JPH09260000A - Contact probe and socket for mounting contact probe - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable easy and precise thickness management of an insulation layer to be provided for a contact probe or socket for mounting the contact probe. SOLUTION: This contact probe C is provided with a pin P made of conductive material contacted with an electrode Ta of a measurement target T and a cylindrical sleeve S of which a pin P is inserted so as to permit one end to be protruded and at least one end made of conductive material to be assembled is opened and is constituted to be engaged with a mounting hole Ha so as to permit at least one end of a pin P to be protruded from the mounting hole Ha in a mounting member H made of conductive material provided with the mounting hole Ha of the sleeve S and grounded A. In this case, further, an insulation layer Z insulating a contact probe C and a mounting member H is provided outside the sleeve S. The insulation layer X is constituted by an insulation tape Xa or insulation thread shaped body wound on the sleeve S.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、ＩＣ、ＬＳＩ、
ＬＣＤパネルなどの電子部品などの測定対象物の電気的
検査に用いられるいわゆるコンタクトプローブおよびコ
ンタクトプローブ取付用ソケットに関し、より詳細に
は、前記電子部品のリード部などの電極にコンタクトプ
ローブのピンを接しさせて、該電子部品の回路間を電気
的に接続して検査を行うに際して、各コンタクトプロー
ブに伝送される信号へのノイズの入り込みを防止する絶
縁構造を備えたコンタクトプローブおよびコンタクトプ
ローブ取付用ソケットに関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an IC, an LSI,
The present invention relates to a so-called contact probe and a socket for mounting a contact probe, which are used for electrical inspection of an object to be measured such as an electronic part such as an LCD panel. And a socket for mounting a contact probe having an insulating structure for preventing noise from entering a signal transmitted to each contact probe when the circuits of the electronic component are electrically connected and tested. Regarding

【０００２】[0002]

【従来の技術】ＩＣ、ＬＳＩ、ＬＣＤパネルなどの電子
部品などの測定対象物の電気的検査に用いられるいわゆ
るコンタクトプローブでは、前記電子部品などの回路間
の検査を的確に行うために、特定のコンタクトプローブ
が接する特定の電極からもたらされる信号以外の信号、
例えば、検査の対象となる前記電子部品以外の周辺機器
からもたらされる電磁波などにより生じる電流に起因し
た不要な信号からのシールド性が求められている。2. Description of the Related Art In a so-called contact probe used for electrically inspecting an object to be measured such as an electronic component such as an IC, an LSI, an LCD panel, etc., in order to perform an accurate inspection between circuits such as the electronic component, Signals other than those coming from the particular electrode that the contact probe contacts,
For example, it is required to have a shielding property from an unnecessary signal due to a current generated by an electromagnetic wave or the like brought from a peripheral device other than the electronic component to be inspected.

【０００３】こうしたことから、この種のコンタクトプ
ローブにあっては、前記電子部品の電極に接するピン
と、このピンを出没自在に収め入れる筒状のスリーブと
からなるコンタクトプローブにおける当該スリーブの外
側にプラスチックなどの絶縁材による絶縁層を形成させ
ると共に、このコンタクトプローブが差し込み取り付け
られる取付穴を備えた導電性材料よりなる取付部材（通
例取付ヘッドと称される。）を接地させて前記電磁波等
に起因したノイズがコンタクトプローブに伝送される信
号に入り込むことを防止していた。For this reason, in this type of contact probe, a plastic is formed on the outside of the sleeve of the contact probe, which is composed of a pin that comes into contact with the electrode of the electronic component and a cylindrical sleeve that retractably accommodates the pin. An insulating layer made of an insulating material such as is formed, and a mounting member (usually referred to as a mounting head) made of a conductive material having a mounting hole into which the contact probe is inserted and grounded is grounded to cause the electromagnetic waves. The generated noise was prevented from entering the signal transmitted to the contact probe.

【０００４】そして従来は、前記コンタクトプローブを
差し込める内径を備えたプラスチック製のチューブを用
意し、このチューブ内に前記コンタクトプローブを差し
込んで、当該コンタクトプローブにおける前記スリーブ
の外側に絶縁層を設けていた。Conventionally, a plastic tube having an inner diameter into which the contact probe can be inserted is prepared, the contact probe is inserted into the tube, and an insulating layer is provided outside the sleeve of the contact probe. It was

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ここで、前記コンタク
トプローブによる前記電子部品などの測定対象物の電気
的測定は、当該コンタクトプローブに伝送される信号を
適宜の測定器に印加させることによりなされるところ、
この測定器による測定を正確になすためには、コンタク
トプローブ側のインピーダンスが一定の値に保たれてい
る必要がある。The electrical measurement of the measuring object such as the electronic component by the contact probe is performed by applying a signal transmitted to the contact probe to an appropriate measuring device. By the way
In order to make accurate measurements with this measuring instrument, the impedance on the contact probe side must be maintained at a constant value.

【０００６】しかるに、かかるコンタクトプローブ側の
インピーダンスは主としてコンタクトプローブの径と、
このコンタクトプローブと導電性材料よりなる取付部材
との間に設けられた前記絶縁層の厚さおよび当該絶縁層
を構成する絶縁材の誘電率により定まることから、かか
るコンタクトプローブ側のインピーダンスを一定に保つ
ためには、特に、前記絶縁層の厚さ寸法を正確に管理す
ることが求められる。However, the impedance on the contact probe side mainly depends on the diameter of the contact probe and
Since the thickness is determined by the thickness of the insulating layer provided between the contact probe and the mounting member made of a conductive material and the dielectric constant of the insulating material forming the insulating layer, the impedance on the contact probe side is kept constant. In order to keep it, it is particularly required to accurately control the thickness dimension of the insulating layer.

【０００７】しかしながら、かかる絶縁層を前記プラス
チック製のチューブにより設ける従来の手法では、当該
チューブの成形技術上、当該チューブの厚さ寸法を正確
に管理することには限界があり、コンタクトプローブ側
のインピーダンスをより厳密に一定値に保つ観点から、
その改善が要請されていた。However, in the conventional method of providing such an insulating layer by the plastic tube, there is a limit in accurately controlling the thickness dimension of the tube due to the molding technology of the tube, and the contact probe side is limited. From the viewpoint of keeping the impedance at a constant value more strictly,
The improvement was requested.

【０００８】また一方、近年におけるＩＣ、ＬＳＩ、Ｌ
ＣＤパネル等の電子部品の高集積化、微細化に伴い、こ
うした電子部品に設けられる複数の電極間のピッチも極
小化してきていることから、極小ピッチで配列されるこ
うした電子部品の複数の電極からの信号の採取を可能と
するために、コンタクトプローブを可能な限り狭ピッチ
で前記取付部材に配列できるように、できる限り前記絶
縁層の厚さを小さくできるように当該絶縁層を構成する
ことが要請されている。On the other hand, in recent years, IC, LSI, L
With the high integration and miniaturization of electronic components such as CD panels, the pitch between the plurality of electrodes provided in such electronic components has also been minimized. Therefore, the plurality of electrodes of such electronic components arranged at a minimum pitch. In order to be able to collect signals from the contact probe, the contact probe can be arranged on the mounting member at a pitch as narrow as possible, and the insulation layer is configured so that the thickness of the insulation layer can be made as small as possible. Has been requested.

【０００９】そこでこの発明は、かかる従来の技術の不
都合を是正することを目的としている。Therefore, the present invention aims to correct the disadvantages of the conventional techniques.

【００１０】また、コンタクトプローブ又はコンタクト
プローブの取付用ソケットに設けられる絶縁層の厚さ管
理を容易かつ正確になし得るようにすることを目的とす
る。Another object of the present invention is to make it possible to easily and accurately control the thickness of the insulating layer provided on the contact probe or the socket for mounting the contact probe.

