JPH09196635A - Image measuring device - Google Patents
Image measuring deviceInfo
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- JPH09196635A JPH09196635A JP8029993A JP2999396A JPH09196635A JP H09196635 A JPH09196635 A JP H09196635A JP 8029993 A JP8029993 A JP 8029993A JP 2999396 A JP2999396 A JP 2999396A JP H09196635 A JPH09196635 A JP H09196635A
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- measurement
- point
- edge
- contour shape
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、被検物の輪郭形
状の測定を行なう画像測定機に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image measuring machine for measuring the contour shape of a test object.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の画像測定機としては、例
えば、ステージ上に載置された被検物の像を光学系を介
して上方から捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気
信号を出力するＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラで捉えた
撮像範囲内に設定される指標内にある被検物の輪郭形状
のエッジを前記電気信号に基づく画像処理により検出
し、エッジ座標値を表す信号を出力する画像処理装置と
を備え、被検物の輪郭形状の測定を行なうものが知られ
ている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an image measuring instrument of this type, for example, an image of an object to be inspected placed on a stage is captured from above via an optical system, and the image intensity is measured according to the light intensity distribution of the captured image. A CCD camera that outputs an electric signal, and an edge of the contour shape of the object within the index set within the imaging range captured by the CCD camera are detected by image processing based on the electric signal, and the edge coordinate value is represented. An image processing apparatus that outputs a signal and measures the contour shape of a test object is known.
【０００３】この画像測定機では、被検物の輪郭形状の
測定を行なう際に、エッジが直前に検出された複数の測
定点のエッジ座標値に基づいて次の測定目標点を設定
し、この測定目標点に対して指標の位置と角度方向を設
定し、その指標内にある輪郭形状のエッジを検出するこ
とを、輪郭形状に沿って複数の点について繰り返し行な
う。In this image measuring machine, when measuring the contour shape of an object to be inspected, the next measurement target point is set on the basis of the edge coordinate values of a plurality of measurement points whose edges were detected immediately before, and The position and the angular direction of the index are set with respect to the measurement target point, and the edge of the contour shape within the index is detected repeatedly for a plurality of points along the contour shape.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、エッジが直前に検出された複数の測定点の
エッジ座標値のみに基づいて、次の測定目標点での指標
の角度方向をその測定目標点での予想した輪郭形状に対
して垂直に設定するために、輪郭形状の曲率変化が大き
い場合には、設定された指標の角度方向が測定目標点で
の輪郭形状に垂直な方向になっているとは限らない。こ
れによって、測定目標点において指標が輪郭形状に対し
て垂直な方向から傾いた状態でエッジを検出することに
なり、エッジの検出位置にばらつきが生じ、エッジ検出
の画像処理の精度が劣化してしまうという問題があっ
た。However, in the above prior art, the angle direction of the index at the next measurement target point is measured based on only the edge coordinate values of the plurality of measurement points where the edge was detected immediately before. In order to set the contour shape perpendicular to the expected contour shape at the target point, if the curvature change of the contour shape is large, the angle direction of the set index becomes the direction perpendicular to the contour shape at the measurement target point. Not necessarily. As a result, the edge is detected at the measurement target point in a state in which the index is tilted from the direction perpendicular to the contour shape, which causes variations in the edge detection position, degrading the accuracy of the image processing for edge detection. There was a problem of being lost.
【０００５】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は、輪郭形状の測定精度を向上させ
た画像測定機を提供することである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an image measuring machine having an improved contour shape measuring accuracy.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明に係る画像測定機は、ステージ上
に載置された被検物の像を光学系を介して捉え、捉えた
像の光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像手段
と、前記撮像手段で捉えた撮像範囲内に設定されるエッ
ジ検出領域内にある被検物の輪郭形状のエッジを前記電
気信号に基づく画像処理により検出し、エッジ座標値を
表す信号を出力する画像処理手段とを備え、前記輪郭形
状の測定を行なう画像測定機において、前記輪郭形状に
沿った複数の点の各々の前記エッジ検出領域の位置及び
方向を設定しながら、前記エッジが検出された各測定点
で前記エッジ座標値を前記画像処理部から取り込む第１
の測定部と、前記第１の測定部で取り込んだ前記各測定
点のエッジ座標値に基づき、前記各測定点での前記エッ
ジ検出領域の位置及び方向を表すティーチングデータを
作成するデータ作成部と、前記ティーチングデータに従
って前記輪郭形状を測定する第２の測定部とを備え、前
記データ作成部は、前記各測定点での前記エッジ検出領
域の方向を前記各測定点での前記輪郭形状の法線方向と
したティーチングデータを作成することを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, an image measuring machine according to the invention of claim 1 captures an image of an object mounted on a stage through an optical system and captures it. Image output means for outputting an electric signal according to the light intensity distribution of the image, and the edge of the contour shape of the object in the edge detection area set within the image pickup range captured by the image pickup means is set as the electric signal. And an image processing unit that outputs a signal representing an edge coordinate value based on image processing based on the image processing, and detects the edge of each of a plurality of points along the contour shape in an image measuring machine that measures the contour shape. A first capturing the edge coordinate value from the image processing unit at each measurement point where the edge is detected while setting the position and direction of the area;
And a data creation unit that creates teaching data representing the position and direction of the edge detection area at each measurement point based on the edge coordinate values of each measurement point captured by the first measurement unit. A second measurement unit that measures the contour shape according to the teaching data, and the data creation unit determines a direction of the edge detection area at each measurement point by a method of the contour shape at each measurement point. It is characterized by creating teaching data in the direction of the line.
