JPH09183119A

JPH09183119A - ワイヤ式切断加工装置

Info

Publication number: JPH09183119A
Application number: JP34417795A
Authority: JP
Inventors: Tatsuyuki Suzuki; 龍之鈴木; Atsushi Sakamoto; 敦坂本; Takahiro Uchida; 高広内田; Kazuto Terada; 和人寺田
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1995-12-28
Filing date: 1995-12-28
Publication date: 1997-07-15

Abstract

(57)【要約】【課題】ワイヤに対して加工液を散布するだけでは、
十分な量の加工液をワイヤに付着させることが困難であ
った。【解決手段】被切断部材９の切断加工域Ａに隣接する
溝ローラ７ｂ，７ｃ間に張られるワイヤ８の下方に加工
液受板部材６を近接状態に配置するとともに、加工液受
板部材６を、切断加工域Ａと溝ローラ７ｂ，７ｃとの間
に固設される固定板部６ａと、これに連続して切断加工
域Ａに設けられかつ押付装置４によって下降させられる
被切断部材９により変位させられて、被切断部材９の通
路を開口させる開閉部６ｂとから構成し、加工液供給手
段５に、加工液受板部材６の上面に加工液Ｌを供給する
供給口１５，１６を設け、加工液受板部材６の上面で受
け止めた加工液Ｌに切断加工域Ａに向かうワイヤ８を浸
漬させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料や磁性
材料、あるいはセラミックス等の高硬度脆性材料をワイ
ヤによって切断するためのワイヤ式切断加工装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤ式切断加工装置は、複数の溝ロー
ラの間に張設されたワイヤをワイヤ走行装置によって一
方向に所定速度で走行させながら、被切断部材を押付装
置によって上記ワイヤに押し付けるとともに被切断部材
の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給して被切断部材
を切断加工するもの、および、ワイヤを交互に逆方向に
走行させて切断加工するものが知られている。

【０００３】従来のワイヤ式切断加工装置において、砥
流を含む加工液は、例えば、特開昭５９−２３２７６２
号公報に示されるように、被切断部材の切断加工を行う
直前段においてワイヤに向けて、上方から散布され、そ
の一部がワイヤに付着し、他の大部分はワイヤを通過し
て落下させられるようになっている。すなわち、ワイヤ
に付着した一部の加工液が被切断部材を切断するために
用いられ、その他の加工液は、下方に配されている受皿
に回収され、再循環利用されるようになっていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ワ
イヤ式切断加工装置に用いられるワイヤは、０．１６〜
０．１８ｍｍと、きわめて細いものである。このため、
散布される加工液の全体量に対して、ワイヤに付着する
加工液の量はきわめて微少であるとともに、一旦ワイヤ
に接触した加工液であっても、ワイヤに付着することな
く、その慣性力によって落下させられてしまう場合も多
く、ワイヤに確実に付着させることは困難であった。

【０００５】本発明は、上述した事情に鑑みてなされた
ものであって、砥粒を含む加工液をワイヤに確実に付着
させて、被切断部材を効果的に切削することができるワ
イヤ式切断加工装置を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
をワイヤ走行装置によって所定速度で走行させながら、
被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに上方から押
し付けるとともに、加工液供給手段から前記被切断部材
の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給しつつ前記被切
断部材を切断加工するワイヤ式切断加工装置であって、
被切断部材の切断加工域に隣接する溝ローラ間に張られ
るワイヤの下方に近接配置され、その上面に受け止めた
加工液内にワイヤを浸漬させる加工液受板部材を具備す
るとともに、該加工液受板部材が、前記切断加工域と前
記溝ローラとの間に固設される固定板部と、該固定板部
に連続して前記切断加工域に設けられかつ前記押付装置
によって下降させられる前記被切断部材により変位させ
られて、該被切断部材の通路を開口させる開閉部とを具
備し、前記加工液供給手段が前記加工液受板部材の上面
に加工液を供給する供給口を有するワイヤ式切断加工装
置を提案している。