【００１１】また、かかる絶縁層の厚さをできる限り小
さくできるようにすることを目的とする。Another object is to make the thickness of the insulating layer as small as possible.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明では、コンタクトプローブＣ
を、測定対象物Ｔの電極Ｔａに接する導電性材料よりな
るピンＰと、当該ピンＰが一端を突き出させるように差
し入れ、組み付けられる導電性材料よりなる少なくとも
一端が開口された筒状スリーブＳとを備え、当該スリー
ブＳの取付穴Ｈａを備えると共に接地Ａしてある導電性
材料よりなる取付部材Ｈにおける当該取付穴Ｈａより少
なくとも前記ピンＰの一端を突き出させるように当該取
付穴Ｈａに嵌め付けられるコンタクトプローブＣであっ
て、このコンタクトプローブＣが、前記スリーブＳの外
側に、当該コンタクトプローブＣと前記取付部材Ｈとを
絶縁する絶縁層Ｚを備えると共に、この絶縁層Ｚが、前
記スリーブＳに巻き付けられた絶縁テープＺａ又は絶縁
糸状体Ｚｂにより構成してあるものとした。In order to achieve the above object, the contact probe C according to the invention of claim 1 is provided.
A pin P made of a conductive material, which is in contact with the electrode Ta of the measuring object T, and a cylindrical sleeve S having at least one end made of a conductive material, which is inserted so that the pin P protrudes at one end and which is assembled. The mounting hole Ha of the sleeve S, and at least one end of the pin P protrudes from the mounting hole Ha of the mounting member H made of a conductive material grounded A and fitted into the mounting hole Ha. The contact probe C is provided with an insulating layer Z that insulates the contact probe C and the mounting member H from the outside of the sleeve S, and the insulating layer Z includes the insulating layer Z. The insulating tape Za or the insulating filamentous member Zb wound around the above is used.

【００１３】また、請求項２記載の発明では、請求項１
記載の発明にかかるコンタクトプローブＣにおける絶縁
テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂが、多孔質テフロンより
なる構成のものとした。Further, according to the invention described in claim 2, according to claim 1,
The insulating tape Za or the insulating filamentous member Zb in the contact probe C according to the described invention is made of porous Teflon.

【００１４】また、請求項３記載の発明では、コンタク
トプローブＣの取付用ソケットＵを、測定対象物Ｔの電
極Ｔａに接する導電性材料よりなるピンＰと、当該ピン
Ｐが一端を突き出させるように差し入れ、組み付けられ
る導電性材料よりなる少なくとも一端が開口された筒状
スリーブＳとを備えるコンタクトプローブＣを収める導
電性材料よりなる筒状ソケットＵであって、このソケッ
トＵが、当該ソケットＵの取付穴Ｈａを備えると共に接
地Ａしてある導電性材料よりなる取付部材Ｈにおける当
該取付穴Ｈａより少なくとも前記コンタクトプローブＣ
のピンＰの一端を突き出させるように当該取付穴Ｈａに
嵌め付けられると共に、このソケットＵが、当該ソケッ
トＵの外側に、当該ソケットＵと前記取付部材Ｈとを絶
縁する絶縁層Ｚを備えており、この絶縁層Ｚが、前記ソ
ケットＵに巻き付けられた絶縁テープＺａ又は絶縁糸状
体Ｚｂにより構成してあるものとした。According to the third aspect of the present invention, the mounting socket U of the contact probe C has a pin P made of a conductive material that is in contact with the electrode Ta of the object T to be measured, and one end of the pin P projects. A cylindrical socket U made of a conductive material, which accommodates a contact probe C provided with a cylindrical sleeve S having at least one end opened and made of a conductive material to be assembled into the socket U. At least the contact probe C from the mounting hole Ha in the mounting member H made of a conductive material that has the mounting hole Ha and is grounded A
Of the pin P is fitted into the mounting hole Ha so that one end of the pin P is projected, and the socket U is provided with an insulating layer Z for insulating the socket U and the mounting member H from the outside of the socket U. It is assumed that the insulating layer Z is composed of the insulating tape Za or the insulating thread Zb wound around the socket U.

【００１５】また、請求項４記載の発明では、請求項３
記載の発明にかかるコンタクトプローブＣの取付ソケッ
トＵにおける絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂが、多
孔質テフロンよりなる構成のものとした。Further, according to the invention of claim 4, in claim 3,
The insulating tape Za or the insulating filamentous member Zb in the mounting socket U of the contact probe C according to the described invention is made of porous Teflon.

【００１６】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図１ないし図８に基づい
て、この発明の典型的な実施の形態について説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A typical embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【００１７】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣは、測定対象物Ｔの電極Ｔａに接する導電性材料よ
りなるピンＰと、当該ピンＰが一端を突き出させるよう
に差し入れ、組み付けられる導電性材料よりなる少なく
とも一端が開口された筒状スリーブＳとを備え、当該ス
リーブＳの取付穴Ｈａを備えると共に接地Ａしてある導
電性材料よりなる取付部材Ｈにおける当該取付穴Ｈａよ
り少なくとも前記ピンＰの一端を突き出させるように当
該取付穴Ｈａに嵌め付けられるコンタクトプローブＣで
あって、このコンタクトプローブＣが、前記スリーブＳ
の外側に、当該コンタクトプローブＣと前記取付部材Ｈ
とを絶縁する絶縁層Ｚを備えると共に、この絶縁層Ｚ
が、前記スリーブＳに巻き付けられた絶縁テープＺａ又
は絶縁糸状体Ｚｂにより構成してある。The contact probe C according to this embodiment has a pin P made of a conductive material which is in contact with the electrode Ta of the object T to be measured, and a conductive material which is inserted and inserted so that the pin P projects at one end. At least one end of the pin P from the mounting hole Ha of the mounting member H made of a conductive material that is equipped with a cylindrical sleeve S having at least one end opened and has a mounting hole Ha of the sleeve S and is grounded A. Is a contact probe C fitted into the mounting hole Ha so as to protrude, and the contact probe C is the sleeve S.
On the outside of the contact probe C and the mounting member H.
And an insulating layer Z for insulating
Is composed of an insulating tape Za or an insulating thread Zb wound around the sleeve S.

【００１８】かかる構成により、この実施の形態にかか
るコンタクトプローブＣによれば、前記絶縁層Ｚの厚さ
を当該コンタクトプローブＣの長さ方向に亙って、前記
絶縁テープＺａの厚さ寸法又は絶縁糸状体Ｚｂの径寸法
に正確に揃えることができ、この結果、当該絶縁層Ｚの
厚さ寸法に相応して変動されるコンタクトプローブＣ側
のインピーダンスを所要の一定値に正確に保つことがで
きる。With such a configuration, according to the contact probe C according to this embodiment, the thickness of the insulating layer Z is spread over the length direction of the contact probe C, and the thickness of the insulating tape Za or The diameter of the insulating filamentous body Zb can be accurately aligned, and as a result, the impedance of the contact probe C side, which varies depending on the thickness of the insulating layer Z, can be accurately maintained at a required constant value. it can.

