JPH09193142A

JPH09193142A - ワイヤ式切断加工装置

Info

Publication number: JPH09193142A
Application number: JP789196A
Authority: JP
Inventors: Tatsuyuki Suzuki; 龍之鈴木; Kazuto Terada; 和人寺田; Atsushi Sakamoto; 敦坂本; Takahiro Uchida; 高広内田
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1996-01-19
Filing date: 1996-01-19
Publication date: 1997-07-29

Abstract

(57)【要約】【課題】装置の最下位に配されているスラリー受けタ
ンクによって、ワイヤから落下した加工液等の落下物を
回収するのでは、当該落下物によってワイヤその他の機
械部品の健全性が害される場合があった。【解決手段】被切断部材９の切断加工域Ａを通過する
ワイヤ８の下方に、ワイヤ８から落下する加工液Ｌ、切
粉および被切断部材の切断破片を受け止める受け皿部材
２０を設け、それらの落下物が切断加工域Ａの下方に配
置されている溝ローラ７ａ、ワイヤ８等の機械部品に降
りかかることを未然に防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料や磁性
材料、あるいはセラミックス等の高硬度脆性材料をワイ
ヤによって切断するためのワイヤ式切断加工装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤ式切断加工装置は、複数の溝ロー
ラの間に張設されたワイヤをワイヤ走行装置によって一
方向に所定速度で走行させながら、被切断部材を押付装
置によって上記ワイヤに押し付けるとともに被切断部材
の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給して被切断部材
を切断加工するもの、および、ワイヤを交互に逆方向に
走行させて切断加工するものが知られている。

【０００３】従来のワイヤ式切断加工装置において、砥
粒を含む加工液は、例えば、特開平７−１４４２号公報
に示されるように、被切断部材の切断加工を行う直前段
においてワイヤに向けて、上方から散布され、その一部
がワイヤに付着し、他の大部分はワイヤを通過して落下
させられるようになっている。すなわち、ワイヤに付着
した一部の加工液が被切断部材を切断するために用いら
れ、その他の加工液は、装置の最下位に配されているス
ラリー受けタンクに回収され、再循環利用されるように
なっていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成のワイヤ式切断加工装置であると、ワイヤから落下す
る加工液は、切断加工域の下方においてワイヤに張力を
付与している他の溝ローラ等の機械部品に降りかかるこ
とになるため、長期間の使用によっては、当該機械部品
等の健全性が害される不都合も考えられる。特に、ワイ
ヤから落下する加工液には、ワイヤによって削られた被
切断部材の切粉や、切断破片等の異物が混入しているた
め、これらの異物が、溝ローラやワイヤに損傷を与えて
しまう不都合も考えられる。

【０００５】また、上記ワイヤ式切断加工装置に用いら
れるワイヤは、０．１６〜０．１８ｍｍと、きわめて細
いものである。このため、散布される加工液の全体量に
対して、ワイヤに付着する加工液の量はきわめて微少で
あるとともに、一旦ワイヤに接触した加工液であって
も、ワイヤに付着することなく、その慣性力によって落
下させられてしまう場合も多く、ワイヤに確実に付着さ
せることが困難であるという不都合もあった。

【０００６】本発明は、上述した事情に鑑みてなされた
ものであって、ワイヤから落下する加工液、切粉あるい
は切断破片のような落下物によって機構部品が損傷を受
けることを未然に防止することができるワイヤ式切断加
工装置を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、複数の溝ローラの間に張設
されたワイヤをワイヤ走行装置によって所定速度で走行
させながら、被切断部材を押付装置によって上記ワイヤ
に上方から押し付けるとともに、加工液供給装置から前
記被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給し
つつ前記被切断部材を切断加工するワイヤ式切断加工装
置であって、前記被切断部材の切断加工域を通過するワ
イヤのすぐ下に、ワイヤから落下する加工液、切粉およ
び被切断部材の切断破片を受け止める受け皿部材を具備
するワイヤ式切断加工装置を提案している。

