JPH0651014A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH0651014A JPH0651014A JP4204078A JP20407892A JPH0651014A JP H0651014 A JPH0651014 A JP H0651014A JP 4204078 A JP4204078 A JP 4204078A JP 20407892 A JP20407892 A JP 20407892A JP H0651014 A JPH0651014 A JP H0651014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- output
- defect
- inclining
- cpu
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明はピッチ変換部の短絡などの異常箇
所を容易に検査できるような欠陥検査装置を提供するこ
とを主要な特徴する。 【構成】 発光部4から光学系3を介してXYテーブル
2上に載置された被検査対象1にレーザ光が照射され、
その反射光が検出部6で検出されるとともに、被検査対
象1の拡大画像がテレビカメラ5で撮像され、その画像
出力が変換部7で変換されてCPU8に与えられる。C
PU8は検出部6の検出出力と画像出力とに応じて、被
検査対象1のピッチ変換部13の斜めパターンの欠陥を
検査するとともに、駆動回路9を介してXYテーブル2
を傾斜部に沿って移動させる。
所を容易に検査できるような欠陥検査装置を提供するこ
とを主要な特徴する。 【構成】 発光部4から光学系3を介してXYテーブル
2上に載置された被検査対象1にレーザ光が照射され、
その反射光が検出部6で検出されるとともに、被検査対
象1の拡大画像がテレビカメラ5で撮像され、その画像
出力が変換部7で変換されてCPU8に与えられる。C
PU8は検出部6の検出出力と画像出力とに応じて、被
検査対象1のピッチ変換部13の斜めパターンの欠陥を
検査するとともに、駆動回路9を介してXYテーブル2
を傾斜部に沿って移動させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は欠陥検査装置に関し、
特に、液晶表示装置などの表示部と駆動回路接合部との
間のパターン間隔のピッチを変換するピッチ変換部の短
絡などの異常箇所を検査するような欠陥検査装置に関す
る。
特に、液晶表示装置などの表示部と駆動回路接合部との
間のパターン間隔のピッチを変換するピッチ変換部の短
絡などの異常箇所を検査するような欠陥検査装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図3はこの発明の背景となりかつこの発
明が適用される被検査対象とされる単純マトリックス方
式の液晶表示装置の一部を示す図である。図3におい
て、基板上には透明電極などの導電性物質による表示部
11のパターンが形成されるとともに、ICなどの駆動
回路が接続される駆動回路接合部12とが形成されてい
る。これらの表示部11のパターンと、駆動回路接合部
12のパターンのそれぞれのピッチが異なるため、それ
ぞれのパターンを接続するために傾斜して形成されたピ
ッチ変換部13が設けられている。
明が適用される被検査対象とされる単純マトリックス方
式の液晶表示装置の一部を示す図である。図3におい
て、基板上には透明電極などの導電性物質による表示部
11のパターンが形成されるとともに、ICなどの駆動
回路が接続される駆動回路接合部12とが形成されてい
る。これらの表示部11のパターンと、駆動回路接合部
12のパターンのそれぞれのピッチが異なるため、それ
ぞれのパターンを接続するために傾斜して形成されたピ
ッチ変換部13が設けられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述の表示部11のパ
ターンと駆動回路接合部12のパターンはそれぞれ平行
に配置されているため、短絡などの異常箇所を検査する
場合、比較的容易に検査することができる。ところが、
ピッチ変換部13はそれぞれの傾斜が一様でないため、
短絡などの異常箇所を検査するのが困難である。従来、
隣合うパターンの短絡箇所の検査を行なう場合、表示部
11の短絡箇所検査では、数本の触針を隣合うパターン
に接触させ、抵抗値などを測定することにより短絡箇所
の推定が可能である。しかしながら、ピッチ変換部13
の短絡箇所を検査しようとすると、パターン1本ずつ傾
斜が異なるため、その傾斜情報をそれぞれ指定する必要
がある。さらに、測定のための触針の配置などを傾斜に
応じて変更しなければならず、その検査処理が複雑化
