JP2976256B2 - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
- Publication number
- JP2976256B2 JP2976256B2 JP4182983A JP18298392A JP2976256B2 JP 2976256 B2 JP2976256 B2 JP 2976256B2 JP 4182983 A JP4182983 A JP 4182983A JP 18298392 A JP18298392 A JP 18298392A JP 2976256 B2 JP2976256 B2 JP 2976256B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact pins
- fixed base
- contact pin
- signal contact
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は測定装置に関し、特に
たとえば、準マイクロ波までの高周波デバイスの開発,
量産における電気特性評価を行うための測定装置に関す
る。
たとえば、準マイクロ波までの高周波デバイスの開発,
量産における電気特性評価を行うための測定装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図4は高周波デバイスの量産時における
電気特性評価を行うための従来の測定装置を示す斜視図
である。測定装置1は導電材料で形成された基板2を含
む。基板2の一方主面上には、基板2本体と絶縁するた
めの溝3a,3bを隔てて、電極4a,4bが形成され
る。
電気特性評価を行うための従来の測定装置を示す斜視図
である。測定装置1は導電材料で形成された基板2を含
む。基板2の一方主面上には、基板2本体と絶縁するた
めの溝3a,3bを隔てて、電極4a,4bが形成され
る。
【0003】電極4a,4bには、それぞれ信号コンタ
クトピン5a,5bが接続される。また、信号コンタク
トピン5a,5b間には、2つのグラウンドコンタクト
ピン6a,6bが形成される。同様に、電極4a,4b
と向かい合う位置にも、2つの信号コンタクトピン5
c,5dおよび2つのグラウンドコンタクトピン6c,
6dが形成される。信号コンタクトピン5a,5b,5
c,5dおよびグラウンドコンタクトピン6a,6b,
6c,6dはばね性を有し、それぞれ1枚の板を2箇所
で折り曲げた形状に形成される。
クトピン5a,5bが接続される。また、信号コンタク
トピン5a,5b間には、2つのグラウンドコンタクト
ピン6a,6bが形成される。同様に、電極4a,4b
と向かい合う位置にも、2つの信号コンタクトピン5
c,5dおよび2つのグラウンドコンタクトピン6c,
6dが形成される。信号コンタクトピン5a,5b,5
c,5dおよびグラウンドコンタクトピン6a,6b,
6c,6dはばね性を有し、それぞれ1枚の板を2箇所
で折り曲げた形状に形成される。
【0004】電極4a,4bには、それぞれセミリジッ
ドケーブル7a,7bの内部導体8a,8bが、はんだ
9a,9bによってはんだ付けされ、接続される。セミ
リジッドケーブル7a,7bの外部導体は、それぞれは
んだ10a,10bによって基板2にはんだ付けされ
る。
ドケーブル7a,7bの内部導体8a,8bが、はんだ
9a,9bによってはんだ付けされ、接続される。セミ
リジッドケーブル7a,7bの外部導体は、それぞれは
んだ10a,10bによって基板2にはんだ付けされ
る。
【0005】この測定装置1には、被測定デバイス11
が上方から挿入される。被測定デバイス11の長手方向
の側面には、4つの側面電極12a,12b,12c,
12dが等間隔に形成される。さらに、側面電極12
a,12b,12c,12dが形成された面の向かい側
の面にも、4つの側面電極12e,12f,12g,1
2hが等間隔に形成される。なお、側面電極12aは入
力用であり、側面電極12dは出力用である。また、側
面電極12e,12hはダミー用であり、側面電極12
b,12c,12f,12gは接地用である。
が上方から挿入される。被測定デバイス11の長手方向
の側面には、4つの側面電極12a,12b,12c,
12dが等間隔に形成される。さらに、側面電極12
a,12b,12c,12dが形成された面の向かい側
の面にも、4つの側面電極12e,12f,12g,1
2hが等間隔に形成される。なお、側面電極12aは入
力用であり、側面電極12dは出力用である。また、側
面電極12e,12hはダミー用であり、側面電極12
b,12c,12f,12gは接地用である。
【0006】側面電極12a,12dは、それぞれ信号
コンタクトピン5a,5bによって、それぞれ押さえつ