【００１９】すなわち、かかる絶縁テープＺａ又は絶縁
糸状体Ｚｂは、成形上、当該絶縁テープＺａの厚さ又は
絶縁糸状体Ｚｂの径を均一に保ち易いことから、前記絶
縁層Ｚを絶縁材料を一体に成形して構成したチューブと
する場合に比べ、当該絶縁層Ｚの厚さ寸法を前記コンタ
クトプローブＣの長さ方向に亙ってバラ付きなく当該絶
縁テープＺａの厚さ寸法又は当該絶縁糸状体Ｚｂの径寸
法に正確に揃えることができる。That is, since the insulating tape Za or the insulating thread Zb is easy to keep the thickness of the insulating tape Za or the diameter of the insulating thread Zb uniform during molding, the insulating layer Z is made of an insulating material. In comparison with the case where the tube is formed by molding, the thickness dimension of the insulating layer Z does not vary over the length direction of the contact probe C, and the thickness dimension of the insulating tape Za or the insulating filamentous body. It is possible to accurately match the diameter dimension of Zb.

【００２０】また、前記コンタクトプローブＣのスリー
ブＳに巻き付ける前記絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚ
ｂの巻き数を変えることにより、前記絶縁層Ｚの厚さを
容易に調整することができ、これにより要求されるイン
ピーダンスに合わせてコンタクトプローブＣのインピー
ダンスを容易かつ正確に調整することができる特長を有
する。Further, the insulating tape Za or the insulating thread Z wound around the sleeve S of the contact probe C.
The thickness of the insulating layer Z can be easily adjusted by changing the number of turns of b, whereby the impedance of the contact probe C can be easily and accurately adjusted according to the required impedance. Have.

【００２１】すなわち、前記絶縁テープＺａの厚さ寸法
又は絶縁糸状体Ｚｂの径寸法は比較的均一に管理し得る
ことから、かかる絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂの
巻き数に前記絶縁層Ｚの厚さ寸法は正確に比例するもの
とされ、この結果、当該巻き数の増減・調整により要求
されるインピーダンスを備えるようにコンタクトプロー
ブＣのインピーダンスを容易かつ正確に増減・調整する
ことができる。That is, since the thickness dimension of the insulating tape Za or the diameter dimension of the insulating thread Zb can be managed relatively uniformly, the number of windings of the insulating tape Za or the insulating thread Zb can be set to the insulating layer Z. The thickness dimension is exactly proportional, and as a result, the impedance of the contact probe C can be easily and accurately increased or decreased so as to have the impedance required by increasing or decreasing the number of turns.

【００２２】また、前記コンタクトプローブＣにおける
絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂを、多孔質テフロン
により構成することが、この発明の最良の実施の形態の
一つとされる。Further, it is one of the best modes of the present invention that the insulating tape Za or the insulating thread Zb in the contact probe C is made of porous Teflon.

【００２３】かかる構成により、この実施の形態にかか
るコンタクトプローブＣによれば、所定のインピーダン
スを当該コンタクトプローブＣに持たせるにあたり必要
とされる前記絶縁層Ｚの厚さ寸法をできる限り小さいも
のとすることができる。With such a configuration, according to the contact probe C of this embodiment, the thickness dimension of the insulating layer Z required to give the contact probe C a predetermined impedance is as small as possible. can do.

【００２４】すなわち、多孔質テフロンは、微細な孔な
いしは隙間を備えることからこの孔などに入り込んだ空
気により誘電率は比較的低いものとされ（空気の誘電率
を１とした場合に多孔質テフロンの誘電率は１．２
％）、この結果、所定のインピーダンスをコンタクトプ
ローブＣ側に付与する場合に必要とされる前記絶縁層Ｚ
の厚さ寸法を、他の素材、特に従来かかる絶縁層Ｚに広
く用いられているテフロンに比べ、さらに小さくするこ
とができる。That is, since the porous Teflon has fine pores or gaps, the air entering the pores or the like has a relatively low dielectric constant (when the dielectric constant of air is 1, the porous Teflon is a porous Teflon. Has a dielectric constant of 1.2
%), And as a result, the insulating layer Z required when a predetermined impedance is applied to the contact probe C side.
The thickness can be made smaller than that of other materials, especially Teflon which has been widely used in the conventional insulating layer Z.

【００２５】この結果、この実施の形態にかかるコンタ
クトプローブＣによれば、複数のコンタクトプローブＣ
を、隣り合う一対のコンタクトプローブＣ、Ｃ間の間隔
をできる限り狭めるように前記取付部材Ｈに対し配設さ
せることができ、複数の電極Ｔａ、Ｔａ…間のピッチを
極小化させた電子部品などの測定対象物Ｔの測定に適し
たコンタクトプローブＣを容易に構成することができる
特長を有する。As a result, according to the contact probe C according to this embodiment, a plurality of contact probes C are used.
Can be arranged with respect to the mounting member H so that the distance between the pair of adjacent contact probes C, C can be as narrow as possible, and the pitch between the plurality of electrodes Ta, Ta ... The contact probe C suitable for the measurement of the measuring object T such as is easily manufactured.

【００２６】また、この実施の形態にかかるコンタクト
プローブＣの取付用ソケットＵは、測定対象物Ｔの電極
Ｔａに接する導電性材料よりなるピンＰと、当該ピンＰ
が一端を突き出させるように差し入れ、組み付けられる
導電性材料よりなる少なくとも一端が開口された筒状ス
リーブＳとを備えるコンタクトプローブＣを収める導電
性材料よりなる筒状ソケットＵであって、このソケット
Ｕが、当該ソケットＵの取付穴Ｈａを備えると共に接地
Ａしてある導電性材料よりなる取付部材Ｈにおける当該
取付穴Ｈａより少なくとも前記コンタクトプローブＣの
ピンＰの一端を突き出させるように当該取付穴Ｈａに嵌
め付けられると共に、このソケットＵが、当該ソケット
Ｕの外側に、当該ソケットＵと前記取付部材Ｈとを絶縁
する絶縁層Ｚを備えており、この絶縁層Ｚが、前記スリ
ーブＳに巻き付けられた絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体
Ｚｂにより構成してある。Further, the mounting socket U of the contact probe C according to this embodiment has a pin P made of a conductive material, which is in contact with the electrode Ta of the measuring object T, and the pin P.
Is a cylindrical socket U made of a conductive material, which accommodates a contact probe C having a cylindrical sleeve S made of a conductive material which is inserted so that one end thereof is protruded and at least one end of which is opened. However, at least one end of the pin P of the contact probe C is projected from the mounting hole Ha of the mounting member H made of a conductive material having the mounting hole Ha of the socket U and grounded A. The socket U is provided with an insulating layer Z for insulating the socket U from the mounting member H, and the insulating layer Z is wound around the sleeve S. The insulating tape Za or the insulating thread Zb is used.

【００２７】かかる構成により、この実施の形態にかか
るコンタクトプローブＣの取付用ソケットＵによれば、
前記絶縁層Ｚの厚さを当該コンタクトプローブＣの取付
用ソケットＵの長さ方向に亙って、前記絶縁テープＺａ
の厚さ寸法又は絶縁糸状体Ｚｂの径寸法に正確に揃える
ことができ、この結果、当該絶縁層Ｚの厚さ寸法に相応
して変動されるコンタクトプローブＣ側のインピーダン
スを所要の一定値に正確に保つことができる。With this configuration, according to the mounting socket U of the contact probe C of this embodiment,
The thickness of the insulating layer Z along the length direction of the mounting socket U of the contact probe C is set to the insulating tape Za.
Can be accurately aligned with the thickness dimension of the insulating filament Zb or the diameter dimension of the insulating filamentous body Zb, and as a result, the impedance on the contact probe C side, which is varied according to the thickness dimension of the insulating layer Z, can be set to a required constant value. Can be kept accurate.

