JPH0651014A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH0651014A JPH0651014A JP4204078A JP20407892A JPH0651014A JP H0651014 A JPH0651014 A JP H0651014A JP 4204078 A JP4204078 A JP 4204078A JP 20407892 A JP20407892 A JP 20407892A JP H0651014 A JPH0651014 A JP H0651014A
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- JP
- Japan
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- defect
- inclining
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- Pending
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明はピッチ変換部の短絡などの異常箇
所を容易に検査できるような欠陥検査装置を提供するこ
とを主要な特徴する。 【構成】 発光部４から光学系３を介してＸＹテーブル
２上に載置された被検査対象１にレーザ光が照射され、
その反射光が検出部６で検出されるとともに、被検査対
象１の拡大画像がテレビカメラ５で撮像され、その画像
出力が変換部７で変換されてＣＰＵ８に与えられる。Ｃ
ＰＵ８は検出部６の検出出力と画像出力とに応じて、被
検査対象１のピッチ変換部１３の斜めパターンの欠陥を
検査するとともに、駆動回路９を介してＸＹテーブル２
を傾斜部に沿って移動させる。
所を容易に検査できるような欠陥検査装置を提供するこ
とを主要な特徴する。 【構成】 発光部４から光学系３を介してＸＹテーブル
２上に載置された被検査対象１にレーザ光が照射され、
その反射光が検出部６で検出されるとともに、被検査対
象１の拡大画像がテレビカメラ５で撮像され、その画像
出力が変換部７で変換されてＣＰＵ８に与えられる。Ｃ
ＰＵ８は検出部６の検出出力と画像出力とに応じて、被
検査対象１のピッチ変換部１３の斜めパターンの欠陥を
検査するとともに、駆動回路９を介してＸＹテーブル２
を傾斜部に沿って移動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は欠陥検査装置に関し、
特に、液晶表示装置などの表示部と駆動回路接合部との
間のパターン間隔のピッチを変換するピッチ変換部の短
絡などの異常箇所を検査するような欠陥検査装置に関す
る。
特に、液晶表示装置などの表示部と駆動回路接合部との
間のパターン間隔のピッチを変換するピッチ変換部の短
絡などの異常箇所を検査するような欠陥検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図３はこの発明の背景となりかつこの発
明が適用される被検査対象とされる単純マトリックス方
式の液晶表示装置の一部を示す図である。図３におい
て、基板上には透明電極などの導電性物質による表示部
１１のパターンが形成されるとともに、ＩＣなどの駆動
回路が接続される駆動回路接合部１２とが形成されてい
る。これらの表示部１１のパターンと、駆動回路接合部
１２のパターンのそれぞれのピッチが異なるため、それ
ぞれのパターンを接続するために傾斜して形成されたピ
ッチ変換部１３が設けられている。
明が適用される被検査対象とされる単純マトリックス方
式の液晶表示装置の一部を示す図である。図３におい
て、基板上には透明電極などの導電性物質による表示部
１１のパターンが形成されるとともに、ＩＣなどの駆動
回路が接続される駆動回路接合部１２とが形成されてい
る。これらの表示部１１のパターンと、駆動回路接合部
１２のパターンのそれぞれのピッチが異なるため、それ
ぞれのパターンを接続するために傾斜して形成されたピ
ッチ変換部１３が設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の表示部１１のパ
ターンと駆動回路接合部１２のパターンはそれぞれ平行
に配置されているため、短絡などの異常箇所を検査する
場合、比較的容易に検査することができる。ところが、
ピッチ変換部１３はそれぞれの傾斜が一様でないため、
短絡などの異常箇所を検査するのが困難である。従来、
隣合うパターンの短絡箇所の検査を行なう場合、表示部
１１の短絡箇所検査では、数本の触針を隣合うパターン
に接触させ、抵抗値などを測定することにより短絡箇所
の推定が可能である。しかしながら、ピッチ変換部１３
の短絡箇所を検査しようとすると、パターン１本ずつ傾
斜が異なるため、その傾斜情報をそれぞれ指定する必要
