制御系のブロック図である。
【図４】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘッ
ドを示す要部概略断面図である。
【図５】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘッ
ドのオリフィスプレート近傍を拡大して示す要部概略断
面図である。
【図６】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘッ
ドの駆動電圧の印加タイミングを示すチャートである。
【図７】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘッ
ドの駆動回路を示す回路ブロック図である。
【図８】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘッ
ドの一例を示す要部拡大平面図である。
【図９】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘッ
ドの他の例を示す要部拡大平面図である。
【図１０】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図１１】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図１２】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大断面図である。
【図１３】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大断面図である。
【図１４】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図１５】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大断面図である。
【図１６】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大断面図である。
【図１７】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図１８】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図１９】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図２０】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図２１】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図２２】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大断面図である。
【図２３】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図２４】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図２５】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図２６】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図２７】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図２８】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図２９】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大断面図である。
【図３０】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大平面図である。
【図３１】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドのさらに他の例を示す要部拡大断面図である。
【図３２】本発明を適用したプリンタ装置の他の例の印
字及び制御系のブロック図である。
【図３３】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドの駆動回路を示す回路ブロック図である。
【図３４】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図３５】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドを示す要部概略平面図である。
【図３６】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのノズル開口面を模式的に示す要部拡大平
面図である。
【図３７】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのインク圧力室及び希釈液圧力室の体積が
増大した状態を示す要部概略断面図である。
【図３８】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのインク圧力室の体積が元の状態に戻った
様子を示す要部概略断面図である。
【図３９】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、ステンレス部材上にレジスト
を形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図４０】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、エッチングした状態を示す要
部概略断面図である。
【図４１】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、圧力室形成部材を形成する工
程を示す要部概略断面図である。
【図４２】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、圧力室形成部材上にオリフィ
