JP2000105262A - 測定用治具 - Google Patents
測定用治具Info
- Publication number
- JP2000105262A JP2000105262A JP27750498A JP27750498A JP2000105262A JP 2000105262 A JP2000105262 A JP 2000105262A JP 27750498 A JP27750498 A JP 27750498A JP 27750498 A JP27750498 A JP 27750498A JP 2000105262 A JP2000105262 A JP 2000105262A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- terminal
- measuring
- measurement
- dut
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】被測定デバイスが、より寸法の小さい表面実装
型の部品であっても測定可能であり、また、測定端子と
DUT電極との再接続ごとに測定値が変化することの無
い測定用治具を提供する。 【解決手段】本発明の一実施例によれば、固定測定端子
と可動測定端子とをそれぞれが有する第1、第2の測定
端子ブロックを備えた測定用治具が提供される。これら
の測定端子はDUT置き台に載置されたDUTのそれぞ
れ対応する電極に接触される。固定測定端子は絶縁体を
介して導電性ブロックに固定される。可動測定端子は、
導電性外殻と、外殻の中に挿着された導電性可動ピン
と、外殻の中に配置され可動ピンをばね付勢するための
バネとを有し、可動ピンは外部から印加される圧力に応
じて外殻に対し伸縮する。外殻は導電性ソケットに挿着
され、導電性ソケットは導電性ブロックの開口に挿着さ
れた絶縁体を貫通して挿着され、導電性ブロックとの間
で同軸構造を形成する。
型の部品であっても測定可能であり、また、測定端子と
DUT電極との再接続ごとに測定値が変化することの無
い測定用治具を提供する。 【解決手段】本発明の一実施例によれば、固定測定端子
と可動測定端子とをそれぞれが有する第1、第2の測定
端子ブロックを備えた測定用治具が提供される。これら
の測定端子はDUT置き台に載置されたDUTのそれぞ
れ対応する電極に接触される。固定測定端子は絶縁体を
介して導電性ブロックに固定される。可動測定端子は、
導電性外殻と、外殻の中に挿着された導電性可動ピン
と、外殻の中に配置され可動ピンをばね付勢するための
バネとを有し、可動ピンは外部から印加される圧力に応
じて外殻に対し伸縮する。外殻は導電性ソケットに挿着
され、導電性ソケットは導電性ブロックの開口に挿着さ
れた絶縁体を貫通して挿着され、導電性ブロックとの間
で同軸構造を形成する。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に、インダクタ、
キャパシタ、抵抗等の電気部品を保持し、これらの被測
定デバイスをインピーダンス測定器などの測定器に接続
するための測定用治具(テスト・フィクスチャ)に関
し、特に、表面実装型の部品を保持し測定器に接続する
ための測定用治具に関する。
キャパシタ、抵抗等の電気部品を保持し、これらの被測
定デバイスをインピーダンス測定器などの測定器に接続
するための測定用治具(テスト・フィクスチャ)に関
し、特に、表面実装型の部品を保持し測定器に接続する
ための測定用治具に関する。
【0002】
【従来の技術】インダクタ、キャパシタ、抵抗等の被測
定デバイス(DUT)のインピーダンスを精度良く測定
するための測定法として四端子法が従来から一般に良く
知られている。四端子法では被測定デバイスに電流を印
加し、結果生じる被測定デバイスの端子間電圧を測定
し、これらの電流値と電圧値との比からDUTのインピ
ーダンス値等を求めている。以後、測定器からの電流
(測定信号)をDUTに印加するための端子を高電圧電
流端子(Hc)、DUTからの電流を受けて測定器内の
電流計に導くための端子を低電圧電流端子(Lc)、D
UTの端子間の電圧を受けて測定器内の電圧計に導くた
めの端子のうち、電流がDUTに印加される側の端子を
高電圧電圧端子(Hp)、他方の端子を低電圧電圧端子
(Lp)と称する。Hc端子、Lc端子、Hp端子、お
よびLp端子は共に測定用治具の測定端子を構成する。
定デバイス(DUT)のインピーダンスを精度良く測定
するための測定法として四端子法が従来から一般に良く
知られている。四端子法では被測定デバイスに電流を印
加し、結果生じる被測定デバイスの端子間電圧を測定
し、これらの電流値と電圧値との比からDUTのインピ
ーダンス値等を求めている。以後、測定器からの電流
(測定信号)をDUTに印加するための端子を高電圧電
流端子(Hc)、DUTからの電流を受けて測定器内の
電流計に導くための端子を低電圧電流端子(Lc)、D
UTの端子間の電圧を受けて測定器内の電圧計に導くた
めの端子のうち、電流がDUTに印加される側の端子を
高電圧電圧端子(Hp)、他方の端子を低電圧電圧端子
(Lp)と称する。Hc端子、Lc端子、Hp端子、お
よびLp端子は共に測定用治具の測定端子を構成する。
【0003】被測定デバイスが表面実装型部品の場合、
被測定デバイスの電極と測定用治具の測定端子との接続
法には従来いくつかの方法が知られている。一例を図8
に示す。図中、(a)はHc端子とHp端子とが共通接
続されて端子Hを構成し、Lc端子とLp端子とが共通
接続されて端子Lを構成する場合を示す。この接続方法
においては、端子HとDUTの電極1との間の接触抵抗
の変動または端子LとDUTの電極2との間の接触抵抗
の変動が測定値に悪影響を及ぼすという欠点がある。
被測定デバイスの電極と測定用治具の測定端子との接続
法には従来いくつかの方法が知られている。一例を図8
に示す。図中、(a)はHc端子とHp端子とが共通接
続されて端子Hを構成し、Lc端子とLp端子とが共通
接続されて端子Lを構成する場合を示す。この接続方法
においては、端子HとDUTの電極1との間の接触抵抗
の変動または端子LとDUTの電極2との間の接触抵抗
の変動が測定値に悪影響を及ぼすという欠点がある。