【００２８】すなわち、かかる絶縁テープＺａ又は絶縁
糸状体Ｚｂは、成形上、当該絶縁テープＺａの厚さ又は
絶縁糸状体Ｚｂの径を均一に保ち易いことから、前記絶
縁層Ｚを絶縁材料を一体に成形して構成したチューブと
する場合に比べ、当該絶縁層Ｚの厚さ寸法を前記コンタ
クトプローブＣの取付用ソケットＵの長さ方向に亙って
バラ付きなく、当該絶縁テープＺａの厚さ寸法又は当該
絶縁糸状体Ｚｂの径寸法に正確に揃えることができる。That is, since the insulating tape Za or the insulating thread Zb is easy to keep the thickness of the insulating tape Za or the diameter of the insulating thread Zb uniform in molding, the insulating layer Z is made of an insulating material. In comparison with the case where the tube is formed by molding, the thickness dimension of the insulating layer Z does not vary along the length direction of the mounting socket U of the contact probe C, and the thickness of the insulating tape Za. The size or the diameter of the insulating thread Zb can be accurately aligned.

【００２９】また、前記コンタクトプローブＣの取付用
ソケットＵに巻き付ける前記絶縁テープＺａ又は絶縁糸
状体Ｚｂの巻き数を変えることにより、前記絶縁層Ｚの
厚さを容易に調整することができ、これにより要求され
るインピーダンスに合わせてコンタクトプローブＣ側の
インピーダンスを容易かつ正確に調整することができる
特長を有する。The thickness of the insulating layer Z can be easily adjusted by changing the number of windings of the insulating tape Za or the insulating thread Zb wound around the mounting socket U of the contact probe C. The impedance on the contact probe C side can be easily and accurately adjusted according to the impedance required by

【００３０】すなわち、前記絶縁テープＺａの厚さ寸法
又は絶縁糸状体Ｚｂの径寸法は比較的均一に管理し得る
ことから、かかる絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂの
巻き数に前記絶縁層Ｚの厚さ寸法は正確に比例するもの
とされ、この結果、当該巻き数の増減・調整により要求
されるインピーダンスを備えるようにコンタクトプロー
ブＣ側のインピーダンスを容易かつ正確に増減・調整す
ることができる。That is, since the thickness dimension of the insulating tape Za or the diameter dimension of the insulating thread Zb can be controlled relatively uniformly, the number of windings of the insulating tape Za or the insulating thread Zb is equal to the insulating layer Z. The thickness dimension is accurately proportional, and as a result, the impedance on the contact probe C side can be easily and accurately increased or decreased so that the impedance required by increasing or decreasing the number of turns is provided.

【００３１】また、前記コンタクトプローブＣの取付用
ソケットＵにおける絶縁テープＺａ又は絶縁糸状体Ｚｂ
を、多孔質テフロンにより構成することが、この発明の
最良の実施の形態の一つとされる。Further, the insulating tape Za or the insulating thread Zb in the mounting socket U of the contact probe C is attached.
Is made of porous Teflon as one of the best modes for carrying out the present invention.

【００３２】かかる構成により、この実施の形態にかか
るコンタクトプローブＣの取付用ソケットＵによれば、
所定のインピーダンスを当該コンタクトプローブＣに持
たせるにあたり必要とされる前記絶縁層Ｚの厚さ寸法を
できる限り小さいものとすることができる。With this configuration, according to the mounting socket U of the contact probe C of this embodiment,
The thickness dimension of the insulating layer Z required for providing the contact probe C with a predetermined impedance can be made as small as possible.

【００３３】すなわち、多孔質テフロンは、微細な孔な
いしは隙間を備えることからこの孔などに入り込んだ空
気により誘電率は比較的低いものとされ（空気の誘電率
を１とした場合に多孔質テフロンの誘電率は１．２
％）、この結果、所定のインピーダンスをコンタクトプ
ローブＣ側に付与する場合に必要とされる前記絶縁層Ｚ
の厚さ寸法を、他の素材、特に従来かかる絶縁層Ｚに広
く用いられているテフロンに比べ、さらに小さくするこ
とができる。That is, since the porous Teflon has fine pores or gaps, it is considered that the dielectric constant is relatively low due to the air entering the pores (when the dielectric constant of air is 1, the porous Teflon is a porous Teflon. Has a dielectric constant of 1.2
%), And as a result, the insulating layer Z required when a predetermined impedance is applied to the contact probe C side.
The thickness can be made smaller than that of other materials, especially Teflon which has been widely used in the conventional insulating layer Z.

【００３４】この結果、この実施の形態にかかるコンタ
クトプローブＣの取付用ソケットＵによれば、複数のコ
ンタクトプローブＣを、隣り合う一対のコンタクトプロ
ーブＣ、Ｃ間の間隔をできる限り狭めるように前記取付
部材Ｈに対し配設させることができ、複数の電極Ｔａ間
のピッチを極小化させた電子部品などの測定対象物Ｔの
測定に適したコンタクトプローブＣを容易に構成するこ
とができる特長を有する。As a result, according to the mounting socket U for the contact probe C according to this embodiment, the plurality of contact probes C are arranged so that the distance between the pair of adjacent contact probes C, C is as narrow as possible. The contact probe C, which can be disposed on the mounting member H and is suitable for measurement of the measurement target T such as an electronic component in which the pitch between the plurality of electrodes Ta is minimized, can be easily configured. Have.

【００３５】次いで、図１および図２に示されるこの発
明に係るコンタクトプローブＣ１のより具体的な実施の
形態について、詳細に説明する。Next, a more specific embodiment of the contact probe C1 according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2 will be described in detail.

【００３６】なお、図１は、この実施の形態にかかるコ
ンタクトプローブＣ１の全体構成を理解し易いように、
当該コンタクトプローブＣ１および当該コンタクトプロ
ーブＣ１を組み付けた取付部材Ｈを当該コンタクトプロ
ーブＣ１の長さ方向に沿って断面にして示している。ま
た、図２は、当該コンタクトプローブＣ１に対する絶縁
テープＺａの巻き付け状態を理解し易いように、当該コ
ンタクトプローブＣ１に絶縁テープＺａを巻き付けてい
る途中の状態で、当該コンタクトプローブＣ１と当該絶
縁テープＺａを斜視の状態として示している。It should be noted that FIG. 1 shows the entire structure of the contact probe C1 according to the present embodiment in order to facilitate understanding.
The contact probe C1 and the mounting member H to which the contact probe C1 is assembled are shown in cross section along the length direction of the contact probe C1. Further, in FIG. 2, in order to facilitate understanding of the winding state of the insulating tape Za around the contact probe C1, the contact probe C1 and the insulating tape Za are in a state in which the insulating tape Za is being wound around the contact probe C1. Is shown as a perspective state.

【００３７】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣ１は、導電性を有する金属材料から構成される筒状
をなすスリーブＳ１と、このスリーブＳ１内に収め入れ
られる導電性を有する金属材料から構成されるピンＰ
と、前記スリーブＳ１の外側に設けられる絶縁層Ｚとを
備えている。The contact probe C1 according to this embodiment is composed of a cylindrical sleeve S1 made of a conductive metal material and a conductive metal material housed in the sleeve S1. Pin P
And an insulating layer Z provided outside the sleeve S1.

【００３８】この実施の形態にあっては、前記スリーブ
Ｓ１は両端を開口させた構成としてあり、また、当該ス
リーブＳ１の一方の開口側に測定対象物Ｔの電極Ｔａに
接する第一のピンＰ１を当該一方の開口から当該第一の
ピンＰ１の尖端１ａが突き出されるように備えると共
に、当該スリーブＳ１の他方の開口側に適宜の測定器に
電気的に接続される電極Ｐａを備えた基板Ｐの当該電極
Ｐａに接する第二のピンＰ２を当該他方の開口から当該
第二のピンＰ２の尖端２ａが突き出されるように備えて
いる。In this embodiment, the sleeve S1 has a structure in which both ends are opened, and the first pin P1 in contact with the electrode Ta of the measuring object T is provided on one opening side of the sleeve S1. A substrate having an electrode Pa electrically connected to an appropriate measuring device on the other opening side of the sleeve S1 while the tip 1a of the first pin P1 is projected from the one opening. A second pin P2 of P that is in contact with the electrode Pa is provided so that the tip 2a of the second pin P2 projects from the other opening.

