JPH09260000A - コンタクトプローブおよびコンタクトプローブ取付用ソケット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンタクトプローブ又はコンタクトプローブ
の取付用ソケットに設けられる絶縁層の厚さ管理を容易
かつ正確になし得るようにする。 【解決手段】 測定対象物Ｔの電極Ｔａに接する導電性
材料よりなるピンＰと、当該ピンＰが一端を突き出させ
るように差し入れ、組み付けられる導電性材料よりなる
少なくとも一端が開口された筒状スリーブＳとを備え、
スリーブＳの取付穴Ｈａを備えると共に接地Ａしてある
導電性材料よりなる取付部材Ｈにおける取付穴Ｈａより
少なくともピンＰの一端を突き出させるように取付穴Ｈ
ａに嵌め付けられるコンタクトプローブＣであって、ス
リーブＳの外側にコンタクトプローブＣと取付部材Ｈと
を絶縁する絶縁層Ｚを備える。絶縁層Ｚが、前記スリー
ブＳに巻き付けられた絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚ
ｂにより構成してある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ＩＣ、ＬＳＩ、
ＬＣＤパネルなどの電子部品などの測定対象物の電気的
検査に用いられるいわゆるコンタクトプローブおよびコ
ンタクトプローブ取付用ソケットに関し、より詳細に
は、前記電子部品のリード部などの電極にコンタクトプ
ローブのピンを接しさせて、該電子部品の回路間を電気
的に接続して検査を行うに際して、各コンタクトプロー
ブに伝送される信号へのノイズの入り込みを防止する絶
縁構造を備えたコンタクトプローブおよびコンタクトプ
ローブ取付用ソケットに関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ、ＬＳＩ、ＬＣＤパネルなどの電子
部品などの測定対象物の電気的検査に用いられるいわゆ
るコンタクトプローブでは、前記電子部品などの回路間
の検査を的確に行うために、特定のコンタクトプローブ
が接する特定の電極からもたらされる信号以外の信号、
例えば、検査の対象となる前記電子部品以外の周辺機器
からもたらされる電磁波などにより生じる電流に起因し
た不要な信号からのシールド性が求められている。

【０００３】こうしたことから、この種のコンタクトプ
ローブにあっては、前記電子部品の電極に接するピン
と、このピンを出没自在に収め入れる筒状のスリーブと
からなるコンタクトプローブにおける当該スリーブの外
側にプラスチックなどの絶縁材による絶縁層を形成させ
ると共に、このコンタクトプローブが差し込み取り付け
られる取付穴を備えた導電性材料よりなる取付部材（通
例取付ヘッドと称される。）を接地させて前記電磁波等
に起因したノイズがコンタクトプローブに伝送される信
号に入り込むことを防止していた。

【０００４】そして従来は、前記コンタクトプローブを
差し込める内径を備えたプラスチック製のチューブを用
意し、このチューブ内に前記コンタクトプローブを差し
込んで、当該コンタクトプローブにおける前記スリーブ
の外側に絶縁層を設けていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ここで、前記コンタク
トプローブによる前記電子部品などの測定対象物の電気
的測定は、当該コンタクトプローブに伝送される信号を
適宜の測定器に印加させることによりなされるところ、
この測定器による測定を正確になすためには、コンタク
トプローブ側のインピーダンスが一定の値に保たれてい
る必要がある。

【０００６】しかるに、かかるコンタクトプローブ側の
インピーダンスは主としてコンタクトプローブの径と、
このコンタクトプローブと導電性材料よりなる取付部材
との間に設けられた前記絶縁層の厚さおよび当該絶縁層
を構成する絶縁材の誘電率により定まることから、かか
るコンタクトプローブ側のインピーダンスを一定に保つ
ためには、特に、前記絶縁層の厚さ寸法を正確に管理す
ることが求められる。

【０００７】しかしながら、かかる絶縁層を前記プラス
チック製のチューブにより設ける従来の手法では、当該
チューブの成形技術上、当該チューブの厚さ寸法を正確
に管理することには限界があり、コンタクトプローブ側
のインピーダンスをより厳密に一定値に保つ観点から、
その改善が要請されていた。

【０００８】また一方、近年におけるＩＣ、ＬＳＩ、Ｌ
ＣＤパネル等の電子部品の高集積化、微細化に伴い、こ
うした電子部品に設けられる複数の電極間のピッチも極
小化してきていることから、極小ピッチで配列されるこ
うした電子部品の複数の電極からの信号の採取を可能と
するために、コンタクトプローブを可能な限り狭ピッチ
で前記取付部材に配列できるように、できる限り前記絶
縁層の厚さを小さくできるように当該絶縁層を構成する
ことが要請されている。