【0004】同図(b)は、印加される圧力に応じて先
端のピンが伸縮する測定ピンをHc、Hp、Lc、Lp
各端子に用いた場合を示したものである。一方の測定端
子群、たとえばLc、Lp、をDUTの電極2に押し付
けることによりDUTが移動し、DUTの電極1が他方
の測定端子群Hc、Hpに接触して4つの測定端子とD
UTとの接続が行われる。
端のピンが伸縮する測定ピンをHc、Hp、Lc、Lp
各端子に用いた場合を示したものである。一方の測定端
子群、たとえばLc、Lp、をDUTの電極2に押し付
けることによりDUTが移動し、DUTの電極1が他方
の測定端子群Hc、Hpに接触して4つの測定端子とD
UTとの接続が行われる。
【0005】この方法ではDUTの電極と測定端子との
接続を再度行う毎に各測定端子のピンの長さlが変化し
てしまい、この部分のインダクタンスが接続のたびに変
化するため、測定値の再現性に問題が生ずる。また、隣
接する測定端子間の距離dが測定端子の太さにより制限
を受けるため、ある値以下に小さくすることができな
い。したがって、寸法の小さい部品を測定する場合、隣
接する測定端子、たとえばHc、Hp、は平行にするの
ではなく、ピン先から遠ざかるにしたがって距離dが大
きくなるように、すなわち両者間に角度を持たせること
により小さい部品にも対応可能となる。しかしながら、
可動ピンのこのような使い方は破損し易く機械的に極め
て望ましくない。
接続を再度行う毎に各測定端子のピンの長さlが変化し
てしまい、この部分のインダクタンスが接続のたびに変
化するため、測定値の再現性に問題が生ずる。また、隣
接する測定端子間の距離dが測定端子の太さにより制限
を受けるため、ある値以下に小さくすることができな
い。したがって、寸法の小さい部品を測定する場合、隣
接する測定端子、たとえばHc、Hp、は平行にするの
ではなく、ピン先から遠ざかるにしたがって距離dが大
きくなるように、すなわち両者間に角度を持たせること
により小さい部品にも対応可能となる。しかしながら、
可動ピンのこのような使い方は破損し易く機械的に極め
て望ましくない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、測定
端子とDUTの電極との間の接触抵抗の変動が測定値に
及ぼす影響の少ない測定用治具を提供することにある。
本発明の別の課題は、より寸法の小さい表面実装型部品
をも取り扱い、測定することのできる測定用治具を提供
することにある。本発明のさらに別の課題は、測定端子
とDUTの電極との再接続ごとに測定値が変化すること
の少ない測定用治具を提供することにある。
端子とDUTの電極との間の接触抵抗の変動が測定値に
及ぼす影響の少ない測定用治具を提供することにある。
本発明の別の課題は、より寸法の小さい表面実装型部品
をも取り扱い、測定することのできる測定用治具を提供
することにある。本発明のさらに別の課題は、測定端子
とDUTの電極との再接続ごとに測定値が変化すること
の少ない測定用治具を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の一実施例によれ
ば、第1の測定端子ブロックと、第2の測定端子ブロッ
クと、第1、第2の測定端子ブロックの間に配置された
DUT置き台とを備えた測定用治具が提供される。各測
定端子ブロックには導電性ブロックと固定測定端子と可
動測定端子とが設けられている。これらの測定端子はD
UT置き台に載置されたDUTのそれぞれ対応する電極
に接触される。固定測定端子は絶縁体を介して導電性ブ
ロックに固定される。可動測定端子は、導電性外殻と、
外殻の中に挿着された導電性可動ピンと、外殻の中に配
置され可動ピンをばね付勢するためのバネとを有し、可
動ピンは外部から印加される圧力に応じて外殻に対し伸
縮する。外殻は、導電性ソケットに挿着され、導電性ソ
ケットは導電性ブロックの開口に挿着された絶縁体を貫
通して挿着され、導電性ブロックとの間で同軸構造を形
成する。
ば、第1の測定端子ブロックと、第2の測定端子ブロッ
クと、第1、第2の測定端子ブロックの間に配置された
DUT置き台とを備えた測定用治具が提供される。各測
定端子ブロックには導電性ブロックと固定測定端子と可
動測定端子とが設けられている。これらの測定端子はD
UT置き台に載置されたDUTのそれぞれ対応する電極
に接触される。固定測定端子は絶縁体を介して導電性ブ
ロックに固定される。可動測定端子は、導電性外殻と、
外殻の中に挿着された導電性可動ピンと、外殻の中に配
置され可動ピンをばね付勢するためのバネとを有し、可
動ピンは外部から印加される圧力に応じて外殻に対し伸
縮する。外殻は、導電性ソケットに挿着され、導電性ソ
ケットは導電性ブロックの開口に挿着された絶縁体を貫
通して挿着され、導電性ブロックとの間で同軸構造を形
成する。
【0008】固定測定端子の可動測定端子に隣接する側
の端部は可動測定端子に対し角度をもたせる(傾斜させ
る)ことができる。このため、固定測定端子と可動測定
端子との組み合わせによって、より寸法の小さいDUT
の測定に対しても対応可能になる。可動測定端子先端の
導電性ブロックからの距離は固定測定端子のそれよりわ
ずかに長く、固定測定端子がDUTの電極に接触したと
き、可動測定端子の先端は十分にDUTの電極に接触し
ていて、測定端子とDUT電極との十分な接触が保証さ
れる。また、DUTの電極との接触時には、可動測定端
子先端の導電性ブロックからの距離は、固定測定端子の
それと同じになり、この値はDUT電極との再接続のた
びに変わることはなく、一定である。
の端部は可動測定端子に対し角度をもたせる(傾斜させ
る)ことができる。このため、固定測定端子と可動測定
端子との組み合わせによって、より寸法の小さいDUT
の測定に対しても対応可能になる。可動測定端子先端の
導電性ブロックからの距離は固定測定端子のそれよりわ
ずかに長く、固定測定端子がDUTの電極に接触したと
き、可動測定端子の先端は十分にDUTの電極に接触し
ていて、測定端子とDUT電極との十分な接触が保証さ
れる。また、DUTの電極との接触時には、可動測定端
子先端の導電性ブロックからの距離は、固定測定端子の
それと同じになり、この値はDUT電極との再接続のた
びに変わることはなく、一定である。