【０００７】また、上記ワイヤ式切断加工装置におい
て、開閉部が、切断加工域の両側から片持ち梁状に支持
される可撓性を有する弾性板部材により構成されている
こととしてもよい。さらに、加工液供給手段が、ワイヤ
の上方に配される被切断部材の表面に加工液を供給する
供給口を具備することとすれば効果的である。

【０００８】また、加工液受板部材が、溝ローラから切
断加工域に向けて漸次低くなる傾斜部を具備することと
し、あるいは、加工液供給手段が、加工液受板部材上に
受け止められた加工液を切断加工域に向けて流動させる
ように加工液を噴出するノズルを具備する構成としても
よい。

【０００９】

【作用】本発明に係るワイヤ式切断加工装置によれば、
ワイヤ走行装置の作動により、複数の溝ローラの間に張
設されたワイヤが、所定速度で一方向あるいは両方向に
走行させられる。そして、押付装置を作動させることに
より、被切断部材が、走行させられているワイヤに押し
付けられる。ワイヤには加工液供給手段から供給された
砥流を含む加工液が付着させられているので、ワイヤ
は、砥粒を被切断部材に摩擦させることにより、押付装
置による被切断部材の移動に伴って、該被切断部材を切
断していくことになる。

【００１０】この場合において、本発明に係るワイヤ式
切断加工装置では、被切断部材の切断加工域に隣接する
溝ローラ間に張られるワイヤの下方に加工液受板部材が
近接配置されており、該加工液受板部材の上面には加工
液供給手段の供給口から砥粒を含んだ加工液が供給され
るので、加工液受板部材によって受け止められた加工液
内に被切断部材を切断する前のワイヤが浸漬されること
になる。

【００１１】加工液は、加工液受板部材上に受け止めら
れることによって慣性力を弱められるので、接触させら
れるワイヤに付着状態に維持され易くなり、切断加工に
十分な量の加工液が被切断部材まで運ばれることとなっ
て、効率のよい切断加工が実施されることになる。

【００１２】そして、押付装置による被切断部材の切断
加工が進行すると、被切断部材とワイヤとが接触して切
断加工が実施される領域、すなわち、切断加工域に配さ
れている開閉部が、被切断部材の下降に伴って変位させ
られてワイヤの下方に被切断部材の通路を開口させる。
したがって、被切断部材が開口内をスムーズに下降させ
られる一方、加工液受板部材の開閉部は、その上面に受
け止めた加工液を被切断部材とワイヤとが接触する位置
の近傍まで導くことが可能となる。これにより、加工液
がワイヤに付着状態に維持される可能性がさらに高めら
れ、より効率のよい切断加工が実施されることになる。

【００１３】また、開閉部を、固定板部に片持ち梁状に
支持される可撓性を有する弾性板部材により構成すれ
ば、切断加工の初期において、被切断部材が開閉部に接
触していないときには、該開閉部は、その弾発力によっ
て切断加工域の下方を閉鎖する。そして、切断加工が進
行して被切断部材が開閉部に当接しこれを押下すると、
該開閉部は、その可撓性によって下方に湾曲させられ
て、切断加工域の下方に被切断部材の通路を開口させ
る。

【００１４】その結果、切断加工域の下方においては、
被切断部材の通路が該被切断部材の下降に伴って開口さ
せられることとなり、被切断部材がスムーズに下降させ
られるとともに、加工液は、被切断部材と開閉部の湾曲
に倣って被切断部材まで導かれるので、切断加工を行う
直前までワイヤと加工液との接触状態が維持されること
になる。