【００３９】そして、この実施の形態にあっては、前記
第一のピンＰ１と前記第二のピンＰ２との間に圧縮コイ
ルバネ３が介装されており、これにより前記第一および
第二のピンＰ１、Ｐ２はスリーブＳ１内に押し込まれた
際に該スリーブＳ１内から突き出す方向に向けて付勢さ
れる構成としてある。Further, in this embodiment, the compression coil spring 3 is interposed between the first pin P1 and the second pin P2, whereby the first and second pins are arranged. When the pins P1 and P2 are pushed into the sleeve S1, the pins P1 and P2 are biased in a direction of protruding from the sleeve S1.

【００４０】また、前記第一および第二のピンＰ１、Ｐ
２は、その中間部１ｂ、２ｂを両端部に比べて細径に形
成しており、一方、この第一および第二のピンＰ１、Ｐ
２の細径部にそれぞれ接するように前記スリーブＳ１の
一部には内側に向けた突出部４が上下二か所に形成され
ている。Further, the first and second pins P1 and P
2 has its intermediate portions 1b, 2b formed to have a smaller diameter than both ends thereof, while the first and second pins P1, P
Two inwardly projecting portions 4 are formed at upper and lower portions of a part of the sleeve S1 so as to be in contact with the respective small diameter portions.

【００４１】したがって、前記第一および第二のピンＰ
１、Ｐ２は、前記細径をなす中間部１ｂ、２ｂと当該第
一および第二のピンＰ１、Ｐ２が前記バネ３と接する側
の端部との間の段部１ｃ、２ｃを前記突出部４に接しさ
せる位置より先に突き出されることはなく、また、前記
中間部１ｂ、２ｂと前記第一および第二のピンＰ１、Ｐ
２の尖端１ａ、２ａ部との間の段部１ｄ、２ｄを前記突
出部４に接しさせる位置まで押し込むことができる構成
とされている。Therefore, the first and second pins P are
Reference numerals 1 and P2 denote stepped portions 1c and 2c between the intermediate portions 1b and 2b having the small diameter and the end portions on the side where the first and second pins P1 and P2 contact the spring 3, respectively. 4 is not projected before the position where it contacts with 4, and the intermediate portions 1b, 2b and the first and second pins P1, P
The stepped portions 1d and 2d between the two pointed portions 1a and 2a can be pushed to a position where they contact the protruding portion 4.

【００４２】また、この実施の形態にあっては、前記ス
リーブＳ１の外側に当該スリーブＳ１の長さ寸法と略同
寸法の幅寸法を備える絶縁テープＺａを巻き付けて、前
記絶縁層Ｚを構成している。この実施の形態にあって
は、当該絶縁層Ｚは前記コンタクトプローブＣ１の外径
寸法と略等しい厚さ寸法をなすように、前記スリーブＳ
１の外側に絶縁テープＺａを五回巻き付けて、構成して
ある。Also, in this embodiment, the insulating layer Z is formed by winding an insulating tape Za having a width dimension substantially the same as the length dimension of the sleeve S1 on the outer side of the sleeve S1. ing. In this embodiment, the sleeve S has a thickness dimension that is substantially equal to the outer diameter dimension of the contact probe C1.
The insulating tape Za is wound around the outside of No. 1 five times.

【００４３】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣ１は以上の構成を備えることから、導電性材料より
なり、厚さ方向に複数の取付穴Ｈａ、Ｈａ…が開設して
あると共に、接地Ａしてある取付部材Ｈに対し、当該複
数の取付穴Ｈａ、Ｈａ…の一端部から前記第一のピンＰ
１が尖端１ａを突き出し、かつ、当該取付穴Ｈａの他端
部から前記第二のピンＰ２が尖端１ａを突き出させるよ
うに、差し込むことにより、当該取付部材Ｈに所定の間
隔を開けて複数本組み付けることができる。Since the contact probe C1 according to this embodiment has the above-mentioned structure, it is made of a conductive material and has a plurality of mounting holes Ha, Ha ... With respect to a certain mounting member H, the first pin P from one end of the plurality of mounting holes Ha, Ha ...
1 protrudes the tip 1a, and the second pin P2 protrudes from the other end of the mounting hole Ha so that the tip 1a protrudes. Can be assembled.

【００４４】そして、測定対象物Ｔの電極Ｔａに対して
前記第一のピンＰ１の尖端１ａ部を接しさせることによ
り、この電極Ｔａから伝送される電気信号へのノイズの
入り込みを十分に防止した状態で、当該電気信号を前記
第二のピンＰ２に接する基板Ｐの電極Ｐａを通じて適宜
の測定器に送ることができる。Then, the tip 1a of the first pin P1 is brought into contact with the electrode Ta of the measuring object T to sufficiently prevent noise from entering the electric signal transmitted from the electrode Ta. In this state, the electric signal can be sent to an appropriate measuring instrument through the electrode Pa of the substrate P which is in contact with the second pin P2.

【００４５】なお、この実施の形態にあっては、前記第
一のピンＰ１はスリーブＳ１内への押し込み時に前記バ
ネ３の付勢を受ける構成としてあることから、前記測定
対象物Ｔの電極Ｔａに前記第一のピンＰ１の尖端１ａを
前記バネ３の付勢により常時密着させた状態で接触させ
ることができると共に、かかる測定対象物Ｔが複数の電
極Ｔａ、Ｔａ…を備える場合に各電極Ｔａ、Ｔａ…の高
さに若干誤差があっても、かかる誤差を吸収して当該各
電極Ｔａ、Ｔａ…に前記尖端１ａを適切に密着させるこ
とができる特長を有する。In this embodiment, since the first pin P1 is configured to receive the bias of the spring 3 when it is pushed into the sleeve S1, the electrode Ta of the measuring object T is measured. Can be brought into contact with the tip 1a of the first pin P1 in a state in which the first pin P1 is always brought into close contact with the spring 3 by the biasing force of the spring 3, and when the measurement object T includes a plurality of electrodes Ta, Ta ... Even if there is a slight error in the height of Ta, Ta ..., There is a feature that the error can be absorbed and the tips 1a can be appropriately brought into close contact with the respective electrodes Ta, Ta.

【００４６】次いで、図３および図４に示されるこの発
明に係るコンタクトプローブＣ２のより具体的な実施の
形態について、詳細に説明する。Next, a more specific embodiment of the contact probe C2 according to the present invention shown in FIGS. 3 and 4 will be described in detail.

【００４７】なお、図３は、この実施の形態にかかるコ
ンタクトプローブＣ２の全体構成を理解し易いように、
当該コンタクトプローブＣ２および当該コンタクトプロ
ーブＣ２を組み付けた取付部材Ｈを当該コンタクトプロ
ーブＣ２の長さ方向に沿って断面にして示している。ま
た、図３は、当該コンタクトプローブＣ２に対する絶縁
糸状体Ｚｂの巻き付け状態を理解し易いように、当該コ
ンタクトプローブＣ２に絶縁糸状体Ｚｂを巻き付けてい
る途中の状態で、当該コンタクトプローブＣ２と当該絶
縁糸状体Ｚｂを斜視の状態として示している。It should be noted that, in FIG. 3, for easy understanding of the overall structure of the contact probe C2 according to the present embodiment,
The contact probe C2 and the mounting member H to which the contact probe C2 is assembled are shown in cross section along the length direction of the contact probe C2. Further, in FIG. 3, in order to make it easy to understand the winding state of the insulating filamentous member Zb around the contact probe C2, the insulating state of the insulating filamentous member Zb around the contact probe C2 and the insulating state The filamentous body Zb is shown in a perspective view.