【0009】固定測定端子と、可動測定端子の導電性ソ
ケットの端部とにはそれぞれ芯線が接続されており、こ
れらの芯線はそれぞれ導電性ブロックとの間で同軸構造
をほぼ維持しながら導電性ブロック内を通過する。各測
定端子ブロックは測定器接続用ボックスの上部基台に摺
動可能に取り付けられる。測定時には、第1、第2の測
定端子ブロックの各導電性ブロックは接合部材により互
いに電気的に接続され、性能の優れた四端子対測定を提
供する。
ケットの端部とにはそれぞれ芯線が接続されており、こ
れらの芯線はそれぞれ導電性ブロックとの間で同軸構造
をほぼ維持しながら導電性ブロック内を通過する。各測
定端子ブロックは測定器接続用ボックスの上部基台に摺
動可能に取り付けられる。測定時には、第1、第2の測
定端子ブロックの各導電性ブロックは接合部材により互
いに電気的に接続され、性能の優れた四端子対測定を提
供する。
【0010】
【実施例】図1に本発明による測定用治具100の一実
施例を示す。また、図2に測定端子ブロック200の詳
細を示す。なお、その他の図を含め全図を通して同様な
機能を有する構成要素には同じ参照番号を付してある。
施例を示す。また、図2に測定端子ブロック200の詳
細を示す。なお、その他の図を含め全図を通して同様な
機能を有する構成要素には同じ参照番号を付してある。
【0011】測定用治具100には主に測定器接続用ボ
ックス110、測定端子ブロック200、250、およ
びDUT置き台300が備えられている。測定用治具1
00は図7に示すBNC端子701により、測定器の前
面パネルに設けられた対応するBNC端子に直接あるい
は同軸ケーブルを介して接続される。測定器接続用ボッ
クス110は主に下部基台111と上部基台112とか
ら構成され、これらの基台は図示しないL型金具により
基台の裏側から結合される。各L型金具の一片は上部基
台112の裏面に貫通孔122を通るリベットにより留
められる。下部基台111はL型金具の他片に設けられ
たネジ穴に開口121を通してネジをねじ込むことによ
り固定される。
ックス110、測定端子ブロック200、250、およ
びDUT置き台300が備えられている。測定用治具1
00は図7に示すBNC端子701により、測定器の前
面パネルに設けられた対応するBNC端子に直接あるい
は同軸ケーブルを介して接続される。測定器接続用ボッ
クス110は主に下部基台111と上部基台112とか
ら構成され、これらの基台は図示しないL型金具により
基台の裏側から結合される。各L型金具の一片は上部基
台112の裏面に貫通孔122を通るリベットにより留
められる。下部基台111はL型金具の他片に設けられ
たネジ穴に開口121を通してネジをねじ込むことによ
り固定される。
【0012】測定端子ブロック200にはDUTの一方
の電極に接触するための固定測定端子230および可動
測定端子235が備えられている。固定測定端子230
は、ネジ穴231が設けられていて、絶縁体220の開
口221を下から通るネジ225により絶縁体220に
固定される。絶縁体220は開口223を通してネジ2
24をネジ穴216にねじ込むことにより導電性ブロッ
ク210に固定される。
の電極に接触するための固定測定端子230および可動
測定端子235が備えられている。固定測定端子230
は、ネジ穴231が設けられていて、絶縁体220の開
口221を下から通るネジ225により絶縁体220に
固定される。絶縁体220は開口223を通してネジ2
24をネジ穴216にねじ込むことにより導電性ブロッ
ク210に固定される。
【0013】可動測定端子235は導電性外殻237
と、外殻237に挿着された導電性可動ピン236と、
外殻237の内部に配置されて可動ピン236をバネ付
勢するためのバネ(不図示)とを有し、可動ピン236
は印加される圧力に応じて外殻237に対し伸縮するこ
とができる。外殻237は導電性ソケット238に挿着
され、導電性ソケット238は絶縁体239に貫通する
ようにして挿着され固定される。絶縁体239は導電性
ブロック210の開口218に挿着されて固定される。
外殻237は導電性ブロック210との間で同軸構造を
形成する。
と、外殻237に挿着された導電性可動ピン236と、
外殻237の内部に配置されて可動ピン236をバネ付
勢するためのバネ(不図示)とを有し、可動ピン236
は印加される圧力に応じて外殻237に対し伸縮するこ
とができる。外殻237は導電性ソケット238に挿着
され、導電性ソケット238は絶縁体239に貫通する
ようにして挿着され固定される。絶縁体239は導電性
ブロック210の開口218に挿着されて固定される。
外殻237は導電性ブロック210との間で同軸構造を
形成する。
【0014】導電性ソケット238の端部は、一端がB
NC端子701(図7)の1つに接続された同軸ケーブ
ルの他端における芯線に導電性ブロック210の上部開
口214内でハンダ付けにより接続される。この芯線
は、開口214の下では絶縁体により導電性ブロック2
10から絶縁された状態で導電性ブロック210内を通
る。同軸ケーブルの外部導体は導電性ブロック210の
下部外側で導電性ブロック210に接続される。
NC端子701(図7)の1つに接続された同軸ケーブ
ルの他端における芯線に導電性ブロック210の上部開
口214内でハンダ付けにより接続される。この芯線
は、開口214の下では絶縁体により導電性ブロック2
10から絶縁された状態で導電性ブロック210内を通
る。同軸ケーブルの外部導体は導電性ブロック210の
下部外側で導電性ブロック210に接続される。
【0015】固定測定端子230の中央部には絶縁体2
20の開口222を下から通る別の同軸ケーブルの芯線
がハンダ付けにより接続され、この芯線は導電性ブロッ
ク210内の開口217を通して絶縁体により導電性ブ
ロック210から絶縁された状態で導電性ブロック21
0内を通る。同軸ケーブルの外部導体は導電性ブロック
210の下部外側で導電性ブロック210に接続され
る。この同軸ケーブルの他端は図7に示すBNC端子7
01の1つに接続される。このような構成により、固定
測定端子230および可動測定端子235は共に導電性
ブロック210内でほぼ同軸構造を維持することができ
る。