し、処理が困難であるという欠点があった。
ターンと駆動回路接合部12のパターンはそれぞれ平行
に配置されているため、短絡などの異常箇所を検査する
場合、比較的容易に検査することができる。ところが、
ピッチ変換部13はそれぞれの傾斜が一様でないため、
短絡などの異常箇所を検査するのが困難である。従来、
隣合うパターンの短絡箇所の検査を行なう場合、表示部
11の短絡箇所検査では、数本の触針を隣合うパターン
に接触させ、抵抗値などを測定することにより短絡箇所
の推定が可能である。しかしながら、ピッチ変換部13
の短絡箇所を検査しようとすると、パターン1本ずつ傾
斜が異なるため、その傾斜情報をそれぞれ指定する必要
がある。さらに、測定のための触針の配置などを傾斜に
応じて変更しなければならず、その検査処理が複雑化
し、処理が困難であるという欠点があった。
【0004】それゆえに、この発明の主たる目的は、ピ
ッチ変換部の短絡などの異常箇所を容易に検出できるよ
うな欠陥検査装置を提供することである。
ッチ変換部の短絡などの異常箇所を容易に検出できるよ
うな欠陥検査装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明は平行に配置さ
れた複数の第1のパターンと、複数の第1のパターンと
は異なるピッチで平行に配置された複数の第2のパター
ンと、第1のパターンと第2のパターンとを接続するた
めに傾斜して形成された第3のパターンとを含む被検査
対象における第3のパターンの欠陥を検査する欠陥検査
装置であって、被検査対象をXY方向に移動させるため
のテーブルと、被検査対象の画像を撮像するための撮像
手段と、撮像手段の出力に応じて、第3のパターンの傾
斜部の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って移動
させるとともに、欠陥を検査する演算制御手段を備えて
構成される。
れた複数の第1のパターンと、複数の第1のパターンと
は異なるピッチで平行に配置された複数の第2のパター
ンと、第1のパターンと第2のパターンとを接続するた
めに傾斜して形成された第3のパターンとを含む被検査
対象における第3のパターンの欠陥を検査する欠陥検査
装置であって、被検査対象をXY方向に移動させるため
のテーブルと、被検査対象の画像を撮像するための撮像
手段と、撮像手段の出力に応じて、第3のパターンの傾
斜部の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って移動
させるとともに、欠陥を検査する演算制御手段を備えて
構成される。
【0006】
【作用】この発明に係る欠陥検査装置は、被検査対象の
画像を撮像し、その撮像出力に応じて第3のパターンの
傾斜等の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って移
動させるとともに、欠陥を検査することにより、傾斜部
の情報をその都度入力する必要がなく、短絡などの欠陥
を容易に検査できる。
画像を撮像し、その撮像出力に応じて第3のパターンの
傾斜等の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って移
動させるとともに、欠陥を検査することにより、傾斜部
の情報をその都度入力する必要がなく、短絡などの欠陥
を容易に検査できる。
【0007】
【実施例】図1はこの発明の一実施例の概略ブロック図
である。図1において、被検査対象1となる液晶表示装
置は、XYテーブル2上に載置されていて、XYテーブ
ル2はXY方向に任意に移動可能にされている。光学系
3は発光部4からの光を被検査対象1に導き、被検査対
象1からの反射光を検出部6に導く。発光部4はたとえ
ばレーザ光などを被検査対象1に照射する。さらに、光
学系3は適切に光路を切換え、適切な拡大率で被検査対
象1の観測を可能とし、被検査対象の画像をテレビカメ
ラ5に導く。光学系3を介してテレビカメラ5で撮像さ
れた拡大画像の画像出力は変換部7に与えられ、CPU
8で処理可能なデジタル信号に変換される。また、検出
部6の検出出力もCPU8に与えられる。
である。図1において、被検査対象1となる液晶表示装
置は、XYテーブル2上に載置されていて、XYテーブ
ル2はXY方向に任意に移動可能にされている。光学系
3は発光部4からの光を被検査対象1に導き、被検査対
象1からの反射光を検出部6に導く。発光部4はたとえ
ばレーザ光などを被検査対象1に照射する。さらに、光
学系3は適切に光路を切換え、適切な拡大率で被検査対
象1の観測を可能とし、被検査対象の画像をテレビカメ
ラ5に導く。光学系3を介してテレビカメラ5で撮像さ
れた拡大画像の画像出力は変換部7に与えられ、CPU
8で処理可能なデジタル信号に変換される。また、検出
