JP3027159U - 検査用プローブ - Google Patents
検査用プローブInfo
- Publication number
- JP3027159U JP3027159U JP1996000177U JP17796U JP3027159U JP 3027159 U JP3027159 U JP 3027159U JP 1996000177 U JP1996000177 U JP 1996000177U JP 17796 U JP17796 U JP 17796U JP 3027159 U JP3027159 U JP 3027159U
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- Japan
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- coil spring
- plunger
- probe
- inspection
- terminal
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- Expired - Lifetime
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Abstract
(57)【要約】
【課題】プランジャをより微小なピッチで複数配列させ
る。 【解決手段】ブロック4の貫通孔4a内に、線材の断面
形状が矩形のコイルばね2を抜け止めして配置し、コイ
ルばね2の先端側でプランジャ3を弾性的に支持し、貫
通孔4aの先端側の開口部4bからプランジャ3の先端
側を摺動自在に突出させて被検査部品の端子に弾性的に
接触させる構成により、断面形状が矩形のコイルばね2
は線材の断面形状が円形の従来のコイルばねに比べて座
屈が小さいので、コイルばね2をスリーブ内に収納しな
くてもコイルばね2だけでプランジャ3を伸直性よく安
定して保持して被検査部品の端子に弾性的に接触させる
ことができ、スリーブのない分だけより微小なピッチで
プランジャ3を複数配列できる。
る。 【解決手段】ブロック4の貫通孔4a内に、線材の断面
形状が矩形のコイルばね2を抜け止めして配置し、コイ
ルばね2の先端側でプランジャ3を弾性的に支持し、貫
通孔4aの先端側の開口部4bからプランジャ3の先端
側を摺動自在に突出させて被検査部品の端子に弾性的に
接触させる構成により、断面形状が矩形のコイルばね2
は線材の断面形状が円形の従来のコイルばねに比べて座
屈が小さいので、コイルばね2をスリーブ内に収納しな
くてもコイルばね2だけでプランジャ3を伸直性よく安
定して保持して被検査部品の端子に弾性的に接触させる
ことができ、スリーブのない分だけより微小なピッチで
プランジャ3を複数配列できる。
Description
【0001】
本考案は、チップ部品、LSI、LCD等の電子部品の端子から電気信号を取 り出して検査する際に用いる検査用プローブに関する。
【0002】
図5は、チップ部品、LSI、LCD等の電子部品を電気的に検査するために 用いられる従来のプローブの一例を示す概略断面図である。
【0003】 このプローブ100は、複数の導電性のプランジャ101を、絶縁性のブロッ ク102に設けた複数の保持孔102aにそれぞれ導電性の円筒状のスリーブ1 03を介して挿着することにより、互いに平行に保持して構成されている。各プ ランジャ101は、それぞれ後端部が導電性のソケット104内に、線材の断面 形状が円形のコイルばね105によって外方へ付勢され、且つ抜け止めされた状 態で摺動自在に嵌合されており、ソケット104がスリーブ103内に固定され ている。
【0004】 このように、各プランジャ101は、ブロック102の各保持孔102aに電 気的に絶縁された状態で、しかもコイルばね105によって長さ方向に弾性を備 えた状態で、互いに平行に保持されている。また、プランジャ101の数とピッ チは、LSI、LCD等の被検査部品(図示省略)の各端子に対応して設定され ている。
【0005】 このように構成されたプローブ100は、図6に示すようにブロック102に 所定のピッチで複数配列され、各プランジャ101の先端をLSI、LCD等の 被検査部品(図示省略)の各端子に接触させ、プランジャ101、コイルばね1 05、スリーブ103を通して電気信号を取り出して種々の検査を行う。また、 プランジャ101の先端を被検査部品の端子に接触させた時に、プランジャ10 1はコイルばね105の弾性力によって所定の圧力で端子に接触するので、端子 を傷つけることなく検査を行うことができる。
【0006】
近年、被検査部品であるLSI、LCD等の電子部品の高密度実装化に伴って 、その端子間のピッチも狭くなっている。このため、上述したプランジャ101 間のピッチもそれに応じて狭くする必要がある。
【0007】 しかしながら、上述したように従来のプローブ100は、コイルばね105の 線材の断面形状が円形なので座屈しやすい。このため、プランジャ101の外側 にコイルばね105を収納する円筒状のスリーブ103やソケット104を設け ているが、このスリーブ103等の厚み(例えば、0.02〜0.05mm程度 )分の倍だけプローブ100全体の径が太くなることにより、複数のプランジャ 101を、高密度実装されたLSI、LCD等の微小なピッチの端子に対応させ て配置することが難しくなってきた。