20の開口222を下から通る別の同軸ケーブルの芯線
がハンダ付けにより接続され、この芯線は導電性ブロッ
ク210内の開口217を通して絶縁体により導電性ブ
ロック210から絶縁された状態で導電性ブロック21
0内を通る。同軸ケーブルの外部導体は導電性ブロック
210の下部外側で導電性ブロック210に接続され
る。この同軸ケーブルの他端は図7に示すBNC端子7
01の1つに接続される。このような構成により、固定
測定端子230および可動測定端子235は共に導電性
ブロック210内でほぼ同軸構造を維持することができ
る。
【0016】測定端子ブロック200、250のそれぞ
れの導電性ブロック210は、測定時には弾性接続部材
201により電気的に相互接続されるようになってい
る。これにより、測定用同軸ケーブル4本のDUT側に
おける外部導体がDUT近辺で互いに接続されたのとほ
ぼ同じ効果を有することになり、性能の優れた四端子対
測定を実現することができる。
れの導電性ブロック210は、測定時には弾性接続部材
201により電気的に相互接続されるようになってい
る。これにより、測定用同軸ケーブル4本のDUT側に
おける外部導体がDUT近辺で互いに接続されたのとほ
ぼ同じ効果を有することになり、性能の優れた四端子対
測定を実現することができる。
【0017】トップカバー205には皿穴206が設け
られており、この皿穴206を通して皿ネジによりトッ
プカバー205は導電性ブロック210に固定される。
開口207は、導電性ブロック210をリニアスライダ
270に取り付けるネジを外部上方より付勢して緩め、
導電性ブロック210をわずかに動かして測定端子とD
UT電極との位置関係を微調整するためのものである。
リニアスライダ270は一般に市販されているものを使
用している。
られており、この皿穴206を通して皿ネジによりトッ
プカバー205は導電性ブロック210に固定される。
開口207は、導電性ブロック210をリニアスライダ
270に取り付けるネジを外部上方より付勢して緩め、
導電性ブロック210をわずかに動かして測定端子とD
UT電極との位置関係を微調整するためのものである。
リニアスライダ270は一般に市販されているものを使
用している。
【0018】L型トップカバー240にはプレス留めさ
れたオスネジ242が設けられ、このネジ242にスタ
ッド243がネジ留めされる。スタッド243の底部に
はドライバによって付勢するための溝が設けられてい
る。スタッド243の中央部には一端がスタッド262
の中央部に設けられた溝に引っかけられたバネの他端を
引っかけるための溝が備えられていて、この構成により
測定端子ブロック200および250は測定器接続用ボ
ックスの内部において互いにバネ付勢される。スタッド
243、262はそれぞれ測定器接続用ボックス110
の上部基台112の開口134、131に挿入される。
れたオスネジ242が設けられ、このネジ242にスタ
ッド243がネジ留めされる。スタッド243の底部に
はドライバによって付勢するための溝が設けられてい
る。スタッド243の中央部には一端がスタッド262
の中央部に設けられた溝に引っかけられたバネの他端を
引っかけるための溝が備えられていて、この構成により
測定端子ブロック200および250は測定器接続用ボ
ックスの内部において互いにバネ付勢される。スタッド
243、262はそれぞれ測定器接続用ボックス110
の上部基台112の開口134、131に挿入される。
【0019】円筒型外部レバー246はL型トップカバ
ー240に固着され、この外部レバー246を貫通して
つまみレバー245が挿入されている。つまみレバー2
45の下部の直径の細い円柱形棒状部にはネジが設けら
れていて、このネジ部にはナット247が勘合されてい
る。つまみレバー245を回転することによりL型トッ
プカバー240とナット247とで測定器接続用ボック
ス110の開口134の周辺において上部基台112を
挟み付け、測定端子ブロック200を上部基台112に
固定することができる。レバー261の下部の直径の細
い円柱形棒状部にはネジが設けられており、この部分は
L型トップカバー260に設けられた開口を貫通して挿
着され、このネジにスタッド262がネジ留めされる。
スタッド262の底部にはドライバによって付勢するた
めの溝が設けられている。
ー240に固着され、この外部レバー246を貫通して
つまみレバー245が挿入されている。つまみレバー2
45の下部の直径の細い円柱形棒状部にはネジが設けら
れていて、このネジ部にはナット247が勘合されてい
る。つまみレバー245を回転することによりL型トッ
プカバー240とナット247とで測定器接続用ボック
ス110の開口134の周辺において上部基台112を
挟み付け、測定端子ブロック200を上部基台112に
固定することができる。レバー261の下部の直径の細
い円柱形棒状部にはネジが設けられており、この部分は
L型トップカバー260に設けられた開口を貫通して挿
着され、このネジにスタッド262がネジ留めされる。
スタッド262の底部にはドライバによって付勢するた
めの溝が設けられている。
【0020】リニアスライダ270は測定器接続用ボッ
クス110の上部基台112に裏側よりネジ留めされて
いて、レバー246、261をそれぞれ開口134、1
31に沿って移動させることにより測定端子ブロック2
00、250、したがって測定端子230、235をリ
ニアスライダの移動方向に沿って移動させることができ
る。
クス110の上部基台112に裏側よりネジ留めされて
いて、レバー246、261をそれぞれ開口134、1
31に沿って移動させることにより測定端子ブロック2
00、250、したがって測定端子230、235をリ
ニアスライダの移動方向に沿って移動させることができ
る。
【0021】図3および図4にDUT置き台300の詳
細を示す。DUT置き台300は測定器接続用ボックス
110の上部基台112に開口125を通して裏側から
ネジ留めされる。DUT置き台300には、実際にDU
Tを載置するDUT載置部301と、オープン校正用レ
バー310、およびショート校正用レバー320が備え
られている。また、DUTが滑落するのを防止してDU
TをDUT載置部301の所定の位置に支持するための