部6の検出出力もCPU8に与えられる。
【0008】CPU8からXYテーブル2の駆動を指令
するための指令信号が駆動回路9に与えられ、駆動回路
9はXYテーブル2をXY方向に移動させる。また、C
PU8は検出部6および変換部7の出力に応じて、被検
査対象1の欠陥を検査し、その結果を出力部10に出力
する。
するための指令信号が駆動回路9に与えられ、駆動回路
9はXYテーブル2をXY方向に移動させる。また、C
PU8は検出部6および変換部7の出力に応じて、被検
査対象1の欠陥を検査し、その結果を出力部10に出力
する。
【0009】図2はこの発明の一実施例の動作を説明す
るためのフロー図である。次に、図1ないし図3を参照
して、この発明の一実施例の具体的な動作について説明
する。前述の図3に示したような単純マトリックス方式
液晶表示装置のピッチ変換部13は単純で定状的な形状
の繰返しのパターンよりなる表示部11と接続されてい
るため、CPU8は検査開始位置を事前に容易に知るこ
とができる。CPU8は駆動回路9を介して、XYテー
ブル2で被検査対象1を移動させ、テレビカメラ5は被
検査対象1の一部を図3に示すように拡大し、検査開始
位置に合わせる。テレビカメラ5の画像出力は変換部7
によってその輝度レベルが数値化され、その明るさで画
素ごとに二値化処理が施される。CPU8は変換部7の
出力により、明るさが変化する部分を求めることによっ
て、表示部11のパターンの境界を判定する。そして、
CPU8はパターンの境界からその傾斜を算出し、ピッ
チ変換部13の傾斜を決定する。
るためのフロー図である。次に、図1ないし図3を参照
して、この発明の一実施例の具体的な動作について説明
する。前述の図3に示したような単純マトリックス方式
液晶表示装置のピッチ変換部13は単純で定状的な形状
の繰返しのパターンよりなる表示部11と接続されてい
るため、CPU8は検査開始位置を事前に容易に知るこ
とができる。CPU8は駆動回路9を介して、XYテー
ブル2で被検査対象1を移動させ、テレビカメラ5は被
検査対象1の一部を図3に示すように拡大し、検査開始
位置に合わせる。テレビカメラ5の画像出力は変換部7
によってその輝度レベルが数値化され、その明るさで画
素ごとに二値化処理が施される。CPU8は変換部7の
出力により、明るさが変化する部分を求めることによっ
て、表示部11のパターンの境界を判定する。そして、
CPU8はパターンの境界からその傾斜を算出し、ピッ
チ変換部13の傾斜を決定する。
【0010】表示部11と駆動回路接合部12の間の水
平方向の距離もピッチ変換部13の傾斜によらず一定で
あるため、事前に知ることができ、ピッチ変換部13の
傾斜と水平方向の距離から垂直方向の距離が得られ、検
査終了位置を決定できる。この方法により、XYテーブ
ル2を移動させながら検査することが可能となる。すな
わち、発光部4から光学系3を介して被検査対象1にレ
ーザ光が照射され、その反射光が光学系3を介して検出
部6で受光される。短絡箇所にレーザ光が照射される
と、その反射光量が変化するため、CPU8は検出部6
の検出出力により異常を判断する。また、CPU8は変
換部7の出力により、テレビカメラ5で撮像された画像
を逐次処理し、たとえばパターンマッチング法などの簡
便な手法により異常を検出することも可能である。CP
U8は異常検出情報を監視し、異常があった位置を記憶
する。CPU8は順次XYテーブル2をピッチ変換部1
3の傾斜部に沿って移動させ、上述の検査を繰返す。そ
して、検査終了位置にXYテーブル2の移動が完了する
と、出力装置10を介して異常が認められた位置の座標
を出力し、検査を終了する。
平方向の距離もピッチ変換部13の傾斜によらず一定で
あるため、事前に知ることができ、ピッチ変換部13の
傾斜と水平方向の距離から垂直方向の距離が得られ、検
査終了位置を決定できる。この方法により、XYテーブ
ル2を移動させながら検査することが可能となる。すな
わち、発光部4から光学系3を介して被検査対象1にレ
ーザ光が照射され、その反射光が光学系3を介して検出
部6で受光される。短絡箇所にレーザ光が照射される
と、その反射光量が変化するため、CPU8は検出部6
の検出出力により異常を判断する。また、CPU8は変
換部7の出力により、テレビカメラ5で撮像された画像
を逐次処理し、たとえばパターンマッチング法などの簡
便な手法により異常を検出することも可能である。CP
U8は異常検出情報を監視し、異常があった位置を記憶
する。CPU8は順次XYテーブル2をピッチ変換部1
3の傾斜部に沿って移動させ、上述の検査を繰返す。そ
して、検査終了位置にXYテーブル2の移動が完了する
と、出力装置10を介して異常が認められた位置の座標
を出力し、検査を終了する。
