JP4029362B2 - 吸着ヘッドの吸着漏れ検知装置 - Google Patents

吸着ヘッドの吸着漏れ検知装置 Download PDF

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Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、吸着ヘッドに吸着される移送対象物の吸着漏れの有無を検出する検知装置に関するもので、主としてボール供給ユニットより、ハンダボールを吸着ヘッドの吸着穴に吸着して、ＢＧＡ（ボールグリッドアレー）用基板へと移載するハンダボール供給装置において、吸着ヘッドの吸着穴にハンダボールが吸着されていない状態の検知に利用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】
ハンダボール供給装置における吸着ヘッドには、ＢＧＡ用基板に合わせてハンダボールが入るべき吸着穴が所定数開けられており、該吸着穴にハンダボールを吸着してＢＧＡ用基板へと移載するが、吸着されるべきハンダボールが一つでも欠けると、その部分のＢＧＡ用基板上には電極ができず、不良基板となってしまう。従って、ハンダボールの吸着漏れは確実に検知され、吸着漏れがあった場合、再度の吸着動作に戻らなければならない。
【０００３】
従来、ハンダボールの吸着漏れの検知は、画像処理装置を利用することにより行われるもので、ハンダボールを吸着する吸着穴の開けられた吸着ヘッドを光が透過するガラス等の素材で製作し、反射手段や回折手段を用いて吸着されたハンダボールの影を画像処理装置で検出するものであった。しかし、反射手段や回折手段等の機構が必要なほか、画像処理装置はコストがかかるものであり、さらに、吸着ヘッドがガラス等の透明な材質に限定されてしまうといった問題点を有していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、吸着漏れの検知手段として光源と光感知センサを用い、吸着ヘッドを吸着穴以外は遮光性を有する素材とし、光源の光が吸着穴を通過したことを光感知センサにて検知することにより、低コストにて確実に吸着漏れの検知ができる装置とすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、ハンダボールを吸着ヘッドの複数の吸着穴に吸着して移送する装置において、吸着ヘッドの移動路に光源を設け、吸着穴以外は遮光性を有する吸着ヘッドの内部に光源に対応する光感知センサを配置し、吸着穴と光感知センサの間に光を拡散する拡散板を設け、吸着穴を通過した光源の光を拡散板にて拡散して光感知センサにより検知することを特徴とする吸着ヘッドの吸着漏れ検知装置を提供する。
【０００６】
【実施例】
以下図示の実施例に従い説明する。図１は、本発明の一実施例が用いられているハンダボール供給装置の概略外観を示す斜視図であり、図２が、吸着漏れ検知状態を示す説明図であり、図３が、吸着漏れの無い状態を示す説明図である。図１中１が、ボール供給ユニットであり、２が吸着ヘッド、３がＢＧＡ用基板である。ハンダボール供給装置は、ボール供給ユニット１より、図３のようにハンダボール４を吸着ヘッド２の吸着穴５に吸着して、ＢＧＡ用基板３へと移載するものである。
【０００７】
本発明での吸着漏れ検知手段は、外部に設置される第１検知手段と吸着ヘッド２内に設置される第２検知手段よりなり、図１の実施例では、第１検知手段が光源６であり、第２検知手段が光感知センサ７である。光源６は、常時一定光量のものを利用する。実施例としてはタングステンライトやハロゲンライト、ライトガイド等が用いられる。光源６は、吸着ヘッド２の移動路上の外部に、吸着ヘッド２の吸着穴形成面８に向かって配置されている。
【０００８】
吸着ヘッド２は、図２及び図３に示されるように、遮光性ある素材で作製され、下面（光源６と対面する面）が吸着穴形成面８とされた密閉された箱状のもので、該吸着穴形成面８に、光の通過可能な吸着穴５が所定数開けられている。尚、側方の開口部はバキューム装置（図示されていない。）との連結口１２であり、連結口１２には遮光性ある素材の接続チューブが接続され、連結口１２からの光の進入はない。
【０００９】
吸着ヘッド２の内部の連結口１２より上方位置には、真空遮閉と光を拡散する目的の拡散板９が設けられている。実施例での拡散板９は、乳白色のガラス板又はアクリル板で作製されている。吸着ヘッド２内の天井部には、微弱な光も検知可能な光感知センサ７が設けられている。光感知センサ７は、フォトダイオードが用いられている。光感知センサ７は、１個のみでも良いが、幅広い範囲の正確な検知のため数個使用している。
【００１０】
以下、実施例でのハンダボール吸着漏れ検知状態を説明する。まず、ボール供給ユニット１内のハンダボール４を吸着ヘッド２にて、吸着穴５に真空吸着する。図２及び図３上部左方に示された太い矢印は真空吸引を示している。ハンダボール４を吸着した吸着ヘッド２は、Ｙ軸駆動モータ（図示されていない。）にて左右に、Ｚ軸駆動モータ１０にて上下に移動し、ＢＧＡ用基板３上にハンダボール４を移動させる。
【００１１】
吸着ヘッド２が、Ｙ軸移動ガイド１１に沿ってＢＧＡ用基板３方向へ移動中に、この移動路に設置された光源６の上を通過する。この際、ハンダボール４の吸着漏れの有無を検知する。ハンダボール４の吸着漏れの検知は、吸着ヘッド２の移動中でもよく、光源６上にて停止して行ってもよい。
【００１２】
この時１つでもハンダボール４の吸着漏れがあると、光が漏れ、検知可能となる。図２が、この状態を示す。すなわち、吸着ヘッド２が光源６上を通過する時、吸着漏れの吸着穴１５が存在すると吸着漏れの吸着穴１５から光が、図２で上方へ伸びる矢印のように吸着ヘッド２内部に侵入し、拡散板９にて拡散され、該光をフォトダイオードよりなる光感知センサ７にて検出する。検出された光は電気信号へ変換され、アンプ部にてＮＧと判断され、制御装置へＮＧ信号が送られる。これによりハンダボール供給装置は、吸着ヘッド２がＢＧＡ用基板３への移動を停止し、再度吸着動作へと戻ることになる。
【００１３】
他方、総ての吸着穴５にハンダボール４が吸着されている場合、図３に示されるように、光源６からの光は吸着ヘッド５内に進入することはできず、光感知センサ７は、光を感知せず、制御装置へＮＧ信号も発信されない。従って、吸着ヘッド２は、そのままＢＧＡ用基板３に向かう。本実施例では、かようにして吸着漏れを検知し、ハンダボール４の正確な供給を可能としているのである。
【００１５】
【発明の効果】
本発明の効果につき説明する。第１に、本発明は、吸着穴の吸着漏れの検知を光源と光感知センサにより行うものであるので、従来の画像処理装置に比べ極めて低価格で検知可能となった。
【００１６】
第２に、ハンダボールの影を検出するものではないので、画像処理装置だけでなく、従来必要だった反射手段や回折手段が不必要となり、構造がシンプルなものとなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例が利用されたハンダボール供給装置の概略外観を示す斜視図
【図２】本発明にて吸着漏れ検知状態を示す説明図
【図３】本発明にて吸着漏れの無い状態を示す説明図
【符号の説明】
１．．．ボール供給ユニット
２．．．吸着ヘッド
３．．．ＢＧＡ用基板
４．．．ハンダボール
５．．．吸着穴
６．．．光源
７．．．光感知センサ
８．．．吸着穴形成面
９．．．拡散板
１０．．．Ｚ軸駆動モータ
１１．．．Ｙ軸移動ガイド
１２．．．連結口
１５．．．吸着漏れの吸着穴