スプレートを配する工程を示す要部概略断面図である。
【図４３】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、オリフィスプレート上に１層
目の膜を形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図４４】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、１層目の膜の上に２層目の膜
を形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図４５】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、２層目の膜上にマスク材料を
形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図４６】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、２層目の膜をエッチングした
状態を示す要部概略断面図である。
【図４７】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、撥液処理膜を完成した状態を
示す要部概略断面図である。
【図４８】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、ノズル形成工程を示す要部概
略断面図である。
【図４９】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法を
工程順に示すものであり、圧力室形成部材に振動板を接
着する工程を示す要部概略断面図である。
【図５０】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのノズル開口面の他の例を模式的に示す要
部拡大平面図である。
【図５１】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのノズル開口面のさらに他の例を模式的に
示す要部拡大平面図である。
【図５２】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのノズル開口面のさらに他の例を模式的に
示す要部拡大平面図である。
【図５３】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのオリフィスプレートの他の例を示す断面
図である。
【図５４】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図５５】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドのインク圧力室の体積が減少した状
態を示す要部概略断面図である。
【図５６】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドの希釈液圧力室の体積が減少した状
態を示す要部概略断面図である。
【図５７】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図５８】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例を模式的に示す要部概略斜視図である。
【図５９】実験に使用したサンプル１を示す断面図であ
る。
【図６０】実験に使用したサンプル２を示す断面図であ
る。
【図６１】実験に使用したサンプル３を示す断面図であ
る。
【図６２】従来のプリンタ装置のプリントヘッドにおい
てノズル開口部周辺に液体が付着している状態の一例を
示す要部拡大平面図である。
【図６３】従来のプリンタ装置のプリントヘッドにおい
てノズル開口部周辺に液体が付着している状態の他の例
を示す要部拡大平面図である。
【図６４】従来のプリンタ装置のプリントヘッドのノズ
ル開口部周辺を模式的に示す要部拡大平面図である。
【図６５】従来のプリンタ装置のプリントヘッドのノズ
ル開口部周辺を模式的に示す要部拡大平面図である。
【符号の説明】
３ プリントヘッド、３４，６４，７４，８４ 第１の
ノズル、３６，６６，７６，８６ 第２のノズル、３
８，６８，７８，８８，１２４ オリフィスプレート、
３８ａ，６８ａ，７８ａ，８８ａ 一主面、４０ 第
１の圧力室、４１第２の圧力室、５３ 親水加工部、５
４ 撥水加工部、６３，６５，６７，６９，７０，７
１，７３，８０，８１，８２，１３１，１６２，１６
３，１６４溝部、７５，７７ 凹部、８３ 突起部、１
３０ 撥液処理膜、１３２ インクノズル、１４２ 希
釈液ノズル、１４５ インク圧力室、１５５ 希釈液圧
力室
フロントページの続き (72)発明者 岡本 健司 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 木島 公一朗 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内

Claims (50)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 吐出媒体が導入される第１の圧力室と、
    定量媒体が導入される第２の圧力室とを有し、上記第１
    の圧力室に連通する第１のノズル及び第２の圧力室に連
    通する第２のノズルとを互いに隣合うように開口して有
    し、第２のノズルから第１のノズルに向けて定量媒体を
    滲み出させた後、第１のノズルから吐出媒体を吐出させ
    て定量媒体と吐出媒体を混合吐出するプリントヘッドを
    有するプリンタ装置において、 プリントヘッドのノズル開口面の第１のノズルの開口部
    と第２のノズルの開口部の間に溝部が形成されているこ
    とを特徴とするプリンタ装置。
  2. 【請求項２】 溝部の幅が第２のノズルの開口径よりも
    小さいことを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。
  3. 【請求項３】 溝部が少なくとも第２のノズルの開口部
