JPH09189512A - 画像測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被検物の一部分の像しか捉えることができな
い場合でも被検物の全輪郭形状の自動測定が可能な画像
測定機を提供する。 【解決手段】 ＸＹステージ上にある被検物の像を捉え
るＣＣＤカメラ１３と画像処理部２１とを備えた画像測
定機において、ステージを移動させるＸＹステージ駆動
部１０と、ステージ座標値を検出するステージ位置検出
部１１と、モニタ４の画面上で指標を移動させる指標移
動部２３と、指標の移動先である測定目標点が画面内に
あるとき指標を測定目標点へ移動させ、かつ測定目標点
が撮像範囲外に位置したとき、測定目標点が画面内の中
央に位置するようにステージを移動させる制御を行なう
輪郭形状測定部２２とを備える。測定中に測定目標点が
画面から外れると、測定目標点が画面内の中央にくるよ
うにステージを移動させ、この後、指標を測定目標点へ
移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、被検物の輪郭形
状の測定を行なう画像測定機に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の画像測定機としては、例
えば、直交する２方向に移動可能なステージと、ステー
ジ上に載置された被検物の像を光学系を介して上方から
捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を出力す
るＣＣＤカメラと、前記電気信号を画像処理して被検物
の輪郭形状に沿った複数の測定点のエッジを検出し、各
測定点のエッジ座標値を表す信号を出力する画像処理手
段とを備えたものが知られている。

【０００３】この画像測定機では、ステージをある位置
に固定した状態で被検物の像をＣＣＤカメラで捉え、こ
の捉えた像の光強度分布に応じた電気信号がＣＣＤカメ
ラから出力され、この電気信号が画像処理手段により画
像処理される。画像処理手段から出力される各測定点の
エッジ座標値を表す信号と、ステージの座標値とから各
測定点の座標値が得られる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、ステージをある位置に固定した状態で被検
物の像をＣＣＤカメラで捉えるので、ＣＣＤカメラで捉
えた一つの像内にある被検物の輪郭形状しか測定するこ
とができない。そのため、寸法の大きな被検物の場合、
あるいはＣＣＤカメラの１画素当たりの寸法を大きくし
て測定精度を高めるために光学系の拡大倍率を大きくし
た場合には、被検物の一部分の像しかＣＣＤカメラで捉
えることができず、被検物の全輪郭形状の測定を自動で
行なうことができないという問題点があった。この発明
はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は
被検物の一部分の像しか捉えることができない場合でも
被検物の全輪郭形状の自動測定が可能な画像測定機を提
供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明に係る画像測定機は、直交する２
方向に移動可能なステージと、前記ステージ上に載置さ
れた被検物の像を光学系を介して捉え、捉えた像の光強
度分布に応じた電気信号を出力する撮像手段と、前記電
気信号を画像処理して被検物の輪郭形状に沿った複数の
測定点のエッジを検出し、各測定点のエッジ座標値を表
す信号を出力する画像処理手段とを備え、前記輪郭形状
の測定を行なう画像測定機において、前記ステージを、
入力される移動指令に基づき前記２方向に移動させるス
テージ駆動手段と、前記ステージの座標を検出し、前記
各測定点でのステージ座標値を表す信号を出力するステ
ージ座標検出手段と、前記撮像手段の撮像範囲内のエッ
ジ検出領域を、入力される移動指令に基づき移動させる
検出領域移動部と、前記エッジ検出領域が前記輪郭形状
に沿って前記各測定点を順次移動するように、前記ステ
ージ駆動手段及び前記検出領域移動部に移動指令を出力
する制御手段とを備えていることを特徴とする。

【０００６】エッジ検出領域が被検物の輪郭形状に沿っ
て各測定点を順次移動するように、制御手段がステージ
駆動手段及び検出領域移動部に移動指令を出力するの
で、被検物の一部分の像しか撮像手段で捉えることがで
きない場合でも、各測定点のエッジ座標値及び各測定点
でのステージ座標値が自動で検出される。