【０００９】そこでこの発明は、かかる従来の技術の不
都合を是正することを目的としている。

【００１０】また、コンタクトプローブ又はコンタクト
プローブの取付用ソケットに設けられる絶縁層の厚さ管
理を容易かつ正確になし得るようにすることを目的とす
る。

【００１１】また、かかる絶縁層の厚さをできる限り小
さくできるようにすることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明では、コンタクトプローブＣ
を、測定対象物Ｔの電極Ｔａに接する導電性材料よりな
るピンＰと、当該ピンＰが一端を突き出させるように差
し入れ、組み付けられる導電性材料よりなる少なくとも
一端が開口された筒状スリーブＳとを備え、当該スリー
ブＳの取付穴Ｈａを備えると共に接地Ａしてある導電性
材料よりなる取付部材Ｈにおける当該取付穴Ｈａより少
なくとも前記ピンＰの一端を突き出させるように当該取
付穴Ｈａに嵌め付けられるコンタクトプローブＣであっ
て、このコンタクトプローブＣが、前記スリーブＳの外
側に、当該コンタクトプローブＣと前記取付部材Ｈとを
絶縁する絶縁層Ｚを備えると共に、この絶縁層Ｚが、前
記スリーブＳに巻き付けられた絶縁テープＺａ又は絶縁
糸状体Ｚｂにより構成してあるものとした。

【００１３】また、請求項２記載の発明では、請求項１
記載の発明にかかるコンタクトプローブＣにおける絶縁
テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂが、多孔質テフロンより
なる構成のものとした。

【００１４】また、請求項３記載の発明では、コンタク
トプローブＣの取付用ソケットＵを、測定対象物Ｔの電
極Ｔａに接する導電性材料よりなるピンＰと、当該ピン
Ｐが一端を突き出させるように差し入れ、組み付けられ
る導電性材料よりなる少なくとも一端が開口された筒状
スリーブＳとを備えるコンタクトプローブＣを収める導
電性材料よりなる筒状ソケットＵであって、このソケッ
トＵが、当該ソケットＵの取付穴Ｈａを備えると共に接
地Ａしてある導電性材料よりなる取付部材Ｈにおける当
該取付穴Ｈａより少なくとも前記コンタクトプローブＣ
のピンＰの一端を突き出させるように当該取付穴Ｈａに
嵌め付けられると共に、このソケットＵが、当該ソケッ
トＵの外側に、当該ソケットＵと前記取付部材Ｈとを絶
縁する絶縁層Ｚを備えており、この絶縁層Ｚが、前記ソ
ケットＵに巻き付けられた絶縁テープＺａ又は絶縁糸状
体Ｚｂにより構成してあるものとした。

【００１５】また、請求項４記載の発明では、請求項３
記載の発明にかかるコンタクトプローブＣの取付ソケッ
トＵにおける絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂが、多
孔質テフロンよりなる構成のものとした。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図１ないし図８に基づい
て、この発明の典型的な実施の形態について説明する。

【００１７】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣは、測定対象物Ｔの電極Ｔａに接する導電性材料よ
りなるピンＰと、当該ピンＰが一端を突き出させるよう
に差し入れ、組み付けられる導電性材料よりなる少なく
とも一端が開口された筒状スリーブＳとを備え、当該ス
リーブＳの取付穴Ｈａを備えると共に接地Ａしてある導
電性材料よりなる取付部材Ｈにおける当該取付穴Ｈａよ
り少なくとも前記ピンＰの一端を突き出させるように当
該取付穴Ｈａに嵌め付けられるコンタクトプローブＣで
あって、このコンタクトプローブＣが、前記スリーブＳ
の外側に、当該コンタクトプローブＣと前記取付部材Ｈ
とを絶縁する絶縁層Ｚを備えると共に、この絶縁層Ｚ
が、前記スリーブＳに巻き付けられた絶縁テープＺａ又
は絶縁糸状体Ｚｂにより構成してある。

【００１８】かかる構成により、この実施の形態にかか
るコンタクトプローブＣによれば、前記絶縁層Ｚの厚さ
を当該コンタクトプローブＣの長さ方向に亙って、前記
絶縁テープＺａの厚さ寸法又は絶縁糸状体Ｚｂの径寸法
に正確に揃えることができ、この結果、当該絶縁層Ｚの
厚さ寸法に相応して変動されるコンタクトプローブＣ側
のインピーダンスを所要の一定値に正確に保つことがで
きる。