    に接続されていることを特徴とする請求項１記載のプリ
    ンタ装置。
  4. 【請求項４】 溝部が第２のノズルの開口部から第１の
    ノズルの開口部にわたって形成されていることを特徴と
    する請求項３記載のプリンタ装置。
  5. 【請求項５】 溝部として第２のノズルの開口部から第
    ２のノズルの開口部と第１のノズルの開口部間の中途部
    にわたる第１の溝部が形成されていることを特徴とする
    請求項３記載のプリンタ装置。
  6. 【請求項６】 第１の溝部の深さが第２のノズルから第
    １のノズル側に向かうに従って浅くなっていくことを特
    徴とする請求項５記載のプリンタ装置。
  7. 【請求項７】 溝部として第１のノズルの開口部から第
    １のノズルの開口部と第２のノズルの開口部間の中途部
    にわたる第２の溝部も形成されていることを特徴とする
    請求項５記載のプリンタ装置。
  8. 【請求項８】 第２の溝部の深さが第１のノズルから第
    ２のノズル側に向かうに従って浅くなっていくことを特
    徴とする請求項７記載のプリンタ装置。
  9. 【請求項９】 プリントヘッドのノズル開口面の少なく
    とも第２のノズル開口部周辺に第２のノズル開口部を囲
    むように凹部が形成されていることを特徴とする請求項
    １記載のプリンタ装置。
  10. 【請求項１０】 プリントヘッドのノズル開口面の第１
    のノズル開口部周辺にも第１のノズル開口部を囲むよう
    に凹部が形成されていることを特徴とする請求項９記載
    のプリンタ装置。
  11. 【請求項１１】 吐出媒体が導入される第１の圧力室
    と、定量媒体が導入される第２の圧力室とを有し、上記
    第１の圧力室に連通する第１のノズル及び第２の圧力室
    に連通する第２のノズルとを互いに隣合うように開口し
    て有し、第２のノズルから第１のノズルに向けて定量媒
    体を滲み出させた後、第１のノズルから吐出媒体を吐出
    させて定量媒体と吐出媒体を混合吐出するプリントヘッ
    ドを有するプリンタ装置において、 プリントヘッドのノズル開口面の第１のノズルの開口部
    と第２のノズルの開口部間に親水加工部が形成されてい
    ることを特徴とするプリンタ装置。
  12. 【請求項１２】 プリントヘッドのノズル開口面の親水
    加工部以外の部分が撥水加工部とされていることを特徴
    とする請求項１１記載のプリンタ装置。
  13. 【請求項１３】 親水加工部が少なくとも第２のノズル
    の開口部に接続されていることを特徴とする請求項１１
    記載のプリンタ装置。
  14. 【請求項１４】 親水加工部が第２のノズルの開口部か
    ら第１のノズルの開口部にわたって形成されていること
    を特徴とする請求項１３記載のプリンタ装置。
  15. 【請求項１５】 親水加工部が第２のノズルの開口部か
    ら第２のノズルの開口部と第１のノズルの開口部間の中
    途部にわたって形成されていることを特徴とする請求項
    １３記載のプリンタ装置。
  16. 【請求項１６】 親水加工部が第１のノズルの開口部か
    ら第１のノズルの開口部と第２のノズルの開口部間の中
    途部にわたっても形成されていることを特徴とする請求
    項１５記載のプリンタ装置。
  17. 【請求項１７】 プリントヘッドのノズル開口面の少な
    くとも第２のノズル開口部周辺に第２のノズル開口部を
    囲むように親水加工部が形成されていることを特徴とす
    る請求項１１記載のプリンタ装置。
  18. 【請求項１８】 プリントヘッドのノズル開口面の第１
    のノズル開口部周辺にも第１のノズル開口部を囲むよう
    に親水加工部が形成されていることを特徴とする請求項
    １７記載のプリンタ装置。
  19. 【請求項１９】 吐出媒体が導入される第１の圧力室
    と、定量媒体が導入される第２の圧力室とを有し、上記
    第１の圧力室に連通する第１のノズル及び第２の圧力室
    に連通する第２のノズルとを互いに隣合うように開口し
    て有し、第２のノズルから第１のノズルに向けて定量媒
    体を滲み出させた後、第１のノズルから吐出媒体を吐出
    させて定量媒体と吐出媒体を混合吐出するプリントヘッ
    ドを有するプリンタ装置において、 プリントヘッドのノズル開口面の第１のノズルの開口部
    と第２のノズルの開口部間に無加工部を形成し、残りの
    部分を撥水加工部としていることを特徴とするプリンタ
    装置。
  20. 【請求項２０】 無加工部が少なくとも第２のノズルの
    開口部に接続されていることを特徴とする請求項１９記
    載のプリンタ装置。
  21. 【請求項２１】 無加工部が第２のノズルの開口部から
    第１のノズルの開口部にわたって形成されていることを
    特徴とする請求項２０記載のプリンタ装置。
  22. 【請求項２２】 無加工部が第２のノズルの開口部から
    第２のノズルの開口部と第１のノズルの開口部間の中途
    部にわたって形成されていることを特徴とする請求項２
    ０記載のプリンタ装置。
  23. 【請求項２３】 無加工部が第１のノズルの開口部から
    第１のノズルの開口部と第２のノズルの開口部間の中途
    部にわたっても形成されていることを特徴とする請求項
    ２２記載のプリンタ装置。
  24. 【請求項２４】 プリントヘッドのノズル開口面の少な
    くとも第２のノズル開口部周辺に第２のノズル開口部を
    囲むように無加工部が形成されていることを特徴とする
    請求項１９記載のプリンタ装置。
  25. 【請求項２５】 プリントヘッドのノズル開口面の第１
    のノズル開口部周辺にも第１のノズル開口部を囲むよう
    に無加工部が形成されていることを特徴とする請求項２
    ４記載のプリンタ装置。
  26. 【請求項２６】 吐出媒体が導入される第１の圧力室
    と、定量媒体が導入される第２の圧力室とを有し、上記
    第１の圧力室に連通する第１のノズル及び第２の圧力室