【０００７】請求項２記載の発明に係る画像測定機は、
前記制御手段は、前記エッジ検出領域の次の移動先であ
る測定目標点が前記撮像範囲内にあるとき、前記エッジ
検出領域を前記測定目標点へ移動させるための移動指令
を前記検出領域移動部へ出力し、かつ前記測定目標点が
前記撮像範囲外に位置したとき、前記測定目標点が前記
撮像範囲内の所定位置に位置するように前記ステージを
移動させるための移動指令を前記ステージ駆動手段へ出
力するように構成されていることを特徴とする。

【０００８】測定目標点が撮像範囲内にあるとき、エッ
ジ検出領域を測定目標点へ移動させる。これによって、
測定目標点が撮像範囲内にある間、エッジ検出領域が輪
郭形状に沿って各測定点を順次移動し、各測定点のエッ
ジ座標値が自動で検出される。測定中に測定目標点が撮
像範囲外に位置したとき、測定目標点が撮像範囲内の所
定位置に位置するようにステージを移動させ、この移動
後にエッジ検出領域を所定位置にある測定目標点へ移動
させる。これによって、測定が続行される。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。

【００１０】図１はこの発明の一実施形態に係る画像測
定機を示すブロック図、図２は同画像測定機を示す概略
構成図である。

【００１１】画像測定機は、図１及び図２に示すよう
に、測定機本体１と制御ユニット２とを備えている。測
定機本体１には支持体３が、制御ユニット２にはモニタ
４がそれぞれ設けられている。

【００１２】測定機本体１は、支持体３のベース部３ａ
上に設けられたＸＹステージ５と、このステージ５の上
方に位置するように支持体３の支柱部３ｂに支持された
撮像部６とを備えている。

【００１３】ＸＹステージ５は、水平面内における直交
する２方向（Ｘ軸及びＹ軸方向）に移動可能である。こ
のステージ５の上面に、二次元的な輪郭形状を有しかつ
僅かな厚みを有する被検物（例えば図３に示すような被
検物）７が載置される。被検物７は、ベース部３ａに設
けられた透過照明光学系８又は撮像部６に設けられた落
射照明光学系９によって照明される（図２参照）。

【００１４】ＸＹステージ５には、図１に示すように、
入力されるステージ移動指令に基づきＸＹステージ５を
２方向に電動で移動させるＸＹステージ駆動部１０と、
ＸＹステージ５の座標を検出し、ステージ座標値を表わ
す信号を出力するステージ位置検出部１１とが設けられ
ている。ＸＹステージ駆動部１０は、ＸＹステージ５を
Ｘ軸及びＹ軸方向にそれぞれ駆動するＸ軸用モータ及び
Ｙ軸用モータ（図示略）を有する。ステージ位置検出部
１１は、ＸＹステージ５のＸ軸及びＹ軸方向の位置をそ
れぞれ検出するＸ軸用エンコーダ及びＹ軸用エンコーダ
（図示略）を有する。

【００１５】撮像部６には、落射照明光学系９の他に、
被検物７からの光を結像する結像光学系１２と、この光
学系１２により結像された被検物７の像を捉え（受
け）、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を出力す
るＣＣＤカメラ１３とが設けられている。結像光学系１
２の拡大倍率は、固定であっても、可変であってもよ
い。

【００１６】制御ユニット２は、図１に示すように、Ｃ
ＣＤカメラ１３から出力される電気信号が入力される画
像処理部２１と、輪郭形状測定部２２と、指標移動部２
３と、測定条件テーブル２４と、測定データテーブル２
５と、データ出力部２６とを備えている。制御ユニット
２は、それぞれ図示を省略したキーボードなどの入力装
置、入力回路、出力回路、中央演算処理回路などを有す
るコンピュータで構成されている。

【００１７】画像処理部２１は、ＣＣＤカメラ１３の各
画素から出力される電気信号を画像処理し、捉えた被検
物７の像をモニタ４のモニタ画面４ａ（図４参照）上に
画像として表示させるための画像信号をモニタ４へ出力
するように構成されている。また、画像処理部２１は、
指標移動部２３から出力される指標位置のデータを受
け、エッジの検出領域を示す指標１５をモニタ画面４ａ
上の前記指標位置のデータに対応する位置に表示させる
ための信号をモニタ４へ出力するように構成されてい
る。さらに、画像処理部２１は、ＣＣＤカメラ１３から
出力される電気信号を画像処理し、指標１５内にある被
検物７の輪郭形状７ａのエッジを検出し、検出したエッ
ジ点１６（図４参照）のモニタ画面４ａ内での座標値
（エッジ座標値）を輪郭形状７ａに沿った各測定点１７
（図３参照）について順次検出し、各エッジ座標値のデ
ータを輪郭形状測定部２２へ出力するように構成されて
いる。