けられる。同様に、側面電極12b,12cも、グラウ
ンドコンタクトピン6a,6bによって、それぞれ押さ
えつけられる。さらに、側面電極12e,12hも、信
号コンタクトピン5c,5dによって、それぞれ押さえ
つけられる。また、側面電極12f,12gも、グラウ
ンドコンタクトピン6c,6dによって、それぞれ押さ
えつけられる。
コンタクトピン5a,5bによって、それぞれ押さえつ
けられる。同様に、側面電極12b,12cも、グラウ
ンドコンタクトピン6a,6bによって、それぞれ押さ
えつけられる。さらに、側面電極12e,12hも、信
号コンタクトピン5c,5dによって、それぞれ押さえ
つけられる。また、側面電極12f,12gも、グラウ
ンドコンタクトピン6c,6dによって、それぞれ押さ
えつけられる。
【0007】この測定装置1では、入力用の側面電極1
2aへ入力信号を送ったときの出力用の側面電極12d
からの出力信号を測定し、被測定デバイス11の電気特
性評価を行っていた。
2aへ入力信号を送ったときの出力用の側面電極12d
からの出力信号を測定し、被測定デバイス11の電気特
性評価を行っていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
測定装置1では、たとえば特性インピーダンスが50Ω
となるように設定されるが、電極4a,4bと信号コン
タクトピン5a,5bと内部導体8a,8bとが露出し
ている。そのため、この露出している部分でインダクタ
ンスが発生してしまう。また、電極4a,4bと基板2
との間で、浮遊容量が発生する。すなわち、セミリジッ
ドケーブル7a,7bから信号コンタクトピン5a,5
bにいたる部分で発生する電気的不連続要因を定量的に
把握することが難しく、被測定デバイス11の特性を正
確に測定することが困難であった。
測定装置1では、たとえば特性インピーダンスが50Ω
となるように設定されるが、電極4a,4bと信号コン
タクトピン5a,5bと内部導体8a,8bとが露出し
ている。そのため、この露出している部分でインダクタ
ンスが発生してしまう。また、電極4a,4bと基板2
との間で、浮遊容量が発生する。すなわち、セミリジッ
ドケーブル7a,7bから信号コンタクトピン5a,5
bにいたる部分で発生する電気的不連続要因を定量的に
把握することが難しく、被測定デバイス11の特性を正
確に測定することが困難であった。
【0009】また、被測定デバイス11の挿入の方向に
よって、信号コンタクトピン5a,5b,5c,5dお
よびグラウンドコンタクトピン6a,6b,6c,6d
が大きく撓んでしまう場合がある。信号コンタクトピン
5a,5b,5c,5dおよびグラウンドコンタクトピ
ン6a,6b,6c,6dの撓み許容量は微少であり、
信号コンタクトピン5a,5b,5c,5dおよびグラ
ウンドコンタクトピン6a,6b,6c,6dとその固
定部分にかかるストレスによる破損が発生しやすかっ
た。さらに、各コンタクトピンが変形すると、コンタク
ト不良の原因ともなり、被測定デバイス11の特性を正
確に測定できなくなってしまう。
よって、信号コンタクトピン5a,5b,5c,5dお
よびグラウンドコンタクトピン6a,6b,6c,6d
が大きく撓んでしまう場合がある。信号コンタクトピン
5a,5b,5c,5dおよびグラウンドコンタクトピ
ン6a,6b,6c,6dの撓み許容量は微少であり、
信号コンタクトピン5a,5b,5c,5dおよびグラ
ウンドコンタクトピン6a,6b,6c,6dとその固
定部分にかかるストレスによる破損が発生しやすかっ
た。さらに、各コンタクトピンが変形すると、コンタク
ト不良の原因ともなり、被測定デバイス11の特性を正
確に測定できなくなってしまう。
【0010】それゆえに、この発明の主たる目的は、電
子部品の特性を正確に測定でき、コンタクト不良を大幅
に改善でき、破損しにくい測定装置を提供することであ
る。
子部品の特性を正確に測定でき、コンタクト不良を大幅
に改善でき、破損しにくい測定装置を提供することであ
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】この発明は、電子部品を
載置するための固定台と、固定台の近傍において固定台
に向かって延びるように配置され、固定台の厚み方向に
撓むばね性を有するコンタクトピンと、固定台の一方主
面側およびコンタクトピンの固定台側の端部を除く部分
を覆うようにして導電材料で形成されるケースと、コン
タクトピンに接続されるコネクタとを含み、コンタクト
ピンの固定台側の端部は、固定台の一方主面より高い位
置に配置される、測定装置である。
載置するための固定台と、固定台の近傍において固定台
に向かって延びるように配置され、固定台の厚み方向に