    に連通する第２のノズルとを互いに隣合うように開口し
    て有し、第２のノズルから第１のノズルに向けて定量媒
    体を滲み出させた後、第１のノズルから吐出媒体を吐出
    させて定量媒体と吐出媒体を混合吐出するプリントヘッ
    ドを有するプリンタ装置において、 プリントヘッドのノズル開口面の第１のノズルの開口部
    と第２のノズルの開口部の間に島状の突起部が形成され
    ていることを特徴とするプリンタ装置。
  27. 【請求項２７】 プリントヘッドのノズル開口面に撥液
    処理膜が形成されており、上記撥液処理膜の一部が選択
    的に除去されて溝部が形成されていることを特徴とする
    請求項１記載のプリンタ装置。
  28. 【請求項２８】 溝部の幅が第２のノズルの開口径より
    も小さいことを特徴とする請求項２７記載のプリンタ装
    置。
  29. 【請求項２９】 溝部が少なくとも第２のノズルの開口
    部に接続されていることを特徴とする請求項２７記載の
    プリンタ装置。
  30. 【請求項３０】 溝部が第２のノズルの開口部から第１
    のノズルの開口部にわたって形成されていることを特徴
    とする請求項２９記載のプリンタ装置。
  31. 【請求項３１】 溝部が複数形成されていることを特徴
    とする請求項２７記載のプリンタ装置。
  32. 【請求項３２】 複数の溝部が少なくとも第２のノズル
    の開口部に接続されていることを特徴とする請求項３１
    記載のプリンタ装置。
  33. 【請求項３３】 複数の溝部が形成される部分の幅が第
    ２のノズルの開口径よりも狭いことを特徴とする請求項
    ３２記載のプリンタ装置。
  34. 【請求項３４】 複数の溝部が第２のノズルの開口部か
    ら第１のノズルの開口部にわたって形成されていること
    を特徴とする請求項３２記載のプリンタ装置。
  35. 【請求項３５】 第２のノズルの開口部に接続されて形
    成されている複数の溝部と直交する方向にも複数の溝部
    が形成されていることを特徴とする請求項３４記載のプ
    リンタ装置。
  36. 【請求項３６】 撥液処理膜が塗布型の撥液材料を塗布
    することにより形成されていることを特徴とする請求項
    ２７記載のプリンタ装置。
  37. 【請求項３７】 溝部の底面に撥液処理膜を有すること
    を特徴とする請求項２７記載のプリンタ装置。
  38. 【請求項３８】 撥液処理膜がポリイミド系材料よりな
    ることを特徴とする請求項３６記載のプリンタ装置。
  39. 【請求項３９】 溝部底面の撥液処理膜がポリイミド系
    材料よりなることを特徴とする請求項３６記載のプリン
    タ装置。
  40. 【請求項４０】 ポリイミド系材料が感光性材料である
    ことを特徴とする請求項３８記載のプリンタ装置。
  41. 【請求項４１】 第１の圧力室とこれに連通する第１の
    ノズルと、第２の圧力室とこれに連通する第２のノズル
    とを形成し、プリントヘッドを形成する工程と、 プリントヘッドの第１のノズル及び第２のノズルのノズ
    ル開口面に撥液処理膜を形成し、この撥液処理膜の一部
    を選択的に除去して第１のノズルの開口部と第２のノズ
    ルの開口部の間に溝部を形成する工程を有することを特
    徴とするプリンタ装置の製造方法。
  42. 【請求項４２】 溝部の形成を第１のノズル及び第２の
    ノズルの形成よりも先に行うことを特徴とする請求項４
    １記載のプリンタ装置の製造方法。
  43. 【請求項４３】 撥液処理膜を２層の膜を積層塗布して
    形成し、上層の一部のみを選択除去して底部に撥液処理
    膜を有する溝部を形成することを特徴とする請求項４１
    記載のプリンタ装置の製造方法。
  44. 【請求項４４】 撥液処理膜がポリイミド系材料よりな
    ることを特徴とする請求項４１記載のプリンタ装置の製
    造方法。
  45. 【請求項４５】 ポリイミド系材料が感光性材料である
    ことを特徴とする請求項４４記載のプリンタ装置の製造
    方法。
  46. 【請求項４６】 上層となる膜がポリイミド系材料より
    なることを特徴とする請求項４３記載のプリンタ装置の
    製造方法。
  47. 【請求項４７】 ポリイミド系材料が感光性材料である
    ことを特徴とする請求項４６記載のプリンタ装置の製造
    方法。
  48. 【請求項４８】 下層となる膜がポリイミド系材料より
    なることを特徴とする請求項４３記載のプリンタ装置の
    製造方法。
  49. 【請求項４９】 下層となる膜が重合形成を必要とする
    膜であり、上層となる膜の塗布を下層となる膜の重合形
    成よりも前に行うことを特徴とする請求項４３記載のプ
    リンタ装置の製造方法。
  50. 【請求項５０】 撥液処理膜の選択除去がフォトリソグ
    ラフィー技術により行われることを特徴とする請求項４
    １記載のプリンタ装置の製造方法。
JP8318185A 1996-01-31 1996-11-28 プリンタ装置及びその製造方法 Withdrawn JPH09267494A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8318185A JPH09267494A (ja) 1996-01-31 1996-11-28 プリンタ装置及びその製造方法
US08/787,269 US6257700B1 (en) 1996-01-31 1997-01-24 Printing apparatus and method for controlling the spread of fluid around a nozzle orifice
EP97400232A EP0787588B1 (en) 1996-01-31 1997-01-31 Print head and method for controlling the spread of fluid around a nozzle orifice