【０００７】データ作成部が、第１の測定部で取り込ん
だ各測定点のエッジ座標値に基づき、各測定点でのエッ
ジ検出領域の位置及び方向を表すデータであって、各測
定点でのエッジ検出領域の方向をその点及びその前後の
点を含む複数の点から求めた輪郭形状の法線方向とした
ティーチングデータを作成し、第２の測定部がティーチ
ングデータに従って輪郭形状を測定する。そのため、輪
郭形状の曲率変化が大きい場合でも、指標の角度方向が
常に各測定点での輪郭形状に垂直な状態でエッジが検出
され、エッジの検出位置にばらつきが生じない。The data creation unit is data representing the position and direction of the edge detection area at each measurement point based on the edge coordinate value of each measurement point fetched by the first measurement unit. Teaching data in which the direction of the edge detection region is the normal direction of the contour shape obtained from a plurality of points including the point and points before and after the point is created, and the second measuring unit measures the contour shape according to the teaching data. Therefore, even when the change in the curvature of the contour shape is large, the edge is always detected in a state where the angular direction of the index is perpendicular to the contour shape at each measurement point, and the detected position of the edge does not vary.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【０００９】図１はこの発明の一実施形態に係る画像測
定機を示すブロック図、図２は同画像測定機を示す概略
構成図である。FIG. 1 is a block diagram showing an image measuring machine according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing the image measuring machine.
【００１０】画像測定機は、図１及び図２に示すよう
に、測定機本体１と制御ユニット２とを備えている。測
定機本体１には支持体３が、制御ユニット２にはモニタ
４がそれぞれ設けられている。As shown in FIGS. 1 and 2, the image measuring machine comprises a measuring machine body 1 and a control unit 2. The measuring device body 1 is provided with a support 3, and the control unit 2 is provided with a monitor 4.
【００１１】測定機本体１は、支持体３のベース部３ａ
上に設けられたＸＹステージ５と、このステージ５の上
方に位置するように支持体３の支柱部３ｂに支持された
撮像部６とを備えている。The measuring machine main body 1 includes a base portion 3a of a support body 3.
The XY stage 5 is provided on the upper side, and the imaging unit 6 supported by the support column 3b of the support 3 so as to be located above the stage 5.
【００１２】ＸＹステージ５は、水平面内における直交
する２方向（Ｘ軸及びＹ軸方向）に移動可能である。こ
のステージ５の上面に、二次元的な輪郭形状を有しかつ
僅かな厚みを有する被検物（例えば図３に示すような被
検物）７が載置される。被検物７は、ベース部３ａに設
けられた透過照明光学系８又は撮像部６に設けられた落
射照明光学系９によって照明される（図２参照）。The XY stage 5 is movable in two directions (X axis and Y axis directions) orthogonal to each other in a horizontal plane. On the upper surface of the stage 5, an inspection object 7 having a two-dimensional contour shape and a slight thickness (for example, an inspection object as shown in FIG. 3) is placed. The inspection object 7 is illuminated by a transmitted illumination optical system 8 provided on the base portion 3a or an epi-illumination optical system 9 provided on the image pickup portion 6 (see FIG. 2).
【００１３】ＸＹステージ５には、図１に示すように、
入力されるステージ移動指令に基づきＸＹステージ５を
２方向に電動で移動させるＸＹステージ駆動部１０と、
ＸＹステージ５の座標を検出し、ステージ座標値を表わ
す信号を出力するステージ位置検出部１１とが設けられ
ている。ＸＹステージ駆動部１０は、ＸＹステージ５を
Ｘ軸及びＹ軸方向にそれぞれ駆動するＸ軸用モータ及び
Ｙ軸用モータ（図示略）を有する。ステージ位置検出部
１１は、ＸＹステージ５のＸ軸及びＹ軸方向の位置をそ
れぞれ検出するＸ軸用エンコーダ及びＹ軸用エンコーダ
（図示略）を有する。On the XY stage 5, as shown in FIG.
An XY stage drive unit 10 that electrically moves the XY stage 5 in two directions based on an input stage movement command;
A stage position detection unit 11 that detects the coordinates of the XY stage 5 and outputs a signal representing the stage coordinate value is provided. The XY stage drive unit 10 includes an X-axis motor and a Y-axis motor (not shown) that drive the XY stage 5 in the X-axis and Y-axis directions, respectively. The stage position detection unit 11 includes an X-axis encoder and a Y-axis encoder (not shown) that detect the positions of the XY stage 5 in the X-axis and Y-axis directions, respectively.
【００１４】撮像部６には、落射照明光学系９の他に、
被検物７からの光を結像する結像光学系１２と、この光
学系１２により結像された被検物７の像を捉え（受
け）、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を出力す
るＣＣＤカメラ１３とが設けられている。結像光学系１
２の拡大倍率は、固定であっても、可変であってもよ
い。In addition to the epi-illumination optical system 9, the image pickup section 6 includes
An imaging optical system 12 that forms an image of light from the object 7 to be inspected, and an image of the object 7 to be inspected formed by the optical system 12 is captured (received), and electricity depending on the light intensity distribution of the captured image. A CCD camera 13 that outputs a signal is provided. Imaging optical system 1
The magnification of 2 may be fixed or variable.
【００１５】制御ユニット２は、図１に示すように、Ｃ
ＣＤカメラ１３から出力される電気信号が入力される画
像処理部２１と、輪郭形状測定部２２と、指標設定部２
３と、測定条件テーブル２４と、測定データテーブル２
５と、データ出力部２６とを備えている。制御ユニット
２は、それぞれ図示を省略したキーボードなどの入力装
置、入力回路、出力回路、中央演算処理回路などを有す
るコンピュータで構成されている。The control unit 2, as shown in FIG.
An image processing unit 21 to which an electric signal output from the CD camera 13 is input, a contour shape measuring unit 22, and an index setting unit 2
3, measurement condition table 24, and measurement data table 2
5 and a data output unit 26. The control unit 2 is configured by a computer having an input device such as a keyboard (not shown), an input circuit, an output circuit, a central processing circuit, and the like.