DUT支持棒302と、DUT支持棒302をDUT置
き台300に対して押圧して固定するためのネジ303
が備えられている。
細を示す。DUT置き台300は測定器接続用ボックス
110の上部基台112に開口125を通して裏側から
ネジ留めされる。DUT置き台300には、実際にDU
Tを載置するDUT載置部301と、オープン校正用レ
バー310、およびショート校正用レバー320が備え
られている。また、DUTが滑落するのを防止してDU
TをDUT載置部301の所定の位置に支持するための
DUT支持棒302と、DUT支持棒302をDUT置
き台300に対して押圧して固定するためのネジ303
が備えられている。
【0022】オープン、ショート校正用各レバー31
0、320は直径の大きい頭部を有するピン304を軸
に回転することができる。オープン校正用レバー310
の片面には一部に電極端子311が設けられており、こ
れに測定端子の一方の群が接触される。他面は全面グラ
ンド312になっており、静電シールドの役目を果た
す。この全面グランド312はオープン校正用レバー3
10とショート校正用レバー320との間に設けられた
図示しない導電性ゴムにより押圧された状態この導電性
ゴムに電気的に接続する。導電性ゴムはこれを接触状態
で貫通するピン304に電気的に接続される。
0、320は直径の大きい頭部を有するピン304を軸
に回転することができる。オープン校正用レバー310
の片面には一部に電極端子311が設けられており、こ
れに測定端子の一方の群が接触される。他面は全面グラ
ンド312になっており、静電シールドの役目を果た
す。この全面グランド312はオープン校正用レバー3
10とショート校正用レバー320との間に設けられた
図示しない導電性ゴムにより押圧された状態この導電性
ゴムに電気的に接続する。導電性ゴムはこれを接触状態
で貫通するピン304に電気的に接続される。
【0023】導電性ブロック210に一端がその底部で
接続されたリード線の他端は、測定器接続用ボックス1
10の上部基台112の開口124を通してDUT置き
台300の開口307を通り、ピン304の頭部に設け
られた開口305を下から貫通して出た所でピン304
の頭部にはんだ付けされる。これにより、オープン校正
用レバー310のグランド面312が導電性ブロック2
10に電気的に接続されて静電シールドの役目を果た
す。ピン304の頭部はDUT置き台300に設けられ
た凹部308に勘合して、その形状によりピンが回転す
るのを防ぎ、回転によってリード線が切れるのを防止す
る。グランド面312の代りに、グランド専用のレバー
をオープン校正用レバーとショート校正用レバーとの間
に新たに設けることもできる。
接続されたリード線の他端は、測定器接続用ボックス1
10の上部基台112の開口124を通してDUT置き
台300の開口307を通り、ピン304の頭部に設け
られた開口305を下から貫通して出た所でピン304
の頭部にはんだ付けされる。これにより、オープン校正
用レバー310のグランド面312が導電性ブロック2
10に電気的に接続されて静電シールドの役目を果た
す。ピン304の頭部はDUT置き台300に設けられ
た凹部308に勘合して、その形状によりピンが回転す
るのを防ぎ、回転によってリード線が切れるのを防止す
る。グランド面312の代りに、グランド専用のレバー
をオープン校正用レバーとショート校正用レバーとの間
に新たに設けることもできる。
【0024】ショート校正用レバー320の一部にはシ
ョート校正用の導電板321が設けられている。導電板
321の厚さは約1mmであって、ショート校正用レバ
ー320の厚さ約1.6mmよりも薄い。導電板321
の厚さを薄くすることにより、より性能の優れたショー
トを実現することができる。ショート用導電板がショー
ト校正用レバーに固着されているため、ショート校正用
レバーを回転移動することにより、容易にショートをD
UT載置部に置くことができる。また、ショート板をな
くすこともなくなる。ショート測定時には、2つの測定
端子群をそれぞれ導電板321の、対応する面に接触さ
せる。
ョート校正用の導電板321が設けられている。導電板
321の厚さは約1mmであって、ショート校正用レバ
ー320の厚さ約1.6mmよりも薄い。導電板321
の厚さを薄くすることにより、より性能の優れたショー
トを実現することができる。ショート用導電板がショー
ト校正用レバーに固着されているため、ショート校正用
レバーを回転移動することにより、容易にショートをD
UT載置部に置くことができる。また、ショート板をな
くすこともなくなる。ショート測定時には、2つの測定
端子群をそれぞれ導電板321の、対応する面に接触さ
せる。
【0025】図5にはオープン、ショート、およびDU
T測定時における各校正用レバーの位置が示される。図
中(a)はショート校正時のレバーの位置を示す図で、
ショート校正用レバー320は図示の位置、すなわちD
UT載置部301上、に置かれる。同図(b)はオープ
ン校正時のレバーの位置を示す図で、ショート校正用レ
バー320およびオープン校正用レバー310は図示の
位置に置かれる。この場合、ショート校正用レバー32
0はDUT載置部301上に置かれるが、オープン校正
用レバー310の下は空間にすることもできる。これは
DUT載置部301の厚さをなるべく薄くして、寸法の
小さいDUTに対しても、固定測定端子および可動測定
端子の、導電性ブロック210から突き出た部分の長さ
をできるだけ最小にするためである。これにより、各測
定端子のこの部分のインダクタンス等を低減することが
でき、測定精度を向上させることができる。
T測定時における各校正用レバーの位置が示される。図
中(a)はショート校正時のレバーの位置を示す図で、
ショート校正用レバー320は図示の位置、すなわちD
UT載置部301上、に置かれる。同図(b)はオープ
ン校正時のレバーの位置を示す図で、ショート校正用レ
バー320およびオープン校正用レバー310は図示の
位置に置かれる。この場合、ショート校正用レバー32
0はDUT載置部301上に置かれるが、オープン校正
用レバー310の下は空間にすることもできる。これは
DUT載置部301の厚さをなるべく薄くして、寸法の
小さいDUTに対しても、固定測定端子および可動測定