がある。さらに、測定のための触針の配置などを傾斜に
応じて変更しなければならず、その検査処理が複雑化
し、処理が困難であるという欠点があった。
ターンと駆動回路接合部１２のパターンはそれぞれ平行
に配置されているため、短絡などの異常箇所を検査する
場合、比較的容易に検査することができる。ところが、
ピッチ変換部１３はそれぞれの傾斜が一様でないため、
短絡などの異常箇所を検査するのが困難である。従来、
隣合うパターンの短絡箇所の検査を行なう場合、表示部
１１の短絡箇所検査では、数本の触針を隣合うパターン
に接触させ、抵抗値などを測定することにより短絡箇所
の推定が可能である。しかしながら、ピッチ変換部１３
の短絡箇所を検査しようとすると、パターン１本ずつ傾
斜が異なるため、その傾斜情報をそれぞれ指定する必要
がある。さらに、測定のための触針の配置などを傾斜に
応じて変更しなければならず、その検査処理が複雑化
し、処理が困難であるという欠点があった。
【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的は、ピ
ッチ変換部の短絡などの異常箇所を容易に検出できるよ
うな欠陥検査装置を提供することである。
ッチ変換部の短絡などの異常箇所を容易に検出できるよ
うな欠陥検査装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は平行に配置さ
れた複数の第１のパターンと、複数の第１のパターンと
は異なるピッチで平行に配置された複数の第２のパター
ンと、第１のパターンと第２のパターンとを接続するた
めに傾斜して形成された第３のパターンとを含む被検査
対象における第３のパターンの欠陥を検査する欠陥検査
装置であって、被検査対象をＸＹ方向に移動させるため
のテーブルと、被検査対象の画像を撮像するための撮像
手段と、撮像手段の出力に応じて、第３のパターンの傾
斜部の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って移動
させるとともに、欠陥を検査する演算制御手段を備えて
構成される。
れた複数の第１のパターンと、複数の第１のパターンと
は異なるピッチで平行に配置された複数の第２のパター
ンと、第１のパターンと第２のパターンとを接続するた
めに傾斜して形成された第３のパターンとを含む被検査
対象における第３のパターンの欠陥を検査する欠陥検査
装置であって、被検査対象をＸＹ方向に移動させるため
のテーブルと、被検査対象の画像を撮像するための撮像
手段と、撮像手段の出力に応じて、第３のパターンの傾
斜部の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って移動
させるとともに、欠陥を検査する演算制御手段を備えて
構成される。
【０００６】
【作用】この発明に係る欠陥検査装置は、被検査対象の
画像を撮像し、その撮像出力に応じて第３のパターンの
傾斜等の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って移
動させるとともに、欠陥を検査することにより、傾斜部
の情報をその都度入力する必要がなく、短絡などの欠陥
を容易に検査できる。
画像を撮像し、その撮像出力に応じて第３のパターンの
傾斜等の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って移
動させるとともに、欠陥を検査することにより、傾斜部
の情報をその都度入力する必要がなく、短絡などの欠陥
を容易に検査できる。
【０００７】
【実施例】図１はこの発明の一実施例の概略ブロック図
である。図１において、被検査対象１となる液晶表示装
置は、ＸＹテーブル２上に載置されていて、ＸＹテーブ
ル２はＸＹ方向に任意に移動可能にされている。光学系
３は発光部４からの光を被検査対象１に導き、被検査対
象１からの反射光を検出部６に導く。発光部４はたとえ
ばレーザ光などを被検査対象１に照射する。さらに、光
学系３は適切に光路を切換え、適切な拡大率で被検査対
象１の観測を可能とし、被検査対象の画像をテレビカメ
ラ５に導く。光学系３を介してテレビカメラ５で撮像さ
れた拡大画像の画像出力は変換部７に与えられ、ＣＰＵ
８で処理可能なデジタル信号に変換される。また、検出
部６の検出出力もＣＰＵ８に与えられる。
である。図１において、被検査対象１となる液晶表示装
置は、ＸＹテーブル２上に載置されていて、ＸＹテーブ
ル２はＸＹ方向に任意に移動可能にされている。光学系
３は発光部４からの光を被検査対象１に導き、被検査対
象１からの反射光を検出部６に導く。発光部４はたとえ
ばレーザ光などを被検査対象１に照射する。さらに、光
学系３は適切に光路を切換え、適切な拡大率で被検査対
象１の観測を可能とし、被検査対象の画像をテレビカメ
ラ５に導く。光学系３を介してテレビカメラ５で撮像さ