【００１５】また、加工液供給手段が、ワイヤの上方に
配される被切断部材の表面に加工液を供給する供給口を
具備することとすれば、当該供給口から供給された加工
液は、被切断部材の表面を伝って流れ落ちる。この場合
に、切断加工域においては、被切断部材に開閉部が常に
近接配置されているので、被切断部材の表面を伝って流
れる加工液は、ワイヤと被切断部材との接触開始位置近
傍において開閉部により堰き止められる。これにより、
加工液はワイヤと被切断部材との接触開始位置に効果的
に供給されることとなり、切断加工が効率的に行われる
ことになる。

【００１６】さらに、加工液受板部材が、溝ローラから
切断加工域に向けて漸次低くなる傾斜部を具備する構成
とすれば、加工液受板部材の上面に受け止められた加工
液は、傾斜部によって溝ローラから切断加工域に向かう
方向、すなわち、ワイヤの走行方向と同一方向に流動さ
せられる。その結果、加工液と該加工液に浸漬状態に配
されているワイヤとの相対速度が減少させられ、ワイヤ
への加工液の付着性が向上されるとともに、切断加工域
に向けて流動させられた加工液が被切断部材の表面によ
って堰き止められることとなり、ワイヤと被切断部材と
の接触開始位置に効果的に供給されることとなる。ま
た、加工液供給手段に、加工液受板部材上に受け止めら
れた加工液を切断加工域に向けて流動させるように加工
液を噴出するノズルを設けることとしても、同様であ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るワイヤ式切断
加工装置１の一実施形態について、図１から図３を参照
して説明する。本実施形態に係るワイヤ式切断加工装置
１は、図１に示すように、装置フレーム２に、ワイヤ走
行装置３と押付装置４と加工液供給手段５と加工液受板
部材６等とを搭載して構成されている。

【００１８】前記ワイヤ走行装置３は、例えば、図示し
ないサーボモータ等の駆動モータによってそれぞれ個々
に回転させられる一対のリール、張力保持機構、張力検
出機構、切断機構７および走行量検出機構等を備えてお
り、ワイヤ８を一方のリールから上記種々の機構を経て
他方のリールまで送る際に、両リールによるワイヤ８の
走行方向と走行量を交互に変えて走行させるようになっ
ている。

【００１９】上記ワイヤ走行装置３を構成する各機構の
内、切断機構７は、互いに平行かつ水平に逆三角形状に
配設された３個の溝ローラ７ａ，７ｂ，７ｃと、下の溝
ローラ７ａを回転させる切断走行用の駆動モータ７ｄを
備えている。ワイヤ８は、各溝ローラ７ａ，７ｂ，７ｃ
に所定の間隔で形成された複数の溝に平行に巻き付けら
れている。上の２個の溝ローラ７ｂ，７ｃ間のワイヤ８
は、水平に張られており、その中央付近に後述する押付
装置４によって被切断部材９を押し付けて切断加工する
切断加工域Ａが形成されるようになっている。

【００２０】前記押付装置４は、被切断部材９を支持す
る支持機構１０と、該支持機構１０を上下させるボール
ネジ等よりなる移動機構１１と、該移動機構１１を作動
させるサーボモータ等の移動用駆動モータ１２とワイヤ
８に対する被切断部材９の押付力（反力）を検出するロ
ードセル等の押付力検出器１３と、移動用駆動モータ１
２の回転数から支持機構１０の移動量を検出するロータ
リエンコーダ等の移動量検出器１４とを備えている。

【００２１】この押付装置４は、被切断部材９を支持機
構１０に支持してこれを切断機構７の溝ローラ７ｂ，７
ｃの間にワイヤ８に垂直に押し付けるものであり、押付
力検出器１３の検出信号によって、ワイヤ８に対する被
切断部材９の単位長さあたりの押付力が一定に保たれる
ように、移動用駆動モータ１２による被切断部材９の押
付移動速度を調整するようになっている。

