JPH09189512A - 画像測定機 - Google Patents
画像測定機Info
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- JPH09189512A JPH09189512A JP8018365A JP1836596A JPH09189512A JP H09189512 A JPH09189512 A JP H09189512A JP 8018365 A JP8018365 A JP 8018365A JP 1836596 A JP1836596 A JP 1836596A JP H09189512 A JPH09189512 A JP H09189512A
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Abstract
い場合でも被検物の全輪郭形状の自動測定が可能な画像
測定機を提供する。 【解決手段】 XYステージ上にある被検物の像を捉え
るCCDカメラ13と画像処理部21とを備えた画像測
定機において、ステージを移動させるXYステージ駆動
部10と、ステージ座標値を検出するステージ位置検出
部11と、モニタ4の画面上で指標を移動させる指標移
動部23と、指標の移動先である測定目標点が画面内に
あるとき指標を測定目標点へ移動させ、かつ測定目標点
が撮像範囲外に位置したとき、測定目標点が画面内の中
央に位置するようにステージを移動させる制御を行なう
輪郭形状測定部22とを備える。測定中に測定目標点が
画面から外れると、測定目標点が画面内の中央にくるよ
うにステージを移動させ、この後、指標を測定目標点へ
移動させる。
Description
状の測定を行なう画像測定機に関する。
えば、直交する2方向に移動可能なステージと、ステー
ジ上に載置された被検物の像を光学系を介して上方から
捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を出力す
るCCDカメラと、前記電気信号を画像処理して被検物
の輪郭形状に沿った複数の測定点のエッジを検出し、各
測定点のエッジ座標値を表す信号を出力する画像処理手
段とを備えたものが知られている。
に固定した状態で被検物の像をCCDカメラで捉え、こ
の捉えた像の光強度分布に応じた電気信号がCCDカメ
ラから出力され、この電気信号が画像処理手段により画
像処理される。画像処理手段から出力される各測定点の
エッジ座標値を表す信号と、ステージの座標値とから各
測定点の座標値が得られる。
来技術では、ステージをある位置に固定した状態で被検
物の像をCCDカメラで捉えるので、CCDカメラで捉
えた一つの像内にある被検物の輪郭形状しか測定するこ
とができない。そのため、寸法の大きな被検物の場合、
あるいはCCDカメラの1画素当たりの寸法を大きくし
て測定精度を高めるために光学系の拡大倍率を大きくし
た場合には、被検物の一部分の像しかCCDカメラで捉
えることができず、被検物の全輪郭形状の測定を自動で
行なうことができないという問題点があった。この発明
はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は
被検物の一部分の像しか捉えることができない場合でも
被検物の全輪郭形状の自動測定が可能な画像測定機を提
供することである。
め請求項1記載の発明に係る画像測定機は、直交する2
方向に移動可能なステージと、前記ステージ上に載置さ
れた被検物の像を光学系を介して捉え、捉えた像の光強
度分布に応じた電気信号を出力する撮像手段と、前記電
気信号を画像処理して被検物の輪郭形状に沿った複数の
測定点のエッジを検出し、各測定点のエッジ座標値を表
す信号を出力する画像処理手段とを備え、前記輪郭形状
の測定を行なう画像測定機において、前記ステージを、
入力される移動指令に基づき前記2方向に移動させるス
テージ駆動手段と、前記ステージの座標を検出し、前記
各測定点でのステージ座標値を表す信号を出力するステ
ージ座標検出手段と、前記撮像手段の撮像範囲内のエッ
ジ検出領域を、入力される移動指令に基づき移動させる
検出領域移動部と、前記エッジ検出領域が前記輪郭形状
に沿って前記各測定点を順次移動するように、前記ステ
ージ駆動手段及び前記検出領域移動部に移動指令を出力
する制御手段とを備えていることを特徴とする。
て各測定点を順次移動するように、制御手段がステージ
駆動手段及び検出領域移動部に移動指令を出力するの
で、被検物の一部分の像しか撮像手段で捉えることがで
きない場合でも、各測定点のエッジ座標値及び各測定点
でのステージ座標値が自動で検出される。
前記制御手段は、前記エッジ検出領域の次の移動先であ
る測定目標点が前記撮像範囲内にあるとき、前記エッジ
検出領域を前記測定目標点へ移動させるための移動指令
を前記検出領域移動部へ出力し、かつ前記測定目標点が
前記撮像範囲外に位置したとき、前記測定目標点が前記
撮像範囲内の所定位置に位置するように前記ステージを
移動させるための移動指令を前記ステージ駆動手段へ出
力するように構成されていることを特徴とする。
ジ検出領域を測定目標点へ移動させる。これによって、
測定目標点が撮像範囲内にある間、エッジ検出領域が輪
郭形状に沿って各測定点を順次移動し、各測定点のエッ
ジ座標値が自動で検出される。測定中に測定目標点が撮
像範囲外に位置したとき、測定目標点が撮像範囲内の所
定位置に位置するようにステージを移動させ、この移動
後にエッジ検出領域を所定位置にある測定目標点へ移動
させる。これによって、測定が続行される。
に基づいて説明する。
定機を示すブロック図、図2は同画像測定機を示す概略
構成図である。
に、測定機本体1と制御ユニット2とを備えている。測
定機本体1には支持体3が、制御ユニット2にはモニタ
4がそれぞれ設けられている。
上に設けられたXYステージ5と、このステージ5の上
方に位置するように支持体3の支柱部3bに支持された
撮像部6とを備えている。
する2方向(X軸及びY軸方向)に移動可能である。こ
のステージ5の上面に、二次元的な輪郭形状を有しかつ
僅かな厚みを有する被検物(例えば図3に示すような被
検物)7が載置される。被検物7は、ベース部3aに設
けられた透過照明光学系8又は撮像部6に設けられた落
射照明光学系9によって照明される(図2参照)。
入力されるステージ移動指令に基づきXYステージ5を
2方向に電動で移動させるXYステージ駆動部10と、
XYステージ5の座標を検出し、ステージ座標値を表わ
す信号を出力するステージ位置検出部11とが設けられ
ている。XYステージ駆動部10は、XYステージ5を
X軸及びY軸方向にそれぞれ駆動するX軸用モータ及び
Y軸用モータ(図示略)を有する。ステージ位置検出部
11は、XYステージ5のX軸及びY軸方向の位置をそ
れぞれ検出するX軸用エンコーダ及びY軸用エンコーダ
(図示略)を有する。
被検物7からの光を結像する結像光学系12と、この光
学系12により結像された被検物7の像を捉え(受
け)、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を出力す
るCCDカメラ13とが設けられている。結像光学系1
2の拡大倍率は、固定であっても、可変であってもよ
い。
CDカメラ13から出力される電気信号が入力される画
像処理部21と、輪郭形状測定部22と、指標移動部2
3と、測定条件テーブル24と、測定データテーブル2
5と、データ出力部26とを備えている。制御ユニット
2は、それぞれ図示を省略したキーボードなどの入力装
置、入力回路、出力回路、中央演算処理回路などを有す
るコンピュータで構成されている。
画素から出力される電気信号を画像処理し、捉えた被検
物7の像をモニタ4のモニタ画面4a(図4参照)上に
画像として表示させるための画像信号をモニタ4へ出力
するように構成されている。また、画像処理部21は、
指標移動部23から出力される指標位置のデータを受
け、エッジの検出領域を示す指標15をモニタ画面4a
上の前記指標位置のデータに対応する位置に表示させる
ための信号をモニタ4へ出力するように構成されてい
る。さらに、画像処理部21は、CCDカメラ13から
出力される電気信号を画像処理し、指標15内にある被
検物7の輪郭形状7aのエッジを検出し、検出したエッ
ジ点16(図4参照)のモニタ画面4a内での座標値
(エッジ座標値)を輪郭形状7aに沿った各測定点17
(図3参照)について順次検出し、各エッジ座標値のデ
ータを輪郭形状測定部22へ出力するように構成されて
いる。
状7aに沿ってある間隔で(例えば一定間隔で)で各測
定点17のエッジ座標値を取り込む輪郭形状測定(スキ
ャニング測定)を実行するように構成されている。輪郭
形状測定部22は、輪郭形状測定を行なうために、指標
15の移動先である測定目標点18(図6参照)を設定
し、この設定した測定目標点18に対応する指標移動指
令及びステージ移動指令を指標移動部23及びXYステ
ージ駆動部10にそれぞれ出力するように構成されてい
る。
21から出力される各測定点のエッジ座標値と、ステー
ジ位置検出部11から出力される各測定でのステージ座
標値とに基づき各測定点の座標値(測定点座標値)を演
算し、その演算結果を測定データテーブル25へ順次出
力する測定点座標値演算部27を備えている。この演算
部27は、下記の式で表す演算を行なう。
(エッジ座標値×モニタ画面補正値) ここで、モニタ画面補正値は、XYステージ5上での寸