れた拡大画像の画像出力は変換部７に与えられ、ＣＰＵ
８で処理可能なデジタル信号に変換される。また、検出
部６の検出出力もＣＰＵ８に与えられる。
【０００８】ＣＰＵ８からＸＹテーブル２の駆動を指令
するための指令信号が駆動回路９に与えられ、駆動回路
９はＸＹテーブル２をＸＹ方向に移動させる。また、Ｃ
ＰＵ８は検出部６および変換部７の出力に応じて、被検
査対象１の欠陥を検査し、その結果を出力部１０に出力
する。
するための指令信号が駆動回路９に与えられ、駆動回路
９はＸＹテーブル２をＸＹ方向に移動させる。また、Ｃ
ＰＵ８は検出部６および変換部７の出力に応じて、被検
査対象１の欠陥を検査し、その結果を出力部１０に出力
する。
【０００９】図２はこの発明の一実施例の動作を説明す
るためのフロー図である。次に、図１ないし図３を参照
して、この発明の一実施例の具体的な動作について説明
する。前述の図３に示したような単純マトリックス方式
液晶表示装置のピッチ変換部１３は単純で定状的な形状
の繰返しのパターンよりなる表示部１１と接続されてい
るため、ＣＰＵ８は検査開始位置を事前に容易に知るこ
とができる。ＣＰＵ８は駆動回路９を介して、ＸＹテー
ブル２で被検査対象１を移動させ、テレビカメラ５は被
検査対象１の一部を図３に示すように拡大し、検査開始
位置に合わせる。テレビカメラ５の画像出力は変換部７
によってその輝度レベルが数値化され、その明るさで画
素ごとに二値化処理が施される。ＣＰＵ８は変換部７の
出力により、明るさが変化する部分を求めることによっ
て、表示部１１のパターンの境界を判定する。そして、
ＣＰＵ８はパターンの境界からその傾斜を算出し、ピッ
チ変換部１３の傾斜を決定する。
るためのフロー図である。次に、図１ないし図３を参照
して、この発明の一実施例の具体的な動作について説明
する。前述の図３に示したような単純マトリックス方式
液晶表示装置のピッチ変換部１３は単純で定状的な形状
の繰返しのパターンよりなる表示部１１と接続されてい
るため、ＣＰＵ８は検査開始位置を事前に容易に知るこ
とができる。ＣＰＵ８は駆動回路９を介して、ＸＹテー
ブル２で被検査対象１を移動させ、テレビカメラ５は被
検査対象１の一部を図３に示すように拡大し、検査開始
位置に合わせる。テレビカメラ５の画像出力は変換部７
によってその輝度レベルが数値化され、その明るさで画
素ごとに二値化処理が施される。ＣＰＵ８は変換部７の
出力により、明るさが変化する部分を求めることによっ
て、表示部１１のパターンの境界を判定する。そして、
ＣＰＵ８はパターンの境界からその傾斜を算出し、ピッ
チ変換部１３の傾斜を決定する。
【００１０】表示部１１と駆動回路接合部１２の間の水
平方向の距離もピッチ変換部１３の傾斜によらず一定で
あるため、事前に知ることができ、ピッチ変換部１３の
傾斜と水平方向の距離から垂直方向の距離が得られ、検
査終了位置を決定できる。この方法により、ＸＹテーブ
ル２を移動させながら検査することが可能となる。すな
わち、発光部４から光学系３を介して被検査対象１にレ
ーザ光が照射され、その反射光が光学系３を介して検出
部６で受光される。短絡箇所にレーザ光が照射される
と、その反射光量が変化するため、ＣＰＵ８は検出部６
の検出出力により異常を判断する。また、ＣＰＵ８は変
換部７の出力により、テレビカメラ５で撮像された画像
を逐次処理し、たとえばパターンマッチング法などの簡
便な手法により異常を検出することも可能である。ＣＰ
Ｕ８は異常検出情報を監視し、異常があった位置を記憶
する。ＣＰＵ８は順次ＸＹテーブル２をピッチ変換部１
３の傾斜部に沿って移動させ、上述の検査を繰返す。そ
して、検査終了位置にＸＹテーブル２の移動が完了する
と、出力装置１０を介して異常が認められた位置の座標
を出力し、検査を終了する。
平方向の距離もピッチ変換部１３の傾斜によらず一定で
あるため、事前に知ることができ、ピッチ変換部１３の
傾斜と水平方向の距離から垂直方向の距離が得られ、検
査終了位置を決定できる。この方法により、ＸＹテーブ
ル２を移動させながら検査することが可能となる。すな
わち、発光部４から光学系３を介して被検査対象１にレ
ーザ光が照射され、その反射光が光学系３を介して検出
部６で受光される。短絡箇所にレーザ光が照射される
と、その反射光量が変化するため、ＣＰＵ８は検出部６
の検出出力により異常を判断する。また、ＣＰＵ８は変
換部７の出力により、テレビカメラ５で撮像された画像
を逐次処理し、たとえばパターンマッチング法などの簡
便な手法により異常を検出することも可能である。ＣＰ
Ｕ８は異常検出情報を監視し、異常があった位置を記憶
する。ＣＰＵ８は順次ＸＹテーブル２をピッチ変換部１
３の傾斜部に沿って移動させ、上述の検査を繰返す。そ
して、検査終了位置にＸＹテーブル２の移動が完了する
と、出力装置１０を介して異常が認められた位置の座標