【０００８】請求項２に係る発明は、上記ワイヤ式切断
加工装置において、受け皿部材に受け止めた加工液を加
工液供給装置に供給する加工液循環手段が設けられてい
るワイヤ式切断加工装置を提案している。また、請求項
３に係る発明は、受け皿部材が、液面をワイヤに近接さ
せるように加工液を貯留し、被切断部材の切断された下
側部分を加工液中に浸漬させる加工液貯留槽よりなるワ
イヤ式切断加工装置を提案している。

【０００９】さらに、請求項４に係る発明は、加工液貯
留槽に接続されかつ切断加工域と溝ローラとの間に張ら
れるワイヤの下方に近接配置され、その上面に形成され
た加工液層内にワイヤを浸漬させる加工液受板部材を具
備するとともに、加工液供給装置が、前記加工液受板部
材の上面に加工液を供給する供給口を有するワイヤ式切
断加工装置を提案している。

【００１０】また、請求項５に係る発明は、加工液受板
部材が、溝ローラから切断加工域に向けて漸次低くなる
傾斜部を具備し、請求項６に係る発明は、加工液供給装
置が、加工液受板部材上に受け止められた加工液を切断
加工域に向けて流動させるように加工液を噴出するノズ
ルを具備するワイヤ式切断加工装置を提案している。

【００１１】

【作用】本発明に係るワイヤ式切断加工装置によれば、
ワイヤ走行装置の作動により、複数の溝ローラの間に張
設されたワイヤが、所定速度で一方向あるいは両方向に
走行させられる。そして、押付装置を作動させることに
より、被切断部材が、走行させられているワイヤに押し
付けられる。ワイヤには加工液供給装置から供給された
砥粒を含む加工液が付着させられているので、ワイヤ
は、砥粒を被切断部材に摩擦させることにより、押付装
置による被切断部材の移動に伴って、該被切断部材を切
断していくことになる。

【００１２】この場合において、本発明に係るワイヤ式
切断加工装置は、切断加工域を通過するワイヤのすぐ下
に受け皿部材を具備しているので、ワイヤから落下した
加工液、切粉および切断破片が受け皿部材によって受け
止められる。したがって、それらの落下物が、その下方
に配されている溝ローラ等の機械部品に降りかかること
が未然に防止されることになる。

【００１３】また、受け皿部材に加工液循環手段を設け
ておくこととすれば、受け皿部材によって受け止められ
た加工液を加工液供給装置に供給するように循環して再
利用することが可能となる。また、加工液循環手段の作
動により、受け皿部材から加工液を抜き出すので、該受
け皿部材から加工液がオーバーフローしないように、そ
の液位を調整することが可能となる。

【００１４】さらに、受け皿部材を加工液貯留槽とすれ
ば、切断されることによってワイヤの下方に突出する被
切断部材の下部が、加工液貯留槽内に浸漬される。この
ようにして加工液中に浸漬された被切断部材の下部に
は、ワイヤによって、該ワイヤの太さとほぼ同等の幅寸
法の複数の溝が形成されているので、加工液は毛細管現
象によってこれらの溝内を上昇させられワイヤと被切断
部材との接触位置まで到達する。これにより、切断下降
中における切断加工部には、常に加工液が供給され、被
切断部材の切断加工が効率的に実施されることになる。

【００１５】切断加工域と溝ローラとの間に加工液受板
部材を設けることとし、該加工液受板部材の上面に加工
液供給装置の供給口から砥粒を含んだ加工液を供給する
こととすれば、加工液受板部材によって受け止められた
加工液内に被切断部材を切断する前のワイヤが浸漬され
ることになる。加工液は、加工液受板部材上に受け止め
られることによって慣性力を弱められるので、接触させ
られるワイヤに付着状態に維持され易くなり、切断加工
に十分な量の加工液が被切断部材まで運ばれることとな
って、より効率のよい切断加工が実施されることにな
る。

【００１６】さらに、加工液受板部材が、溝ローラから
切断加工域に向けて漸次低くなる傾斜部を具備する構成
とすれば、加工液受板部材の上面に受け止められた加工
液は、傾斜部によって溝ローラから切断加工域に向かう
方向、すなわち、ワイヤの走行方向と同一方向に流動さ
せられる。その結果、加工液と該加工液に浸漬状態に配
されているワイヤとの相対速度が減少させられ、ワイヤ
への加工液の付着性が向上されるとともに、切断加工域
に向けて流動させられた加工液が被切断部材の表面に浴
びせられることとなり、ワイヤと被切断部材との接触開
始位置に効果的に供給されることとなる。また、加工液
供給装置に、加工液受板部材上に受け止められた加工液
を切断加工域に向けて流動させるように加工液を噴出す
るノズルを設けることとしても、同様である。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るワイヤ式切断
加工装置の一実施形態について、図１を参照して説明す
る。本実施形態に係るワイヤ式切断加工装置１は、図１
に示すように、装置フレーム２に、ワイヤ走行装置３と
押付装置４と加工液供給装置５と受け皿部材２０と加工
液循環手段２１とを搭載して構成されている。

【００１８】前記ワイヤ走行装置３は、例えば、図示し
ないサーボモータ等の駆動モータによってそれぞれ個々
に回転させられる一対のリール、張力保持機構、張力検
出機構、切断機構７および走行量検出機構等を備えてお
り、ワイヤ８を一方のリールから上記種々の機構を経て
他方のリールまで送る際に、両リールによるワイヤ８の
走行方向と走行量を交互に変えて走行させるようになっ
ている。

【００１９】上記ワイヤ走行装置３を構成する各機構の
内、切断機構７は、互いに平行かつ水平に逆三角形状に
配設された３個の溝ローラ７ａ，７ｂ，７ｃと、下の溝
ローラ７ａを回転させる切断走行用の駆動モータ７ｄを
備えている。ワイヤ８は、各溝ローラ７ａ，７ｂ，７ｃ
に所定の間隔で形成された複数の溝に平行に巻き付けら
れている。上の２個の溝ローラ７ｂ，７ｃ間のワイヤ８
は、水平に張られており、その中央付近に後述する押付
装置４によって被切断部材９を押し付けて切断加工する
切断加工域Ａが形成されるようになっている。

【００２０】前記押付装置４は、被切断部材９を支持す
る支持機構１０と、該支持機構１０を上下させるボール
ネジ等よりなる移動機構１１と、該移動機構１１を作動
させるサーボモータ等の移動用駆動モータ１２とワイヤ
８に対する被切断部材９の押付力（反力）を検出するロ
ードセル等の押付力検出器１３と、移動用駆動モータ１
２の回転数から支持機構１０の移動量を検出するロータ
リエンコーダ等の移動量検出器１４とを備えている。

【００２１】この押付装置４は、被切断部材９を支持機
構１０に支持してこれを切断機構７の溝ローラ７ｂ，７
ｃの間にワイヤ８に垂直に押し付けるものであり、押付
力検出器１３の検出信号によって、ワイヤ８に対する被
切断部材９の押付力が一定に保たれるように、移動用駆
動モータ１２による被切断部材９の押付移動速度を調整
するようになっている。

【００２２】前記加工液供給装置５は、例えば、加工液
Ｌをワイヤ８上に散布する供給口としての一対のノズル
１５，１６を具備している。前記各ノズル１５，１６
は、例えば、スリットノズルであって、ワイヤ８に対し
て直交するように配置されるパイプ１５ａ，１６ａと、
該パイプ１５ａ，１６ａに設けたスリット状の開口部１
５ｂ，１６ｂに配置され、該開口部１５ｂ，１６ｂの開
口面積を調整し得るように調整ネジ１５ｃ，１６ｃによ
って固定される調整ブロック１５ｄ，１６ｄとから構成
されている。

【００２３】また、このノズル１５，１６は、前記切断
加工域Ａと溝ローラ７ｂ，７ｃとの間に配置されるとと
もに、加工液Ｌがワイヤ８に対して斜めに入射させられ
るように、その開口部１５ｂ，１６ｂを切断加工域Ａ側
に向かう斜め下方に傾けて配置されている。

【００２４】前記受け皿部材２０は、例えば、被切断部
材９を収容し得る程度の容積を有する箱形容器であっ
て、切断加工域Ａにおけるワイヤ８の下方に配置されて
いる。また、この受け皿部材２０の上端開口２０ａに
は、前記切断加工域Ａと溝ローラとの間に配置される鍔
部２０ｂが設けられており、ノズル１５，１６から散布
されワイヤから落下する加工液Ｌを受け止めて受け皿部
材２０内に導くようになっている。

【００２５】前記加工液循環手段２１は、前記受け皿部
材２０の側壁の底面近傍に一端を接続される排液管２１
ａと、該排液管２１ａの途中に設けられるバルブ２１ｂ
と、排液管２１ａを通して流動する加工液Ｌから切断破
片等の塵埃を除去するフィルタ２１ｃと、排液管２１ａ
内の加工液Ｌを一方向に流動させるポンプ２１ｄとを具
備している。

【００２６】前記排液管２１ａの他端は、前記加工液供
給装置としてのノズル１５，１６に接続されている。ま
た、前記フィルタ２１ｃは、例えば、織金網等であり、
切断加工により生ずる切断破片が最大約１ｍｍ程度の大
きさであるのに対し、砥粒の大きさが約１０μｍ程度で
あることから、２２〜４０メッシュ程度のものが採用さ
れており、該フィルタ２１ｃを流通させられる加工液Ｌ
の砥粒を通過させかつ切断破片のみを捕獲して除去する
ことができるようになっている。

【００２７】また、受け皿部材２０から排液管２１ａ内
を通して抜き出される加工液Ｌの流量は、バルブ２１ｂ
の開度を自動調整することにより、ノズル１５，１６か
ら供給される加工液Ｌの流量と同程度とされており、加
工液Ｌが受け皿部材２０の上端開口２０ａからオーバー
フローしないようになっている。

【００２８】このように構成された本実施形態のワイヤ
式切断加工装置１の作用について以下に説明する。本実
施形態のワイヤ式切断加工装置１により被切断部材を切
断加工するには、まず、ワイヤ走行装置３を作動させて
ワイヤ８を相互方向に走行させるとともに、加工液循環
手段２１を作動させて、受け皿部材２０内の加工液Ｌを
各ノズル１５，１６から散布する。

【００２９】この状態で、押付装置４を作動させて被切
断部材９を下降させ、水平方向に往復走行させられてい
るワイヤ８に上方から押し付ける。これにより、ノズル
１５，１６から散布された加工液Ｌを付着させたワイヤ
８が、被切断部材９の表面を摺動させられることにな
り、被切断部材９がその下端から切断され始めることに
なる。

【００３０】この場合において、ワイヤから落下した加
工液Ｌは、受け皿部材２０の鍔部２０ｂによって受け止
められて受け皿部材２０内に導かれる。また、ワイヤが
切断加工域Ａを通過することにより、被切断部材が切断
され始めると、ワイヤから落下する加工液Ｌには、被切
断部材の切粉や切断破片が混入するようになる。

【００３１】しかしながら、本実施形態のワイヤ式切断
加工装置１によれば、受け皿部材２０が設けられている
ために、これらの加工液Ｌ、切粉および切断破片が、切
断加工域Ａの下方に配されている溝ローラ７ａやワイヤ
８等の機械部品に降りかかることが防止されることにな
る。

【００３２】また、受け皿部材２０に受け止められた加
工液Ｌは、加工液循環手段２１の作動により、排出管２
１ａ、バルブ２１ｂ、フィルタ２１ｃ、ポンプ２１ｄを
介してノズル１５，１６からワイヤに向けて噴射される
ように循環させられる。そして、この循環の際には、フ
ィルタ２１ｃによって加工液Ｌ内に含有されている切断
破片のような異物が除去されるので、加工液Ｌが有効に
再利用されることになる。

【００３３】さらに、加工液循環手段２１の作動によ
り、受け皿部材２０内の加工液Ｌが該受け皿部材２０の
上端開口２０ａからオーバーフローしないようにその液
位Ｌ₁が調整されるので、機械部品の健全性は確実に維
持されることになる。

【００３４】次に、本発明に係るワイヤ式切断加工装置
の第２の実施形態について、図２から図４を参照して説
明する。なお、上述した第１実施形態と共通の構成を有
する箇所には同一符号を付することとして、説明を簡略
化する。本実施形態に係るワイヤ式切断加工装置３１
は、受け皿部材２０に代えて加工液貯留槽３２を採用
し、受け皿部材２０の鍔部２０ｂに代えて加工液受板部
材６を採用している点において第１実施形態に係るワイ
ヤ式切断加工装置１と相違している。

【００３５】前記加工液貯留層３２は、被切断部材９全
体を浸漬できる程度の容積を有する箱形容器であって、
切断加工域Ａにおけるワイヤ８の下方に配置されるとと
もに、その上端開口３２ａを当該ワイヤ８に近接状態に
配置するようになっている。また、加工液貯留槽３２か
ら排液管２１ａ内を通して抜き出される加工液Ｌの流量
は、バルブ２１ｂの開度を自動調整することにより、加
工液Ｌが加工液貯留槽３２の上端開口３２ａからオーバ
ーフローすることなく、かつ、液面Ｌ₁を上端開口３２
ａ近傍の一定位置に維持するように調節されるようにな
っている。

【００３６】これにより、ワイヤ８によって切断された
被切断部材９がワイヤ８を通過して下方に進行させられ
ると該被切断部材９の下部が、加工液貯留槽３２の液面
Ｌ₁に即座に接触するようになっている。そして、加工
液循環手段２１の作動により、加工液貯留槽３２内の加
工液Ｌが該加工液貯留槽３２から抜き出され、フィルタ
２１ｃによって削り屑を除去された後にノズル１５，１
６に供給されるように循環させられて再利用される。こ
の際に、加工液Ｌが加工液貯留槽３２からオーバーフロ
ーしないように排液管２１ａ内の流量を調節されるの
で、加工液Ｌがさらに下方に配されている溝ローラ７ａ
等の機械部品に多量に降りかかることが防止されること
になる。

【００３７】また、前記加工液受板部材６は、前記加工
液貯留槽３２と前記溝ローラ７ｂ，７ｃとの間に加工液
貯留槽３２の上端から水平方向に延びるように、設けら
れた平板部材であって、ワイヤ８の下方からワイヤ８に
対して微少間隙を空けて近接配置されており、前記ノズ
ル１５，１６から噴射される加工液Ｌをワイヤ８の下方
において受け止めるようになっている。この加工液受板
部材６とワイヤ８との間隙寸法は、例えば、ノズル１
５，１６から供給される加工液Ｌが加工液受板部材６上
を流動する際の加工液Ｌの深さ寸法より小さく設定して
おくこととする。

【００３８】このように構成された本実施形態のワイヤ
式切断加工装置３１の作用について、以下に説明する。
本実施形態のワイヤ式切断加工装置３１により被切断部
材９を切断加工するには、ワイヤ走行装置３を作動させ
てワイヤ８を相互方向に走行させるとともに、加工液循
環手段２１を作動させて、加工液貯留槽３２内の加工液
Ｌを各ノズル１５，１６から散布する。

【００３９】この状態で、押付装置４を作動させて被切
断部材９を下降させ、水平方向に往復走行させられてい
るワイヤ８に上方から押し付ける。この場合において、
ノズル１５，１６から供給された加工液Ｌは、加工液受
板部材６によって受け止められることにより、ワイヤ８
の近傍に保持されつつ、該加工液受板部材６上を適当な
厚さ寸法の層を成して流動させられる。

【００４０】これにより、この加工液受板部材６の上方
に近接して水平走行させられているワイヤ８は、該加工
液受板部材６上に流動させられている加工液Ｌの中に浸
漬状態に配されることになる。したがって、加工液Ｌ
は、比較的長い時間にわたってワイヤ８と接触させられ
ることになる。

【００４１】しかも、本実施形態においては、ノズル１
５，１６の開口部１５ｂ，１６ｂが切断加工域Ａ側に向
かう斜め下方に向けて配されているので、ノズル１５，
１６から噴射される加工液Ｌは、加工液受板部材６上を
切断加工域Ａ方向に向けて流動させられることになる。
すなわち、加工液Ｌが、切断加工域Ａに向かうワイヤ８
と同一方向に流動させられることによって、その相対速
度を減少させられつつ案内される結果、加工液Ｌのワイ
ヤ８への付着性が向上させられることになる。

【００４２】そして、このようにして十分な加工液Ｌを
付着させられたワイヤ８を被切断部材９の表面に摺動さ
せることによって、被切断部材９を効率的に切断加工す
ることができる。

【００４３】さらに、切断加工の進行に伴って、被切断
部材がワイヤを通過してその下方にまで下降させられる
と、該被切断部材９は、切断加工域Ａのワイヤ８の下方
に近接配置されている加工液貯留槽３２内の加工液Ｌ液
面Ｌ₁に接触させられることになる。この時点におい
て、切断加工が施された被切断部材９の下部には、複数
のワイヤ８により溝９ａが形成されている。これらの溝
９ａは、ワイヤ８の太さ寸法とほぼ同等の幅寸法よりな
るきわめて細いものである。

【００４４】したがって、このような形状の被切断部材
９の下部が加工液貯留槽３２内の加工液Ｌの液面Ｌ₁に
接触すると、加工液Ｌは、毛細管現象によって溝９ａ内
を上昇する。溝９ａ内には、切断加工中のワイヤ８が上
記液面Ｌ₁のすぐ上に配されているので、加工液Ｌは切
断加工中のワイヤ８の周囲に供給されることになる。す
なわち、加工液Ｌが常時供給されることによって、効率
のよい切断加工を実施することができる。

【００４５】さらに、本実施形態に係るワイヤ式切断加
工装置３１においては、加工液循環手段２１の作動によ
り、循環させられる加工液Ｌが加工液貯留槽３２からオ
ーバーフローしないようにバルブ２１ｂの開度を自動調
整するので、加工液Ｌが、加工液貯留槽３２の下方に配
されている各種機械部品に多量に降りかかることを効果
的に防止することができる。

【００４６】また、加工液貯留槽３２が切断加工域Ａの
下方に配置されているので、第１実施形態と同様、ワイ
ヤ８から落下する加工液Ｌのみならず、切断加工により
生成される切粉、被切断部材９の切断破片等が加工液貯
留槽３２内に受け止められる。したがって、これらの落
下物が、溝ローラ７ａやワイヤ８等の機械部品に降りか
かることを回避して、当該機械部品が損傷を受ける等の
不都合が発生することを未然に防止することができる。

【００４７】なお、上記２つの実施形態においては、ワ
イヤ８を交互に双方向に走行させる形式のワイヤ式切断
加工装置１について説明したが、ワイヤ８を一方向に走
行させる形式のワイヤ式切断加工装置１についても同様
に適用することができる。すなわち、切断加工域Ａの両
側に設けたノズル１５，１６および加工液受板部材６
を、切断加工域Ａに対してワイヤ８の走行方向の上流側
に配置するだけでよい。

【００４８】また、上記第１の実施形態においては、受
け皿部材２０を、被切断部材９を収容し得る程度の容積
を有する箱形容器としたが、これに代えて、第１の実施
形態におけるよりも底浅の箱状容器を、被切断部材９が
ワイヤ８を完全に通過し得る程度に、ワイヤ８下方に間
隙を空けて配置することとしてもよい。

【００４９】さらに、上記第２の実施形態に係るワイヤ
式切断加工装置３１においては、ノズル１５，１６から
の加工液Ｌの噴射方向を設定することによって、加工液
受板部材６上に供給された加工液Ｌを切断加工域Ａの方
向に流動させることとしたが、これに代えて、図５に示
すように、加工液受板部材６に、溝ローラ７ｂ，７ｃか
ら切断加工域Ａに向かうに従って漸次低くなる傾斜部１
７を設けることとしてもよい。

【００５０】特に、ワイヤ８を一方向に走行させる場合
には、図６に示すように、溝ローラ７ｂ，７ｃ間のワイ
ヤ８を若干傾斜させるとともに、このワイヤ８に沿わせ
るようにして加工液受板部材６も切断加工域Ａの方向に
向かって漸次低くなるように傾斜させることとしてもよ
い。