【００１９】すなわち、かかる絶縁テープＺａ又は絶縁
糸状体Ｚｂは、成形上、当該絶縁テープＺａの厚さ又は
絶縁糸状体Ｚｂの径を均一に保ち易いことから、前記絶
縁層Ｚを絶縁材料を一体に成形して構成したチューブと
する場合に比べ、当該絶縁層Ｚの厚さ寸法を前記コンタ
クトプローブＣの長さ方向に亙ってバラ付きなく当該絶
縁テープＺａの厚さ寸法又は当該絶縁糸状体Ｚｂの径寸
法に正確に揃えることができる。

【００２０】また、前記コンタクトプローブＣのスリー
ブＳに巻き付ける前記絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚ
ｂの巻き数を変えることにより、前記絶縁層Ｚの厚さを
容易に調整することができ、これにより要求されるイン
ピーダンスに合わせてコンタクトプローブＣのインピー
ダンスを容易かつ正確に調整することができる特長を有
する。

【００２１】すなわち、前記絶縁テープＺａの厚さ寸法
又は絶縁糸状体Ｚｂの径寸法は比較的均一に管理し得る
ことから、かかる絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂの
巻き数に前記絶縁層Ｚの厚さ寸法は正確に比例するもの
とされ、この結果、当該巻き数の増減・調整により要求
されるインピーダンスを備えるようにコンタクトプロー
ブＣのインピーダンスを容易かつ正確に増減・調整する
ことができる。

【００２２】また、前記コンタクトプローブＣにおける
絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂを、多孔質テフロン
により構成することが、この発明の最良の実施の形態の
一つとされる。

【００２３】かかる構成により、この実施の形態にかか
るコンタクトプローブＣによれば、所定のインピーダン
スを当該コンタクトプローブＣに持たせるにあたり必要
とされる前記絶縁層Ｚの厚さ寸法をできる限り小さいも
のとすることができる。

【００２４】すなわち、多孔質テフロンは、微細な孔な
いしは隙間を備えることからこの孔などに入り込んだ空
気により誘電率は比較的低いものとされ（空気の誘電率
を１とした場合に多孔質テフロンの誘電率は１．２
％）、この結果、所定のインピーダンスをコンタクトプ
ローブＣ側に付与する場合に必要とされる前記絶縁層Ｚ
の厚さ寸法を、他の素材、特に従来かかる絶縁層Ｚに広
く用いられているテフロンに比べ、さらに小さくするこ
とができる。

【００２５】この結果、この実施の形態にかかるコンタ
クトプローブＣによれば、複数のコンタクトプローブＣ
を、隣り合う一対のコンタクトプローブＣ、Ｃ間の間隔
をできる限り狭めるように前記取付部材Ｈに対し配設さ
せることができ、複数の電極Ｔａ、Ｔａ…間のピッチを
極小化させた電子部品などの測定対象物Ｔの測定に適し
たコンタクトプローブＣを容易に構成することができる
特長を有する。

【００２６】また、この実施の形態にかかるコンタクト
プローブＣの取付用ソケットＵは、測定対象物Ｔの電極
Ｔａに接する導電性材料よりなるピンＰと、当該ピンＰ
が一端を突き出させるように差し入れ、組み付けられる
導電性材料よりなる少なくとも一端が開口された筒状ス
リーブＳとを備えるコンタクトプローブＣを収める導電
性材料よりなる筒状ソケットＵであって、このソケット
Ｕが、当該ソケットＵの取付穴Ｈａを備えると共に接地
Ａしてある導電性材料よりなる取付部材Ｈにおける当該
取付穴Ｈａより少なくとも前記コンタクトプローブＣの
ピンＰの一端を突き出させるように当該取付穴Ｈａに嵌
め付けられると共に、このソケットＵが、当該ソケット
Ｕの外側に、当該ソケットＵと前記取付部材Ｈとを絶縁
する絶縁層Ｚを備えており、この絶縁層Ｚが、前記スリ
ーブＳに巻き付けられた絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体
Ｚｂにより構成してある。

【００２７】かかる構成により、この実施の形態にかか
るコンタクトプローブＣの取付用ソケットＵによれば、
前記絶縁層Ｚの厚さを当該コンタクトプローブＣの取付
用ソケットＵの長さ方向に亙って、前記絶縁テープＺａ
の厚さ寸法又は絶縁糸状体Ｚｂの径寸法に正確に揃える
ことができ、この結果、当該絶縁層Ｚの厚さ寸法に相応
して変動されるコンタクトプローブＣ側のインピーダン
スを所要の一定値に正確に保つことができる。