【００１６】画像処理部２１は、ＣＣＤカメラ１３の各
画素から出力される電気信号を画像処理し、捉えた被検
物７の像をモニタ４のモニタ画面４ａ（図４参照）上に
画像として表示させるための画像信号をモニタ４へ出力
するように構成されている。また、画像処理部２１は、
指標設定部２３から出力される指標位置のデータを受
け、エッジの検出領域を示す指標（エッジ検出領域）１
５をモニタ画面４ａ上の前記指標位置のデータに対応す
る位置及び角度方向に表示させるための信号をモニタ４
へ出力するように構成されている。さらに、画像処理部
２１は、ＣＣＤカメラ１３から出力される電気信号を画
像処理し、指標１５内にある被検物７の輪郭形状７ａの
エッジを検出し、検出したエッジ点１６（図４参照）の
モニタ画面４ａ内での座標値（エッジ座標値）を輪郭形
状７ａに沿った各測定点１７（図３参照）について順次
検出し、各エッジ座標値のデータを輪郭形状測定部２２
へ出力するように構成されている。The image processing unit 21 performs image processing on the electric signal output from each pixel of the CCD camera 13, and captures the captured image of the object 7 on the monitor screen 4a (see FIG. 4) of the monitor 4 as an image. It is configured to output an image signal for display to the monitor 4. In addition, the image processing unit 21
An index (edge detection area) 1 indicating an edge detection area, which receives the data of the index position output from the index setting unit 23
A signal for displaying 5 on the monitor screen 4a at a position and an angle direction corresponding to the data of the index position is displayed on the monitor 4
It is configured to output to Further, the image processing unit 21 performs image processing on the electric signal output from the CCD camera 13, detects the edge of the contour shape 7a of the object 7 in the index 15, and detects the detected edge point 16 (see FIG. 4). ) Coordinate values (edge coordinate values) in the monitor screen 4a are sequentially detected for each measurement point 17 (see FIG. 3) along the contour shape 7a, and the data of each edge coordinate value is determined by the contour shape measuring unit 22.
It is configured to output to
【００１７】輪郭形状測定部２２は、被検物７の輪郭形
状７ａに沿ってある間隔で（例えば一定間隔で）各測定
点１７のエッジ座標値を取り込む測定を行なう。輪郭形
状測定部２２は、仮測定を行なうプレ測定部（第１の測
定部）５１と、測定指示データ作成部（ティチングデー
タ作成部）５２と、本測定を行なうリプレイ測定部５３
とから構成されている。The contour shape measuring section 22 carries out the measurement by taking in the edge coordinate value of each measurement point 17 at a certain interval (for example, at constant intervals) along the contour shape 7a of the object 7 to be inspected. The contour shape measuring unit 22 includes a pre-measuring unit (first measuring unit) 51 that performs temporary measurement, a measurement instruction data creating unit (teaching data creating unit) 52, and a replay measuring unit 53 that performs main measurement.
It is composed of
【００１８】プレ測定部５１は、被検物７の輪郭形状７
ａに沿って一定間隔で各測定点１７のエッジ座標値を取
り込むプレ測定（図５参照）を実行するように構成され
ている。プレ測定部５１は、プレ測定を行なうために、
指標１５の移動先である次の測定目標点１８（図７参
照）を設定し、この測定目標点１８に対応する指標１５
の位置及び測定目標方向３０（図７参照）に対して直交
する角度方向を表す指標設定指令を指標設定部２３に出
力すると共に、ステージ移動指令をＸＹステージ駆動部
１０に出力するように構成されている。The pre-measuring section 51 has a contour shape 7 of the object 7 to be inspected.
It is configured to perform a pre-measurement (see FIG. 5) that captures the edge coordinate values of each measurement point 17 at regular intervals along a. The pre-measurement unit 51 performs the pre-measurement by
The next measurement target point 18 (see FIG. 7) to which the index 15 is moved is set, and the index 15 corresponding to this measurement target point 18 is set.
Is output to the XY stage drive unit 10 and an index setting command indicating an angular direction orthogonal to the position 30 and the measurement target direction 30 (see FIG. 7) is output to the index setting unit 23. ing.
【００１９】また、プレ測定部５１は、画像処理部２１
から出力される各測定点のエッジ座標値と、ステージ位
置検出部１１から出力される各測定でのステージ座標値
とに基づき各測定点の座標値（測定点座標値）を演算
し、その演算結果を測定指示データ作成部５２へ順次出
力する演算部を備えている。この演算部は、下記の式で
表す演算を行なう。Further, the pre-measurement section 51 includes an image processing section 21.
The coordinate value of each measurement point (measurement point coordinate value) is calculated based on the edge coordinate value of each measurement point output from the stage position detector and the stage coordinate value of each measurement output from the stage position detection unit 11, and the calculation is performed. A calculation unit that sequentially outputs the results to the measurement instruction data creation unit 52 is provided. This calculation unit performs the calculation represented by the following formula.
【００２０】（測定点座標値）＝（ステージ座標値）＋
（エッジ座標値×モニタ画面補正値） ここで、モニタ画面補正値は、ＸＹステージ５上での寸
法とモニタ画面４ａ上での寸法との比である。(Measurement point coordinate value) = (stage coordinate value) +
(Edge coordinate value × Monitor screen correction value) Here, the monitor screen correction value is the ratio of the dimension on the XY stage 5 to the dimension on the monitor screen 4a.
【００２１】測定指示データ作成部（以下、単にデータ
作成部という）５２は、プレ測定部５１から出力される
各測定点の測定点座標値をデータテーブルに保存する。The measurement instruction data creation unit (hereinafter, simply referred to as a data creation unit) 52 stores the measurement point coordinate values of each measurement point output from the pre-measurement unit 51 in a data table.