【００１８】輪郭形状測定部２２は、被検物７の輪郭形
状７ａに沿ってある間隔で（例えば一定間隔で）で各測
定点１７のエッジ座標値を取り込む輪郭形状測定（スキ
ャニング測定）を実行するように構成されている。輪郭
形状測定部２２は、輪郭形状測定を行なうために、指標
１５の移動先である測定目標点１８（図６参照）を設定
し、この設定した測定目標点１８に対応する指標移動指
令及びステージ移動指令を指標移動部２３及びＸＹステ
ージ駆動部１０にそれぞれ出力するように構成されてい
る。

【００１９】また、輪郭形状測定部２２は、画像処理部
２１から出力される各測定点のエッジ座標値と、ステー
ジ位置検出部１１から出力される各測定でのステージ座
標値とに基づき各測定点の座標値（測定点座標値）を演
算し、その演算結果を測定データテーブル２５へ順次出
力する測定点座標値演算部２７を備えている。この演算
部２７は、下記の式で表す演算を行なう。

【００２０】（測定点座標値）＝（ステージ座標値）＋
（エッジ座標値×モニタ画面補正値） ここで、モニタ画面補正値は、ＸＹステージ５上での寸
法とモニタ画面４ａ上での寸法との比である。

【００２１】指標移動部２３は、輪郭形状測定部２２か
ら出力される指標移動指令に基づき、指標１５を目標測
定点に移動させるための指標位置のデータを画像処理部
２１へ出力するようになっている。

【００２２】測定条件テーブル２４は、被検物７の輪郭
形状７ａの測定開始位置（最初の測定点）及び測定終了
位置（最後の測定点）の座標をそれぞれ表すデータ、各
測定点１７の間隔（例えば一定間隔）を表すデータなど
を含む測定条件が予めキーボードなどにより入力されて
記憶されている。

【００２３】測定データテーブル２５は、輪郭形状測定
部２２から出力される各測定点の座標値（測定点座標
値）のデータを格納する。

【００２４】データ出力部２６は、測定終了後に測定デ
ータテーブル２５に格納された測定データ（全測定点の
座標値）を表示又は印刷して出力するためのものであ
る。

【００２５】次に、上記構成を有する一実施形態の動作
を図５のフローチャート及び図６〜図８に基づいて説明
する。図６〜図８において、黒丸の点は測定が終了した
測定点を、白丸の点は測定目標点をそれぞれ示してい
る。

【００２６】図５に示す輪郭形状測定処理が開始される
と、ステップ１０１で、予め設定された測定開始位置と
測定終了位置の座標値をそれぞれ取り込む。

【００２７】次のステップ１０２では、ステップ１０１
で取り込んだ測定開始位置を、最初の測定目標点（例え
ば図６に示す点Ｐ１）に設定する。

【００２８】次のステップ１０３では、ステップ１０２
で設定した測定目標点（ここでは最初の測定目標点）が
モニタ画面４ａの範囲外か否かを判定する。この判定は
例えば次のように行なう。

【００２９】モニタ画面４ａの中心をＸＹ座標の原点と
すると、以下の（１）〜（４）のいずれか一つに該当し
た場合に、設定した測定目標点がモニタ画面４ａの範囲
外にあると判定し、（１）〜（４）のいずれにも該当し
ない場合には設定した測定目標点がモニタ画面４ａの範
囲内にあると判定する。 （１）設定した測定目標点の座標（Ｘｄ、Ｙｄ）のＸ座
標値（Ｘｄ）が、モニタ画面４ａの右端とＸ軸の交点の
座標のＸ座標値（＋Ｘmax ）以上になったとき。 （２）座標（Ｘｄ、Ｙｄ）のＸ座標値（Ｘｄ）が、モニ
タ画面４ａの左端とＸ軸の交点の座標のＸ座標値（ーＸ
max ）以下になったとき。 （３）座標（Ｘｄ、Ｙｄ）のＹ座標値（Ｙｄ）が、モニ
タ画面４ａの上端とＹ軸の交点の座標のＹ座標値（＋Ｙ
max ）以上になったとき。 （４）座標（Ｘｄ、Ｙｄ）のＹ座標値（Ｙｄ）が、モニ
タ画面４ａの下端とＹ軸の交点の座標のＹ座標値（ーＹ
max ）以下になったとき。