を出力し、検査を終了する。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、被検
査対象の画像を撮像し、その撮像出力に応じてパターン
の傾斜部の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って
移動させるとともに、欠陥を検査することにより、傾斜
部の情報を個別に入力することなく容易にその欠陥を検
査することができる。
査対象の画像を撮像し、その撮像出力に応じてパターン
の傾斜部の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って
移動させるとともに、欠陥を検査することにより、傾斜
部の情報を個別に入力することなく容易にその欠陥を検
査することができる。
【図１】この発明の一実施例の概略ブロック図である。
【図２】この発明の一実施例の動作を説明するためのフ
ロー図である。
ロー図である。
【図３】この発明の背景となりかつこの発明が適用され
る被検査対象とされる単純マトリックス方式の液晶表示
装置の一部を示す図である。
る被検査対象とされる単純マトリックス方式の液晶表示
装置の一部を示す図である。
１ 被検査対象 ２ ＸＹテーブル ３ 光学系 ４ 発光部 ５ テレビカメラ ６ 検出部 ７ 変換部 ８ ＣＰＵ ９ 駆動回路 １０ 出力部 １１ 表示部 １２ 駆動回路接合部 １３ ピッチ変換部
Claims (1)
- 【請求項１】 平行に配置された複数の第１のパターン
と、前記複数の第１のパターンとは異なるピッチで平行
に配置された複数の第２のパターンと、前記第１のパタ
ーンと前記第２のパターンとを接続するために傾斜して
形成された第３のパターンとを含む被検査対象における
前記第３のパターンの欠陥を検査する欠陥検査装置であ
って、 前記被検査対象をＸＹ方向に移動させるためのテーブ
ル、 前記被検査対象の画像を撮像するための撮像手段、およ
び前記撮像手段の出力に応じて、前記第３のパターンの
傾斜部の情報を演算し、前記テーブルを傾斜方向に沿っ
て移動させるとともに欠陥を検査する演算制御手段を備
えた、欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204078A JPH0651014A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204078A JPH0651014A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0651014A true JPH0651014A (ja) | 1994-02-25 |
Family
ID=16484417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4204078A Pending JPH0651014A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0651014A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100666731B1 (ko) * | 2004-08-14 | 2007-01-11 | 아이원스 주식회사 | 디스플레이 패널 검사용 비쥬얼 지그 장치 |
| JP2015069028A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | ブラザー工業株式会社 | 画像形成装置 |
| CN108146466A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-12 | 成都森川科技股份有限公司 | 自动过分相地面感应装置检测*** |
-
1992
- 1992-07-30 JP JP4204078A patent/JPH0651014A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100666731B1 (ko) * | 2004-08-14 | 2007-01-11 | 아이원스 주식회사 | 디스플레이 패널 검사용 비쥬얼 지그 장치 |
| JP2015069028A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | ブラザー工業株式会社 | 画像形成装置 |
| CN108146466A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-12 | 成都森川科技股份有限公司 | 自动过分相地面感应装置检测*** |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010227 |