【0011】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、被検
査対象の画像を撮像し、その撮像出力に応じてパターン
の傾斜部の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って
移動させるとともに、欠陥を検査することにより、傾斜
部の情報を個別に入力することなく容易にその欠陥を検
査することができる。
査対象の画像を撮像し、その撮像出力に応じてパターン
の傾斜部の情報を演算し、テーブルを傾斜方向に沿って
移動させるとともに、欠陥を検査することにより、傾斜
部の情報を個別に入力することなく容易にその欠陥を検
査することができる。
【図1】この発明の一実施例の概略ブロック図である。
【図2】この発明の一実施例の動作を説明するためのフ
ロー図である。
ロー図である。
【図3】この発明の背景となりかつこの発明が適用され
る被検査対象とされる単純マトリックス方式の液晶表示
装置の一部を示す図である。
る被検査対象とされる単純マトリックス方式の液晶表示
装置の一部を示す図である。
1 被検査対象 2 XYテーブル 3 光学系 4 発光部 5 テレビカメラ 6 検出部 7 変換部 8 CPU 9 駆動回路 10 出力部 11 表示部 12 駆動回路接合部 13 ピッチ変換部
Claims (1)
- 【請求項1】 平行に配置された複数の第1のパターン
と、前記複数の第1のパターンとは異なるピッチで平行
に配置された複数の第2のパターンと、前記第1のパタ
ーンと前記第2のパターンとを接続するために傾斜して
形成された第3のパターンとを含む被検査対象における
前記第3のパターンの欠陥を検査する欠陥検査装置であ
って、 前記被検査対象をXY方向に移動させるためのテーブ
ル、 前記被検査対象の画像を撮像するための撮像手段、およ
び前記撮像手段の出力に応じて、前記第3のパターンの
傾斜部の情報を演算し、前記テーブルを傾斜方向に沿っ
て移動させるとともに欠陥を検査する演算制御手段を備
えた、欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4204078A JPH0651014A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4204078A JPH0651014A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0651014A true JPH0651014A (ja) | 1994-02-25 |
Family
ID=16484417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4204078A Pending JPH0651014A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0651014A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100666731B1 (ko) * | 2004-08-14 | 2007-01-11 | 아이원스 주식회사 | 디스플레이 패널 검사용 비쥬얼 지그 장치 |
JP2015069028A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | ブラザー工業株式会社 | 画像形成装置 |
CN108146466A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-12 | 成都森川科技股份有限公司 | 自动过分相地面感应装置检测*** |
-
1992
- 1992-07-30 JP JP4204078A patent/JPH0651014A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100666731B1 (ko) * | 2004-08-14 | 2007-01-11 | 아이원스 주식회사 | 디스플레이 패널 검사용 비쥬얼 지그 장치 |
JP2015069028A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | ブラザー工業株式会社 | 画像形成装置 |
CN108146466A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-12 | 成都森川科技股份有限公司 | 自动过分相地面感应装置检测*** |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010227 |