端子の、導電性ブロック210から突き出た部分の長さ
をできるだけ最小にするためである。これにより、各測
定端子のこの部分のインダクタンス等を低減することが
でき、測定精度を向上させることができる。
【0026】オープン測定時には、一方の測定端子群
(同じ測定端子ブロック内の固定測定端子と可動測定端
子との組)はオープン校正用レバーの電極311に接触
され、他方の測定端子群はショート校正用レバーの導電
板321に接触される。これにより、オープン、ショー
ト校正用レバーによってオープンの電極間距離が規定さ
れるため、オープンの測定毎の測定値の変動が低減され
る。オープン校正用レバーの片面に設けられた全面グラ
ンド312は静電シールドの役目を果たすが、これによ
り、両測定端子群間の浮遊容量が各測定端子群とグラン
ドとの浮遊容量に変換される。この変換後の浮遊容量は
校正により容易に補正することができ、高精度の測定を
行うことができる。同図(c)はDUT測定時のレバー
の位置を示す図であり、ショート、オープン校正用各レ
バー310、320はいずれもDUT載置部301から
離れた所定の位置で保持される。
(同じ測定端子ブロック内の固定測定端子と可動測定端
子との組)はオープン校正用レバーの電極311に接触
され、他方の測定端子群はショート校正用レバーの導電
板321に接触される。これにより、オープン、ショー
ト校正用レバーによってオープンの電極間距離が規定さ
れるため、オープンの測定毎の測定値の変動が低減され
る。オープン校正用レバーの片面に設けられた全面グラ
ンド312は静電シールドの役目を果たすが、これによ
り、両測定端子群間の浮遊容量が各測定端子群とグラン
ドとの浮遊容量に変換される。この変換後の浮遊容量は
校正により容易に補正することができ、高精度の測定を
行うことができる。同図(c)はDUT測定時のレバー
の位置を示す図であり、ショート、オープン校正用各レ
バー310、320はいずれもDUT載置部301から
離れた所定の位置で保持される。
【0027】オープンまたはショートの校正において
は、まず、DUT置き台の所定に位置に所定の校正用レ
バーを回転移動して保持し、各測定端子ブロックを滑動
可能な状態にして各測定端子ブロックの測定端子が所定
の校正用レバーの所定の電極に接触するようにして校正
を行う。DUTの測定においては、まず、DUT置き台
の上にDUTを置き、一方の測定端子ブロックを移動し
て測定端子がDUTの一方の電極にほぼ接触するように
して固定する。次に他方の測定端子ブロックを移動して
測定端子により測定対象の他方の電極を押圧するように
し、各測定端子群がDUTのそれぞれ対応する電極に十
分接触するようにしてこの測定端子ブロックを固定し、
測定する。
は、まず、DUT置き台の所定に位置に所定の校正用レ
バーを回転移動して保持し、各測定端子ブロックを滑動
可能な状態にして各測定端子ブロックの測定端子が所定
の校正用レバーの所定の電極に接触するようにして校正
を行う。DUTの測定においては、まず、DUT置き台
の上にDUTを置き、一方の測定端子ブロックを移動し
て測定端子がDUTの一方の電極にほぼ接触するように
して固定する。次に他方の測定端子ブロックを移動して
測定端子により測定対象の他方の電極を押圧するように
し、各測定端子群がDUTのそれぞれ対応する電極に十
分接触するようにしてこの測定端子ブロックを固定し、
測定する。
【0028】図6は固定測定端子の形状と、DUT測定
時におけるDUTと各測定端子との位置関係を示す概略
部分平面図である。固定測定端子230の可動測定端子
235に隣接する側の端部601は可動測定端子235
に対し角度αをもたせる(傾斜させる)ことができる。
このため、固定測定端子230と可動測定端子235と
の組み合わせによって、より寸法の小さいDUTの測定
に対しても対応可能になる。可動測定端子先端の導電性
ブロック210からの距離は固定測定端子230のそれ
よりわずかに長く、固定測定端子230がDUTの電極
に接触したとき、可動測定端子235の先端は十分にD
UTの電極に接触していて、測定端子230、235と
DUT電極との十分な接触が保証される。また、DUT
の電極との接触時には、可動測定端子先端の導電性ブロ
ック210からの距離は、固定測定端子のそれと同じく
値aになり、この値aはDUT電極との再接続のたびに
変わることはなく、一定である。
時におけるDUTと各測定端子との位置関係を示す概略
部分平面図である。固定測定端子230の可動測定端子
235に隣接する側の端部601は可動測定端子235
に対し角度αをもたせる(傾斜させる)ことができる。
このため、固定測定端子230と可動測定端子235と
の組み合わせによって、より寸法の小さいDUTの測定
に対しても対応可能になる。可動測定端子先端の導電性
ブロック210からの距離は固定測定端子230のそれ
よりわずかに長く、固定測定端子230がDUTの電極
に接触したとき、可動測定端子235の先端は十分にD
UTの電極に接触していて、測定端子230、235と
DUT電極との十分な接触が保証される。また、DUT
の電極との接触時には、可動測定端子先端の導電性ブロ
ック210からの距離は、固定測定端子のそれと同じく
値aになり、この値aはDUT電極との再接続のたびに
変わることはなく、一定である。
【0029】図中、一方の測定端子ブロックの固定測定
端子230は高電圧電流端子(Hc)として用いられ、
可動測定端子235は高電圧電圧端子(Hp)として用
いられる。Hc端子およびHp端子は共にDUTの一方
の電極に接続される。他方の測定端子ブロックの固定測
定端子230は低電圧電圧端子(Lp)として用いら
れ、可動測定端子235は低電圧電流端子(Lc)とし
て用いられる。Lc端子およびLp端子は共にDUTの
他方の電極に接続される。
端子230は高電圧電流端子(Hc)として用いられ、
可動測定端子235は高電圧電圧端子(Hp)として用
いられる。Hc端子およびHp端子は共にDUTの一方
の電極に接続される。他方の測定端子ブロックの固定測
定端子230は低電圧電圧端子(Lp)として用いら
れ、可動測定端子235は低電圧電流端子(Lc)とし
て用いられる。Lc端子およびLp端子は共にDUTの
他方の電極に接続される。
【0030】一般に四端子対測定において、伝搬する信
号の品質が測定値の精度に及ぼす影響の度合いはHp端
子およびLc端子の方がHc端子およびLp端子に比べ
て大きい。可動測定端子235は導電性ブロック210
の点Pから先、測定器まではほぼ同軸構造を維持し、同
軸構造がくずれる部分が極めて小さいため、伝搬する信
号の品質に及ぼす影響は小さい。したがって、可動測定
端子235はHp端子およびLc端子として用いるのが
望ましい。なお、図では右側の測定端子ブロックにHc
端子およびHp端子を設け、左側の測定端子ブロックに
Lc端子およびLp端子を設けているが、反対にしても
良いことは言うまでもない。
号の品質が測定値の精度に及ぼす影響の度合いはHp端
子およびLc端子の方がHc端子およびLp端子に比べ
て大きい。可動測定端子235は導電性ブロック210
の点Pから先、測定器まではほぼ同軸構造を維持し、同
軸構造がくずれる部分が極めて小さいため、伝搬する信
号の品質に及ぼす影響は小さい。したがって、可動測定
端子235はHp端子およびLc端子として用いるのが
望ましい。なお、図では右側の測定端子ブロックにHc
端子およびHp端子を設け、左側の測定端子ブロックに
Lc端子およびLp端子を設けているが、反対にしても
良いことは言うまでもない。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明を用いるこ
とにより、測定端子とDUTの電極との間の接触抵抗の
変動が測定値に及ぼす影響を低減することができる。ま
た、DUTが寸法の小さい表面実装型の部品であっても
測定することができる。さらに、測定端子とDUT電極
との再接続ごとに測定値が変化するのを低減することが
できる。
とにより、測定端子とDUTの電極との間の接触抵抗の
変動が測定値に及ぼす影響を低減することができる。ま
た、DUTが寸法の小さい表面実装型の部品であっても
測定することができる。さらに、測定端子とDUT電極
との再接続ごとに測定値が変化するのを低減することが
できる。
【図1】本発明の一実施例の測定用治具を示す斜視図で
ある。
ある。
【図2】図1の測定端子ブロックの詳細を示す図であ
る。
る。
【図3】図1のDUT置き台の詳細を示す図である。
【図4】オープン校正用レバーおよびショート校正用レ
バーの詳細を示す図である。
バーの詳細を示す図である。
【図5】ショート、オープン、および部品測定時におけ
る各校正用レバーの位置を示す図である。
る各校正用レバーの位置を示す図である。
【図6】DUTの電極に各測定端子を接触させたときの
様子を示す図である。
様子を示す図である。
【図7】本発明による測定用治具を測定器に接続するた
めの接続部を示す図である。
めの接続部を示す図である。
【図8】従来の四端子測定法を説明するための図であ
る。
る。
110:測定器接続用ボックス 200、250:測定端子ブロック 201:接続部材 230:固定測定端子 235:可動測定端子 300:DUT置き台 301:DUT載置部 310:オープン校正用レバー 320:ショート校正用レバー
Claims (10)
- 【請求項1】被測定デバイス(DUT)の電極に接触し
て信号の受け渡しを行う測定端子を有する第1、第2の
測定端子ブロックを備えて成り、前記各測定端子ブロッ
クは、長さが伸縮不能な固定測定端子と、伸縮可能な可
動測定端子とを有していることを特徴とする測定用治
具。 - 【請求項2】前記固定測定端子の前記可動測定端子に隣
接する側の端部は前記可動測定端子に対し傾斜している
ことを特徴とする請求項1に記載の測定用治具。 - 【請求項3】前記各測定端子ブロックは前記固定測定端
子を絶縁体を介して固定するための導電性ブロックをさ
らに備えて成り、前記可動測定端子は細長いピン状であ
って、前記導電性ブロックに設けられた開口内に該導電
性ブロックとの間で同軸構造を形成するよう絶縁体を介
して配置されていることを特徴とする請求項1に記載の
測定用治具。 - 【請求項4】前記固定測定端子および前記可動測定端子
は芯線が接続され、該芯線は前記導電性ブロックとの間
で同軸構造をほぼ維持しつつ該導電性ブロック内を通過
していることを特徴とする請求項3に記載の測定用治
具。 - 【請求項5】前記各導電性ブロックは、測定時には接続
部材により互いに電気的に接続されることを特徴とする
請求項4に記載の測定用治具。 - 【請求項6】前記測定端子は四端子測定に用いられ、前
記第1の測定端子ブロックの固定測定端子および可動測
定端子はそれぞれ高電圧電流端子、高電圧電圧端子とし
て用いられ、前記第2の測定端子ブロックの固定測定端
子および可動測定端子は、それぞれ低電圧電圧端子、低
電圧電流端子として用いられることを特徴とする請求項
1に記載の測定用治具。 - 【請求項7】オープン校正用レバーおよびショート校正
用レバーのうち少なくとも1つを有するDUT置き台を
さらに備えて成ることを特徴とする請求項1に記載の測
定用治具。 - 【請求項8】前記オープン、ショート校正用レバーは共
に回転移動可能であって、前記ショート校正用レバーに
は校正用のショートを提供するための導電板が設けら
れ、前記オープン校正用レバーの前記ショート校正用レ
バー側の面には静電シールド部材が設けられ、他面には
前記測定端子に接触するための電極が設けられているこ
とを特徴とする請求項7に記載の測定用治具。 - 【請求項9】前記DUT置き台にはDUTを支持するた
めのDUT支持部材が設けられていることを特徴とする
請求項7に記載の測定用治具。 - 【請求項10】前記静電シールド部材は前記導電性ブロ
ックに電気的に接続されていることを特徴とする請求項
8に記載の測定用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27750498A JP2000105262A (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 測定用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27750498A JP2000105262A (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 測定用治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000105262A true JP2000105262A (ja) | 2000-04-11 |