【0008】 また、コイルばね105の外側にスリーブ103やソケット104等が取り付 けるので、部品点数が増え、且つその組立て工程も増えるので、コストが高くな るといった問題点もあった。
【0009】 そこで、本考案は、微小なピッチで複数のプランジャを配列することができ、 且つ低コスト化も図ることができる検査用プローブを提供することを目的とする 。
【0010】
本考案は、上述事情に鑑みなされたものであって、本考案は、摺動自在に支持 されたプランジャの先端部を被検査部品の端子に弾性的に接触するようにコイル ばねにて付勢してなる、検査用プローブにおいて、前記コイルばねは、その線材 の断面形状が矩形状に形成されると共に、前記プランジャを摺動自在に支持する ように構成され、前記コイルばねを外筒として、絶縁材料からなるブロックの孔 に装着してなることを特徴としている。
【0011】 また、前記コイルばねは、導電性部材からなる圧縮コイルばね、又は引張りコ イルばねであり、その断面形状がその径方向の辺より長手方向の辺が長い長方形 に形成されていることを特徴としている。
【0012】 また、前記プランジャは、前記被検査部品の端子数に応じて前記ブロックの各 孔にそれぞれ配置され、且つ前記プランジャ間のピッチを0.10〜0.30m mで配列したことを特徴としている。
【0013】
以下、図面に基づいて本考案に係る実施の形態について説明する。
【0014】 図1は、本考案の第1の実施の形態に係る検査用プローブを示す概略図である 。このプローブ1は、線材の断面形状が薄板状の圧縮ばねタイプのコイルばね2 と、コイルばね2の先端側に支持した円柱状のプランジャ3からなり、合成樹脂 等の絶縁部材で形成されたブロック4の貫通孔4aに挿入されている。
【0015】 コイルばね2は、例えば硬鋼線により直径φ0.15mmの円筒形状に形成さ れ、その線材の断面形状は、例えば、幅w0.10mm、厚さd0.02mmの 長手方向に細長い長方形に形成されており(図2参照)、ブロック4の貫通孔4 a内にその内壁面とほぼ隙間なく配置されている。また、コイルばね2には、先 端側にプランジャ3が例えばかしめ接合によって支持され、後端側に信号取出し プランジャ5が例えばかしめ接合によって支持されて付勢されており、貫通孔4 aの両端の開口部4b,4cにそれぞれ係止されて抜け止めされている。プラン ジャ3、コイルばね2、信号取出しプランジャ5は電気的に導通している。また 、信号取出しプランジャ5の外部側は、貫通孔4aの後端側の開口部4cから突 出して測定装置(図示省略)側に接続されている。
【0016】 プランジャ3は、プランジャ後部3aがコイルばね2の先端側に例えばかしめ 接合によって弾性的に支持され、プランジャ3の先端側が貫通孔4aの先端側の 開口部4bから摺動自在に突出している。また、プランジャ3は、コイルばね2 より少し径が細く、例えば直径φ0.10mmで形成されている。
【0017】 そして、コイルばね2によって弾性的に支持されたプランジャ3は、例えば0 .10〜0.30mm(本実施の形態では、0.20mm)の微小ピッチでブロ ック4に複数配列された各貫通孔4aにそれぞれ挿入される。尚、プランジャ3 の数とそのピッチは、被検査部品であるLSI、LCD等の各端子に対応して設 定される。
【0018】 次に、上述した第1の実施の形態に係るプローブ1の作用について説明する。 被検査部品であるLSI、LCD等の各端子(図示省略)にそれぞれプランジ ャ3の先端部をコイルばね2で弾性的に接触させることにより、前記各端子から の電気信号はプランジャ3、コイルばね2、信号取出しプランジャ5を通して測 定装置(図示省略)に入力され、所定の検査が行われる。
【0019】 この際、コイルばね2は断面形状が薄板状の長方形に形成されているので、上 述した従来例の線材の断面形状が円形のコイルばねに比べてばね圧が大幅(例え ば2倍程度)に上がると共に、コイルばね2の全長が短くなり、且つ断面抵抗値 が小さくなることにより、プランジャ3の先端部がLSI、LCD等の各端子に 安定した接触圧で接して電気信号が高周波電流でも精度よく測定を行うことがで きる。
【0020】 また、コイルばね2は断面形状が長手方向に細長い長方形なので、上述した従 来例の断面形状が円形のコイルばねに比べて座屈が小さく、従来例のプローブの ようにコイルばねの外側に円筒状のスリーブを用いることなくプランジャ3を伸 直性よく安定して支持することができる。よって、円筒状のスリーブが不要にな るので、その分だけプローブ1全体の径を細くすることができ、隣接するプラン ジャ3間のピッチをより小さくすることができる(例えば、従来例で示した円筒 状のスリーブを用いるプローブでは最小ピッチが0.4mm程度であったのが0 .10〜0.30mm程度にできる)。
【0021】 更に、コイルばね2の外側に円筒状のスリーブがないので、スリーブとその組 立て工程が不要となり、低コスト化を図ることができる。
【0022】 また、コイルばね2は断面形状が長手方向に細長い長方形なので、上述した従 来例の断面形状が円形のコイルばねに比べて耐久性がよく、長寿命化を図ること ができる。