撓むばね性を有するコンタクトピンと、固定台の一方主
面側およびコンタクトピンの固定台側の端部を除く部分
を覆うようにして導電材料で形成されるケースと、コン
タクトピンに接続されるコネクタとを含み、コンタクト
ピンの固定台側の端部は、固定台の一方主面より高い位
置に配置される、測定装置である。
【0012】
【作用】コンタクトピンの大部分が導体で覆われる。そ
のため、コンタクトピンを電子部品に接触させたとき、
コンタクトピンは、理想的なエアーストリップラインと
して働く。すなわち、コンタクトピンの先端部分のみが
露出するので、特性インピーダンスの乱れが小さくな
る。また、コンタクトピンの固定台側の端部の位置と固
定台の一方主面の位置で、電子部品を挿入したときのコ
ンタクトピンの撓み量が決定される。
のため、コンタクトピンを電子部品に接触させたとき、
コンタクトピンは、理想的なエアーストリップラインと
して働く。すなわち、コンタクトピンの先端部分のみが
露出するので、特性インピーダンスの乱れが小さくな
る。また、コンタクトピンの固定台側の端部の位置と固
定台の一方主面の位置で、電子部品を挿入したときのコ
ンタクトピンの撓み量が決定される。
【0013】
【発明の効果】この発明によれば、特性インピーダンス
が良好なため、電子部品の特性を正確に測定できる。コ
ンタクトピンの撓み量が一定なため、コンタクトピンの
変形,破損が少なく、コンタクト不良を大幅に改善でき
る。
が良好なため、電子部品の特性を正確に測定できる。コ
ンタクトピンの撓み量が一定なため、コンタクトピンの
変形,破損が少なく、コンタクト不良を大幅に改善でき
る。
【0014】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【0015】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す分解斜視図
である。測定装置20は、第1の測定プレート22を含
む。第1の測定プレート22は、たとえば無酸銅に金メ
ッキを施したもので、ほぼ矩形に形成され、鏡面仕上げ
をするのが好ましい。
である。測定装置20は、第1の測定プレート22を含
む。第1の測定プレート22は、たとえば無酸銅に金メ
ッキを施したもので、ほぼ矩形に形成され、鏡面仕上げ
をするのが好ましい。
【0016】図2に示すように、第1の測定プレート2
2の中央部には、薄板状の固定台24が形成される。固
定台24はたとえばゴムなどの絶縁体によって形成され
る。さらに、第1の測定プレート22の中央部には、固
定台24の周囲に4つの孔26が形成される。また、第
1の測定プレート22の幅方向における両端部には、そ
れぞれ2つずつのU字形の凹部28a,28bおよび凹
部30a,30bが形成される。さらに、第1の測定プ
レート22における4つの孔26の周囲には、8つの孔
32が形成される。
2の中央部には、薄板状の固定台24が形成される。固
定台24はたとえばゴムなどの絶縁体によって形成され
る。さらに、第1の測定プレート22の中央部には、固
定台24の周囲に4つの孔26が形成される。また、第
1の測定プレート22の幅方向における両端部には、そ
れぞれ2つずつのU字形の凹部28a,28bおよび凹
部30a,30bが形成される。さらに、第1の測定プ
レート22における4つの孔26の周囲には、8つの孔
32が形成される。
【0017】第1の測定プレート22の4つの孔26の
下部には、4つのSMAコネクタ34がそれぞれ取り付
けられる。SMAコネクタ34の内部導体38は、第1
の測定プレート22の孔26から突き出る。そして、S
MAコネクタ34の内部導体38の先端には、それぞれ
信号コンタクトピン42が、内部導体38と取り付けら
れる。信号コンタクトピン42は、4つの内部導体38
にそれぞれ1つずつ計4つ取り付けられ、固定台24に
向かって延びるように配置される。また、信号コンタク
トピン42は、やや上向きとなるようにセットされ、そ
の先端がやや下向きに折り曲げられる。そして、信号コ
ンタクトピン42は、固定台24の厚み方向に撓むばね
性を有する。そして、信号コンタクトピン42の端部
は、固定台24の一方主面より高い位置となるように配
置される。
下部には、4つのSMAコネクタ34がそれぞれ取り付
けられる。SMAコネクタ34の内部導体38は、第1
の測定プレート22の孔26から突き出る。そして、S
MAコネクタ34の内部導体38の先端には、それぞれ
信号コンタクトピン42が、内部導体38と取り付けら
れる。信号コンタクトピン42は、4つの内部導体38
にそれぞれ1つずつ計4つ取り付けられ、固定台24に
向かって延びるように配置される。また、信号コンタク
トピン42は、やや上向きとなるようにセットされ、そ
の先端がやや下向きに折り曲げられる。そして、信号コ
