JPH0669323A

JPH0669323A - ウエハ検出装置およびウエハ位置決め装置

Info

Publication number: JPH0669323A
Application number: JP24267192A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Deguchi; 洋一出口
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1992-08-19
Filing date: 1992-08-19
Publication date: 1994-03-11

Abstract

(57)【要約】【目的】検出手段の発光部から照射される照射光がウ
エハにより乱反射されても受光部において前記反射光に
起因する誤検出を防止するウエハ検出装置およびウエハ
位置決め装置を提供するものである。【構成】本発明では、キャリア３内に収納された複数枚
のウエハ２の位置または枚数をウエハ２に対して光照射
する発光素子１３ａ，１３ｂと、この発光素子１３ａ，
１３ｂに対向する受光素子１４ａ，１４ｂにより光学的
に検出するウエハ検出装置１において、前記受光素子１
４ａ，１４ｂの入射光路に設けられた偏光素子１５で構
成されたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はウエハ検出装置およびウ
エハ位置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウエハキャリア内に収納されるウ
エハの枚数または位置を検出する手段として、例えば特
開昭６２−１３３２８６号公報が知られている。この検
出手段は前記ウエハキャリアに収納されるウエハの水平
方向でかつ対向する位置にそれぞれ発光部と受光部を設
け、かつ、ウエハの間を透過させることの出来る透過型
の赤外線レーザーを固定箇所に設け、前記ウエハキャリ
アが載置される載置台を上下移動させ、前記赤外線レー
ザー光がウエハにより遮光される遮光の数または位置を
測定することにより、ウエハの枚数または位置を検出す
るものであった。

【０００３】また、ウエハの外周に設けられたオリエン
テーション・フラットを所定場所に位置決めする手段と
して、例えば特開昭６０−２１３２０９号公報が知られ
ている。この手段は前記位置決め装置において、イメー
ジセンサーの発光部と受光部をウエハの垂直方向に互い
に対向する場所に固定配置させ、前記発光部より発光す
る帯状の赤外線レーザー光をウエハが遮光することによ
り、その遮光幅または透光幅を前記受光部により検出
し、その検出情報を基に前記ウエハの外周に設けられた
オリエンテーション・フラットを所定の位置に位置決め
させていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
赤外線レーザー光がウエハにより遮光される遮光の数ま
たは位置を測定することにより、ウエハの枚数または位
置を検出するものにおいては、発光部より照射された赤
外線レーザー光がウエハの垂直面であるエッジに反射
し、この反射光が上方または下方に収納されている他の
ウエハに反射してしまう。さらに、この反射光は多段の
乱反射となり受光部において検出してしまうので、正確
にウエハの枚数または位置の検出が出来ないという問題
点があった。さらに、前記ウエハの枚数の検出が反射光
により正確に検出出来ないと、ウエハをウエハが収納さ
れているキャリアから移載装置により搬入または搬出す
る際、搬入時にはキャリアのポケットに詰めてウエハを
挿入出来なくなる問題が生じ、搬出時には未処理ウエハ
がキャリア内に残留したまま前記キャリアのウエハを空
であると判断してしまうという問題点があった。さら
に、前記ウエハの位置の検出が正確に出来ないと、前記
移載装置がウエハを前記キャリアに搬入または搬出する
際、位置ずれを起こしてしまうので前記キャリアのポケ
ットに挿入できなくなり、このためウエハをキャリアに
接触させウエハを破損したり、またはキャリアを転倒さ
せてしまうという問題点があった。

【０００５】また、後者の前記位置決め装置において、
イメージセンサーの発光部と受光部をウエハの垂直方向
に互いに対向する場所に固定配置させ、前記発光部より
発光する帯状の赤外線レーザー光をウエハが遮光するこ
とにより、その遮光幅または透光幅を前記受光部により
検出する際、ウエハ外周端のエッジで前記赤外線レーザ
ーの発光部から照射されるレーザー光が反射し、装置内
の壁面に反射するため乱反射を発生してしまい、前記赤
外線レーザーの受光部において前記乱反射光を検出して
しまうという問題点があった。さらに、前記赤外線レー
ザーからの信号により前記ウエハの外周に設けられたオ
リエンテーション・フラットを所定位置に位置決めさせ
る位置決め装置においては前記乱反射光の信号の影響で
所定位置に位置決めできなくなり、または位置ずれが生
じるという問題がある。さらに、前記位置ずれが生じた
ままウエハを処理する処理装置に搬送すると、処理装
置、例えばプラズマエッチング装置においてはウエハ形
状に形成された載置台、例えば静電チャツクに位置ずれ
の状態で載置され処理されるので、静電チャツクのウエ
ハと重ならない部分がプラズマ処理され破損してしまう
という問題点があった。また、前記位置ずれが生じたま
まウエハを搬送すると、各ウエハの向きが不揃いとな
り、この状態で処理された場合、各ウエハ間で処理のバ
ラツキが生じてしまうという問題がある。

【０００６】本発明の目的は、検出手段の発光部から照
射される照射光がウエハにより乱反射されても受光部に
おいて前記反射光に起因する誤検出を防止するウエハ検
出装置およびウエハ位置決め装置を提供するものであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明では、キ
ャリア内に収納された複数枚のウエハの位置または枚数
をウエハに対して光照射する発光素子と、この発光素子
に対向する受光素子により光学的に検出するウエハ検出
装置において、前記受光素子の入射光路に設けられた偏
光素子を特徴とするウエハ検出装置。

【０００８】請求項２の発明では、ウエハの外周縁部を
ウエハ面と垂直に光照射する発光素子と、この発光素子
に対向する受光素子によりウエハの周縁を光学的に検出
し予め定められた位置にウエハを位置決めする装置にお
いて、前記受光素子の入射光路に設けられた偏光素子を
特徴とするウエハ位置決め装置。

【０００９】

【作用】本発明は、検出手段の発光部から照射される照
射光がウエハにより乱反射されても受光部の偏向フィル
ターの作用により乱反射光の検出を抑制または防止する
ことが出来る。

【００１０】

【実施例】以下、本発明をウエハ搬入出検出装置に適用
した第１の実施例について図面に基づいて詳述する。図
１，図２および図３に示す如く、このウエハ搬入出検出
装置１は、ウエハ、例えば半導体ウエハ２は、図２に示
すようにキャリア３内に所定の間隔、例えば４．７６ｍ
ｍ±０．８ｍｍの間隔（４ａ）で設けられた各ポケット
４に一枚づつ複数枚前記ウエハ２（厚み、例えば約０．
８ｍｍ（２ａ））が収納されている。また、前記キャリ
ア３は、エレベータ方式の載置台５上に載置されてお
り、この載置台５は、モーター、例えばＡＣサーボモー
ター６の回転軸にローラ径を変えた結合ベルト７により
係合するとともに、この係合ベルト７により回転制御さ
れる如く直立したボールスクリュウ８に結合されてい
る。さらに、このボールスクリュウ８の上方には、前記
載置台５が螺合され、前記ボールスクリュウ８の回転に
より昇降移動する如く昇降機構が構成されている。さら
に、この昇降機構は、前記ウエハ２の位置検出情報によ
り制御するように構成されている。

【００１１】また、前記キャリア３近傍、例えば対向し
た位置には、ウエハ２を吸着するアーム１０が設けら
れ、このアーム１０にはウエハ２をバキュームするため
の図示しない吸引パイプに連結したバキューム孔１０ａ
が形成されている。また、前記アーム１０はアーム搬入
出機構１１によりウエハ２を前記キャリア３に搬入また
は搬出するように構成され、前記アーム搬入出機構１１
は第一の固定台１２に設置されている。さらに、前記ア
ーム搬入出機構１１は固定台１２に設けられた、モータ
ーの回転軸にベルト結合されたローラに回転伝達し、こ
の回転はさらに前記アーム１０を矢印方向に移動させる
ようにベルト結合機構が設けられている。

【００１２】また、前記アーム１０の走行路でキャリア
３の間にはウエハ２の位置を検出するためのウエハ位置
検出機構が設けられ、このウエハ位置検出機構は光セン
サー、例えば透過型赤外線センサーを用いており、前記
キャリア３内に収納されたウエハ２を介在して一方、例
えば前記アーム１０側には、発光素子を内蔵した、発光
部１３ａ，１３ｂが２系統配設され、この発光部１３
ａ，１３ｂは前記固定台１２に固定設置されている。ま
た、他方には前記発光部１３ａ，１３ｂと対を成す２系
統の受光素子を内蔵した、受光部１４が前記ウエハ２を
介した前記固定台１２と対向した第２の固定台１６に固
定設置されており、この受光部１４には前記発光部１３
ａ，１３ｂより照射される赤外線レーザー、例えば波長
３００ｎｍ〜１０μｍの半導体レーザー光を前記受光素
子にそれぞれ受光するための光検出開口部１４ａ，１４
ｂ、例えば高さ０．５ｍｍ〜３ｍｍで幅２ｍｍ〜１０ｍ
ｍが穿設されている。さらに、この光検出開口部１４
ａ，１４ｂにはこの開口部１４ａ，１４ｂ全面を被う如
く偏光素子、例えば偏光膜を透明プラスチックシートで
はさんだ構造のシート状の偏光板或いは、２枚のガラス
板の中間に偏光膜を接着剤で張り合わせた偏光フィルタ
ー（ポラライザー：商品名）１５が係着固定されてい
る。