DE69703255T DE69703255T2 (de) 1996-01-31 1997-01-31 Druckkopf und Verfahren zum Kontrollieren der Ausbreitung eines Fluids um eine Düsenöffnung
US09/349,982 US6276057B1 (en) 1996-01-31 1999-07-09 Method for controlling the spread of fluid around a nozzle orifice

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8-15968 1996-01-31
JP1596896 1996-01-31
JP8318185A JPH09267494A (ja) 1996-01-31 1996-11-28 プリンタ装置及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09267494A true JPH09267494A (ja) 1997-10-14

Family

ID=26352203

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8318185A Withdrawn JPH09267494A (ja) 1996-01-31 1996-11-28 プリンタ装置及びその製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (2) US6257700B1 (ja)
EP (1) EP0787588B1 (ja)
JP (1) JPH09267494A (ja)
DE (1) DE69703255T2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6749296B2 (en) 1997-07-02 2004-06-15 Seiko Epson Corporation Ink jet recording apparatus
JP2004198421A (ja) * 2002-12-13 2004-07-15 Xerox Corp 圧電変換器
JP2006182014A (ja) * 2004-12-01 2006-07-13 Fuji Photo Film Co Ltd 撥液増大構造体およびその製造方法、液体吐出ヘッドならびに防汚フィルム
KR100693700B1 (ko) * 1999-09-09 2007-03-09 휴렛-팩커드 컴퍼니(델라웨어주법인) 인쇄 시스템에 사용하기 위한 부품, 프린트 카트리지,인쇄 시스템에 사용하기 위한 부품 제조 방법 및 폴리머오리피스 플레이트 제조 방법
JP2007510536A (ja) * 2003-11-04 2007-04-26 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ インクジェット印刷における増加される液滴配置精度

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6624382B2 (en) * 1997-01-30 2003-09-23 Anvik Corporation Configured-hole high-speed drilling system for micro-via pattern formation, and resulting structure
US6193347B1 (en) 1997-02-06 2001-02-27 Hewlett-Packard Company Hybrid multi-drop/multi-pass printing system
US6259463B1 (en) 1997-10-30 2001-07-10 Hewlett-Packard Company Multi-drop merge on media printing system
JP3768645B2 (ja) * 1997-06-18 2006-04-19 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
US6193345B1 (en) * 1997-10-30 2001-02-27 Hewlett-Packard Company Apparatus for generating high frequency ink ejection and ink chamber refill
US6234613B1 (en) 1997-10-30 2001-05-22 Hewlett-Packard Company Apparatus for generating small volume, high velocity ink droplets in an inkjet printer
US6179413B1 (en) 1997-10-31 2001-01-30 Hewlett-Packard Company High durability polymide-containing printhead system and method for making the same
FR2779667B1 (fr) * 1998-06-12 2001-06-29 Eastman Kodak Co Dispositif pour gerer le deplacement de fluides
US6435665B2 (en) 1998-06-12 2002-08-20 Eastman Kodak Company Device for controlling fluid movement
GB2338928B (en) 1998-07-02 2000-08-09 Tokyo Electric Co Ltd A driving method of an ink-jet head
GB2338927B (en) * 1998-07-02 2000-08-09 Tokyo Electric Co Ltd A driving method of an ink-jet head