【００３０】ステップ１０３の判定結果がＮｏの場合、
すなわち最初の測定目標点（図６の点Ｐ１）がモニタ画
面４ａ内にある場合、ステップ１０５へ進み、最初の測
定目標点（Ｐ１）に指標１５がくるように指標１５を移
動させる。このとき、最初の測定目標点（Ｐ１）に対応
する指標移動指令が輪郭形状測定部２２から指標移動部
２３へ出力される。この指標移動指令に応じた指標位置
のデータが指標移動部２３から画像処理部２１へ出力さ
れる。この指標位置のデータに対応するモニタ画面４ａ
内の位置に指標１５を表示させる（移動させる）ための
信号が、画像処理部２１からモニタ４へ出力される。こ
れによって、モニタ画面４ａ上において指標１５が最初
の測定目標点（Ｐ１）に表示される（図６参照）。

【００３１】次のステップ１０６では、指標１５内にあ
る輪郭形状７ａのエッジ点座標（最初の測定目標点（Ｐ
１）のエッジ座標値）を取り込む。すなわち、画像処理
部２１から出力されるエッジ座標値を取り込む。

【００３２】次のステップ１０７では、ステージ位置検
出部１１から出力されるステージ座標値と、ステップ１
０６で取り込んだエッジ座標値とに基づき指標１５内に
ある最初の測定目標点（Ｐ１）の座標値（測定点座標
値）を演算する。すなわち、測定点座標値演算部２７で
上記式の演算を行なう。

【００３３】次のステップ１０８では、ステップ１０７
で演算した最初の測定目標点（Ｐ１）の測定点座標値を
測定データテーブル２５へ出力して保存する（格納す
る）。

【００３４】次のステップ１０９では、次の測定目標点
を設定する。このとき、測定条件テーブルに予め記憶さ
れた記憶された各測定点１７間の一定間隔を表すデータ
を取り込み、最初の測定目標点（Ｐ１）から一定間隔離
れた位置に次の測定目標点を設定する。

【００３５】この設定後、次のステップ１１０に進み、
終了条件を満たしたか否かを判定する。すなわち、ステ
ップ１０９で設定した次の測定目標点の座標がステップ
１０１で取り込んだ測定終了位置の座標値（最後の測定
目標点の座標値）を越えたか否かを判定する。ここで
は、ステップ１０９で設定した次の測定目標点は最初の
測定目標点（Ｐ１）の次の点であるので、ステップ１１
０の判定結果はＮｏになり、ステップ１０３に戻る。

【００３６】このとき、ステップ１０３では、ステップ
１０９で設定した次の測定目標点（図６の点Ｐ２）がモ
ニタ画面４ａの範囲外か否かを判定する。

【００３７】このステップ１０３の判定結果がＮｏであ
る間、例えば図６で示すように測定目標点１８がモニタ
画面４ａ内にある間、上記ステップ１０３、及びステッ
プ１０５〜１１０を繰り返し、被検物７の輪郭形状７ａ
に沿って一定間隔で指標１５を移動させながら測定を行
ない、各測定点の測定点座標値を演算し、その演算結果
を測定データテーブル２５に格納する。

【００３８】ステップ１０３の判定結果がＹｅｓになる
と、例えば図７で示すように点Ｐ７まで測定がなされて
測定目標点１８がモニタ画面４ａ外にあると判定される
と、ステップ１０４へ進む。

【００３９】このステップ１０４では、モニタ画面４ａ
外にある測定目標点１８がモニタ画面４ａの中央にくる
ようにＸＹステージ５を移動させる。この移動を行なう
ためのステージ移動指令がＸＹステージ駆動部１０へ出
力される。