【００１３】さらに、図３に示すように、前記発光部１
３ａの内部には発光素子２０が固定設置されており、こ
の発光素子２０には発光素子２０を動作制御するための
動作信号が駆動回路２５と接続されている。また、前記
発光素子２０から発光されるレーザー光２３は、このレ
ーザー光２３を集光するための投光レンズ２１を介して
投光開口部２４より前記レーザー光２３が受光部１４に
向けて投光されるように構成されている。また、受光部
１４は前記光検出開口部１４ａを被う如く偏光フィルタ
ー１５が係着固定されており、この偏光フィルター１５
から前記レーザー光２３を受光するように構成されてい
る。さらに、受光されたレーザー光２３は受光レンズ２
６により集光され、光電素子である受光素子２７に受光
するように構成され、さらに、前記受光素子２７より出
力される光電信号はこの光電信号を増幅するための信号
増幅回路２８に接続されている。さらに、前記信号増幅
回路２８で増幅された光電信号は前記ウエハ２の有無に
より位置を前記光電信号により判断検出するための検出
回路２９に接続されている。前記の如くウエハ搬入出検
出装置が構成されている。

【００１４】次に、第一の実施例のウエハ２の検出の作
用を説明する。例えば、キャリア３内のウエハ２の位置
を検出する場合、載置台５を昇降させるとともに、その
際に、発光部１３ａ，１３ｂと受光部１４ａ，１４ｂよ
り成る２系統の赤外線センサーでウエハ２の位置と水平
状態を検出して図示しない半導体メモリ等に記憶する。
即ち、前記載置台５を前記昇降機構のモーター６の回転
に同期して昇降させ、最初に前記レーザー光２３の光路
をウエハ２が遮断する位置と、次に開光する位置を測定
することにより位置を検出することが出来る。また、こ
の位置を一旦半導体メモリに記憶し、上記２位置間の距
離を常数として演算することにより、前記ウエハ２の傾
きを検出する。

【００１５】しかしながら、前記発光部１３ａ，１３ｂ
から投光したレーザー光２３は、図４の（ａ）に示すよ
うに、発光部１３ａの投光開口部２４より投光されたレ
ーザー光２３はビーム角θ１の広がりで光路を進むこと
になる。さらに、前記昇降機構によりこれと同期してウ
エハ２も昇降移動する。このウエハ２の周縁部は図４の
（ａ）に示すように、半径Ｒの曲面からなる凸状となっ
ており、この凸状周縁部に前記レーザー光２３が反射、
例えば、３０ａ，３０ｂで反射し角度θ２，θ３の反射
光３２，３３となって進行することになる。この反射光
３２，３３は、図４の（ｂ）に示すように、反射を引き
起こしたウエハ２の上段に位置するウエハ２Ｘに反射
し、さらにその反射光３２，３３はウエハ２に反射を繰
り返しながら進行し、受光部１４の光検出開口部１４ａ
に係着固定された垂直透過光のみを透過させる偏向フィ
ルター１５に入光する。さらに、前記偏向フィルター１
５に角度θ３で入光した乱反射光３２，３３は前記偏向
フィルター１５の偏向作用により抑制または遮断され
る。

【００１６】このように受光部１４の光検出開口部１４
ａに偏向フィルター１５を係着固定させた場合におい
て、前記受光素子２７の出力波形は図５の（ａ）に示す
ように、ウエハ２の位置検出は、前記信号増幅回路２８
に前記受光素子２７から出力されたウエハ検出波形３５
が送信され、例えばｎ枚目の光路遮光時を３６ａとし、
ｎ＋１枚目の光路遮光時を３６ｂとし、ｎ＋２枚目の光
路遮光時を３６ｃのように前記昇降機構の降下または上
昇時において順次ウエハ２の位置を検出する。しかしな
がら、前記偏向フィルター１５が受光部１４の光検出開
口部１４ａに係着固定されてない場合、図５の（ｂ）に
示すように、前記反射光が前記受光素子２７に受光レン
ズ２６を介して入光することになり、ウエハ２による光
路遮光時にグリッジ３７が生じることとなり、さらに光
路開光時においてもエッジ３８が生ずる。さらに、前記
ウエハ検出波形３５は前記信号増幅回路２８に送信され
るとともに増幅され、前記検出回路２９で位置検出され
る。

【００１７】前記実施例によれば次の効果が得られる。（１）前記赤外線レーザー光の光路がウエハ２により遮
光されることにより、ウエハの枚数または位置を検出す
る際、発光部１３ａ，１３ｂより照射された赤外線レー
ザー光がウエハ２の垂直面であるエッジに反射し、この
反射光が上方または下方に収納されているウエハ２に反
射し、この反射光は多段の乱反射となり前記赤外線レー
ザーの受光部１４に入光するのを前記偏向フィルター１
５で入光を防止または抑制することができ、正確にキャ
リア３内のウエハ２の枚数または位置の検出が出来る。（２）さらに、前記ウエハ２の枚数の検出が反射光によ
り正確に出来るので、ウエハ２をウエハ２が収納されて
いるキャリア３から移載装置１１により搬入または搬出
する際、搬入時には正確にキャリア３のポケット４に詰
めてウエハ２を挿入でき、搬出時には未処理ウエハ２が
キャリア３内に残留したまま前記キャリアのウエハ２が
空であると判断するのを防止できる。（３）さらに、前記ウエハ２の位置の検出が正確に出来
るので、前記移載装置１１がウエハ２を前記キャリア３
に搬入または搬出する際、位置ずれを防止するので前記
キャリア３のポケット４に正確に挿入でき、ウエハ２を
キャリア３に接触させウエハ２を破損したり、またはキ
ャリア３を転倒させることなく安全に搬入搬出すること
が出来る。（４）また、前記発光部１３ａ，１３ｂと対を成す２系
統の受光素子を内蔵した、受光部１４ａ，１４ｂにより
前記ウエハ２の水平状態を検出する場合、前記反射光の
影響がなくなるので、正確にウエハ２の水平状態を検出
でき、移載装置１１による斜め収納されているウエハ２
の搬入搬送を未然に防ぎ、ウエハ２を破損するのを防止
することが出来るので、移載装置１１による搬入搬出の
信頼性を高めることができる。

【００１８】次に、ウエハ位置決め装置に適用した第２
の実施例について説明を行なうが、第１の実施例と同一
部分には同一符合を付けて説明を省略する。図６に示す
ように、ウエハ２を収納するキャリア３は図示しない昇
降移動する載置台上に配置されており、前記キャリア３
の前方には、搬送装置４０が配置されている。この搬送
装置４０は、開口部４１を有し、この開口部４１の部分
にウエハ２の中心部が位置するよう吸着保持するアーム
１０と、例えばステッピングモーター等によりアーム１
０をＹ方向に移動させる駆動部４２とから構成されてい
る。そして、駆動部４２によってアーム１０の先端部を
キャリア３内に挿入し、この後キャリア３を図示しない
昇降機構によりわずかに下降させることにより、アーム
１０上にウエハ２を載せ、図示しない真空チャックによ
り吸着保持した状態で、キャリア３内からウエハ２を引
き出すよう構成されている。また、前記アーム１０の移
動経路には、ウエハ保持機構４３が配置されており、こ
のウエハ保持機構４３は円柱形状に形成され、上面に図
示しない真空チャックによりウエハ２を吸着保持するチ
ャックベース４４が配置されており、また、このチャッ
クベース４４の下側には駆動部、例えばステッピングモ
ーター等からなる回転駆動部４５を備えており、前記ウ
エハ２を吸着保持した状態で回転可能とするように構成
されている。