ンタクトピン42は、固定台24の厚み方向に撓むばね
性を有する。そして、信号コンタクトピン42の端部
は、固定台24の一方主面より高い位置となるように配
置される。
【0018】固定台24の両側には、4つの信号コンタ
クトピン42の間に、2つのグラウンドコンタクトピン
44が形成され、固定台24に向かって延びるように配
置される。グラウンドコンタクトピン44は、やや上向
きとなるようにセットされ、その先端がやや下向きに折
り曲げられる。そして、グラウンドコンタクトピン44
は、固定台24の厚み方向に撓むばね性を有する。な
お、信号コンタクトピン42およびグラウンドコンタク
トピン44には、たとえばりん青銅に金メッキを施した
板ばねが使用される。
クトピン42の間に、2つのグラウンドコンタクトピン
44が形成され、固定台24に向かって延びるように配
置される。グラウンドコンタクトピン44は、やや上向
きとなるようにセットされ、その先端がやや下向きに折
り曲げられる。そして、グラウンドコンタクトピン44
は、固定台24の厚み方向に撓むばね性を有する。な
お、信号コンタクトピン42およびグラウンドコンタク
トピン44には、たとえばりん青銅に金メッキを施した
板ばねが使用される。
【0019】第1の測定プレート22の上部には、第2
の測定プレート46が形成される。第2の測定プレート
46は、たとえば無酸銅に金メッキを施したもので、ほ
ぼ矩形に形成され、鏡面仕上げをするのが好ましい。
の測定プレート46が形成される。第2の測定プレート
46は、たとえば無酸銅に金メッキを施したもので、ほ
ぼ矩形に形成され、鏡面仕上げをするのが好ましい。
【0020】第2の測定プレート46の中央部には、ほ
ぼ矩形の開口部48が形成される。開口部48は、第2
の測定プレート46が第1の測定プレート22の4つの
孔26を覆わない大きさに形成される。すなわち、測定
装置20を組み立てたとき、信号コンタクトピン42お
よびグラウンドコンタクトピン44が開口部48内に位
置する。
ぼ矩形の開口部48が形成される。開口部48は、第2
の測定プレート46が第1の測定プレート22の4つの
孔26を覆わない大きさに形成される。すなわち、測定
装置20を組み立てたとき、信号コンタクトピン42お
よびグラウンドコンタクトピン44が開口部48内に位
置する。
【0021】また、第2の測定プレート46の幅方向に
おける両端部には、それぞれ2つずつのU字形の凹部5
0a,50bおよび凹部52a,52bが形成される。
さらに、第2の測定プレート46における開口部48の
周囲には、8つの孔54が形成される。
おける両端部には、それぞれ2つずつのU字形の凹部5
0a,50bおよび凹部52a,52bが形成される。
さらに、第2の測定プレート46における開口部48の
周囲には、8つの孔54が形成される。
【0022】第2の測定プレート46の上部には、第3
の測定プレート56が形成される。第3の測定プレート
56は、たとえば無酸銅に金メッキを施したもので、ほ
ぼ矩形に形成され、鏡面仕上げをするのが好ましい。
の測定プレート56が形成される。第3の測定プレート
56は、たとえば無酸銅に金メッキを施したもので、ほ
ぼ矩形に形成され、鏡面仕上げをするのが好ましい。
【0023】第3の測定プレート56の中央部には、ほ
ぼ矩形の開口部58が形成される。開口部58は、測定
装置20を組み立てたとき、信号コンタクトピン42の
先端が露出する大きさに形成される。また、第3の測定
プレート56の幅方向における両端部には、それぞれ2
つずつのU字形の凹部60a,60bおよび凹部62
a,62bが形成される。さらに、第3の測定プレート
56における開口部58の周囲には、8つの孔64が形
成される。
ぼ矩形の開口部58が形成される。開口部58は、測定
装置20を組み立てたとき、信号コンタクトピン42の
先端が露出する大きさに形成される。また、第3の測定
プレート56の幅方向における両端部には、それぞれ2
つずつのU字形の凹部60a,60bおよび凹部62
a,62bが形成される。さらに、第3の測定プレート
56における開口部58の周囲には、8つの孔64が形
成される。
【0024】それぞれ8つずつの孔32,54,64
は、対応する位置に形成される。そして、8つずつの孔
32,54,64に8つのビス66が挿通され、測定プ
レート22,46,56が固定され、測定装置20が組
み立てられる。
は、対応する位置に形成される。そして、8つずつの孔
32,54,64に8つのビス66が挿通され、測定プ
レート22,46,56が固定され、測定装置20が組
み立てられる。
【0025】そして、測定装置20の特性インピーダン
スが50Ωとなるように、第1の測定プレート22の孔
26の寸法,信号コンタクトピン42の幅および厚み,