法とモニタ画面4a上での寸法との比である。
ら出力される指標移動指令に基づき、指標15を目標測
定点に移動させるための指標位置のデータを画像処理部
21へ出力するようになっている。
形状7aの測定開始位置(最初の測定点)及び測定終了
位置(最後の測定点)の座標をそれぞれ表すデータ、各
測定点17の間隔(例えば一定間隔)を表すデータなど
を含む測定条件が予めキーボードなどにより入力されて
記憶されている。
部22から出力される各測定点の座標値(測定点座標
値)のデータを格納する。
ータテーブル25に格納された測定データ(全測定点の
座標値)を表示又は印刷して出力するためのものであ
る。
を図5のフローチャート及び図6〜図8に基づいて説明
する。図6〜図8において、黒丸の点は測定が終了した
測定点を、白丸の点は測定目標点をそれぞれ示してい
る。
と、ステップ101で、予め設定された測定開始位置と
測定終了位置の座標値をそれぞれ取り込む。
で取り込んだ測定開始位置を、最初の測定目標点(例え
ば図6に示す点P1)に設定する。
で設定した測定目標点(ここでは最初の測定目標点)が
モニタ画面4aの範囲外か否かを判定する。この判定は
例えば次のように行なう。
すると、以下の(1)〜(4)のいずれか一つに該当し
た場合に、設定した測定目標点がモニタ画面4aの範囲
外にあると判定し、(1)〜(4)のいずれにも該当し
ない場合には設定した測定目標点がモニタ画面4aの範
囲内にあると判定する。 (1)設定した測定目標点の座標(Xd、Yd)のX座
標値(Xd)が、モニタ画面4aの右端とX軸の交点の
座標のX座標値(+Xmax )以上になったとき。 (2)座標(Xd、Yd)のX座標値(Xd)が、モニ
タ画面4aの左端とX軸の交点の座標のX座標値(ーX
max )以下になったとき。 (3)座標(Xd、Yd)のY座標値(Yd)が、モニ
タ画面4aの上端とY軸の交点の座標のY座標値(+Y
max )以上になったとき。 (4)座標(Xd、Yd)のY座標値(Yd)が、モニ
タ画面4aの下端とY軸の交点の座標のY座標値(ーY
max )以下になったとき。
すなわち最初の測定目標点(図6の点P1)がモニタ画
面4a内にある場合、ステップ105へ進み、最初の測
定目標点(P1)に指標15がくるように指標15を移
動させる。このとき、最初の測定目標点(P1)に対応
する指標移動指令が輪郭形状測定部22から指標移動部
23へ出力される。この指標移動指令に応じた指標位置
のデータが指標移動部23から画像処理部21へ出力さ
れる。この指標位置のデータに対応するモニタ画面4a
内の位置に指標15を表示させる(移動させる)ための
信号が、画像処理部21からモニタ4へ出力される。こ
れによって、モニタ画面4a上において指標15が最初
の測定目標点(P1)に表示される(図6参照)。
る輪郭形状7aのエッジ点座標(最初の測定目標点(P
1)のエッジ座標値)を取り込む。すなわち、画像処理
部21から出力されるエッジ座標値を取り込む。
出部11から出力されるステージ座標値と、ステップ1
06で取り込んだエッジ座標値とに基づき指標15内に
ある最初の測定目標点(P1)の座標値(測定点座標
値)を演算する。すなわち、測定点座標値演算部27で
上記式の演算を行なう。
で演算した最初の測定目標点(P1)の測定点座標値を
測定データテーブル25へ出力して保存する(格納す
る)。
を設定する。このとき、測定条件テーブルに予め記憶さ
れた記憶された各測定点17間の一定間隔を表すデータ
を取り込み、最初の測定目標点(P1)から一定間隔離
れた位置に次の測定目標点を設定する。
終了条件を満たしたか否かを判定する。すなわち、ステ
ップ109で設定した次の測定目標点の座標がステップ
101で取り込んだ測定終了位置の座標値(最後の測定
目標点の座標値)を越えたか否かを判定する。ここで
は、ステップ109で設定した次の測定目標点は最初の
測定目標点(P1)の次の点であるので、ステップ11
0の判定結果はNoになり、ステップ103に戻る。
109で設定した次の測定目標点(図6の点P2)がモ
ニタ画面4aの範囲外か否かを判定する。
る間、例えば図6で示すように測定目標点18がモニタ
画面4a内にある間、上記ステップ103、及びステッ
プ105〜110を繰り返し、被検物7の輪郭形状7a
に沿って一定間隔で指標15を移動させながら測定を行
ない、各測定点の測定点座標値を演算し、その演算結果
を測定データテーブル25に格納する。
と、例えば図7で示すように点P7まで測定がなされて
測定目標点18がモニタ画面4a外にあると判定される
と、ステップ104へ進む。
外にある測定目標点18がモニタ画面4aの中央にくる
ようにXYステージ5を移動させる。この移動を行なう
ためのステージ移動指令がXYステージ駆動部10へ出
力される。
の中央にある測定目標点18に指標15がくるように指
標15を移動させる。上記ステップ104,105の結
果、測定目標点18と指標15とは図8のようにモニタ
画面4aの中央に位置する。
ることにより、モニタ画面4aの中央にある測定目標点
18の測定点座標値を演算し、その演算結果を測定デー
タテーブル25に保存する。
10に進む。このステップ110の判定結果がNoであ
る間、上記ステップ103〜110を繰り返し、被検物
7の輪郭形状7aに沿って一定間隔で指標15を移動さ
せながら測定を行ない、各測定点の測定点座標値を演算
し、その演算結果を測定データテーブル25に格納す
る。
と、すなわち、ステップ109で設定した次の測定目標
点の座標がステップ101で取り込んだ測定終了位置の
座標値(最後の測定目標点の座標値)を越えると、図5
の処理を終了する。
定目標点18がモニタ画面4a内にある間、指標15を
測定目標点に移動させることにより、指標15が被検物
7の輪郭形状7aに沿って各測定点を順次移動し、各測
定点のエッジ座標値及び各測定点でのステージ座標値が
自動で検出される。測定中に測定目標点18がモニタ画
面4a外に位置したとき、測定目標点18がモニタ画面
4a内の中央に位置するように、XYステージ5を移動
させ、この移動後、指標15をモニタ画面4a内の中央
にある測定目標点18へ移動させ、これによって測定が
続行される。したがって、被検物7の一部分の像しか捉
えることができない場合でも、被検物7の全輪郭形状の
測定を自動で行なうことができる。
の一部分の像しか捉えることができない場合でも、被検
物7の全輪郭形状の自動測定を行なうことができるの
で、寸法の大きな被検物を測定することことができると
共に、CCDカメラの1画素当たりの寸法を大きくして
結像光学系12の拡大倍率を大きくすることにより、精
度の高い測定を行なうことができる。
に測定目標点18がモニタ画面4a外に位置したとき、
測定目標点18がモニタ画面4a内の中央に位置するよ
うに、XYステージ5を移動させるので、この移動後に
測定される被検物7の輪郭形状7aがどの方向に変化す
る場合でも、測定目標点18がモニタ画面4a外に再び
位置するまでの時間を十分に確保することができる。
郭形状7aに沿って各測定点を順次移動するように、輪
郭形状測定部22がXYステージ駆動部10及び指標移
動部23を制御する具体的な方法として、測定目標点1
8がモニタ画面4a内にある間、指標15を測定目標点
に移動させ、測定中に測定目標点18がモニタ画面4a
外に位置したとき、測定目標点18がモニタ画面4a内
の中央に位置するように、XYステージ5を移動させる
ようにしている。しかし、この発明はこれに限定される
ものではない。
内にある間、指標15を測定目標点に移動させると共
に、測定中に測定目標点18がモニタ画面4a外に位置
したとき、測定目標点18がモニタ画面4a内の、測定
目標点18が外れた端部とは反対側にある端部の近くに
位置するように、XYステージ5を移動させてもよい。
18がモニタ画面4a外に再び位置するまでの時間をよ
り長くすることができる。
の移動よりも短時間で行なえるので、測定目標点18が
モニタ画面4a内にある時間が長い程、効率良く測定が
行なえる。
明に係る画像測定機によれば、エッジ検出領域が被検物
の輪郭形状に沿って各測定点を順次移動するように、制
御手段がステージ駆動手段及び検出領域移動部に移動指
令を出力するので、被検物の一部分の像しか撮像手段で
捉えることができない場合でも、各測定点のエッジ座標
値及び各測定点でのステージ座標値が自動で検出され
る。したがって、被検物の一部分の像しか捉えることが
できない場合でも、被検物の全輪郭形状の測定を自動で
行なうことができる。
れば、測定目標点が撮像範囲内にある間、エッジ検出領
域が輪郭形状に沿って各測定点を順次移動して測定が行
なわれ、かつ測定中に測定目標点が撮像範囲外に位置し
たとき、測定目標点が撮像範囲内の所定位置に位置する
ようにステージを移動させ、この移動後、エッジ検出領
域を所定位置にある測定目標点へ移動させて測定が続行
される。そのため、測定目標点が撮像範囲内にある間
は、ステージを移動させずにエッジ検出領域のみを移動
させればよい。したがって、被検物の一部分の像しか捉
えることができない場合でも、測定の中断時間の少ない
効率的な自動測定を行なうことができる。
定機の概略構成を示すブロック図である。
構成図である。
される被検物を示す平面図である。
されるモニタのモニタ画面を示す平面図である。
を示すフローチャートである。
説明図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 直交する2方向に移動可能なステージ