【００４０】次のステップ１０５では、モニタ画面４ａ
の中央にある測定目標点１８に指標１５がくるように指
標１５を移動させる。上記ステップ１０４，１０５の結
果、測定目標点１８と指標１５とは図８のようにモニタ
画面４ａの中央に位置する。

【００４１】この後、ステップ１０６〜１０９を実行す
ることにより、モニタ画面４ａの中央にある測定目標点
１８の測定点座標値を演算し、その演算結果を測定デー
タテーブル２５に保存する。

【００４２】この後、ステップ１０８を経てステップ１
１０に進む。このステップ１１０の判定結果がＮｏであ
る間、上記ステップ１０３〜１１０を繰り返し、被検物
７の輪郭形状７ａに沿って一定間隔で指標１５を移動さ
せながら測定を行ない、各測定点の測定点座標値を演算
し、その演算結果を測定データテーブル２５に格納す
る。

【００４３】ステップ１１０の判定結果がＹｅｓになる
と、すなわち、ステップ１０９で設定した次の測定目標
点の座標がステップ１０１で取り込んだ測定終了位置の
座標値（最後の測定目標点の座標値）を越えると、図５
の処理を終了する。

【００４４】このように、上記一実施形態によれば、測
定目標点１８がモニタ画面４ａ内にある間、指標１５を
測定目標点に移動させることにより、指標１５が被検物
７の輪郭形状７ａに沿って各測定点を順次移動し、各測
定点のエッジ座標値及び各測定点でのステージ座標値が
自動で検出される。測定中に測定目標点１８がモニタ画
面４ａ外に位置したとき、測定目標点１８がモニタ画面
４ａ内の中央に位置するように、ＸＹステージ５を移動
させ、この移動後、指標１５をモニタ画面４ａ内の中央
にある測定目標点１８へ移動させ、これによって測定が
続行される。したがって、被検物７の一部分の像しか捉
えることができない場合でも、被検物７の全輪郭形状の
測定を自動で行なうことができる。

【００４５】また、上記一実施形態によれば、被検物７
の一部分の像しか捉えることができない場合でも、被検
物７の全輪郭形状の自動測定を行なうことができるの
で、寸法の大きな被検物を測定することことができると
共に、ＣＣＤカメラの１画素当たりの寸法を大きくして
結像光学系１２の拡大倍率を大きくすることにより、精
度の高い測定を行なうことができる。

【００４６】さらに、上記一実施形態によれば、測定中
に測定目標点１８がモニタ画面４ａ外に位置したとき、
測定目標点１８がモニタ画面４ａ内の中央に位置するよ
うに、ＸＹステージ５を移動させるので、この移動後に
測定される被検物７の輪郭形状７ａがどの方向に変化す
る場合でも、測定目標点１８がモニタ画面４ａ外に再び
位置するまでの時間を十分に確保することができる。

【００４７】なお、上記一実施形態では、指標１５が輪
郭形状７ａに沿って各測定点を順次移動するように、輪
郭形状測定部２２がＸＹステージ駆動部１０及び指標移
動部２３を制御する具体的な方法として、測定目標点１
８がモニタ画面４ａ内にある間、指標１５を測定目標点
に移動させ、測定中に測定目標点１８がモニタ画面４ａ
外に位置したとき、測定目標点１８がモニタ画面４ａ内
の中央に位置するように、ＸＹステージ５を移動させる
ようにしている。しかし、この発明はこれに限定される
ものではない。

【００４８】例えば、測定目標点１８がモニタ画面４ａ
内にある間、指標１５を測定目標点に移動させると共
に、測定中に測定目標点１８がモニタ画面４ａ外に位置
したとき、測定目標点１８がモニタ画面４ａ内の、測定
目標点１８が外れた端部とは反対側にある端部の近くに
位置するように、ＸＹステージ５を移動させてもよい。