【００２２】データ作成部５２は、プレ測定部５１から
出力される各測定点の測定点座標値から（プレ測定部５
１で取り込んだ各測定点のエッジ座標値に基づき）、各
測定点での指標１５の位置及び方向を表す測定指示デー
タ（ティーチングデータ）を作成し、リプレイ測定部５
３へ出力すると共に記憶装置に記憶するように構成され
ている。データ作成部５２は、各測定点での指標１５の
方向を各測定点でのその点及びその前後の点を含む複数
の点から求めた輪郭形状の法線方向とする。The data creating section 52 uses the measurement point coordinate values of the respective measurement points output from the pre-measurement section 51 (pre-measurement section 5).
(Based on the edge coordinate value of each measurement point captured in 1), and creates measurement instruction data (teaching data) representing the position and direction of the index 15 at each measurement point, and the replay measurement unit 5
3 and outputs the data to the storage device. The data creation unit 52 sets the direction of the index 15 at each measurement point to the normal direction of the contour shape obtained from a plurality of points including the point at each measurement point and points before and after the point.
【００２３】各測定点での輪郭形状の法線方向を求める
方法として、エッジが検出された複数の測定点の各測定
点座標値から、直線補間、円弧補間、スプライン補間等
の形状補間を行なって求める方法がある。例えば、測定
点Ｐi での円弧補間による法線方向の算出は次のように
行なう。As a method of obtaining the normal direction of the contour shape at each measurement point, shape interpolation such as linear interpolation, circular interpolation, spline interpolation, etc. is performed from the coordinate value of each measurement point of a plurality of measurement points where an edge is detected. There is a way to ask. For example, the calculation of the normal direction by circular interpolation at the measurement point Pi is performed as follows.
【００２４】（１）測定点Ｐi-1 、Ｐi 、Ｐi+1 の３点
を通る円弧の中心Ｏを算出する。(1) The center O of an arc passing through the three measurement points Pi-1, Pi and Pi + 1 is calculated.
【００２５】（２）測定点Ｐi と円弧の中心Ｏとを結ぶ
方向を法線方向とする。(2) The direction connecting the measuring point Pi and the center O of the arc is defined as the normal direction.
【００２６】リプレイ測定部５３は、図６に示すリプレ
イ測定処理を実行するように構成されている。すなわ
ち、データ作成部５２から出力される測定指示データに
従って、各測定点毎に指標１５の位置と角度方向とを表
す指標設定指令を指標設定部２３に出力し、画像処理部
２１から各測定点のエッジ座標値を取り込み、各測定点
のエッジ座標値と各測定でのステージ座標値とに基づき
各測定点の測定点座標値を演算し、その演算結果を測定
データテーブル２５へ順次出力するように構成されてい
る。測定点座標値の演算は、プレ測定部５１の演算部で
の演算と同じである。The replay measuring section 53 is configured to execute the replay measuring process shown in FIG. That is, according to the measurement instruction data output from the data creation unit 52, an index setting command indicating the position and the angular direction of the index 15 is output to the index setting unit 23 for each measurement point, and the image processing unit 21 outputs each measurement point. The edge coordinate value of each measurement point is taken in, the measurement point coordinate value of each measurement point is calculated based on the edge coordinate value of each measurement point and the stage coordinate value at each measurement, and the calculation result is sequentially output to the measurement data table 25. Is configured. The calculation of the measurement point coordinate value is the same as the calculation in the calculation unit of the pre-measurement unit 51.
【００２７】指標設定部２３は、指標１５をプレ測定部
５１又はリプレイ測定部５３から出力される指標設定指
令により指定されたモニタ画面４ａ上の位置及び角度方
向に設定させるための指標位置のデータを、画像処理部
２１へ出力するようになっている。The index setting unit 23 sets the index position data for setting the index 15 in the position and the angular direction on the monitor screen 4a designated by the index setting command output from the pre-measurement unit 51 or the replay measurement unit 53. Is output to the image processing unit 21.
【００２８】測定条件テーブル２４は、被検物７の輪郭
形状７ａの測定開始位置（最初の測定点）及び測定終了
位置（最後の測定点）の座標、測定開始位置での測定目
標方向、各測定点１７の間隔（例えば一定間隔で、図７
に示す測定ピッチＰ）をそれぞれ表すデータなどを含む
測定条件が予めキーボードなどにより入力されて記憶さ
れている。The measurement condition table 24 includes coordinates of the measurement start position (first measurement point) and measurement end position (last measurement point) of the contour shape 7a of the object 7, the measurement target direction at the measurement start position, and The intervals between the measurement points 17 (for example, at regular intervals, as shown in FIG.
The measurement conditions including the data representing the measurement pitch P) shown in 1) are input and stored in advance by a keyboard or the like.
【００２９】測定データテーブル２５は、リプレイ測定
部５３から出力される各測定点の座標値（測定点座標
値）のデータを格納する。The measurement data table 25 stores data of coordinate values (measurement point coordinate values) of each measurement point output from the replay measurement unit 53.
【００３０】データ出力部２６は、測定終了後に測定デ
ータテーブル２５に格納された測定データ（全測定点の
座標値）を表示又は印刷して出力するためのものであ
る。The data output unit 26 is for displaying or printing the measurement data (coordinate values of all the measurement points) stored in the measurement data table 25 after the measurement is finished and outputting it.
【００３１】次に、上記構成を有する一実施形態の動作
を、図５、図６のフローチャート及び図７〜図９に基づ
いて説明する。Next, the operation of the embodiment having the above configuration will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 5 and 6 and FIGS. 7 to 9.
【００３２】まず、プレ測定部５１により実行されるプ
レ測定処理を説明する。First, the pre-measurement processing executed by the pre-measurement unit 51 will be described.
【００３３】図５に示す輪郭形状測定処理が開始される
と、ステップ１０１で、予め設定された測定開始位置と
測定終了位置の座標値をそれぞれ測定条件テーブル２４
から取り込む。When the contour shape measuring process shown in FIG. 5 is started, in step 101, the coordinate values of the preset measurement start position and measurement end position are respectively set in the measurement condition table 24.
Take in from.
【００３４】次のステップ１０２では、ステップ１０１
で取り込んだ測定開始位置を、最初の測定目標点に設定
する。In the next step 102, step 101
Set the measurement start position captured in step 1 to the first measurement target point.
【００３５】次のステップ１０３では、モニタ画面４ａ
上の測定目標点（ここではステップ１０２で設定された
最初の測定目標点）に指標１５がくるように指標１５を
移動させる。このとき、モニタ画面４ａ上において指標
１５が最初の測定目標点に表示される。In the next step 103, the monitor screen 4a is displayed.
The index 15 is moved so that the index 15 comes to the upper measurement target point (here, the first measurement target point set in step 102). At this time, the index 15 is displayed at the first measurement target point on the monitor screen 4a.
【００３６】次のステップ１０４では、指標１５内にあ
る輪郭形状７ａのエッジ点座標（ここでは最初の測定目
標点のエッジ点座標）を取り込む。すなわち、画像処理
部２１から出力される最初の測定目標点のエッジ座標値
を取り込む。In the next step 104, the edge point coordinates of the contour shape 7a within the index 15 (here, the edge point coordinates of the first measurement target point) are fetched. That is, the edge coordinate value of the first measurement target point output from the image processing unit 21 is captured.
【００３７】次のステップ１０５では、ステージ位置検
出部１１から出力されるステージ座標値と、ステップ１
０４で取り込んだエッジ座標値とに基づき指標１５内に
ある測定点の座標値（測定点座標値：ここでは最初の測
定目標点の座標値）を演算する。すなわち、測定点座標
値演算部２７で前記式の演算を行なう。At the next step 105, the stage coordinate value output from the stage position detector 11 and the step 1
Based on the edge coordinate values taken in 04, the coordinate value of the measurement point in the index 15 (measurement point coordinate value: here, the coordinate value of the first measurement target point) is calculated. That is, the measurement point coordinate value calculation unit 27 calculates the above formula.
【００３８】次のステップ１０６では、ステップ１０５
で演算した最初の測定点の測定点座標値をデータ作成部
５２のデータテーブルへ出力して保存する。In the next step 106, step 105
The coordinate value of the measurement point of the first measurement point calculated in step S21 is output to the data table of the data creation unit 52 and saved.
【００３９】次のステップ１０７では、次の測定目標点
を設定する。すなわち、直前にエッジが検出された直前
測定点（ここでは、最初の測定目標点）とその前にエッ
ジが検出された点を含む複数の点のエッジ座標値から次
の測定目標点１８とこの点での指標１５の角度方向とを
設定する。In the next step 107, the next measurement target point is set. That is, the next measurement target point 18 and the next measurement target point 18 are determined from the edge coordinate values of a plurality of points including the immediately previous measurement point (here, the first measurement target point) where the edge was detected immediately before and the point where the edge was detected before that. The angle direction of the index 15 at the point is set.
【００４０】ステップ１０７での測定目標点１８の設定
方法としては、例えば次のような方法がある。図７に示
すように直前にエッジが検出された直前測定点１７ａの
前にエッジが検出された前々測定点１７ｂから直前測定
点１７ａへ向かう方向を測定目標方向３０とし、測定目
標点１８を測定目標方向３０に直前測定点１７ａから測
定ピッチＰだけ離れた位置に設定する。指標１５の角度
方向は、測定目標方向３０に対して垂直となる向きに設
定する。As a method of setting the measurement target point 18 in step 107, there is, for example, the following method. As shown in FIG. 7, the direction from the pre-previous measurement point 17b where an edge is detected immediately before the immediately preceding measurement point 17a to the immediately preceding measurement point 17a is set as the measurement target direction 30, and the measurement target point 18 is defined as The measurement target direction 30 is set at a position separated from the immediately previous measurement point 17a by the measurement pitch P. The angle direction of the index 15 is set to be perpendicular to the measurement target direction 30.
【００４１】上記方法の他に測定目標点１８を設定する
方法として、直前測定点とその前の複数個の測定点のエ
ッジ座標値に基づき、円弧補間やスプライン補間などを
用いて予想輪郭形状を作り、この予想輪郭形状上で直前
測定点１７ａから測定ピッチＰだけ離れた位置に測定目
標点１８を設定する方法を用いてもよい。この場合、指
標１５の角度方向は測定目標点１８における予想輪郭形
状の法線方向に設定する。As a method of setting the measurement target point 18 in addition to the above method, an expected contour shape is calculated by using circular arc interpolation or spline interpolation based on the edge coordinate values of the immediately previous measurement point and a plurality of measurement points before it. A method may be used in which the measurement target point 18 is set at a position separated from the immediately preceding measurement point 17a by the measurement pitch P on the predicted contour shape. In this case, the angle direction of the index 15 is set to the normal direction of the expected contour shape at the measurement target point 18.
【００４２】このような方法により、ステップ１０７に
おいて次の測定目標点１８とこの点での指標１５の角度
方向とを設定する。ここでは、直前測定点１７ａは最初
の測定目標点であり、前々測定点１７ｂは存在しない。
そのため、ステップ１０７において次の測定目標点（２
番目の測定目標点）１８とこの点での指標１５の角度方
向とを設定するために、最初の測定目標点（測定開始位
置）での測定目標方向を示すデータが測定条件テーブル
２４に予め記憶されている。このデータを使って２番目
の測定目標点１８とこの点での指標１５の角度方向とが
設定される。By such a method, in step 107, the next measurement target point 18 and the angular direction of the index 15 at this point are set. Here, the immediately previous measurement point 17a is the first measurement target point, and there is no pre-previous measurement point 17b.