Claims (1)

  1. ハンダボールを吸着ヘッドの複数の吸着穴に吸着して移送する装置において、吸着ヘッドの移動路に光源を設け、吸着穴以外は遮光性を有する吸着ヘッドの内部に光源に対応する光感知センサを配置し、吸着穴と光感知センサとの間に光を拡散する拡散板を設け、吸着穴を通過した光源の光を拡散板にて拡散して光感知センサにより検知することを特徴とする吸着ヘッドの吸着漏れ検知装置。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1068759A (ja) * 1996-05-31 1998-03-10 Advantest Corp 吸着物検知装置、該装置を用いた吸着物検知方法、該装置を用いた位置ずれ検知方法、および該装置を用いた清掃方法
JP4143788B2 (ja) * 1999-08-04 2008-09-03 澁谷工業株式会社 ボールマウント装置及びマウント方法
JP2007201433A (ja) * 2005-12-27 2007-08-09 Nidec-Read Corp 基板保持台
US9243726B2 (en) 2012-10-03 2016-01-26 Aarne H. Reid Vacuum insulated structure with end fitting and method of making same
CN103801786B (zh) * 2014-01-17 2017-06-20 浙江田中精机股份有限公司 一种直线焊锡机的机械臂机构
US9463918B2 (en) 2014-02-20 2016-10-11 Aarne H. Reid Vacuum insulated articles and methods of making same
US10497908B2 (en) 2015-08-24 2019-12-03 Concept Group, Llc Sealed packages for electronic and energy storage devices
US10065256B2 (en) * 2015-10-30 2018-09-04 Concept Group Llc Brazing systems and methods
EP3423854A4 (en) 2016-03-04 2020-01-01 Concept Group LLC IMPROVED VACUUM INSULATING ARTICLES WITH REFLECTIVE MATERIAL
WO2018093781A1 (en) 2016-11-15 2018-05-24 Reid Aarne H Enhanced vacuum-insulated articles with microporous insulation
EP3541722A4 (en) 2016-11-15 2020-07-08 Concept Group LLC MULTIPLE INSULATION ASSEMBLIES
JP2020531764A (ja) 2017-08-25 2020-11-05 コンセプト グループ エルエルシー 複合的ジオメトリおよび複合的材料の断熱部品
AU2021200176A1 (en) * 2020-01-28 2021-08-12 Flexopack S.A. Oven skin packaging film

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5615823A (en) * 1994-07-26 1997-04-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Soldering ball mounting apparatus and method
JP2814934B2 (ja) * 1994-07-26 1998-10-27 松下電器産業株式会社 半田ボールの搭載装置および搭載方法
JP3079921B2 (ja) * 1994-11-28 2000-08-21 松下電器産業株式会社 半田ボールの搭載装置および搭載方法

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