【0023】 図3は、本考案の第2の実施の形態に係る検査用プローブを示す概略図である 。このプローブ10は、線材の断面形状が薄板状の引張りばねタイプのコイルば ね12と、コイルばね12内の長手方向に挿通されてコイルばね12の後端側に 支持されている円柱状のプランジャ13からなり、合成樹脂等の絶縁部材で形成 されたブロック14の貫通孔14aに挿入されている。
【0024】 コイルばね12は、例えば硬鋼線により直径φ0.15mmの円筒形状に形成 され、その線材の断面形状は、例えば、幅w0.10mm、厚さd0.02mm の長手方向に細長い長方形に形成されており(図4参照)、ブロック14の貫通 孔14a内にその内壁面とほぼ隙間なく配置されている。また、コイルばね12 は、先端に設けたフランジ部12aが貫通孔14aの先端側に形成した溝部14 b内に配置されて抜け止めされている。
【0025】 プランジャ13は、コイルばね12の後端部12bに例えばかしめ接合によっ て弾性的に支持されており、先端側が貫通孔14aの先端側の開口部14cから 摺動自在に突出し、後端側が貫通孔14aの後端側の開口部14dより突出して 測定装置(図示省略)側に引き出されている。また、プランジャ13は、コイル ばね12より少し径が細く、例えば直径φ0.08mmで形成されている。
【0026】 そして、コイルばね12によって弾性的に支持されたプランジャ13は、例え ば0.10〜0.30mm(本実施の形態では、0.20mm)の微小ピッチで ブロック14に複数形成された各貫通孔14aにそれぞれ挿入される。尚、プラ ンジャ13の数とそのピッチは、被検査部品であるLSI、LCD等の各端子に 対応して設定される。
【0027】 次に、上述した第2の実施の形態に係るプローブ10の作用について説明する 。
【0028】 被検査部品であるLSI、LCD等の各端子(図示省略)にそれぞれプランジ ャ13の先端部をコイルばね12で弾性的に接触させることにより、前記各端子 からの電気信号はプランジャ13を通して測定装置(図示省略)に入力され、所 定の検査が行われる。
【0029】 この際、コイルばね12は断面形状が薄板状の長方形に形成されているので、 上述した従来例の線材の断面形状が円形のコイルばねに比べてばね圧が大幅(例 えば2倍程度)に上がることにより、プランジャ13の先端部がLSI、LCD 等の各端子に安定した接触圧で接して微弱な電気信号でも精度よく測定を行うこ とができる。
【0030】 また、コイルばね12は断面形状が長手方向に細長い長方形なので、上述した 従来例の断面形状が円形のコイルばねに比べて座屈が小さく、従来例のプローブ のようにコイルばねの外側に円筒状のスリーブを用いることなくプランジャ13 を伸直性よく安定して支持することができる。よって、円筒状のスリーブが不要 になるので、その分だけプローブ10全体の径を細くすることができ、隣接する プランジャ13間のピッチをより小さくすることができる(例えば、従来例で示 した円筒状のスリーブを用いるプローブでは最小ピッチが0.4mm程度であっ たのが0.10〜0.30mm程度にできる)。
【0031】 更に、コイルばね12の外側に円筒状のスリーブがないので、スリーブとその 組立て工程が不要となり、低コスト化を図ることができる。
【0032】 また、コイルばね12は断面形状が長手方向に細長い長方形なので、上述した 従来例の断面形状が円形のコイルばねに比べて耐久性がよく、長寿命化を図るこ とができる。
【0033】 尚、上述した各実施の形態では、コイルばね2,12の直径を0.15mm、 隣接するプランジャ3,13間のピッチを0.20mmに形成したが、コイルば ね2,12とプランジャ3,13の径をより小さくすることにより、プランジャ 3,13間のピッチを0.20mmから0.10mmの範囲で、より小さくする ことができる。
【0034】
以上説明したように、本考案によると、従来用いられていた線材の断面形状が 円形のコイルばねに比べて座屈が小さい断面形状が矩形のコイルばねでプランジ ャを弾性的に支持する構成により、従来のようにコイルばねの周囲に円筒状のス リーブ等を配置することなく、コイルばねだけでプランジャを伸直性よく安定し て被検査部品の各端子に所定の圧力で接触させることができる。従って、少なく ともスリーブのない分だけ径を細くできるので、プランジャをより微小なピッチ で複数配列することが可能となり、より微小なピッチで配列された被検査部品の 各端子にも対応して測定を行うことができる。
【0035】 また、従来用いていたスリーブとその組立て工程が不要になるので、コストの 低減を図ることができる。
【図1】本考案の第1の実施の形態に係る検査用プロー
ブを示す概略断面図。
ブを示す概略断面図。
【図2】図1に示した検査用プローブのコイルばねの一
部を示す拡大断面図。
部を示す拡大断面図。
【図3】本考案の第2の実施の形態に係る検査用プロー
ブを示す概略断面図。
ブを示す概略断面図。
【図4】図3に示した検査用プローブのコイルばねの一
部を示す拡大断面図。
部を示す拡大断面図。
【図5】従来例に係る検査用プローブを示す概略断面
図。
図。
【図6】複数配列した従来例に係る検査用プローブを示
す概略図。
す概略図。
1,10 プローブ 2 コイルばね(圧縮ばねタイプ) 12 コイルばね(引張りばねタイプ) 3,13 プランジャ 5 信号取出し部材(信号取出しプランジャ) 4,14 ブロック 4a,14a 孔(貫通孔)
Claims (6)
- 【請求項1】 摺動自在に支持されたプランジャの先端
部を被検査部品の端子に弾性的に接触するようにコイル
ばねにて付勢してなる、検査用プローブにおいて、 前記コイルばねは、その線材の断面形状が矩形状に形成
されると共に、前記プランジャを摺動自在に支持するよ
うに構成され、 前記コイルばねを外筒として、絶縁材料からなるブロッ
クの孔に装着してなる、 ことを特徴とする検査用プローブ。 - 【請求項2】 前記コイルばねは導電性部材からなる圧
縮コイルばねである、 請求項1記載の検査用プローブ。 - 【請求項3】 前記コイルばねは引張りコイルばねであ
り、その内側に長手方向に沿って挿通される前記プラン
ジャの先端側と摺動自在なその先端側が前記孔に抜け止
めされ、且つその後端側で、プランジャの先端部と反対
側を支持した、 請求項1記載の検査用プローブ。 - 【請求項4】 前記コイルばねは、断面形状がその径方
向の辺より長手方向の辺が長い長方形に形成されてい
る、 請求項1、2又は3記載の検査用プローブ。 - 【請求項5】 前記コイルばねの前記プランジャを支持
した側と反対側に、前記端子からの電気信号を外部に取
出す信号取出し部材を摺動自在に支持すると共に前記コ
イルばねにて付勢してなり、前記端子から出力される前
記電気信号を前記プランジャ、コイルばね、信号取出し
部材を通して取り出す、 請求項1、2又は4記載の検査用プローブ。 - 【請求項6】 前記プランジャは、前記被検査部品の端
子数に応じて前記ブロックの各孔にそれぞれ配置され、
且つ前記プランジャ間のピッチを0.10〜0.30m
mで配列した、 請求項1記載の検査用プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1996000177U JP3027159U (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 検査用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1996000177U JP3027159U (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 検査用プローブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3027159U true JP3027159U (ja) | 1996-07-30 |
Family
ID=43162283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1996000177U Expired - Lifetime JP3027159U (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 検査用プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3027159U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010281592A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Nidec-Read Corp | プローブ及び検査用治具 |
WO2018168136A1 (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-20 | オムロン株式会社 | プローブピンおよび検査ユニット |
JP2019117119A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | 株式会社エンプラス | コンタクトピン及びソケット |
JP2021165638A (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブおよび電気的接続装置 |
-
1996
- 1996-01-24 JP JP1996000177U patent/JP3027159U/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010281592A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Nidec-Read Corp | プローブ及び検査用治具 |
WO2018168136A1 (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-20 | オムロン株式会社 | プローブピンおよび検査ユニット |
JP2019117119A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | 株式会社エンプラス | コンタクトピン及びソケット |
JP2021165638A (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブおよび電気的接続装置 |
JP7372194B2 (ja) | 2020-04-06 | 2023-10-31 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブおよび電気的接続装置 |
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