Therefore, in step 107, the next measurement target point (2
In order to set the second measurement target point) 18 and the angular direction of the index 15 at this point, data indicating the measurement target direction at the first measurement target point (measurement start position) is stored in advance in the measurement condition table 24. Has been done. Using this data, the second measurement target point 18 and the angular direction of the index 15 at this point are set.
【００４３】この設定後ステップ１０８へ進む。After this setting, the process proceeds to step 108.
【００４４】このステップ１０８では、終了条件を満た
したか否かを判定する。すなわち、ステップ１０７で設
定した次の測定目標点の座標がステップ１０１で取り込
んだ測定終了位置の座標値（最後の測定目標点の座標
値）を越えたか否かを判定する。ここでは、ステップ１
０８で設定した次の測定目標点は２番目の測定目標点で
あるので、ステップ１０８の判定結果はＮｏになり、ス
テップ１０３に戻る。In step 108, it is determined whether or not the end condition is satisfied. That is, it is determined whether or not the coordinates of the next measurement target point set in step 107 have exceeded the coordinate value of the measurement end position captured in step 101 (the coordinate value of the last measurement target point). Here, step 1
Since the next measurement target point set in 08 is the second measurement target point, the determination result in step 108 is No, and the process returns to step 103.
【００４５】ステップ１０３〜１０７を実行してステッ
プ１０８に進み、このステップ１０８の判定結果がＮｏ
であれば、ステップ１０３に戻る。After executing steps 103 to 107, the process proceeds to step 108, and the determination result of this step 108 is No.
If so, the process returns to step 103.
【００４６】このようにして、ステップ１０８の判定結
果がＮｏである間、ステップ１０３〜１０８を繰り返し
実行することにより、被検物７の輪郭形状７ａに沿って
一定間隔で指標１５を移動させながら測定を行ない、各
測定点の測定点座標値を演算し、その演算結果をデータ
作成部５２のデータテーブルに順次格納する。In this way, while the determination result of step 108 is No, steps 103 to 108 are repeatedly executed, thereby moving the index 15 along the contour shape 7a of the object 7 at regular intervals. The measurement is performed, the measurement point coordinate value of each measurement point is calculated, and the calculation result is sequentially stored in the data table of the data creation unit 52.
【００４７】ステップ１０８の判定結果がＹｅｓになる
と、すなわち、ステップ１０７で設定した次の測定目標
点の座標値がステップ１０１で取り込んだ測定終了位置
の座標値（最後の測定目標点の座標値）を越えると、被
検物７の全ての輪郭形状７ａの測定が終了したことにな
るので、図５のプレ測定処理を終了する。When the determination result of step 108 is Yes, that is, the coordinate value of the next measurement target point set in step 107 is the coordinate value of the measurement end position fetched in step 101 (the coordinate value of the last measurement target point). When it exceeds, the measurement of all the contour shapes 7a of the object 7 has been completed, so the pre-measurement process of FIG. 5 is completed.
【００４８】データ作成部５２は、プレ測定部５１から
出力される各測定点の測定点座標値から、各測定点での
指標１５の位置及び方向を表す測定指示データを作成
し、リプレイ測定部５３へ出力する。データ作成部５２
は、上述した法線方向の算出方法により、各測定点での
指標１５の方向（図７に示す指標方向４０）を各測定点
での輪郭形状の法線方向とする。The data creation unit 52 creates measurement instruction data indicating the position and direction of the index 15 at each measurement point from the measurement point coordinate values of each measurement point output from the pre-measurement unit 51, and the replay measurement unit Output to 53. Data creation unit 52
Is the direction of the index 15 at each measurement point (index direction 40 shown in FIG. 7) as the normal direction of the contour shape at each measurement point by the above-described method of calculating the normal direction.
【００４９】次に、リプレイ測定部５３により実行され
るリプレイ測定処理（図６参照）を説明する。Next, the replay measurement process (see FIG. 6) executed by the replay measurement unit 53 will be described.
【００５０】図６に示すリプレイが開始されると、ステ
ップ２０１では、全測定指示データだけ繰り返したか否
かを判定する。すなわち、データ作成部５２で作成され
た測定指示データを、先頭のデータ（測定開始位置のデ
ータ）から最後のデータ（測定終了位置のデータ）まで
測定順に使用して測定を繰り返すことにより、測定が終
了したか否かを判定する。使用していない測定指示デー
タが残っていて測定が終了していない場合には、ステッ
プ２０１の判定結果がＮｏになり、ステップ２０２に進
む。最後のデータを使った測定が終了して測定指示デー
タが残っていない場合には、処理を終了する。When the replay shown in FIG. 6 is started, it is determined in step 201 whether or not all measurement instruction data has been repeated. That is, the measurement instruction data created by the data creation unit 52 is used in the order of measurement from the first data (data at the measurement start position) to the last data (data at the measurement end position) to repeat the measurement. It is determined whether or not it has ended. When the measurement instruction data that is not used remains and the measurement is not completed, the determination result of step 201 is No, and the process proceeds to step 202. When the measurement using the last data is completed and there is no measurement instruction data remaining, the process is completed.
【００５１】ステップ２０１の判定結果がＮｏである
間、ステップ２０１〜２０５を繰り返し実行する。While the determination result of step 201 is No, steps 201 to 205 are repeatedly executed.
【００５２】ステップ２０２では、ある測定点での測定
指示データ（例えば最初の測定点である測定開始位置の
測定データ）が示す指標１５の位置と角度方向に指標１
５を移動させる。At step 202, the index 1 is set in the angular direction with respect to the position of the index 15 indicated by the measurement instruction data at a certain measurement point (for example, the measurement data at the measurement start position which is the first measurement point).