第2の測定プレート46の厚みは決定される。
スが50Ωとなるように、第1の測定プレート22の孔
26の寸法,信号コンタクトピン42の幅および厚み,
第2の測定プレート46の厚みは決定される。
【0026】SMAコネクタ34には、セミリジッドケ
ーブル(図示せず)が接続される。そして、図3に示す
ように、測定装置20に被測定デバイス68が挿入さ
れ、固定台24の上に載置される。このとき、被測定デ
バイス68は、第3の測定プレート56の開口部58か
ら挿入される。すなわち、第3の測定プレート56の開
口部58は、被測定デバイス68がちょうど収まる寸法
となるように形成される。そして、第3の測定プレート
56の開口部58は、被測定デバイス68の位置決めを
する役割を果たす。
ーブル(図示せず)が接続される。そして、図3に示す
ように、測定装置20に被測定デバイス68が挿入さ
れ、固定台24の上に載置される。このとき、被測定デ
バイス68は、第3の測定プレート56の開口部58か
ら挿入される。すなわち、第3の測定プレート56の開
口部58は、被測定デバイス68がちょうど収まる寸法
となるように形成される。そして、第3の測定プレート
56の開口部58は、被測定デバイス68の位置決めを
する役割を果たす。
【0027】被測定デバイス68の側面には、4つずつ
計8つの側面電極70が形成される。8つの側面電極7
0のうち、たとえば、1つは入力用であり、1つは出力
用であり、2つはダミー用であり、4つは接地用であ
る。そして、入力用,出力用およびダミー用の側面電極
70には、信号コンタクトピン42が接続され、接地用
の側面電極70には、グラウンドコンタクトピン44が
接続される。このとき、信号コンタクトピン42および
グラウンドコンタクトピン44はばね性を有し、やや上
向きとなるようにセットされ、その先端がやや下向きに
折り曲げられるので、側面電極70が接触しやすい。
計8つの側面電極70が形成される。8つの側面電極7
0のうち、たとえば、1つは入力用であり、1つは出力
用であり、2つはダミー用であり、4つは接地用であ
る。そして、入力用,出力用およびダミー用の側面電極
70には、信号コンタクトピン42が接続され、接地用
の側面電極70には、グラウンドコンタクトピン44が
接続される。このとき、信号コンタクトピン42および
グラウンドコンタクトピン44はばね性を有し、やや上
向きとなるようにセットされ、その先端がやや下向きに
折り曲げられるので、側面電極70が接触しやすい。
【0028】この実施例によれば、信号コンタクトピン
42の大部分が導体で覆われるので、信号コンタクトピ
ン42は、理想的なエアーストリップラインとなる。そ
のため、特性インピーダンスが良好であり、電子部品の
特性を正確に測定できる。また、コンタクトピンの撓み
量が、信号コンタクトピン42の端部と固定台24の一
方主面との距離で決定され一定なため、コンタクトピン
の変形,破損が少なくなる。実験では、従来の測定装置
では約10%発生したコンタクト不良を1%以下にする
ことができ、コンタクト不良を大幅に改善できた。さら
に、板ばねの撓み量を十分に確保できるために長寿命で
あり、1万回以上の接触でも破損しない。
42の大部分が導体で覆われるので、信号コンタクトピ
ン42は、理想的なエアーストリップラインとなる。そ
のため、特性インピーダンスが良好であり、電子部品の
特性を正確に測定できる。また、コンタクトピンの撓み
量が、信号コンタクトピン42の端部と固定台24の一
方主面との距離で決定され一定なため、コンタクトピン
の変形,破損が少なくなる。実験では、従来の測定装置
では約10%発生したコンタクト不良を1%以下にする
ことができ、コンタクト不良を大幅に改善できた。さら
に、板ばねの撓み量を十分に確保できるために長寿命で
あり、1万回以上の接触でも破損しない。
【0029】なお、被測定デバイスの側面電極の数は任
意に変更可能であり、信号コンタクトピンおよびグラウ
ンドコンタクトピンの数は、側面電極の数に応じて変更
すればよい。
意に変更可能であり、信号コンタクトピンおよびグラウ
ンドコンタクトピンの数は、側面電極の数に応じて変更
すればよい。
【図1】この発明の一実施例を示す分解斜視図である。
【図2】測定装置の要部を示す図解図である。
【図3】測定装置に被測定デバイスを挿入した状態を示
す図解図である。
す図解図である。
【図4】高周波デバイスの量産時における電気特性評価
を行うための従来の測定装置を示す斜視図である。
を行うための従来の測定装置を示す斜視図である。
20 測定装置 22 第1の測定プレート 24 固定台 26 孔 34 SMAコネクタ 42 信号コンタクトピン 44 グラウンドコンタクトピン 46 第2の測定プレート 48,58 開口部 56 第3の測定プレート 68 被測定デバイス