【００５１】これらの場合には、ノズル１５，１６から
の加工液Ｌの散布方向に関わらず、当該傾斜部１７によ
って、加工液Ｌが切断加工域Ａに向けて流動させられる
ことになり、上記実施形態と同様、ワイヤ８への加工液
Ｌの付着性を向上させ、切断加工の効率を向上すること
ができるという効果を奏することができる。

【００５２】また、上記第２の実施形態における平坦な
上面を有する平板よりなる加工液受板部材６に代えて、
図７に示すように、上面にワイヤ８の走行方向に沿う複
数の溝１８を形成してなるものを採用することとしても
よい。これによれば、ノズル１５，１６から供給された
加工液Ｌが加工液受板部材６に受け止められると、加工
液Ｌは加工液受板部材６の上面に形成された複数の溝１
８を満たしつつ、該溝１８内を流動させられる。したが
って、加工液受板部材６の上面にワイヤ８を浸漬状態と
するために十分な深さの加工液Ｌの層を容易に形成する
ことができ、ワイヤ８に加工液Ｌを確実に付着させるこ
とができる。

【００５３】また、上記第２の実施形態においては、加
工液循環手段２１のポンプ２１ｄの作動により、ノズル
１５，１６から加工液を噴射させることとしたが、これ
に代えて、あるいは、これとは別に、加工液供給装置５
が、加工液貯留槽３２の下方に受け皿のような回収装置
とこれに接続されるフィルタおよびポンプとを有するこ
ととして、該ポンプにより汲み上げた加工液Ｌをノズル
１５，１６に供給することにより、加工液貯留槽３２か
らのオーバーフローを許容することとしてもよい。

【００５４】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１の発明に
係るワイヤ式切断加工装置は、被切断部材の切断加工域
を通過するワイヤの下方に、ワイヤから落下する加工
液、切粉および被切断部材の切断破片を受け止める受け
皿部材を具備するので、それらの落下物が切断加工域の
下方に配置されている溝ローラ、ワイヤ等の機械部品に
降りかかることを未然に防止して、当該機械部品の健全
性を維持することができるという効果を奏する。

【００５５】また、請求項２の発明に係るワイヤ式切断
加工装置によれば、受け皿部材によって受け止めた加工
液を加工液供給装置に供給するように循環して再利用す
ることができる。また、加工液循環手段の作動により、
受け皿部材から加工液を抜き出すので、受け皿部材から
加工液がオーバーフローしないように、その液位を調整
することができる。したがって、受け皿部材に受け止め
た加工液や切粉が受け皿部材から落下することを確実に
防止して、ワイヤ等の健全性をさらに効果的に維持する
ことができるという効果を奏する。

【００５６】また、請求項３の発明に係るワイヤ式切断
加工装置は、受け皿部材が、液面をワイヤに近接させる
ように加工液を貯留し、被切断部材の切断された下側部
分を加工液中に浸漬させる加工液貯留槽よりなるので、
切断加工の進行に伴い、被切断部材の下部が、ワイヤの
下方に突出すると同時に加工液貯留槽の加工液内に浸漬
され、切断加工により形成された溝内に配される切断加
工部に毛細管現象によって加工液を供給することができ
る。したがって、切断加工中のワイヤに常時加工液を供
給することができ、切断加工を効率よく実施することが
できるという効果を奏する。

【００５７】また、請求項４の発明に係るワイヤ式切断
加工装置は、切断加工域と溝ローラとの間に張られるワ
イヤの下方に、加工液貯留槽に接続される加工液受板部
材を近接配置し、加工液供給装置の供給口から加工液受
板部材の上面に加工液を供給するので、加工液受板部材
の上面に形成された加工液層内にワイヤを浸漬させるこ
とにより、切断加工域に向かうワイヤに十分な加工液を
付着させて切断加工の効率を高めることができるという
効果を奏する。