Move 5
【００５３】次のステップ２０３では、画像処理部２１
から指標１５内にある輪郭形状のエッジ点の座標（エッ
ジ座標値）を取り込む。In the next step 203, the image processing unit 21
From, the coordinates (edge coordinate values) of the edge points of the contour shape within the index 15 are fetched.
【００５４】次のステップ２０４では、ステージ位置検
出部１１から出力されるステージ座標値と、ステップ２
０３で取り込んだエッジ座標値とに基づき指標１５内に
ある測定点の座標値（測定点座標値）を演算する。At the next step 204, the stage coordinate value output from the stage position detector 11 and the step 2
The coordinate value of the measurement point (measurement point coordinate value) in the index 15 is calculated based on the edge coordinate value taken in 03.
【００５５】次のステップ２０５では、ステップ２０４
で演算した測定点座標値を測定データテーブル２５に保
存する。In the next step 205, step 204
The coordinate value of the measurement point calculated in step 3 is stored in the measurement data table 25.
【００５６】上記ステップ２０２〜２０５を繰り返すこ
とにより、最後のデータを使った測定が終了して測定指
示データがなくなると、ステップ２０１の判定結果がＹ
ｅｓとなって処理を終了する。By repeating the above steps 202 to 205, when the measurement using the last data is completed and there is no measurement instruction data, the determination result of step 201 is Y.
The process ends as es.
【００５７】このように、上記一実施形態によれば、プ
レ測定部５１のプレ測定（仮測定）により得られた各測
定点１７の測定点座標値から、各測定点での指標１５の
位置と、輪郭形状の法線方向に設定された各測定点での
指標１５の方向（図７に示す指標方向４０）とを表す測
定指示データを測定指示データ作成部５２によって作成
し、リプレイ測定部５３が測定指示データに従ってリプ
レイ測定（本測定）を行なう。そのため、輪郭形状７ａ
の曲率変化が大きい場合でも、図８に示すように各測定
点での指標の角度方向が輪郭形状７ａに垂直な方向から
傾いたりせず、図９に示すように全ての測定点において
指標の角度方向が常に測定目標点での輪郭形状に垂直な
状態でエッジが検出され、エッジの検出位置にばらつき
が生じない。従って、精度のよい輪郭形状の測定を行な
うことができる。As described above, according to the above embodiment, the position of the index 15 at each measurement point is determined from the measurement point coordinate value of each measurement point 17 obtained by the pre-measurement (temporary measurement) of the pre-measurement unit 51. And the direction of the index 15 at each measurement point set in the normal direction of the contour shape (index direction 40 shown in FIG. 7) are created by the measurement instruction data creation unit 52, and the replay measurement unit is created. 53 performs replay measurement (main measurement) according to the measurement instruction data. Therefore, the contour shape 7a
Even when the curvature change of the index is large, the angular direction of the index at each measurement point does not tilt from the direction perpendicular to the contour shape 7a as shown in FIG. An edge is detected in a state where the angle direction is always perpendicular to the contour shape at the measurement target point, and the detected position of the edge does not vary. Therefore, the contour shape can be accurately measured.
【００５８】また、上記一実施形態によれば、測定指示
データ作成部５２で作成した測定指示データを記憶装置
から読み出して使い、リプレイ測定を繰返すことによ
り、同じ輪郭形状を有する被検物７の測定を効率的に行
なうことができる。According to the above embodiment, the measurement instruction data created by the measurement instruction data creation unit 52 is read out from the storage device and used to repeat the replay measurement, whereby the object 7 having the same contour shape is measured. The measurement can be performed efficiently.
【００５９】なお、上記一実施形態では、プレ測定部５
１によるプレ測定（仮測定）によって全ての測定点の座
標値を検出した後に、リプレイ測定部５３によるリプレ
イ測定（本測定）を行なっているが、この発明はこのよ
うな構成に限定されるものではない。例えば、プレ測定
部５１によるプレ測定によって複数の測定点の座標値を
検出した後に、リプレイ測定部５３によるリプレイ測定
を行なうことを複数回繰り返すことにより、全輪郭形状
の測定を行なうように構成してもよい。In the above embodiment, the pre-measurement unit 5
The replay measurement (main measurement) is performed by the replay measurement unit 53 after detecting the coordinate values of all the measurement points by the pre-measurement (temporary measurement) according to 1. However, the present invention is not limited to such a configuration. is not. For example, it is configured to measure the entire contour shape by repeating the replay measurement by the replay measurement unit 53 a plurality of times after detecting the coordinate values of the plurality of measurement points by the pre-measurement by the pre-measurement unit 51. May be.
【００６０】[0060]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明に係る画像測定機によれば、データ作成部が、第１の
測定部で取り込んだ各測定点のエッジ座標値に基づき、
各測定点でのエッジ検出領域の位置及び方向を表すデー
タであって、各測定点でのエッジ検出領域の方向を輪郭
形状の法線方向としたティーチングデータを作成し、第
２の測定部がティーチングデータに従って輪郭形状を測
定する。そのため、輪郭形状の曲率変化が大きい場合で
も、指標の角度方向が常に各測定点での輪郭形状に垂直
な状態でエッジが検出され、エッジの検出位置にばらつ
きが生じない。したがって、輪郭形状の測定精度を向上
させることができる。As described above, according to the image measuring machine of the first aspect of the present invention, the data creating section is based on the edge coordinate value of each measurement point captured by the first measuring section.
Teaching data that is data representing the position and direction of the edge detection area at each measurement point, in which the direction of the edge detection area at each measurement point is the normal direction of the contour shape, is created, and the second measurement unit Measure the contour shape according to the teaching data. Therefore, even when the change in the curvature of the contour shape is large, the edge is always detected in a state where the angular direction of the index is perpendicular to the contour shape at each measurement point, and the detected position of the edge does not vary. Therefore, the accuracy of measuring the contour shape can be improved.