【００４８】この実施の形態にあっては、前記スリーブ
Ｓ１の外側に当該スリーブＳ１の外周面の略全体を覆う
ように絶縁糸状体Ｚｂを当該スリーブＳ１の一端側から
他端側に向けて順次巻き付けて、前記絶縁層Ｚを構成し
ている。この実施の形態にあっては、当該絶縁層Ｚは前
記コンタクトプローブＣ２の外径寸法と略等しい厚さ寸
法をなすように、前記スリーブＳ１の外側に前記絶縁糸
状体Ｚｂを五回巻き付けて、構成してある。In this embodiment, the insulating filaments Zb are sequentially provided on the outside of the sleeve S1 from one end side to the other end side of the sleeve S1 so as to cover substantially the entire outer peripheral surface of the sleeve S1. The insulating layer Z is formed by winding. In this embodiment, the insulating thread Zb is wound around the outside of the sleeve S1 five times so that the insulating layer Z has a thickness substantially equal to the outer diameter of the contact probe C2. Configured.

【００４９】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣ２は、前記絶縁層Ｚを前記スリーブＳ１の外側に前
記絶縁糸状体Ｚｂを巻き付けて構成してある点以外の構
成を、前記図１および図２に示されるコンタクトプロー
ブＣ１と同一又は実質的に同一の構成としてあることか
ら、この同一又は実質的に同一の構成部分については図
３および図４に図１および図２で用いた符号と同一の符
号を付してその説明を省略する。The contact probe C2 according to this embodiment has the same structure as that shown in FIGS. 1 and 2 except that the insulating layer Z is formed by winding the insulating filamentous member Zb around the outside of the sleeve S1. Since the contact probe C1 has the same or substantially the same configuration as that of the contact probe C1, the same or substantially the same components are denoted by the same reference numerals as those used in FIGS. 1 and 2 in FIGS. 3 and 4. Is attached and its description is omitted.

【００５０】次いで、図５および図６に示されるこの発
明に係るコンタクトプローブＣ３の取付用ソケットＵ１
のより具体的な実施の形態について、詳細に説明する。Next, the mounting socket U1 of the contact probe C3 according to the present invention shown in FIGS.
The more specific embodiment will be described in detail.

【００５１】なお、図５は、この実施の形態にかかる取
付用ソケットＵ１およびこの取付用ソケットＵ１により
取り付けられるコンタクトプローブＣ３の全体構成を理
解し易いように、当該コンタクトプローブＣ３取付用ソ
ケットＵ１および当該取付用ソケットＵ１により組み付
けたコンタクトプローブＣ３ならびに取付部材Ｈを当該
コンタクトプローブＣ３の長さ方向に沿って断面にして
示している。また、図６は、当該取付用ソケットＵ１に
対する絶縁テープＺａの巻き付け状態を理解し易いよう
に、当該取付用ソケットＵ１に絶縁テープＺａを巻き付
けている途中の状態で、当該取付用ソケットＵ１と当該
絶縁テープＺａを斜視の状態として示している。Incidentally, in FIG. 5, in order to facilitate understanding of the overall structure of the mounting socket U1 according to the present embodiment and the contact probe C3 mounted by the mounting socket U1, the contact probe C3 mounting socket U1 and The contact probe C3 and the mounting member H assembled by the mounting socket U1 are shown in cross section along the length direction of the contact probe C3. Further, in FIG. 6, in order to facilitate understanding of the winding state of the insulating tape Za around the mounting socket U1, the state where the insulating tape Za is wound around the mounting socket U1 and the mounting socket U1 The insulating tape Za is shown in a perspective state.

【００５２】この実施の形態にかかる取付用ソケットＵ
１は、導電性を有する筒状体として構成してあり、導電
性を有する金属材料から構成される筒状をなすスリーブ
Ｓ２と、このスリーブＳ２内に収め入れられる導電性を
有する金属材料から構成されるピンＰとを備えるコンタ
クトプローブＣ３を、当該ピンＰの一端を突き出させた
状態で、差し入れ、組み付ける構成としてある。Mounting socket U according to this embodiment
Reference numeral 1 denotes a cylindrical body having conductivity, which is composed of a sleeve S2 having a cylindrical shape made of a metal material having conductivity, and a metal material having conductivity stored in the sleeve S2. The contact probe C3 including the pin P is inserted and assembled with one end of the pin P protruding.

【００５３】また、この実施の形態にかかる取付用ソケ
ットＵ１は、その外側に絶縁層Ｚを備えている。The mounting socket U1 according to this embodiment is provided with an insulating layer Z on the outer side thereof.

【００５４】この実施の形態にあっては、前記コンタク
トプローブＣ３は、一端を開口させた鞘状をなすスリー
ブＳ２内に、測定対象物Ｔの電極Ｔａに接するピンＰを
当該開口から当該ピンＰの尖端１０ａが突き出されるよ
うに収め入れて構成してある。In this embodiment, the contact probe C3 has a pin S which is in contact with the electrode Ta of the object T to be measured and is inserted into the pin P from the opening in a sleeve S2 having a sheath shape with one end opened. The tip 10a is housed so that it is projected.

【００５５】そして、この実施の形態にあっては、前記
ピンＰと前記スリーブＳ２の他端内側との間に圧縮コイ
ルバネ２０が介装されており、これにより前記ピンＰは
スリーブＳ２内に押し込まれた際に該スリーブＳ２内か
ら突き出す方向に向けて付勢される構成としてある。Further, in this embodiment, the compression coil spring 20 is interposed between the pin P and the inside of the other end of the sleeve S2, whereby the pin P is pushed into the sleeve S2. It is configured to be urged in the direction of protruding from the inside of the sleeve S2 when it is bent.

【００５６】また、前記ピンＰは、その中間部１０ｂを
両端部に比べて細径に形成しており、一方、このピンＰ
の中間部１０ｂに接するように前記スリーブＳ２の一部
には内側に向けた突出部３０が形成されている。Further, the pin P has an intermediate portion 10b formed so as to have a smaller diameter than both ends thereof.
An inwardly projecting portion 30 is formed on a part of the sleeve S2 so as to contact the intermediate portion 10b.

【００５７】したがって、前記ピンＰは、前記中間部１
０ｂと当該ピンＰが前記バネ２０と接する側の端部との
間の段部１０ｃを前記突出部３０に接しさせる位置より
先に突き出されることはなく、また、前記中間部１０ｂ
と前記ピンＰの尖端１０ａ部との間の段部１０ｄを前記
突出部３０に接しさせる位置まで押し込むことができる
構成とされている。Therefore, the pin P is connected to the intermediate portion 1
0b and the end of the pin P on the side where the pin 20 contacts the spring 20 do not protrude beyond the position where the stepped portion 10c contacts the protruding portion 30, and the intermediate portion 10b.
The stepped portion 10d between the pin 10 and the tip 10a of the pin P can be pushed to a position where the stepped portion 10d contacts the protruding portion 30.