Claims (1)
- 【請求項1】 電子部品を載置するための固定台、 前記固定台の近傍において前記固定台に向かって延びる
ように配置され、前記固定台の厚み方向に撓むばね性を
有するコンタクトピン、 前記固定台の一方主面側および前記コンタクトピンの前
記固定台側の端部を除く部分を覆うようにして導電材料
で形成されるケース、および前記コンタクトピンに接続
されるコネクタを含み、 前記コンタクトピンの前記固定台側の端部は、前記固定
台の一方主面より高い位置に配置される、測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4182983A JP2976256B2 (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4182983A JP2976256B2 (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH063411A JPH063411A (ja) | 1994-01-11 |
JP2976256B2 true JP2976256B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=16127715
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4182983A Expired - Fee Related JP2976256B2 (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2976256B2 (ja) |
-
1992
- 1992-06-16 JP JP4182983A patent/JP2976256B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH063411A (ja) | 1994-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4116523A (en) | High frequency probe | |
WO2006044167A1 (en) | Cable terminal with flexible contacts | |
JP2005522848A (ja) | プリント回路基板に取り付けられたコンタクト・ピンを有するシールドされたケーブル端子 | |
JPH09184852A (ja) | 導電性接触子 | |
TWI438438B (zh) | 具有高頻內插器之測試系統 | |
US6836129B2 (en) | Air interface apparatus for use in high-frequency probe device | |
JP2006337361A (ja) | 信号プローブ及びプローブアセンブリ | |
JP3165066B2 (ja) | 管状ばねを持つ弾性コネクタ | |
JP2734412B2 (ja) | 半導体装置のソケット | |
JP2976256B2 (ja) | 測定装置 | |
JP2000156269A (ja) | 半導体用ソケット | |
JP2004333459A (ja) | コンタクトプローブ、これを用いた半導体及び電気検査装置 | |
TW436631B (en) | Device measuring socket and method for measuring device | |
JP3190866B2 (ja) | 高周波プローブ及び高周波プローブを用いた測定方法 | |
JPH08110366A (ja) | 表面実装型電子部品の測定治具 | |
JP3483961B2 (ja) | 高周波用コネクタ | |
JP6847139B2 (ja) | Hf信号伝送用コネクタモジュールおよびコネクタ | |
KR100787407B1 (ko) | 전기 검사 장치 및 그 제조 방법 | |
JP7242613B2 (ja) | 基板間接続構造および基板間接続方法 | |
JP2572932Y2 (ja) | 高周波測定プローブ | |
JPH0756493B2 (ja) | 導通接触端子の製造方法 | |
JP3105444B2 (ja) | 電子部品評価用治具及び電子部品評価方法 | |
JP2538960Y2 (ja) | 電子デバイスの高周波特性評価用プローブ | |
JPH0742140Y2 (ja) | プローブのアース構造 | |
JPH0534573U (ja) | 表面実装部品の特性検査用ユニツト |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |