JP3027159U - 検査用プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】プランジャをより微小なピッチで複数配列させ
る。 【解決手段】ブロック４の貫通孔４ａ内に、線材の断面
形状が矩形のコイルばね２を抜け止めして配置し、コイ
ルばね２の先端側でプランジャ３を弾性的に支持し、貫
通孔４ａの先端側の開口部４ｂからプランジャ３の先端
側を摺動自在に突出させて被検査部品の端子に弾性的に
接触させる構成により、断面形状が矩形のコイルばね２
は線材の断面形状が円形の従来のコイルばねに比べて座
屈が小さいので、コイルばね２をスリーブ内に収納しな
くてもコイルばね２だけでプランジャ３を伸直性よく安
定して保持して被検査部品の端子に弾性的に接触させる
ことができ、スリーブのない分だけより微小なピッチで
プランジャ３を複数配列できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、チップ部品、ＬＳＩ、ＬＣＤ等の電子部品の端子から電気信号を取 り出して検査する際に用いる検査用プローブに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図５は、チップ部品、ＬＳＩ、ＬＣＤ等の電子部品を電気的に検査するために 用いられる従来のプローブの一例を示す概略断面図である。

【０００３】 このプローブ１００は、複数の導電性のプランジャ１０１を、絶縁性のブロッ ク１０２に設けた複数の保持孔１０２ａにそれぞれ導電性の円筒状のスリーブ１ ０３を介して挿着することにより、互いに平行に保持して構成されている。各プ ランジャ１０１は、それぞれ後端部が導電性のソケット１０４内に、線材の断面 形状が円形のコイルばね１０５によって外方へ付勢され、且つ抜け止めされた状 態で摺動自在に嵌合されており、ソケット１０４がスリーブ１０３内に固定され ている。

【０００４】 このように、各プランジャ１０１は、ブロック１０２の各保持孔１０２ａに電 気的に絶縁された状態で、しかもコイルばね１０５によって長さ方向に弾性を備 えた状態で、互いに平行に保持されている。また、プランジャ１０１の数とピッ チは、ＬＳＩ、ＬＣＤ等の被検査部品（図示省略）の各端子に対応して設定され ている。

【０００５】 このように構成されたプローブ１００は、図６に示すようにブロック１０２に 所定のピッチで複数配列され、各プランジャ１０１の先端をＬＳＩ、ＬＣＤ等の 被検査部品（図示省略）の各端子に接触させ、プランジャ１０１、コイルばね１ ０５、スリーブ１０３を通して電気信号を取り出して種々の検査を行う。また、 プランジャ１０１の先端を被検査部品の端子に接触させた時に、プランジャ１０ １はコイルばね１０５の弾性力によって所定の圧力で端子に接触するので、端子 を傷つけることなく検査を行うことができる。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

近年、被検査部品であるＬＳＩ、ＬＣＤ等の電子部品の高密度実装化に伴って 、その端子間のピッチも狭くなっている。このため、上述したプランジャ１０１ 間のピッチもそれに応じて狭くする必要がある。

【０００７】 しかしながら、上述したように従来のプローブ１００は、コイルばね１０５の 線材の断面形状が円形なので座屈しやすい。このため、プランジャ１０１の外側 にコイルばね１０５を収納する円筒状のスリーブ１０３やソケット１０４を設け ているが、このスリーブ１０３等の厚み（例えば、０．０２〜０．０５ｍｍ程度 ）分の倍だけプローブ１００全体の径が太くなることにより、複数のプランジャ １０１を、高密度実装されたＬＳＩ、ＬＣＤ等の微小なピッチの端子に対応させ て配置することが難しくなってきた。

【０００８】 また、コイルばね１０５の外側にスリーブ１０３やソケット１０４等が取り付 けるので、部品点数が増え、且つその組立て工程も増えるので、コストが高くな るといった問題点もあった。

【０００９】 そこで、本考案は、微小なピッチで複数のプランジャを配列することができ、 且つ低コスト化も図ることができる検査用プローブを提供することを目的とする 。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上述事情に鑑みなされたものであって、本考案は、摺動自在に支持 されたプランジャの先端部を被検査部品の端子に弾性的に接触するようにコイル ばねにて付勢してなる、検査用プローブにおいて、前記コイルばねは、その線材 の断面形状が矩形状に形成されると共に、前記プランジャを摺動自在に支持する ように構成され、前記コイルばねを外筒として、絶縁材料からなるブロックの孔 に装着してなることを特徴としている。

【００１１】 また、前記コイルばねは、導電性部材からなる圧縮コイルばね、又は引張りコ イルばねであり、その断面形状がその径方向の辺より長手方向の辺が長い長方形 に形成されていることを特徴としている。

【００１２】 また、前記プランジャは、前記被検査部品の端子数に応じて前記ブロックの各 孔にそれぞれ配置され、且つ前記プランジャ間のピッチを０．１０〜０．３０ｍ ｍで配列したことを特徴としている。

【００１３】

【考案の実施の形態】

以下、図面に基づいて本考案に係る実施の形態について説明する。

【００１４】 図１は、本考案の第１の実施の形態に係る検査用プローブを示す概略図である 。このプローブ１は、線材の断面形状が薄板状の圧縮ばねタイプのコイルばね２ と、コイルばね２の先端側に支持した円柱状のプランジャ３からなり、合成樹脂 等の絶縁部材で形成されたブロック４の貫通孔４ａに挿入されている。

【００１５】 コイルばね２は、例えば硬鋼線により直径φ０．１５ｍｍの円筒形状に形成さ れ、その線材の断面形状は、例えば、幅ｗ０．１０ｍｍ、厚さｄ０．０２ｍｍの 長手方向に細長い長方形に形成されており（図２参照）、ブロック４の貫通孔４ ａ内にその内壁面とほぼ隙間なく配置されている。また、コイルばね２には、先 端側にプランジャ３が例えばかしめ接合によって支持され、後端側に信号取出し プランジャ５が例えばかしめ接合によって支持されて付勢されており、貫通孔４ ａの両端の開口部４ｂ，４ｃにそれぞれ係止されて抜け止めされている。プラン ジャ３、コイルばね２、信号取出しプランジャ５は電気的に導通している。また 、信号取出しプランジャ５の外部側は、貫通孔４ａの後端側の開口部４ｃから突 出して測定装置（図示省略）側に接続されている。

【００１６】 プランジャ３は、プランジャ後部３ａがコイルばね２の先端側に例えばかしめ 接合によって弾性的に支持され、プランジャ３の先端側が貫通孔４ａの先端側の 開口部４ｂから摺動自在に突出している。また、プランジャ３は、コイルばね２ より少し径が細く、例えば直径φ０．１０ｍｍで形成されている。

【００１７】 そして、コイルばね２によって弾性的に支持されたプランジャ３は、例えば０ ．１０〜０．３０ｍｍ（本実施の形態では、０．２０ｍｍ）の微小ピッチでブロ ック４に複数配列された各貫通孔４ａにそれぞれ挿入される。尚、プランジャ３ の数とそのピッチは、被検査部品であるＬＳＩ、ＬＣＤ等の各端子に対応して設 定される。

【００１８】 次に、上述した第１の実施の形態に係るプローブ１の作用について説明する。 被検査部品であるＬＳＩ、ＬＣＤ等の各端子（図示省略）にそれぞれプランジ ャ３の先端部をコイルばね２で弾性的に接触させることにより、前記各端子から の電気信号はプランジャ３、コイルばね２、信号取出しプランジャ５を通して測 定装置（図示省略）に入力され、所定の検査が行われる。

【００１９】 この際、コイルばね２は断面形状が薄板状の長方形に形成されているので、上 述した従来例の線材の断面形状が円形のコイルばねに比べてばね圧が大幅（例え ば２倍程度）に上がると共に、コイルばね２の全長が短くなり、且つ断面抵抗値 が小さくなることにより、プランジャ３の先端部がＬＳＩ、ＬＣＤ等の各端子に 安定した接触圧で接して電気信号が高周波電流でも精度よく測定を行うことがで きる。

【００２０】 また、コイルばね２は断面形状が長手方向に細長い長方形なので、上述した従 来例の断面形状が円形のコイルばねに比べて座屈が小さく、従来例のプローブの ようにコイルばねの外側に円筒状のスリーブを用いることなくプランジャ３を伸 直性よく安定して支持することができる。よって、円筒状のスリーブが不要にな るので、その分だけプローブ１全体の径を細くすることができ、隣接するプラン ジャ３間のピッチをより小さくすることができる（例えば、従来例で示した円筒 状のスリーブを用いるプローブでは最小ピッチが０．４ｍｍ程度であったのが０ ．１０〜０．３０ｍｍ程度にできる）。

【００２１】 更に、コイルばね２の外側に円筒状のスリーブがないので、スリーブとその組 立て工程が不要となり、低コスト化を図ることができる。

【００２２】 また、コイルばね２は断面形状が長手方向に細長い長方形なので、上述した従 来例の断面形状が円形のコイルばねに比べて耐久性がよく、長寿命化を図ること ができる。

【００２３】 図３は、本考案の第２の実施の形態に係る検査用プローブを示す概略図である 。このプローブ１０は、線材の断面形状が薄板状の引張りばねタイプのコイルば ね１２と、コイルばね１２内の長手方向に挿通されてコイルばね１２の後端側に 支持されている円柱状のプランジャ１３からなり、合成樹脂等の絶縁部材で形成 されたブロック１４の貫通孔１４ａに挿入されている。

【００２４】 コイルばね１２は、例えば硬鋼線により直径φ０．１５ｍｍの円筒形状に形成 され、その線材の断面形状は、例えば、幅ｗ０．１０ｍｍ、厚さｄ０．０２ｍｍ の長手方向に細長い長方形に形成されており（図４参照）、ブロック１４の貫通 孔１４ａ内にその内壁面とほぼ隙間なく配置されている。また、コイルばね１２ は、先端に設けたフランジ部１２ａが貫通孔１４ａの先端側に形成した溝部１４ ｂ内に配置されて抜け止めされている。

【００２５】 プランジャ１３は、コイルばね１２の後端部１２ｂに例えばかしめ接合によっ て弾性的に支持されており、先端側が貫通孔１４ａの先端側の開口部１４ｃから 摺動自在に突出し、後端側が貫通孔１４ａの後端側の開口部１４ｄより突出して 測定装置（図示省略）側に引き出されている。また、プランジャ１３は、コイル ばね１２より少し径が細く、例えば直径φ０．０８ｍｍで形成されている。

【００２６】 そして、コイルばね１２によって弾性的に支持されたプランジャ１３は、例え ば０．１０〜０．３０ｍｍ（本実施の形態では、０．２０ｍｍ）の微小ピッチで ブロック１４に複数形成された各貫通孔１４ａにそれぞれ挿入される。尚、プラ ンジャ１３の数とそのピッチは、被検査部品であるＬＳＩ、ＬＣＤ等の各端子に 対応して設定される。

【００２７】 次に、上述した第２の実施の形態に係るプローブ１０の作用について説明する 。

【００２８】 被検査部品であるＬＳＩ、ＬＣＤ等の各端子（図示省略）にそれぞれプランジ ャ１３の先端部をコイルばね１２で弾性的に接触させることにより、前記各端子 からの電気信号はプランジャ１３を通して測定装置（図示省略）に入力され、所 定の検査が行われる。

【００２９】 この際、コイルばね１２は断面形状が薄板状の長方形に形成されているので、 上述した従来例の線材の断面形状が円形のコイルばねに比べてばね圧が大幅（例 えば２倍程度）に上がることにより、プランジャ１３の先端部がＬＳＩ、ＬＣＤ 等の各端子に安定した接触圧で接して微弱な電気信号でも精度よく測定を行うこ とができる。

【００３０】 また、コイルばね１２は断面形状が長手方向に細長い長方形なので、上述した 従来例の断面形状が円形のコイルばねに比べて座屈が小さく、従来例のプローブ のようにコイルばねの外側に円筒状のスリーブを用いることなくプランジャ１３ を伸直性よく安定して支持することができる。よって、円筒状のスリーブが不要 になるので、その分だけプローブ１０全体の径を細くすることができ、隣接する プランジャ１３間のピッチをより小さくすることができる（例えば、従来例で示 した円筒状のスリーブを用いるプローブでは最小ピッチが０．４ｍｍ程度であっ たのが０．１０〜０．３０ｍｍ程度にできる）。