【００２８】すなわち、かかる絶縁テープＺａ又は絶縁
糸状体Ｚｂは、成形上、当該絶縁テープＺａの厚さ又は
絶縁糸状体Ｚｂの径を均一に保ち易いことから、前記絶
縁層Ｚを絶縁材料を一体に成形して構成したチューブと
する場合に比べ、当該絶縁層Ｚの厚さ寸法を前記コンタ
クトプローブＣの取付用ソケットＵの長さ方向に亙って
バラ付きなく、当該絶縁テープＺａの厚さ寸法又は当該
絶縁糸状体Ｚｂの径寸法に正確に揃えることができる。

【００２９】また、前記コンタクトプローブＣの取付用
ソケットＵに巻き付ける前記絶縁テープＺａ又は絶縁糸
状体Ｚｂの巻き数を変えることにより、前記絶縁層Ｚの
厚さを容易に調整することができ、これにより要求され
るインピーダンスに合わせてコンタクトプローブＣ側の
インピーダンスを容易かつ正確に調整することができる
特長を有する。

【００３０】すなわち、前記絶縁テープＺａの厚さ寸法
又は絶縁糸状体Ｚｂの径寸法は比較的均一に管理し得る
ことから、かかる絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂの
巻き数に前記絶縁層Ｚの厚さ寸法は正確に比例するもの
とされ、この結果、当該巻き数の増減・調整により要求
されるインピーダンスを備えるようにコンタクトプロー
ブＣ側のインピーダンスを容易かつ正確に増減・調整す
ることができる。

【００３１】また、前記コンタクトプローブＣの取付用
ソケットＵにおける絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂ
を、多孔質テフロンにより構成することが、この発明の
最良の実施の形態の一つとされる。

【００３２】かかる構成により、この実施の形態にかか
るコンタクトプローブＣの取付用ソケットＵによれば、
所定のインピーダンスを当該コンタクトプローブＣに持
たせるにあたり必要とされる前記絶縁層Ｚの厚さ寸法を
できる限り小さいものとすることができる。

【００３３】すなわち、多孔質テフロンは、微細な孔な
いしは隙間を備えることからこの孔などに入り込んだ空
気により誘電率は比較的低いものとされ（空気の誘電率
を１とした場合に多孔質テフロンの誘電率は１．２
％）、この結果、所定のインピーダンスをコンタクトプ
ローブＣ側に付与する場合に必要とされる前記絶縁層Ｚ
の厚さ寸法を、他の素材、特に従来かかる絶縁層Ｚに広
く用いられているテフロンに比べ、さらに小さくするこ
とができる。

【００３４】この結果、この実施の形態にかかるコンタ
クトプローブＣの取付用ソケットＵによれば、複数のコ
ンタクトプローブＣを、隣り合う一対のコンタクトプロ
ーブＣ、Ｃ間の間隔をできる限り狭めるように前記取付
部材Ｈに対し配設させることができ、複数の電極Ｔａ間
のピッチを極小化させた電子部品などの測定対象物Ｔの
測定に適したコンタクトプローブＣを容易に構成するこ
とができる特長を有する。

【００３５】次いで、図１および図２に示されるこの発
明に係るコンタクトプローブＣ１のより具体的な実施の
形態について、詳細に説明する。

【００３６】なお、図１は、この実施の形態にかかるコ
ンタクトプローブＣ１の全体構成を理解し易いように、
当該コンタクトプローブＣ１および当該コンタクトプロ
ーブＣ１を組み付けた取付部材Ｈを当該コンタクトプロ
ーブＣ１の長さ方向に沿って断面にして示している。ま
た、図２は、当該コンタクトプローブＣ１に対する絶縁
テープＺａの巻き付け状態を理解し易いように、当該コ
ンタクトプローブＣ１に絶縁テープＺａを巻き付けてい
る途中の状態で、当該コンタクトプローブＣ１と当該絶
縁テープＺａを斜視の状態として示している。

【００３７】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣ１は、導電性を有する金属材料から構成される筒状
をなすスリーブＳ１と、このスリーブＳ１内に収め入れ
られる導電性を有する金属材料から構成されるピンＰ
と、前記スリーブＳ１の外側に設けられる絶縁層Ｚとを
備えている。

【００３８】この実施の形態にあっては、前記スリーブ
Ｓ１は両端を開口させた構成としてあり、また、当該ス
リーブＳ１の一方の開口側に測定対象物Ｔの電極Ｔａに
接する第一のピンＰ１を当該一方の開口から当該第一の
ピンＰ１の尖端１ａが突き出されるように備えると共
に、当該スリーブＳ１の他方の開口側に適宜の測定器に
電気的に接続される電極Ｐａを備えた基板Ｐの当該電極
Ｐａに接する第二のピンＰ２を当該他方の開口から当該
第二のピンＰ２の尖端２ａが突き出されるように備えて
いる。

【００３９】そして、この実施の形態にあっては、前記
第一のピンＰ１と前記第二のピンＰ２との間に圧縮コイ
ルバネ３が介装されており、これにより前記第一および
第二のピンＰ１、Ｐ２はスリーブＳ１内に押し込まれた
際に該スリーブＳ１内から突き出す方向に向けて付勢さ
れる構成としてある。

【００４０】また、前記第一および第二のピンＰ１、Ｐ
２は、その中間部１ｂ、２ｂを両端部に比べて細径に形
成しており、一方、この第一および第二のピンＰ１、Ｐ
２の細径部にそれぞれ接するように前記スリーブＳ１の
一部には内側に向けた突出部４が上下二か所に形成され
ている。

【００４１】したがって、前記第一および第二のピンＰ
１、Ｐ２は、前記細径をなす中間部１ｂ、２ｂと当該第
一および第二のピンＰ１、Ｐ２が前記バネ３と接する側
の端部との間の段部１ｃ、２ｃを前記突出部４に接しさ
せる位置より先に突き出されることはなく、また、前記
中間部１ｂ、２ｂと前記第一および第二のピンＰ１、Ｐ
２の尖端１ａ、２ａ部との間の段部１ｄ、２ｄを前記突
出部４に接しさせる位置まで押し込むことができる構成
とされている。

【００４２】また、この実施の形態にあっては、前記ス
リーブＳ１の外側に当該スリーブＳ１の長さ寸法と略同
寸法の幅寸法を備える絶縁テープＺａを巻き付けて、前
記絶縁層Ｚを構成している。この実施の形態にあって
は、当該絶縁層Ｚは前記コンタクトプローブＣ１の外径
寸法と略等しい厚さ寸法をなすように、前記スリーブＳ
１の外側に絶縁テープＺａを五回巻き付けて、構成して
ある。

【００４３】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣ１は以上の構成を備えることから、導電性材料より
なり、厚さ方向に複数の取付穴Ｈａ、Ｈａ…が開設して
あると共に、接地Ａしてある取付部材Ｈに対し、当該複
数の取付穴Ｈａ、Ｈａ…の一端部から前記第一のピンＰ
１が尖端１ａを突き出し、かつ、当該取付穴Ｈａの他端
部から前記第二のピンＰ２が尖端１ａを突き出させるよ
うに、差し込むことにより、当該取付部材Ｈに所定の間
隔を開けて複数本組み付けることができる。

【００４４】そして、測定対象物Ｔの電極Ｔａに対して
前記第一のピンＰ１の尖端１ａ部を接しさせることによ
り、この電極Ｔａから伝送される電気信号へのノイズの
入り込みを十分に防止した状態で、当該電気信号を前記
第二のピンＰ２に接する基板Ｐの電極Ｐａを通じて適宜
の測定器に送ることができる。

【００４５】なお、この実施の形態にあっては、前記第
一のピンＰ１はスリーブＳ１内への押し込み時に前記バ
ネ３の付勢を受ける構成としてあることから、前記測定
対象物Ｔの電極Ｔａに前記第一のピンＰ１の尖端１ａを
前記バネ３の付勢により常時密着させた状態で接触させ
ることができると共に、かかる測定対象物Ｔが複数の電
極Ｔａ、Ｔａ…を備える場合に各電極Ｔａ、Ｔａ…の高
さに若干誤差があっても、かかる誤差を吸収して当該各
電極Ｔａ、Ｔａ…に前記尖端１ａを適切に密着させるこ
とができる特長を有する。