US6421365B1 (en) * 1999-11-18 2002-07-16 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
EP1292786B1 (en) * 2000-06-19 2008-07-02 Ross Operating Valve Company Intrinsically safe microprocessor controlled pressure regulator
KR100408268B1 (ko) * 2000-07-20 2003-12-01 삼성전자주식회사 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 및 그 제조방법
US6443564B1 (en) 2000-11-13 2002-09-03 Hewlett-Packard Company Asymmetric fluidic techniques for ink-jet printheads
DE10207292B4 (de) * 2002-02-21 2005-08-11 Siemens Ag Piezostack und Verfahren zur Herstellung eines Piezostacks
US6967431B2 (en) 2002-12-13 2005-11-22 Palo Alto Research Center Inc. Piezoelectric transducers and methods of manufacture
US6987348B2 (en) * 2002-12-13 2006-01-17 Palo Alto Research Center Inc. Piezoelectric transducers
US6938988B2 (en) 2003-02-10 2005-09-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Counter-bore of a fluid ejection device
JP4711280B2 (ja) * 2003-10-14 2011-06-29 オリンパス株式会社 画像記録装置
TWI285176B (en) * 2004-12-13 2007-08-11 Benq Corp Method of sealing the nozzle
US7377620B2 (en) * 2005-05-26 2008-05-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Hydrophobic nozzle exit with improved micro fluid ejection dynamics
US7926177B2 (en) * 2005-11-25 2011-04-19 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Method of forming hydrophobic coating layer on surface of nozzle plate of inkjet printhead
JP2007237718A (ja) * 2006-03-13 2007-09-20 Seiko Epson Corp インクジェットヘッドの製造方法
US7771012B2 (en) * 2007-05-31 2010-08-10 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP5315697B2 (ja) * 2007-05-31 2013-10-16 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置
JP5957880B2 (ja) * 2011-12-27 2016-07-27 株式会社リコー 液滴吐出装置および画像形成装置
JP6122298B2 (ja) * 2013-01-09 2017-04-26 エスアイアイ・プリンテック株式会社 ヘッドチップの製造方法
JP2014208447A (ja) * 2013-03-28 2014-11-06 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
WO2015163888A1 (en) * 2014-04-24 2015-10-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluidic ejection device with layers having different light sensitivities
WO2017015414A1 (en) 2015-07-23 2017-01-26 Zito Jr Arthur J Responsive dispersion from compartment in aqueous solution

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56146783A (en) * 1980-04-18 1981-11-14 Ricoh Co Ltd Ink jet deflecting electrode
US4746935A (en) * 1985-11-22 1988-05-24 Hewlett-Packard Company Multitone ink jet printer and method of operation
JPH02121843A (ja) * 1988-10-31 1990-05-09 Canon Inc 液体噴射記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法
US5212050A (en) * 1988-11-14 1993-05-18 Mier Randall M Method of forming a permselective layer
JPH0564889A (ja) * 1990-12-14 1993-03-19 Ricoh Co Ltd インク飛翔記録方法及び装置及び該装置の製作方法
JPH04355151A (ja) * 1991-06-03 1992-12-09 Seiko Epson Corp インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