【００５８】さらに、請求項５の発明に係るワイヤ式切
断加工装置は、加工液受板部材が、溝ローラから切断加
工域に向けて漸次低くなる傾斜部を具備するので、加工
液供給装置の供給口から供給された加工液を当該傾斜部
によって切断加工域に向けて流動させることができる。
したがって、同じく切断加工域に向けて走行させられる
ワイヤと加工液との相対速度が減じられ、加工液を、切
断加工域においてワイヤが被切断部材を切断加工する直
前までワイヤに伴わせて移動させ、ワイヤに十分に付着
させることができる。

【００５９】また、請求項６の発明に係るワイヤ式切断
加工装置は、加工液供給装置が、加工液受板部材上に受
け止められた加工液を切断加工域に向けて流動させるよ
うに加工液を噴出するノズルを具備しているので、上記
と同様にワイヤへの加工液の付着性を向上させて、より
効率のよい切断加工を実施することができるという効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の第１の実
施形態を示す切断機構と押付装置の正面図である。

【図２】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の第２の実
施形態を示す切断機構と押付装置の正面図である。

【図３】図２のワイヤ式切断加工装置の切断加工域の両
側に配されるノズルと加工液受板部材とを示す斜視図で
ある。

【図４】図２のワイヤ式切断加工装置の切断加工域のノ
ズルと加工液受板部材とを示す一部を切断した正面図で
ある。

【図５】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の加工液受
板部材の変形例を示す一部を切断した正面図である。

【図６】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の加工液受
板部材の他の変形例を示す一部を切断した正面図であ
る。

【図７】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の加工液受
板部材の他の変形例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１，３１ワイヤ式切断加工装置３ワイヤ走行装置４押付装置５加工液供給装置６加工液受板部材７ａ，７ｂ，７ｃ溝ローラ８ワイヤ９被切断部材１５，１６ノズル（供給口）１７傾斜部１８溝（ワイヤ挿通溝）２０受け皿部材２１加工液循環手段３２加工液貯留槽（受け皿部材）Ａ切断加工域Ｌ加工液

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者坂本敦埼玉県大宮市桜木町１丁目７番５号ソニックシティビル21階三菱マテリアル株式会社生野製作所大宮事務所内 (72)発明者内田高広埼玉県大宮市桜木町１丁目７番５号ソニックシティビル21階三菱マテリアル株式会社生野製作所大宮事務所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
をワイヤ走行装置によって所定速度で走行させながら、
被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに上方から押
し付けるとともに、加工液供給装置から前記被切断部材
の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給しつつ前記被切
断部材を切断加工するワイヤ式切断加工装置であって、前記被切断部材の切断加工域を通過するワイヤの下方に
近接し、ワイヤから落下する加工液、切粉および被切断
部材の切断破片を受け止める受け皿部材を具備すること
を特徴とするワイヤ式切断加工装置。
【請求項２】受け皿部材に受け止めた加工液を加工液
供給装置に供給する加工液循環手段が設けられているこ
とを特徴とする請求項１記載のワイヤ式切断加工装置。
【請求項３】前記受け皿部材が、液面をワイヤに近接
させるように加工液を貯留し、被切断部材の切断された
下側部分を加工液中に浸漬させる加工液貯留槽よりなる
ことを特徴とする請求項１または請求項２記載のワイヤ
式切断加工装置。
【請求項４】加工液貯留槽に接続されかつ切断加工域
と溝ローラとの間に張られるワイヤの下方に近接配置さ
れ、その上面に形成される加工液層内にワイヤを浸漬さ
せる加工液受板部材を具備するとともに、加工液供給装置が、前記加工液受板部材の上面に加工液
を供給する供給口を有することを特徴とする請求項１か
ら請求項３のいずれかに記載のワイヤ式切断加工装置。
【請求項５】加工液受板部材が、溝ローラから切断加
工域に向けて漸次低くなる傾斜部を具備することを特徴
とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のワイヤ
式切断加工装置。
【請求項６】加工液供給装置が、加工液受板部材上に
受け止められた加工液を切断加工域に向けて流動させる
ように加工液を噴出するノズルを具備していることを特
徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のワイ
ヤ式切断加工装置。