【００１９】さらに、基体４６上には、アーム１０上に
吸着保持された、ウエハ２の端部の位置を検出するため
の検出機構４７が配置されており、この検出機構４７に
は、イメージセンサー、波長、例えば約７８０ｎｍの半
導体センサーが、固定場所、例えば上下に対向する如く
設けられ、一方下方には発光部５０が配置され、他方の
上方には、受光部５１が固定配置されている。また、検
出機構４７は、例えばステッピングモーター等により前
記検出機構４７をＸ方向に移動させる駆動部４８にアー
ム４９を介して接続されている。また、図７に示すよう
に、前記発光部５０から発光される帯状のレーザー光５
２は、受光部５１方向に投光されて進行し、前記受光部
５１の光検出開口部５３、高さ、例えば０．５ｍｍ〜３
ｍｍで幅、例えば２ｍｍ〜１０ｍｍを被う如く係着され
た偏光フィルター１５を介して、前記レーザー光５２を
受光部５１が受光するように構成されており、さらに、
前記チャックベース４４が前記回転駆動部４５により回
転し、この回転と同期して前記ウエハ２が回転すること
により、前記帯状、例えば０〜４００ｍｍのレーザー光
５２をウエハ２が遮光するので、この遮光幅または透光
幅を前記受光部５１により測定し、ウエハ２のオリエン
テーションフラット２ａの位置を検出し、さらに、ウエ
ハ２の中心位置を前記受光部５１より出力される出力信
号は、図示しない検出回路に送信され、この検出回路に
より前記ウエハ２のオリエンテーションフラット２ａの
位置を検出するよう構成されている。さらに、前記検出
回路にてオリエンテーションフラットの位置を検出した
検出信号は前記からチャックベース４４の回転駆動部４
５に送信され、前記検出信号により前記回転駆動部４５
の角度位置決め制御を行なうように構成されている。以
上のように、ウエハ位置決め装置が構成されている。

【００２０】前述したウエハ位置決め装置において、前
記ウエハ２の検出時の作用効果を以下に説明する。図８
に示すように、前記発光部５０から発光される帯状のレ
ーザー光５２は、受光部５１方向に投光され進行し、前
記ウエハ２にて遮光される際、反射、例えば反射位置５
３の位置において前記レーザー光５２の一部が反射し、
前記基体４６方向に反射し、さらに装置側壁５４、例え
ば材質はステンレス製（図９に雰囲気中に依存する粒子
および粒子サイズを示すように、高クリーン化が必要と
されるクリーンルームで処理される場合、前記装置に塗
装処理されると、この塗装等の粒子のチリ６０がクリー
ンルーム内で浮遊することになり、ウエハ２上の集積回
路等の歩留りに影響する。以上に鑑み、装置に塗装をし
ないのが一般的であり、これにより反射率が大とな
る。）反射を繰り返しながら前記受光部５１方向に進行
する。この進行した反射光５５は偏向フィルター１５に
入光し、前記偏向フィルター１５の偏向作用により抑制
または遮断される。また、前記ウエハ２により遮光され
ない帯状のレーザー光５２は、垂直入射光のみを透過さ
せる偏向フィルター１５を介して受光部５１に投光され
透光幅を検出する。

【００２１】また、前記ウエハ２は前記チャックベース
４４が回転機構により回転しており、この時の前記受光
部５１から出力される測定信号は、図１０の（ａ）に示
すように、出力信号６１が前記受光部５１より出力され
る。また、前記出力信号６１の出力電圧の最大値である
ピークポイント６２は前記ウエハ２のオリエンテーショ
ンフラット２ａの検出位置である。さらに、前記ピーク
ポイント６２を検出することにより、前記チャックベー
ス４４が回転機構により、前記オリエンテーションフラ
ット２ａを所定位置に回転角度を移動させ位置決めを行
なう。しかしながら、前記偏向フィルター１５を受光部
５１に装着しない場合、図１０の（ｂ）に示すように、
前記反射光５５が受光部５１に入光し、前記出力信号６
１にエッジ６３ａ，６３ｂが発生してしまう。このエッ
ジ６３ａ，６３ｂは、オリエンテーションフラット２ａ
のピークポイント６２値より高電圧であるため、エッジ
６３ａ，６３ｂをオリエンテーションフラット位置と誤
検出することになり、前記チャックベース４４の位置決
めが正確に行なえなくなる。