【００５８】また、この実施の形態にあっては、前記ソ
ケットＵ１の外側に当該ソケットＵ１の長さ寸法と略同
寸法の幅寸法を備える絶縁テープＺａを巻き付けて、前
記絶縁層Ｚを構成している。この実施の形態にあって
は、当該絶縁層Ｚは前記コンタクトプローブＣ３の外径
寸法と略等しい厚さ寸法をなすように、前記ソケットＵ
１の外側に絶縁テープＺａを五回巻き付けて、構成して
ある。Also, in this embodiment, the insulating layer Z is formed by winding an insulating tape Za having a width dimension substantially the same as the length dimension of the socket U1 on the outside of the socket U1. ing. In the present embodiment, the insulating layer Z has a thickness dimension substantially equal to the outer diameter dimension of the contact probe C3.
The insulating tape Za is wound around the outside of No. 1 five times.

【００５９】この実施の形態にかかるコンタクトプロー
ブＣ３取付用ソケットＵ１は以上の構成を備えることか
ら、導電性材料よりなり、厚さ方向に複数の取付穴Ｈａ
が開設してあると共に、接地Ａしてある取付部材Ｈに対
し、先ず、当該取付穴Ｈａに当該ソケットＵ１をそれぞ
れ差し入れ、組み付けておき、この後、当該ソケットＵ
１の一端部から前記ピンＰが尖端１ａを突き出させるよ
うに前記コンタクトプローブＣ３を当該ソケットＵ１内
に差し入れることにより、当該取付部材Ｈに所定の間隔
を開けて複数本のコンタクトプローブＣ３を組み付けさ
せることができる。Since the contact probe C3 mounting socket U1 according to this embodiment has the above-described structure, it is made of a conductive material and has a plurality of mounting holes Ha in the thickness direction.
First, the sockets U1 are respectively inserted and assembled in the mounting holes Ha with respect to the mounting members H which are opened and grounded A.
By inserting the contact probe C3 into the socket U1 such that the pin P protrudes the tip 1a from one end of the connector 1, a plurality of contact probes C3 are assembled to the mounting member H with a predetermined gap. Can be made.

【００６０】かかるソケットＵ１はまた、前記ピンＰの
突き出し側と反対の側の端部に導電線Ｒの固定部４０を
備えており、この固定部４０に適宜の測定器に電気的に
接続される導電線Ｒの一端をハンダ付けなどの手法によ
り固定することにより、前記測定対象物Ｔの電極Ｔａに
接する前記ピンＰから伝送される電気信号へのノイズの
入り込みを十分に防止した状態で、当該電気信号を当該
適宜の測定器に送ることができる。The socket U1 is also provided with a fixing portion 40 for the conductive wire R at the end opposite to the protruding side of the pin P, and this fixing portion 40 is electrically connected to an appropriate measuring instrument. By fixing one end of the conductive wire R by soldering or the like, it is possible to sufficiently prevent noise from entering an electric signal transmitted from the pin P in contact with the electrode Ta of the measuring object T, The electrical signal can be sent to the appropriate meter.

【００６１】なお、この実施の形態にあっては、前記ピ
ンＰはスリーブＳ２内への押し込み時に前記バネ２０の
付勢を受ける構成としてあることから、前記測定対象物
Ｔの電極Ｔａに前記ピンＰの尖端１０ａを前記バネ２０
の付勢により常時密着させた状態で接触させることがで
きると共に、測定対象物Ｔが複数の電極Ｔａ、Ｔａ…を
有する場合において各電極Ｔａ、Ｔａ…の高さに若干誤
差があっても、かかる誤差を吸収して当該各電極Ｔａ、
Ｔａ…に前記尖端１０ａを適切に密着させることができ
る特長を有する。In this embodiment, since the pin P is configured to receive the bias of the spring 20 when it is pushed into the sleeve S2, the pin Ta is attached to the electrode Ta of the measuring object T. Connect the tip 10a of P to the spring 20
Can be contacted in a state in which they are always in close contact with each other by the urging force of, and when the measurement target T has a plurality of electrodes Ta, Ta ... Even if there is a slight error in the height of each electrode Ta, Ta ... By absorbing such an error, the electrodes Ta,
It has a feature that the tip 10a can be appropriately brought into close contact with Ta.

【００６２】また、前記コンタクトプローブＣ３の取り
替えなどを必要とする場合には、前記ソケットＵ１内か
ら交換すべきコンタクトプローブＣ３抜き出し、別のコ
ンタクトプローブＣ３を差し入れ組み付けることにより
容易に当該交換をなすことができる特長を有する。When it is necessary to replace the contact probe C3, the contact probe C3 to be replaced is extracted from the socket U1, another contact probe C3 is inserted and assembled, and the replacement is easily performed. It has the feature that

【００６３】次いで、図７および図８に示されるこの発
明に係るコンタクトプローブＣ３取付用ソケットＵ１の
より具体的な実施の形態について、詳細に説明する。Next, a more specific embodiment of the contact probe C3 mounting socket U1 according to the present invention shown in FIGS. 7 and 8 will be described in detail.

【００６４】なお、図７は、この実施の形態にかかる取
付用ソケットＵ２およびこの取付用ソケットＵ１により
取り付けられるコンタクトプローブＣ３の全体構成を理
解し易いように、当該コンタクトプローブＣ３取付用ソ
ケットＵ２および当該取付用ソケットＵ２により組み付
けたコンタクトプローブＣ３ならびに取付部材Ｈを当該
取付用ソケットＵ２の長さ方向に亙って断面にして示し
ており、また、図８は、当該取付用ソケットＵ２に対す
る絶縁糸状体Ｚｂの巻き付け状態を理解し易いように、
当該取付用ソケットＵ２に絶縁糸状体Ｚｂを巻き付けて
いる途中の状態で、当該取付用ソケットＵ２と当該絶縁
糸状体Ｚｂを斜視の状態として示している。Incidentally, in FIG. 7, the contact probe C3 mounting socket U2 and the contact probe C3 mounting socket U2 according to the present embodiment are shown in order to facilitate understanding of the whole structure of the contact probe C3 mounted by the mounting socket U2. The contact probe C3 and the mounting member H assembled by the mounting socket U2 are shown in cross section along the length direction of the mounting socket U2, and FIG. 8 shows an insulating thread shape for the mounting socket U2. To make it easier to understand the winding state of the body Zb,
The mounting socket U2 and the insulating filamentous member Zb are shown in a perspective state while the insulating filamentous member Zb is being wound around the mounting socket U2.

【００６５】この実施の形態にあっては、前記取付用ソ
ケットＵ２の外側に当該取付用ソケットＵ２の外周面の
略全体を覆うように絶縁糸状体Ｚｂを当該取付用ソケッ
トＵ２の一端側から他端側に向けて順次巻き付けて、前
記絶縁層Ｚを構成している。この実施の形態にあって
は、当該絶縁層Ｚは前記コンタクトプローブＣ３の外径
寸法と略等しい厚さ寸法をなすように、前記取付用ソケ
ットＵ２の外側に前記絶縁糸状体Ｚｂを五回巻き付け
て、構成してある。In this embodiment, an insulating thread Zb is attached to the outside of the mounting socket U2 from one end side of the mounting socket U2 so as to cover substantially the entire outer peripheral surface of the mounting socket U2. The insulating layer Z is formed by sequentially winding toward the end side. In this embodiment, the insulating thread Zb is wound five times on the outer side of the mounting socket U2 so that the insulating layer Z has a thickness substantially equal to the outer diameter of the contact probe C3. It is configured.