【００４６】次いで、図３および図４に示されるこの発
明に係るコンタクトプローブＣ２のより具体的な実施の
形態について、詳細に説明する。

【００４７】なお、図３は、この実施の形態にかかるコ
ンタクトプローブＣ２の全体構成を理解し易いように、
当該コンタクトプローブＣ２および当該コンタクトプロ
ーブＣ２を組み付けた取付部材Ｈを当該コンタクトプロ
ーブＣ２の長さ方向に沿って断面にして示している。ま
た、図３は、当該コンタクトプローブＣ２に対する絶縁
糸状体Ｚｂの巻き付け状態を理解し易いように、当該コ
ンタクトプローブＣ２に絶縁糸状体Ｚｂを巻き付けてい
る途中の状態で、当該コンタクトプローブＣ２と当該絶
縁糸状体Ｚｂを斜視の状態として示している。

【００４８】この実施の形態にあっては、前記スリーブ
Ｓ１の外側に当該スリーブＳ１の外周面の略全体を覆う
ように絶縁糸状体Ｚｂを当該スリーブＳ１の一端側から
他端側に向けて順次巻き付けて、前記絶縁層Ｚを構成し
ている。この実施の形態にあっては、当該絶縁層Ｚは前
記コンタクトプローブＣ２の外径寸法と略等しい厚さ寸
法をなすように、前記スリーブＳ１の外側に前記絶縁糸
状体Ｚｂを五回巻き付けて、構成してある。

【００４９】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣ２は、前記絶縁層Ｚを前記スリーブＳ１の外側に前
記絶縁糸状体Ｚｂを巻き付けて構成してある点以外の構
成を、前記図１および図２に示されるコンタクトプロー
ブＣ１と同一又は実質的に同一の構成としてあることか
ら、この同一又は実質的に同一の構成部分については図
３および図４に図１および図２で用いた符号と同一の符
号を付してその説明を省略する。

【００５０】次いで、図５および図６に示されるこの発
明に係るコンタクトプローブＣ３の取付用ソケットＵ１
のより具体的な実施の形態について、詳細に説明する。

【００５１】なお、図５は、この実施の形態にかかる取
付用ソケットＵ１およびこの取付用ソケットＵ１により
取り付けられるコンタクトプローブＣ３の全体構成を理
解し易いように、当該コンタクトプローブＣ３取付用ソ
ケットＵ１および当該取付用ソケットＵ１により組み付
けたコンタクトプローブＣ３ならびに取付部材Ｈを当該
コンタクトプローブＣ３の長さ方向に沿って断面にして
示している。また、図６は、当該取付用ソケットＵ１に
対する絶縁テープＺａの巻き付け状態を理解し易いよう
に、当該取付用ソケットＵ１に絶縁テープＺａを巻き付
けている途中の状態で、当該取付用ソケットＵ１と当該
絶縁テープＺａを斜視の状態として示している。

【００５２】この実施の形態にかかる取付用ソケットＵ
１は、導電性を有する筒状体として構成してあり、導電
性を有する金属材料から構成される筒状をなすスリーブ
Ｓ２と、このスリーブＳ２内に収め入れられる導電性を
有する金属材料から構成されるピンＰとを備えるコンタ
クトプローブＣ３を、当該ピンＰの一端を突き出させた
状態で、差し入れ、組み付ける構成としてある。

【００５３】また、この実施の形態にかかる取付用ソケ
ットＵ１は、その外側に絶縁層Ｚを備えている。

【００５４】この実施の形態にあっては、前記コンタク
トプローブＣ３は、一端を開口させた鞘状をなすスリー
ブＳ２内に、測定対象物Ｔの電極Ｔａに接するピンＰを
当該開口から当該ピンＰの尖端１０ａが突き出されるよ
うに収め入れて構成してある。

【００５５】そして、この実施の形態にあっては、前記
ピンＰと前記スリーブＳ２の他端内側との間に圧縮コイ
ルバネ２０が介装されており、これにより前記ピンＰは
スリーブＳ２内に押し込まれた際に該スリーブＳ２内か
ら突き出す方向に向けて付勢される構成としてある。

【００５６】また、前記ピンＰは、その中間部１０ｂを
両端部に比べて細径に形成しており、一方、このピンＰ
の中間部１０ｂに接するように前記スリーブＳ２の一部
には内側に向けた突出部３０が形成されている。

【００５７】したがって、前記ピンＰは、前記中間部１
０ｂと当該ピンＰが前記バネ２０と接する側の端部との
間の段部１０ｃを前記突出部３０に接しさせる位置より
先に突き出されることはなく、また、前記中間部１０ｂ
と前記ピンＰの尖端１０ａ部との間の段部１０ｄを前記
突出部３０に接しさせる位置まで押し込むことができる
構成とされている。