【００２２】前記加工液供給手段５は、例えば、砥粒を
含む加工液Ｌを貯留する加工液タンク（図示略）と、該
加工液タンクから加工液Ｌを汲み上げるポンプ（図示
略）と、該ポンプから供給される加工液Ｌをワイヤ８上
に散布する供給口としての一対のノズル１５，１６と、
ワイヤ８から落下した削りかすを含む加工液Ｌを回収す
る回収装置（図示略）とを具備している。

【００２３】前記各ノズル１５，１６は、例えば、スリ
ットノズルであって、図２および図３に示すように、ワ
イヤ８に対して直交するように配置されるパイプ１５
ａ，１６ａと、該パイプ１５ａ，１６ａに設けたスリッ
ト状の開口部１５ｂ，１６ｂに配置され、該開口部１５
ｂ，１６ｂの開口面積を調整し得るように調整ネジ１５
ｃ，１６ｃによって固定される調整ブロック１５ｄ，１
６ｄとから構成されている。

【００２４】また、これらのノズル１５，１６は、前記
切断加工域Ａと溝ローラ７ｂ，７ｃとの間に配置される
とともに、加工液Ｌがワイヤ８に対して斜めに入射させ
られるように、その開口部１５ｂ，１６ｂを切断加工域
Ａ側に向かう斜め下方に傾けて配置されている。

【００２５】前記加工液受板部材６は、前記切断加工域
Ａが形成されたワイヤ８を支持する一対の溝ローラ７
ｂ，７ｃの間の領域において全てのワイヤ８を下から覆
うように配置される上面の平坦な平板部材である。この
加工液受板部材６は、ワイヤ８に対して微少間隙を空け
て近接配置されており、前記ノズル１５，１６から噴射
される加工液Ｌをワイヤ８の下方において受け止めるよ
うになっている。

【００２６】この加工液受板部材６とワイヤ８との間隙
寸法は、例えば、ノズル１５，１６から供給される加工
液Ｌが加工液受板部材６上を流動する際の加工液Ｌの深
さ寸法より小さく設定しておくこととする。

【００２７】また、この加工液受板部材６は、切断加工
域Ａとそれに隣接する溝ローラ７ｂ，７ｃとの間に固定
される固定板部６ａと、この固定板部６ａに片持ち梁状
に支持される、例えば、ゴム板のような可撓性を有する
平板部材よりなる開閉部６ｂとから構成されている。

【００２８】この開閉部６ｂは、切断加工が行われてい
ないときには切断加工域Ａの下方を完全に覆うように、
その自由端を切断加工域Ａの中央位置近傍に配して水平
に延びている。そして、切断加工が実施されて被切断部
材９が下降させられると、下降してきた被切断部材９が
開閉部６ｂの上面に当接して押し下げることにより、該
開閉部６ｂが下方に湾曲させられて、切断加工域Ａの下
方に被切断部材９の通路が形成されるようになってい
る。

【００２９】このように構成された本実施形態のワイヤ
式切断加工装置１の作用について、以下に説明する。本
実施形態のワイヤ式切断加工装置１により被切断部材９
を切断加工するには、ワイヤ走行装置３を作動させてワ
イヤ８を相互方向に走行させるとともに、加工液供給手
段５のポンプを作動させて、加工液タンク内の砥粒を含
む加工液Ｌを各ノズル１５，１６から散布する。

【００３０】この状態で、押付装置４を作動させて被切
断部材９を下降させ、水平方向に往復移動させられてい
るワイヤ８に上方から押し付ける。この場合において、
ノズル１５，１６から供給された加工液Ｌは、加工液受
板部材６によって受け止められることにより、ワイヤ８
の近傍に保持されつつ、該加工液受板部材６上を適当な
厚さ寸法の層を成して流動させられる。

【００３１】これにより、この加工液受板部材６の上方
に近接して水平移動させられているワイヤ８は、該加工
液受板部材６上に流動させられている加工液Ｌの中に浸
漬状態に配されることになる。したがって、加工液Ｌ
は、比較的長い時間にわたってワイヤ８と接触させられ
ることになる。

【００３２】しかも、本実施形態においては、ノズル１
５，１６の開口部１５ｂ，１６ｂが切断加工域Ａ側に向
かう斜め下方に向けて配されているので、ノズル１５，
１６から噴射される加工液Ｌは、加工液受板部材６上を
切断加工域Ａ方向に向けて流動させられることになる。
すなわち、加工液Ｌが、切断加工域Ａに向かうワイヤ８
と同一方向に流動させられることによって、その相対速
度を減少させられつつ案内される結果、加工液Ｌのワイ
ヤ８への付着性が向上させられることになる。

【００３３】そして、このようにして十分な加工液Ｌを
付着させられたワイヤ８を被切断部材９の表面に摺動さ
せることによって、被切断部材９を効率的に切断加工す
ることができる。

【００３４】さらに、切断加工の進行に伴って、被切断
部材９がワイヤ８を通過してその下方にまで下降させら
れると、被切断部材９が加工液受板部材６に当接する。
この場合に、本実施形態のワイヤ式切断加工装置１で
は、切断加工域Ａの加工液受板部材６をゴム板のような
可撓性を有する開閉部６ｂによって構成しているので、
被切断部材９が該開閉部６ｂを変形させて押し下げるこ
とになる。その結果、切断加工域Ａの下方における被切
断部材９の通路が確保されて、スムーズな切断加工が実
施されることになる。

【００３５】また、下方に向けて湾曲させられる開閉部
６ｂと被切断部材９とは被切断部材９の長手方向に沿っ
て線接触させられる。このため、加工液受板部材６の固
定板部６ａ上に供給され下方に湾曲する開閉部６ｂの上
面に沿って流動させられる加工液Ｌが、開閉部６ｂと被
切断部材９との接触位置において該被切断部材９により
堰き止められる。これにより、ワイヤ８と被切断部材９
とが接触を開始する切断加工部にも加工液Ｌが直接供給
されることになり、切断加工の効率がさらに向上される
ことになる。

【００３６】なお、上記実施形態においては、ワイヤ８
を交互に双方向に走行させる形式のワイヤ式切断加工装
置１について説明したが、ワイヤを一方向に走行させる
形式のワイヤ式切断加工装置１についても同様に適用す
ることができる。すなわち、切断加工域Ａの両側に設け
たノズル１５，１６および加工液受板部材６を、切断加
工域Ａに対してワイヤ８の走行方向の上流側に配置する
だけでよい。

【００３７】さらに、上記実施形態に係るワイヤ式切断
加工装置１においては、ノズル１５，１６からの加工液
Ｌの噴射方向を設定することによって、加工液受板部材
６上に供給された加工液Ｌを切断加工域Ａに向けて流動
させることとしたが、これに代えて、図４に示すよう
に、加工液受板部材６の固定板部６ａに、溝ローラ７
ｂ，７ｃから切断加工域Ａに向かうに従って漸次低くな
る傾斜部１７を設けることとしてもよい。

【００３８】特に、ワイヤ８を一方向に走行させる場合
には、図５に示すように、溝ローラ７ｂ，７ｃ間のワイ
ヤ８を若干傾斜させるとともに、このワイヤ８に沿わせ
るようにして加工液受板部材６の固定板部６ａも切断加
工域Ａの方向に向かって漸次低くなるように傾斜させる
こととしてもよい。

【００３９】これらの場合には、ノズル１５，１６から
の加工液Ｌの散布方向に関わらず、当該傾斜部１７によ
って、加工液Ｌが切断加工域Ａに向けて流動させられる
ことになり、上記実施形態と同様、ワイヤ８への加工液
Ｌの付着性を向上させ、切断加工の効率を向上すること
ができるという効果を奏することができる。

【００４０】また、上記実施形態における平坦な上面を
有する平板よりなる加工液受板部材６の固定板部６ａに
代えて、図６に示すように、上面にワイヤ８の走行方向
に沿う複数の溝１８を形成してなるものを採用すること
としてもよい。これによれば、ノズル１５，１６から供
給された加工液Ｌが加工液受板部材６の固定板部６ａに
受け止められると、加工液Ｌは固定板部６ａの上面に形
成された複数の溝１８を満たしつつ、該溝１８内を流動
させられる。したがって、加工液受板部材６の固定板部
６ａの上面にワイヤ８を浸漬状態とするために十分な深
さの加工液Ｌの層を容易に形成することができ、ワイヤ
８に加工液Ｌを確実に付着させることができる。

【００４１】さらに、上記実施形態においては、開閉部
６ｂを可撓性のあるゴム板のような平板部材により構成
することとしたが、これに代えて、例えば、図７に示す
ように、可撓性のない平板部材１９をゴムやスプリング
等の弾性部材２０によって固定板部６ａに取り付けるこ
ととしてもよい。また、図８に示すように、被切断部材
９の下降に伴って水平方向にスライドするような平板部
材よりなる開閉部２１を採用することとしてもよい。

【００４２】また、上記実施形態においては、加工液供
給手段５の供給口であるノズル１５，１６を、切断加工
域Ａと溝ローラ７ｂ，７ｃとの間に配されるワイヤ８に
対して加工液Ｌを散布するように構成したが、これに代
えて、あるいは、これとともに、図９に示すように、被
切断部材９の上部において該被切断部材９の表面に向け
て加工液Ｌを散布するノズル２２を設けることとしても
よい。

【００４３】この場合には、ノズル２２から散布された
加工液Ｌは、被切断部材９の表面を伝って流れ落ちるこ
とになるが、被切断部材９には加工液受板部材６の開閉
部６ａが接触しているので、流れ落ちた加工液Ｌが開閉
部６ａによって堰き止められる。これにより、これらの
ノズル２２から供給された加工液Ｌが、ワイヤ８と被切
断部材９とが接触を開始する切断加工部に直接供給さ
れ、切断加工の効率をさらに向上することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明に係るワイ
ヤ式切断加工装置は、記被切断部材の切断加工域に隣接
する溝ローラ間に張られるワイヤの下方に近接配置され
た加工液受板部材が、供給口から供給されその上面に受
け止めた加工液内にワイヤを浸漬させるので、切断加工
を行うワイヤに加工液を十分に付着させることができ
る。また、切断加工域に設けた開閉部は、下降させられ
る被切断部材により変位させられて該被切断部材の通路
を開口させるので、切断加工が開始される直前までワイ
ヤが加工液に浸漬状態に保持されて十分な量の加工液が
切断加工域に供給されるとともに、切断加工動作を阻害
することなくスムーズに実施することができるという効
果を奏する。

【００４５】また、請求項２の発明に係るワイヤ式切断
加工装置は、開閉部を固定板部に片持ち梁状に支持され
る可撓性を有する弾性板部材により構成するので、上記
のようにしてワイヤへの加工液の付着性の向上と、スム
ーズな切断加工とをきわめて簡易な構成により達成する
ことができるという効果を奏する。

【００４６】さらに、請求項３の発明に係るワイヤ式切
断加工装置は、加工液供給手段が、ワイヤの上方に配さ
れる被切断部材の表面に加工液を供給する供給口を具備
するので、供給された加工液が被切断部材の表面を伝っ
て流れ落ち、ワイヤによる被切断材料の切断加工が開始
される箇所に直接加工液を供給して、効率のよい切断加
工を実施することができるという効果を奏する。

【００４７】また、請求項４の発明に係るワイヤ式切断
加工装置は、加工液受板部材が溝ローラから切断加工域
に向けて漸次低くなる傾斜部を具備するので、傾斜部に
供給された加工液が切断加工域に向けて流動させられる
ことにより、加工液とその中に浸漬されているワイヤと
の相対移動速度を減少させワイヤへの加工液の付着性を
向上させることができるという効果を奏する。