と、前記ステージ上に載置された被検物の像を光学系を
介して捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を
出力する撮像手段と、前記電気信号を画像処理して被検
物の輪郭形状に沿った複数の測定点のエッジを検出し、
各測定点のエッジ座標値を表す信号を出力する画像処理
手段とを備え、前記輪郭形状の測定を行なう画像測定機
において、 前記ステージを、入力される移動指令に基づき前記2方
向に移動させるステージ駆動手段と、 前記ステージの座標を検出し、前記各測定点でのステー
ジ座標値を表す信号を出力するステージ座標検出手段
と、 前記撮像手段の撮像範囲内のエッジ検出領域を、入力さ
れる移動指令に基づき移動させる検出領域移動部と、 前記エッジ検出領域が前記輪郭形状に沿って前記各測定
点を順次移動するように、前記ステージ駆動手段及び前
記検出領域移動部に移動指令を出力する制御手段とを備
えていることを特徴とする画像測定機。 - 【請求項2】 前記制御手段は、前記エッジ検出領域の
次の移動先である測定目標点が前記撮像範囲内にあると
き、前記エッジ検出領域を前記測定目標点へ移動させる
ための移動指令を前記検出領域移動部へ出力し、かつ前
記測定目標点が前記撮像範囲外に位置したとき、前記測
定目標点が前記撮像範囲内の所定位置に位置するように
前記ステージを移動させるための移動指令を前記ステー
ジ駆動手段へ出力するように構成されていることを特徴
とする請求項1記載の画像測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01836596A JP3552381B2 (ja) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | 画像測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01836596A JP3552381B2 (ja) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | 画像測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09189512A true JPH09189512A (ja) | 1997-07-22 |
JP3552381B2 JP3552381B2 (ja) | 2004-08-11 |
Family
ID=11969682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01836596A Expired - Fee Related JP3552381B2 (ja) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | 画像測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3552381B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014085236A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Makino Milling Mach Co Ltd | ワーク形状測定方法およびワーク形状測定装置 |
JP2014153146A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Shimadzu Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
-
1996
- 1996-01-09 JP JP01836596A patent/JP3552381B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014085236A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Makino Milling Mach Co Ltd | ワーク形状測定方法およびワーク形状測定装置 |
JP2014153146A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Shimadzu Corp | 外観検査方法及び外観検査装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3552381B2 (ja) | 2004-08-11 |
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