【００３１】 更に、コイルばね１２の外側に円筒状のスリーブがないので、スリーブとその 組立て工程が不要となり、低コスト化を図ることができる。

【００３２】 また、コイルばね１２は断面形状が長手方向に細長い長方形なので、上述した 従来例の断面形状が円形のコイルばねに比べて耐久性がよく、長寿命化を図るこ とができる。

【００３３】 尚、上述した各実施の形態では、コイルばね２，１２の直径を０．１５ｍｍ、 隣接するプランジャ３，１３間のピッチを０．２０ｍｍに形成したが、コイルば ね２，１２とプランジャ３，１３の径をより小さくすることにより、プランジャ ３，１３間のピッチを０．２０ｍｍから０．１０ｍｍの範囲で、より小さくする ことができる。

【００３４】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によると、従来用いられていた線材の断面形状が 円形のコイルばねに比べて座屈が小さい断面形状が矩形のコイルばねでプランジ ャを弾性的に支持する構成により、従来のようにコイルばねの周囲に円筒状のス リーブ等を配置することなく、コイルばねだけでプランジャを伸直性よく安定し て被検査部品の各端子に所定の圧力で接触させることができる。従って、少なく ともスリーブのない分だけ径を細くできるので、プランジャをより微小なピッチ で複数配列することが可能となり、より微小なピッチで配列された被検査部品の 各端子にも対応して測定を行うことができる。

【００３５】 また、従来用いていたスリーブとその組立て工程が不要になるので、コストの 低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１の実施の形態に係る検査用プロー
ブを示す概略断面図。

【図２】図１に示した検査用プローブのコイルばねの一
部を示す拡大断面図。

【図３】本考案の第２の実施の形態に係る検査用プロー
ブを示す概略断面図。

【図４】図３に示した検査用プローブのコイルばねの一
部を示す拡大断面図。

【図５】従来例に係る検査用プローブを示す概略断面
図。

【図６】複数配列した従来例に係る検査用プローブを示
す概略図。

【符号の説明】

１，１０ プローブ ２ コイルばね（圧縮ばねタイプ） １２ コイルばね（引張りばねタイプ） ３，１３ プランジャ ５ 信号取出し部材（信号取出しプランジャ） ４，１４ ブロック ４ａ，１４ａ 孔（貫通孔）

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 摺動自在に支持されたプランジャの先端
   部を被検査部品の端子に弾性的に接触するようにコイル
   ばねにて付勢してなる、検査用プローブにおいて、 前記コイルばねは、その線材の断面形状が矩形状に形成
   されると共に、前記プランジャを摺動自在に支持するよ
   うに構成され、 前記コイルばねを外筒として、絶縁材料からなるブロッ
   クの孔に装着してなる、 ことを特徴とする検査用プローブ。
2. 【請求項２】 前記コイルばねは導電性部材からなる圧
   縮コイルばねである、 請求項１記載の検査用プローブ。
3. 【請求項３】 前記コイルばねは引張りコイルばねであ
   り、その内側に長手方向に沿って挿通される前記プラン
   ジャの先端側と摺動自在なその先端側が前記孔に抜け止
   めされ、且つその後端側で、プランジャの先端部と反対
   側を支持した、 請求項１記載の検査用プローブ。
4. 【請求項４】 前記コイルばねは、断面形状がその径方
   向の辺より長手方向の辺が長い長方形に形成されてい
   る、 請求項１、２又は３記載の検査用プローブ。
5. 【請求項５】 前記コイルばねの前記プランジャを支持
   した側と反対側に、前記端子からの電気信号を外部に取
   出す信号取出し部材を摺動自在に支持すると共に前記コ
   イルばねにて付勢してなり、前記端子から出力される前
   記電気信号を前記プランジャ、コイルばね、信号取出し
   部材を通して取り出す、 請求項１、２又は４記載の検査用プローブ。
6. 【請求項６】 前記プランジャは、前記被検査部品の端
   子数に応じて前記ブロックの各孔にそれぞれ配置され、
   且つ前記プランジャ間のピッチを０．１０〜０．３０ｍ
   ｍで配列した、 請求項１記載の検査用プローブ。