【００５８】また、この実施の形態にあっては、前記ソ
ケットＵ１の外側に当該ソケットＵ１の長さ寸法と略同
寸法の幅寸法を備える絶縁テープＺａを巻き付けて、前
記絶縁層Ｚを構成している。この実施の形態にあって
は、当該絶縁層Ｚは前記コンタクトプローブＣ３の外径
寸法と略等しい厚さ寸法をなすように、前記ソケットＵ
１の外側に絶縁テープＺａを五回巻き付けて、構成して
ある。

【００５９】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣ３取付用ソケットＵ１は以上の構成を備えることか
ら、導電性材料よりなり、厚さ方向に複数の取付穴Ｈａ
が開設してあると共に、接地Ａしてある取付部材Ｈに対
し、先ず、当該取付穴Ｈａに当該ソケットＵ１をそれぞ
れ差し入れ、組み付けておき、この後、当該ソケットＵ
１の一端部から前記ピンＰが尖端１ａを突き出させるよ
うに前記コンタクトプローブＣ３を当該ソケットＵ１内
に差し入れることにより、当該取付部材Ｈに所定の間隔
を開けて複数本のコンタクトプローブＣ３を組み付けさ
せることができる。

【００６０】かかるソケットＵ１はまた、前記ピンＰの
突き出し側と反対の側の端部に導電線Ｒの固定部４０を
備えており、この固定部４０に適宜の測定器に電気的に
接続される導電線Ｒの一端をハンダ付けなどの手法によ
り固定することにより、前記測定対象物Ｔの電極Ｔａに
接する前記ピンＰから伝送される電気信号へのノイズの
入り込みを十分に防止した状態で、当該電気信号を当該
適宜の測定器に送ることができる。

【００６１】なお、この実施の形態にあっては、前記ピ
ンＰはスリーブＳ２内への押し込み時に前記バネ２０の
付勢を受ける構成としてあることから、前記測定対象物
Ｔの電極Ｔａに前記ピンＰの尖端１０ａを前記バネ２０
の付勢により常時密着させた状態で接触させることがで
きると共に、測定対象物Ｔが複数の電極Ｔａ、Ｔａ…を
有する場合において各電極Ｔａ、Ｔａ…の高さに若干誤
差があっても、かかる誤差を吸収して当該各電極Ｔａ、
Ｔａ…に前記尖端１０ａを適切に密着させることができ
る特長を有する。

【００６２】また、前記コンタクトプローブＣ３の取り
替えなどを必要とする場合には、前記ソケットＵ１内か
ら交換すべきコンタクトプローブＣ３抜き出し、別のコ
ンタクトプローブＣ３を差し入れ組み付けることにより
容易に当該交換をなすことができる特長を有する。

【００６３】次いで、図７および図８に示されるこの発
明に係るコンタクトプローブＣ３取付用ソケットＵ１の
より具体的な実施の形態について、詳細に説明する。

【００６４】なお、図７は、この実施の形態にかかる取
付用ソケットＵ２およびこの取付用ソケットＵ１により
取り付けられるコンタクトプローブＣ３の全体構成を理
解し易いように、当該コンタクトプローブＣ３取付用ソ
ケットＵ２および当該取付用ソケットＵ２により組み付
けたコンタクトプローブＣ３ならびに取付部材Ｈを当該
取付用ソケットＵ２の長さ方向に亙って断面にして示し
ており、また、図８は、当該取付用ソケットＵ２に対す
る絶縁糸状体Ｚｂの巻き付け状態を理解し易いように、
当該取付用ソケットＵ２に絶縁糸状体Ｚｂを巻き付けて
いる途中の状態で、当該取付用ソケットＵ２と当該絶縁
糸状体Ｚｂを斜視の状態として示している。

【００６５】この実施の形態にあっては、前記取付用ソ
ケットＵ２の外側に当該取付用ソケットＵ２の外周面の
略全体を覆うように絶縁糸状体Ｚｂを当該取付用ソケッ
トＵ２の一端側から他端側に向けて順次巻き付けて、前
記絶縁層Ｚを構成している。この実施の形態にあって
は、当該絶縁層Ｚは前記コンタクトプローブＣ３の外径
寸法と略等しい厚さ寸法をなすように、前記取付用ソケ
ットＵ２の外側に前記絶縁糸状体Ｚｂを五回巻き付け
て、構成してある。