【図１】図１はこの発明の一実施形態に係る画像測定機
の概略構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of an image measuring machine according to an embodiment of the present invention.
【図２】図２は一実施形態に係る画像測定機の概略構成
図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an image measuring device according to an embodiment.
【図３】図３は一実施形態に係る画像測定機で使用され
る被検物を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a test object used in the image measuring machine according to the embodiment.
【図４】図４は一実施形態に係る画像測定機で使用され
るモニタのモニタ画面を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a monitor screen of a monitor used in the image measuring machine according to the embodiment.
【図５】図５は一実施形態に係る画像測定機の動作を示
すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing an operation of the image measuring device according to the embodiment.
【図６】図６は一実施形態に係る画像測定機の動作を示
すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing an operation of the image measuring device according to the embodiment.
【図７】図７は測定目標点及び指標方向の設定方法を説
明するための説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a method of setting a measurement target point and an index direction.
【図８】図８は指標が傾いた状態を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a state where the index is tilted.
【図９】図９は指標が垂直になった状態を示す説明図で
ある。FIG. 9 is an explanatory diagram showing a state where the index is vertical.
５ ＸＹステージ（ステージ） ７ 被検物 ７ａ 輪郭形状 １２ 結像光学系（光学系） １３ ＣＣＤカメラ（撮像手段） １５ 指標（エッジ検出領域） １８ 測定目標点 ２１ 画像処理部（画像処理手段） ２２ 輪郭形状測定部 ５１ プレ測定部（第１の測定部） ５２ 測定指示データ作成部（データ作成部） ５３ リプレイ測定部（第２の測定部） 5 XY stage (stage) 7 test object 7a contour shape 12 imaging optical system (optical system) 13 CCD camera (imaging means) 15 index (edge detection area) 18 measurement target point 21 image processing unit (image processing means) 22 Contour shape measurement unit 51 Pre-measurement unit (first measurement unit) 52 Measurement instruction data creation unit (data creation unit) 53 Replay measurement unit (second measurement unit)
Claims (1)
学系を介して捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気
信号を出力する撮像手段と、前記撮像手段で捉えた撮像
範囲内に設定されるエッジ検出領域内にある被検物の輪
郭形状のエッジを前記電気信号に基づく画像処理により
検出し、エッジ座標値を表す信号を出力する画像処理手
段とを備え、前記輪郭形状の測定を行なう画像測定機に
おいて、 前記輪郭形状に沿った複数の点の各々の前記エッジ検出
領域の位置及び方向を設定しながら、前記エッジが検出
された各測定点で前記エッジ座標値を前記画像処理部か
ら取り込む第１の測定部と、 前記第１の測定部で取り込んだ前記各測定点のエッジ座
標値に基づき、前記各測定点での前記エッジ検出領域の
位置及び方向を表すティーチングデータを作成するデー
タ作成部と、 前記ティーチングデータに従って前記輪郭形状を測定す
る第２の測定部とを備え、 前記データ作成部は、前記各測定点での前記エッジ検出
領域の方向を前記各測定点での前記輪郭形状の法線方向
としたティーチングデータを作成することを特徴とする
画像測定機。1. An image capturing means for capturing an image of a subject placed on a stage through an optical system and outputting an electric signal according to a light intensity distribution of the captured image, and the image capturing means. Image processing means for detecting an edge of the contour shape of the object in the edge detection area set within the imaging range by image processing based on the electric signal, and outputting a signal representing an edge coordinate value, In an image measuring machine that measures the contour shape, while setting the position and direction of the edge detection area of each of the plurality of points along the contour shape, the edge coordinate value at each measurement point where the edge is detected. Based on the edge coordinate value of each measurement point captured by the first measurement unit and the first measurement unit that captures from the image processing unit, and represents the position and direction of the edge detection region at each measurement point. Teaching And a second measurement unit that measures the contour shape in accordance with the teaching data. The data creation unit measures the direction of the edge detection area at each measurement point by each measurement. An image measuring machine, which creates teaching data in which a normal direction of the contour shape at a point is created.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02999396A JP3508368B2 (en) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | Image measuring machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02999396A JP3508368B2 (en) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | Image measuring machine |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09196635A true JPH09196635A (en) | 1997-07-31 |
| JP3508368B2 JP3508368B2 (en) | 2004-03-22 |
Family
ID=12291473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02999396A Expired - Lifetime JP3508368B2 (en) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | Image measuring machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3508368B2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11201724A (en) * | 1998-01-08 | 1999-07-30 | Mitsutoyo Corp | Edge detecting method and image measurement device |
| EP1174681A3 (en) * | 2000-06-23 | 2003-01-02 | Ford Global Technologies, Inc. | Method and apparatus for the determination of the contour of sheet metal blanks |
| JP2006138782A (en) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Nikon Corp | Image measurement apparatus |
| KR20130108398A (en) * | 2010-10-27 | 2013-10-02 | 가부시키가이샤 니콘 | Shape measuring device, shape measuring method, structure manufacturing method, and program |
-
1996
- 1996-01-23 JP JP02999396A patent/JP3508368B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11201724A (en) * | 1998-01-08 | 1999-07-30 | Mitsutoyo Corp | Edge detecting method and image measurement device |
| EP1174681A3 (en) * | 2000-06-23 | 2003-01-02 | Ford Global Technologies, Inc. | Method and apparatus for the determination of the contour of sheet metal blanks |
| JP2006138782A (en) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Nikon Corp | Image measurement apparatus |
| KR20130108398A (en) * | 2010-10-27 | 2013-10-02 | 가부시키가이샤 니콘 | Shape measuring device, shape measuring method, structure manufacturing method, and program |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3508368B2 (en) | 2004-03-22 |
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