【００２２】以上詳述した、前記位置決め装置におい
て、赤外線センサーの発光部５０と受光部５１をウエハ
２の垂直方向に互いに対向する場所に固定配置させ、前
記発光部５０より発光する帯状の赤外線レーザー光５２
をウエハ２が遮光することにより、その遮光幅または透
光幅を前記受光部５１により検出する際、ウエハ２の外
周端のエッジに前記赤外線レーザーの発光部５０から照
射されるレーザー光５２が反射しても、前記偏向フィル
ター１５により前記反射光５５を遮断または抑制するの
で、ウエハ２のオリエンテーションフラット２ａの位置
を正確に検出することが出来る。さらに、前記ウエハ２
のオリエンテーションフラット２ａの位置を前記検出回
路により正確に検出することが出来るので、前記検出回
路より出力される検出信号を基とし前記ウエハ２の外周
に設けられたオリエンテーション・フラット２ａを所定
場所に移動させる前記チャックベース４４の回転機構の
移動角度制御を正確に行なうことが出来る。さらに、前
記チャックベース４４の回転機構の移動角度制御が正確
に行なうことが出来るので、次段の処理装置、例えばプ
ラズマエッチング装置においてはウエハ形状に形成され
た載置台、例えば静電チャツクに位置ずれの状態で載置
されることになり、ウエハ２の載置台である静電チャツ
ク上に正確にウエハ２を載置することが出来る。

【００２３】尚、本発明は前記実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可
能である。前記偏向フィルター１５は受光部１４の光検
出開口部１４ａの内側に係着固定するように構成しても
よいことはもちろんであり、発光部側にも偏向フイルタ
ー１５を装着してもよいことは言うまでもない。前記実
施例では、偏光膜を透明プラスチックシートではさんだ
構造のシート状の偏光板或いは、２枚のガラス板の中間
に偏光膜を接着剤で張り合わせた偏光フィルター１５を
説明したが斜め入射光を遮光または抑制するものであれ
ばどのような偏向素子でもよい。さらに、前述検出装置
を半導体製造装置に付設する際、エッチング装置、プラ
ズマＣＶＤ装置やＬＣＤ装置やＥＣＲ装置等のプラズマ
処理装置或いは洗浄装置、拡散装置、熱処理等にも応用
できるのは当然のことである。さらに、半導体製造装置
に限らず、ウエハの検出を光センサーで行なうものであ
ればいずれにも適用できる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、検出手
段の発光部から照射される照射光がウエハにより反射さ
れても受光部の偏向フィルターにおいて乱反射光の検出
を抑制または防止することが出来るので、ウエハの枚数
または位置の検出が正確にできるという顕著な効果があ
る。

【００２５】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１の実施例のウエハ搬入搬出検
出装置を示す縱概斜視図である。

【図２】図１のウエハ搬入搬出検出装置のキャリアの部
分概略断面図である。

【図３】図１のウエハ検出の動作を説明するための概略
断面図である。

【図４】（ａ）図１の赤外線センサー光の反射光を説明
するための部分断面図である。（ｂ）図１の赤外線センサーの受光部に透光する反射光
を説明するための部分断面図である。

【図５】（ａ）図１の赤外線センサーの出力波形を時間
軸で示す波形図である。（ｂ）図１の赤外線センサーの出力波形を時間軸で示す
波形図である。

【図６】図１の他の実施例を説明する概略斜視図であ
る。

【図７】図６のウエハの検出を説明するための部分概略
断面図である。

【図８】図６の赤外線センサー光の反射光を説明するた
めの部分概略断面図である。

【図９】先行技術における大気中に存在する一般的な粒
子及びその径を示す説明図である。

【図１０】（ａ）図６の赤外線センサーの出力波形を時
間軸で示す波形図である。（ｂ）図６の赤外線センサーの出力波形を時間軸で示す
波形図である。

【符合の説明】

１ウエハ搬入出検出装置２ウエハ２ａオリエンテーションフラット３キャリア１３ａ，１３ｂ発光部１４受光部１４ａ，１４ｂ光検出開口部１５偏向フィルター２０発光素子２３レーザー光２４投光開口部２７受光素子３２，３３反射光

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 31/12 Ｇ 7210−4Ｍ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】キャリア内に収納された複数枚のウエハ
の位置または枚数をウエハに対して光照射する発光素子
と、この発光素子に対向する受光素子により光学的に検
出するウエハ検出装置において、前記受光素子の入射光路に設けられた偏光素子を特徴と
するウエハ検出装置。
【請求項２】ウエハの外周縁部をウエハ面と垂直に光
照射する発光素子と、この発光素子に対向する受光素子
によりウエハの周縁を光学的に検出し予め定められた位
置にウエハを位置決めする装置において、前記受光素子の入射光路に設けられた偏光素子を特徴と
するウエハ位置決め装置。