【００４９】このように構成した場合には、測定目標点
１８がモニタ画面４ａ外に再び位置するまでの時間をよ
り長くすることができる。

【００５０】エッジ検出領域の移動は、ＸＹステージ５
の移動よりも短時間で行なえるので、測定目標点１８が
モニタ画面４ａ内にある時間が長い程、効率良く測定が
行なえる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明に係る画像測定機によれば、エッジ検出領域が被検物
の輪郭形状に沿って各測定点を順次移動するように、制
御手段がステージ駆動手段及び検出領域移動部に移動指
令を出力するので、被検物の一部分の像しか撮像手段で
捉えることができない場合でも、各測定点のエッジ座標
値及び各測定点でのステージ座標値が自動で検出され
る。したがって、被検物の一部分の像しか捉えることが
できない場合でも、被検物の全輪郭形状の測定を自動で
行なうことができる。

【００５２】請求項２記載の発明に係る画像測定機によ
れば、測定目標点が撮像範囲内にある間、エッジ検出領
域が輪郭形状に沿って各測定点を順次移動して測定が行
なわれ、かつ測定中に測定目標点が撮像範囲外に位置し
たとき、測定目標点が撮像範囲内の所定位置に位置する
ようにステージを移動させ、この移動後、エッジ検出領
域を所定位置にある測定目標点へ移動させて測定が続行
される。そのため、測定目標点が撮像範囲内にある間
は、ステージを移動させずにエッジ検出領域のみを移動
させればよい。したがって、被検物の一部分の像しか捉
えることができない場合でも、測定の中断時間の少ない
効率的な自動測定を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の第１の実施形態に係る画像測
定機の概略構成を示すブロック図である。

【図２】図２は第１の実施形態に係る画像測定機の概略
構成図である。

【図３】図３は第１の実施形態に係る画像測定機で測定
される被検物を示す平面図である。

【図４】図４は第１の実施形態に係る画像測定機で使用
されるモニタのモニタ画面を示す平面図である。

【図５】図５は第１の実施形態に係る画像測定機の動作
を示すフローチャートである。

【図６】図６は第１の実施形態に係る画像測定機の動作
説明図である。

【図７】図７は図６と同様の動作説明図である。

【図８】図８は図６と同様の動作説明図である。

【符号の説明】 ５ ＸＹステージ（ステージ） ７ 被検物 ７ａ 輪郭形状 １０ ＸＹステージ駆動部（ステージ駆動手段） １１ ステージ位置検出部（ステージ座標検出手段） １３ ＣＣＤカメラ（撮像手段） １５ 指標（エッジ検出領域） ２１ 画像処理部（画像処理手段） ２２ 輪郭形状測定部（制御手段） ２３ 指標移動部（検出領域移動部）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直交する２方向に移動可能なステージ
   と、前記ステージ上に載置された被検物の像を光学系を
   介して捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を
   出力する撮像手段と、前記電気信号を画像処理して被検
   物の輪郭形状に沿った複数の測定点のエッジを検出し、
   各測定点のエッジ座標値を表す信号を出力する画像処理
   手段とを備え、前記輪郭形状の測定を行なう画像測定機
   において、 前記ステージを、入力される移動指令に基づき前記２方
   向に移動させるステージ駆動手段と、 前記ステージの座標を検出し、前記各測定点でのステー
   ジ座標値を表す信号を出力するステージ座標検出手段
   と、 前記撮像手段の撮像範囲内のエッジ検出領域を、入力さ
   れる移動指令に基づき移動させる検出領域移動部と、 前記エッジ検出領域が前記輪郭形状に沿って前記各測定
   点を順次移動するように、前記ステージ駆動手段及び前
   記検出領域移動部に移動指令を出力する制御手段とを備
   えていることを特徴とする画像測定機。
2. 【請求項２】 前記制御手段は、前記エッジ検出領域の
   次の移動先である測定目標点が前記撮像範囲内にあると
   き、前記エッジ検出領域を前記測定目標点へ移動させる
   ための移動指令を前記検出領域移動部へ出力し、かつ前
   記測定目標点が前記撮像範囲外に位置したとき、前記測
   定目標点が前記撮像範囲内の所定位置に位置するように
   前記ステージを移動させるための移動指令を前記ステー
   ジ駆動手段へ出力するように構成されていることを特徴
   とする請求項１記載の画像測定機。