Family
ID=17584525
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27750498A Pending JP2000105262A (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 測定用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000105262A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101202760B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2012-11-21 | 조트 오토메이션 오와이 | 테스팅 어댑터 |
JP2017156218A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 日置電機株式会社 | 測定用治具および板状電極製造方法 |
JPWO2019130411A1 (ja) * | 2017-12-26 | 2021-01-14 | 株式会社Fuji | 測定装置 |
-
1998
- 1998-09-30 JP JP27750498A patent/JP2000105262A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101202760B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2012-11-21 | 조트 오토메이션 오와이 | 테스팅 어댑터 |
JP2017156218A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 日置電機株式会社 | 測定用治具および板状電極製造方法 |
JPWO2019130411A1 (ja) * | 2017-12-26 | 2021-01-14 | 株式会社Fuji | 測定装置 |
JP7404072B2 (ja) | 2017-12-26 | 2023-12-25 | 株式会社Fuji | 測定装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1307751B1 (en) | Test probe for wireless-communications devices | |
JP4242199B2 (ja) | Icソケット | |
US4090130A (en) | Capacitive coupled clamp-on voltage probe | |
JPH11281675A (ja) | 信号測定用プローブ | |
JPH1019930A (ja) | 導電性接触子 | |
US5446393A (en) | Electrical measuring and testing probe having a malleable shaft facilitating positioning of a contact pin | |
JP2000105262A (ja) | 測定用治具 | |
US4308498A (en) | Kelvin test fixture for electrically contacting miniature, two terminal, leadless, electrical components | |
US5140273A (en) | Electrode system to facilitate dielectric measurement of materials | |
JP2000105263A (ja) | 校正用レバーを備えたdut置き台及びそれらを用いた校正方法 | |
CN109425787B (zh) | 一种射频搭接阻抗测量装置及其制作和测量方法 | |
EP0317191A2 (en) | Terminal connection device | |
JP2001013186A (ja) | 高周波デバイス用測定治具装置 | |
JP3225841U (ja) | プローブをキャリブレーションするためのキャリブレーションアダプタ | |
JP2003270267A (ja) | プローブユニット、プローブカード、測定装置及びプローブカードの製造方法 | |
JPH07260825A (ja) | 信号測定用プローブ | |
JP3305585B2 (ja) | 表面実装型電子部品の測定装置 | |
JP3022679B2 (ja) | 測定治具の校正部品 | |
US3445766A (en) | Electrical probe device having a plurality of adjustable contacting elements for testing transistors and the like | |
JPH075201A (ja) | プローブ | |
JPH08313555A (ja) | テスタープローブ | |
JPH10213593A (ja) | 接触子及びその接触子を用いた接続治具 | |
JPH08110366A (ja) | 表面実装型電子部品の測定治具 | |
JP2002207049A (ja) | 四探針測定用コンタクトピンと、コンタクト機器と、被測定物側装置と、測定回路側装置 | |
US3283248A (en) | Electrical probe containing a capacitor and a switch assembly for selectively short circuiting such capacitor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20040217 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 |