【００４８】また、請求項５の発明に係るワイヤ式切断
加工装置は、加工液供給手段が、加工液受板部材上に受
け止められた加工液を切断加工域に向けて流動させるよ
うに加工液を噴出するノズルを具備しているので、上記
と同様にワイヤへの加工液の付着性を向上させて、より
効率のよい切断加工を実施することができるという効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の一実施形
態を示す切断機構と押付装置の正面図である。

【図２】図１のワイヤ式切断加工装置の切断加工域の両
側に配されるノズルと加工液受板部材とを示す斜視図で
ある。

【図３】図１のワイヤ式切断加工装置の切断加工域のノ
ズルと加工液受板部材とを示す一部を切断した正面図で
ある。

【図４】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の加工液受
板部材の固定板部の変形例を示す一部を切断した正面図
である。

【図５】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の加工液受
板部材の固定板部の他の変形例を示す一部を切断した正
面図である。

【図６】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の加工液受
板部材の固定板部の他の変形例を示す斜視図である。

【図７】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の加工液受
板部材の開閉部の変形例を示す一部を切断した正面図で
ある。

【図８】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の加工液受
板部材の開閉部の他の変形例を示す一部を切断した正面
図である。

【図９】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の加工液供
給手段の変形例を示す一部を切断した正面図である。

【符号の説明】

１ワイヤ式切断加工装置３ワイヤ走行装置４押付装置５加工液供給手段６加工液受板部材６ａ固定板部６ｂ開閉部７ａ，７ｂ，７ｃ溝ローラ８ワイヤ９被切断部材１５，１６、２２ノズル（供給口）１７傾斜部１８溝（ワイヤ挿通溝）Ａ切断加工域Ｌ加工液

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者内田高広埼玉県大宮市桜木町１丁目７番５号ソニックシティビル21階三菱マテリアル株式会社生野製作所大宮事務所内 (72)発明者寺田和人埼玉県大宮市桜木町１丁目７番５号ソニックシティビル21階三菱マテリアル株式会社生野製作所大宮事務所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
をワイヤ走行装置によって所定速度で走行させながら、
被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに上方から押
し付けるとともに、加工液供給手段から前記被切断部材
の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給しつつ前記被切
断部材を切断加工するワイヤ式切断加工装置であって、前記被切断部材の切断加工域に隣接する溝ローラ間に張
られるワイヤの下方に近接配置され、その上面に受け止
めた加工液内にワイヤを浸漬させる加工液受板部材を具
備するとともに、該加工液受板部材が、前記切断加工域と前記溝ローラと
の間に固設される固定板部と、該固定板部に連続して前
記切断加工域に設けられかつ前記押付装置によって下降
させられる前記被切断部材により変位させられて、該被
切断部材の通路を開口させる開閉部とを具備し、前記加工液供給手段が、前記加工液受板部材の上面に加
工液を供給する供給口を有することを特徴とするワイヤ
式切断加工装置。
【請求項２】開閉部が、固定板部に片持ち梁状に支持
される可撓性を有する弾性板部材により構成されている
ことを特徴とする請求項１記載のワイヤ式切断加工装
置。
【請求項３】加工液供給手段が、ワイヤの上方に配さ
れる被切断部材の表面に加工液を供給する供給口を具備
することを特徴とする請求項１または請求項２記載のワ
イヤ式切断加工装置。
【請求項４】加工液受板部材が、溝ローラから切断加
工域に向けて漸次低くなる傾斜部を具備することを特徴
とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のワイヤ
式切断加工装置。
【請求項５】加工液供給手段が、加工液受板部材上に
受け止められた加工液を切断加工域に向けて流動させる
ように加工液を噴出するノズルを具備していることを特
徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のワイ
ヤ式切断加工装置。