【００６６】この実施の形態にかかる取付用ソケットＵ
２は、前記絶縁層Ｚを前記取付用ソケットＵ２の外側に
前記絶縁糸状体Ｚｂを巻き付けて構成してある点以外の
構成を、前記図５および図６に示される取付用ソケット
Ｕ１と同一又は実質的に同一の構成としてあることか
ら、この同一又は実質的に同一の構成部分については図
７および図８に図５および図６で用いた符号と同一の符
号を付してその説明を省略する。

【００６７】

【発明の効果】この発明にかかるコンタクトプローブＣ
およびコンタクトプローブＣの取付用ソケットＵによれ
ば、前記絶縁層Ｚの厚さを当該コンタクトプローブＣの
長さ方向に亙って、前記絶縁テープＺａの厚さ寸法又は
絶縁糸状体Ｚｂの径寸法に正確に揃えることができ、こ
の結果、コンタクトプローブＣ側のインピーダンスを所
要の一定値に正確に保つことができる。

【００６８】また、前記コンタクトプローブＣのスリー
ブＳ又は取付用ソケットＵに巻き付ける前記絶縁テープ
Ｚａ又は絶縁糸状体Ｚｂの巻き数を変えることにより、
前記絶縁層Ｚの厚さを容易に調整することができ、これ
により要求されるインピーダンスに合わせてコンタクト
プローブＣ側のインピーダンスを容易かつ正確に調整す
ることができる特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】コンタクトプローブＣ１および取付部材Ｈの断
面図

【図２】コンタクトプローブＣ１への絶縁テープＺａの
巻き付け状態を示す斜視図

【図３】コンタクトプローブＣ２および取付部材Ｈの断
面図

【図４】コンタクトプローブＣ２への絶縁糸状体Ｚｂの
巻き付け状態を示す斜視図

【図５】取付用ソケットＵ１、コンタクトプローブＣ３
および取付部材Ｈの断面図

【図６】取付用ソケットＵ１への絶縁テープＺａの巻き
付け状態を示す斜視図

【図７】取付用ソケットＵ２、コンタクトプローブＣ３
および取付部材Ｈの断面図

【図８】取付用ソケットＵ２への絶縁糸状体Ｚｂの巻き
付け状態を示す斜視図

【符号の説明】

Ｃ コンタクトプローブ Ｔ 測定対象物 Ｔａ 電極 Ｐ ピン Ｓ スリーブ Ｈ 取付対象物 Ｈａ 取付穴 Ａ 接地 Ｚ 絶縁層 Ｚａ 絶縁テープ Ｚｂ 絶縁糸状体 Ｕ ソケット

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定対象物の電極に接する導電性材料よ
   りなるピンと、 当該ピンが一端を突き出させるように差し入れ、組み付
   けられる導電性材料よりなる少なくとも一端が開口され
   た筒状スリーブとを備え、 当該スリーブの取付穴を備えると共に接地してある導電
   性材料よりなる取付部材における当該取付穴より少なく
   とも前記ピンの一端を突き出させるように当該取付穴に
   嵌め付けられるコンタクトプローブであって、 このコンタクトプローブが、前記スリーブの外側に、当
   該コンタクトプローブと前記取付部材とを絶縁する絶縁
   層を備えると共に、 この絶縁層が、前記スリーブに巻き付けられた絶縁テー
   プ又は絶縁糸状体により構成してあることを特徴とする
   コンタクトプローブ。
2. 【請求項２】 絶縁テープ又は絶縁糸状体が、多孔質テ
   フロンよりなることを特徴とする請求項１記載のコンタ
   クトプローブ。
3. 【請求項３】 測定対象物の電極に接する導電性材料よ
   りなるピンと、 当該ピンが一端を突き出させるように差し入れ、組み付
   けられる導電性材料よりなる少なくとも一端が開口され
   た筒状スリーブとを備えるコンタクトプローブを収める
   導電性材料よりなる筒状ソケットであって、 このソケットが、当該ソケットの取付穴を備えると共に
   接地してある導電性材料よりなる取付部材における当該
   取付穴より少なくとも前記コンタクトプローブのピンの
   一端を突き出させるように当該取付穴に嵌め付けられる
   と共に、 このソケットが、当該ソケットの外側に、当該ソケット
   と前記取付部材とを絶縁する絶縁層を備えており、 この絶縁層が、前記ソケットに巻き付けられた絶縁テー
   プ又は絶縁糸状体により構成してあることを特徴とする
   コンタクトプローブ取付用ソケット。
4. 【請求項４】 絶縁テープ又は絶縁糸状体が、多孔質テ
   フロンよりなることを特徴とする請求項３記載のコンタ
   クトプローブ取付用ソケット。