GB9202434D0 (en) * 1992-02-05 1992-03-18 Xaar Ltd Method of and apparatus for forming nozzles
JP3196796B2 (ja) * 1992-06-24 2001-08-06 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録ヘッドのノズル形成方法
CA2126232C (en) 1992-10-19 2000-05-16 Makiko Kimura Ink jet head having an improved ink discharging outlet face and ink jet apparatus provided with said ink jet head
JPH07117237A (ja) * 1993-10-26 1995-05-09 Sony Corp インクジェットプリントヘッドおよびインクジェットプリンタ
US6036295A (en) 1993-11-26 2000-03-14 Sony Corporation Ink jet printer head and method for manufacturing the same
US5429909A (en) * 1994-08-01 1995-07-04 Eastman Kodak Company Overcoat layer for laser ablative imaging
JPH08323982A (ja) * 1995-03-29 1996-12-10 Sony Corp 液体噴射記録装置
US5811019A (en) * 1995-03-31 1998-09-22 Sony Corporation Method for forming a hole and method for forming nozzle in orifice plate of printing head
US6086196A (en) * 1995-04-14 2000-07-11 Sony Corporation Printing device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6749296B2 (en) 1997-07-02 2004-06-15 Seiko Epson Corporation Ink jet recording apparatus
KR100693700B1 (ko) * 1999-09-09 2007-03-09 휴렛-팩커드 컴퍼니(델라웨어주법인) 인쇄 시스템에 사용하기 위한 부품, 프린트 카트리지,인쇄 시스템에 사용하기 위한 부품 제조 방법 및 폴리머오리피스 플레이트 제조 방법
JP2004198421A (ja) * 2002-12-13 2004-07-15 Xerox Corp 圧電変換器
JP2007510536A (ja) * 2003-11-04 2007-04-26 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ インクジェット印刷における増加される液滴配置精度
JP2006182014A (ja) * 2004-12-01 2006-07-13 Fuji Photo Film Co Ltd 撥液増大構造体およびその製造方法、液体吐出ヘッドならびに防汚フィルム

Also Published As

Publication number Publication date
DE69703255T2 (de) 2001-04-05
US6257700B1 (en) 2001-07-10
EP0787588A2 (en) 1997-08-06
EP0787588A3 (en) 1998-03-18
EP0787588B1 (en) 2000-10-11
US6276057B1 (en) 2001-08-21
DE69703255D1 (de) 2000-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09267494A (ja) プリンタ装置及びその製造方法
EP0835759B1 (en) Printer
WO1997037851A1 (fr) Dispositif d'impression et procede de fabrication associe
JP3473668B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド
JPH0952378A (ja) プリンタ装置
JP3045117B2 (ja) プリンタ装置
JP4417240B2 (ja) プリンタ装置の製造方法
JPH09207359A (ja) プリンタ装置
JP3297804B2 (ja) プリンタ装置
JPH10291301A (ja) プリンタ装置
JPH10119300A (ja) プリンタ装置及びその製造方法
JP3632717B2 (ja) プリンタ装置
JPH09272207A (ja) プリントヘツドの製造方法
JP3610671B2 (ja) プリンタ装置
JP2940431B2 (ja) プリンタ装置
JPH10250116A (ja) 媒体混合吐出用タンクおよび媒体混合プリンタ装置
JP3661252B2 (ja) プリンタ装置
JPH09300627A (ja) インクジェット用ノズルプレートの製造方法
JP2002326360A (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法
JPH09141861A (ja) プリンタ装置
JPH09169124A (ja) プリンタ装置
JPH0948116A (ja) プリンタ装置
JPH10264408A (ja) プリンタ装置及びその製造方法
JPH0948140A (ja) プリンタ装置
JPH10250067A (ja) プリンタ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20040203