【００６６】この実施の形態にかかる取付用ソケットＵ
２は、前記絶縁層Ｚを前記取付用ソケットＵ２の外側に
前記絶縁糸状体Ｚｂを巻き付けて構成してある点以外の
構成を、前記図５および図６に示される取付用ソケット
Ｕ１と同一又は実質的に同一の構成としてあることか
ら、この同一又は実質的に同一の構成部分については図
７および図８に図５および図６で用いた符号と同一の符
号を付してその説明を省略する。Mounting socket U according to this embodiment
2 is the same as the mounting socket U1 shown in FIGS. 5 and 6 except that the insulating layer Z is formed by winding the insulating thread Zb around the mounting socket U2. Since they have substantially the same configuration, the same or substantially the same components are assigned the same reference numerals as those used in FIGS. 5 and 6 in FIGS. 7 and 8 and their description is omitted. To do.

【００６７】[0067]

【発明の効果】この発明にかかるコンタクトプローブＣ
およびコンタクトプローブＣの取付用ソケットＵによれ
ば、前記絶縁層Ｚの厚さを当該コンタクトプローブＣの
長さ方向に亙って、前記絶縁テープＺａの厚さ寸法又は
絶縁糸状体Ｚｂの径寸法に正確に揃えることができ、こ
の結果、コンタクトプローブＣ側のインピーダンスを所
要の一定値に正確に保つことができる。EFFECT OF THE INVENTION Contact probe C according to the present invention
According to the mounting socket U for the contact probe C, the thickness of the insulating layer Z is set in the lengthwise direction of the contact probe C, and the thickness dimension of the insulating tape Za or the diameter dimension of the insulating filamentous body Zb. Therefore, the impedance on the contact probe C side can be accurately maintained at a required constant value.

【００６８】また、前記コンタクトプローブＣのスリー
ブＳ又は取付用ソケットＵに巻き付ける前記絶縁テープ
Ｚａ又は絶縁糸状体Ｚｂの巻き数を変えることにより、
前記絶縁層Ｚの厚さを容易に調整することができ、これ
により要求されるインピーダンスに合わせてコンタクト
プローブＣ側のインピーダンスを容易かつ正確に調整す
ることができる特長を有する。By changing the number of windings of the insulating tape Za or the insulating thread Zb wound around the sleeve S of the contact probe C or the mounting socket U,
The thickness of the insulating layer Z can be easily adjusted, whereby the impedance on the contact probe C side can be easily and accurately adjusted according to the required impedance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】コンタクトプローブＣ１および取付部材Ｈの断
面図FIG. 1 is a sectional view of a contact probe C1 and a mounting member H.

【図２】コンタクトプローブＣ１への絶縁テープＺａの
巻き付け状態を示す斜視図FIG. 2 is a perspective view showing a winding state of an insulating tape Za around a contact probe C1.

【図３】コンタクトプローブＣ２および取付部材Ｈの断
面図FIG. 3 is a sectional view of a contact probe C2 and a mounting member H.

【図４】コンタクトプローブＣ２への絶縁糸状体Ｚｂの
巻き付け状態を示す斜視図FIG. 4 is a perspective view showing a state where an insulating filamentous member Zb is wound around a contact probe C2.

【図５】取付用ソケットＵ１、コンタクトプローブＣ３
および取付部材Ｈの断面図FIG. 5: Mounting socket U1, contact probe C3
And sectional view of the mounting member H

【図６】取付用ソケットＵ１への絶縁テープＺａの巻き
付け状態を示す斜視図FIG. 6 is a perspective view showing a winding state of the insulating tape Za around the mounting socket U1.

【図７】取付用ソケットＵ２、コンタクトプローブＣ３
および取付部材Ｈの断面図FIG. 7: Mounting socket U2, contact probe C3
And sectional view of the mounting member H

【図８】取付用ソケットＵ２への絶縁糸状体Ｚｂの巻き
付け状態を示す斜視図FIG. 8 is a perspective view showing a state in which the insulating filamentous member Zb is wound around the mounting socket U2.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

Ｃ コンタクトプローブ Ｔ 測定対象物 Ｔａ 電極 Ｐ ピン Ｓ スリーブ Ｈ 取付対象物 Ｈａ 取付穴 Ａ 接地 Ｚ 絶縁層 Ｚａ 絶縁テープ Ｚｂ 絶縁糸状体 Ｕ ソケット C Contact probe T Object to be measured Ta Electrode P Pin S Sleeve H Object to be mounted Ha Mounting hole A Grounding Z Insulating layer Za Insulating tape Zb Insulating filament U Socket

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 測定対象物の電極に接する導電性材料よ
りなるピンと、 当該ピンが一端を突き出させるように差し入れ、組み付
けられる導電性材料よりなる少なくとも一端が開口され
た筒状スリーブとを備え、 当該スリーブの取付穴を備えると共に接地してある導電
性材料よりなる取付部材における当該取付穴より少なく
とも前記ピンの一端を突き出させるように当該取付穴に
嵌め付けられるコンタクトプローブであって、 このコンタクトプローブが、前記スリーブの外側に、当
該コンタクトプローブと前記取付部材とを絶縁する絶縁
層を備えると共に、 この絶縁層が、前記スリーブに巻き付けられた絶縁テー
プ又は絶縁糸状体により構成してあることを特徴とする
コンタクトプローブ。1. A pin comprising a conductive material, which is in contact with an electrode of an object to be measured, and a tubular sleeve, which is inserted so that the pin protrudes at one end and is made of a conductive material, at least one end of which is open, A contact probe fitted into the mounting hole so that at least one end of the pin projects from the mounting hole in the mounting member made of a conductive material that is equipped with the mounting hole of the sleeve and is grounded. Is provided with an insulating layer for insulating the contact probe and the mounting member on the outside of the sleeve, and the insulating layer is configured by an insulating tape or an insulating filament wound around the sleeve. And contact probe. 【請求項２】 絶縁テープ又は絶縁糸状体が、多孔質テ
フロンよりなることを特徴とする請求項１記載のコンタ
クトプローブ。2. The contact probe according to claim 1, wherein the insulating tape or the insulating filamentous material is made of porous Teflon. 【請求項３】 測定対象物の電極に接する導電性材料よ
りなるピンと、 当該ピンが一端を突き出させるように差し入れ、組み付
けられる導電性材料よりなる少なくとも一端が開口され
た筒状スリーブとを備えるコンタクトプローブを収める
導電性材料よりなる筒状ソケットであって、 このソケットが、当該ソケットの取付穴を備えると共に
接地してある導電性材料よりなる取付部材における当該
取付穴より少なくとも前記コンタクトプローブのピンの
一端を突き出させるように当該取付穴に嵌め付けられる
と共に、 このソケットが、当該ソケットの外側に、当該ソケット
と前記取付部材とを絶縁する絶縁層を備えており、 この絶縁層が、前記ソケットに巻き付けられた絶縁テー
プ又は絶縁糸状体により構成してあることを特徴とする
コンタクトプローブ取付用ソケット。3. A contact comprising a pin made of a conductive material, which is in contact with an electrode of a measurement object, and a cylindrical sleeve, which is inserted so that the pin has one end protruding and is made of a conductive material, and at least one end of which is opened. A cylindrical socket made of a conductive material for accommodating a probe, the socket having a mounting hole for the socket and at least the pin of the contact probe from the mounting hole in the mounting member made of a conductive material grounded. The socket is fitted into the mounting hole so that one end is projected, and the socket is provided with an insulating layer on the outside of the socket for insulating the socket and the mounting member, and the insulating layer is attached to the socket. A contour formed by a wound insulating tape or insulating filamentous material Topurobu mounting socket. 【請求項４】 絶縁テープ又は絶縁糸状体が、多孔質テ
フロンよりなることを特徴とする請求項３記載のコンタ
クトプローブ取付用ソケット。4. The contact probe mounting socket according to claim 3, wherein the insulating tape or the insulating filament is made of porous Teflon.